KR100263334B1 - 매거진의 부채꼴 스포트와 그것에 놓인 원판형 물체의 인지 및구별용 장치와 방법 - Google Patents

매거진의 부채꼴 스포트와 그것에 놓인 원판형 물체의 인지 및구별용 장치와 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 매거진의 부채꼴 스포트와 그것에 놓인 원판형 물체의 인지 및 구별용 장치와 방법에 있어서, 사용한 보호 스포트가 물체에 장애 효과를 미치지 않으면서, 칸과 물체의 위치 결정의 정확성을 비롯하여 매거진 형식의 구별에 대한 인식 안전성을 높이는 것을 목적으로 한다.
본 발명에서는 측정면에서 이동 배열에 의해서 구별이 되어지는 물체를 비롯하여 물체의 여러 가지 스포트는 이들의 정면에 측정선이 통과하게 되고, 스포트의 한 종류 영역에서 각 측정 빔이 비치게 된다. 측정면에서 연장되어 있는 스포트의 정면은 측정 빔에 전부 속하게 된다. 본 발명의 장치는 집적회로의 제조에 이용된다.

Description

매거진의 부채꼴 스포트와 그것에 놓인 원판형 물체의 인지 및 구별용 장치와 방법
본 발명은 칸과 물체의 위치 결정에 대한 정확성뿐만 아니라 매거진(magazine) 형식의 구별에 대한 인지 안정성을 향상시키고, 물체의 보호대에 대한 방해 작용이 미치지 않도록 하는 장치와 그 방법을 제공하는것에 관한 것이다.
매거진의 부채꼴(shelf-forming) 스포트(supports)와 그것에 놓인 원판형 물체의 인지 및 구별용 장치와 방법은 반도체 집적회로의 제조에 이용한다.
반도체 집적회로의 제조 시에 반도체 웨이퍼와 같은 원판형 물체를 다양한 작업 공정에서 각각의 작업 기계에 이송하여야 한다. 이러한 목적을 달성하기 위하여 물체는 매거진에 넣게 되며 청정 상태를 유지하기 위하여 대부분의 경우에 이송 매거진 컨테이너(magazine container)에 보관하게 된다. 기계의 작업 준비를 위하여 매거진을 적절한 도구를 사용하여서 이송 매거진 컨테이너로 부터 들어내고 나서 취급 장비를 이용하여서 원판형 물체를 집어내고 다시 반대 순서로 실시하여야 한다. 이러한 목적을 달성하기 위해서는 물체의 저장 칸의 위치뿐만 아니라 물체가 담겨져 있는지를 인지하는 것이 반드시 필요하다.
원리적으로 인지 시스템은 두 가지 종류가 알려져 있다.
첫 번째 방법(매핑)에서는 매거진의 기하학적 크기, 특히 칸의 간격을 우선적으로 알아야 한다. 처리 시스템의 기준면에 대하여 칸의 위치를 정렬시키게 되면, 모든 다른 칸의 위치들을 계산하여 결정하고 얻을 수 있다. 칸의 수용은 광 배리어(light barrier)를 통하여 조사하게 된다.
두 번째 방법은 인식 과정에서 가공 허용 한계 또는 변형 때문에 발생하는 매거진의 가능한 측정 오차도 포함되어지는 것이다. 센서 시스템을 사용하여서 기준면에 대한 칸과 물체의 정확한 위치를 결정하게 된다. 이것은 기존의 독일 특허 DE 195 35 871 A1에 알려져 있으며, 반사 결합기(reflex coupler)를 사용하여서 칸과 물체의 인지뿐만 아니라 동시에 매거진의 형식을 구별할 수 있게 된다. 반사 결합기의 광선이 스포트(6인치-매거진) 또는 크로스 바(crossbar)에 비치게 되므로 매거진이 움직일 때 하이 레벨에 머무르는 동안에 수직 방향 차이가 나타나게 된다.
반사 결합기의 고저 전환과정의 시점에 대한 경로 측정과 결정을 동시에 실시하여서 6인치-매거진에서 기준면에 대한 스포트의 위치를 결정할 수 있다. 5인치-매거진에서는 스포트와 크로스 바 사이의 높이 차에 대한 계산 결과를 필요로 하게 된다. 광 배리어의 빔(beam)이 비치는 매거진을 기울여서 위치하고 있는 물체를 인지하게 된다.
매거진에 발생하는 측정차이, 위치 결정에 대한 변조 불가능 및 매거진 형식 구별에 대한 인지 안정성이 낮게 나타나는 것과 같은 단점들이 있다.
본 발명을 목적은, 칸과 물체의 위치 결정에 대한 정확성뿐만 아니라 매거진 형식의 구별에 대한 인지 안정성을 향상시키고, 물체의 보호대에 대한 방해 작용이 미치지 않도록 하는 장치와 그 방법을 제공하는데 있다.
도 1은 매거진 벽 영역에서 측정 빔을 배치한 5인치-매거진의 후면도 단면도
도 2는 매거진 벽 영역에서 측정 빔을 배치한 6인치-매거진의 후면도 단면도
도 3은 측정 빔을 배치한 매거진의 평면도
도 4는 매거진을 아래로 내린 매거진 부분의 도면
도 5는 측정 빔을 위한 광선 부품, 수신기 및 가이드 장치를 설치한 틀의 평면도
도 6은 두 개의 평행 측정 빔이 설치된 5인치-매거진의 주사 시에 발생하는 신호 흐름도
도 7은 두 개의 평행 측정 빔이 설치된 6인치-매거진의 주사 시에 발생하는 신호 흐름도
도 8은 장치부와 전자-제어부를 나타낸 구성도
본 발명은 잇달아 연속해 있는 측정 빔의 스포트와 물체의 정면을 통하여 마주보고 있는 칸의 방향에서 측정면으로 스포트와 물체를 동시 이동시켜서 매거진의 부채꼴 스포트와 그것에 놓인 원판형 물체의 인지 및 구별용 장치와 방법에 대한 것으로서, 측정면에서 이동하는 배치를 통하여 여러 가지 종류의 스포트를 측정 빔에 대하여 수직 방향으로 구별하는 것을 특징으로 한다. 측정 빔의 각각은 스포트의 한 종류 영역에 대해서만 통과하게 되며, 측정면에서 연장되어 있는 스포트의 정면은 측정 빔에 전부 속하게 된다.
측정 빔이 주로 직사각형 횡단면을 나타낼 때, 측정면에서의 그 연장은 최소한 스포트 정면의 그것과 동일하고 측정면에 대하여 수직으로 될 때는 물체의 두께보다도 더 작다.
측정면에서 광선 방향의 수직으로 측정 빔을 충분하게 연장함으로서, 광선의 이 방향에서 스포트의 위치 오차와 크기 차이가 적어지게 된다. 광선의 수직 크기를 제한함으로서 매거진 통과 시에 측정 신호의 급경사 측면을 비롯하여서 스포트 및 물체의 정확한 위치를 확실하게 결정하게 된다. 단일 및 복수 매거진의 구별은 스포트와 물체의 수를 인지함으로서 가능해진다.
첫 번째 형태에서는 측정 빔을 평행하게 마주보게 하도록 하고, 매거진의 벽 영역에 배열되도록 하고 이동 크기에 해당하는 만큼의 간격으로 마주보게 유지하도록 한다.
두 번째 형태에서는 측정 빔을 평행하게 마주보게 하도록 하고, 매거진의 벽에 지지된 각각의 스포트 중의 하나가 측정 빔 중의 최소한 하나와 배열되도록 한다.
레이저광 배리어를 측정 빔으로 사용하면, 프레임에 광원과 수신기를 설치하고, 이것에 매거진을 설치하여서 수직 운동을 하게 할 수 있는 장점이 있다.
한 개의 칼럼(column)에 매거진을 수직 운동하게 하는 엘리베이터 드라이브(elevator drive)를 설치하고, 한 쌍의 칼럼이 프레임(frame)의 캐리어 역할을 하도록 하고, 이 칼럼이 공기 통로 구멍을 형성하여 적당한 간격으로 서로 마주보게 배치되어 있다.
본 발명은 매거진의 부채꼴 스포트와 그것에 놓인 원판형 물체의 인지 및 구별용 방법에 대한 것이다. 이 방법은 서로 마주보고 있는 측정 빔의 스포트와 물체의 정면을 통과하여 스포트와 물체가 공동으로 이동하게 됨으로서 마주보고 있는 칸의 방향에서 측정면으로 발생하게 되는 신호를 평가하게 되며, 측정면에서 이동 배치에 의해서 여러 종류의 스포트를 측정 빔에 대하여 수직 방향으로 구별되게 된다.
모든 측정 빔의 신호는 스포트 중의 하나에만 비추게 되고, 측정면(E-E)에서 연장되어 있는 스포트의 정면은 측정 빔에 전부 속하게 되고 동시에 그리고 서로 관련지어서 평가하게 된다.
본 발명을 실시예로서 도시한 첨부 도면과 함께 이를 더욱 상세히 설명한다.마주보고 있는 벽에 모형(3, 4) 형태인 원판형 물체를 위한 부채꼴 스포트(1, 2)를 포함하고 있는 5인치-매거진(도 1)과 6인치-매거진(도 2)에서, 매거진벽(5, 6) 부분만을 단면으로 나타내었다. 스포트(1, 2)는 매거진벽(5, 6)에 고정시켜서 크로스-바(7, 8)의 끝에 역 L자형 구조재로 설치하였다. 측면 고정장치(9, 10)는 물체의 미끄럼을 방지하는 역할을 한다. 측정면(E-E)과 매거진벽(5, 6) 부근에 평행하게 마주보도록 정렬하여 설치된 레이저 광원의 측정 빔(11, 12)은 직사각형 단면으로 나타나며, 각 매거진의 스포트(1, 2)와 물체를 고려하여서 통과시킨다. 횡단면은 측정면(E-E)의 연장선에서 최소한 스포트(1, 2) 정면의 어느 하나와 일치하게 된다. 이것은 어떠한 경우에도 매거진의 가공 시에 발생하는 허용 오차 때문에 스포트(1, 2)의 측면 위치 편차는 스포트(1, 2)의 전체적인 크기를 보증할 정도로 커야 한다.
측정면(E-E)에 대한 수직선에서 측정 빔(11, 12)의 횡단면은 물체의 두께 D 보다도 더 적다. 도 1과 2에서 명확하게 나타낸 바와 같이, 서로 크기가 다른 매거진의 스포트(1, 2)는 중심 배치 시에 측면 이동으로 구별이 되어지며, 측정면(E-E)에서 측정 빔(11, 12)에 대하여 수직으로 설치되어 있다. 두 측정 빔(11, 12)의 간격은 보통 스포트(1, 2)의 측면 이동과 일치하므로, 각각의 측정 빔(11, 12)은 단지 여러 가지 종류의 스포트의 이동에 의해서만 덮여지게 된다.
물론 매거진 형식을 구별하는 것은 여기에서 기술한 5인치 및 6인치-매거진에 대한 것으로 제한되지는 않는다. 그러므로 다른 크기의 매거진에도 이용할 수 있을 뿐만 아니라 매거진의 수량을 높일 수도 있다. 인지 매거진의 수량을 높이기 위해서는 그에 해당하는 측정 빔을 확장하여야 하고, 스포트의 이동 크기만큼 서로 마주 보게 이동시켜서 정렬할 필요가 있다.
도 1과 2에 도시된 부품들을 아주 간단하게 표시한 도 3에서는, 프레임(13)에서 수직 운동을 하고 측정 빔(11, 12)을 관통하여 이동 가능한 도 2의 6인치-매거진을 매거진(15)으로 도시하고 공간(14)에 프레임(13)으로 묶어서 표시하였다. 마주보고 있는 프레임 부분(16, 17)에는 측정 빔(11, 12)을 위한 광선 부품(18, 19)과 수신 부품(20, 21)이 각각 설치되어 있다.
도 4에는 측정 빔(11, 12)을 위한 광선 부품과 수신 부품이 설치된 프레임(22)을 나타내었다. 운반 칼럼(23)과 엘리베이터 드라이브의 칼럼형 덮게(24)는 공기통과구멍을 형성시켜서 간격을 두어 설치하고, 프레임(22)의 케리어 역할과 그 위에 놓인 홀드(25)에 매거진 컨테이너(26)를 놓을 수 있도록 하는 역할을 한다.
엘리베이터 드라이브는 수용 암(27)이 결합된 스핀들 너트가 고정 설치된 가이드에서 움직이는 스테핑 모터(stepping motor)로 구동되는 스핀들(spindle)로 구성되어 있다. 인코더(encoder)를 사용하여서 모터의 스테핑 수와 진행 경로를 결정하게 된다. 도면에는 표시하지 않은 전선을 사용해서 장치를 외부 제어 전자장치와 연결시킨다. 매거진(29)이 프레임(22)을 관통하여 빠져 나올 때는 매거진 컨테이너(26)의 진열대 바닥(30)이 매거진(29)과 폐쇄기(31)가 함께 홀드(25)에서 아래로 내려오게 된다. 여러 가지 매거진 형식을 인지하기 위하여 필수적인 규정 매거진 장치는 매거진(29)을 바닥(30)에 정렬하고, 이것을 폐쇄기(31)에 적당한 틈새로 핀(32, 33, 34(도 5))에 위치하도록 하는 것이 필요하다.
도 5에 도식된 바와 같이 프레임(22)은 측정 빔(11, 12)을 발생시키는 광선발생기(35, 36)를 이동시키는 역할을 한다. 제한된 공간을 최대한 활용하기 위하여 측정 빔(11, 12)이 수신기(41, 42)에 도달하도록 가이드(37, 38, 39, 40)를 설치하였다. 두 개의 측정 빔(11, 12)이 매거진 벽 영역에 설치되어 있는 도 3에서와는 달리, 도 5에서는 한 개의 측정 빔(11)은 매거진 벽 영역, 다른 한 개의 측정 빔(12)은 마주보고 있는 매거진 벽 영역에 설치되어 있다. 이 배치 영역에서, 측정 빔(11, 12)은 보통 스포트(1, 2)의 측면 이동 간격에 해당하는 만큼 옮겨져 있는데, 이렇게 하여서 측정 빔(11)은 6인치-매거진의 스포트(2), 측정 빔(12)은 5인치-매거진의 스포트(1)와 만나게 된다.
이들 스포트와 여기에 놓인 물체를 표시하는 과정에서 매거진이 측정 빔(11, 12)을 통하여 통과할 때는 도 6과 7에 도시한 신호 진행이 발생하게 된다. 상기와 같은 경우에 인지 과정을 명확하게 하기 위하여 매거진의 칸 하나에 하나의 물체만을 끼워 넣도록 한다. 표준면에 위치가 고정된 관련 부품의 인지를 위하여 필수적인 구별 특성인 진행경로(엘리베이터의 구동을 위한 스테핑 모터의 스테핑 수)의 함수로 신호 진행이 나타난다. 5인치-매거진에서는 적은 공차 때문에 스포트가 프레임 (13) 또는 (22)으로 쌓여진 공간의 중심에 대하여 크기가 큰 매거진에 대한 비율로 옮겨져 있기 때문에, 스포트(1)와 물체는 측정 빔(12)에 의해서만 덮여진다. 측정 빔(11)은 크로스 바(7)에서 만나게 된다. 6인치-매거진에서는 스포트(2)에 측정 빔(11) 그리고 물체에 측정 빔(12)이 통하게 된다. 수직 하강 운동에서 두 가지 매거진의 매거진 바닥(43, 44)이 측정 빔(11, 12)을 통하여 움직일 때는 이들 두 가지가 완전히 차단되어진다. 5인치-매거진에서 두 측정 빔(11, 12)이 영역 a에 도달한 후에는 측정 빔(11)이 수신기(41)에 전부 수신되어서, 전압에서 전환된 신호가 최고치에 도달하게 된다. 측정 빔(12)이 스포트(1)의 첫 번째를 통하게 되면, 최고치의 신호에는 아직 도달하지 않았지만 신호 증가가 발생하게 된다. 위치 b에서 이들 레벨은 다시 최고에 달하게 된다. 그후에 측정 빔(11)은 크로스 바(7)를 전부 통과하게 되며, 측정 빔(12)은 이와 반대로 단지 부분적으로 차단되어진다. 결과적으로 스포트(1)의 두 번째는 측정 빔(12)을 통하여 움직이게 된다. 측정 레벨은 물체가 위치 c에서 기본 레벨 GND의 측정 신호를 감소시키기 이전의 첫 번째 스포트에서의 그 값에 해당한다.
6인치-매거진에 대한 다른 신호 진행에 의하여 크기가 작은 5인치-매거진의 신호 진행은 구별된다. 6인치-매거진에서는 측정 빔(12)에 속하는 신호가 우선 최고치에 도달하게 된다. 위치 b에서 평균 레벨에서 그 최고치에 도달하는 것은 측정 빔(11)의 신호이다. 6인치 크기의 물체는 두 신호를 기본 레벨로 낮아지게 하자만, 그와 반대로 5인치 크기의 것은 측정 빔(12)의 신호로 낮아지게 된다. 6인치-매거진에서는 크로스 바(8)가 측정 빔(11)의 신호에만 영향을 미치지만, 5인치-매거진에서는 두 개 모두에 영향을 미치게 된다. 물론 평가를 실시하여서 신호를 구별할 수 있을 때, 두 신호의 동일 평가를 통하여 불필요한 기하학적 비율에 의해서 발생할 수 있는 각종 매거진의 오차 인지를 피할 수 있다.
장치부와 전자 제어부를 나타낸 도 8의 회로도에서, 레이저광 배리어(47, 48)의 디지털 신호가 A/D-변압기(45, 46)를 통과하여서 계산기(51)의 연산부(50)와 연결되어 있는 신호 처리부(49)에 들어간다. 전원공급부(53)가 연결되어 있는 제어장치 및 페도미터(pedometer)(52)로 연산부(50)에서 얻어진 신호가 제어신호로 엘리베이터 이동용 스테핑 모터(54)를 비롯하여 매거진 컨테이너(26)의 개폐 장치(55)에 들어가게 된다. 스테핑 응답부(56), 최종위치 인지부(57), 매거진 컨테이너(26)의 개방상태 인지부(58)의 신호와 매거진 컨테이너(26)의 이동과 같은 것을 신호로 알려주는 인지 센서(59)의 신호는 신호 처리부(49)로 들어가게 된다.
이상과 같이 본 발명에 따른 장치를 사용하는 경우 칸과 물체의 위치 결정에 대한 정확성과 매거진 형식의 구별에 대한 인지 안정성을 향상시키고, 물체의 보호대에 대해 방해작용이 미치지 않도록 할 수 있는 등의 유용한 효과를 얻을 수 있다.

Claims (7)

  1. 잇달아 연속해 있는 측정 빔의 스포트와 물체의 정면을 통하여 마주보고 있는 칸의 방향에서 측정면으로 스포트와 물체를 동시 이동시켜서 매거진의 부채꼴 스포트와 그것에 놓인 원판형 물체의 인지 및 구별용 장치와 방법에 대한 것으로서, 측정면에서 이동하는 배치를 통하여 여러 가지 종류의 스포트를 측정 빔에 대하여 수직 방향으로 구별하게 되는 것을 특징으로 하는 인지 및 구별용 장치에 있어서,
    측정 빔(11, 12)의 각각은 스포트(1, 2)의 한 종류 영역에 대해서만 비추게 되며, 측정면(E-E)에서 연장되어 있는 스포트(1, 2)의 정면은 측정 빔(11, 12)에 전부 속하게 되는 것을 특징으로 하는 인지 및 구별 장치.
  2. 제1항에 있어서, 측정 빔(11, 12)이 주로 직사각형 횡단면을 나타낼 때, 측정면(E-E)에서의 그 연장은 최소한 스포트(1, 2) 정면의 그것과 동일하고 측정면(E-E)에 대하여 수직으로 될 때는 물체(3, 4)의 두께보다도 더 작은 것을 특징으로 하는 인지 및 구별 장치.
  3. 제2항에 있어서, 측정 빔(11, 12)을 평행하게 마주보게 하도록 하고, 매거진(15)의 벽(5, 6) 영역에 배열되도록 하고, 이동 크기에 해당하는 만큼의 간격으로 마주보게 유지하도록 한 것을 특징으로 하는 인지 및 구별용 장치.
  4. 제2항에 있어서, 측정 빔(11, 12)을 평행하게 마주보게 하도록 하고, 매거진(29)의 벽(5, 6)에 지지된 각각의 스포트(1, 2)중의 하나가 측정 빔(11, 12) 중에서 최소한 하나가 배열되도록 하는 것을 특징으로 하는 인지 및 구별 장치.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 레이저광 배리어를 측정 빔(11, 12)으로 사용하고, 프레임에 광원(18, 19, 35, 36)과 수신기(20, 21, 41, 42)를 설치하고, 이것에 매거진(15, 29)을 설치하여서 수직 운동을 하게 하는 것을 특징으로 하는 인지 및 구별 장치.
  6. 제5항에 있어서, 한 개의 칼럼(24)에 매거진(29)을 수직 운동하게 하는 엘리베이터 드라이브(elevator drive)를 설치하고, 한 쌍의 칼럼이 프레임(22)의 캐리어 역할을 하도록 하고, 이 칼럼(23, 24)이 공기 통로 구멍을 형성하여 적당한 간격으로 서로 마주보게 배치되도록 하는 것을 특징으로 하는 인지 및 구별 장치.
  7. 매거진의 부채꼴 스포트와 그것에 놓인 원판형 물체의 인지 및 구별용 방법은 서로 마주보고 있는 측정 빔의 스포트와 물체의 정면을 통과하여 스포트와 물체가 공동으로 이동하게 됨으로서 마주보고 있는 칸의 방향에서 측정면으로 발생하게 되는 신호를 평가에 의하여 이루어지며, 측정면에서 이동 배치에 의해서 여러 종류의 스포트를 측정 빔에 대하여 수직 방향으로 구별되는 것을 특징으로 하는 인지 및 구별용 방법에 있어서, 모든 측정 빔(11, 12)의 신호는 스포트(1, 2) 중의 하나에만 비추게 되고, 측정면(E-E)에서 연장되어 있는 스포트의 정면은 측정 빔에 전부 속하게 되고 동시에 그리고 서로 관련지어서 평가되는 것을 특징으로 하는 인지 및 구별 방법.
KR1019980034638A 1997-11-27 1998-08-26 매거진의 부채꼴 스포트와 그것에 놓인 원판형 물체의 인지 및구별용 장치와 방법 KR100263334B1 (ko)

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DE19752510.5 1997-11-27
DE19752510A DE19752510B4 (de) 1997-11-27 1997-11-27 Einrichtung und Verfahren zur Erkennung und Unterscheidung geometrisch verschiedener Arten von fächerbildenden Auflagen in Kassetten und darauf abgelegten scheibenförmigen Objekten

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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW469483B (en) * 1999-04-19 2001-12-21 Applied Materials Inc Method and apparatus for aligning a cassette
CN1191215C (zh) * 2000-08-18 2005-03-02 三菱化学株式会社 生产苯乙烯的方法
US6822413B2 (en) * 2002-03-20 2004-11-23 Fsi International, Inc. Systems and methods incorporating an end effector with a rotatable and/or pivotable body and/or an optical sensor having a light path that extends along a length of the end effector
US6984839B2 (en) * 2002-11-22 2006-01-10 Tdk Corporation Wafer processing apparatus capable of mapping wafers
WO2008147379A1 (en) * 2006-09-14 2008-12-04 Brooks Automation Inc. Carrier gas system and coupling substrate carrier to a loadport
US9105673B2 (en) * 2007-05-09 2015-08-11 Brooks Automation, Inc. Side opening unified pod
DE102007029308A1 (de) * 2007-06-22 2008-12-24 Bellheimer Metallwerk Gmbh Automatisches Handling von Mehrfachlagergutträgern
KR101973674B1 (ko) 2018-02-01 2019-04-29 엘지전자 주식회사 측면 진동 모드가 저감된 왕복동식 압축기
US10867824B2 (en) 2018-05-29 2020-12-15 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Substrate detecting system in a substrate storage container
CN112670216A (zh) * 2020-12-30 2021-04-16 芯钛科半导体设备(上海)有限公司 一种用于自动识别晶圆盒中物件的装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1045585A (en) * 1962-06-08 1966-10-12 Autographic Business Forms Improvements in or relating to identification cards
US3549890A (en) * 1969-01-16 1970-12-22 Emhart Corp Article inspection apparatus
SE405214B (sv) * 1977-08-24 1978-11-27 Hugin Kassaregister Ab Apparat for identifiering och registrering av flaskor
GB9110570D0 (en) * 1991-05-16 1991-07-03 Cruickshank John S Measuring,inspection and comparative analysis apparatus for moving object profiles
US5387067A (en) * 1993-01-14 1995-02-07 Applied Materials, Inc. Direct load/unload semiconductor wafer cassette apparatus and transfer system
US5605428A (en) * 1993-03-05 1997-02-25 Jenoptik Gmbh Device for indexing magazine compartments and wafer-shaped objects in the compartments
DE19535871C2 (de) * 1995-09-27 2000-02-10 Jenoptik Jena Gmbh Indexer für Magazinfächer eines Magazins und darin enthaltene scheibenförmige Objekte

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