JP2006287121A - 位置決め装置及びその制御方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ステージの再起動を安全かつ確実に行う。
【解決手段】固定子と可動子とを有するステージと、前記ステージの位置制御指令に基づいて前記ステージを駆動する駆動手段と、前記ステージが所定の可動範囲を超えたことを検出する位置検出手段と、前記検出手段による検出結果に基づいて前記駆動手段によるステージ駆動を中止させる駆動制御手段と、前記ステージの再起動時に、前記駆動制御手段によるステージ駆動の中止を解除する解除手段とを具備する。
【選択図】 図1
【解決手段】固定子と可動子とを有するステージと、前記ステージの位置制御指令に基づいて前記ステージを駆動する駆動手段と、前記ステージが所定の可動範囲を超えたことを検出する位置検出手段と、前記検出手段による検出結果に基づいて前記駆動手段によるステージ駆動を中止させる駆動制御手段と、前記ステージの再起動時に、前記駆動制御手段によるステージ駆動の中止を解除する解除手段とを具備する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体素子や液晶表示素子等の製造方法及び製造装置に使用される、例えば、投影露光装置や各種精密加工装置または各種精密測定装置において、半導体ウエハやマスクやレチクル等の基板を、高精度で高速移動させ、位置決めを可能ならしめるためのステージなどの位置決め装置に関する。また、このような位置決め装置を用いた露光装置を使って半導体デバイスなどを製造する方法にも適する。
図7は従来の位置決め装置の側面図と当該装置を駆動する制御系の構成図、図8は位置決め装置の平面図である。
図7及び図8に示すように、従来の位置決め装置は、可動ステージ102がベース構造体101上のY軸に平行なヨーガイド107に沿ってY方向に移動自在に載置されている。また、固定子104a及び可動子103aから第1のリニアモータAが構成され、固定子104b及び可動子103bから第2のリニアモータBが構成されている。そして、固定子104a及び104bはベース構造体101上にヨーガイド107に平行に固定され、固定子104a及び104bに沿って可動ステージ102に可動子103a及び103bが固定されている。これら2つのリニアモータA及びBにより、ベース構造体101に対して可動ステージ102が+Y方向又は−Y方向に駆動される。
また、ベース構造体101上に可動ステージ102を挟むように、ヨーガイド107に沿ってリミットセンサとしての一対のフォトインタラプタ106a及び106bが固定され、これに対応して可動ステージ102に一対の遮光板105a及び105bが取り付けられている。この場合、2つのフォトインタラプタ106a及び106bを遮光していない状態でリニアモータA及びBに対して駆動電力が供給されるようになっている。
そして、図9に示すように、可動ステージ102が−Y方向に移動して遮光板105aがフォトインタラプタ106aを遮光すると、図7に示すように、フォトインタラプタ106aからドライバ制御部117に信号が出力され、ドライバ制御部117によって、
・ドライバ115の電源116を遮断する
・ドライバ115への指令入力を遮断する
・ドライバ115とステージ駆動モータ(リニアモータA及びB)の接続を遮断する
・ステージ駆動モータ(リニアモータA及びB)を回生ブレーキ118がかかった状態にする
のいずれか少なくとも1つのドライバ遮断が実行される。
・ドライバ115の電源116を遮断する
・ドライバ115への指令入力を遮断する
・ドライバ115とステージ駆動モータ(リニアモータA及びB)の接続を遮断する
・ステージ駆動モータ(リニアモータA及びB)を回生ブレーキ118がかかった状態にする
のいずれか少なくとも1つのドライバ遮断が実行される。
リニアモータA及びBに対する駆動電力が遮断され、可動ステージ102は遮光板105aがフォトインタラプタ106aを遮光した状態で停止する。その後、リニアモータA及びBに再び駆動電力を供給するためには、手動で可動ステージ102を+Y方向の可動範囲(リニアモータA,Bに駆動電力が供給される範囲)に押し戻して、フォトインタラプタ106aを遮光していない状態にする必要があった。
同様に、可動ステージ102が+Y方向に移動して遮光板105bがフォトインタラプタ106bを遮光すると、ドライバ制御部117によってリニアモータA及びBに対する駆動電力が遮断され、再びリニアモータA及びBに対して駆動電力を供給するためには、手動で可動ステージ102を−Y方向の可動範囲に押し戻す必要があった。そのため、例えば、露光工程の途中で可動ステージ102が可動範囲を外れた場合には、露光装置が収納されているチャンバーを開けて露光工程を中断してオペレータが手動で可動ステージ102を動かす必要があった。この場合、チャンバーの開閉によって、露光装置内部の温度が変化し、温度が安定するまでの間、露光工程を中断する必要があるため、露光工程のスループット(生産性)が低下するという不都合があった。
同様に、露光装置の例えばウエハステージなどにおいても、リミットセンサにより可動ステージ102の可動範囲を制限し、可動ステージがその可動範囲を外れたときにそのリミットセンサによりリニアモータへの駆動電力を遮断するような構成を採用している場合には、手動でそのステージを可動範囲内に押し戻す必要があるため、露光工程のスループットが低下するという不都合があった。
そこで、自動で可動ステージを可動範囲に押し戻す目的で、特許文献1のように、バネを設けてドライバOFFのままでも非遮光状態まで可動ステージを押し戻す手段が提案されている。この構成によれば、駆動電力が遮断されても次回駆動電力を供給するまでに自動で、可動ステージを可動範囲に押し戻すことが可能となる。
特開平8−22942号公報
特開2004−254489公報
しかしながら、通常、機械的な衝撃を弱めるために、遮光時にリニアモータに対する駆動電力を遮断する際、電力供給を停止すると同時に固定子コイルの両端をショートするか、抵抗をかませて回生ブレーキ力を印加した状態にすることにより、可動ステージが移動しにくい状態とする。このため、特に推力定数の大きい(回生ブレーキ力の大きい)リニアモータにおいては、バネによる復帰を確実に行うのは困難である。すなわち、バネ等の押し戻す手段によって可動ステージを可動範囲に押し戻すことができない場合、手動などでそのステージを可動範囲内に動かす必要があるため、露光工程のスループットが低下するという課題があった。
一方、ウエハサイズの大型化が進む中で、従来の粗動ステージと微動ステージの構成では装置が非常に大型化するため、
・所望のステージ加速度を得ることが困難になる
・加速時のリニアモータ発熱が増大して露光精度の確保が困難になる
・ステージの機械的な固有振動数低下に伴い、サーボ帯域を確保するのが困難となる
といった問題が生じる。
・所望のステージ加速度を得ることが困難になる
・加速時のリニアモータ発熱が増大して露光精度の確保が困難になる
・ステージの機械的な固有振動数低下に伴い、サーボ帯域を確保するのが困難となる
といった問題が生じる。
このため、従来の位置決め装置では所望とする仕様の実現が困難になりつつある。そこで、ウエハの大型化に対応した位置決め装置として、チルト及びZ方向に加えてXY平面方向の長ストロークに対しても位置決めが可能なガイドレスの6自由度平面ステージが提案されている(例えば、特許文献2)。
しかしながら、ガイドレスの6自由度平面ステージにおいては、可動ステージの可動方向にガイドがないため、従来のようにバネ等を用いた押し戻し手段を設置して可動範囲に押し戻すことができない。従って、手動などで可動ステージを可動範囲内に押し戻す必要があるため、露光工程のスループットが低下するという課題があった。
本発明は、上記課題に鑑みてなされ、その目的は、可動ステージが所定の可動範囲を超えためにその駆動が停止された後、再起動を安全かつ確実に行うことである。
上記課題を解決し、目的を達成するために、本発明の位置決め装置は、固定子と可動子とを有するステージと、前記ステージの位置制御指令に基づいて前記ステージを駆動する駆動手段と、前記ステージが所定の可動範囲を超えたことを検出する位置検出手段と、前記検出手段による検出結果に基づいて前記駆動手段によるステージ駆動を中止させる駆動制御手段と、前記ステージの再起動時に、前記駆動制御手段によるステージ駆動の中止を解除する解除手段とを具備する。
また、本発明は、固定子と可動子とを有するステージと、前記ステージの位置制御指令に基づいて前記ステージを駆動する駆動手段と、前記ステージが所定の可動範囲を超えたことを検出する位置検出手段と、前記検出手段による検出結果に基づいて前記駆動手段によるステージ駆動を中止させる駆動制御手段と、を備える位置決め装置の制御方法であって、前記ステージの再起動時に、前記駆動制御手段によるステージ駆動の中止を解除する。
本発明によれば、可動ステージが所定の可動範囲を超えためにその駆動が停止された後、再起動を安全かつ確実に行うことができる。
以下に、添付図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。尚、以下に説明する実施の形態は、本発明の実現手段としての一例であり、本発明が適用される装置の構成や各種条件によって適宜修正又は変更されるべきものである。
[第1の実施形態]
図1は本発明に係る一実施形態の位置決め装置の側面図と当該装置を駆動する制御系の構成図であり、図2は本発明に係る実施形態の位置決め装置の平面図である。
図1は本発明に係る一実施形態の位置決め装置の側面図と当該装置を駆動する制御系の構成図であり、図2は本発明に係る実施形態の位置決め装置の平面図である。
なお、以下では、本発明の位置決め装置を半導体デバイスの製造装置に搭載されるレチクルステージに適用した例について説明する。
図1に示すように、ステージを駆動する制御系は、位置制御部14、ドライバ15、電源16、ドライバ制御部17、回生ブレーキ18、マスク部19、速度検知部20を備える。
図2にも示すように、本実施形態のレチクルステージは、ベース構造体1上に不図示の静圧案内を用いて平面上を移動自由に案内された粗動ステージ2を備える。この粗動ステージ2はヨーガイド7により不図示の静圧案内を介してヨー方向(Z軸まわりの回転方向)の姿勢が規制され、結果として粗動ステージ2はY方向のみに移動自由に案内されている。
粗動ステージ2の両端には永久磁石を用いた粗動リニアモータ可動子3a及び3bが設けられている。粗動リニアモータ固定子4a及び4bのコイルに適宜電流を流すことにより、粗動リニアモータ固定子4a及び4bと粗動リニアモータ可動子3a及び3bの間に推力を発生することができる。粗動リニアモータA及びBの推力は粗動ステージ2をY方向に移動させるように作用する。粗動ステージ2には不図示のコーナーキューブが設けられており、不図示のレーザ干渉計からのレーザ光を直角をなす反射面で入射の向きと同方向に反射している。粗動ステージ2の移動方向の位置はレーザ干渉計により計測される。
粗動ステージ2にはさらに微動ステージ10が搭載されている。この微動ステージ10は粗動ステージ2上に不図示の空気ばねや磁石の反発を用いた自重補償系により下からの振動を絶縁して搭載されている。不図示ではあるが、粗動ステージ2にはコイルからなる単相リニアモータ固定子が、微動ステージ10上には永久磁石から成る単相リニアモータ可動子がそれぞれ設けられている。これらの単相リニアモータは微動ステージ10に対してX,Y,Z方向と各軸周りの回転方向であるωx,ωy,ωz方向にそれぞれ推力を発生する。例えば、Z方向において一直線上に並ばない位置に3つの単相リニアモータを設け、Z,ωx,ωyに推力を印加することができる。また、X方向に2個、Y方向に2個の単相リニアモータを配置することによりX,Y,ωz方向に推力を発生することができる。
微動ステージ10にはX方向計測用バーミラー8x,Y方向計測用バーミラー8yがそれぞれ設けられており、X方向計測用レーザ干渉計9x、Y方向計測用レーザ干渉計9ya,9ybからのレーザ光を反射し、微動ステージ10の6自由度の位置変位を計測することができる。粗動ステージ2及び微動ステージ10には不図示の位置制御系がそれぞれ設けられており、粗動リニアモータA及びBと不図示の単相リニアモータに適宜指令を与えることによって各ステージを可動範囲内で任意の位置に精密に位置決めできるように構成されている。
微動ステージ10上には所望の回路パターンが形成されたレチクル(原版)11が真空吸着等により保持される。そして、レチクル11の下面のパターン形成領域のスリット状の照明領域12に図10で後述する照明光学系から露光用の照明光が照射され、走査露光時には照明領域12の短手方向である+Y方向(又は−Y方向)に粗動ステージ2を介してレチクル11が所定速度で走査され、必要に応じて微動ステージ10により位置が微調整される。
粗動ステージ2のX方向の側面部には基準プレート5cが固定され、ベース構造体1上の基準位置に原点センサ6cが固定されている。原点センサ6cは、発光部と受光部とを備え、これら発光部と受光部との間を基準プレート5cがY方向に移動して通過する際に、その受光部から原点信号が発生するようになっている。本実施形態では、例えばレチクルステージの使用開始時等に、その原点信号を用いて各レーザ干渉計の計測値をリセットする。
また、ベース構造体1上には、粗動ステージ2のヨーガイド7をY方向に沿って挟むようにリミットセンサとしての一対のフォトインタラプタ6a及び6bが固定され、これに対応して粗動ステージ2に一対の遮光板5a及び5bが取り付けられている。
図3(B)に示すように、フォトインタラプタ6a及び6bは発光部と受光部とからなり、これら発光部と受光部との間を遮光板5a及び5bがY方向に通過する際に、その受光部からリミット信号が発生するようになっている。この場合、2つのフォトインタラプタ6a及び6bを遮光していない状態でリニアモータA及びBに対して駆動電力が供給されるようになっている。
そして、図3(A)に示すように、粗動ステージ2が−Y方向に移動して、例えば図3(B)に示すように遮光板5aがフォトインタラプタ6aを遮光すると、図1に示す制御系のフォトインタラプタ6aからドライバ制御部17にリミット信号が送出され、ドライバ制御部17によって、
・ドライバ15の電源16を遮断する
・ドライバ15への指令入力を遮断する
・ドライバ15とステージ駆動モータ(リニアモータA及びB)の接続を遮断する
・ステージ駆動モータ(リニアモータA及びB)を回生ブレーキ18がかかった状態にする
のいずれか少なくとも1つのドライバ遮断(つまり、ドライバによるステージ駆動の中止)が実行される。
・ドライバ15の電源16を遮断する
・ドライバ15への指令入力を遮断する
・ドライバ15とステージ駆動モータ(リニアモータA及びB)の接続を遮断する
・ステージ駆動モータ(リニアモータA及びB)を回生ブレーキ18がかかった状態にする
のいずれか少なくとも1つのドライバ遮断(つまり、ドライバによるステージ駆動の中止)が実行される。
ドライバ遮断が実行されると、リニアモータA及びBに対する駆動電力が遮断され、図3(A)に示すように粗動ステージ2は遮光板5aがフォトインタラプタ6aを遮光した位置で停止する。同様に、粗動ステージ2が+Y方向に移動して遮光板5bがフォトインタラプタ6bを遮光すると、フォトインタラプタ6からドライバ制御部17にリミット信号が送出され、ドライバ制御部17によって上記と同様のドライバの遮断が実行され、リニアモータA及びBに対する駆動電力が遮断される。すなわち、フォトインタラプタ6a又は6bによって粗動ステージ2のY方向での許容可動範囲が規定されている。
図1に戻って、本実施形態の動作について説明する。
前述のように、粗動ステージ2が可動範囲を超えると、ドライブ制御部17によってドライバ遮断が実行され、粗動ステージ2は遮光板5aがフォトインタラプタ6aを遮光した位置で停止する。この状態で、ドライバ15を再起動すると、粗動ステージ2の遮光板5aがフォトインタラプタ6aを遮光しているため、リミット信号がドライバ制御部17に送出される。
そこで、ドライバ15の再起動時などのシステム起動開始時(初期化シーケンス時)において、位置制御部14からマスク部19に対して初期化シーケンス信号を送出し、マスク部19はドライバ制御部17に送出されるべきリミット信号をマスクする(つまり、リミット信号の入力を禁止してドライバ遮断を解除する。)。これにより、遮光板5aがフォトインタラプタ6aを遮光している状態でドライバ15を再起動しても、ドライバ制御部17によるドライバ遮断が実行されることはなく、確実に再起動を行うことができる。
更に、位置制御部14とは別に、速度検知部20を設け、粗動ステージ2の速度が閾値(予め設定された危険速度)より速い場合、速度異常信号をドライバ制御部17に送出し、マスク状態にもかかわらず、直ちにドライバ遮断を実行する。従って、万が一、初期化シーケンスの最中、すなわちドライバ制御部17へのリミット信号がマスクされている状態でステージが暴走などを起こしても、安全にドライバ遮断を実行することができる。
速度検知部20は、例えば、電圧測定器及び電流測定器及び速度演算器及から構成されている。電圧測定器はリニアモータA,Bのコイル4a,4bの両端にかかる電圧を測定し、電圧測定器はリニアモータのコイル4a,4bに流れる電流を測定する。これらの各測定器の測定結果を用いて速度演算器でステージ速度を演算する。
コイル両端にかかる電圧は下記式1で表すことができる。
V=I・R+dI/dt・(H)+K・v・・・(1)
この式1のVはリニアモータのコイルの両端にかかる電圧、Iはコイルに流れる電流、Rはコイル両端の抵抗値、Hはコイルの自己インダクタンス、Kはモータの推力定数、vはステージ速度である。R,H,Kはモータ固有の定数で予め判明している。そして、V及びIを実測することで、ステージ速度vを推定することができる。速度演算器で推定された速度vが予め設定しておいた、危険速度v0より大きい場合、速度検知部20によって、異常速度信号がドライバ制御部17に送出され、異常速度信号を受けたドライバ制御部17はマスク部19によるマスク状態にかかわらず、直ちにドライバ遮断を実行する。
V=I・R+dI/dt・(H)+K・v・・・(1)
この式1のVはリニアモータのコイルの両端にかかる電圧、Iはコイルに流れる電流、Rはコイル両端の抵抗値、Hはコイルの自己インダクタンス、Kはモータの推力定数、vはステージ速度である。R,H,Kはモータ固有の定数で予め判明している。そして、V及びIを実測することで、ステージ速度vを推定することができる。速度演算器で推定された速度vが予め設定しておいた、危険速度v0より大きい場合、速度検知部20によって、異常速度信号がドライバ制御部17に送出され、異常速度信号を受けたドライバ制御部17はマスク部19によるマスク状態にかかわらず、直ちにドライバ遮断を実行する。
また、初期化シーケンスにおいては、例えば暴走等によりレーザ干渉計の計測値が誤っているおそれもあるため、システムの再起動時に、リニアモータA及びBを駆動して粗動ステージ2をY方向に移動させて、基準プレート5cが原点センサ6cを横切るようにする。そして、そのときに原点センサ6cから得られる原点信号を用いてレーザ干渉計の計測値をリセットする。これにより、粗動ステージ2において常に正確にY座標が計測される。一連の初期化シーケンスが完了すると、位置制御部14からマスク部19に初期化シーケンス完了信号が送出され、マスク部19によってドライバ制御部17のマスク状態は解除され、再び粗動ステージ2が可動範囲を超えたときにドライバ遮断が実行されることになる。
上記実施形態では、粗動ステージ2の駆動装置としてリニアモータA及びBが使用されているが、その他の適用例として、ボイスコイルモータ(VCM)等の他の電磁方式の駆動装置を使用することもできる。
また、上記実施形態ではリミットセンサとしてフォトインタラプタと遮光板が使用されているが、そのリミットセンサとしてファイバーセンサやレーザセンサなどを用いても良い。
さらに、リミットセンサとして機械的なスイッチを用いても良い。
また、上記実施形態では速度検知部20を電圧測定器及び電流測定器及び速度演算器で構成しているが、速度検知部20がステージ上に設置された加速度センサ及び積分器で構成されていてもよい。また、速度検知部20が速度センサで構成されていても良い。すなわち、速度を検知し、速度異常信号を送出する手段を有する構成であれば、上記実施形態に限定されない。
また、上記実施形態は走査型露光装置のレチクルステージに適用したものであるが、ウエハステージ側に適用してもよい。更に、例えば一括露光型の露光装置(ステッパー等)においても、リミットセンサによりステージの許容移動範囲を規定しているような場合には、本例を適用することにより、確実かつ安全にそのステージシステムを復帰させることができる。
このように、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。
[第2の実施形態]
図4はガイドレス6軸平面ステージを用いた位置決め装置の構成を示し、(A)は上面図、(B)は側面図である。21はベース構造体、22は駆動コイル群、23は平面ステージとしての可動ステージ本体、24はセンサ、25はバーミラー、26はチャック、27xはX方向レーザ干渉計、27yはY方向レーザ干渉計、28は永久磁石、29は切替信号、30は駆動信号、31は切替スイッチである。
図4はガイドレス6軸平面ステージを用いた位置決め装置の構成を示し、(A)は上面図、(B)は側面図である。21はベース構造体、22は駆動コイル群、23は平面ステージとしての可動ステージ本体、24はセンサ、25はバーミラー、26はチャック、27xはX方向レーザ干渉計、27yはY方向レーザ干渉計、28は永久磁石、29は切替信号、30は駆動信号、31は切替スイッチである。
図4に示すように、本実施形態のガイドレス6軸平面ステージは、ベース構造体21に格子状に駆動コイル群22が配置されており、可動ステージ本体23の下部にも同様に格子状に永久磁石28が配置されている。駆動コイル群22の少なくとも1つに電流を流すことでローレンツ力により推力を得て駆動され、6自由度の推力を得ることができる。
可動ステージ本体23上には、ウエハを不図示のバキュームエアや静電気力によって保持するチャック26と光源の光量をモニタするためのセンサやアライメント用センサなどの各種センサ24が配置される。
可動ステージ本体23上にはバーミラー25x、25yが直交方向に2本配置され、Xレーザ干渉計27x、Yレーザ干渉計27yにより少なくともX、Y、ωz方向の位置が計測され、不図示の制御系からの目標値(制御指令)に一致するように駆動コイル群22の少なくとも1つに電流を流し、案内機構を用いずに位置決めを行う。
駆動コイル群22には、可動ステージ本体23の位置に応じて駆動コイル群22を順次切り替えるための切替スイッチ31が接続される。切替スイッチ31には各コイル毎にスイッチSWnが配置されており、ステージ駆動信号30が接続される。スイッチSWnはステージの位置に応じて切替信号29により制御される。
駆動コイル群22には後の説明のために、左側から順にC1〜C18まで番号を付しておく。同様にスイッチSWnにも左側から順にSW1〜SW18まで番号を付しておく。
可動ステージ本体23と、ベース構造体1が図4(B)のような位置関係にある場合、駆動コイル群22のC4からC10は可動ステージ本体23下面の永久磁石と対向しているため、駆動信号が通電されるようにSWnを切り替えて駆動する。可動ステージ本体23の位置はレーザ干渉計27x,27yにより計測しており、可動ステージ本体23の位置に応じて切替信号29を生成することにより、駆動すべきコイルCnを適切に切り替えることが可能である。C2とC3は永久磁石と対向していないので、駆動コイルとして使用できないため、SW2とSW3は開放状態にする。
このようなガイドレス平面ステージにおいても、暴走防止の観点から、可動範囲を超えると駆動コイル群22へ供給される駆動電力は遮断されることが望ましい。図5に示すように、可動ステージ本体23の可動範囲を挟むように、ベース構造体21に沿ってリミットセンサとして4組のレーザセンサ32、33、34、35が固定されている。各レーザセンサは発光部と受光部とからなり、これら発光部と受光部との間を可動ステージ本体23が通過する際に、その受光部からリミット信号が発生するようになっている。この場合には、4組のレーザセンサを遮光していない状態で駆動コイル群22に対して駆動電力が供給されるようになっている。そして、例えば、可動ステージ本体23が+X方向に移動してレーザセンサ32を遮光すると、図6に示すように、リミットセンサ32からドライバ制御部39に信号が送出され、ドライバ制御部17によって、
・ドライバ15の電源16を遮断する
・ドライバ15への指令入力を遮断する
・ドライバ15とステージ駆動モータ(駆動コイル群22)の接続を遮断する
・ステージ駆動モータ(駆動コイル群22)を回生ブレーキ18がかかった状態にする
のいずれか少なくとも1つのドライバ遮断が実行される。
・ドライバ15の電源16を遮断する
・ドライバ15への指令入力を遮断する
・ドライバ15とステージ駆動モータ(駆動コイル群22)の接続を遮断する
・ステージ駆動モータ(駆動コイル群22)を回生ブレーキ18がかかった状態にする
のいずれか少なくとも1つのドライバ遮断が実行される。
駆動コイル群22に対する駆動電力が遮断され、可動ステージ本体23はレーザセンサ32を遮光した状態で停止する。同様に、可動ステージ本体23が−X方向、+Y方向、−Y方向にそれぞれ移動してレーザセンサ33、34、35を遮光すると、ドライバ制御部17により駆動コイル群22に対する駆動電力が遮断される。すなわち、リミットセンサ32〜35によって可動ステージ本体23のX方向及びY方向での許容移動範囲が規定されている。
しかしながら、上述したように可動ステージ本体23がガイドレス構造であるため、従来のバネなどの押し戻し手段を設置してステージ本体23をレーザセンサ32〜35を遮光しない位置に移動させることはできない。
そこで、本実施形態では、図6に示すように、ガイドレス平面ステージに搭載されたステージを駆動する制御系が、位置制御部14、ドライバ15、電源16、ドライバ制御部17、回生ブレーキ18、マスク部19、速度検知部20を備えており、前述のように、ステージ本体23が可動範囲を超えたときに、少なくともいずれかのレーザセンサ32〜35からリミット信号がドライバ制御部17に送出され、ドライバ制御部17によってドライバ遮断が実行され、可動ステージ本体23がレーザセンサ32〜35を遮光した位置で停止する。この状態で、ドライバ15を再起動すると、可動ステージ本体23がレーザセンサ32〜35を遮光しているため、リミット信号がドライバ制御部17に送出される。そこで、ドライバ15の再起動などシステムの起動開始時(初期化シーケンス時)は位置制御部14により、マスク部19に初期化シーケンス信号を発し、マスク部19はドライバ制御部17に送出されるリミット信号をマスクする。これにより、可動ステージ本体23がレーザセンサ32〜35を遮光している状態でドライバ15を再起動しても、ドライバ遮断が実行されることはなく、確実にドライバ15の再起動を行うことができる。
更に、位置制御部14とは別に、速度検知部20を設け、ステージの速度が閾値(予め設定された危険速度)より速い場合、速度異常信号をドライバ制御部17に送出し、マスク状態にかかわらず、直ちにドライバ遮断を実行する。従って、万が一、初期化シーケンスの最中、すなわちドライバ制御部17へのリミット信号がマスクされている状態でステージが暴走などを起こしても、安全にドライバ遮断を実行することができる。速度検知部20の機能については、第1の実施形態で説明した通りであるので、ここでの説明は省略する。
また、上記実施形態ではリミットセンサとしてレーザセンサが使用されているが、それに限るものではない。また、上記実施形態は走査型露光装置のガイドレスタイプのウエハステージに適用したものであるが、レチクルステージ側に本発明を適用してもよい。このように、本発明は上述実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。
[効果の説明]
可動ステージ2が所定の許容移動範囲を超えたときにその駆動装置に対する駆動電力を遮断するような位置決め装置において、例えば可動ステージ2が暴走して可動範囲を超え、リミットセンサを作動させてドライバ遮断が行われた場合には、次回再起動する際、すなわち初期化シーケンスにおいては、マスク部19によってリミット信号をマスクし、ドライバ制御部17によるドライバ遮断の実行を阻止する。従って、リミットセンサを作動した状態で可動ステージ2が停止していても、確実にドライバ15を再起動することができる。すなわち、手動等により可動ステージ2を押し戻す必要がなくなる。また、ドライバ遮断によって回生ブレーキ18などが作動し、可動ステージ2の移動が困難な場合においても確実にドライバ15を再起動することができる。
可動ステージ2が所定の許容移動範囲を超えたときにその駆動装置に対する駆動電力を遮断するような位置決め装置において、例えば可動ステージ2が暴走して可動範囲を超え、リミットセンサを作動させてドライバ遮断が行われた場合には、次回再起動する際、すなわち初期化シーケンスにおいては、マスク部19によってリミット信号をマスクし、ドライバ制御部17によるドライバ遮断の実行を阻止する。従って、リミットセンサを作動した状態で可動ステージ2が停止していても、確実にドライバ15を再起動することができる。すなわち、手動等により可動ステージ2を押し戻す必要がなくなる。また、ドライバ遮断によって回生ブレーキ18などが作動し、可動ステージ2の移動が困難な場合においても確実にドライバ15を再起動することができる。
さらに、速度検知部20を設けることによって、初期化シーケンスにおいてドライバ制御部17がマスク部19にマスクされている状態で、可動ステージ2が暴走しても速度検知部20が異常速度を感知し、マスク状態にかかわらず直ちにドライバ遮断を実行する。従って、ドライバ制御部17がマスクされていても安全に初期化シーケンスを行うことができる。
さらに、ガイドレスの6自由度平面ステージのようにバネなどの押し戻し手段を設置して可動ステージ本体を移動させることが不可能な構成であっても確実かつ安全にドライバ15を再起動することができる。
すなわち、本実施形態の位置決め装置を露光装置に搭載すれれば、可動ステージが暴走した場合でもオペレータが介在して露光工程を中断する必要がなくなるため、露光工程のスループット(生産性)が向上する。また、可動ステージにバネなどの押し戻し手段を搭載する必要がなくなるため、装置の規模を小さくすることができる。
[露光装置への適用例]
図10は、上記実施形態の位置決め装置をウエハステージとして適用した半導体デバイス製造用の露光装置を例示する図である。
図10は、上記実施形態の位置決め装置をウエハステージとして適用した半導体デバイス製造用の露光装置を例示する図である。
図10に示すように、本実施形態の露光装置は、露光光を照射する照明装置51、レチクルを保持・移動させるレチクルステージ52、投影光学系53、ウエハを保持・移動させるウエハステージ54を備える。露光装置は、レチクルに形成された回路パターンをウエハに投影露光するものであるが、投影露光方式は、ステップアンドリピート式やステップアンドスキャン式が適用できる。
照明装置51は、回路パターンが形成されたレチクルを照明し、光源部と照明光学系とを有する。光源部は、例えば、光源としてレーザを使用する。レーザは、波長約193nmのArFエキシマレーザ、波長約248nmのKrFエキシマレーザ、波長約153nmのF2エキシマレーザなどを使用することができるが、レーザの種類はエキシマレーザに限定されず、例えば、YAGレーザを使用してもよいし、そのレーザの個数も限定されない。光源にレーザが使用される場合、レーザ光源からの平行光束を所望のビーム形状に整形する光束整形光学系、コヒーレントなレーザ光束をインコヒーレント化するインコヒーレント化光学系を使用することが好ましい。また、光源部に使用可能な光源はレーザに限定されるものではなく、一又は複数の水銀ランプやキセノンランプなどのランプも使用可能である。照明光学系はレチクルを照明する光学系であり、レンズ、ミラー、ライトインテグレーター、絞り等を含む。
投影光学系53は、複数のレンズ素子のみからなる光学系、複数のレンズ素子と少なくとも1枚の凹面鏡とを有する光学系(カタディオプトリック光学系)、複数のレンズ素子と少なくとも1枚のキノフォームなどの回折光学素子とを有する光学系、全ミラー型の光学系等を使用することができる。
このような露光装置は、半導体集積回路等の半導体デバイスや、マイクロマシン、薄膜磁気ヘッド等の微細なパターンが形成されたデバイスの製造に利用され得る。
上記構成によれば、パターンの重ね合わせ精度、装置の稼動効率(スループット)の少なくともいずれかを向上させた露光装置を実現することができる。
[デバイス製造方法]
次に、上述した露光装置を利用したデバイス製造方法の実施形態を説明する。
次に、上述した露光装置を利用したデバイス製造方法の実施形態を説明する。
図11は微小デバイス(ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等)の製造のフローを示す。ステップS1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行なう。ステップS2(露光制御データ作成)では設計した回路パターンに基づいて露光装置の露光制御データを作成する。一方、ステップS3(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップS4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記用意した露光制御データが入力された露光装置とウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップS5(組み立て)は後工程と呼ばれ、ステップS4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の工程を含む。ステップS6(検査)ではステップS5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷(ステップS7)される。
図12は上記ウエハプロセスの詳細なフローを示す。ステップS11(酸化)ではウエハの表面を酸化させる。ステップS12(CVD)ではウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップS13(電極形成)ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップS14(イオン打込み)ではウエハにイオンを打ち込む。ステップS15(レジスト処理)ではウエハに感光剤を塗布する。ステップS16(露光)では上記説明した露光装置によって回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップS17(現像)では露光したウエハを現像する。ステップ18(エッチング)では現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップS19(レジスト剥離)ではエッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行なうことによって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
本実施形態の製造方法を用いれば、従来は製造が難しかった高集積度の半導体デバイスを低コストに製造することができる。
本発明の位置決め装置は、半導体素子や液晶表示素子等の製造に使用される半導体露光装置の他、各種精密加工装置や各種精密測定装置等にも適用可能であり、被加工物や被測定物を高精度で高速移動させた位置決めが可能となる。
1:ベース構造体
2:粗動ステージ
3a、3b:粗動リニアモータ可動子
4a、4b:粗動リニアモータ固定子
A(3a、4a):粗動リニアモータ
B(3b、4b):粗動リニアモータ
5a、5b:遮光板
5c:基準プレート
6a、6b:リミットセンサ
6c:原点センサ
7:ヨーガイド
8x:X方向計測用バーミラー
8y:Y方向計測用バーミラー
9x:X方向計測用レーザ干渉計
9ya、9yb:Y方向計測用レーザ干渉計
10:微動ステージ
11:レチクル
12:スリット状照射領域
13:静圧案内
14:位置制御部
15:ドライバ
16:電源
17:ドライバ制御部
18:回生ブレーキ
19:マスク部
20:速度検知部
21:ベース構造体
22:駆動コイル群
23:可動ステージ本体
24:センサ
25x:X方向計測用バーミラー
25y:Y方向計測用バーミラー
26:チャック
27x:X方向計測用バーミラー
27y:Y方向計測用バーミラー
28:永久磁石
29:切替信号
30:駆動信号
31:切替スイッチ
32〜35:リミットセンサ
2:粗動ステージ
3a、3b:粗動リニアモータ可動子
4a、4b:粗動リニアモータ固定子
A(3a、4a):粗動リニアモータ
B(3b、4b):粗動リニアモータ
5a、5b:遮光板
5c:基準プレート
6a、6b:リミットセンサ
6c:原点センサ
7:ヨーガイド
8x:X方向計測用バーミラー
8y:Y方向計測用バーミラー
9x:X方向計測用レーザ干渉計
9ya、9yb:Y方向計測用レーザ干渉計
10:微動ステージ
11:レチクル
12:スリット状照射領域
13:静圧案内
14:位置制御部
15:ドライバ
16:電源
17:ドライバ制御部
18:回生ブレーキ
19:マスク部
20:速度検知部
21:ベース構造体
22:駆動コイル群
23:可動ステージ本体
24:センサ
25x:X方向計測用バーミラー
25y:Y方向計測用バーミラー
26:チャック
27x:X方向計測用バーミラー
27y:Y方向計測用バーミラー
28:永久磁石
29:切替信号
30:駆動信号
31:切替スイッチ
32〜35:リミットセンサ
Claims (11)
- 固定子と可動子とを有するステージと、
前記ステージの位置制御指令に基づいて前記ステージを駆動する駆動手段と、
前記ステージが所定の可動範囲を超えたことを検出する位置検出手段と、
前記検出手段による検出結果に基づいて前記駆動手段によるステージ駆動を中止させる駆動制御手段と、
前記ステージの再起動時に、前記駆動制御手段によるステージ駆動の中止を解除する解除手段とを具備することを特徴とする位置決め装置。 - 前記ステージの速度を検出する速度検出手段を更に備え、
前記ステージの速度が所定値より大きい場合、前記解除手段が前記ステージ駆動の中止を解除しているにもかかわらず、前記駆動制御手段に対して前記駆動手段によるステージ駆動を中止させることを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。 - 前記駆動制御手段によるステージ駆動の中止は、前記駆動手段への電力供給の停止、前記駆動手段への位置制御指令の入力停止、前記ステージとの接続を遮断、前記ステージに対する回生制動力の印加の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の位置決め装置。
- 前記解除手段は、前記ステージの再起動時に、前記駆動手段によるステージ駆動の中止を解除し、当該再起動後において、前記駆動制御手段は前記検出手段による検出結果に基づいて前記駆動手段によるステージ駆動を中止させることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の位置決め装置。
- 前記速度検知手段は、前記ステージに通電される電流値及び電圧値を用いて前記ステージの速度を演算することを特徴とする請求項2に記載の位置決め装置。
- 前記速度検出手段は、加速度センサの検知信号を用いて前記ステージの速度を演算することを特徴とする請求項2に記載の位置決め装置。
- 前記可動子を永久磁石、前記固定子をコイルとするリニアモータを構成することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の位置決め装置。
- 前記可動子は複数の永久磁石が所定方向に着磁されて周期的に平面状に配列され、前記固定子は複数のコイルが前記永久磁石に対向し、当該磁石の配列周期に対応するように配列され、当該可動子と固定子とによりガイドレス平面モータを構成することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の位置決め装置。
- 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の位置決め装置を備え、
前記位置決め装置によって、原版と基板とを相対的に移動して当該原版上のパターンを基板上に露光することを特徴とする露光装置。 - 請求項9に記載の露光装置を用いて半導体デバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
- 固定子と可動子とを有するステージと、前記ステージの位置制御指令に基づいて前記ステージを駆動する駆動手段と、前記ステージが所定の可動範囲を超えたことを検出する位置検出手段と、前記検出手段による検出結果に基づいて前記駆動手段によるステージ駆動を中止させる駆動制御手段と、を備える位置決め装置の制御方法であって、
前記ステージの再起動時に、前記駆動制御手段によるステージ駆動の中止を解除することを特徴とする制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005107745A JP2006287121A (ja) | 2005-04-04 | 2005-04-04 | 位置決め装置及びその制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006287121A true JP2006287121A (ja) | 2006-10-19 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011014876A (ja) * | 2009-06-04 | 2011-01-20 | Canon Inc | 位置決め装置、及びそれを用いたリソグラフィ装置並びにデバイス製造方法 |
JP2015099916A (ja) * | 2013-10-16 | 2015-05-28 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、リソグラフィ装置、それを用いた物品の製造方法 |
-
2005
- 2005-04-04 JP JP2005107745A patent/JP2006287121A/ja not_active Withdrawn
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