CN215086040U - 一种防止测试载板结霜的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种防止测试载板结霜的装置,包括注气管路,注气管路上方可拆卸连接有网状盒体,盒体上盖设有网状盒盖,盒体与盒盖围合成的空间内设置有干燥剂。本实用新型中主气管路将氮气送至测试载板底部,氮气将测试载板底部空气排出,同时氮气形成的气压防止外部空气在此进入,使测试载板底部保持干燥,达到防止测试载板结霜的目的,同时通过干燥剂实现对测试载板底部空间的干燥,进一步降低测试载板结霜的几率。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体测试设备维护技术领域,尤其涉及一种防止测试载板结霜的装置。
背景技术
目前测试工艺多呈现低温测试需求,对测试设备也提高了要求,现有的自动分选机测试低温作业时,由于环境温度低,测试载板底部器件容易结霜。
机台测试低温环境温度是零下45摄氏度,当测试载板底部有空气进入后,由于测试载板底部温度较低,空气中的水分就会在测试载板上结霜,此时机台需要升高温进行除霜,除霜完成后需要在降温,非常耗时,效率降低,也间接导致人员的效率损失,增加测试低温的成本。
实用新型内容
本实用新型目的在于提供一种防止测试载板结霜的装置,以解决低温测试时测试载板底部器件结霜的技术问题。
为实现上述目的,本实用新型的防止测试载板结霜的装置的具体技术方案如下:
一种防止测试载板结霜的装置,包括注气管路,所述注气管路上方可拆卸连接有网状盒体,所述盒体上盖设有网状盒盖,所述盒体与所述盒盖围合成的空间内设置有干燥剂。
优选的,所述注气管路包括两个总气管,所述总气管上连接有快速接头,两个所述总气管之间连通有至少两个分流管,所述分流管的邻近所述盒体的一侧沿所述分流管延伸方向排布有若干喷气嘴。
优选的,所述盒体底部设置有U形管夹,所述管夹的中部与所述盒体连接,所述总气管位于所述管夹的U形开口内,所述管夹的内侧与所述总气管外壁抵靠产生夹持力。
优选的,所述管夹的正对的两侧内壁上均设置有凸块。
优选的,所述干燥剂为球形颗粒状。
优选的,所述管夹的中部通过弹性块与所述盒体连接。
本实用新型的防止测试载板结霜的装置具有以下优点:主气管路将氮气送至测试载板底部,氮气将测试载板底部空气排出,同时氮气形成的气压防止外部空气在此进入,使测试载板底部保持干燥,达到防止测试载板结霜的目的,同时通过干燥剂实现对测试载板底部空间的干燥,进一步降低测试载板结霜的几率。
附图说明
图1为本实用新型的实施例1的结构示意图;
图2为本实用新型的注气管路的结构示意图;
图3为本实用新型的管夹的结构示意图;
图4为本实用新型的实施例2的结构示意图;
图中标记说明:1、盒盖;2、盒体;3、干燥剂;4、管夹;5、分流管;6、喷气嘴;7、快速接头;8、总气管;9、凸块;10、弹性块。
具体实施方式
为了更好地了解本实用新型的目的、结构及功能,下面结合附图,对本实用新型一种防止测试载板结霜的装置做进一步详细的描述。
实施例1
如图1-图3所示,包括注气管路,注气管路上方可拆卸连接有网状盒体2,盒体2上盖设有网状盒盖1,盒体2与盒盖1围合成的空间内设置有干燥剂3。
在机台测试低温产品时,机台的测试载板温度较低,与环境温度之间产生较大温差,环境中的水分遇冷容易在测试载板上结霜,在机台工作时需要将机台升温除霜后再降温,此过程需要耗费大量的时间,影响机台的正常使用,该防止结霜的装置在工作时,将装置安装在测试载板底部,注气管路连接氮气源,氮气通过注气管路送至盒体1内,经过干燥剂3对氮气除湿,干燥后的氮气包围测试载板并形成压强,外部空气中的水分在氮气压强作用下难以进入测试载板底部,使测试载板在低温下不容易结霜。
测试载板四周氮气如果分布不均,将会导致氮气对测试载板的包裹存在空隙,此时外部空气容易接触测试载板形成结霜,因此,注气管路包括两个总气管8,总气管8上连接有快速接头7,两个总气管8之间连通有至少两个分流管5,分流管5的邻近盒体2的一侧沿分流管5延伸方向排布有若干喷气嘴6,总气管8通过快速接头7连接氮气源,通过总气管8将氮气分流道各分流管5中,之后通过各分流管5上的喷气嘴6将氮气从测试载板底部多个位置喷出,使氮气有效包裹测试载板。
在防止结霜装置使用时,干燥剂3实现对氮气的干燥,同时可吸收泄漏进入测试载板底部的空气的水分,因此干燥剂3需定时更换,为使更换更加便捷,盒体2底部设置有U形管夹4,管夹4的中部与盒体2连接,总气管8位于管夹4的U形开口内,管夹4的内侧与总气管8外壁抵靠产生夹持力,管夹4的正对的两侧内壁上均设置有凸块9,通过U形管夹4夹住总气管8,可实现总气管8与盒体2之间的拆装,提高盒体2内部干燥剂3更换的便捷度,同时管夹4上的凸块9可防止管夹4夹持在总气管8上时发生脱落,提高盒体2安装的稳定性。
实施例2
如图4所示,实施例2的防止测试载板结霜的装置基于实施例1,区别在于干燥剂3为球形颗粒状,管夹4的中部通过弹性块10与盒体2连接。
该实施例中,由于干燥剂3放置在盒体2中,且氮气排出时直接吹向干燥剂3,当干燥剂3为球形颗粒状时,氮气吹向干燥剂3会使干燥剂3发生无序滚动,使氮气可以更好的穿透干燥剂3吹到测试载板上,同时干燥剂3滚动时与氮气或者空气充分接触,有助于干燥剂3对氮气或者空气进行干燥,同时通过球形干燥剂3的分流可使氮气更加均匀的流动到测试载板处,达到对测试载板更好的包裹效果,有效降低测试载板发生结霜的几率,球形干燥剂3在滚动时,容易引起盒体2振动,通过弹性块10可以达到减振降噪的效果。
可以理解,本实用新型是通过一些实施例进行描述的,本领域技术人员知悉的,在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下,可以对这些特征和实施例进行各种改变或等效替换。另外,在本实用新型的教导下,可以对这些特征和实施例进行修改以适应具体的情况及材料而不会脱离本实用新型的精神和范围。因此,本实用新型不受此处所公开的具体实施例的限制,所有落入本申请的权利要求范围内的实施例都属于本实用新型所保护的范围内。
Claims (6)
1.一种防止测试载板结霜的装置,其特征在于,包括注气管路,所述注气管路上方可拆卸连接有网状盒体(2),所述盒体(2)上盖设有网状盒盖(1),所述盒体(2)与所述盒盖(1)围合成的空间内设置有干燥剂(3)。
2.根据权利要求1所述的防止测试载板结霜的装置,其特征在于,所述注气管路包括两个总气管(8),所述总气管(8)上连接有快速接头(7),两个所述总气管(8)之间连通有至少两个分流管(5),所述分流管(5)的邻近所述盒体(2)的一侧沿所述分流管(5)延伸方向排布有若干喷气嘴(6)。
3.根据权利要求2所述的防止测试载板结霜的装置,其特征在于,所述盒体(2)底部设置有U形管夹(4),所述管夹(4)的中部与所述盒体(2)连接,所述总气管(8)位于所述管夹(4)的U形开口内,所述管夹(4)的内侧与所述总气管(8)外壁抵靠产生夹持力。
4.根据权利要求3所述的防止测试载板结霜的装置,其特征在于,所述管夹(4)的正对的两侧内壁上均设置有凸块(9)。
5.根据权利要求1所述的防止测试载板结霜的装置,其特征在于,所述干燥剂(3)为球形颗粒状。
6.根据权利要求3所述的防止测试载板结霜的装置,其特征在于,所述管夹(4)的中部通过弹性块(10)与所述盒体(2)连接。
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CN202120866185.XU CN215086040U (zh) | 2021-04-25 | 2021-04-25 | 一种防止测试载板结霜的装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114379830A (zh) * | 2022-03-23 | 2022-04-22 | 南京伟测半导体科技有限公司 | 一种晶舟盒内晶圆位置检测装置 |
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2021
- 2021-04-25 CN CN202120866185.XU patent/CN215086040U/zh active Active
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