JPH1163953A - 画像計測装置及びその画像表示方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大きなデータ量の画像データを取り扱う場合
でも、計測対象の画像に対する計測などの指示を容易に
する。 【解決手段】 プログラム５３Ｂは、メモリ４１Ｄ内に
取り込まれた対象物２７の全体の生の画像データ５１Ｂ
に一定画素数毎に所定の画素数減少処理を施して表示画
面に表示可能な画素数の画像データ５１Ｄを作成し、こ
の画像データ５１Ｄがプログラム５３Ｄによってディス
プレイ４３の表示画面上に表示される。このため、表示
画面に表示された画像データ５１Ｄによる対象物２７の
全体の画像に対し、マウス４２ｂ等による計測すべき領
域の指示を含む計測条件の入力が容易になる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、画像計測装置及び
その画像表示方法に係り、更に詳しくは、対象物の像を
撮像し画像表示装置の表示画面に表示するとともに、撮
像して得た２次元の画像データを用いて対象物の形状認
識、輪郭検出その他の所定の計測処理を行う画像計測装
置、及びこの画像計測装置において画像データが表示画
素数を超える場合に対象物の画像の計測指示のため画像
を表示画面に表示する画像表示方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より工業や医療の分野で用いられる
画像計測システムでは、パーソナルコンピュータ（以
下、適宜「パソコン」という）に専用の画像計測装置を
接続し、この専用の装置に撮像して得た対象物の画像デ
ータを取り込んで画像処理及び計測処理を行い、その結
果のみをパソコン側に転送して表示することがなされて
いた。

【０００３】その後のパソコンの性能向上に伴い、近年
では、パソコン上に画像データを直接取り込み、パソコ
ン上で画像処理及び計測処理を行うことが可能となり、
例えば撮像デバイスに２次元ＣＣＤを用いた画像入力装
置の場合、画素数６００×４００即ち２４００００画素
程度の画像データが取り扱われている。現在のパーソナ
ルコンピュータのディスプレイは１０２４×１２８０程
度の画素まで表示でき、上記画像入力装置で入力された
画像データは全領域にわたってディスプレイ上に表示可
能である。

【０００４】しかし、より高精度な画像による計測処理
を行おうとすると、上記の２４００００画素程度の画素
数の画像データでは必ずしも十分でない場合があること
から、より多くの画素数の画像データの取り込みが可能
な１次元ＣＣＤ（即ちラインセンサ）を用いた画像入力
装置が最近になって開発され、かかる装置により、画素
数６０００×６０００＝３６００００００程度の非常に
大きなデータ量の画像データが扱われるようになった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述したような非常に
大きなデータ量の画像データを取り扱う画像計測装置で
は、画像データの画素数がディスプレイの表示限界を越
えているため、計測対象の画像の全領域を一度に表示す
ることができない。かかる場合、従来はその画像の一部
分毎に画面を切り換えてディスプレイ上に表示する以外
に方法はなく、対象物の全体形状を表示することができ
なかった。

【０００６】しかるに、計測対象の画像に対する計測指
示は、ディスプレイに表示された画像上の所望の位置を
マウスで指示することにより行われることから、上述し
たように、画像のある一部分のみがディスプレイ上に表
示される場合には、表示されない残りの部分をマウスで
指定することができず、画面を順次切り換えてその計測
したい領域部分をディスプレイ上に表示させ計測指示を
行う必要があった。このため、計測指示が面倒であると
いう不都合があった。この場合、画像の各部分と全体と
の関係を常に考慮することも必須である。

【０００７】本発明は、かかる事情の下になされたもの
で、その目的は表示装置の表示限界を越えるような大き
なデータ量の画像データの場合でも、対象物の画像に対
して計測などの指示を容易に行うことができる画像計測
装置及びその画像表示方法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、表示装置（４３）の表示画面に表示された画像を用
いて所定の計測処理を行う画像計測装置であって、対象
物（２７）の像を撮像し、表示画面に表示可能な画素数
より大きな画素数の第１の画像データ（５１Ｂ）を取り
込む画像取り込み部（２５）と；第１の画像データ（５
１Ｂ）が記憶されるメモリ（４１Ｄ）と；メモリ（４１
Ｄ）内に記憶された第１の画像データ（５１Ｂ）に対し
一定画素数毎に所定の画素数減少処理を施して表示画面
に表示可能な画素数の第２の画像データ（５１Ｄ）を作
成する表示データ作成手段（５３Ｂ）と；表示データ作
成手段（５３Ｂ）で作成された第２の画像データ（５１
Ｄ）による第２の画像を表示画面に表示する表示制御手
段（５３Ｄ）と；表示画面に表示された画像に対して少
なくとも計測すべき領域の指示を含む計測条件を入力す
るための計測条件入力手段（４２ａ、４２ｂ、５３Ｆ）
とを有する。

【０００９】これによれば、画像取り込み部により対象
物の像が撮像され、表示画面に表示可能な画素数より大
きな画素数の第１の画像データが取り込まれると、該第
１の画像データがメモリに記憶される。次に、表示デー
タ作成手段では、メモリ内に記憶された第１の画像デー
タに対し一定画素数毎に所定の画素数減少処理を施して
表示画面に表示可能な画素数の第２の画像データを作成
し、この作成された第２の画像データによる第２の画像
が表示制御手段によって表示画面に表示される。このた
め、対象物の全体形状を表示することが可能となる。よ
って、計測条件入力手段により、表示画面に表示された
画像に対して少なくとも計測すべき領域の指示を含む計
測条件を入力することが容易になる。

【００１０】この場合において、表示画面に表示された
第２の画像データによる画像に対して計測すべき領域等
の指示が可能になるので、第１の画像データ（生の画像
データ）は必ずしも表示画面上に表示する必要はない
が、請求項２に記載の発明の如く、表示制御手段（５３
Ｄ）は、上記計測条件に応じて、第１の画像データ（５
１Ｂ）による第１の画像の一部を、第２の画像と同時又
は別々に表示画面上に表示するとともに、計測条件入力
手段（４２ａ、４２ｂ、５３Ｆ）は、表示画面に表示さ
れた第１の画像に対して計測条件を入力するためにも用
いられるようにしても良い。このようにすると、対象物
が細かな構造であり、画素数の少ない第２の画像データ
による画像では計測位置を正確に指示できない場合に
も、表示画面上に表示された第１の画像データによる画
像に対して正確な計測位置を指示することが可能にな
る。

【００１１】これらの場合において、請求項３に記載の
発明の如く、計測条件に応じた計測処理を計測条件で指
示された領域の第１の画像データ（５１Ｂ）を用いて行
う計測制御手段（５３Ｈ）を更に有することが望まし
い。かかる場合には、計測手段により計測条件に応じた
計測処理が計測条件で指示された領域の第１の画像デー
タ（５１Ｂ）を用いて行われるので、より多くの情報を
含む第１の画像データ（生の画像データ）を用いてより
高精度な計測処理が行われることとなる。

【００１２】また、上記請求項３に記載の発明におい
て、請求項４に記載の発明の如く、計測制御手段（５３
Ｈ）は、第２の画像データ（５１Ｄ）に基づき対象物
（２７）の概略形状を認識後、計測条件に応じた計測処
理を計測条件で指示された領域の第１の画像データ（５
１Ｂ）を用いて行うようにしても良い。

【００１３】この場合、データ量の小さな第２の画像デ
ータで形状を認識するため処理速度が速く、しかも計測
条件に応じた計測処理を計測条件入力手段で指示された
領域の第１の画像データを用いて行うので、対象物の高
精度な計測処理ができるようになる。

【００１４】また、請求項３に記載の発明において、請
求項５に記載の発明の如く、前記計測条件入力手段（４
２ａ、４２ｂ、５３Ｆ）により計測すべき形状が指示さ
れると、前記計測制御手段（５３Ｈ）は、前記第２の画
像データ（５１Ｄ）を用いて形状抽出のための画像処理
を行って該当する形状を抽出し、計測すべき形状に対し
て予め記憶してある計測方法に従って計測条件を設定す
るようにしても良い。

【００１５】これによれば、計測条件入力手段により計
測すべき形状を指示するだけで、その形状が自動的に抽
出され、その形状の計測条件が自動的に設定される。ま
た、この場合も、データ量の小さな第２の画像データを
用いて形状抽出のための画像処理、計測条件の設定を行
うことにより、処理速度を速くすることができる。そし
て、設定された計測条件に従って第１の画像データを用
いて高精度な計測が行われる。

【００１６】請求項６に記載の発明は、表示装置（４
３）の表示画面に表示可能な画素数より大きな画素数の
画像を計測指示のために表示する画像計測装置の画像表
示方法であって、表示画面に表示可能な画素数より大き
な画素数の第１の画像データ（５１Ｂ）を取り込み記憶
する第１工程と；第１の画像データ（５１Ｂ）の一定画
素数の画素毎に所定の画素数減少処理を施して表示画面
に表示可能な画素数の第２の画像データ（５１Ｄ）を作
成し、計測指示のため表示画面に表示する第２工程とを
含む。

【００１７】これによれば、表示画面に表示可能な画素
数より大きな画素数の第１の画像データが取り込まれ記
憶され、その第１の画像データの一定画素数の画素毎に
所定の画素数減少処理が施され、表示画面に表示可能な
画素数の第２の画像データが作成され、計測指示のため
表示画面に表示される。このため、第１の画像データが
表示装置の表示限界を越えるような大きなデータ量であ
ってもそのデータに画素数減少処理が施された第２の画
像データによる対象物全体の画像を計測指示のため表示
画面に表示することが可能になる。従って、表示画面に
表示された第２の画像データによる対象物全体の画像に
対し計測指示を容易に行うことができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
ないし図７に基づいて説明する。

【００１９】図１には、一実施形態に係る画像計測装置
の全体構成が概略的に示されている。この図１の画像計
測装置は、撮像ユニット２１、光源ユニット２１Ｊ及び
インターフェイスユニット２３で構成された画像取り込
み部２５と、ホストコンピュータ４０とを備えている。

【００２０】前記撮像ユニット２１は、対象物２７（例
えば半導体チップや液晶ディスプレイパネルなど）と１
次元光電変換素子（ラインセンサ）２１Ｈとを該ライン
センサ２１Ｈを構成する受光素子の配列方向であるＸ方
向（図１における紙面直交方向）に直交するＹ方向（図
１における紙面内左右方向）に相対的に移動させながら
ラインセンサ２１Ｈにより対象物２７の画像を１ライン
づつ撮像する構成部分である。この撮像ユニット２１
は、対象物２７を載置してベース２１Ｄ上をＹ方向に移
動可能なステージ２１Ｂと、このステージ２１Ｂの上方
に配置され、ベース２１Ｄ上に植設された支柱２８に保
持された光学系ユニット２１Ｃと、この光学系ユニット
２１Ｃの上方に固定された保持部材２１Ｅと、この保持
部材２１Ｅに保持されるとともに光学系ユニット２１Ｃ
内の対物レンズ２１Ｆの結像面に配置されたラインセン
サ２１Ｈとを備えている。このラインセンサ２１Ｈは、
６０００画素を有し、対象物２７の像のうちＸ方向の１
ライン分６０００画素の画像信号を単位として出力する
ようになっている。なお、光学系ユニット２１Ｃ内に
は、対物レンズ２１Ｆの他に落射照明用のハーフミラー
等が収容されている。

【００２１】前記ステージ２１Ｂは、後述するインター
フェイスユニット２３内の制御部２３Ｂによって制御さ
れる不図示のリニアアクチュエータを含む駆動系を介し
て、ベース２１Ｄ上をラインセンサ１３の素子配列方向
と直交するＹ方向に一定の速度で移動するようになって
おり、これにより対象物２７とラインセンサ２１Ｈと
が、該ラインセンサ２１Ｈの素子配列方向と直交する方
向に相対移動するようになっている。このステージ２１
ＢのＹ方向の移動量は、ベース２１Ｄとステージ２１Ｂ
との間に設けられたエンコーダ２１Ｌによって計測され
る。

【００２２】ここで、エンコーダ２１Ｌとしては、通常
と同様の所定ピッチの光学格子パターンを有するエンコ
ーダスケールを含む光学式のリニアエンコーダが用いら
れており、このエンコーダ２１Ｌはステージ２１ＢがＹ
方向に１スケールピッチ移動するごとに位相が３６０度
変化するＡ相の信号（擬似正弦波）とこれと９０度位相
がずれたＢ相の信号（擬似正弦波）を出力し、このＡ
相、Ｂ相の位相変化から、ステージ２１ＢのＹ方向の移
動量即ちラインセンサ２１Ｈと対象物２７との相対移動
の距離を検出する。

【００２３】また、撮像ユニット２１では、後述する光
源ユニット２１Ｊ内の不図示の光源からの光によって対
象物２７が図１の上方から落射照明（又は下方からの透
過照明）で照明され、対象物２７の像が光学系ユニット
２１Ｃ内の対物レンズ２１Ｆによって結像面に結像さ
れ、この像が結像面に配置されたラインセンサ２１Ｈに
よって撮像される。

【００２４】前記光源ユニット２１Ｊは、光ファイバな
どを介して撮像ユニット２１に落射又は透過の照明光を
出力するものであり、光源を含み光量が調節可能な調光
装置とこの調光装置からの光を前記光ファイバに導くた
めの光学系とを有する。また、落射照明、透過照明の選
択及びこれらの光の光量の調整は後述するインターフェ
イスユニット２３内部の制御部２３Ｂによって制御され
るようになっている。

【００２５】インターフェイスユニット２３は、制御部
２３Ｂ、撮像同期回路２３Ｄ、及びラインセンサの撮像
制御部２３Ｆを含んで構成されている。

【００２６】制御部２３Ｂは、ホストコンピュータ４０
からの制御信号を受けてステージ２１Ｂのリニアアクチ
ュエータを制御してステージ２１Ｂを一定速度で移動さ
せたり、落射照明、透過照明を選択したり、光源ユニッ
ト２１Ｊから出力される光の光量を制御するための構成
部分であり、マイクロプロセッサとそのファームウェア
で構成される。

【００２７】撮像同期回路２３Ｄは、エンコーダ２１Ｌ
の検出出力であるＡ相、Ｂ相の２相の擬似正弦波が所定
の位相角になったときに撮像同期信号を撮像制御部２３
Ｆに出力する回路である。

【００２８】撮像制御部２３Ｆは、撮像同期回路２３Ｄ
から撮像同期信号を受けてラインセンサ２１Ｈに所定の
撮像制御信号を送ってその撮像タイミングを制御すると
共に、ラインセンサ２１Ｈからの画像信号をＡ／Ｄ変換
して画像データ信号をホストコンピュータ４０に出力す
る回路である。また、この撮像制御部２３Ｆは、ホスト
コンピュータ４０からの制御信号に基づきラインセンサ
２１Ｈの撮像可能状態、撮像停止状態などの制御をも行
うようになっている。

【００２９】上記のようにして構成された画像取り込み
部２５によると、対象物２７とラインセンサ２１Ｈとの
相対移動が所定距離進むごとに撮像同期回路２３Ｄから
撮像同期信号が出力され、撮像制御部２３Ｆの制御によ
りラインセンサ２１Ｈで対象物２７の画像を１ラインづ
つ撮像する。この１ライン分の画像信号は撮像制御部２
３ＦでＡ／Ｄ変換され画像データとしてホストコンピュ
ータ４０に送出される。ステージ２１Ｂを移動させ、対
象物２７の像の１ライン分を順次撮像していくことによ
って、対象物２７の２次元の画像を撮像しその２次元の
画像の画像データ（第１の画像データ）が得られる。こ
こでは、１画素に１バイト（白黒２５６階調）、６００
０ラインで対象物２７の２次元の画像が構成される。こ
のようにして、画像取り込部２５により６０００×６０
００という大きな画素数をもつ第１の画像データが取り
込まれ、後述するホストコンピュータ４０のメモリに記
憶される。

【００３０】前記ホストコンピュータ（以下、適宜「コ
ンピュータ」という）４０は、本実施形態では、所定の
オペレーティングシステム（例えば、Ｗｉｎｄｏｗｓ
９５）で動作するパーソナルコンピュータを用いて構成
され、コンピュータ本体４１に入力デバイスであるキー
ボード４２ａ，マウス４２ｂと表示装置としてのディス
プレイ４３とを接続した構成になっている。コンピュー
タ本体４１は、マイクロプロセッサ４１Ｂ、メモリ４１
Ｄ、ＰＣＩバス４１Ｆを有し、ＰＣＩバス４１Ｆを介し
てキーボード４２ａ，マウス４２ｂを接続するためのキ
ーボードインターフェイス（キーボードコントローラ）
４１Ｈ、ディスプレイ４３を接続するためのビデオイン
ターフェイス４１Ｊ、シリアルインターフェイス４１
Ｌ、ハードディスク４１Ｐ、画像入力ボード４１Ｒが接
続されている。この他、このコンピュータ４０には、デ
ジタルシグナルプロセッサボード４１Ｔも必要に応じて
接続可能であり、マイクロプロセッサ４１Ｂで行う画像
処理の一部をこのボード４１Ｔでもできるようになって
いる。

【００３１】画像入力ボード４１Ｒのシリアルインター
フェイス（ＲＳ４２２）には、インターフェイスユニッ
ト２３の撮像制御部２３Ｆが接続され、ホストコンピュ
ータ４０でラインセンサ２１Ｈの撮像可能状態、撮像停
止状態などのコントロールを行うとともに、撮像制御部
２３ＦでＡ／Ｄ変換して得た第１の画像データを画像入
力ボード４１Ｒのバッファメモリ（２ＭＢ×２）に一旦
貯えてメモリ４１Ｄに転送する（これについては更に後
述する）。

【００３２】本実施形態では、ハードディスク４１Ｐに
格納された制御プログラムをメモリ４１Ｄにロードして
プログラムを起動させることによって、シリアルインタ
ーフェイス（ＲＳ２３２Ｃ）を介してインターフェイス
ユニット２３の制御部２３Ｂに制御信号を送ってステー
ジ２１Ｂのリニアアクチュエータの制御、光学系の倍率
制御、光量制御等ができるようになっており、また、こ
れらの設定はハードディスク４１Ｐに記憶できるように
なっている。また、ハードディスク４１Ｐには、エッジ
（輪郭）検出、ピッチ計測など計測対象物の画像データ
に対して様々な画像処理・計測処理を行うための様々な
プログラム、その他の制御プログラムが格納され、これ
らをメモリ４１Ｄにロードしてプログラムを起動させる
ことによって画像処理・計測処理が行えるようになって
いる。

【００３３】メモリ４１Ｄは、第１の画像データ５１Ｂ
（データ量３６ＭＢ）だけでなく第２の画像データ５１
Ｄや制御プログラム、画像処理・計測処理を行うプログ
ラム等を格納するため、十分の大きな容量を持たせてあ
る。上記の画像処理・計測処理を行うプログラムには、
具体的には、アライメント設定／補正プログラム５３
Ａ、表示データ作成のためのプログラム５３Ｂ、表示制
御のためのプログラム５３Ｄ、計測条件入力のためのプ
ログラム５３Ｆ、計測制御のためのプログラム５３Ｈ等
が含まれる。上記各プログラムは、それぞれを一つの実
行モジュール（あるいは実行ファイル）で構成すること
が勿論できるが、任意の複数を一つの実行モジュールで
構成したり、全てを単一の実行モジュールで構成するこ
とも可能である。どのような構成にするかは、オペレー
ティングシステム、開発言語等に基づいて決定すれば良
い。

【００３４】アライメント設定／補正プログラム５３Ａ
は、後述するように対象物の設置位置のずれを補正する
ためのプログラムである。

【００３５】表示データ作成のためのプログラム５３Ｂ
は、メモリ４１Ｄ内に記憶された第１の画像データ５１
Ｂに対し一定画素数の画素毎に所定の画素数減少処理を
施してディスプレイ４３の表示画面に表示可能な画素数
の第２の画像データ５１Ｄを作成しメモリ４１Ｄに記憶
するためのプログラムであり、これによって表示データ
作成手段が実現されている。ここでは、ディスプレイ４
３に、ＶＧＡ（６４０×４８０）、ＳＶＧＡ（１０２４
×７６８）、ＸＧＡ（１２８０×１０２４）の表示がで
きるマルチスキャンディスプレイが用いられている。前
記表示データ作成のためのプログラム５３Ｂは、デフォ
ルトでは、６０００×６０００画素の第１の画像データ
５１Ｂに１０×１０画素（即ち１００画素）毎に、所定
の画素数減少処理、例えば間引き処理、あるいは上記１
００画素の階調の平均化処理等を施してディスプレイ４
３の表示画面に表示可能な６００×６００画素の第２の
画像データ５１Ｄ（３６０ＫＢ）を作成するようになっ
ているが、この設定はディスプレイ４３の表示モードに
応じて変更できるようになっている。

【００３６】表示制御のためのプログラム５３Ｄは、ビ
デオインターフェイス４１Ｊにメモリ４１Ｄ上の画像デ
ータを転送するとともにビデオインターフェイス４１Ｊ
に制御コマンドを送って、画素数減少処理後の第２の画
像データ５１Ｄによる画像をディスプレイ４３の表示画
面の所定の領域に表示し、また、第１の画像データ５１
Ｂの一部による画像を、第２の画像データ５１Ｄによる
画像と同時又は別々に表示画面上の所定の領域に表示す
るためのプログラムであり、これによって表示制御手段
が構成されている。

【００３７】計測条件入力のためのプログラム５３Ｆ
は、ディスプレイ４３の表示画面上に計測条件のメニュ
ー（タスクバーやツールバー、ツールボックスなどで表
示される）及びメモリ４１Ｄ内の画像データの画像が表
示された状態において、マウス４２ｂ（又はキーボード
４２ａ）の操作によりマウスカーソル（又はグラフィッ
クカーソル、カーソル）の位置を検出することによっ
て、計測条件やディスプレイ４３の表示画面に表示され
た画像上の位置及び領域などを入力するためのプログラ
ムである。本実施形態では、上記のマウス４２ｂ（及び
キーボード４２ａ）及び計測条件入力のためのプログラ
ム５３Ｆによって、ディスプレイ４３の表示画面に表示
された画像に対して少なくとも計測すべき領域の指示を
含む計測条件を入力するための計測条件入力手段が実現
され、この計測条件入力手段はディスプレイ４３の表示
画面に表示された第１の画像データ５１Ｂによる画像に
対して計測すべき領域の指示を含む計測条件を入力をす
るためにも用いられる。

【００３８】計測制御のためのプログラム５３Ｈは、上
記計測条件入力手段により計測条件を入力した後、該計
測条件により指示された領域について入力された計測条
件に応じた計測処理を行うためのプログラムであり、計
測処理の内容としては、エッジ検出（輪郭検出）、形状
認識、長さ計測、面積計測、誤差検出などがある。表示
された画像が第１の画像データの一部によるものである
場合は勿論、第２の画像データによるものである場合に
も、計測条件の入力に応じその計測条件で指示された領
域の第１の画像データを用いて計測処理が行われる。こ
れによって、計測条件に応じた計測処理を計測条件で指
示された領域の第１の画像データ５１Ｂを用いて行う計
測制御手段が実現される。なお、この計測制御のための
プログラム５３Ｈでは第２の画像データ５１Ｄに基づい
て対象物２７の概略形状を認識後、計測条件に応じた計
測処理を計測条件で指示された領域の第１の画像データ
５１Ｂを用いて行うことができるようになっている。

【００３９】次に、上述のようにして構成された本実施
形態に係る画像計測装置の全体的な動作について説明す
る。

【００４０】まず、対象物２７をステージ２１Ｂの上に
載置して、コンピュータ４０の入力デバイスを操作し、
対象物２７の撮像を開始する。このとき、コンピュータ
４０からの制御信号により、ラインセンサ２１Ｈは撮像
可能状態になり、ステージ２１Ｂが一定速度で移動す
る。撮像範囲内でラインセンサ２１Ｈの撮像位置が移動
し、その移動の所定距離間隔毎にラインセンサ２１Ｈで
対象物２７の１ライン分の像の撮像が行われる。１ライ
ン分の画像信号は撮像制御部２３ＦでＡ／Ｄ変換され画
像データとしてホストコンピュータ４０に出力され、コ
ンピュータ本体４１のメモリに記憶される。ラインセン
サ２１Ｈの位置が開始時とは反対側の端になると対象物
２７の走査撮像が完了し、対象物２１の２次元画像に対
応する第１の画像データ５１Ｄが、コンピュータ本体４
１のメモリ４１Ｄに記憶される。

【００４１】図２には、ラインセンサ２１Ｈで対象物２
７の像を読み取って得た第１の画像データ５１Ｂが画像
入力ボード４１Ｒを経て、コンピュータ４０のメモリ４
１Ｄへ格納されるまでの状態が示されている。画像入力
ボード４１Ｒには２メガバイトのバッファメモリ４１Ｓ
が２個、合計４メガ用意され、ラインセンサ２１Ｈで撮
像して得た１ライン分の画像データ５１Ｂはバッファメ
モリ４１Ｓの一方（例えばバッファメモリ（１））に記
憶される。この一方のバッファメモリ４１Ｓが第１の画
像データの２メガバイト分でいっぱいになると、画像デ
ータ５１Ｂはバッファメモリ４１Ｓの他方（例えばバッ
ファメモリ（２））に記憶される。いっぱいになった一
方のバッファメモリ４１Ｓの画像データ５１Ｂは、ＰＣ
Ｉバス４１Ｆ経由でメモリ４１Ｄにブロック転送され
る。このとき転送速度は３０ＭＨｚ以上で行われ、この
速度を確保するために、マイクロプロセッサ４１Ｂは、
転送以外の他のジョブを行わないようになっている。

【００４２】この高速の転送速度により、ラインセンサ
２１Ｈで撮像して得た１ライン分の画像データ５１Ｂを
記憶する他方のバッファメモリがいっぱいになる前に、
メモリ４１Ｄへの転送を終了する。そして、いっぱいに
なると、画像データ５１Ｂを記憶するバッファメモリを
切り替える。このバッファメモリの切り替えの繰り返し
即ちバッファメモリ４１Ｓのインターリーブによって、
ラインセンサ２１で撮像して得た３６メガバイトの画像
データ５１Ｂを転送し終える。これによって、ラインセ
ンサ２１Ｈによる対象物２７の像の読み取りとほぼ同時
にメモリ４１Ｄへの転送も行われ、対象物２７の像の読
み取り終了に要する時間（約２．５秒）でメモリ４１Ｄ
への転送も終える。

【００４３】そして、画像データ５１Ｂのメモリ４１Ｄ
への転送を終了すると、表示データ作成のためのプログ
ラム５３Ｂによって、メモリ４１Ｄ内に記憶された６０
００×６０００画素の第１の画像データ５１Ｂに対し前
述した画素数減少処理を施してディスプレイ４３に表示
可能な第２の画像データ５１Ｄを作成してメモリ４１Ｄ
内に記憶し、表示制御のためのプログラム５３Ｄで、ビ
デオインターフェイス４１Ｊにメモリ４１Ｄ上の第２の
画像データ５１Ｄを転送して第２の画像データ５１Ｄに
よる画像をディスプレイ４３の表示画面の所定の領域
（ウインドウ）に表示する。

【００４４】そして、第２の画像データ５１Ｄによる対
象物の全体画像を見ながら、対象物の画像の計測すべき
箇所を略指示できるようになっている。計測条件のメニ
ューに応じて、指示された位置を生画像である第１の画
像データ５１Ｂにおける計測場所に置き換えて、この第
１の画像データ５１Ｂで画像処理や計測処理が行われ
る。

【００４５】また、対象物２７が細かな構造であり、画
素数の少ない第２の画像では計測位置が正確に指示でき
ない場合には、前記第２の画像の計測したい場所近傍を
マウス４２ｂで指示することにより、表示制御のための
プログラム５３Ｄによって、指示された場所近傍の部分
に該当する対象物２７の第１の画像データによる第１の
画像が拡大されて所定の領域（ウィンドウ）４３Ａに表
示される。この場合、場所を複数指示すれば、それぞれ
の指示された場所についてその場所近傍の対象物２７の
前記第１の画像が拡大されてそれぞれ別のウィンドウに
表示される。このため、マウス４２ｂ、キーボード４２
ａ及び計測条件入力のためのプログラム５３Ｆにより、
表示画面に表示された画像上の位置（又は領域）の指
示、計測内容等の計測条件の入力・指示はそれぞれのウ
ィンドウ４３Ａ等に拡大表示された対象物２７の像に対
して行えるようになっている。そして、入力された計測
条件に応じて、計測制御のためのプログラム５３Ｈによ
って、そのウィンドウに表示が行われている画像に対応
する第１の画像データを用いて入力された計測条件及び
指示された領域に応じた計測処理が行われる。

【００４６】このように、本実施形態では、ディスプレ
イ４３の表示画面に表示可能な画素数より大きな画素数
の画像を取扱う場合に、表示画面に表示可能な画素数よ
り大きな画素数の第１の画像データ５１Ｂを取り込み記
憶し、この第１の画像データ５１Ｄの一定画素数の画素
毎に所定の画素数減少処理を施して表示画面に表示可能
な画素数の第２の画像データ５１Ｄを作成し、計測指示
のため表示画面に表示する、という画像表示方法をとっ
ている。そのため、第２の画像データ５１Ｄにより対象
物２７の画像全体が表示画面に表示可能になり、対象物
２７の像全体が把握し易くなる。

【００４７】また、表示画面に表示された対象物２７の
全体の画像に対し、コンピュータ４０の入力デバイス
（マウス４２ｂ）を操作することにより計測すべき領域
の指示を含む計測条件の入力を計測条件入力のためのプ
ログラム５３Ｆによって容易に行うことが可能になって
いる。

【００４８】更に、取り扱うデータ量が小さくなるので
動作が非常に速くなる。例えば、６０００×６００００
＝３６００００００（３６ＭＢ）の生画像の第１の画像
データに対して、画素数減少処理を行い６００×６００
＝３６００００（３６０ＫＢ）の第２の画像データを作
成すると、取り扱いデータ量は１／１００に縮小し、処
理時間は数百分の１となる。

【００４９】ところで、計測すべき同一形状の対象物が
複数あり同じ計測を繰り返し行う場合、操作性及び計測
効率の向上のためには、最初の対象物の撮像を行った
後、この最初の対象物についてティーチングデータ（測
定手順ファイル）を作成し、そのティーチングデータを
２番目以降の対象物の計測の際に用いてエッジ検出等の
計測処理を行うことが望ましい。

【００５０】図３には、最初の対象物２７についてティ
ーチングデータの作成及びエッジ検出を行う場合の概略
の流れが示されている。以下、図３を用いてティーチン
グデータの作成等について簡単に説明する。

【００５１】まず、上述したようにして対象物２７の６
０００×６０００画素の像４３Ｂが第１の画像データ５
１Ｂとして取り込まれると、表示データ作成のためのプ
ログラム５３Ｂによって、３６００００００（６０００
×６０００）画素の第１の画像データ５１Ｂに間引き
（抜き取り）などの画素数減少処理が施され、３６００
００（６００×６００）画素の画像４３Ｄの第２の画像
データ５１Ｄが作成され、前記画像４３Ｄがディスプレ
イ４３の表示画面上に表示される。

【００５２】そこで、まず、ティーチングデータの作成
に先立って対象物の基準設置位置を設定するために対象
物の所定の箇所を計測する。これをアライメントとい
う。

【００５３】これを更に詳述すると、オペレータが、コ
ンピュータ４０の入力デバイスを操作しアライメント設
定／補正のプログラム５３Ａを介してアライメント設定
を入力すると、マイクロプロセッサ４１Ｂによって計測
条件入力のためのプログラム５３Ｆが起動される。

【００５４】画面上に表示された第２の画像データによ
る第２の画像４３Ｄを見ながらコンピュータ４０のマウ
ス４２ｂを操作して、表示画面との対話形式で前記所定
の箇所を計測するための計測条件を入力する。次いで、
計測制御のためのプログラム５３Ｈが起動されて前述の
如く、第１の画像データを用いて所定箇所の座標値を含
む計測結果が求められる。そして、この計測結果に基づ
いて対象物２７上に設定したワーク座標系の情報をアラ
イメントデータとして記憶する。

【００５５】次に、再びプログラム５３Ｆを起動して対
象物の本来の計測箇所に対して前記と同様にして計測条
件の入力を行う。この計測条件の入力終了によって、そ
の時のステージ２１Ｂの座標、画面上に表示されるキャ
リパ（エッジ検出の中心位置、そのエッジの法線方向、
その位置近傍のエッジ検出の対象となる範囲を示すマー
ク）の設定情報（エッジ検出の初期設定）と、対物レン
ズ２１Ｆの倍率、照明条件（照明方法、明るさなど）等
の対象物２７の撮像を行ったときのデータとがティーチ
ングデータとして構成され、測定手順ファイル５１Ｆと
してハードディスク４１Ｐに保存される。この時、位置
に関するデータはワーク座標系の値として保存される。
以上の作業をティーチングという。

【００５６】ここで、ステージ２１Ｂは、ステージ上に
複数の対象物が設置されている場合や、対象物が極めて
大きく、一画像内に収める事が困難である場合に、所定
の対象物又は対象物の所定の箇所を画像内に収めるため
に移動させる。この移動した位置が座標系として保存さ
れる。

【００５７】そして、次に、マイクロプロセッサ４１Ｂ
により計測制御のためのプログラム５３Ｈが起動され
る。このプログラム５３Ｈによって、測定手順ファイル
５１Ｆに記録された前記諸条件に従って第１の画像デー
タを用いてエッジ検出が行われ、対象物の輪郭が検出さ
れる。この結果は、ディスプレイ４３の画面の所定の領
域に表示される。そして、この画面上に表示された結果
に修正すべき点がなければ、操作を終了し、修正すべき
点があれば、再ティーチングの入力をして計測条件入力
のためのプログラム５３Ｆでの操作に戻り、計測条件を
再度入力して上述した操作を繰り返す。保存されたティ
ーチングデータは、再測定時のデータに更新される。

【００５８】ステージ２１Ｂを移動させることが必要な
場合は、ステージ２１Ｂを移動させ、その時の第２の画
像に対して計測条件の入力を行う。

【００５９】上記のように、対象物の基準設置位置を設
定するための計測箇所の指示のための表示も、データ量
の小さな第２の画像データ５１Ｄを用いて処理が行われ
るので、処理速度が速くなる。

【００６０】図４には、２番目以降の対象物に対する計
測処理（エッジ検出）が行われる場合の流れが概略的に
示されている。以下、この図４を用いて２番目以降の対
象物に対する計測処理の一例について説明する。

【００６１】オペレータがホストコンピュータ４０の入
力デバイスを操作しアライメント補正の指令を入力する
と、まず、測定手順ファイル５１Ｆが読み込まれ、これ
に記録された測定手順に従って対物レンズ２１Ｆの倍
率、ステージ２１Ｂの位置決めが自動的に行われた後
に、２番目の対象物（以下、便宜上「対象物２７’」と
言う）の６０００×６０００画素の像４３Ｂ’が第１の
画像データ（以下、便宜上「第１の画像データ５１
Ｂ’」と言う）として取り込まれる。次いで、表示デー
タ作成のためのプログラム５３Ｂによって、３６０００
０００（６０００×６０００）画素の第１の画像データ
５１Ｂ’に間引きなどの画素数減少処理が施され、３６
００００（６００×６００）画素の画像４３Ｄ’の第２
の画像データ（以下、便宜上「第２の画像データ５１
Ｄ’」言う）が作成され、画像４３Ｄ’がディスプレイ
４３の表示画面上に表示される。

【００６２】次いで、マイクロプロセッサ４１Ｂによっ
て計測条件入力のためのプログラム５３Ｆが起動され、
それによってオペレータが、画面上に表示された第２の
画像データ５１Ｄ’による第２の画像４３Ｄ’を見なが
らコンピュータ４０のマウス４２ｂを操作して前記ティ
ーチング時にアライメント設定のために計測した対象物
の所定の箇所に対する計測位置の指示等の計測条件入力
を行う。

【００６３】この計測条件の入力が終わると、マイクロ
プロセッサ４１Ｂにより計測制御のためのプログラム５
３Ｈが起動され、前記入力された計測条件に従って、前
記所定箇所の第１の画像データを用いて前記所定の箇所
が計測される。そして、この計測結果に基づいて前記ア
ライメント設定時と同様のワーク座標系が求められる。
前記アライメント設定時に設定したワーク座標系と、こ
こで求めたワーク座標系とのズレ量が、対象物の基準設
置位置に対する２番目の対象物の設置位置のズレ量に相
当する。

【００６４】次いで、プログラム５３Ｈにより上記のア
ライメント補正結果に基づいて先に作成した測定手順フ
ァイル５１Ｆを補正（より具体的には、上記で求めた２
つのワーク座標系のズレ量に従い測定手順ファイル５１
Ｆ内の第２の画像データ５１Ｄの座標に平行移動、回転
を与える）した測定手順ファイル５１Ｆ’が作成されハ
ードディスク４１Ｐに保存される。

【００６５】次いで、プログラム５３Ｈにより測定手順
ファイル５１Ｆ’に記録された補正された測定手順に従
ってエッジ検出の開始の設定に基づきキャリパの位置、
方向が補正され、第１の画像データを用いてエッジ検出
が行われ、２番目の対象物２７’の輪郭が検出される。
この結果は、ディスプレイ４３の画面の所定の領域に表
示される。

【００６６】上記の図４では、アライメント補正を撮像
後にマウス４２ｂを用いて行う場合について説明した
が、前記アライメント設定時の計測条件を測定手順ファ
イル５１Ｆの一部として保存すると共に、ステージ２１
Ｂ上の決められた位置に対象物を置くための位置当て治
具を使用することで対象物の位置ずれを小さく抑え、ア
ライメント補正の計測を自動的に行う処理を選択するこ
とも可能である。図５には、その場合の処理の流れが概
念的に示されている。

【００６７】この図５の場合、まず、ステージ２１Ｂ上
に２番目の対象物２７’を載せる際に、位置当て治具を
用いて、その位置が最初の対象物２７とほぼ同じ位置に
なるようにする。

【００６８】オペレータによりコンピュータ４０に計測
開始が指令されると、予め作成した測定手順ファイル５
１Ｆが読み込まれ、測定手順の内容に従った投影レンズ
２１Ｆの倍率やステージ２１Ｂの位置決めの設定が自動
的に行われた後に、２番目の対象物２７’の６０００×
６０００画素の像４３Ｂ’が第１の画像データ５１Ｂ’
として取り込まれる。そして、表示データ作成のための
プログラム５３Ｂによって、３６００００００（６００
０×６０００）画素の第１の画像データ５１Ｂ’に間引
き等の画素数減少処理が施され３６００００（６００×
６００）画素の第２の画像データ５１Ｄ’が作成され、
これに対応する画像４３Ｄ’がディスプレイ４３の表示
画面上に表示される。

【００６９】次いで、アライメント補正が行われる。こ
の場合、予め測定手順ファイルに記憶されているアライ
メントの為の計測位置（図５中の点線４４参照）の指
示、その他の計測条件が入力されるので、マウス等によ
る入力は不要である。

【００７０】従って、画像４３Ｄ’がディスプレイ４３
の表示画面上に表示された後、マイクロプロセッサ４１
Ｂにより計測制御のためのプログラム５３Ｈが起動され
る。このプログラム５３Ｈによって、前記測定手順ファ
イル５１Ｆから読み込んだ計測条件による計測がなされ
る。これ以降は、図４の場合と同様である。

【００７１】さらに、対象物の画像中の図形（又はパタ
ーン）と同じパターンを予めメモリ４１Ｄ内に記憶し、
このパターンによる検索を行うことでアライメント補正
を自動的に行うように測定条件を設定することも可能で
ある。図６には、その設定の場合の処理の流れが概念的
に示されている。

【００７２】この場合はティーチングデータの作成にお
いて、対象物２７の３６００００００（６０００×６０
００）画素の像４３Ｂを取り込んだ第１の画像データ５
１Ｂから表示データ作成のためのプログラム５３Ｂによ
って、間引きなどの画素数減少処理が施され、３６００
００（６００×６００）画素の画像４３Ｄの第２の画像
データ５１Ｄが作成され、前記画像４３Ｄがディスプレ
イ４３の表示画面上に表示される。

【００７３】そこで、表示された画像４３Ｄを見ながら
コンピュータ４０のマウス４２ｂを操作して、対象物の
基準設置位置を設定するために対象物の所定の範囲を指
定する。前記所定の範囲は必要に応じて複数箇所として
も良い。この指定された範囲に該当する第２の画像デー
タがパターン比較用画像データ４３Ｈとして測定手順フ
ァイル５１Ｆの一部としてメモリ４１Ｄに記憶される。
図６では、前記所定の範囲として対象物２７の全体を含
む一つの範囲が指定されている。

【００７４】前記第２の画像データは、所定の箇所の外
形を示したＣＡＤデータ等とすることもできる。

【００７５】次に、ステージ２１Ｂに２番目の対象物２
７’を載せる。上述したように測定手順ファイル５１Ｆ
を読み込んで測定手順の内容にしたがった設定が自動的
に行われた後に、２番目の対象物２７’の６０００×６
０００画素の画像４３Ｂ’が第１の画像データ５１Ｂ’
として取り込まれる。そして、表示データ作成のための
プログラム５３Ｂによって、３６００００００（６００
０×６０００）画素の第１の画像データ５１Ｂ’に間引
きなどの画素数減少処理が施され、３６００００（６０
０×６００）画素の第２の画像データ５１Ｄ’が作成さ
れ、これに対応する画像４３Ｄ’がディスプレイ４３の
表示画面上に表示される。

【００７６】次いで、アライメント補正の設定に基づ
き、計測制御のためのプログラム５３Ｈによって、所定
のパターン比較用の画像データ４３Ｈと２番目の対象物
２７’の第２の画像データ５１Ｄ’とが比較され、パタ
ーンマッチング処理が行われ、パターンが一致するとき
の平行移動量、回転角度が求められる。これが前記ワー
ク座標系のズレ量に該当する。次いで、計測制御のため
のプログラム５３Ｈによって、上記ズレ量（平行移動
量、回転角度）を用いて予め作成した測定手順ファイル
５１Ｆを補正をした測定手順ファイル５１Ｆ’が作成さ
れハードディスク４１Ｐに保存される。

【００７７】その後、プログラム５３Ｈによって補正さ
れた測定手順ファイル５１Ｆ’の測定手順に従ってエッ
ジ検出の開始の設定によりキャリパの位置を補正して第
１の画像データを用いてエッジ検出が行われ、２番目の
対象物２７’の輪郭が検出される。この結果は、ディス
プレイ４３の画面の所定の領域に表示される。

【００７８】なお、パターンマッチングによるアライメ
ント補正を行った後に、更に図３、図４で説明したよう
なアライメント補正を行うようにしても良い。２番目以
降の対象物の設置位置・姿勢が、基準設置位置から大き
く異なっていても正確なアライメント補正をすることが
できる。

【００７９】この他、データ量の少ない第２の画像デー
タを使い、ラベリング等の画像処理を行い、概略の図形
を認識するという処理を選択することも可能である。

【００８０】第２の画像データによる画像が表示されて
いるときに、マウス４２ｂを操作して計測条件入力のた
めのプログラム５３Ｆを用いて、計測すべき幾何形状の
指示を入力すると、計測制御のためのプログラム５３Ｈ
によって第２の画像データを用いてラベリング（画像中
の閉ループ、例えば矩形、円等を構成する画素を検出
し、その各画素の画像データに別々の識別符号を割り当
てる）などの計測処理によって形状抽出が行われ、入力
された計測条件に応じて前記画素に対応する第１の画像
データを用いてその形状の寸法や位置・姿勢の計測が行
われる。

【００８１】例えば、計測すべき幾何形状として「円」
を指示し、この形状の計測を行う場合、第２の画像デー
タ５１Ｄを用いてラベリングされた閉ループの周長や面
積等が計算される。そして、求めた周長や面積から各閉
ループの真円度を求め、求めた真円度が所定値以下の閉
ループを選択することにより、円を画像から抽出するこ
とができる。この時、円の直径も求めることができるの
で、計測すべき幾何形状の指示に直径の範囲を含めるこ
とによって所定の直径範囲の円のみを抽出することもで
きる。そして、抽出された閉ループ（円）の識別符号と
その識別符号が付された各画素の座標を参照しながら第
１の画像データを用いて以下のような計測処理を行うこ
とによって精度の高い計測結果が得られる。

【００８２】図７には、第２の画像データ５１Ｄによる
画像（ａ）と第１の画像データ５１Ｂによる画像（ｂ）
の一例が示されている。

【００８３】第２の画像データ５１Ｄによる画像に対し
てマウス４２ｂにより「円」の形状を指示し、この指示
内容をラベリング及び計測条件として計測条件入力のた
めのプログラム５３Ｆを介して入力したとき、計測制御
のためのプログラム５３Ｈにより、画素数の少ない第２
の画像データを用いて図７（ａ）のような１０個の円が
抽出され、各円を構成する画素に例えば１、２、……、
１０の識別符号が付される。なお、図７（ａ）において
は便宜上それぞれの円を構成する各画素に付される識別
符号がそれぞれの円に付随して示されている。

【００８４】そして、その円の位置及び大きさを参照し
て予め定めた計測方法に従い、前記円を計測するための
キャリパの位置を算出する。そして、表示制御のための
プログラム５３Ｄを介して画素数の多い第１の画像デー
タによる画像と共に前記キャリパ（同図（ｂ）の矢印参
照）をディスプレイ４３の表示画面上に表示する。この
場合、特定の円の識別符号例えば６を入力すると、この
識別符号に該当する円のみにキャリパが設定されるよう
にしても良い。

【００８５】このような場合にも、本実施形態では、画
素数を減らした第２の画像データを用いてラベリング、
キャリパ設定位置の計算を行うことにより、処理速度を
速くすることができる。そして、第１の画像データを用
いて第１の画像の前記キャリパ位置におけるエッジ座標
を検出し、さらに該検出した座標によって円の直径、中
心座標を求める。このように、計測場所の略指示といっ
た精度が要求されない場合は、第２の画像データを使う
とともに画素数の大きな第１の画像データを使って高精
度で計測することで効率的で迅速な処理を行っている。

【００８６】また、ラベリングにより略形状を迅速に認
識して得た図形の位置・形状を用いることにより、形状
のモーメントや重心、周長、面積等が迅速に求まる。そ
のため、回転を含んだパターンマッチング、パターンサ
ーチ、輪郭形状の誤差評価におけるベストフィット処理
等にも、計測の目安として利用できる。

【００８７】なお、上記実施形態では、計測条件入力た
めマウスを用いる場合について説明したが、キーボード
でも良く、トラックボール、ライトペンといった様々な
ポインティングデバイスを用いても良いことは勿論であ
る。

【００８８】また、上記実施形態では、大きな画素数の
撮像・画像の取り込みの例として、ラインセンサを用い
る場合について説明したが、これに限らず、ハイビジョ
ン用など画素数の多い２次元ＣＣＤを用いるようにして
も良い。

【００８９】さらに、上記実施形態ではステージ２１Ｂ
の移動によりラインセンサ２１Ｈと対象物２７の相対移
動を行う場合について説明したが、これに限らず、ステ
ージ２１Ｂに代えて対象物を載置するための固定のステ
ージを設け、ラインセンサの方を移動可能に構成してラ
インセンサと対象物の相対移動を行うようにしても良
く、あるいはステージとラインセンサの双方を移動させ
るようにしても良い。また、上記実施形態のように、対
象物とラインセンサとを直線的に相対移動させる場合に
限らず、いずれか一方を回転させることにより相対移動
を実現しても良い。かかる場合には、エンコーダをロー
タリーエンコーダとし、その角度を計測することによっ
て位置を計測する必要がある。

【００９０】また、上記実施形態では、画素数減少処理
は、ソフトウェアによる場合を説明したが、これに限ら
ずデジタルシグナルプロセッサ４１Ｔやその他ほかのハ
ードウェアを用いて第２の画像データを作成するように
してもよい。また、第１の画像データを画像入力ボード
４１Ｒからメモリ４１Ｄへ転送するのに並行して第２の
画像データを作成するようにしても良い。

【００９１】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
発明によれば、表示データ作成手段によりメモリ内に記
憶された第１の画像データに一定画素数毎に所定の画素
数減少処理を施して表示画面に表示可能な画素数の第２
の画像データが作成され、この作成された第２の画像デ
ータによる画像が表示制御手段によって表示画面に表示
されることから、計測条件入力手段により、表示画面に
表示された画像に対して少なくとも計測すべき領域の指
示を含む計測条件を入力することが容易になる。従っ
て、表示装置の表示分解能を越えるような大きなデータ
量の画像データを取り扱う場合でも、対象物の画像に対
する計測などの指示を容易行うことができるという従来
にない優れた効果がある。

【００９２】また、請求項２に記載の発明によれば、上
記効果に加え、対象物が細かな構造であり、画素数の少
ない第２の画像データによる画像では計測位置を正確に
指示できない場合にも、表示画面上に表示された第１の
画像データによる画像に対して正確な計測位置を指示す
ることが可能になるという効果がある。

【００９３】また、請求項３に記載の発明によれば、上
記各発明の効果に加え、より多くの情報を含む第１の画
像データ（生の画像データ）を用いてより高精度な計測
処理を行うことが可能になる。

【００９４】また、請求項４に記載の発明によれば、上
記請求項３に記載の発明の効果に加え、データ量の小さ
な第２の画像データで形状を認識するため処理速度が速
く、しかも対象物の高精度な計測処理ができるようにな
るという効果もある。

【００９５】また、請求項５に記載の発明によれば、上
記請求項３に記載の発明の効果に加え、計測条件入力手
段により計測すべき形状を指示するだけで、その形状を
自動的に抽出し、その形状の計測条件を自動的に設定す
ることができるという効果もある。

【００９６】請求項６に記載の発明によれば、表示画面
に表示された対象物全体の画像に対して計測すべき領域
の指示が容易になるという優れた画像計測装置の画像表
示方法が提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施形態に係る画像計測装置の全体構成を概
略的に示す図である。

【図２】ラインセンサで対象物の像を読み取って得た第
１のデータが画像入力ボードを経て、コンピュータのメ
モリ４１へ格納されるまでの様子を示す図である。

【図３】最初の対象物に対するティーチングデータの作
成とエッジ検出処理を行う際の流れを概略的に示す図で
ある。

【図４】２番目以降の対象物に対する計測処理の流れを
概略的に示す図である。

【図５】位置当て治具を使用し位置合わせを自動的に行
う処理を選択した場合の処理の流れを概略的に示す図で
ある。

【図６】パターンマッチングにより位置合わせを自動的
に行うようにした場合の処理の流れを概略的に示す図で
ある。

【図７】第２の画像データによる画像（ａ）と第１の画
像データによる画像（ｂ）との一例を示す図である。

【符号の説明】

２５ 画像取り込み部 ２７ 対象物 ４１Ｄ メモリ ４２ａ キーボード（計測条件入力手段の一部） ４２ｂ マウス（計測条件入力手段の一部） ４３ ディスプレイ（表示装置） ５１Ｂ 第１の画像データ ５１Ｄ 第２の画像データ ５３Ｂ 表示データ作成のためのプログラム（表示デー
タ作成手段） ５３Ｄ 表示制御のためのプログラム（表示制御手段） ５３Ｆ 計測条件入力のためのプログラム（計測条件入
力手段の一部） ５３Ｈ 計測制御のためのプログラム（計測制御手段）

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表示装置の表示画面に表示された画像を
   用いて所定の計測処理を行う画像計測装置であって、 対象物の像を撮像し、前記表示画面に表示可能な画素数
   より大きな画素数の第１の画像データを取り込む画像取
   り込み部と；前記第１の画像データが記憶されるメモリ
   と；前記メモリ内に記憶された前記第１の画像データに
   対し一定画素数の画素毎に所定の画素数減少処理を施し
   て前記表示画面に表示可能な画素数の第２の画像データ
   を作成する表示データ作成手段と；前記表示データ作成
   手段で作成された第２の画像データによる第２の画像を
   前記表示画面に表示する表示制御手段と；前記表示画面
   に表示された画像に対して少なくとも計測すべき領域の
   指示を含む計測条件を入力するための計測条件入力手段
   とを有する画像計測装置。
2. 【請求項２】 前記表示制御手段は、前記計測条件に応
   じて、前記第１の画像データによる第１の画像の一部
   を、前記第２の画像と同時又は別々に前記表示画面上に
   表示するとともに、前記計測条件入力手段は、前記表示
   画面に表示された前記第１の画像に対して前記計測条件
   を入力するためにも用いられることを特徴とする請求項
   １に記載の画像計測装置。
3. 【請求項３】 前記計測条件に応じた計測処理を前記計
   測条件により指示された領域の前記第１の画像データを
   用いて行う計測制御手段を更に有することを特徴とする
   請求項１又は２に記載の画像計測装置。
4. 【請求項４】 前記計測制御手段は、前記第２の画像デ
   ータに基づき前記対象物の概略形状を認識後、前記計測
   条件に応じた計測処理を前記計測条件により指示された
   領域の前記第１の画像データを用いて行うことを特徴と
   する請求項３に記載の画像計測装置。
5. 【請求項５】 前記計測条件入力手段により計測すべき
   形状が指示されると、前記計測制御手段は、前記第２の
   画像データを用いて形状抽出のための画像処理を行って
   該当する形状を抽出し、計測すべき形状に対して予め記
   憶してある計測方法に従って計測条件を設定することを
   特徴とする請求項３に記載の画像計測装置。
6. 【請求項６】 表示装置の表示画面に表示可能な画素数
   より大きな画素数の画像を取扱う画像計測装置の画像表
   示方法であって、 前記表示画面に表示可能な画素数より大きな画素数の第
   １の画像データを取り込み記憶する第１工程と；前記第
   １の画像データに対し一定画素数の画素毎に所定の画素
   数減少処理を施して前記表示画面に表示可能な画素数の
   第２の画像データを作成し、計測指示のため前記表示画
   面に表示する第２工程とを含む画像計測装置の画像表示
   方法。