JPH11186359A

JPH11186359A - 基板搬送装置およびレチクル

Info

Publication number: JPH11186359A
Application number: JP9353792A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Takiguchi; 浩志瀧口; Yutaka Endo; 豊遠藤
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1997-12-22
Filing date: 1997-12-22
Publication date: 1999-07-09

Abstract

(57)【要約】【課題】各種ミスが発生した場合でも余計な搬送工程
を回避する。【解決手段】基板１７を収納するケース１８と、基板
１７を用いて所定の処理を行う処理装置１６との間で基
板１７を搬送する基板搬送装置において、基板１７の端
面３８に、基板１７を識別する識別部３９を設け、この
識別部３９を読み取る読み取り部４０を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板を搬送する基
板搬送装置および当該基板搬送装置により搬送されるレ
チクルに関し、特に露光装置で使用される基板を搬送す
る際に用いて好適な基板搬送装置およびレチクルに関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体素子、例えば半導体ウエハ
（以下ウエハと称する）では、表面に形成される回路パ
ターンの微細化および高密度化が顕著に進んでいる。そ
のため、このウエハ上に回路パターンを製造するための
装置、特に露光装置に要求される各種性能は、年々高度
になっている。

【０００３】従来、この種の露光装置では、ウエハをス
テップ・アンド・リピート方式で移動させることにより
ウエハの複数の露光領域に順次パターンを投影転写する
いわゆるステッパーが主流となっている。そのため、特
に高解像度を必要とする縮小投影型露光装置では、パタ
ーンの原版となるレチクルを用いて、ウエハ上にパター
ンを縮小投影して焼き付けるために、レチクル上に異物
等が付着していると、製造された全チップが不良になる
という問題がある。

【０００４】従って、レチクルを露光装置に装着、また
は露光装置から取り出す際には、レチクルに一切手を触
れることなく全自動で搬送する装置が実用化され、多大
な効果をあげている。このような搬送装置は、例えば、
特開昭５７−６４９３０号公報に開示されている。ま
た、レチクルを収納するケースに関しても特開昭５８−
９５８１２号公報で開示されている。

【０００５】一方、上述したように、一つの半導体デバ
イスを完成させるには、一枚のウエハに対してレチクル
を交換しながらパターンの焼き付けを行う工程を通常数
回〜数十回行っている。そのため、露光時に使用するレ
チクルが所定のものかを識別するために、レチクルのパ
ターン領域の外側に形成された識別マークを読み取った
り、レチクルを収納するケースの外面に識別マークを設
けて、使用するレチクルを識別できるような工夫がなさ
れている。

【０００６】図８および図９に、従来技術によるレチク
ル搬送装置の一例を示す。図８において、符号１は、露
光装置である。露光装置１は、露光装置本体２と、レチ
クル３を収納するレチクルケース４と、ケースホルダ５
と、レチクル搬送装置６と、制御装置７とから概略構成
されている。

【０００７】露光装置本体２は、露光光で照明されたレ
チクル３のパターンの像を投影光学系（図示せず）を介
して投影するものである。ケースホルダ５には、複数の
レチクルケース４が鉛直方向に並列状態に、且つ着脱自
在に保持されている。

【０００８】各レチクルケース４には、レチクル３が水
平方向に出し入れ自在に収納されている。また、図９に
示すように、各レチクルケース４の一端面には、レチク
ルケース４を識別するためのバーコード８が設けられて
いる。そして、各レチクル３の上面には、レチクル３を
識別するためのバーコード９が設けられている。

【０００９】レチクル搬送装置６は、鉛直方向に移動自
在な移動体１０と、移動体１０に対して水平方向に移動
自在なフォーク１１とを備えている。フォーク１１の上
面には、レチクル３の下面を真空吸着する吸着部１２が
設けられている。

【００１０】一方、レチクルケース４のバーコード８に
対向する側には、バーコード８を読み取るバーコードリ
ーダ１３が鉛直方向に移動自在に配設されている。ま
た、レチクル搬送装置６と露光装置本体２との間には、
レチクルケース４から引き出されて露光装置本体２へ搬
送されるレチクル３のバーコード９を読み取るバーコー
ドリーダ１４が設けられている。

【００１１】制御装置７には、露光装置本体２、レチク
ル搬送装置６およびバーコードリーダ１３，１４が制御
対象として接続されている。また、この制御装置７に
は、予めバーコード８，９に記されたレチクルケース４
およびレチクル３に関する情報が入力されている。

【００１２】上記の構成の露光装置では、まずバーコー
ドリーダ１３がレチクルケース４のバーコード８を読み
取る。次に、レチクル搬送装置６の移動体１０が、所定
のレチクル３に対応する位置に移動する。そして、フォ
ーク１１が、レチクル３の下面とレチクルケース４との
間に移動して、その吸着部１２がレチクル３の下面を真
空吸着する。

【００１３】吸着されたレチクル３は、レチクルケース
４から引き出された後に、露光装置本体２へ向けて搬送
される。そして、その途中、バーコードリーダ１４がレ
チクル３のバーコード９を読み取る。

【００１４】制御装置７は、バーコードリーダ１３，１
４が読み取った結果に基づいてレチクルケース４および
レチクル３を識別すると共に、予め入力されている情報
と照合する。この照合した結果が所定通りであれば、制
御装置７は、レチクル３の搬送を継続させ、所定通りで
なかった場合には、レチクル搬送装置６によるレチクル
３の搬送を停止させると共に警報を発するようになって
いる。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来のレチクル搬送装置には、以下のような問
題が存在する。従来、一つのレチクルケース４に対して
一枚のレチクル３を収納することが一般的であったもの
が、近年になって、一つのレチクルケース４に対して複
数枚のレチクル３を収納する方式が実用化されてきてい
る。

【００１６】この場合、レチクル３をレチクルケース４
に収納する際に作業者が誤ったり、上記予めバーコード
８，９に記されたレチクルケース４およびレチクル３に
関する情報を制御装置７に入力する際にミスを犯す可能
性がある。そして、レチクルケース４にバーコード８を
設け、レチクル３にバーコード９を設けていても、上記
ミスの発生は、レチクル３がレチクルケース４から取り
出されて露光装置本体２へ搬送される途中、そのバーコ
ード９をバーコードリーダ１４が読み取るまでは検出す
ることができなかった。

【００１７】本発明は、以上のような点を考慮してなさ
れたもので、各種ミスが発生した場合でも無駄な搬送行
程を回避できる基板搬送装置およびレチクルを提供する
ことを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、実施の形態を示す図１ないし図６に対応
付けした以下の構成を採用している。請求項１記載の基
板搬送装置は、基板（１７）を収納するケース（１８）
と、基板（１７）を用いて所定の処理を行う処理装置
（１６）との間で基板（１７）を搬送する基板搬送装置
において、基板（１７）の端面（３８）には、基板（１
７）を識別する識別部（３９）が設けられ、識別部（３
９）を読み取る読み取り部（４０）を設けたものであ
る。

【００１９】従って、本発明の基板搬送装置では、基板
（１７）をケース（１８）から取り出す前に、読み取り
部（４０）が基板（１７）の端面（３８）に設けられた
識別部（３９）を読み取って基板（１７）を識別するこ
とができる。そして、この基板搬送装置では、識別した
結果が所定通りであれば、基板（１７）に対して所定の
処理を行う処理装置（１６）へ搬送することができる。

【００２０】請求項２記載の基板搬送装置は、請求項１
記載の基板搬送装置において、読み取り部（４０）を、
基板（１７）の搬送を行う搬送部（２８）に設けたもの
である。

【００２１】従って、本発明の基板搬送装置では、搬送
部（２８）が基板（１７）を搬送する前に読み取り部が
基板（１７）の端面（３８）に設けられた識別部（３
９）を読み取って該基板（１７）を識別することができ
る。そのため、本発明の基板搬送装置では、読み取り部
（４０）が移動して基板（１７）の識別部（３９）を読
み取るための移動手段を別途設ける必要がない。

【００２２】請求項３記載の基板搬送装置は、請求項１
または２記載の基板搬送装置において、読み取り部（４
０）は、基板（１７）がケース（１８）に収納された状
態で識別部（３９）を読み取るものである。

【００２３】従って、本発明の基板搬送装置では、ケー
ス（１８）に収納された状態の基板（１７）を該ケース
（１８）から取り出す前に、読み取り部（４０）が基板
（１７）の端面（３８）に設けられた識別部（３９）を
読み取って該基板（１７）を識別することができる。そ
して、この基板搬送装置では、識別した結果が所定通り
であれば、基板（１７）に対して所定の処理を行う処理
装置（１６）へ搬送することができる。

【００２４】請求項４記載の基板搬送装置は、請求項１
から３のいずれかに記載の基板搬送装置において、読み
取り部（４０）の読み取り結果に応じて搬送を行うかど
うかを判断する判断装置（２１）を設けたものである。

【００２５】従って、本発明の基板搬送装置では、基板
（１７）を該ケース（１８）から取り出す前に、読み取
り部（４０）が基板（１７）の端面（３８）に設けられ
た識別部（３９）を読み取ることができる。そして、こ
の基板搬送装置では、読み取り部（４０）の読み取り結
果に応じて、判断装置（２１）が基板（１７）に対して
所定の処理を行う処理装置（１６）へ搬送するかどうか
を判断することができる。

【００２６】請求項５記載の基板搬送装置は、請求項１
から４のいずれかに記載の基板搬送装置において、ケー
ス（１８）が、鉛直方向に沿って基板（１７）を複数収
納し、ケース（１８）と読み取り部（４０）とを鉛直方
向に沿って相対移動させる移動装置（４２）を備えたも
のである。

【００２７】従って、本発明の基板搬送装置では、移動
装置（４２）が鉛直方向に沿って基板（１７）を複数収
納するケース（１８）と、読み取り部（４０）とを鉛直
方向に沿って相対移動させることができる。これによ
り、読み取り部（４０）は、所定の基板（１７）の識別
部（３９）を読み取れる位置に到達することができる。

【００２８】そして、この基板搬送装置では、基板（１
７）をケース（１８）から取り出す前に、読み取り部
（４０）が基板（１７）の端面（３８）に設けられた識
別部（３９）を読み取ることができると共に、識別部
（３９）を識別した結果が所定通りであれば、基板（１
７）に対して所定の処理を行う処理装置（１６）へ搬送
することができる。

【００２９】請求項６記載の基板搬送装置は、請求項１
から５のいずれかに記載の基板搬送装置において、ケー
ス（１８）が、ケース（１８）を識別するためのケース
識別部（３６）を有し、ケース識別部（３６）を読み取
るケース読み取り部（３７）を設けたものである。

【００３０】従って、本発明の基板搬送装置では、ケー
ス読み取り部（３７）がケース識別部（３６）を読み取
ることにより、ケース（１８）を識別するができる。そ
のため、この基板搬送装置では、ケース（１８）と該ケ
ース（１８）に収納されているべき基板（１７）の対応
関係を識別することができる。

【００３１】請求項７記載の基板搬送装置は、請求項１
から６のいずれかに記載の基板搬送装置において、ケー
ス（１８）が透明または半透明であるものである。

【００３２】従って、本発明の基板搬送装置では、基板
（１７）をケース（１８）から取り出す前に、ケース
（１８）に収納された基板（１７）の識別部（３９）
を、ケース（１８）を通して該ケース（１８）の外部か
ら読み取り部（４０）が読み取ることができる。そし
て、この基板搬送装置では、識別部（３９）を識別した
結果が所定通りであれば、基板（１７）に対して所定の
処理を行う処理装置（１６）へ搬送することができる。

【００３３】請求項８記載のレチクルは、パターンが形
成されたパターン面を有するレチクルであって、パター
ン面と直交する少なくとも一つの側面にレチクル（１
７）を識別する識別部（３９）を設けたものである。

【００３４】従って、本発明のレチクルでは、側面に設
けられた識別部（３９）を読み取ることにより、このレ
チクルに形成されたパターンを識別することができる。

【００３５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の基板搬送装置およ
びレチクルの実施の形態を、図１ないし図３を参照して
説明する。ここでは、例えば、搬送対象の基板をレチク
ルとする場合の例を用いて説明する。これらの図におい
て、従来例として示した図８および図９と同一の構成要
素には同一符号を付し、その説明を簡略化する。

【００３６】図２に、本発明に係るレチクル搬送装置を
備えた露光装置（ステッパー）１５の内部構造を示す。
ここに示される装置構成全体は、清浄な雰囲気状態に保
持されたチャンバ（図示せず）内に配設されている。な
お、この図において、矢印Ｘ、Ｙ、Ｚで示す方向をそれ
ぞれＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向（鉛直方向）として説明す
る。

【００３７】露光装置１５は、露光装置本体（処理装
置）１６と、露光時に使用されるレチクル（基板）１７
を収納するレチクルケース（ケース）１８と、ケースホ
ルダ５と、レチクル搬送装置（基板搬送装置）１９およ
び図１に示す制御装置（判断装置）２１とから概略構成
されている。

【００３８】図２に示すように、露光装置本体１６は、
図示しない照明光学系と、レチクル１７を搭載するレチ
クルステージ２４と、投影光学系２５と、ウエハ２６が
載置されるウエハステージ２７とから概略構成されてい
る。

【００３９】レチクルケース１８は、チャンバに設けら
れた開閉扉２０を開けることによりケースホルダ５に鉛
直方向に複数並列状態に、且つ着脱自在に保持される。
開閉扉２０の上端および下端近傍には、該開閉扉２０の
開閉状態を検知する開閉扉検知センサ２２，２３が設け
られている。

【００４０】レチクル搬送装置１９は、レチクルケース
１８と露光装置本体１６との間でレチクル１７を搬送す
るものであって、レチクル搬送部（搬送部）２８とキャ
リア２９とロード部３０とから構成されている。レチク
ル搬送部２８は、レチクル１７をレチクルケース１８に
対して搬入、搬出するものであって、Ｚ方向に移動自在
な移動体３１と、移動体３１にＹ方向に移動自在に取り
付けられるフォーク３２とから構成されている。また、
図１に示すように、フォーク３２の上面には、レチクル
１７の下面を真空吸着する吸着部１２が設けられてい
る。

【００４１】キャリア２９は、レチクル１７を受渡位置
ＣＡ１から位置ＣＡ２との間のＸ方向に移動自在とする
ものであって、その下面には真空吸着穴（図示せず）が
設けられている。また、キャリア２９には、レチクル１
７の四辺を基準に二方向から挟み込んで該レチクル１７
をプリアライメントする機構（図示せず）が設けられて
いる。

【００４２】ロード部３０は、Ｚ方向に移動自在とされ
る移動体３３と、移動体３３にＹ方向に移動自在に取り
付けられ位置ＣＡ２からレチクルステージ２４にレチク
ル１７を搬送するロードアーム３４およびレチクルステ
ージ２４から位置ＣＡ２にレチクル１７を搬送するアン
ロードアーム３５とから構成されている。ロードアーム
３４およびアンロードアーム３５は、Ｙ方向が位置ＣＡ
２とレチクルステージ２４との間を個別に移動可能であ
り、Ｚ方向が一体的に移動可能である。

【００４３】また、ロードアーム３４およびアンロード
アーム３５には、フォーク３２と同様に真空吸着穴（図
示せず）が設けられている。上記吸着部１２、真空吸着
穴は、真空のＯＮ、ＯＦＦによりレチクル１７の吸着保
持および解除が可能になっている。

【００４４】レチクルケース１８の開閉扉２０に対向す
る面には、レチクルケース１８を識別するためのバーコ
ード（ケース識別部）３６が設けられている。そして、
レチクルケース１８と開閉扉２０との間には、レチクル
ケース１８に対してＺ方向に相対移動自在なリーダ駆動
アーム４１が設けられている。リーダ駆動アーム４１に
は、バーコード３６を読み取るバーコードリーダ（ケー
ス読み取り部）３７が設けられている。

【００４５】一方、図２に示すように、レチクルケース
１８内には、レチクル１７が鉛直方向に沿って複数収納
されている。レチクル１７は、パターンが形成されたパ
ターン面を有するものである。そして、レチクル１７の
パターン面と直交する側面、即ちレチクル搬送部２８に
対向する端面３８には、レチクル１７を識別するための
バーコード（識別部）３９が設けられている。

【００４６】また、レチクルケース１８とレチクル搬送
部２８との間には、レチクルケース１８に対してＺ方向
に相対移動自在なリーダ駆動アーム（移動装置）４２が
設けられている。リーダ駆動アーム４２には、バーコー
ド３９を読み取るバーコードリーダ（読み取り部）４０
が設けられている。

【００４７】図３は、露光装置１５の構成を示すブロッ
ク図である。制御装置２１は、露光装置１５全体を制御
するものであり、特に、露光装置本体１６とレチクル搬
送部２８とバーコードリーダ３７，４０とを制御対象と
している。また、この制御装置２１には、予めバーコー
ド３６，３９に記されたレチクルケース１８およびレチ
クル１７に関する情報が入力されている。

【００４８】上記の構成の露光装置におけるレチクル搬
送装置およびレチクルの作用について以下に説明する。
まず、オペレータまたはロボット等が、露光時に使用さ
れるレチクル１７が収納されたレチクルケース１８をチ
ャンバの開閉扉２０を開けて、このレチクルケース１８
をケースホルダ５に複数装填する。

【００４９】この際、オペレータ等が開閉扉２０を閉じ
たとしても、開閉扉２０が多少たわんでいることもあ
る。このとき、開閉扉検知センサ２２，２３は、開閉扉
２０の上端および下端がたわみなく正しく閉じられてい
るかを検知して、閉じられていない場合は、例えば不図
示のＣＲＴにエラーメッセージを表示して警報を発す
る。

【００５０】次に、リーダ駆動アーム４１がレチクルケ
ース１８に対してＺ方向に相対移動する。このとき、リ
ーダ駆動アーム４１に設けられたバーコードリーダ３７
が、レチクルケース１８に設けられたバーコード３６を
順次読み取り、読み取った結果を制御装置２１へ送出す
る。

【００５１】制御装置２１は、予め入力されているレチ
クルケース１８に関する情報と、バーコードリーダ３７
が読み取った結果とを照合して、これらが合致していな
ければ警報を発する。照合結果が合致していた場合、制
御装置２１の制御によりレチクル搬送部２８の移動体３
１およびリーダ駆動アーム４２が、レチクル１７に対向
する所定位置へＺ方向に移動する。

【００５２】バーコードリーダ４０と対向するレチクル
ケース１８の面がオープンタイプの場合には、リーダ駆
動アーム４２に設けられたバーコードリーダ４０が、所
定のレチクル１７に設けられたバーコード３９を読み取
り、読み取った結果を制御装置２１へ送出する。バーコ
ードリーダ４０と対向するレチクルケース１８の面に扉
が形成されている場合には、不図示の扉開閉機構により
扉を開いた後、バーコードリーダ４０が所定のレチクル
１７に設けられたバーコード３９を読み取り、読み取っ
た結果を制御装置２１へ送出する。このとき、バーコー
ド３９は、レチクル１７の端面３８に設けられているの
で、バーコードリーダ４１は、レチクル１７がレチクル
ケース１８に収納されている状態でバーコード３９を読
み取ることができる。

【００５３】そして、制御装置２１は、予め入力されて
いるレチクル１７に関する情報と、バーコードリーダ４
０が読み取った結果とを照合して、これらが合致してい
なければレチクル１７の搬送を停止するように判断す
る。この結果、制御装置２１は、レチクル搬送部２８が
レチクル１７の搬送を行わないように制御すると共に、
例えば不図示のＣＲＴにエラーメッセージを表示して警
報を発する。

【００５４】照合結果が合致していれば、フォーク３２
が移動体３１に対してＹ方向に移動してレチクル１７の
下方に位置する。そして、移動体３１が上方へ若干移動
する。これにより、フォーク３２に設けられた吸着部１
２とレチクル１７の下面とが当接すると共に、吸着部１
２の真空吸着によりレチクル１７がフォーク３２に吸着
される。

【００５５】この後、フォーク３２が、レチクルケース
１８から離間する方向（−Ｙ方向）に移動することによ
り、レチクル１７がレチクルケース１８から引き出され
る。この状態で、移動体３１は、受渡位置ＣＡ１までＺ
方向に移動する。受渡位置ＣＡ１にて、吸着部１２の真
空吸着が解除されると共に、キャリア２９の真空吸着穴
からの真空吸着が作動することにより、レチクル１７は
レチクル搬送部２８からキャリア２９へ受け渡される。

【００５６】受け渡されたレチクル１７は、キャリア２
９により正確にプリアライメントされた後、キャリア２
９と共にロードアーム３４への受渡位置ＣＡ２へＸ方向
に移動する。このとき、レチクル１７は、キャリア２９
に堅固に真空吸着されているため、プリアライメント以
後の移動によるレチクル１７のＸＹ平面平面内の誤差が
殆どない機構となっている。

【００５７】ここで、ロードアーム３４は、退避位置よ
りＹ方向に前進し、位置ＣＡ２で待機するキャリア２９
の直下に移動した後、Ｚ方向に上昇する。そして、ロー
ドアーム３４は、プリアライメントされた状態のまま正
確にキャリア２９よりレチクル１７を真空吸着により受
け渡される。次に、ロードアーム３４は、レチクル１７
を真空吸着した状態でＹ方向に移動してレチクル１７を
レチクルステージ２４へ搬送する。

【００５８】そして、露光装置本体１６において、レチ
クルステージ２４上に載置されたレチクル１７は、照明
光学系による露光光で照明される。レチクル１７に形成
された原画パターンは、投影光学系２５を介してウエハ
ステージ２７上に載置されたウエハ２６に投影転写され
る。

【００５９】このレチクル１７を用いた露光が完了する
と、レチクル１７はアンロードアーム３５によってレチ
クルステージ２４から搬出される。そして、レチクル１
７は、上記と逆の手順によりレチクルケース１８内に収
納される。この後、露光装置本体１６において次に用い
られるレチクルが、上記レチクル１７と同様に、レチク
ル搬送部２８によってレチクルケース１８から搬出され
る。

【００６０】本実施の形態の基板搬送装置およびレチク
ルでは、バーコード３９がレチクル１７の端面３８に設
けられているので、バーコードリーダ４０はレチクル１
７がレチクルケース１８に収納されている状態でも読み
取ることができる。そして、バーコードリーダ４０が、
リーダ駆動アーム４２を介してレチクルケース１８に対
して鉛直方向に相対移動自在とされているので、バーコ
ードリーダ４０はレチクル搬送部２８がレチクル１７を
レチクルケース１８から搬出する前に、バーコード３９
を読み取ることができる。

【００６１】また、バーコードリーダ４０がバーコード
３９を読み取った結果が所定通りでなかった場合には、
制御装置２１がレチクル搬送部２８によるレチクル１７
の搬送を停止させるので無駄な搬送行程の発生を防止す
ることができる。そして、開閉扉検知センサ２２，２３
が、開閉扉２０の開閉状態を検知するので、操作未熟な
オペレータに対する安全性を高めることができる。

【００６２】さらに、バーコードリーダ３７が、レチク
ルケース１８に設けられたバーコード３６を読み取って
いるので、ケースホルダ５に装填されるべきレチクルケ
ース１８が所定通りでなかったり、予め入力装置２１に
入力されたレチクルケース１８およびレチクル１７に関
する情報が誤ったものであっても、ウエハ２６への露光
前に異常を検知することができる。

【００６３】図４は、本発明の基板搬送装置およびレチ
クルの第２の実施の形態を示す図である。この図におい
て、図１ないし図３に示す第１の実施の形態の構成要素
と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省
略する。第２の実施の形態と上記の第１の実施の形態と
が異なる点は、レチクル搬送部２８の構成である。

【００６４】即ち、レチクル搬送部２８の移動体３１に
は、バーコード３９に対向するようにバーコードリーダ
４０が設けられている。他の構成は、上記の第１の実施
の形態と同様である。

【００６５】本実施の形態の基板搬送装置およびレチク
ルでは、上記第１の実施の形態と同様の作用、効果が得
られることに加えて、バーコードリーダ４０のＺ方向の
移動が移動体３１の移動に伴って行われるので、別途リ
ーダ駆動アーム４２のようなＺ方向の移動手段を設ける
必要がない。そのため、この基板搬送装置では、装置の
簡素化を図ることができる。

【００６６】図５は、本発明の基板搬送装置およびレチ
クルの第３の実施の形態を示す図である。この図におい
て、図１ないし図３に示す第１の実施の形態の構成要素
と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省
略する。第３の実施の形態と上記の第１の実施の形態と
が異なる点は、バーコード３９、バーコードリーダ４０
およびレチクルケース１８の構成である。

【００６７】即ち、レチクルケース１８は、アクリル等
の合成樹脂材料で構成され、透明または半透明とされて
いる。バーコード３９は、レチクル１７のレチクル搬送
部２８に対向する側面と逆側の側面、つまりレチクルケ
ース１８にバーコード３６が設けられている側の端面３
９に設けられている。

【００６８】そして、バーコードリーダ４０は、レチク
ルケース１８のバーコード３６，３９に対向する側に、
Ｚ方向に相対移動自在に配設されている。他の構成は、
上記の第１の実施の形態と同様である。

【００６９】本実施の形態の基板搬送装置およびレチク
ルでは、レチクル搬送部２８がレチクル１７をレチクル
ケース１８から搬出する前に、バーコードリーダ４０が
Ｚ方向に移動すると共にレチクルケース１８を通してバ
ーコード３９を読み取ることができる。

【００７０】また、レチクルケース１８をケースホルダ
５に装填した際には、このバーコードリーダ４０がレチ
クルケース１８に設けられたバーコード３６を読み取る
ことができる。そのため、上記の第１、第２の実施の形
態において設けられていたバーコード３６を読み取るた
めのバーコードリーダ３７およびバーコードリーダ３７
をＺ方向に移動させるためのリーダ駆動アーム４１を設
ける必要がなく装置の簡素化を図ることができる。

【００７１】なお、本発明の基板搬送装置およびレチク
ルは、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下
の変更を加えたものも含むものである。（１）レチクル搬送部２８がレチクル１７を搬送しよう
とする都度、バーコードリーダ４０がレチクル１７に設
けられたバーコード３９を読み取るものではなく、レチ
クルケース１８がケースホルダ５に装填された際に、バ
ーコードリーダ４０が全てのレチクルのバーコードを一
括して読み取るようにしたもの。（２）レチクルにではなく、ウエハや液晶ディスプレイ
に用いられるガラス基板等の他の基板に適用したもの。（３）レチクルケース１８の開口部に防塵用の蓋体を開
閉自在に設けたもの。（４）識別部をバーコードとし、読み取り部をバーコー
ドリーダとするのではなく、識別部を文字、数字とし、
読み取り部をＯＣＲ（ＯｐｔｉｃａｌＣｈａｒａｃｔ
ｅｒＲｅａｄｅｒ）等の光学式読み取り装置としたも
の。（５）同様に、識別部を磁気テープとし、読み取り部を
磁気ヘッドとしたもの。（６）識別部としてバーコードの代わりに、横、縦の両
方向に上方を持つ２次元コードを使用したもの。（７）レチクルケース１８を識別するためのバーコード
３６を、図６および図７に示すように、レチクルケース
１８の上面に設けたもの。（８）従来のように、一つのレチクルケースが一枚のレ
チクルを収納する構成としたもの。

【００７２】なお、露光装置としては、レチクル１７と
ウエハ２６とを静止した状態でレチクル１７のパターン
を露光し、ウエハ２６を順次ステップ移動させるステッ
プ・アンド・リピート型の露光装置でも、レチクル１７
とウエハ２６とを同期移動してレチクル１７のパターン
を露光する走査型の露光装置にも適用することができ
る。露光装置の種類としては、半導体製造用の露光装置
に限定されることなく、例えば、角型のガラスプレート
に液晶表示素子パターンを露光する液晶用の露光装置
や、薄膜磁気ヘッドを製造するための露光装置にも広く
適用できる。

【００７３】また、不図示の照明光学系の光源としてＫ
ｒＦエキシマレーザ（２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレ
ーザ（１９３ｎｍ）、Ｆ₂レーザ（１５７ｎｍ）のみな
らず、Ｘ線や電子線などの荷電粒子線を用いることがで
きる。例えば、電子線を用いる場合には電子銃として、
熱電子放射型のランタンヘキサボライト（ＬａＢ₆）、
タンタル（Ｔａ）を用いることができる。

【００７４】投影光学系２５の倍率は、縮小系のみなら
ず等倍および拡大系のいずれでもよい。また、投影光学
系２５としては、エキシマレーザを用いる場合は硝材と
して石英や蛍石を用い、Ｘ線を用いる場合は反射屈折系
の光学系にし（レチクルも反射型タイプのものを用い
る。）、また電子線を用いる場合には光学系として電子
レンズおよび偏向器からなる電子光学系を用いればよ
い。なお、電子線が通過する光路は、真空状態にするこ
とはいうまでもない。また、投影光学系２５を用いるこ
となく、レチクル１７とウエハ２６とを密接させてレチ
クル１７のパターンを露光するプロキシミティ露光装置
にも適用することができる。

【００７５】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る基
板搬送装置は、基板の端面に該基板を識別するための識
別部を設け、この識別部を読み取る読み取り部を設ける
構成となっている。これにより、この基板搬送装置で
は、ケースから基板を取り出す前に読み取り部が、基板
の端面に設けられた識別部を読み取ることができると共
に、この基板を識別することができるという優れた効果
を奏する。

【００７６】請求項２に係る基板搬送装置は、読み取り
部が基板の搬送を行う搬送部に設けられる構成となって
いる。これにより、この基板搬送装置では、読み取り部
の移動が搬送部の移動に伴って行われるので、別途移動
手段を設ける必要がなく装置の簡素化を図ることができ
るという優れた効果を奏するものである。

【００７７】請求項３に係る基板搬送装置は、読み取り
部が、基板がケースに収納された状態で識別部を読み取
る構成となっている。これにより、この基板搬送装置
は、ケースから基板を取り出す前に読み取り部が、ケー
スに収納された状態の基板の端面に設けられた識別部を
読み取ることができると共に、この基板を識別すること
ができるという優れた効果を奏するものである。

【００７８】請求項４に係る基板搬送装置は、読み取り
部の読み取り結果に応じて基板の搬送を行うかどうかを
判断する判断装置を設ける構成となっている。これによ
り、この基板搬送装置では、読み取り部が識別部を読み
取った結果が所定通りでなかった場合には、判断装置が
基板の搬送を停止させるので無駄な搬送行程の発生を防
止することができるという効果が得られる。

【００７９】請求項５に係る基板搬送装置は、ケースが
鉛直方向に沿って基板を複数収納し、ケースと読み取り
部とを鉛直方向に沿って相対移動させる移動装置を備え
る構成となっている。これにより、この基板搬送装置で
は、ケースから基板を取り出す前に読み取り部が、移動
装置によって相対移動して、基板の端面に設けられた識
別部を読み取ることができると共に、この基板を識別す
ることができるという優れた効果を奏する。

【００８０】請求項６に係る基板搬送装置は、ケースが
該ケースを識別するためのケース識別部を有し、ケース
識別部を読み取るケース読み取り部を設ける構成となっ
ている。これにより、この基板搬送装置では、装填され
るべきケースが所定通りでなかったり、予め入力された
ケースに関する情報が誤ったものであっても、ケースの
異常を検知することができるという効果が得られる。

【００８１】請求項７に係る基板搬送装置は、ケースが
透明または半透明である構成となっている。これによ
り、この基板搬送装置では、読み取り部がケースを通し
て基板の識別部を読み取ることができると共に、識別部
とケース識別部とを同じ側に配置すれば、読み取り部が
双方の識別部を読み取ることができるため、装置の簡素
化が実現するという優れた効果を奏する。

【００８２】請求項８に係るレチクルは、パターン面と
直交する側面にレチクルを識別するための識別部を設け
る構成となっている。これにより、このレチクルでは、
ケースからレチクルを取り出す前に、レチクルの側面に
設けられた識別部を読み取ることができると共に、この
レチクルを識別することができるという優れた効果を奏
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図であっ
て、レチクルの端面にバーコードが設けられ、バーコー
ドの近傍にバーコードリーダが設けられている概略構成
図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態を示す図であっ
て、レチクル搬送装置が設けられた露光装置の概略構成
図である。

【図３】本発明の第１の実施の形態を示す図であっ
て、露光装置の制御系を示すブロック図である。

【図４】本発明の第２の実施の形態を示す図であっ
て、レチクル搬送部にバーコードリーダが設けられた概
略構成図である。

【図５】本発明の第３の実施の形態を示す図であっ
て、透明なレチクルケースを通してバーコードを読み取
るバーコードリーダが配設された概略構成図である。

【図６】本発明の別の実施の形態を示す図であって、
レチクルケースの上面にバーコードが設けられた外観斜
視図である。

【図７】本発明の別の実施の形態を示す図であって、
レチクルケースの上面にバーコードが設けられた概略構
成図である。

【図８】従来技術によるバーコード、バーコードリー
ダが設けられた露光装置の一例を示す概略構成図であ
る。

【図９】図８におけるレチクルケースの外観斜視図で
ある。

【符号の説明】

１６露光装置本体（処理装置）１７レチクル（基板）１８レチクルケース（ケース）１９レチクル搬送装置（基板搬送装置）２１制御装置（判断装置）２８レチクル搬送部（搬送部）３６バーコード（ケース識別部）３７バーコードリーダ（ケース読み取り部）３８，４３端面３９バーコード（識別部）４０バーコードリーダ（読み取り部）４２リーダ駆動アーム（移動装置）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＨ０１Ｌ 21/30 ５０３Ｅ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板を収納するケースと、該基板を用いて所定の処理を行う処理装置との間で前記
基板を搬送する基板搬送装置において、前記基板の端面には、該基板を識別する識別部が設けら
れ、該識別部を読み取る読み取り部を設けたことを特徴とす
る基板搬送装置。
【請求項２】請求項１記載の基板搬送装置において、前記読み取り部は、前記基板の搬送を行う搬送部に設け
られていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】請求項１または２記載の基板搬送装置に
おいて、前記読み取り部は、前記基板が前記ケースに収納された
状態で前記識別部を読み取ることを特徴とする基板搬送
装置。
【請求項４】請求項１から３のいずれかに記載の基板
搬送装置において、前記読み取り部の読み取り結果に応じて前記搬送を行う
かどうかを判断する判断装置を設けたことを特徴とする
基板搬送装置。
【請求項５】請求項１から４のいずれかに記載の基板
搬送装置において、前記ケースは、鉛直方向に沿って前記基板を複数収納
し、前記ケースと前記読み取り部とを前記鉛直方向に沿って
相対移動させる移動装置を備えたことを特徴とする基板
搬送装置。
【請求項６】請求項１から５のいずれかに記載の基板
搬送装置において、前記ケースは、該ケースを識別するためのケース識別部
を有し、該ケース識別部を読み取るケース読み取り部を設けたこ
とを特徴とする基板搬送装置。
【請求項７】請求項１から６のいずれかに記載の基板
搬送装置において、前記ケースは、透明または半透明であることを特徴とす
る基板搬送装置。
【請求項８】パターンが形成されたパターン面を有す
るレチクルであって、前記パターン面と直交する少なくとも一つの側面に前記
レチクルを識別する識別部を設けたことを特徴とするレ
チクル。