JPH0713998B2 - ウエハの位置検出装置 - Google Patents
ウエハの位置検出装置Info
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- JPH0713998B2 JPH0713998B2 JP1209850A JP20985089A JPH0713998B2 JP H0713998 B2 JPH0713998 B2 JP H0713998B2 JP 1209850 A JP1209850 A JP 1209850A JP 20985089 A JP20985089 A JP 20985089A JP H0713998 B2 JPH0713998 B2 JP H0713998B2
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- Japan
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- wafer
- peripheral position
- position data
- data
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、外周部にオリエンテーションフラットと呼ば
れる直線状の切欠き部が形成された半導体ウエハやセラ
ミックスウエハなどのウエハの位置を検出する装置に関
する。
れる直線状の切欠き部が形成された半導体ウエハやセラ
ミックスウエハなどのウエハの位置を検出する装置に関
する。
＜従来の技術＞ 半導体ウエハなどの製造工程で使用される各種の製造装
置には、ウエハを所定方向に位置決めしてセッティング
されるものが多い。例えば、ウエハの露光装置では予め
粗く位置決めされたウエハがセッティングされたり、搬
送用キャリア内にウエハのオリエンテーションフラット
を揃えて収納したりしている。このようにウエハを位置
決めするためにウエハの位置検出が行われる。
置には、ウエハを所定方向に位置決めしてセッティング
されるものが多い。例えば、ウエハの露光装置では予め
粗く位置決めされたウエハがセッティングされたり、搬
送用キャリア内にウエハのオリエンテーションフラット
を揃えて収納したりしている。このようにウエハを位置
決めするためにウエハの位置検出が行われる。
従来、ウエハの位置検出装置として次のようなものがあ
る。
る。
例えば、特開昭60-80241号公報に開示されている位置合
せ装置は、テーブルに吸着保持されて回転駆動されるウ
エハのオリエンテーションフラットの両端を光センサで
検知し、そのときのテーブルの回転角度P1,P2をそれぞ
れ求め、(P1+P2)/2の位置を基準としてウエハを位置決
めしている。
せ装置は、テーブルに吸着保持されて回転駆動されるウ
エハのオリエンテーションフラットの両端を光センサで
検知し、そのときのテーブルの回転角度P1,P2をそれぞ
れ求め、(P1+P2)/2の位置を基準としてウエハを位置決
めしている。
また、特開昭61-276229号公報に開示されているウエハ
位置検出装置は、テーブルに吸着保持されたウエハの回
転角度を検出し、この角度検出信号に同期して一次元イ
メージセンサを走査することにより、ウエハ外周の離散
的な位置情報を得ている。
位置検出装置は、テーブルに吸着保持されたウエハの回
転角度を検出し、この角度検出信号に同期して一次元イ
メージセンサを走査することにより、ウエハ外周の離散
的な位置情報を得ている。
＜発明が解決しようとする課題＞ しかしながら、上述した従来装置には次のような問題点
がある。
がある。
前者の装置によれば、ウエハ位置検出用光センサのビー
ム径が大きい場合や、ウエハに２箇所以上のオリエンテ
ーションフラットが形成されていたような場合には、ウ
エハの位置を正しく検出することができないという問題
点がある。
ム径が大きい場合や、ウエハに２箇所以上のオリエンテ
ーションフラットが形成されていたような場合には、ウ
エハの位置を正しく検出することができないという問題
点がある。
一方、後者の装置によれば、ウエハの全周囲にわたって
位置情報を得られるから、上記のような問題点は解決さ
れると考えられるが、ウエハの回転角度を検出する必要
があるため、角度検出器としてロータリエンコーダやレ
ゾルバなどを備える必要があり、装置が複雑化して高価
になるという別異の問題点がある。
位置情報を得られるから、上記のような問題点は解決さ
れると考えられるが、ウエハの回転角度を検出する必要
があるため、角度検出器としてロータリエンコーダやレ
ゾルバなどを備える必要があり、装置が複雑化して高価
になるという別異の問題点がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、比較的に簡単な構成によってウエハ周辺の位置情報
を得て、ウエハの位置を精度よく検出することができる
ウエハの位置検出装置を提供することを目的としてい
る。
て、比較的に簡単な構成によってウエハ周辺の位置情報
を得て、ウエハの位置を精度よく検出することができる
ウエハの位置検出装置を提供することを目的としてい
る。
＜課題を解決するための手段＞ 本発明は、このような目的を達成するために、次のよう
な構成をとる。
な構成をとる。
即ち、本発明は、オリエンテーションフラットが形成さ
れたウエハの位置を検出する装置であって、 ウエハを回転駆動するウエハ回転駆動手段と、前記ウエ
ハ回転駆動手段を所定の角度毎に停止させるようにステ
ップ送りする回転駆動制御手段と、 前記ウエハの周辺位置を検出する一次元イメージセンサ
と、 前記ステップ送りによるウエハの停止時に前記一次元イ
メージセンサからの周辺位置データを取り込むタイミン
グを与えるデータ取り込みタイミング制御手段と、 前記取り込まれた周辺位置データを各サンプリング点の
変位角度に対応付けて記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された周辺位置データ群の中で最大
の周辺位置データをもつサンプリング点を挟む二つのサ
ンプリング点について、それぞれの変位角度と周辺位置
データとに基づき、回転中心からオリエンテーションフ
ラットに下した垂線の、基準点からの変位角度を求める
演算手段と、を備えたものである。
れたウエハの位置を検出する装置であって、 ウエハを回転駆動するウエハ回転駆動手段と、前記ウエ
ハ回転駆動手段を所定の角度毎に停止させるようにステ
ップ送りする回転駆動制御手段と、 前記ウエハの周辺位置を検出する一次元イメージセンサ
と、 前記ステップ送りによるウエハの停止時に前記一次元イ
メージセンサからの周辺位置データを取り込むタイミン
グを与えるデータ取り込みタイミング制御手段と、 前記取り込まれた周辺位置データを各サンプリング点の
変位角度に対応付けて記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された周辺位置データ群の中で最大
の周辺位置データをもつサンプリング点を挟む二つのサ
ンプリング点について、それぞれの変位角度と周辺位置
データとに基づき、回転中心からオリエンテーションフ
ラットに下した垂線の、基準点からの変位角度を求める
演算手段と、を備えたものである。
＜作用＞ 本発明の作用は次のとおりである。
ウエハの周辺位置データのサンプリング時において、回
転駆動制御手段からの指令により、ウエハ回転駆動手段
はウエハを所定の角度毎に停止させるようにステップ送
りする。データ取り込みタイミング制御手段は、一次元
イメージセンサから連続的に出力されている周辺位置デ
ータのうち、ステップ送りによるウエハが停止したとき
の周辺位置データを取り込むようにデータ取り込みタイ
ミングを制御する。取り込まれた周辺位置データは、各
々のサンプリング点の変位角度に対応付けて記憶手段に
記憶される。
転駆動制御手段からの指令により、ウエハ回転駆動手段
はウエハを所定の角度毎に停止させるようにステップ送
りする。データ取り込みタイミング制御手段は、一次元
イメージセンサから連続的に出力されている周辺位置デ
ータのうち、ステップ送りによるウエハが停止したとき
の周辺位置データを取り込むようにデータ取り込みタイ
ミングを制御する。取り込まれた周辺位置データは、各
々のサンプリング点の変位角度に対応付けて記憶手段に
記憶される。
演算手段は、記憶手段に記憶された周辺位置データ群の
中から最大の周辺位置データをもつサンプリング点を選
択し、そのサンプリング点を挟む二つのサンプリング点
を適宜に選び出し、これらの二つのサンプリング点の各
々の変位角度と周辺位置データとに基づき、回転中心か
らオリエンテーションフラットに下した垂線の、基準点
からの変位角度を算出する。
中から最大の周辺位置データをもつサンプリング点を選
択し、そのサンプリング点を挟む二つのサンプリング点
を適宜に選び出し、これらの二つのサンプリング点の各
々の変位角度と周辺位置データとに基づき、回転中心か
らオリエンテーションフラットに下した垂線の、基準点
からの変位角度を算出する。
＜実施例＞ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例に係るウエハの位置検出装置
の概略構成を示したブロック図、第２図はウエハの回転
駆動部周辺の概略構成を示しており、同図（ａ）はテー
ブルに載置されたウエハの平面図、同図（ｂ）は回転駆
動部の側面図である。
の概略構成を示したブロック図、第２図はウエハの回転
駆動部周辺の概略構成を示しており、同図（ａ）はテー
ブルに載置されたウエハの平面図、同図（ｂ）は回転駆
動部の側面図である。
第２図において、符号１はウエハＷを吸着保持するテー
ブルであり、このテーブル１はウエハ回転駆動手段とし
てのパルスモータ２によって回転駆動される。３は、ウ
エハＷの周辺位置を検出する一次元イメージセンサとし
てのCCDラインセンサであり、このCCDラインセンサ３の
上方には周辺位置検出用の光源４および光学系５が設け
られている。CCDラインセンサ３は、ウエハＷがテーブ
ル１にそれぞれの中心が一致するように載置された時
に、ウエハＷの円弧部端縁がCCDラインセンサ３の有効
画素領域の中央になるように配置されている。
ブルであり、このテーブル１はウエハ回転駆動手段とし
てのパルスモータ２によって回転駆動される。３は、ウ
エハＷの周辺位置を検出する一次元イメージセンサとし
てのCCDラインセンサであり、このCCDラインセンサ３の
上方には周辺位置検出用の光源４および光学系５が設け
られている。CCDラインセンサ３は、ウエハＷがテーブ
ル１にそれぞれの中心が一致するように載置された時
に、ウエハＷの円弧部端縁がCCDラインセンサ３の有効
画素領域の中央になるように配置されている。
第１図を参照する。CCDラインセンサ３はCCD駆動回路６
によって、パルスモータ２の回転とは無関係（非同期）
に連続的にウエハＷの周辺位置を検出しており、その検
出信号は信号処理回路７に逐次与えられる。CCDライン
センサ３からの検出信号に基づき、信号処理回路７は光
源４からの照射光を受光したCCDラインセンサ３の画素
数に比例したアナログ信号を出力する。このアナログ信
号はA/D変換器８に与えられる。データ取り込みタイミ
ング制御手段としての機能を備えたCPU9は、A/D変換器
８にデータ取り込みタイミング信号を与え、このタイミ
ング信号に基づいて前記入力アナログ信号がデジタル信
号に変換される。このデジタル信号はウエハＷの周辺位
置データとしてCPU9を介してRAM10に記憶される。
によって、パルスモータ２の回転とは無関係（非同期）
に連続的にウエハＷの周辺位置を検出しており、その検
出信号は信号処理回路７に逐次与えられる。CCDライン
センサ３からの検出信号に基づき、信号処理回路７は光
源４からの照射光を受光したCCDラインセンサ３の画素
数に比例したアナログ信号を出力する。このアナログ信
号はA/D変換器８に与えられる。データ取り込みタイミ
ング制御手段としての機能を備えたCPU9は、A/D変換器
８にデータ取り込みタイミング信号を与え、このタイミ
ング信号に基づいて前記入力アナログ信号がデジタル信
号に変換される。このデジタル信号はウエハＷの周辺位
置データとしてCPU9を介してRAM10に記憶される。
CPU9、パルス発生回路11およびカウンタ13は、パルスモ
ータ２のステップ送りを制御する回転駆動制御手段に対
応し、パルス発生回路11はCPU9から与えられた回転数デ
ータに基づき、パルスモータ駆動回路12に所要個数のパ
ルス信号を出力する。カウンタ13は、CPU9から前記回転
数データをプリセット信号として与えられるプログラマ
ブルカウンタで、パルス発生回路11が回転数データに対
応した個数のパルス信号を出力したときに、カウントア
ップ信号をCPU9に出力する。上記CPU9は、RAM10に記憶
された周辺位置データに基づいて、ウエハＷの位置を算
出する演算手段としての機能も備えており、この機能に
ついては、後述する動作説明において詳しく説明する。
ータ２のステップ送りを制御する回転駆動制御手段に対
応し、パルス発生回路11はCPU9から与えられた回転数デ
ータに基づき、パルスモータ駆動回路12に所要個数のパ
ルス信号を出力する。カウンタ13は、CPU9から前記回転
数データをプリセット信号として与えられるプログラマ
ブルカウンタで、パルス発生回路11が回転数データに対
応した個数のパルス信号を出力したときに、カウントア
ップ信号をCPU9に出力する。上記CPU9は、RAM10に記憶
された周辺位置データに基づいて、ウエハＷの位置を算
出する演算手段としての機能も備えており、この機能に
ついては、後述する動作説明において詳しく説明する。
次に、第３図に示したフローチャートを参照して、ウエ
ハＷの周辺位置データのサンプリング処理手順を説明す
る。
ハＷの周辺位置データのサンプリング処理手順を説明す
る。
テーブル１にウエハＷがセットされると、CPU9はA/D変
換器８に対して、周辺位置データの取り込みタイミング
信号を出力する。これにより、θアドレスが０°のサン
プリング点、即ち、CCDラインセンサ３に最初に対向し
ていた点の周辺位置データがCPU9を介してRAM10に記憶
される（ステップS1）。
換器８に対して、周辺位置データの取り込みタイミング
信号を出力する。これにより、θアドレスが０°のサン
プリング点、即ち、CCDラインセンサ３に最初に対向し
ていた点の周辺位置データがCPU9を介してRAM10に記憶
される（ステップS1）。
最初の周辺位置データが取り込まれると、CPU9は、デー
タサンプリング用のステップ送り角度（例えば、９°）
に対応した回転数データをパルス発生回路11に与えると
ともに、この回転数データをカウンタ13にプリセットす
る。これによりパルス発生回路11から回転数データに対
応した個数のパルス信号が出力されてパルスモータ２が
駆動される結果、ウエハＷが所定角度だけステップ送り
される（ステップS2）。
タサンプリング用のステップ送り角度（例えば、９°）
に対応した回転数データをパルス発生回路11に与えると
ともに、この回転数データをカウンタ13にプリセットす
る。これによりパルス発生回路11から回転数データに対
応した個数のパルス信号が出力されてパルスモータ２が
駆動される結果、ウエハＷが所定角度だけステップ送り
される（ステップS2）。
設定された数のパルス信号が出力されると、カウンタ13
はCPU9に対してカウントアップ信号を出力する。CPU9
は、このカウントアップ信号に基づいて、パルスモータ
２が停止したかどうかを判断する（ステップS3）。
はCPU9に対してカウントアップ信号を出力する。CPU9
は、このカウントアップ信号に基づいて、パルスモータ
２が停止したかどうかを判断する（ステップS3）。
パルスモータ２が停止すると、CPU9はA/D変換器８にデ
ータ取り込みタイミング信号を出力して、次のサンプリ
ング点の周辺位置データを取り込み、これをRAM10に記
憶する（ステップS4）。
ータ取り込みタイミング信号を出力して、次のサンプリ
ング点の周辺位置データを取り込み、これをRAM10に記
憶する（ステップS4）。
周辺位置データが取り込まれると、CPU9はウエハの全周
囲の周辺位置データの取り込みが完了したかどうか、即
ち、パルスモータ２が360°回転駆動されたかどうかを
判断し（ステップS5）、完了していなければ、前記ステ
ップS2ないしステップS4の動作を繰り返す。
囲の周辺位置データの取り込みが完了したかどうか、即
ち、パルスモータ２が360°回転駆動されたかどうかを
判断し（ステップS5）、完了していなければ、前記ステ
ップS2ないしステップS4の動作を繰り返す。
以上のようにして、ウエハＷの全周囲にわたる離散的な
周辺位置データが採取される。第４図は採取された周辺
位置データの一例を示している。ウエハＷはテーブル１
の中心に対して多少偏心して載置されるのが普通である
から、周辺位置データは、ウエハ中心とテーブル中心と
が一致しているときのウエハ円弧部の周辺位置データD0
を中心に滑らかに変化している。なお、第４図中のＡ領
域はオリエンテーションフラット部分の周辺位置データ
を示している。
周辺位置データが採取される。第４図は採取された周辺
位置データの一例を示している。ウエハＷはテーブル１
の中心に対して多少偏心して載置されるのが普通である
から、周辺位置データは、ウエハ中心とテーブル中心と
が一致しているときのウエハ円弧部の周辺位置データD0
を中心に滑らかに変化している。なお、第４図中のＡ領
域はオリエンテーションフラット部分の周辺位置データ
を示している。
ステップS5までの処理でウエハＷの周辺位置データの取
り込みが完了するが、本実施例では、上記の処理中にパ
ルスモータ２が脱調したり、ウエハＷのセッティング位
置がずれなかったかどうかを判断するために、ステップ
S6〜S8の処理を行っている。
り込みが完了するが、本実施例では、上記の処理中にパ
ルスモータ２が脱調したり、ウエハＷのセッティング位
置がずれなかったかどうかを判断するために、ステップ
S6〜S8の処理を行っている。
即ち、360°回転されることによって周辺位置データの
採取が終わったウエハＷは、元のサンプリング開始点に
位置しており、その位置の周辺位置データを再びサンプ
リングする（ステップS6）。そして、最初にサンプリン
グした周辺位置データと今回の周辺位置データとを比較
し、その誤差が許容範囲内に入っているかどうかを判断
する（ステップS7）。許容範囲内に入っていなければ、
ウエハＷの周辺位置データが正常に採取されなかったも
のと判断して、エラー表示を行ってオペレータに注意を
促す（ステップS8）。
採取が終わったウエハＷは、元のサンプリング開始点に
位置しており、その位置の周辺位置データを再びサンプ
リングする（ステップS6）。そして、最初にサンプリン
グした周辺位置データと今回の周辺位置データとを比較
し、その誤差が許容範囲内に入っているかどうかを判断
する（ステップS7）。許容範囲内に入っていなければ、
ウエハＷの周辺位置データが正常に採取されなかったも
のと判断して、エラー表示を行ってオペレータに注意を
促す（ステップS8）。
ウエハＷの周辺位置データが正しく採取されている場
合、次のような手順によってウエハＷの位置が求められ
る。
合、次のような手順によってウエハＷの位置が求められ
る。
以下、第５図を参照する。第５図はテーブル１に載置さ
れたウエハＷの平面図を示しており、図中、Owはウエハ
中心、ＯはウエハＷの回転中心となるテーブル中心、Pm
〜Pm+7はオリエンテーションフラット部周辺のサンプリ
ング点、θm〜θm+7は各サンプリング点の変位角度に対
応するθアドレスを示している。なお、各サンプリング
点のθアドレス（変位角度）は、サンプリング開始点で
あるCCDラインセンサ３の設置位置を基準点として定め
られている。
れたウエハＷの平面図を示しており、図中、Owはウエハ
中心、ＯはウエハＷの回転中心となるテーブル中心、Pm
〜Pm+7はオリエンテーションフラット部周辺のサンプリ
ング点、θm〜θm+7は各サンプリング点の変位角度に対
応するθアドレスを示している。なお、各サンプリング
点のθアドレス（変位角度）は、サンプリング開始点で
あるCCDラインセンサ３の設置位置を基準点として定め
られている。
本実施例において、ウエハＷの位置は、テーブル中心
（回転中心）Ｏからオリエンテーションフラットに下し
た垂線▲▼が、CCDラインセンサ３の設置位置であ
る基準点θ0からどれだけ変位しているかをもって表さ
れ、この垂線▲▼の変位角度γは次に示す手順で算
出される。
（回転中心）Ｏからオリエンテーションフラットに下し
た垂線▲▼が、CCDラインセンサ３の設置位置であ
る基準点θ0からどれだけ変位しているかをもって表さ
れ、この垂線▲▼の変位角度γは次に示す手順で算
出される。
まず、採取した周辺位置データ群の中から、最大の周
辺位置データを持ったサンプリング点を探し出す。周辺
位置データは、CCDラインセンサ３が広範囲にわたって
受光するほど大きくなるので、最大の周辺位置データを
持ったサンプリング点は、ウエハＷが極端に偏心してテ
ーブル１に載置されていない限り、オリエンテーション
フラット部に含まれる。ここではθアドレスがθm+4の
サンプリング点Pm+4が検出されたとする。
辺位置データを持ったサンプリング点を探し出す。周辺
位置データは、CCDラインセンサ３が広範囲にわたって
受光するほど大きくなるので、最大の周辺位置データを
持ったサンプリング点は、ウエハＷが極端に偏心してテ
ーブル１に載置されていない限り、オリエンテーション
フラット部に含まれる。ここではθアドレスがθm+4の
サンプリング点Pm+4が検出されたとする。
次に、前記サンプリング点Pm+4を挟むサンプリング点
でオリエンテーションフラットの中にあるサンプリング
点を適当に選択する。これは、最大周辺位置データをも
つサンプリング点のθアドレスに対し予め定められたス
テップ角だけ離れたサンプリング点を選択することによ
って決定される。ここでは、Pm+4から２ステップ角だけ
離れたθm+2およひθm+6の各サンプリング点Pm+2および
Pm+6が選ばれたとする。
でオリエンテーションフラットの中にあるサンプリング
点を適当に選択する。これは、最大周辺位置データをも
つサンプリング点のθアドレスに対し予め定められたス
テップ角だけ離れたサンプリング点を選択することによ
って決定される。ここでは、Pm+4から２ステップ角だけ
離れたθm+2およひθm+6の各サンプリング点Pm+2および
Pm+6が選ばれたとする。
▲▼m+2と▲▼m+6の開き角をαとすると、垂
線▲▼の長さは次式（１）で表される。
線▲▼の長さは次式（１）で表される。
▲▼＝▲▼m+2 cosβ＝▲▼m+6 cos（α−
β） ……（１） ▲▼m+2，▲▼m+6は、テーブル中心ＯからCCD
ラインセンサ３の中央位置までの距離L0から各サンプリ
ング点Pm+2およびPm+6の周辺位置データDm+2，Dm+6をそ
れぞれ差し引くことによって容易に求まり、αはθm+6
−θm+2で与えられる。また、βは、サンプリング点P
m+2のθアドレスθm+2に対する垂線▲▼よりの開き
角を示している。
β） ……（１） ▲▼m+2，▲▼m+6は、テーブル中心ＯからCCD
ラインセンサ３の中央位置までの距離L0から各サンプリ
ング点Pm+2およびPm+6の周辺位置データDm+2，Dm+6をそ
れぞれ差し引くことによって容易に求まり、αはθm+6
−θm+2で与えられる。また、βは、サンプリング点P
m+2のθアドレスθm+2に対する垂線▲▼よりの開き
角を示している。
上式（１）より、開き角βを算出するための次式（２）
が得られる。
が得られる。
上式（２）より、θアドレスθm+2に対する垂線▲
▼の開き角βが算出されると、基準点θ0に対する垂線
▲▼の変位角度γは、次式（３）により容易に算出
される。
▼の開き角βが算出されると、基準点θ0に対する垂線
▲▼の変位角度γは、次式（３）により容易に算出
される。
γ＝θm+2＋β ……（３） 以上のようにして、基準点θ0に対する垂線▲▼の
変位角度γが検出されることにより、ウエハＷの現在位
置が判るので、テーブル１を適宜に回転駆動することに
よりウエハＷをテーブル１上の任意の角度位置に位置決
めすることができる。
変位角度γが検出されることにより、ウエハＷの現在位
置が判るので、テーブル１を適宜に回転駆動することに
よりウエハＷをテーブル１上の任意の角度位置に位置決
めすることができる。
なお、第５図においては、ウエハＷがテーブル１に偏心
して置かれた場合の位置検出について説明したが、第６
図に示すように、ウエハＷに二つ以上のオリエンテーシ
ョンフラットOF1,OF2が形成されていたり、ウエハＷの
周辺部に欠けＢが生じていたような場合も、正しく位置
検出を行うことができる。即ち、オリエンテーションフ
ラットOF2や欠けＢの切欠き深さが、位置合わせの基準
となるオリエンテーションフラットOF1の切欠き深さよ
りも浅い限り、採取された周辺位置データ群の中で最大
の値DMAXをとるサンプリング点は、必ずオリエンテーシ
ョンフラットOF1に含まれるからである。
して置かれた場合の位置検出について説明したが、第６
図に示すように、ウエハＷに二つ以上のオリエンテーシ
ョンフラットOF1,OF2が形成されていたり、ウエハＷの
周辺部に欠けＢが生じていたような場合も、正しく位置
検出を行うことができる。即ち、オリエンテーションフ
ラットOF2や欠けＢの切欠き深さが、位置合わせの基準
となるオリエンテーションフラットOF1の切欠き深さよ
りも浅い限り、採取された周辺位置データ群の中で最大
の値DMAXをとるサンプリング点は、必ずオリエンテーシ
ョンフラットOF1に含まれるからである。
また、上述の実施例では、ウエハＷをステップ送りする
ことによって得られたサンプリング点の周辺位置データ
のみを使用して、ウエハＷの位置検出を行っているが、
各サンプリング点間を例えば直線補間することによって
得られた補間データをも合わせた周辺位置データに基づ
いて、ウエハＷの位置を検出するようにしてもよい。
ことによって得られたサンプリング点の周辺位置データ
のみを使用して、ウエハＷの位置検出を行っているが、
各サンプリング点間を例えば直線補間することによって
得られた補間データをも合わせた周辺位置データに基づ
いて、ウエハＷの位置を検出するようにしてもよい。
さらに、実施例ではRAM10に記憶された周辺位置データ
群の中で最大の周辺位置データをもつサンプリング点を
挟む二つのサンプリング点として、２ステップ角だけ離
れたサンプリング点を選択しているが、１ステップ角、
あるいは３ステップ角以上離れたサンプリング点を選択
してもよい。
群の中で最大の周辺位置データをもつサンプリング点を
挟む二つのサンプリング点として、２ステップ角だけ離
れたサンプリング点を選択しているが、１ステップ角、
あるいは３ステップ角以上離れたサンプリング点を選択
してもよい。
＜発明の効果＞ 本発明によれば、一次元イメージセンサによってウエハ
の周辺位置データを採取し、この周辺位置データ群の中
で最大値をとるサンプリング点を選択することに基づい
てウエハの位置を検出しているので、ウエハがテーブル
に偏心して載置されたり、ウエハに２箇所以上のオリエ
ンテーションフラットがあっても、ウエハ位置を正確に
検出することができる。
の周辺位置データを採取し、この周辺位置データ群の中
で最大値をとるサンプリング点を選択することに基づい
てウエハの位置を検出しているので、ウエハがテーブル
に偏心して載置されたり、ウエハに２箇所以上のオリエ
ンテーションフラットがあっても、ウエハ位置を正確に
検出することができる。
また、本発明に係るウエハの位置検出装置は、一次元イ
メージセンサを連続的に自走させ、ウエハのステップ送
りが停止したときに、前記一次元イメージセンサから周
辺位置データを採取するようにしているので、ウエハの
回転角度に同期して一次元イメージセンサを走査する従
来装置において必要とされたテーブルの回転角度を検出
するためのロータリエンコーダやレゾルバなどの角度検
出器が不要になり、装置を簡単かつ安価に構成すること
ができる。
メージセンサを連続的に自走させ、ウエハのステップ送
りが停止したときに、前記一次元イメージセンサから周
辺位置データを採取するようにしているので、ウエハの
回転角度に同期して一次元イメージセンサを走査する従
来装置において必要とされたテーブルの回転角度を検出
するためのロータリエンコーダやレゾルバなどの角度検
出器が不要になり、装置を簡単かつ安価に構成すること
ができる。
さらに、本発明によれば、ウエハが停止しているときに
一次元イメージセンサからの信号を取り込むようにして
いるから、例えば、MOSイメージセンサのように各画素
を走査することによって順に光検出を行うようなセン
サ、つまり全画素の光検出に相当の時間を要するような
センサを使用しても、ウエハの周辺位置データを正確に
読み取ることができる。
一次元イメージセンサからの信号を取り込むようにして
いるから、例えば、MOSイメージセンサのように各画素
を走査することによって順に光検出を行うようなセン
サ、つまり全画素の光検出に相当の時間を要するような
センサを使用しても、ウエハの周辺位置データを正確に
読み取ることができる。
第１図ないし第６図は本発明の一実施例の説明図であ
り、第１図はウエハの位置検出装置の概略構成を示した
ブロック図、第２図はウエハの回転駆動部の構成図、第
３図は周辺位置データのサンプリング処理の手順を示し
たフローチャート、第４図はサンプリングされた周辺位
置データの説明図、第５図はウエハ位置の算出処理の説
明図、第６図は複数個のオリエンテーションフラットが
形成されたウエハの位置検出の説明図である。 １……テーブル ２……ウエハ回転駆動用のパルスモータ ３……CCDラインセンサ ９……CCD駆動回路 ８……A/D変換器 ９……CPU 10……RAM 11……パルス発生回路 12……パルスモータ駆動回路 13……カウンタ Ｗ……ウエハ
り、第１図はウエハの位置検出装置の概略構成を示した
ブロック図、第２図はウエハの回転駆動部の構成図、第
３図は周辺位置データのサンプリング処理の手順を示し
たフローチャート、第４図はサンプリングされた周辺位
置データの説明図、第５図はウエハ位置の算出処理の説
明図、第６図は複数個のオリエンテーションフラットが
形成されたウエハの位置検出の説明図である。 １……テーブル ２……ウエハ回転駆動用のパルスモータ ３……CCDラインセンサ ９……CCD駆動回路 ８……A/D変換器 ９……CPU 10……RAM 11……パルス発生回路 12……パルスモータ駆動回路 13……カウンタ Ｗ……ウエハ
Claims (1)
- 【請求項１】オリエンテーションフラットが形成された
ウエハの位置を検出する装置であって、 ウエハを回転駆動するウエハ回転駆動手段と、 前記ウエハ回転駆動手段を所定の角度毎に停止させるよ
うにステップ送りする回転駆動制御手段と、 前記ウエハの周辺位置を検出する一次元イメージセンサ
と、 前記ステップ送りによるウエハの停止時に前記一次元イ
メージセンサからの周辺位置データを取り込むタイミン
グを与えるデータ取り込みタイミング制御手段と、 前記取り込まれた周辺位置データを各サンプリング点の
変位角度に対応付けて記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された周辺位置データ群の中で最大
の周辺位置データをもつサンプリング点を挟む二つのサ
ンプリング点について、それぞれの変位角度と周辺位置
データとに基づき、回転中心からオリエンテーションフ
ラットに下した垂線の、基準点からの変位角度を求める
演算手段と、 を備えたことを特徴とするウエハの位置検出装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1209850A JPH0713998B2 (ja) | 1989-08-14 | 1989-08-14 | ウエハの位置検出装置 |
| KR1019900006042A KR930007097B1 (ko) | 1989-04-28 | 1990-04-28 | 대상물의 주변부 노광장치 |
| US08/004,788 US5289263A (en) | 1989-04-28 | 1993-01-14 | Apparatus for exposing periphery of an object |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1209850A JPH0713998B2 (ja) | 1989-08-14 | 1989-08-14 | ウエハの位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0373553A JPH0373553A (ja) | 1991-03-28 |
| JPH0713998B2 true JPH0713998B2 (ja) | 1995-02-15 |
Family
ID=16579658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1209850A Expired - Fee Related JPH0713998B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-08-14 | ウエハの位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0713998B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2760918B2 (ja) * | 1992-02-03 | 1998-06-04 | 大日本スクリーン製造株式会社 | ノッチ付ウエハの位置検出装置 |
| DE112008001104B4 (de) * | 2007-04-27 | 2016-02-04 | Shibaura Mechatronics Corp. | Vorrichtung zur Halbleiterwafer-Bearbeitung und Verfahren sowie Vorrichtung zur Ermittlung einer Bezugswinkelposition |
| JP2010239060A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Tokyo Electron Ltd | オリエンテーションフラット指定方法、オリエンテーションフラット検出装置及びオリエンテーションフラット指定用プログラム |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59147444A (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-23 | Hitachi Ltd | 板状物体の位置合わせ方法およびその装置 |
| JPS6185650A (ja) * | 1984-10-01 | 1986-05-01 | Hitachi Denshi Syst Service Kk | Ｉｃウエハの自動位置決め装置 |
| JPH0685411B2 (ja) * | 1985-05-22 | 1994-10-26 | 日新電機株式会社 | ウエハのオリエンテ−シヨンフラツト位置決め方法 |
| JPS61276229A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-06 | Hitachi Ltd | ウエハ位置検出装置 |
| JPS62237743A (ja) * | 1986-04-09 | 1987-10-17 | Hitachi Ltd | ウエハ整合装置 |
-
1989
- 1989-08-14 JP JP1209850A patent/JPH0713998B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0373553A (ja) | 1991-03-28 |
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