JP2001235052A - 弁ユニット及びそれを用いた送液ポンプ - Google Patents

弁ユニット及びそれを用いた送液ポンプ

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JP2001235052A
JP2001235052A JP2000042347A JP2000042347A JP2001235052A JP 2001235052 A JP2001235052 A JP 2001235052A JP 2000042347 A JP2000042347 A JP 2000042347A JP 2000042347 A JP2000042347 A JP 2000042347A JP 2001235052 A JP2001235052 A JP 2001235052A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 弁の開閉を能動的に行うことにより再現性よ
く行う。 【解決手段】 弁を開くとき、永久磁石44a、ひいて
は作動部44が鉄心50から反発する方向に磁場が発生
するように、コイル52に電流を流し、作動部44をボ
ール28側へ移動させ、ピン44bによりボール28を
オモリ32とともに弁座30から離れる方向へ押し、ボ
ール28を弁座30から離して弁を開く。弁を閉じると
き、永久磁石44aと鉄心50が引き合う方向に磁場が
発生するように、コイル52に電流を流し、作動部44
を鉄心50側へ移動させ、ピン44bをボール28から
離し、オモリ32の重力及び流体圧力によりボール28
を弁座30に着座させて弁を閉じる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、弁ユニット及びそ
れを用いた送液ポンプに関し、特に、弁本体の内部に形
成された流路内に配置された弁体としての可動部材が弁
座に着脱することによって液体を一定方向のみに流して
逆流を防止する逆止弁(逆止め弁)として使用される弁
ユニット、及びそれを用い、プランジャの往復運動によ
り作動するポンプヘッドを有し、プランジャの往復運動
により送液を行うプランジャ往復運動型送液ポンプに関
するものである。このような弁ユニットは、例えば液体
を圧縮して送液するプランジャ往復運動型送液ポンプの
吸入側及び吐出側の逆止弁として配置され、そのような
送液ポンプは例えば液体クロマトグラフやフローインジ
ェクション分析装置などの分析装置に適用される。
【0002】
【従来の技術】液体クロマトグラフでは、中空のポンプ
ヘッド、ポンプヘッド内を往復運動するプランジャ、並
びにポンプヘッドの吸引側及び吐出側に配置されたボー
ル式の逆止弁によって構成されるプランジャポンプが多
く使用される。ポンプの吸引時には、プランジャが後退
することによってポンプヘッド内で負圧が発生し、その
負圧によって吐出側の逆止弁のボールが弁座に着座して
弁が閉じ、吸引側の逆止弁のボールが弁座から離れて弁
が開くことにより、吸引側流路から液体がポンプヘッド
内に吸引される。ポンプの吐出時には、プランジャが前
進することによってポンプヘッド内で正圧が発生し、そ
の正圧によって吐出側の逆止弁が開き、吸引側の逆止弁
が閉じることにより、ポンプヘッド内の液体が吐出側流
路へ押し出される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】逆止弁の中に気泡が入
ると、ボールが弁座に正確に着座せず、弁が閉じなくな
り、送液不良が生じることがあった。また、ボール表面
又はボールと弁座の接触面への汚れの付着などによって
ボールと弁座が吸着するようになった場合、ポンプ吸引
時にポンプヘッド内で発生する負圧のみでは入口側の逆
止弁が開かなくなり、送液不良が生じることがあった。
また、逆止弁の開閉に要する時間や逆止弁の開閉時間の
間に漏れ出る液体の量など、逆止弁の開閉時における挙
動は、液体による負荷圧力や、液体の流量、液体の粘度
などの条件によって異なる。
【0004】以上の現象は、送液流量の正確さ、送液の
再現性及び安定性が要求される液体クロマトグラフィー
では障害となる。そこで本発明は、弁の開閉を能動的に
行うことにより再現性よく行うことができる弁ユニット
及びそれを用いた送液ポンプを提供すること目的とする
ものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる弁ユニッ
トの第1の態様は、弁本体の内部に形成された流路内に
配置された弁体としての可動部材が弁座に着脱すること
によって液体を一定方向のみに流して逆流を防止する弁
ユニットであって、可動部材を弁座に押しつける方向へ
押す荷重部材と、流路内に往復運動可能に配置され、可
動部材を弁座から離す方向へ押す作動部と、作動部の内
部に配置された永久磁石と、流路に隣接して配置され、
永久磁石との相互作用により、弁を開くときには、荷重
部材が可動部材に与える力と、その力と同じ方向に可動
部材に働く流体圧力の和よりも大きい力で可動部材を弁
座から離す方向へ作動部を押し、弁を閉じるときには、
可動部材から離す方向へ作動部を引っ張るソレノイドと
を備えたものである。
【0006】弁を開くとき、ソレノイドは、永久磁石と
反発する方向へ磁場を発生させる。永久磁石、ひいては
作動部は可動部材側へ移動し、可動部材と接触して可動
部材を弁座から離して弁を開く。弁を閉じるとき、ソレ
ノイドは永久磁石と引き合う方向へ磁場を発生させる。
作動部はソレノイド側へ移動して可動部材から離れる。
荷重部材が可動部材に与える力と、その力と同じ方向に
働く流体圧力によって、可動部材を弁座に押しつけて弁
を閉じる。このようにして、弁の開閉を能動的に行な
い、弁の開閉の再現性を向上させることができる。
【0007】本発明にかかる弁ユニットの第2の態様
は、可動部材を弁座に押しつける方向へ押す荷重部材
と、流路内に往復運動可能に配置され、磁性材料にてな
る部材を少なくとも含み、可動部材を弁座から離す方向
へ押す作動部と、荷重部材が可動部材に与える力と、そ
の力と同じ方向に可動部材に働く流体圧力の和よりも大
きい力で可動部材を弁座から離す方向へ作動部を押す作
動部用ばね機構と、流路に隣接して配置され、磁性材料
にてなる部材との相互作用により、弁を閉じるときに
は、作動部用ばね機構が可動部材に与える力よりも大き
い力で、可動部材から離す方向へ作動部を引っ張るソレ
ノイドとを備えた弁ユニットである。
【0008】弁を開くとき、ソレノイドは作動せず、作
動部用ばね機構によって与えられる力によって、作動部
は可動部材側へ移動し、可動部材と接触して可動部材を
弁座から離して弁を開く。弁を閉じるとき、ソレノイド
は磁場を発生させる。磁性材料にてなる部材、ひいては
作動部はソレノイド側へ移動して可動部材から離れる。
荷重部材が可動部材に与える力と、その力と同じ方向に
働く流体圧力によって、可動部材を弁座に押しつけ、弁
を閉じる。このようにして、弁の開閉を能動的に行な
い、弁の開閉の再現性を向上させることができる。
【0009】
【発明の実施の形態】弁ユニットはポンプに接続され、
そのポンプの位相に同期してソレノイドを制御する制御
部をさらに備えることが好ましい。その結果、弁ユニッ
トに起因する、ポンプの送液流量の正確さ、送液の再現
性及び安定性の低下を抑制することができる。荷重部材
は、可動部材用ばね機構によって構成されることが好ま
しい。その結果、弁ユニットの向きにかかわらず弁の開
閉を行うことができるので、ポンプ及び弁ユニットの配
置の自由度が大きくなる。
【0010】本発明にかかる送液ポンプは、プランジャ
の往復運動により作動するポンプヘッドと、そのポンプ
ヘッドの吸引側と吐出側にそれぞれ設けられた逆止弁と
を備え、プランジャの往復運動により送液を行うプラン
ジャ往復運動型送液ポンプであって、両逆止弁の少なく
とも一方の逆止弁として上記の弁ユニットが用いられて
いるものである。
【0011】
【実施例】図1は、本発明にかかる弁ユニットの一実施
例を吸引側の逆止弁に適用した送液ポンプの一実施例を
示す概略構成図である。ここでは送液ポンプとして直列
二連プランジャポンプを用いた。図2から図4は、その
弁ユニットの実施例を示す概略構成図であり、図2は上
面図、図3は図2のA−A位置に沿った正面から見た断
面図、図4は図2のB−B位置に沿った側面から見た断
面図である。図1を参照して、ポンプの構成及び動作を
説明する。1次側ポンプヘッド2aと2次側ポンプヘッ
ド4aがあり、1次側ポンプヘッド2aにつながる液入
口側の流路6には弁ユニット8が備えられており、液出
口側の流路10にはボール式の逆止弁12が備えられて
いる。
【0012】流路6の1次側ポンプヘッド2aとは反対
側の端部は送液すべき液体を収容したリザーバ14へつ
ながっている。流路10は2次側ポンプヘッド4aの液
入口側の流路でもある。2次側ポンプヘッド4aの液出
口側の流路16は、液体クロマトグラフの試料注入部及
びカラムへ接続されている。弁ユニット8は、後で詳細
に説明するが、液体をリザーバ14側からポンプヘッド
2a側への方向のみに流すように、ポンプヘッド2aの
吸引時には弁を開き、吐出時には閉じるように制御され
る。逆止弁12はポンプヘッド2a側からポンプヘッド
4a側への方向のみに液体を流すように、ポンプヘッド
2aの吸引時には、ポンプヘッド2a内で発生する負圧
に加えて、内部に設けられたばねによりボールを弁座に
押しつけて弁が閉じ、吐出時にはポンプヘッド2a内で
発生する正圧によって開くようになっている。
【0013】1次側ポンプヘッド2aにプランジャ2b
が、2次側ポンプヘッド4aにプランジャ4bが往復移
動可能に配置されている。プランジャ2b,4bの基端
部には、クロスヘッド2c,4cを介して、ベアリング
2d,4dが設けられており、ベアリング2d,4dに
カム2e,4eが当接している。カム2e,4eは、ス
テッピングモータ20の回転軸18に取り付けられてお
り、回転軸18を介して、ステッピングモータ20の回
転に追従して回転する。回転軸18には、周囲の一部に
スリットが形成された原点検出用ディスク22も取り付
けられており、原点検出用ディスク22はステッピング
モータ20の回転に追従して回転する。原点検出用ディ
スク22の付近には、そのスリットを検出する原点検出
用のフォトインタラプタ24が配置されている。
【0014】フォトインタラプタ24は制御部26に電
気的に接続されており、フォトインタラプタ24の検出
信号は制御部26に送られる。制御部26には弁ユニッ
ト8及びステッピングモータ26も電気的に接続されて
おり、制御部26は弁ユニット8及びステッピングモー
タ26の動作を制御する。制御部26には、原点検出用
ディスク22のスリットがフォトインタラプタ24を通
過した時点から、プランジャ2bが上死点又は下死点に
至ってポンプヘッド2aが吐出又は吸引を開始するまで
に要するステッピングモータ26のパルス数が予め記憶
されている。
【0015】ポンプ作動時には、制御部26の制御によ
ってステッピングモータ20が回転し、回転軸18、カ
ム2e,4e及び原点検出用ディスク22が回転し、カ
ム2e,4eの回転に連動してプランジャ2b,4bが
往復運動する。プランジャ2bが前進(吐出)するとき
はプランジャ4bが後退(吸引)し、弁ユニット8が閉
じて、1次側ポンプヘッド2aの液が流路10及び逆止
弁12を介して2次側ポンプヘッド4aに送られる。こ
のとき、1次側ポンプヘッド2aの吐出流量と2次側ポ
ンプヘッド4aの吸引流量の流量差がポンプ全体の吐出
流量となる。
【0016】プランジャ2bが後退するときはプランジ
ャ4bが前進し、逆止弁12が閉じて、1次側ポンプヘ
ッド2aに流路6及び弁ユニット8を介して液体が充填
されるとともに、2次側ポンプヘッド4aの液が吐出さ
れる。このときは、2次側ポンプヘッド4aの吐出流量
がポンプ全体の吐出流量となる。1次側ポンプヘッド2
aのプランジャ容量は2次側ポンプヘッド4aのプラン
ジャ容量の約2倍であり、プランジャ2bと4bは位相
が180度ずれて運転されることにより2次側ヘッドの
出口ではほぼ一定の流量となる。
【0017】次に、図3及び図4を参照して弁ユニット
8の構成及び動作を詳細に説明する。弁ユニット8の逆
止弁を構成するボール(可動部材)28と弁座30は、
ボール28が弁座30と接触する側とは反対側に配置さ
れたオモリ32とともにハウジング34内に収納され、
ガスケット36a,36bにより封止されている。オモ
リ32は、ボール28とガスケット36aの間でハウジ
ング34の軸方向に往復運動可能に配置されている。可
動部材としては、ボール28の代わりに、円錐プラグな
ど他の形状の部材を用いてもよい。
【0018】ハウジング34はバルブボディ(弁本体)
38の内部に形成されたL字型の流路40の液体出口に
挿入されている。流路40の一部を構成し、ハウジング
34の下部に設けられた中空のシリンダ部42に、永久
磁石44aを内蔵した作動部44がシリンダ部42の軸
方向に往復運動可能に配置されている。シリンダ部42
の下部側の側面には、バルブボディ38の側面に設けら
れた流路40の液体入口が接続されている。
【0019】図5は、作動部44を示す概略構成図であ
り、(A)は上面図、(B)は(A)のA−A位置に沿
った断面図である。有底の円筒状の作動部ケース44c
内に永久磁石44aが収納されている。作動部ケース4
4cの上面は、一端に平坦面を有するピン44bの平坦
面によって封止されている。永久磁石44aの材料は耐
薬品性が低いものがほとんどであるが、液体クロマトグ
ラフィーでは各種の液体を使用するので、液体と接触す
るピン44b及び作動部ケース44cは、例えばステン
レスSUS316など耐薬品性に優れた材料で製作さ
れ、作動部ケース44c内に永久磁石44aを収納し
て、永久磁石44aが直接接液しないように構成されて
いる。
【0020】再び図3及び図4に戻って説明を続ける
と、シリンダ部42の底面として、例えばPTFE(ポ
リテトラフルオロエチレン)などで製作されたシート4
6が設けられている。作動部44の往復移動軸の延長上
の、シート46のシリンダ部42内部とは反対側の面
に、ソレノイド48を構成する円柱状の鉄心50が一端
面を接触して配置されている。鉄心50は、鉄心50の
側面と間隔をもって配置されたコイル52とともに、高
透磁率材料からなるソレノイドケース54に収納されて
いる。鉄心50の一端側は直径が小さくなっており、そ
の直径が小さくなっている部分に低透磁率材料からなる
リング56が嵌合されている。
【0021】ソレノイドケース54内の上部には低透磁
率材料からなる上部プレート58が配置され、下部には
高透磁率材料からなる下部プレート60が配置されてい
る。ソレノイドケース54は2つのねじ62によってバ
ルブボディ38に固定されている。バルブボディ38の
内部に、ソレノイド48の上部の外周上を覆うように高
透磁率材料からなる円弧状プレート64が設けられてい
る。このように、鉄心50、ソレノイドケース54及び
下部プレート60を高透磁率材料で製作し、さらにバル
ブボディ38の内部に高透磁率材料からなる円弧状プレ
ート64を埋め込むことにより、ソレノイド48で発生
する磁場ができるだけ永久磁石44a付近に集中し、永
久磁石44aの磁束ができるだけソレノイド48内を通
りやすくすることで、ソレノイド48と永久磁石44a
の間に効率よく力が作用するように設計されている。
【0022】ポンプ作動時には、図1に示されるよう
に、制御部26は、原点検出用ディスク22のスリット
がフォトインタラプタ24を通過した時点をステッピン
グモータ20の原点とし、この原点からのステッピング
モータ20のパルス数をカウントする。原点の検出は、
ステッピングモータ20の1回転ごとに行わなくてもよ
く、ポンプに電源を投入してから最初にステッピングモ
ータ20を回転させたときのみに行うようにしてもよ
い。吸引開始点のパルス数になったとき、制御部26
は、弁ユニット8のコイル52に、永久磁石44a、ひ
いては作動部44が鉄心50から反発する方向に磁場を
発生するように電流を流す。作動部44はボール28側
へ移動し、ピン44bがボール28をオモリ32ととも
に弁座30から離れる方向へ押し、ボール28を弁座3
0から離して弁を開く。吸引開始点のパルス数から吐出
開始点のパルス数になる直前まで、コイル52に電流を
流し続け、弁を開いた状態にしておく。
【0023】吐出開始点のパルス数になったとき、制御
部26は、コイル52に電流を逆方向、すなわち永久磁
石44aと鉄心50が引き合うように磁場が発生するよ
うに流す。作動部44は鉄心50側へ移動し、ピン44
bがボール28から離れ、オモリ32の重力及び流体圧
力によってボール28を弁座30に着座させて弁を閉じ
る。鉄心50側へ移動した作動部44は、永久磁石44
aの磁力により、シート46を介して鉄心50に吸い付
くので、ポンプヘッド2aの次回の吸引開始までコイル
53に電流を流し続ける必要はない。
【0024】以上のようにして、吸引側の逆止弁として
機能する弁ユニット8をポンプの動作に同期させて能動
的に開閉させることができる。さらに、弁ユニット8内
に気泡が入ったときや、ボールや弁座に汚れが付着して
ボールと弁座が吸着しやすくなったときでも、ポンプの
動作に同期させて弁ユニット8を能動的に確実に開閉さ
せることができるので、弁の開閉の再現性を向上させる
ことができる。さらに、液体による負荷圧力や、液体の
流量、液体の粘度などの条件にかかわらず弁の開閉を再
現性よく行ない、逆止弁の開閉に要する時間や逆止弁の
開閉時間の間に漏れ出る液体の量などを安定させること
ができる。以上により、本発明を液体クロマトグラフに
適用した場合、逆止弁の開閉に起因する送液の流量正確
さ、再現性、安定性及び信頼性の低下を抑制することが
できる。
【0025】図6は、ボール28を弁座30に押しつけ
る機構として、オモリの代わりに可動部材用ばね機構を
用いた弁ユニットの実施例を示す正面から見た断面図で
ある。図3と同じ部分には同じ符号を付して説明は省略
する。ハウジング34の内部のボール28とガスケット
36aの間に、ハウジング34の軸方向に往復運動可能
にボール用プランジャ66が配置されている。ボール用
プランジャ66の基端部66a側には鍔部66bが形成
されている。鍔部66bとガスケット36aの間にコイ
ルばね68が圧縮された状態で配置されており、コイル
ばね68がボール用プランジャ66に与える力により基
端部66aがボール28に当接している。ボール用プラ
ンジャ66及びコイルばね68は耐薬品性に優れた材料
によって製作されている。
【0026】このように、ボール28を弁座30に押し
つける機構として、ボール用プランジャ66及びコイル
ばね68を用いれば、弁ユニット8の向きにかかわらず
弁の開閉を行うことができるので、ポンプ及び弁ユニッ
トの配置の自由度が大きくなる。この実施例では、可動
部材用ばね機構としてボール用プランジャ66及びコイ
ルばね68を用いているが、可動部材用ばね機構はこれ
に限定されるものではなく、種々のばねの力によりボー
ル28を弁座30に押しつけることができる機構であれ
ばどのようなばね機構であってもよい。
【0027】図7は、弁ユニット8の他の実施例を示す
概略構成図であり、(A)は正面から見た断面図、
(B)は作動部70を示す断面図である。この実施例の
構成は、図2から図4の実施例と同様であり、図3と同
じ部分には同じ符号を付して説明は省略する。シリンダ
部42に、軟磁性体部材(磁性材料からなる部材)70
aを内蔵した作動部70がシリンダ部42の軸方向に往
復運動可能に配置されている。
【0028】有底の円筒状の作動部ケース70c内に軟
磁性体部材70aが収納されている。作動部ケース70
cの上面は、一端に平坦面を有するピン70bの平坦面
によって封止されている。軟磁性体部材70aの材料と
しては、例えば鉄、コバルト、ニッケル及びその化合物
などの高透磁率材料を用いることが好ましく、軟磁性体
部材70aを保護するために、液体と接触するピン70
b及び作動部ケース70cは、例えばSUS316など
耐薬品性に優れた材料で製作し、作動部ケース70c内
に軟磁性体部材70aを収納して、軟磁性体部材70a
が直接接液しないように構成されている。軟磁性体部材
の材料として耐薬品性に優れたものを用いるのであれ
ば、作動部70全体を軟磁性体部材で作製してもよい。
シリンダ部42内部の、シリンダ部42の底面としての
シート46と作動部70の底部の間に、耐薬品性に優れ
た材料からなるコイルばね(作動部用ばね機構)72が
圧縮された状態で配置されている。コイルばね72は、
オモリ32がボール28に与える力と、その力と同じ方
向にボール28に働く流体圧力の和よりも大きい力で、
ボール28を弁座30から離す方向へ作動部70に力を
与えている。
【0029】この実施例を図2から図4の実施例と同様
にして図1のポンプに適用した場合を用いて、この実施
例の動作を説明する。ポンプ作動時には、制御部26は
ステッピングモータ20のパルス数をカウントする。吐
出開始点のパルス数になったとき、制御部26は弁ユニ
ット8のコイル52に電流を流す。ソレノイド48で発
生する磁場により、軟磁性体部材70a、引いては作動
部70が鉄心50側に引っ張られ、コイルばね72が圧
縮し、ピン70bがボール28から離れ、オモリ32の
重力及び流体圧力によりボール28を弁座30に着座さ
せて弁を閉じる。吐出開始点のパルス数から吸引開始点
のパルス数になる直前まで、コイル52に電流を流し続
け、弁を閉じておく。
【0030】吸引開始点のパルス数になったとき、制御
部26は、コイル52への電流の供給を停止する。作動
部70は、コイルばね72の復元によってボール28側
へ移動し、ピン70bがボール28をオモリ32ととも
に弁座30から離れる方向へ押し、ボール28を弁座3
0から離して弁を開く。ボール28側へ移動した作動部
70は、コイルばね72によりボール28側へ押さえつ
けられるので、ポンプヘッド2aの次回の吐出開始まで
コイル53に電流を流す必要はない。
【0031】以上のようにして、吸引側の逆止弁として
機能する弁ユニット8をポンプの動作に同期させて能動
的に開閉させることができる。この実施例でも、図3の
実施例と同様に、図6に示す可動部材用ばね機構を適用
することができる。この実施例では、作動部用ばね機構
としてコイルばね72を用いているが、これに限定され
るものではなく、種々のばねの力により作動部70をボ
ール28側へ移動させることができる機構であればどの
ようなばね機構であってもよい。
【0032】本発明にかかる弁ユニットでは、磁力又は
磁力及びばね力によって作動部を流路内で往復運動させ
るので、弁ユニット内の流路の体積が変化することはな
い。そのため、本発明にかかる弁ユニットを、例えばポ
ンプ上流側に配置された流路選択バルブをプランジャ動
作に同期して切り換える低圧グラジェント装置に適用し
た場合、弁の開閉時における流路の体積変化に起因する
濃度正確さの劣化を引き起こすことはない。
【0033】図1に示すポンプでは、本発明を吸引側の
逆止弁として適用しているが、吐出側の逆止弁としても
適用することができる。また、図1に示すポンプは直列
2連プランジャポンプであるが、並列プランジャポンプ
など、他の方式のポンプに使用される逆止弁としても適
用することができる。また、液体クロマトグラフに使用
される低圧グラジェント装置の濃度変更用の弁としても
本発明を適用することができる。その場合、ポンプの吸
引側の逆止弁と濃度変更用の弁を兼用して、弁の数を減
らすこともできる。また、フラッシング時の排出用の弁
として本発明を適用すれば、フラッシングの自動化が可
能になる。
【0034】
【発明の効果】本発明にかかる第1の態様の弁ユニット
では、可動部材を弁座に押しつける方向へ押す荷重部材
と、流路内に往復運動可能に配置され、可動部材を弁座
から離す方向へ押す作動部と、作動部の内部に配置され
た永久磁石と、流路に隣接して配置され、永久磁石付近
に磁場を発生させるソレノイドとを備え、ソレノイドに
より、弁を開くときには、荷重部材が可動部材に与える
力と、その力と同じ方向に可動部材に働く流体圧力の和
よりも大きい力で永久磁石と反発するように磁場を発生
させて、永久磁石、ひいては作動部を可動部材側へ移動
させ、可動部材と接触させて可動部材を弁座から離して
弁を開き、弁を閉じるときには、永久磁石と引き合う方
向へ磁場を発生させて、作動部をソレノイド側へ移動さ
せて可動部材から離し、荷重部材が可動部材に与える力
と、その力と同じ方向に働く流体圧力によって、可動部
材を弁座に押しつけて弁を閉じるようにしたので、弁の
開閉を能動的に行ない、弁の開閉の再現性を向上させる
ことができる。
【0035】本発明にかかる第2の態様の弁ユニットで
は、可動部材を弁座に押しつける方向へ押す荷重部材
と、流路内に往復運動可能に配置され、磁性材料にてな
る部材を少なくとも含み、可動部材を弁座から離す方向
へ押す作動部と、荷重部材が可動部材に与える力と、そ
の力と同じ方向に可動部材に働く流体圧力の和よりも大
きい力で可動部材を弁座から離す方向へ作動部を押す作
動部用ばね機構と、流路に隣接して配置され、磁性材料
にてなる部材付近に磁場を発生させるソレノイドとを備
え、弁を開くときには、ソレノイドを作動させず、作動
部用ばね機構によって与えられる力によって、作動部を
可動部材側へ移動させ、可動部材と接触させて可動部材
を弁座から離して弁を開き、弁を閉じるとき、ソレノイ
ドによって磁場を発生させて、磁性材料にてなる部材と
の相互作用により、作動部用ばね機構が可動部材に与え
る力よりも大きい力で、可動部材から離す方向へ作動部
を引っ張り、磁性材料にてなる部材、ひいては作動部を
ソレノイド側へ移動させて可動部材から離し、荷重部材
が可動部材に与える力と、その力と同じ方向に働く流体
圧力によって、可動部材を弁座に押しつけて弁を閉じる
ようにしたので、弁の開閉を能動的に行ない、弁の開閉
の再現性を向上させることができる。
【0036】弁ユニットはポンプに接続され、そのポン
プの位相に同期してソレノイドを制御する制御部をさら
に備えるようにすれば、弁ユニットに起因する、ポンプ
の送液流量の正確さ、送液の再現性及び安定性の低下を
抑制することができる。荷重部材は、可動部材用ばね機
構によって構成されるようにすれば、弁ユニットの向き
にかかわらず弁の開閉を行うことができるので、ポンプ
及び弁ユニットの配置の自由度が大きくなる。本発明に
かかる送液ポンプでは、ポンプヘッドの吸引側と吐出側
にそれぞれ設けられる逆止弁の少なくとも1つの逆止弁
として上記の弁ユニットを備えるようにしたので、ポン
プの送液流量の正確さ、送液の再現性及び安定性の低下
を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明にかかる弁ユニットの一実施例を吸引
側の逆止弁に適用した送液ポンプの一実施例を示す概略
構成図である。
【図2】 図1に示す弁ユニットの実施例の上面図であ
る。
【図3】 図1に示す弁ユニットの実施例の、図2のA
−A位置に沿った正面から見た断面図である。
【図4】 図1に示す弁ユニットの実施例の、図2のB
−B位置に沿った側面から見た断面図である。
【図5】 図1に示す弁ユニットの作動部を示す概略構
成図であり、(A)は上面図、(B)は(A)のA−A
位置に沿った断面図である。
【図6】 ボールを弁座に押しつける機構として、オモ
リの代わりに可動部材用ばね機構を用いた弁ユニットの
実施例のハウジング内部を示す断面図である。
【図7】 弁ユニットの他の実施例を示す概略構成図で
あり、(A)は正面から見た断面図、(B)は作動部7
0を示す断面図である。
【符号の説明】
2a 1次側ポンプヘッド 4a 2次側ポンプヘッド 2b,4b プランジャ 6 液入口側の流路 8 弁ユニット 12 逆止弁 26 制御部 28 ボール(可動部材) 30 弁座 32 オモリ 34 ハウジング 36a,36b ガスケット 38 バルブボディ(弁本体) 40 流路 42 シリンダ部 44,70 作動部 44a 永久磁石 44b,70b ピン 44c,70c 作動部ケース 46 シート 48 ソレノイド 50 鉄心 52 コイル 66 ボール用プランジャ 68,72 コイルばね 70a 軟磁性体部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) F04B 21/02 J Fターム(参考) 3H058 AA04 BB02 CD05 CD08 CD09 DD16 EE14 3H071 AA01 BB01 CC13 DD14 DD26 DD84 3H106 DA07 DA12 DA13 DA23 DA26 DB02 DB12 DB23 DB32 DC04 DD09 EE04 EE48 FA07 GA15 GC29 HH10 KK01

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 弁本体の内部に形成された流路内に配置
    された弁体としての可動部材が弁座に着脱することによ
    って液体を一定方向のみに流して逆流を防止する弁ユニ
    ットにおいて、 前記可動部材を前記弁座に押しつける方向へ押す荷重部
    材と、 前記流路内に往復運動可能に配置され、前記可動部材を
    前記弁座から離す方向へ押す作動部と、 前記作動部の内部に配置された永久磁石と、 前記流路に隣接して配置され、前記永久磁石との相互作
    用により、弁を開くときには、前記荷重部材が前記可動
    部材に与える力と、その力と同じ方向に前記可動部材に
    働く流体圧力の和よりも大きい力で前記可動部材を前記
    弁座から離す方向へ前記作動部を押し、弁を閉じるとき
    には、前記可動部材から離す方向へ前記作動部を引っ張
    るソレノイドと、を備えたことを特徴とする弁ユニッ
    ト。
  2. 【請求項2】 弁本体の内部に形成された流路内に配置
    された弁体としての可動部材が弁座に着脱することによ
    って液体を一定方向のみに流して逆流を防止する弁ユニ
    ットにおいて、 前記可動部材を前記弁座に押しつける方向へ押す荷重部
    材と、 前記流路内に往復運動可能に配置され、磁性材料にてな
    る部材を少なくとも含み、前記可動部材を前記弁座から
    離す方向へ押す作動部と、 前記荷重部材が前記可動部材に与える力と、その力と同
    じ方向に前記可動部材に働く流体圧力の和よりも大きい
    力で前記可動部材を前記弁座から離す方向へ前記作動部
    を押す作動部用ばね機構と、 前記流路に隣接して配置され、前記磁性材料にてなる部
    材との相互作用により、弁を閉じるときには、前記作動
    部用ばね機構が前記可動部材に与える力よりも大きい力
    で、前記可動部材から離す方向へ前記作動部を引っ張る
    ソレノイドと、を備えたことを特徴とする弁ユニット。
  3. 【請求項3】 ポンプに接続され、前記ポンプの位相に
    同期して前記ソレノイドを制御する制御部をさらに備え
    る請求項1又は2に記載の弁ユニット。
  4. 【請求項4】 前記荷重部材は、可動部材用ばね機構に
    よって構成される請求項1から3のいずれかに記載の弁
    ユニット。
  5. 【請求項5】 プランジャの往復運動により作動するポ
    ンプヘッドと、そのポンプヘッドの吸引側と吐出側にそ
    れぞれ設けられた逆止弁とを備え、プランジャの往復運
    動により送液を行うプランジャ往復運動型送液ポンプに
    おいて、 前記両逆止弁の少なくとも一方の逆止弁として請求項1
    から4のいずれかに記載の弁ユニットが用いられている
    ことを特徴とする送液ポンプ。
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