JPH01173630A - 移載機上のウェーハ検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 −の１ 本発明は、移し替えのため移載機に載せられたウェーハ
を検出する装置に関し、とくに移載機上の多数のウェー
ハを簡単な機構により迅速確実に検出する装置に関する
。

えＸ立且遣 第３図及び第４図を参照するに、加工等のため半導体ウ
ェーハ１０を各種ステーションで受入れたり送出したり
する目的に移載機１１が使われる。ウェーハ１０は、移
＠＠　１１上ではキャリア・カセット（以下カセットと
いう、）１２に保持される。ステージ鵞ンから送出され
るウェーハ１０は、移載機１１の押上げ装置（図示せず
）によりホールダ１３の位置へ押上げられ、挟持部１４
．１５に把持された後ホールダ駆動装置１８により移載
位置１７へ運ばれ、移送ポート（図示せず）等の移送装
置に移し替えられ他のステーション等へ送られる。

第５図、第６図及び第７図を参照するに、カセッ）１２
の対向側壁にはポケット２０が形成され、つニーム１０
が対向ポケット２０内に挿入される。ウェーハ１０の下
部を支えるため、ポケット２０の底部は狭められている
。ポケット２０のピッチはその中にウェーハｌＯが保持
されたときのウェーハ１０のピッチＰ（第１図）と一致
する０図示例のカセッ）１２の一端には端末板２１が形
成され、その他端にはクロスパー２２が設けられる。

典型的なカセット１２は２５枚のウェーハ１０を保持し
、移載機１１上には通常６台又は７台のカセット１２）
即ち約１５０枚ないし１７５枚までのウェーハ１０が載
せられる。ウェーハ１０に対する各種処理の管理や制御
のためには、移載機１１上でウェーハ１０が存在する位
置とそれが存在しない位置とを知っておく必要がある。

従来は２５個のセンサを有する検出装置によりカセット
１２ごとにウェーハ１０の存在位置を確認し、それを６
回又は７回反復することにより移載機１１上の全てのポ
ケット２０におけるウェーハ１０の有無を調べていた。

しかしこの従来方法には、ウェーハ検出に時間がかかる
こと、操作が面倒であること等の欠点がある。

これらの欠点を避けるため、移載機１１内に１５０個な
いし１７５　（１のセンサを設置して一挙にウェーハ１
０の有無を調べる方法も考えられるが、これではセンサ
の数が多くなり、コストが嵩むだけでなく、センサ事故
の確率も増えて好ましくない。

が　　じょう　　　、　へ 従って、本発明が解決しようとする問題点は、従来の移
載機上のウェーハ検出装置の上記欠点である０本発明の
目的は、少数の部品と簡単な構成により移載機上のすべ
てのウェーハを容易にしかも確実に検出することができ
る移載機上のウェーハ検出装置を提供するにある。

。　占　　・　　るための 第１図及び第２図を参照するに、本発明による移植機上
のウェーハ検出装置においては移載機１１上のカセット
１２に対向して固定光電スイッチ２４が設けられる。カ
セット１２のポケット２０のピッチＰと同一ピッチＰの
歯部３０ａを有する遮光板３０が、固定光電スイッチ２
４の光路２５をよぎって走行しその光路２５を間欠的に
遮断する。

カセッ）１２へ光束Ｂを投射する光源３８とカセット１
２からの反射光Ｆを検出する反射光センサ３７とからな
る走行光電スイッチ３５を遮光板３０上の適当位置に設
ける。論理回路４０を走行光電スイッチ３５及び固定光
電スイッチ２４に接続し、固定光電スイッチ２４の光路
遮断に応する信号と走行光電スイッチ３５による反射光
Ｆ検出に応する信号との同時発生をもってウェーハ１０
を検出する。

好ましくは、走行光電スイッチ３５の光９３Ｂをレーザ
光源とし光束Ｂをレーザ光束とし、反射光センサ３７を
レーザ光センサとする。

１月 図示実施例により作用を説明する。走行光電スイッチ３
５をカセッ）１２の列に沿って走行させればウェーハ１
０からの反射光Ｆを検出することができるが、カセット
１２の端末板２１やクロスパー２２からの反射光もある
ので、走行光電スイッチ３５だけではウェーハ１０の確
認が困難である。

本発明によれば、カセット１２のポケット２０のピッチ
Ｐと同一ピッチＰの歯部３０ａを有する遮光板３０が、
その歯部３０ａによって固定光電スイッチ２４の光路２
５を間欠的に遮断するように走行する。固定光電スイッ
チ２４の位置とカセット１２の位置即ち端末板２１及び
クロスパー２２の位置との関係は一定であるから、遮光
板３０上の走行光電スイッチ３５の位置を適当に選定す
れば、固定光電スイッチ２４の光路遮断と走行スイッチ
３５による反射光検出との同時発生によってウェーハｌ
Ｏを確認しながら検出することができる。

第１図の例では、固定光電スイッチ２４をカセット１２
の右端ポケッ）２０に対向配置し、遮光板３０の歯部３
０ａの数をカセット１２内のポケット２０の数に等しく
６個とし、走行光電スイッチ３５の位置を遮光板３０の
左端の歯部３０ａに対向する部位としている。しかし１
本発明はこの配置例に限定されるものではない。例えば
、固定光電スイッチ２４をカセット１２の隣接ポケット
２０の中間部分に対向させて配置し、走行光電スイッチ
３５の位置を遮光板３０の隣接歯部３０ａの間の間隙３
０ｂに対向する部位としてもよい。

走行光電スイッチ３５の光源３６をレーザ光源とし光束
Ｂをレーザ光束とし反射光センサ３７をレーザ光センサ
とすれば、ウェーハ１０からの反射光の検出の信頼度を
改善することができる。

見立Ｊ 第１図及び第２図の実施例では、移載機１１の天板１１
ａの所定位置にカセット１２が載置され、この場合のカ
セット１２はその両端に端末板２１が設けられる。天板
１１ａには、カセット１２の列の中心線に沿って開口１
１ｂが穿たれる。移載機１１の内部に保持部材２３を設
け、固定光電スイッチ２４をカセット１２の右端のポケ
ット２０と対向する様に保持部材２３に固定する。すべ
てのポケット２０がウェーハｌｏを保持して場合には、
ポケット２０のピッチＰは、図示の様にウェーハｌＯの
ピッチと一致する。固定光電スイッチ２４は光路２５と
なる溝を有し、光源２６からの光束が光路２５を通って
光センサ２７に達する。

カセット１２のポケット２０と同じピッチＰで形成され
た歯部３０ａを有する遮光板３０が、案内バー３１の案
内下に駆動ねじ３２により矢印Ｒ，Ｌで示される様に左
右に駆動される。駆動ねじ３２と噛合する駆動ナツト３
２ａが遮光板３０に固定される。この場合、遮光板３０
の歯部３０ａが固定光電スイッチ２４の光路２５となる
溝を通る様に駆動され、従って光路２５が歯部３０ａと
間隙３０ｂとにより間欠的に遮断される。

第１図の例で遮光板３０の左端の歯部３０ａと対応する
部位に取付けられた走行光電スイッチ３５は、カセット
１２へ向けて光束Ｂを放射する光源３６及びカセット１
２からの反射光Ｆを検出する反射光センサ３７を有する
。固定光電スイッチ２４の光センサ２７の出力及び走行
光電スイッチ３５の反射光センサ３７の出力をリード線
により論理回路４０へ接続する。

この実施例の動作を説明する。遮光板３０が第１図の実
線位置にある時は、走行光電スイッチ３５の反射光セン
サ３７の出力がウェーハ１０からの反射光Ｆの検出を示
し、同時に固定光電スイッチ２４の光センサ２７の出力
が光路２５の遮断を示すので、論理回路４０はウェーハ
ｌＯの検出を示す出力４０ａを発生する。走行光電スイ
ッチ３５が矢印Ｒの方向に走行して二点鎖線で示される
位置に達する以前のウェーハ１０に対向する時には、実
線位置の場合と同様に論理回路４０がウェーハｌＯの検
出を示す出力４０ａを発生することは明らかである。

つぎに遮光板３０が第１図の二点鎖線位置にあるときは
、走行光電スイッチ３５の反射光センサ３７の出力がカ
セット１２の端末板２１からの反射光Ｆの検出を示すが
、この場合には固定光電スイッチ２４の光センサ２７の
出力が光路２５の遮断を示さないので論理回路４０はウ
ェーハｌＯの検出を示す出力４０ａを発生しない。こう
して論理回路４０はウェーハ１０に対してのみ出力信号
４０ａを発生し、ウェーハ検出の目的を達成する。

１且二逝課 以上詳細に説明した如く、本発明による移載機上のウェ
ーハ検出装置は、ウェーハ収納ポケットと同じピンチの
歯部の走行により光路が間欠遮断される固定光電スイッ
チとウェーハからの反射光を検出する走行光電スイッチ
とを使用し、固定光電スイッチの光路遮断検出信号と走
行光電スイッチによる反射光検出信号との同時発生によ
りウェーハを検出するので、次の効果を奏する。

（イ）移載機上の多数のウェーハを迅速確実に検出する
ことができる。

（ロ）遮光板の位置情報から被検出ウェーハの位置を容
易に算定でき従って多数のウェーハの位置情報をも同時
に取得できるので、ウェーハの管理及びその取扱制御に
便利である。

（ハ）わずか２個の光センサで多数のウェー／＼を検出
するので構造が簡単となり製作費かやすくしかも多数の
センサを使う場合に比して故￥ａ率が著しく低い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による移載機上のウェーハ検出装置の説
明図、第２図は第１図の矢印ＩＩ−ＩＩにおける要部説
明図、第３図及び第４図は移載機の説明図、第５図、第
６図及び第７図はカセットの図式的上面図、要部立面図
及び要部断面図である。 １０・・・ウェーハ、　１１・・・移載機、　　１２・
・・カセット、　１３・・・ホールダ、　　１４．１５
・・・挟持部、１６・・・ホールダ駆動装置、　　１７
・・・移載位置、２０・・・ポケット、　２１・・・端
末板、　２２・・・クロスバ−１２３・・・保持部材、
　　２４・・・固定光電スイッチ、　２５・・・光路、
　３０・・・遮光板、　３１・・・案内バー、　３２・
・・駆動ねじ、　　３５・・・走行光電スイッチ、　３
Ｂ・・・光源、　３７・・・光センサ、　４０−論理回
路、　Ｂ・・・光束、　Ｆ・・・反射光、　　Ｐ・・・
ピッチ。 特許出願人　　大倉電気株式会社

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）移載機上のカセットに対向配置された固定光電ス
   イッチ、上記カセットのウェーハ収納ポケットと同じピ
   ッチの歯部により上記固定光電スイッチの光路を間欠遮
   断する如く走行する遮光板、上記カセットへ投光する光
   源と上記カセットからの反射光を検出する光センサとを
   有し且つ上記遮光板上の適当位置に取付けられた走行光
   電スイッチ、並びに上記固定光電スイッチ及び走行光電
   スイッチに接続された論理回路を備え、上記固定光電ス
   イッチの光路遮断と上記走行光電スイッチによる反射光
   検出との同時発生によりウェーハを検出してなる移載機
   上のウェーハ検出装置。
2. （２）特許請求の範囲第１項記載のウェーハ検出装置に
   おいて、前記光源がレーザ光源であり前記反射光センサ
   がレーザ光センサである移載機上のウェーハ検出装置。