JP2002203775A

JP2002203775A - 露光装置

Info

Publication number: JP2002203775A
Application number: JP2000402274A
Authority: JP
Inventors: Takaaki Kimura; 隆昭木村; Toshihiko Tsuji; 寿彦辻
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2000-12-28
Filing date: 2000-12-28
Publication date: 2002-07-19

Abstract

(57)【要約】【課題】複数の扉を有するチャンバを備えた露光装置
において、インターロック機構が作動した際、危険発生
箇所や不具合発生箇所の特定を速やかに行うことができ
る露光装置を提供する。【解決手段】露光装置ＥＸは、露光装置本体Ｅを収容
し複数の扉Ｄ１〜Ｄ９を有するチャンバＣと、複数の扉
Ｄ１〜Ｄ９のそれぞれに設けられ、扉Ｄ１〜Ｄ９の開閉
状況を検出する検出装置Ｓ１〜Ｓ９と、検出装置Ｓ１〜
Ｓ９のそれぞれの検出結果に基づいて、複数の扉Ｄ１〜
Ｄ９のそれぞれの開閉状況を表示する表示装置ＤＰとを
備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、パターンを基板に
露光する露光装置本体と、この露光装置本体を収容する
チャンバとを備えた露光装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子や薄膜磁気ヘッドあるいは液
晶表示素子等のマイクロデバイスを製造するためのフォ
トリソグラフィ工程で使用される露光装置において、フ
ォトマスクあるいはレチクル（以下、「レチクル」と称
する）に形成されているパターンを、表面にフォトレジ
スト等の感光剤を塗布された感光性基板（以下、「ウエ
ハ」と称する）上に転写する露光装置本体は、通常、ク
リーンルーム内に設置され、内部空間が高度に防塵され
るとともに、高精度な温度制御がなされたエンバイロメ
ンタル・チャンバ（以下、「チャンバ」と称する）に収
納されている。このチャンバは、例えば、レチクルカセ
ット近傍に設けられた扉やウエハカセット近傍に設けら
れた扉など複数の扉を有しており、レチクルカセットに
アクセスするときやウエハカセットにアクセスすると
き、あるいは装置のメンテナンス時などにおいては、こ
れら扉を開ける必要がある。

【０００３】ところで、チャンバ内には露光光源や各種
搬送系が設けられており、露光装置の動作時に扉が開け
られると、露光光源による被曝や搬送系の可動部による
巻き込みなど作業者に対する危険性が高い。したがっ
て、かかる露光装置では、扉のそれぞれにこの扉の開閉
状態を検出可能な検出器（検出装置）が設けられてお
り、動作中に扉が開けられると、検出器が「扉が開いて
いる」ことを検出し、露光装置の動作がどのような段階
であっても装置の運転動作を停止するインターロック機
構が設けられている。具体的には、扉のそれぞれに設け
られている検出器はスイッチ部（インターロックスイッ
チ）を有しており、例えば、扉を閉じるとスイッチ部が
押されて「扉が閉まっている」ことを検出し、一方、扉
を開けるとスイッチ部が押されなくなって「扉が開いて
いる」ことを検出するようになっており、検出器が「扉
が開いている」ことを検出すると、インターロック機構
が作動して露光装置全体の運転動作を停止する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、インターロ
ック機構は、複数ある扉のそれぞれに設けられた検出器
のうちいずれか１つでも「扉が開いている」ことを検出
すると作動するようになっている。このとき、従来にお
いては、複数ある扉のうちどの扉に設けられた検出器が
「扉が開いている」ことを検出したのかを特定するのに
有効な手段がなく、特定するのに時間がかかるといった
問題があった。すなわち、チャンバにおいて「扉が開い
ている」といった危険発生箇所を特定するのに時間がか
かった。

【０００５】また、検出器のスイッチ部の調整不良や経
時変化に起因する故障によって、例えば、実際には扉は
閉まっているのに、検出器は「扉が開いている」と検出
してしまうといったような、誤検出・誤作動をしてしま
う場合がある。このような場合にもインターロック機構
が作動してしまい、実際には扉は閉まっているのに、露
光装置が停止してしまうという問題が生じる。この場
合、複数ある扉は外見上全て閉じているので、複数ある
扉のそれぞれに設けられた検出器のうち、どの検出器が
誤検出・誤作動をしたのかを特定するのが困難である。
さらに、扉を閉じないとスイッチ部が動作しないので扉
を開けた状態では検出器の動作確認ができず、誤検出・
誤作動をする検出器を特定するためには、例えば、複数
の扉のそれぞれに取り付けられているスイッチ部を１つ
ずつ外してテスター等で導通チェックを行ってスイッチ
部の故障部分を探すといった、非常に手間のかかる作業
をせざるを得なかった。すなわち、チャンバにおいて
「扉に設けられている検出器が誤検出・誤作動をしてい
る」といった不具合発生箇所を特定するのに時間がかか
った。

【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、露光装置本体を収納し、複数の扉を有するチャ
ンバを備えた露光装置において、インターロック機構が
作動した際、危険発生箇所や不具合発生箇所の特定を速
やかに行うことができる露光装置を提供することを目的
とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め本発明は、実施の形態に示す図１〜図１０に対応付け
した以下の構成を採用している。本発明の露光装置（Ｅ
Ｘ）は、パターンを基板（Ｗ）に露光する露光装置本体
（Ｅ）と、露光装置本体（Ｅ）を収容するとともに、複
数の扉（Ｄ１〜Ｄ９）を有するチャンバ（Ｃ）とを備え
た露光装置において、複数の扉（Ｄ１〜Ｄ９）のそれぞ
れに設けられ、扉（Ｄ１〜Ｄ９）の開閉状況を検出する
検出装置（Ｓ１〜Ｓ９、２２）と、検出装置（Ｓ１〜Ｓ
９、２２）のそれぞれの検出結果に基づいて、複数の扉
（Ｄ１〜Ｄ９）のそれぞれの開閉状況を表示する表示装
置（ＤＰ、ＤＰａ、Ｌ１〜Ｌ９）とを備えることを特徴
とする。

【０００８】本発明によれば、複数の扉（Ｄ１〜Ｄ９）
のそれぞれの開閉状況を検出する検出装置（Ｓ１〜Ｓ
９、２２）と、検出装置（Ｓ１〜Ｓ９、２２）のそれぞ
れの検出結果に基づいて、扉（Ｄ１〜Ｄ９）のそれぞれ
の開閉状況を表示する表示装置（ＤＰ、ＤＰａ、Ｌ１〜
Ｌ９）とを備えるので、表示装置（ＤＰ、ＤＰａ、Ｌ１
〜Ｌ９）の表示に基づいて、複数の扉（Ｄ１〜Ｄ９）の
うちどの扉に設けられている検出装置（Ｓ１〜Ｓ９、２
２）が検出信号を出力したのかを容易に認識することが
でき、扉が開いているような危険発生箇所や、検出装置
が誤検出・誤作動しているような不具合発生箇所を容易
に特定することができる。

【０００９】

【発明の実施の形態】《第１実施形態》以下、本発明の
露光装置について図面を参照しながら説明する。図１は
本発明の第１実施形態に係る露光装置ＥＸの概略構成図
である。

【００１０】図１に示すように、露光装置ＥＸは、クリ
ーンルーム内に設置され、内部空間が高度に防塵される
とともに、高精度な温度制御がなされたチャンバＣと、
このチャンバＣの内部に収納されるとともに、マスクと
してのレチクルＲのパターンを感光性基板としてのウエ
ハＷ上に転写する露光装置本体Ｅとを備えている。

【００１１】露光装置本体Ｅとしては、ここでは、いわ
ゆるステップアンドスキャン方式の縮小投影露光装置が
用いられている。この縮小投影露光装置では露光用光源
として、例えばＫｒＦエキシマレーザ、ＡｒＦエキシマ
レーザ、Ｆ₂レーザ、Ａｒ₂レーザ、水銀ランプ、ある
いはＹＡＧレーザ又は固体レーザ（半導体レーザなど）
の高調波発生装置などが用いられ、本例における露光装
置本体Ｅは、露光用光源から発生するエネルギービーム
（露光用照明光）をレチクルＲに照射する照明光学系Ｉ
Ｌの少なくとも一部、レチクルステージＲＳＴ、投影光
学系ＰＬ、ウエハステージＷＳＴ等を備えている。

【００１２】レチクルＲは、レチクルステージＲＳＴ上
に真空吸着等によって吸着保持され、不図示の駆動系に
よって図１における紙面直交方向に駆動される。同様
に、ウエハＷは、ウエハステージＷＳＴ上に不図示のウ
エハホルダを介して真空吸着等によって吸着保持され不
図示の駆動系によって、図１における紙面に直交する水
平面内で駆動されるようになっている。

【００１３】投影光学系ＰＬとしては、投影倍率が例え
ば１／４倍の縮小光学系が用いられている。投影光学系
ＰＬの側面には、ウエハＷを位置合わせするためにウエ
ハＷ上の位置合わせマーク（図示省略）にアライメント
ビームを照射し、その反射光に基づいて位置合わせマー
クの位置を検出するアライメント系ＡＬＧが固定されて
いる。チャンバＣ内には、この他、レチクルローダ１
６、レチクルカセット１８及びウエハローダ２０等も収
納されている。

【００１４】チャンバＣには、高さ方向中央やや上側で
レチクルカセット１８に対向する位置近傍にレチクル扉
としての第１扉Ｄ１、第２扉Ｄ２、第３扉Ｄ３が設けら
れている。また、このチャンバＣには、底部近傍のウエ
ハローダ２０に対向する位置近傍にウエハ扉としての第
４扉Ｄ４、第５扉Ｄ５、第６扉Ｄ６が設けられている。
さらに、このチャンバＣには、露光装置本体Ｅに対向す
る位置近傍にチャンバカバー扉としての第７扉Ｄ７、第
８扉Ｄ８、第９扉Ｄ９が設けられている。なお本実施形
態では扉の数は９つであるが、チャンバＣは任意の複数
の扉を有していてもよい。

【００１５】第１〜第９扉Ｄ１〜Ｄ９のそれぞれには、
これら扉の開閉状態を検出する検出装置としての第１〜
第９検出器Ｓ１〜Ｓ９がそれぞれ設けられている。例え
ば、第１検出器Ｓ１は、図２に示すように、チャンバＣ
の内部に設けられ、開閉される第１扉Ｄ１の端部に形成
された凸部２１に押されるスイッチ部（インターロック
スイッチ）２２を備えている。スイッチ部２２は、第１
扉Ｄ１が閉じられることによって凸部２１に押し込ま
れ、第１扉Ｄ１が開けられることによって開放される。
そして、第１検出器Ｓ１は、スイッチ部２２が押し込ま
れることによって「第１扉Ｄ１が閉じている」と検出
し、スイッチ部２２が開放されることによって「第１扉
Ｄ１が開いている」と検出する。なお、図２では、第１
扉Ｄ１及び第１検出器Ｓ１について説明したが、第２〜
第９扉Ｄ２〜Ｄ９及び第２〜第９検出器Ｓ２〜Ｓ９も、
第１扉Ｄ１及び第１検出器Ｓ１と同等の構成を有してい
る。第１〜第９検出器Ｓ１〜Ｓ９のそれそれの検出信号
は、後述する制御装置ＣＯＮＴ（図３参照）に出力され
る。

【００１６】チャンバＣの外面には、表示装置ＤＰが設
置されている。表示装置ＤＰは、例えば小型液晶表示パ
ネルによって構成されている。表示装置ＤＰは、第１〜
第９検出器Ｓ１〜Ｓ９のそれぞれの検出結果に基づい
て、第１〜第９扉Ｄ１〜Ｄ９の開閉状況を表示するよう
になっている。

【００１７】次に、露光装置ＥＸにおける露光工程の動
作について簡単に説明する。まず、露光処理すべきウエ
ハＷ（１枚でも良いが、通常は複数枚であり、以下複数
枚と仮定して説明する）を不図示のウエハカセットに入
れて、ウエハ扉としての例えば第５扉Ｄ５を開けて、ウ
エハローダ２０にセットする。次に、レチクル扉２２と
しての例えば第２扉Ｄ２を開けて、露光したいパターン
が描画されたレチクルＲをレチクルカセット１８にセッ
トする。

【００１８】次いで、レチクルローダ１６によりレチク
ルＲがレチクルステージＲＳＴにセットされる。同様
に、ウエハローダ２０により、ウエハＷはウエハステー
ジＷＳＴにセットされる。

【００１９】次に、後述する制御装置ＣＯＮＴ（図３参
照）により不図示のレチクル顕微鏡、ウエハステージＷ
ＳＴ上の基準板（図示省略）、アライメント系ＡＬＧを
用い、レチクルアライメント、ベースライン計測等の準
備作業が所定の手順にしたがって行われた後、アライメ
ント光学系ＡＬＧを用いてＥＧＡ（エンハンスト・グロ
ーバル・アライメント）等のアライメント計測が実行さ
れる。このアライメント計測の終了後、ステップアンド
スキャン方式の露光動作が行われる。すなわち、レチク
ルステージＲＳＴとウエハステージＷＳＴとが同期して
走査方向（図１における紙面直交方向）に沿って互いに
逆向きに走査され、その途中の等速同期状態で照明系Ｉ
Ｌから露光ビーム（露光光源で発生する）によりレチク
ルＲ上の所定のスリット領域が照射され、該レチクルＲ
に形成されたパターンがウエハＷ上のショット領域に逐
次転写される、走査露光が行われる。１つのショット領
域に対するレチクルパターンの転写が終了すると、ウエ
ハステージＷＳＴが１ショット分非走査方向にステッピ
ングして、前と逆の走査方向で次ショット領域に対する
走査露光が行われ、このようにして、ステッピングと走
査露光が順次繰り返され、ウエハＷ上に必要なショット
数のパターンが転写される。このステップアンドスキャ
ン方式の露光動作は制御装置ＣＯＮＴの管理下で、ステ
ージ制御系、露光制御系等によって実行される。

【００２０】このようにして、１枚のウエハＷに対する
露光が終了すると、露光済みのウエハＷは、ウエハロー
ダ２０により不図示のウエハカセットに戻される。他の
ウエハＷについても、同様にして、上記ウエハＷのウエ
ハステージＷＳＴ上へのセット動作以降の動作が繰り返
される。

【００２１】この場合において、転写するパターンを変
更するときは、レチクルステージＲＳＴにセットされて
いるレチクルＲをレチクルローダ１６によりレチクルカ
セット１８に戻し、レチクルカセット１８にセットされ
ている別のレチクルＲをレチクルローダ１６によりレチ
クルステージＲＳＴにセットし、上記の動作を繰り返し
行う。

【００２２】次に、露光装置本体Ｅの動作中における扉
開閉制御に関する制御系の主要な構成について図３を参
照しながら簡単に説明する。この制御系は、コンピュー
タからなる制御装置ＣＯＮＴを中心として構成されてい
る。この制御装置ＣＯＮＴの入力段には、第１〜第９検
出器Ｓ１〜Ｓ９が接続されている。また、この制御装置
ＣＯＮＴの出力段には表示装置としての表示装置ＤＰが
接続されている。制御装置ＣＯＮＴは、前述した露光工
程の動作中の各部の動作を統括的に制御するものであっ
て、第１〜第９検出器Ｓ１〜Ｓ９の検出結果に応じて、
露光装置本体Ｅの動作を制御する。

【００２３】次に、検出器及びインターロック機構の構
成について図４、図５を参照しながら説明する。図４に
示すように、スイッチ部２２をそれぞれ備えた第１〜第
９検出器Ｓ１〜Ｓ９はそれぞれ分岐回路Ｋ１〜Ｋ９を備
えている。スイッチ部２２は、扉が閉じられた際に凸部
２１（図２参照）に押されることにより接点を閉じるよ
うになっている。分岐回路Ｋ１〜Ｋ９のそれぞれは、リ
レー部と、スイッチ部２２からの信号をモニター回路
（表示装置）に送信する第１送信部としての第１分岐路
Ｋ１ａ〜Ｋ９ａ（図５（ａ）参照）と、スイッチ部２２
からの信号をインターロック回路（制御装置）に送信す
る第２送信部としての第２分岐路Ｋ１ｂ〜Ｋ９ｂ（図５
（ｂ）参照）とを備えている。

【００２４】図５（ａ）に示すように、分岐回路Ｋ１〜
Ｋ９のそれぞれに設けられた第１分岐路Ｋ１ａ〜Ｋ９ａ
からの信号は、モニター回路ＤＰａに入力されるように
なっている。このとき、第１分岐路Ｋ１ａ〜Ｋ９ａは、
モニター回路ＤＰａに対してそれぞれ並列に接続されて
いる。すなわち、第１分岐路Ｋ１ａ〜Ｋ９ａからの信号
はモニター回路ＤＰａに対してそれぞれ独立して入力さ
れるようになっている。このとき、モニター回路ＤＰａ
（表示装置ＤＰ）は、複数の検出器Ｓ１〜Ｓ９のうちど
の検出器のスイッチ部２２が信号を出力したかどうかを
認識可能となっている。すなわち、スイッチ部２２の接
点が開放されるとモニター回路ＤＰａが作動するように
なっており、複数のスイッチ部２２のうちどのスイッチ
部２２の接点が開放されたのかを認識可能となってい
る。したがって、表示装置ＤＰは、複数の扉Ｄ１〜Ｄ９
のそれぞれに設けられた検出器Ｓ１〜Ｓ９の検出結果に
基づいて、複数の扉Ｄ１〜Ｄ９のうちどの扉が開けられ
たのかを認識可能となっている。

【００２５】図５（ｂ）に示すように、分岐回路Ｋ１〜
Ｋ９のそれぞれに設けられた第２分岐路Ｋ１ｂ〜Ｋ９ｂ
からの信号は、インターロック回路ＣＯＮＴａに入力さ
れるようになっている。このとき、第２分岐路Ｋ１ｂ〜
Ｋ９ｂは互いに直列に接続されてインターロック回路Ｃ
ＯＮＴａに接続している。すなわち、インターロック回
路ＣＯＮＴａは複数のスイッチ部２２のうちいずれか１
つでも開放されたらその旨の信号が入力され、インター
ロック回路ＣＯＮＴａが作動するようになっている。し
たがって、インターロック回路ＣＯＮＴａに接続した制
御装置ＣＯＮＴは、複数の扉Ｄ１〜Ｄ９のうち１つでも
扉が開いたら、いずれかの扉が開いている状態であるこ
とを認識可能となっている。

【００２６】次に、露光装置運転中のインターロック機
構の動作について説明する。まず、露光処理を行うに際
し、全ての扉Ｄ１〜Ｄ９を閉じる。第１〜第９扉Ｄ１〜
Ｄ９のそれぞれに設けられている第１〜第９検出器Ｓ１
〜Ｓ９のスイッチ部２２は凸部２１に抑えられて接点を
閉じる。このとき、第１〜第９検出器Ｓ１〜Ｓ９のスイ
ッチ部２２とモニター回路ＤＰａとは第１分岐路Ｋ１ａ
〜Ｋ９ａによってそれぞれ並列に接続されており、表示
装置ＤＰは「第１〜第９扉閉鎖状態」を表示する。具体
的には、表示装置ＤＰに、例えば図８（ａ）に示すよう
な第１〜第９扉Ｄ１〜Ｄ９に対応した表示部を設けてお
き、全ての扉が閉鎖状態である場合には表示部がその旨
（「閉」）を表示する。

【００２７】また、第１〜第９検出器Ｓ１〜Ｓ９のそれ
ぞれのスイッチ部２２とインターロック回路ＣＯＮＴａ
とは第２分岐路Ｋ１ｂ〜Ｋ９ｂを介して直列に接続され
ており、制御装置ＣＯＮＴは第１〜第９扉Ｄ１〜Ｄ９の
全ての扉が閉じていると判断し、露光装置本体Ｅに露光
処理を開始させる。ここで、露光装置本体Ｅの露光処理
が開始されたら、安全のために「扉開放禁止」を表示装
置ＤＰが表示してもよい。

【００２８】露光処理中において、例えば、作業者が誤
って複数ある扉Ｄ１〜Ｄ９のうちいずれかの扉を開けて
しまったり、何らかの原因で複数ある扉Ｄ１〜Ｄ９のう
ちいずれかの扉が開いてしまった際、インターロック機
構が作動する。すなわち、図５（ｂ）に示したように、
第２分岐路Ｋ１ｂ〜Ｋ９ｂによって互いに直列に接続さ
れているスイッチ部２２のいずれか１つの接点が開放さ
れ、これによって第２分岐路Ｋ１ｂ〜Ｋ９ｂ及びインタ
ーロック回路ＣＯＮＴａによって構成されている閉回路
の一部が断たれることによって、制御装置ＣＯＮＴは複
数ある扉Ｄ１〜Ｄ９のうち、少なくともいずれか１つの
扉が開放状態であると判断し、露光装置本体Ｅの動作を
停止する。

【００２９】ここで、例えば第２扉Ｄ２が開いたとする
と、第１分岐路Ｋ２ａによってモニター回路ＤＰａ（表
示装置ＤＰ）に接続されている第２検出器Ｓ２のスイッ
チ部２２の接点が開放される。すると、スイッチ部２２
からモニター回路ＤＰａに対してその旨の信号が出力さ
れる。モニター回路ＤＰａに接続されている表示装置Ｄ
Ｐは、第１〜第９扉Ｄ１〜Ｄ９にそれぞれ設けられた第
１〜第９検出器Ｓ１〜Ｓ９のうち、第２扉Ｄ２に設けら
れている第２検出器Ｓ２が信号を出力したことを表示す
る。この場合、例えば図８（ｂ）に示すように、表示装
置ＤＰは、第２扉Ｄ２に設けられている第２検出器Ｓ２
が信号を出力していることを表示する。すなわち、表示
装置ＤＰは、信号を出力している検出器が設けられてい
る扉を特定し、表示する。

【００３０】このように、表示装置ＤＰの表示に基づい
て、複数の扉Ｄ１〜Ｄ９のうちどの扉に設けられている
検出装置が検出信号を出力したのかが容易に認識可能と
なる。オペレータは、扉が開いてしまった危険発生箇所
を特定し、この扉を閉め直すなどの処理を行う。そし
て、扉を閉めたら、露光処理を再開する。全ての扉が閉
められたことにより、表示装置ＤＰは「第１〜第９扉閉
鎖状態」を表示する。

【００３１】なお、ここでは、露光処理中に第２扉Ｄ２
が開けられて露光処理が途中で中止されている。このと
き、制御装置ＣＯＮＴは、露光処理が中止された時の装
置の動作状態を不図示の内部メモリに記憶し、装置の運
転を停止した後、表示装置ＤＰに図８（ｂ）に示したよ
うに「第２扉が開放状態」であることを表示させるよう
にしてもよい。そして、オペレータによって第２扉Ｄ２
が閉められたら、制御装置ＣＯＮＴはインターロックを
解除する。そして、露光処理を再開する場合には、前記
内部メモリに記憶された情報に基づき、その停止時の次
の動作を行う。したがって、ウエハＷ上のあるショット
領域の露光終了時点で運転が停止されたときには、その
次のショット領域の露光動作から動作が再開され、ま
た、アライメント時において、あるアライメントマーク
の検出後に動作が停止していたときには、その次のアラ
イメントマークの検出動作から動作が再開される。した
がって、ウエハＷを無駄にすることがなくなったり、ア
ライメント計測を最初からやり直す必要がなくなったり
するので、スループットは向上する。

【００３２】このように、動作回路としてのインターロ
ック回路ＣＯＮＴａと表示回路としてのモニター回路Ｄ
Ｐａとを設け、第１分岐路Ｋ１ａ〜Ｋ９ａ及び第２分岐
路Ｋ１ｂ〜Ｋ９ｂを備えた分岐回路Ｋ１〜Ｋ９を用いて
スイッチ部２２とインターロック回路ＣＯＮＴａ及びモ
ニター回路ＤＰａのそれぞれとを個別に接続するように
したことにより、露光処理中に扉が誤って開いてしまっ
てインターロック機構が作動した場合でも、表示装置Ｄ
Ｐ（モニター回路ＤＰａ）が扉の開いた箇所を表示する
ことによって、扉が開いた危険発生箇所を容易に特定す
ることができる。したがって、危険回避（扉の閉め直
し）や復帰作業（インターロックの解除）を素早く行う
ことができ、スループプットを向上することができる。

【００３３】ところで、上述した実施形態では、複数の
扉Ｄ１〜Ｄ９のうち１つの扉（第２扉Ｄ２）が誤って開
いてしまってインターロック機構が作動した場合につい
て説明したが、検出器Ｓ１〜Ｓ９のスイッチ部２２の調
整不良や経時変化に起因する故障（例えば凸部２１が曲
がってスイッチ部２２をしっかりと押せないなど）によ
って、実際には扉Ｄ１〜Ｄ９は閉まっているのに、検出
器Ｓ１〜Ｓ９は「扉が開いている」と検出してしまうと
いったような、誤検出・誤作動をしてしまい、インター
ロック機構が作動してしまう場合がある。この場合、複
数ある扉Ｄ１〜Ｄ９は外見上全て閉じているので、複数
ある扉Ｄ１〜Ｄ９のそれぞれに設けられた検出器Ｓ１〜
Ｓ９（スイッチ部２２）のうち、どの検出器Ｓ１〜Ｓ９
（スイッチ部２２）が誤検出・誤作動をしたのかを特定
するのが困難であるが、この場合も、検出器Ｓ１〜Ｓ９
の分岐回路Ｋ１〜Ｋ２のうち第１分岐路Ｋ１ａ〜Ｋ９ａ
を表示装置ＤＰ（モニター回路ＤＰａ）に接続したの
で、表示装置ＤＰが信号を出力している検出器の位置を
表示することによって、誤検出・誤作動を起こすような
不具合のある検出器の存在する箇所を容易に特定するこ
とができ、素早く復帰作業を行うことができる。そし
て、この場合、扉を閉じたままでも、誤検出・誤作動を
起こすような不具合のある検出器の特定を容易に素早く
行うことができる。

【００３４】以上説明したように、複数の扉Ｄ１〜Ｄ９
のそれぞれの開閉状況を検出する検出装置Ｓ１〜Ｓ９
と、検出装置Ｓ１〜Ｓ９のそれぞれの検出結果に基づい
て、扉Ｄ１〜Ｄ９のそれぞれの開閉状況を表示する表示
装置ＤＰとを設けたので、表示装置ＤＰの表示に基づい
て、複数の扉Ｄ１〜Ｄ９のうちどの扉に設けられている
検出装置が検出信号を出力したのかを容易に認識するこ
とができ、危険発生箇所（扉が開いている箇所）や、不
具合発生箇所（検出器が誤検出・誤作動している箇所）
を容易に特定することができる。

【００３５】そして、モニター回路ＤＰａ（表示装置Ｄ
Ｐ）とインターロック回路ＣＯＮＴａ（制御装置ＣＯＮ
Ｔ）とは、分岐回路Ｋ１〜Ｋ９の第１分岐路Ｋ１ａ〜Ｋ
９ａ及び第２分岐路Ｋ１ｂ〜Ｋ９ｂによって独立した回
路を構成しており、検出器Ｓ１〜Ｓ９のモニタリングは
インターロックの動作には直接影響を与えないので、モ
ニタリングを安定して行うことができる。

【００３６】《第２実施形態》次に、本発明の露光装置
の第２実施形態について、図６、図７、図９を参照しな
がら説明する。ここで、上述した第１実施形態と同一又
は同等の構成部分には同一の符号を付し、その説明を簡
略もしくは省略するものとする。

【００３７】図６（ａ）に示すように、第１〜第３扉Ｄ
１〜Ｄ３のそれぞれに設けられている第１〜第３検出器
Ｓ１〜Ｓ３は直列に接続されて１つのグループを構成し
ている。同様に、図６（ｂ）、（ｃ）に示すように、第
４〜第６扉Ｄ４〜Ｄ６のそれぞれに設けられている第４
〜第６検出器Ｓ４〜Ｓ６は直列に接続されて１つのグル
ープを構成しており、第７〜第９扉Ｄ７〜Ｄ９のそれぞ
れに設けられている第７〜第９検出器Ｓ７〜Ｓ９は直列
に接続されて１つのグループを構成している。ここで、
以下の説明においては、第１〜第３扉Ｄ１〜Ｄ３を適宜
「レチクルグループ扉」、第４〜第６扉Ｄ４〜Ｄ６を
「ウエハグループ扉」、第７〜第９扉Ｄ７〜Ｄ９を「チ
ャンバカバーグループ扉」と称する。同様に、第１〜第
３検出器Ｓ１〜Ｓ３を適宜「レチクルグループ検出器Ｇ
１」、第４〜第６検出器Ｓ４〜Ｓ６を「ウエハグループ
検出器Ｇ２」、第７〜第９検出器Ｓ７〜Ｓ９を「チャン
バカバーグループ検出器Ｇ３」と称する。

【００３８】図６に示すように、レチクルグループ検出
器Ｇ１には分岐回路Ｋ１が直列に接続されており、ウエ
ハグループ検出器Ｇ２には分岐回路Ｋ２が直列に接続さ
れており、チャンバカバーグループ検出器Ｇ３には分岐
回路Ｋ３が接続されている。分岐回路Ｋ１〜Ｋ３はそれ
ぞれ、第１分岐路Ｋ１ａ〜Ｋ３ａ、第２分岐路Ｋ１ｂ〜
Ｋ３ｂに分岐されている。

【００３９】図７に示すように、レチクルグループ検出
器Ｇ１は第１分岐路Ｋ１ａによってモニター回路ＤＰａ
に接続されている。ウエハグループ検出器Ｇ２は第１分
岐路Ｋ２ａによってモニター回路ＤＰａに接続されてい
る。チャンバカバーグループ検出器Ｇ３は第１分岐路Ｋ
３ａによってモニター回路ＤＰａに接続されている。こ
のとき、第１分岐路Ｋ１ａ〜Ｋ３ａは、モニター回路Ｄ
Ｐａに対してそれぞれ並列に接続されている。すなわ
ち、第１分岐路Ｋ１ａ〜Ｋ３ａからの信号はモニター回
路ＤＰａに対してそれぞれ独立して入力されるようにな
っている。このとき、モニター回路ＰＤａ（表示装置Ｄ
Ｐ）は、複数のグループ検出器Ｇ１〜Ｇ３のうちどのグ
ループ検出器Ｇ１〜Ｇ３に存在するスイッチ部２２が信
号を出力したかどうかを認識可能となっている。

【００４０】例えば、レチクルグループ検出器Ｇ１のう
ち、検出器Ｓ１〜Ｓ３の少なくともいずれか１つのスイ
ッチ部２２の接点が開放されるとモニター回路ＤＰａが
作動するようになっており、このとき表示装置ＤＰは、
レチクルグループ検出器Ｇ１の検出器Ｓ１〜Ｓ３のうち
少なくともいずれか１つの検出器が信号を出力したと認
識し、このレチクルグループ検出器Ｇ１を備えたレチク
ルグループ扉のうちいずれか１つの扉が開放状態である
ことを表示する。同様に、表示装置ＤＰは、ウエハグル
ープ検出器Ｇ２からの信号が出力されたら、ウエハグル
ープ扉のうちいずれか１つの扉が開放状態であることを
表示し、チャンバグループ検出器Ｇ３からの信号が出力
されたら、チャンバグループ扉のうちいずれか１つの扉
が開放状態であることを表示する。具体的には、表示装
置ＤＰは、検出器から信号を出力されていない場合には
図９（ａ）に示すような表示をし、例えばレチクルグル
ープ検出器Ｇ１から信号を出力されている場合には図９
（ｂ）に示すような表示をする。すなわち、複数の扉Ｄ
１〜Ｄ９を複数のグループに分割した際、表示装置ＤＰ
は、グループのうちのいずれのグループに属する扉に設
けられた検出器Ｓ１〜Ｓ９から信号が出力されたかどう
かを表示する。

【００４１】一方、図７（ｂ）に示すように、分岐回路
Ｋ１〜Ｋ３の第２分岐路Ｋ１ｂ〜Ｋ３ｂからの信号は、
インターロック回路ＣＯＮＴａに入力されるようになっ
ている。このとき、第２分岐路Ｋ１ｂ〜Ｋ３ｂは互いに
直列に接続されてインターロック回路ＣＯＮＴａに接続
している。すなわち、インターロック回路ＣＯＮＴａ
は、複数のスイッチ部２２のうちいずれか１つでも開放
されたらその旨の信号が入力され、作動するようになっ
ている。このように、インターロック回路ＣＯＮＴａに
接続した制御装置ＣＯＮＴは、複数の扉Ｄ１〜Ｄ９のう
ち１つでも扉が開いたら、いずれかの扉が開いている状
態であることを認識可能となっている。

【００４２】以上説明したように、第１実施形態に示し
たように検出器Ｓ１〜Ｓ９のそれぞれに対して分岐回路
を設ける必要はなく、複数の扉を複数のグループに分割
し、グループの扉にそれぞれ設けられている検出器どう
しを接続してこのグループ検出器毎に分岐回路を設け、
表示装置ＤＰは、複数のグループのうちいずれのグルー
プに属する扉に設けられた検出装置から信号が出力され
たかどうかを表示する構成としたことによって、回路や
配線をシンプルにすることができるので、コストを抑え
ることができるとともに配線作業等の作業性も向上す
る。

【００４３】なお、上記各実施形態において、表示装置
ＤＰの表示は露光装置本体Ｅの動作中において行われる
ように説明したが、露光装置本体Ｅが停止状態でも、表
示装置ＤＰは複数の扉Ｄ１〜Ｄ９の開閉状況を表示して
もよい。

【００４４】上記各実施形態における表示装置ＤＰは、
図８、図９に示したように、複数の検出器Ｓ１〜Ｓ９の
うち信号を出力している検出器が設けられている扉を特
定し、文字によって表示するようになっているが、例え
ば、チャンバを画像として表示し、信号を出力している
検出器が設けられている位置を、画像化されたチャンバ
上に表示するようにしてもよい。

【００４５】上述した実施形態において、表示装置ＤＰ
は液晶表示パネルであるが、ＬＥＤやランプなどの発光
部材によって構成してもよい。この場合、例えば、図１
の破線で示すように、ランプＬ１〜Ｌ９を第１〜第９扉
Ｄ１〜Ｄ９の外面にそれぞれ設け、扉が閉じている場合
にはランプを消灯し、扉が開いている場合あるいはスイ
ッチ部２２に不具合がある場合にはランプを点灯するよ
うにしてもよい。

【００４６】インターロック機構の検出器としてサーモ
スタットを用い、異常加熱を検出した際にインターロッ
クが作動するようにしてもよい。ここで、第１、第２実
施形態ではインターロック機構の検出器としてスイッチ
部が用いられており、扉が開く（スイッチ部が開放され
る）ことによってインターロックが作動し、扉が閉まる
（スイッチ部が押される）ことによってインターロック
が解除されるようになっている。一方、サーモスタット
を検出器として用いた場合、装置に異常加熱が発生して
インターロックがかかると装置温度が下がることになる
が、温度が下がることによってサーモスタットは自動復
帰して正常状態に戻る。このとき、インターロック回路
自体は自己保持をかけているので、サーモスタットが自
動復帰してもインターロックは解除されることがなく、
例えば別に設けられたリセットボタンを押すことによっ
てインターロックが解除される構成となっている。この
場合、検出器として複数設けられたサーモスタットのう
ちどのサーモスタットが動作したかどうかを保持したい
場合には（つまり、動作したサーモスタットを自動復帰
させたくない場合には）、サーモスタットに自己保持回
路を接続することが可能である。こうすることにより、
装置のどの部分で異常加熱が発生したのかを容易に把握
することができる。

【００４７】本実施形態の露光装置として、マスク（レ
チクル）と基板（ウエハ）とを静止した状態でマスクの
パターンを露光し、基板を順次ステップ移動させるステ
ップ・アンド・リピート型の露光装置にも適用すること
ができる。

【００４８】本実施形態の露光装置として、投影光学系
を用いることなくマスクと基板とを密接させてマスクの
パターンを露光するプロキシミティ露光装置にも適用す
ることができる。

【００４９】露光装置の用途としては半導体製造用の露
光装置に限定されることなく、例えば、角型のガラスプ
レートに液晶表示素子パターンを露光する液晶用の露光
装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子、マイクロマシン、
ＤＮＡチップ、及びマスク又はレチクルなどを製造する
ための露光装置にも広く適当できる。

【００５０】本実施形態の露光装置の光源は、ｇ線（４
３６ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）
等の紫外光源、Ｋｒ₂レーザ（１４６ｎｍ）、Ａｒ₂レ
ーザ（１２６ｎｍ）等の真空紫外光源などを用いること
もできる。さらに、Ｘ線（ＥＵＶ光を含む）、あるいは
電子線やイオンビームなどの荷電粒子線などを用いても
よい。

【００５１】投影光学系の倍率は縮小系のみならず等倍
および拡大系のいずれでもよい。

【００５２】ウエハステージやレチクルステージにリニ
アモータを用いる場合は、エアベアリングを用いたエア
浮上型およびローレンツ力またはリアクタンス力を用い
た磁気浮上型のどちらを用いてもいい。また、ステージ
は、ガイドに沿って移動するタイプでもいいし、ガイド
を設けないガイドレスタイプでもよい。

【００５３】ステージの駆動装置として平面モ−タを用
いる場合、磁石ユニット（永久磁石）と電機子ユニット
のいずれか一方をステージに接続し、磁石ユニットと電
機子ユニットの他方をステージの移動面側（ベース）に
設ければよい。

【００５４】ウエハステージの移動により発生する反力
は、特開平８−１６６４７５号公報に記載されているよ
うに、フレーム部材を用いて機械的に床（大地）に逃が
してもよい。本発明は、このような構造を備えた露光装
置においても適用可能である。

【００５５】マスクステージの移動により発生する反力
は、特開平８−３３０２２４号公報に記載されているよ
うに、フレーム部材を用いて機械的に床（大地）に逃が
してもよい。本発明は、このような構造を備えた露光装
置においても適用可能である。

【００５６】以上のように、本願実施形態の露光装置
は、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む
各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、
光学的精度を保つように、組み立てることで製造され
る。これら各種精度を確保するために、この組み立ての
前後には、各種光学系については光学的精度を達成する
ための調整、各種機械系については機械的精度を達成す
るための調整、各種電気系については電気的精度を達成
するための調整が行われる。各種サブシステムから露光
装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機
械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等
が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組
み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程
があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光
装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行わ
れ、露光装置全体としての各種精度が確保される。な
お、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理さ
れたクリーンルームで行うことが望ましい。

【００５７】半導体デバイスは、図１０に示すように、
デバイスの機能・性能設計を行うステップ２０１、この
設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作する
ステップ２０２、デバイスの基材である基板（ウエハ、
ガラスプレート）を製造するステップ２０３、前述した
実施形態の露光装置によりレチクルのパターンを基板に
露光する基板処理ステップ２０４、デバイス組み立てス
テップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケー
ジ工程を含む）２０５、検査ステップ２０６等を経て製
造される。

【００５８】

【発明の効果】本発明の露光装置は以下のような効果を
有するものである。請求項１に記載の発明によれば、複
数の扉のそれぞれの開閉状況を検出する検出装置と、検
出装置のそれぞれの検出結果に基づいて、扉のそれぞれ
の開閉状況を表示する表示装置とを備えるので、表示装
置の表示に基づいて、複数の扉のうちどの扉に設けられ
ている検出装置が検出信号を出力したのかを容易に認識
することができ、扉が開いているような危険発生箇所
や、検出装置が誤検出・誤動作しているような不具合発
生箇所を容易に特定することができる。したがって、作
業性やスループットを向上し効率良く露光処理を行うこ
とができる。

【００５９】請求項２、３に記載の発明によれば、信号
を出力している検出装置を特定することによって、この
検出装置が設けられている位置に対して、例えば速やか
に危険回避や復帰処理を行うことができる。したがっ
て、安全性を向上し効率良く露光処理を行うことができ
る。

【００６０】請求項４に記載の発明によれば、検出装置
の検出結果に応じて、露光装置本体の動作を制御するよ
うにしたので、例えば扉が開いていて危険な状態である
場合、露光装置本体の動作を停止することができるな
ど、安全性を向上することができる。

【００６１】請求項５に記載の発明によれば、検出装置
の検出信号は、第１送信部及び第２送信部によってそれ
ぞれ独立して表示装置及び制御装置に出力されるので、
検出装置の検出結果のモニタリングは、制御装置の動作
に直接影響を与えない。したがって、表示装置及び制御
装置のそれぞれの動作を安定して行うことができる。

【００６２】請求項６に記載の発明によれば、複数の扉
を複数のグループに分割し、表示装置は、複数のグルー
プのうちいずれのグループに属する扉に設けられた検出
装置から信号が出力されたかどうかを表示する構成とし
たことによって、各配線や回路をシンプルにすることが
できるので、コストを抑えることができるとともに配線
作業などの作業性も向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の露光装置を説明するための全体概略構
成図である。

【図２】検出装置の構成を説明するための図である。

【図３】本発明の露光装置の制御系を説明するための図
である。

【図４】本発明の第１実施形態に係るインターロック機
構を説明するための図である。

【図５】本発明の第１実施形態に係るインターロック機
構を説明するための図である。

【図６】本発明の第２実施形態に係るインターロック機
構を説明するための図である。

【図７】本発明の第２実施形態に係るインターロック機
構を説明するための図である。

【図８】本発明の第１実施形態に係る表示装置の表示例
を示す図である。

【図９】本発明の第２実施形態に係る表示装置の表示例
を示す図である。

【図１０】半導体デバイスの製造工程の一例を示すフロ
ーチャート図である。

【符号の説明】

２２スイッチ部（検出装置）ＣチャンバＣＯＮＴ制御装置ＣＯＮＴａインターロック回路（制御装置）Ｄ１〜Ｄ９第１〜第９扉（扉）ＤＰ液晶表示パネル（表示装置）ＤＰａモニター回路（表示装置）Ｅ露光装置本体ＥＸ露光装置Ｇ１レチクルグループ検出器（グループ）Ｇ２ウエハグループ検出器（グループ）Ｇ３チャンバカバーグループ検出器（グループ）Ｋ１〜Ｋ９分岐回路Ｋ１ａ〜Ｋ９ａ第１分岐路（第１送信部）Ｋ１ｂ〜Ｋ９ｂ第２分岐路（第２送信部）Ｌ１〜Ｌ９ランプ（表示装置）Ｒレチクル（マスク）Ｓ１〜Ｓ９第１〜第９検出器（検出装置）Ｗウエハ（基板）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】パターンを基板に露光する露光装置本体
と、該露光装置本体を収容するとともに、複数の扉を有
するチャンバとを備えた露光装置において、前記複数の扉のそれぞれに設けられ、該扉の開閉状況を
検出する検出装置と、前記検出装置のそれぞれの検出結果に基づいて、前記複
数の扉のそれぞれの開閉状況を表示する表示装置とを備
えることを特徴とする露光装置。
【請求項２】請求項１に記載の露光装置において、前記検出装置は前記扉の開閉状況に応じた信号を出力
し、前記表示装置は、複数の検出装置のうちどの検出装置が
信号を出力したかどうかを表示することを特徴とする露
光装置。
【請求項３】請求項２に記載の露光装置において、前記表示装置は、信号を出力している検出装置が設けら
れている位置を特定し、表示することを特徴とする露光
装置。
【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載の露光装
置において、前記検出装置の検出結果に応じて、前記露光装置本体の
動作を制御する制御装置を備えることを特徴とする露光
装置。
【請求項５】請求項４に記載の露光装置において、前記検出装置からの信号を前記表示装置に送信する第１
送信部と、前記検出装置からの信号を前記制御装置に送信する第２
送信部とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項６】請求項１〜５のいずれかに記載の露光装
置において、前記複数の扉を複数のグループに分割し、前記表示装置は、前記グループのうちのいずれのグルー
プに属する扉に設けられた検出装置から信号が出力され
たかどうかを表示することを特徴とする露光装置。