CN114379830B - 一种晶舟盒内晶圆位置检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种晶舟盒内晶圆位置检测装置，包括处理单元和输送带，所述输送带上依次设置有合盖位和后拍照位，所述输送带上方对应合盖位设置有合盖机械臂，所述输送带上方对应后拍照位设置有后拍照机械臂；所述后拍照机械臂包括可上下伸缩的第三伸缩架和设置在第三伸缩架上的后拍照机组，所述后拍照机组包括从前方、后方、左方、右方和上方分别对到达后拍照位的晶舟盒拍照的五个相机；通过后拍照机组对盖上盒盖的盒体进行拍照，分辨晶舟盒的盒盖是否盖好、晶舟盒内的晶圆的位置是否正确，若一旦有位置错误，则报警提醒人工介入处理，防止晶圆由于位置错位而导致的后续运输过程中出现晶圆破裂等问题。

Description

一种晶舟盒内晶圆位置检测装置

技术领域

本发明属于晶圆在晶舟盒内的位置检测技术领域，具体涉及一种晶舟盒内晶圆位置检测装置。

背景技术

在半导体大规模集成电路后端测试过程中，需要对大量无图形晶圆进行检测或缺陷复检，在不同工艺站点之间转移晶圆的过程中，通常会将同种类型的多个晶圆放在晶舟盒中进行转移。晶舟盒包括盒体和与之配套的盒盖，在晶圆检测完成后，需要将晶舟盒的盒体盖上盒盖之后入库存放。目前晶圆测试完成后盖盒盖的动作由人员手动完成，即由人员手拿晶舟盒的盒盖盖在盒体上，由于人员操作的不准确性，在盖盒盖的过程中极易发生晶圆在晶舟盒内位置错位；若晶圆错位，在后续的运输过程中会造成晶圆在晶舟盒内移动，从而导致晶圆出现破片等风险。目前人工盖完盒盖后，虽然也会进行目视检查，但由于需要透过晶舟盒检查晶圆位置，人员很难在第一时间发现错位后的晶圆，目视检查难度较大，且人工盖盒盖的效率有待提高。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术的不足而提供一种通过拍照自动判断盖上盒盖的晶舟盒的盒体内的晶圆是否处于正确位置的晶舟盒内晶圆位置检测装置。

本发明的技术方案如下：

一种晶舟盒内晶圆位置检测装置，包括处理单元和输送带，所述输送带上依次设置有合盖位和后拍照位，所述输送带上方对应合盖位设置有合盖机械臂，所述输送带上方对应后拍照位设置有后拍照机械臂；

所述合盖机械臂包括可上下伸缩的第二伸缩架和设置在第二伸缩架上的盖转移手、盖拧紧手，所述盖转移手用于拿取盒盖并盖在处于合盖位的晶舟盒的盒体上，所述盖拧紧手用于拧动盒盖上的旋钮，将盒盖固定在盒体上；

所述后拍照机械臂包括可上下伸缩的第三伸缩架和设置在第三伸缩架上的后拍照机组，所述后拍照机组包括从前方、后方、左方、右方和上方分别对到达后拍照位的晶舟盒拍照的五个相机；

所述处理单元用于处理来自所述后拍照机组的图像信息，所述处理单元比较晶圆顶部与盒盖内槽的契合度，若晶圆与盒盖内槽的契合度不满足预设条件，则发出第二报警信号。

进一步的，晶圆顶部与盒盖内槽的契合度的比较步骤包括：

识别盒盖内槽的位置；

识别每个盒盖内槽中是否有晶圆；

若第N个盒盖内槽中无晶圆，表明第N个晶圆斜放，发出第二报警信号，同时输出显示异常的照片。

进一步的，所述第二伸缩架包括第四伸缩臂和转动连接在所述第四伸缩臂下端的转动臂，所述盖转移手、盖拧紧手安装在所述转动臂上。

进一步的，所述输送带上设置有位于合盖位前方的前拍照位，所述输送带的上方对应前拍照位设置有前拍照机械臂；

所述前拍照机械臂包括可上下伸缩的第一伸缩架和设置在第一伸缩架上的前拍照机组，所述前拍照机组包括用于对达到前拍照位的晶舟盒进行前后左右四个方向拍照的四个相机；

所述处理单元用于处理来自所述前拍照机组的图像信息，所述处理单元比较晶圆左右两侧与盒体卡槽的契合度，若盒体卡槽与晶圆的契合度不满足预设条件，则发出第一报警信号。

进一步的，晶圆左右两侧与盒体卡槽契合度的比较步骤包括：

识别盒体左右两侧卡槽的位置；

识别每侧的卡槽内是否有晶圆；

若第M行两侧的卡槽中仅有一侧有晶圆，表明第M个晶圆斜放，发出第一报警信号，同时输出显示异常的照片。

进一步的，所述前拍照位的左右两侧设置有转盒机构，所述转盒机构包括可抵紧在盒体左右两侧的夹块和用于驱动所述夹块绕其中心旋转的旋转装置；

在所述盒体到达所述前拍照位后，转盒机构先转动盒体将其平放在输送带上，之后前拍照机组对此时盒体的前后左右进行拍照，最后转盒机构再将盒体扶正。

进一步的，所述转盒机构还包括相对设置在所述前拍照位左右两侧的滑轨、与所述滑轨适配的滑块和用于左右移动所述滑块的动块装置，所述旋转装置固定安装在所述滑块上；

所述前拍照机组的相机拍照时，所述动块装置将所述滑块向两侧拉动以对所述前拍照机组的相机让位。

进一步的，所述晶舟盒内晶圆位置检测装置还包括与所述盒体适配的挡板，所述挡板包括由透明材质制成的封口板和转动设置在所述封口板左右两侧的卡板，所述卡板包括卡板本体、设置在卡板本体下端的可卡扣在所述盒体上端边沿的下卡部、设置在所述卡板本体上端的推板部；

所述输送带上设置有位于前拍照位前方的上板位、位于前拍照位与合盖位之间的下板位，所述输送带上方分别设置有与所述上板位对应的上板机械手和与所述下板位对应的下板机械手，所述上板机械手用于将所述挡板盖合在盒体上，所述下板机械手用于将所述挡板从盒体上取下，所述上板机械手包括第一伸缩臂，所述下板机械手包括第二伸缩臂，所述第一伸缩臂和第二伸缩臂的下端均设置有弄板组件；

所述弄板组件包括横架、安装在所述横架上的用于拿取挡板的拿板手、用于推动所述推板部的推动装置和连接在所述推动装置推动端的拨动槽。

进一步的，所述前拍照位处设置有到位感知装置，盒体运动到前拍照位时被到位感知装置感知，并触发输送带的动作依照预设的程序暂停。

进一步的，所述输送带上设置有位于后拍照位后方的贴标位，所述输送带的上方设置有与所述贴标位对应的打标贴标装置，所述打标贴标装置包括用于根据晶舟盒内的货物批次信息打印标签的打印机和用于将打印机打出的标签贴在盒盖指定位置的贴标机械手。

本发明的工作原理是，通过机械手替代人工盖上晶舟盒的盒盖，并在盖盒盖后通过相机拍照并通过比较照片判断盖上盒盖后的晶舟盒内的晶圆是否错位。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明通过合盖机械臂为晶舟盒的盒体盖上盒盖，保证了每次盖盒盖的时候位置、力度的统一，降低了人员的劳动强度；通过将盖上盒盖的盒体五向拍照，并通过处理单元解析照片进行比较，自动判定晶舟盒内晶圆的位置，可判断出盖上盒盖的盒体内的晶圆的位置是否正确，若判断位置不正确可及时的发出警报进行提醒，防止内装有错位晶圆的晶舟盒进入下一环节，有效的避免了运输过程中晶圆破损的情况发生。

附图说明

图1为本发明实施例的结构示意图。

图2为本发明实施例挡板挡在盒体开口处时的结构示意图。

图3为本发明实施例的挡板脱离盒体开口时的动作示意图。

图4为本发明实施例的转动盒体时的转盒机构的位置示意图。

图5为本发明实施例的后拍照机组拍照时的转盒机构的位置示意图。

图6为本发明实施例的比较晶圆左右两侧与盒体卡槽契合度时的原理说明图。

图7为本发明实施例的比较晶圆顶部与盒盖内槽的契合度时的原理说明图。

图中，第一伸缩臂1、横架11、拿板手12、封口板13、卡板14、下卡部141、支撑部142、推板部143、拨动槽144、推动装置15；

前拍照机械臂2、相机21、到位感知装置22、滑轨23、滑块24、旋转装置25、夹块26；

第二伸缩臂3；第二伸缩架4、盖转移手41、盖拧紧手42、动部43；第三伸缩架5、上方相机51；贴标机械手6；盒体10、输送带18、盒盖19。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1至图5所示，本发明的技术方案如下：

一种晶舟盒内晶圆位置检测装置，包括与所述盒体10适配的挡板、处理单元和输送带18，所述输送带18上依次设置有上板位、前拍照位、下板位、合盖位、后拍照位和贴标位；

所述输送带18上方设置有分别与所述上板位、前拍照位、下板位、合盖位和贴标位对应的上板机械手、前拍照机械臂2、下板机械手、合盖机械臂、后拍照机械臂和打标贴标装置；同时在拍照位还设置有转盒机构；

所述上板机械手用于将所述挡板盖合在盒体10上，防止盒体10内的晶圆在下一工位旋转时滑出；所述转盒机构用于将盒体10旋转，使其平放在输送带18上；所述前拍照机械臂2用于对平放的盒体10进行前后左右四向的拍照；所述下板机械手用于将所述挡板从盒体10上取下，为之后在盒体10上盖盒盖19做出准备；所述盒盖机械臂用于逐个为盒体10盖上盒盖19、并旋拧盒盖19上的旋钮，将盒盖19固定在盒体10上；所述打标贴标装置用于将晶舟盒内晶圆正常放置的晶舟盒的盒盖19上贴上包括货物批次信息等的标签；

所述处理单元用于解析来自所述前拍照机组和后拍照机组的图像信息，根据前拍照机组的图像比较所述处理单元比较晶圆左右两侧与盒体10卡槽的契合度，若盒体10卡槽与晶圆的契合度不满足预设条件，则发出第一报警信号；根据后拍照机组的图像信息比较晶圆顶部与盒盖19内槽的契合度，若晶圆与盒盖19内槽的契合度不满足预设条件，则发出第二报警信号；第一报警信号和第二报警信号的发送可触发下一步动作，如通过另外设置的机械手将引发报警的盒体10从输送带18上移出，放置在待检位，等待工作人员来对错位的晶圆进行调整；

本发明的工作过程为：装满晶圆的晶舟盒的盒体10在输送带18上输送，在达到各个工艺位时进行不同的动作，具体的，在上板位通过上板机械手将挡板盖在盒体10上，防止晶圆意外滑出，挡板为透明亚克力材质，不会影响相机21的拍照；在前拍照位，由于晶圆很薄，在晶圆插在盒体10的卡槽内的时候，晶圆仍然可以在卡槽内晃动，两个晶圆的上端非常容易贴在一起、出现局部的重叠现象，造成图像识别的难度增大，因此，先通过转盒机构将盒体10平放，使其开口朝向前方或后方，从而原本两片晶圆顶端接触的部分会由于重力的原因而分开，使得每一片晶圆独立，之后前拍照机械臂2下降至盒体10的位置处，对盖有挡板的盒体10前后左右方向进行拍照，之后再将拍完照的盒体10摆正复位；在下板位，通过下板机械手将已经完成使命的挡板从盒体10上取下来；在合盖位，通过合盖机械臂在盒体10上盖上盒盖19；在后拍照位，通过后拍照机械臂为盖有盒盖19的盒体10进行前后左右和上方的拍照；若处理单元根据前拍照位和后拍照位获取的图像均经所述处理单元判断晶圆的位置正确，则在贴标位在盒盖19上贴上相应的标签；之后贴有标签的晶舟盒可以进行入库等操作。

进一步的，如图1至图3所示，所述挡板包括由透明材质制成的封口板13和转动设置在所述封口板13左右两侧的卡板14，所述卡板14包括卡板本体、设置在卡板本体下端的可卡扣在所述盒体10上端边沿的下卡部141、设置在所述卡板本体上端的推板部143、和设置在卡板本体中部且位于下卡部141与推板部143之间的作为铰接支点的支撑部142；支撑部142与封口板13平行，从而支撑部142与下卡部141之间形成直角，在下卡部141转动至卡在盒体10上端边缘时，封口板13的左右两侧边不与下卡部141接触，防止封口板13对下卡部141最终角度的影响；

所述上板机械手包括第一伸缩臂1，所述下板机械手包括第二伸缩臂3，所述第一伸缩臂1和第二伸缩臂3的下端均设置有弄板组件；所述弄板组件包括横架11、安装在所述横架11上的用于拿取挡板的拿板手12、用于推动所述推板部143的推动装置15、和连接在所述推动装置15推动端的拨动槽144，所述拨动槽144的前后宽度大于所述推板部143的厚度，且拨动槽144的上下贯通，以便于所述推板部143进入到所述拨动槽144内，随着拨动槽144的前后移动，拨动槽144的前后槽壁前后推动推板部143，实现下卡部141到达卡在盒体10上端边沿的位置或张开；所述拿板手12可采用真空吸盘或夹具，只要能将封口板13拿起即可，所述推动装置15可采用保持式电磁铁、带有凸轮的电机或电动推杆，只要能改变长度，实现将推板部143向封口板13的中心推动即可；

以推动装置15为电动推杆为例，盖封口板13时，通过其他的送板机构将封口板13送到上板位的横架11下方，封口板13被拿板手12拿住后，送板机构回收，为横架11的下移让位，此时下卡部141自然的是处于垂直姿态，推板部143进入到拨动槽144中，电动推杆伸长，拨动槽144推动卡板14张开，横架11下降，直至封口板13盖在盒体10的开口上，电动推杆回收，将卡板14收拢，使下卡部141卡在盒体10的上端边沿处，之后横架11上升，拨动槽144放开卡板14，输送带18继续输送，将盖好封口板13的盒体10运送到前拍照位；在晶舟盒放倒、四向拍过照后，并回正后，输送带18继续将其运送到下板位；在下板位，下板机械手的横架11下降，拿板手12拿住封口板13、推板部143进入到拨动槽144中，电动推杆伸长使得卡板14张开，将封口板13从盒体10上端松开，横架11上升，拿板手12拿着封口板13上升并放在伸入到横架11下方的另外的用于回收封口板13的回收机构；拿掉封口板13的盒体10继续运动到下一个工艺位。

进一步的，如图1所示，所述前拍照机械臂2包括可上下伸缩的第一伸缩架和设置在第一伸缩架上的前拍照机组，所述前拍照机组包括用于对达到前拍照位的盒体10进行前后左右四个方向拍照的四个相机21，优选的，四个所述相机21通过可活动、且可锁定位置的相架设置在第一伸缩架上，相机21的位置可变换，从而便于相机21调整至合适的距离，相架包括固定设置在第一伸缩架下端的横板和纵杆，横板水平设置且纵杆向下竖直设置在横板上，相机21安装在所述纵杆的下端，所述纵杆的上端设置有用于安装在横板上的辅助座；在一个实施例中，所述横板上设置有若干固定孔，在辅助座上设置有母孔，可通过一个或多个螺纹贯穿固定孔和母孔的螺栓来调整纵杆在横板上的安装位置，实现相机21位置的调整；在另一个实施例中，所述横板上水平设置有导向轨，所述辅助座与所述导向轨滑动连接且所述辅助座上设置有可抵紧在所述导向轨或横板上的锁紧螺栓，通过在导向轨上滑动辅助座至不同的位置并通过锁紧螺栓锁定来进行相机21位置的调整；

若处理单元解析前拍照机组拍摄的照片后，判断有晶圆位置错误，则在发出警报的同时通过另外的移出机构将该带有错位晶圆的盒体10从输送带18上拿掉，待人工将错位的晶圆放回正确位置后，再放到输送带18上重新开始；此举能够有效防止将盒盖19盖在错位的晶圆上，防止将晶圆压破，造成损失。

进一步的，如图1至图3所示，所述转盒机构包括相对设置在所述前拍照位左右两侧的滑轨23、与所述滑轨23适配的滑块24、用于左右移动所述滑块24的动块装置、设置在滑块24上的旋转装置25、设置在旋转装置25的旋转端且可抵紧在盒体10左右两侧壁上的夹块26、以及用于驱动所述夹块26绕其中心旋转的旋转装置25；

所述合盖机械臂包括可上下伸缩的第二伸缩架4和盖转移手41、盖拧紧手42，第二伸缩架4包括可伸缩的根部和动部43，动部43可相对于第二伸缩架4的根部滑动或转动，以便于实现从设置在输送带18一侧的另外的盒盖存放位上拿取盒盖19，盖转移手41和盖拧紧手42设置在动部43的活动端，被动部43带动改变位置；所述盖转移手41用于拿取盒盖19并盖在处于合盖位的盒体10上，所述盖拧紧手42用于拧动盒盖19上的旋钮，将盒盖19固定在盒体10上；

所述后拍照机械臂包括可上下伸缩的第三伸缩架5和设置在第三伸缩架5上的后拍照机组，所述后拍照机组包括从前方、后方、左方、右方和上方分别对到达后拍照位的晶舟盒拍照的五个相机21；盖拧紧手42可使用小型旋转气缸，在小型旋转气缸的旋转端设置有与盒盖19的旋钮对应的卡手，卡手伸到旋转位置后，小型旋转气缸转动，将盒盖19锁在盒体10上；需要说明的是，盒体10和盒盖19均为现有技术，本实施例中以12寸的晶舟盒为例进行说明，在盒体10内、盒盖19内分别设置有用于定位晶圆的卡槽和盒盖19内槽，在晶舟盒的盒盖19上设置有两个旋钮，每个旋钮的两侧连动有两个插片，在拧动旋钮后，插片可以插到晶舟盒上部对应的插槽内实现将盒盖19锁在晶舟盒上；

在所述盒体10到达所述前拍照位后，输送带18暂停，转盒机构先转动盒体10将其平放在输送带18上，之后滑块24带动旋转装置25回退，为前拍照机组让位，前拍照机组下降为平放的盖有封口板13的盒体10拍照，拍照完成后，动块装置驱动滑块24相互靠近，左右两个夹块26夹住盒体10将其扶正，之后夹块26松开盒体10，输送带18重启运动，带动盒体10到下一个工艺位。

进一步的，如图1所示，所述后拍照机械臂包括可上下伸缩的第三伸缩架5和设置在第三伸缩架5上的后拍照机组，所述后拍照机组包括从前方、后方、左方、右方和上方分别对到达后拍照位的晶舟盒拍照的五个相机21，五个相机21依照预定的位置安装在第三伸缩架5上；后拍照机组相比与前拍照机组多一个位于后拍照位正上方的上方相机51，其他的结构类似，不再赘述。

进一步的，如图1所示，所述打标贴标装置包括用于根据晶舟盒内的货物批次信息打印标签的打印机和用于将打印机打出的标签贴在盒盖19指定位置的贴标机械手6；在晶圆表面刻有刻号，在之前拍照的过程中，系统同时识别晶圆的刻号，内装有正确位置晶圆的晶舟盒在运送到贴标位后，处理单元同时从生产系统获取批号，并将晶圆物料的批次信息等通过打印机打印成标签，然后通过贴标机械手6贴在盒盖19的指定位置处，有效防止人员漏失以及标签打印错误和粘贴错误；随后系统分配库位，对贴好标的晶舟盒进行入库。

进一步的，处理单元处理来自前拍照机组的图像的过程中，晶圆左右两侧与盒体10卡槽契合度的比较步骤包括：

识别盒体10左右两侧卡槽的位置；

识别盒体10每侧的卡槽内是否有晶圆；

若第M行两侧的卡槽中仅有一侧有晶圆，表明第M个晶圆斜放，发出第一报警信号，同时输出显示异常的照片；

如图6所示，在图6的左右两侧示意性的画出了盒体10内的卡槽，此时识别出左侧的卡槽中第1位、第2位、第3位、第4位，以及右侧的卡槽中第1位、第2位、第4位中有晶圆，由于左右两侧内插有晶圆的卡槽的位置不能完全对应，则可判断出有晶圆错位；由于一侧的第3位卡槽缺失晶圆，则可判断出第3位的卡槽中晶圆错位；处理单元发出第一报警信号后，同时在系统的显示屏上显示出现错误的晶舟盒的照片，以便于工作人员查看。

进一步的，处理单元处理来自后拍照机组的图像的过程中，晶圆顶部与盒盖19内槽的契合度的比较步骤包括：

识别盒盖19内槽的位置；

识别每个晶圆最高点距离盒盖19内槽的距离；

若第K个晶圆最高点距离盒盖19内槽的距离超出预设值范围，则表明第K个晶圆斜放，发出第二报警信号，同时输出显示异常的照片；

如图7所示，为了便于说明，在图7中标出了晶圆最高点距离盒盖19内槽的距离△H，这个△H可以是距离盒盖19内槽顶端的距离、或是距离盒盖19内槽下端的距离，图7中的△H是晶圆最高点距离盒盖19内槽顶端的距离，若晶圆斜放，则发生斜放的晶圆顶端距离盒盖19内槽的距离△H会明显的发生变化，以此来判断晶圆发生了斜放、或是盒盖19没有盖好，进而发出警报；盒盖19没有盖好的情况是指，晶舟盒的盒盖19的插片没有插入到盒体10顶部的插槽中，即盒盖19没有锁好，这种情况下盒盖19也会歪斜，因而也会影响到△H的距离。

进一步的，处理单元处理来自后拍照机组的图像的过程中，晶圆顶部与盒盖19内槽的契合度的比较步骤包括：

识别盒盖19内槽的位置；

识别每个盒盖19内槽中是否有晶圆；

若第N个盒盖19内槽中无晶圆，表明第N个晶圆斜放，发出第二报警信号，同时输出显示异常的照片；

如图7所示，在图7中的盒盖19内槽的第1位和第4位没有晶圆，若处理单元根据后拍照机组的图像判断出盒盖19内槽的第1位和第4位没有晶圆，则说明这两个槽位的晶圆顶部错位，发出报警信号。

本发明提供的一种晶舟盒内晶圆位置检测装置，通过前拍照机组拍照，分辨盒体10内晶圆的错位情况，若发生错位则不会再继续对该错位的盒体10进行后续的盖盒盖19操作，有效防止了由于强制盖盒盖19导致的晶圆损坏；通过后拍照机组对盖上盒盖19的盒体10进行拍照，分辨盖上盒盖19后的晶舟盒的盒盖19是否盖好、晶圆的位置是否正确，若一旦有位置错误，则可以报警进行提醒人工介入进行处理，防止晶圆由于位置错位而导致的后续运输过程中出现晶圆破裂等问题；在前拍照机组和后拍照机组检测后没有问题的晶舟盒会在系统中触发标签打印，为运动到贴标位的晶舟盒的盒盖19上贴上标签，防止人员漏失以及标签打印错误和粘贴错误；本发明能够对晶舟盒内的晶圆位置进行检查，有效防止因晶圆错位或盒盖19没盖好而运输造成的晶圆破损、标签异常等质量事故。

尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种晶舟盒内晶圆位置检测装置，其特征在于：包括处理单元、输送带和与盒体适配的挡板，所述输送带上依次设置有上板位、前拍照位、下板位、合盖位和后拍照位，所述输送带上方对应上板位、前拍照位、下板位、合盖位和后拍照位分别设置有上板机械手、前拍照机械臂、下板机械手、合盖机械臂和后拍照机械臂；

所述挡板包括由透明材质制成的封口板和转动设置在所述封口板左右两侧的卡板，所述卡板包括卡板本体、设置在卡板本体下端的可卡扣在所述盒体上端边沿的下卡部和设置在所述卡板本体上端的推板部；

所述上板机械手用于将所述挡板盖合在盒体上，所述下板机械手用于将所述挡板从盒体上取下，所述上板机械手包括第一伸缩臂，所述下板机械手包括第二伸缩臂，所述第一伸缩臂和第二伸缩臂的下端均设置有弄板组件；所述弄板组件包括横架、安装在所述横架上的用于拿取挡板的拿板手、用于推动所述推板部的推动装置和连接在所述推动装置推动端的拨动槽；

所述前拍照机械臂包括可上下伸缩的第一伸缩架和设置在第一伸缩架上的前拍照机组，所述前拍照机组包括用于对达到前拍照位的盒体进行前后左右四个方向拍照的四个相机；

所述前拍照位的左右两侧设置有转盒机构，所述转盒机构包括可抵紧在盒体左右侧壁上的夹块和用于驱动所述夹块旋转的旋转装置；在所述盒体到达所述前拍照位后，转盒机构先转动盒体将其平放在输送带上，之后前拍照机组对此时盒体的前后左右进行拍照，最后转盒机构再将盒体扶正；

所述合盖机械臂包括可上下伸缩的第二伸缩架和设置在第二伸缩架上的盖转移手、盖拧紧手，所述盖转移手用于拿取盒盖并盖在处于合盖位的晶舟盒的盒体上，所述盖拧紧手用于拧动盒盖上的旋钮，将盒盖固定在盒体上；

所述后拍照机械臂包括可上下伸缩的第三伸缩架和设置在第三伸缩架上的后拍照机组，所述后拍照机组包括从前方、后方、左方、右方和上方分别对到达后拍照位的晶舟盒拍照的五个相机；

所述处理单元用于处理来自所述前拍照机组和后拍照机组的图像信息，所述处理单元比较晶圆左右两侧与盒体卡槽的契合度，若盒体卡槽与晶圆的契合度不满足预设条件，则发出第一报警信号；所述处理单元比较晶圆顶部与盒盖内槽的契合度，若晶圆与盒盖内槽的契合度不满足预设条件，则发出第二报警信号。

2.根据权利要求1所述的晶舟盒内晶圆位置检测装置，其特征在于：晶圆顶部与盒盖内槽的契合度的比较步骤包括：

识别盒盖内槽的位置；

识别每个晶圆最高点距离盒盖内槽的距离；

若第K个晶圆最高点距离盒盖内槽的距离超出预设值范围，则表明第K个晶圆斜放，发出第二报警信号。

3.根据权利要求1所述的晶舟盒内晶圆位置检测装置，其特征在于：所述第二伸缩架包括第三 伸缩臂和转动连接在所述第三 伸缩臂下端的转动臂，所述盖转移手、盖拧紧手安装在所述转动臂上。

4.根据权利要求1所述的晶舟盒内晶圆位置检测装置，其特征在于：晶圆左右两侧与盒体卡槽契合度的比较步骤包括：

识别盒体左右两侧卡槽的位置；

识别每侧的卡槽内是否有晶圆；

若第M行两侧的卡槽中仅有一侧有晶圆，表明第M个晶圆斜放，发出第一报警信号。

5.根据权利要求1所述的晶舟盒内晶圆位置检测装置，其特征在于：所述转盒机构还包括相对设置在所述前拍照位左右两侧的滑轨、与所述滑轨适配的滑块和用于左右移动所述滑块的动块装置，所述旋转装置固定安装在所述滑块上；

所述前拍照机组的相机拍照时，所述动块装置将所述滑块向两侧拉动以对所述前拍照机组的相机让位。

6.根据权利要求1所述的晶舟盒内晶圆位置检测装置，其特征在于：所述前拍照位处设置有到位感知装置，盒体运动到前拍照位时被到位感知装置感知，并触发输送带的动作依照预设的程序暂停。

7.根据权利要求1至6任一项所述的晶舟盒内晶圆位置检测装置，其特征在于：所述输送带上设置有位于后拍照位后方的贴标位，所述输送带的上方设置有与所述贴标位对应的打标贴标装置，所述打标贴标装置包括用于根据晶舟盒内的货物批次信息打印标签的打印机和用于将打印机打出的标签贴在盒盖指定位置的贴标机械手。

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