JP6424965B2 - 逆止弁及び送液ポンプ - Google Patents

Description

本発明は、液の逆流を防止する逆止弁、及びプランジャを一方向に往復動させることにより液の吸入と吐出を行なう送液ポンプに関するものである。

プランジャを一方向に往復動させることによって送液を行なう送液ポンプは、ポンプ室の入口部や出口部に液の逆流を防止する逆止弁を備えている。一般的な逆止弁は、液の流れ方向に対して移動可能に設けられた球状の弁体と、その弁体を着座させる弁座を有する。弁座は中空の円筒状部材であり、その内側を液が流れるようになっている。弁座の開口の縁に球状の弁体を着座させることで液の流路が閉じられる。

ポンプ室の入口側の逆止弁は、プランジャがポンプ室に押し込まれる方向（以下、吐出方向という。）に駆動されるとポンプ室内が正圧（大気圧よりも高圧の状態）になり、ポンプ室側の圧力によって弁体が弁座側へ押されて着座する。逆に、プランジャがポンプ室から引き抜かれる方向（以下、吸入方向という。）に駆動されるとポンプ室内が負圧（大気圧よりも低圧の状態）になり、その負圧によって弁体がポンプ室側へ引き付けられて弁座から離脱する。ポンプ室の出口側の逆止弁はこれとは逆の動作となる。

上記のように、ポンプ室内の圧力によって弁体が受動的に動作する逆止弁では、弁体表面又は弁体と弁座の接触面への汚れの付着等によって弁体と弁座が吸着するようになった場合、ポンプ吸入時にポンプヘッド内で発生する負圧のみでは入口側の逆止弁が開かなくなり、送液不良が生じることもある。

そのため、ソレノイド等を用いて弁体を能動的に動作させることが提案されている（特許文献１参照。）。弁体を能動的に動作させることで、弁体と弁座が吸着した場合でも確実に弁体を弁座から離脱させることができ、弁を開くことができる。

特開２００１−２３５０５２号公報

上記のように、弁体を能動的に動作させるようにしても、例えば気泡や異物の存在によって弁体が弁座に正常に着座せず、完全に弁が閉じないというような問題は起こり得る。

そこで、本発明は、逆止弁における弁の開閉動作の信頼性をさらに向上させることを目的とするものである。

本発明に係る逆止弁の一実施形態は、液入口と液出口を有し、液を一方向へ流す直線流路を備え、その直線流路上に、第１弁体、第１弁座、第２弁体及び第２弁座が設けられている。第１弁座は、一方向への可動性をもって直線流路内に設けられている。第１弁座は、第１弁体よりも液入口側に設けられ、内側に直線流路の一部をなす流路を有し、その流路の液出口側の開口を塞ぐように第１弁体を着座させるものである。第２弁体は、一方向への可動性をもって直線流路内における第１弁体よりも液出口側に設けられている。第２弁座は、第２弁体よりも液入口側で第１弁体よりも液出口側に設けられ、内側に直線流路の一部をなす流路を有し、その流路の液出口側の開口を塞ぐように第２弁体を着座させるものである。

直線流路内における第１弁体よりも液入口側に、一方向への可動性をもって第１駆動体が設けられている。第１駆動体は駆動機構によって一方向へ駆動される。駆動機構は、第１駆動体を、第１弁体を液出口側へ押圧して第１弁体を第１弁座から離脱させる開状態、又は第１弁体を液出口側へ押圧せずに第１弁体を第１弁座に着座させる閉状態のいずれか一方の状態にするものである。さらに、直線流路内における第１弁体と第２弁体の間に第２駆動体が一方向への可動性をもって設けられている。第２駆動体は、第１駆動体が開状態になるときに第１弁体によって液出口側へ押圧され、それに伴って第２弁体を液出口側へ押圧して第２弁体を第２弁座から離脱させ、第１駆動体が閉状態になるときに第２弁体から離れて第２弁体を第２弁座に着座させるものである。

本発明に係る送液ポンプの一実施形態は、ポンプ室と、ポンプ室に液を流入させる液入口流路と、ポンプ室から液を流出させる液出口流路と、ポンプ室に先端が挿入されたプランジャと、プランジャをその軸方向に駆動するプランジャ駆動機構と、液入口流路上に設けられポンプ室から液を吐出する際の液入口流路における液の逆流を防止する入口側逆止弁と、液出口流路上に設けられポンプ室に液を吸入する際の液出口流路における液の逆流を防止する出口側逆止弁と、を備え、入口側逆止弁及び出口側逆止弁のうち少なくとも一方が上記逆止弁であるものである。

本発明に係る逆止弁の一実施形態では、弁の開閉機構として、第１弁体と第１弁座からなるものと第２弁体と第２弁座からなるものを有するので、いずれか一方の開閉機構が気泡等によって閉じなくなった場合でも、他方の開閉機構によって弁を閉じることができる。これにより、逆止弁の弁を閉じる際の信頼性が向上する。

他方、弁の開閉機構を２組備えると、弁を閉じる際の信頼性は向上するが、弁を開く際に弁体と弁座との吸着によって弁が開かないという不具合の発生リスクが２倍になるという懸念がある。しかし、同実施形態では、第１駆動体及び駆動機構によって第１弁体を能動的に第１弁座から離脱させることができるとともに、第２駆動体によって第２弁体を能動的に第２弁座から離脱させることができるので、第１弁体と第１弁座が吸着するようになった場合や第２弁体と第２弁座が吸着するようになった場合でも、弁を確実に開くことができる。したがって、弁の開閉機構を２組設けることによって弁を閉じる際の信頼性を向上させながら、弁を確実に開くこともでき、逆止弁における弁の開閉動作の信頼性を高めることができる。

本発明に係る送液ポンプの一実施形態では、入口側逆止弁及び出口側逆止弁のうち少なくとも一方が上述の逆止弁であるため、逆止弁の開閉動作の信頼性が高まり、送液精度が向上する。

送液ポンプの一実施例を示す概略構成図である。 同実施例に適用された逆止弁の構造を示す断面図である。 図２におけるＸ−Ｘ位置における断面図である。 同実施例の逆止弁が開いた状態を示す断面図である。

第２駆動体の一例は、第１弁座に着座した第１弁体と第２弁座に着座した第２弁体との間の距離よりも短いピンである。

上記の場合、第２駆動体は、その軸方向が一方向を向いた状態を維持するように第２弁座によって支持されていることが好ましい。そうすれば、第２駆動体が一方向へ移動するときの第２駆動体の傾きが防止され、第２駆動体の一部が局所的に第２弁座の内周面と接触して第２駆動体や第２弁座が摩耗しやすくなることが抑制される。

第２駆動体が一方向を向いた状態を維持する構造として、第２弁座の内側流路はその流れ方向に対して垂直な方向における断面が円形であり、第２駆動体の断面形状が、軸方向に対して垂直な方向において、第２弁座の内側流路の内径と略同一の外径を有する円形の一部が欠損した形状となっているものが挙げられる。

また、第２駆動体と第２弁座が異なる材質により構成されていると、第２駆動体が第２弁座の内周面を摺動するときにより柔らかい材質の部材が摩耗しやすい。そこで、第２駆動体は第２弁座と同一の材質により構成されていることが好ましい。そうすれば、第２駆動体及び第２弁座のいずれも摩耗しにくくなる。

第１弁体と第２弁体は同一材質からなる同一形状の部材であり、第１弁座と第２弁座は同一材質からなる同一形状の部材であってもよい。そうすれば、第１弁体と第２弁体、第１弁座と第２弁座を同じ部材によって構成でき、製造コストの低減を図ることができる。

また、液出口側から液入口側へ第２弁体を押圧する押圧部材を備えていることが好ましい。そうすれば、弁を閉じる際に、第２弁体を第２弁座に能動的に着座させることができ、弁を閉じる際の不具合の発生を防止することができる。

以下、本発明に係る逆止弁及び送液ポンプの一実施例について図面を用いて説明する。

図１は本発明に係る逆止弁を適用した本発明に係る送液ポンプからなる送液装置の一実施例を示す概略構成図である。

この実施例の送液装置は、本発明に係る送液ポンプを一次側の送液ポンプ２ａとして備えている。送液ポンプ２ａには、流路３４を介して二次側の送液ポンプ２ｂが直列に接続されており、送液ポンプ２ａと２ｂが互いに異なるタイミングで液の吸入と吐出を行なうことによって液を一定流量で送液するようになっている。

送液ポンプ２ａはポンプヘッド４ａとポンプボディ６ａを、送液ポンプ２ｂはポンプヘッド４ｂとポンプボディ６ｂを備えている。ポンプヘッド４ａ，４ｂのそれぞれは内部にポンプ室８ａ，８ｂを備えており、ポンプ室８ａ，８ｂ内にプランジャ１０ａ，１０ｂの先端がそれぞれ挿入されている。プランジャ１０ａの基端はクロスヘッド１２ａによって保持され、プランジャ１０ｂの基端はクロスヘッド１２ｂによって保持されている。クロスヘッド１２ａはポンプボディ６ａ内においてプランジャ１０ａの軸方向（図において左右方向）へ移動可能に収容されており、クロスヘッド１２ｂはポンプボディ６ｂ内においてプランジャ１０ｂの軸方向（図において左右方向。以下、一方向という。）へ移動可能に収容されている。

クロスヘッド１２ａは弾性部材１６ａによってポンプヘッド４ａとは反対側へ付勢されているとともに、ポンプヘッド４ａとは反対側の端部にカムフォロワ１４ａを備えている。カムフォロワ１４ａは偏心カム１８ａの周面と当接している。クロスヘッド１２ｂは弾性部材１６ｂによってポンプヘッド４ｂとは反対側へ付勢されているとともに、ポンプヘッド４ｂとは反対側の端部にカムフォロワ１４ｂを備えている。カムフォロワ１４ｂは偏心カム１８ｂの周面と当接している。弾性部材１６ａ，１６ｂは例えばコイルバネである。

カム１８ａと１８ｂはステッピングモータ２０によって回転させられる駆動軸２２に取り付けられており、駆動軸２２とともに回転する。クロスヘッド１２ａが弾性部材１６ａによってポンプヘッド４ａとは反対側へ付勢されているため、カム１８ａが回転するとカムフォロワ１４ａがカム１８ａの周面を追従するようにクロスヘッド１２ａが一方向へ移動する。これにより、プランジャ１０ａが一方向へ往復動する。同様に、クロスヘッド１２ｂが弾性部材１６ｂによってポンプヘッド４ｂとは反対側へ付勢されているため、カム１８ｂが回転するとカムフォロワ１４ｂがカム１８ｂの周面を追従するようにクロスヘッド１２ａが一方向へ移動する。これにより、プランジャ１０ｂが一方向へ往復動する。クロスヘッド１２ａ、カムフォロワ１４ａ、弾性部材１６ａ、カム１８ａ、ステッピングモータ２０及び駆動軸２２はプランジャ１０ａを軸方向へ駆動するためのプランジャ駆動機構を構成する。

駆動軸２２には、周囲の一部にスリット２６が設けられた原点検出用ディスク２４も取り付けられており、原点検出用ディスク２４はステッピングモータ２０の回転に追従して回転する。原点検出用ディスク２４の近傍に、スリット２６を検出する原点検出用のフォトインタラプタ２８が設けられている。

ポンプヘッド４ａの液入口に、入口側逆止弁３２を介して流路３０（液入口流路）が接続されている。流路３０は液を貯留する容器３８に通じている。ポンプヘッド４ａの液出口に、出口側逆止弁３６を介して流路３４（液出口流路）の一端が接続されている。流路３４の他端はポンプヘッド４ｂの液入口に接続されている。ポンプヘッド４ｂの液出口には流路４０が接続されている。

入口側逆止弁３２は、ポンプヘッド４ａから液が吐出される際の流路３０における液の逆流を防止するものである。出口側逆止弁３６は、ポンプヘッド４ｂに液が吸入される際の流路３４における液の逆流を防止するものである。入口側逆止弁３２は、プランジャ１０ａがポンプ室８ａから引き抜かれる方向（図において右方向。以下、吸入方向という。）に駆動されるときに開き、プランジャ１０ａがポンプ室８ａへ押し込まれる方向（図において左方向。以下、吐出方向という。）に駆動されるときに閉じる。逆に、出口側逆止弁３２は、プランジャ１０ａが吸入方向に駆動されるときに閉じ、プランジャ１０ｂが吐出方向に駆動されるときに開く。入口側逆止弁３２及び出口側逆止弁３６の構造については後述する。

プランジャ１０ａが吐出方向へ駆動されるときはプランジャ１０ｂが吸入方向へ駆動され、入口側逆止弁３２が閉じて出口側逆止弁３６が開く。これにより、ポンプ室８ａ内の液が流路３４を通じてポンプ室８ｂ側へ吐出され、ポンプ室８ｂが液で満たされながら流路４０を通じて液が送液される。このとき、送液ポンプ２ａの吐出流量から送液ポンプ２ｂの吸入流量を差し引いた流量がこの送液装置の送液流量となる。

逆に、プランジャ１０ａが吸入方向へ駆動されるときはプランジャ１０ｂが吐出方向へ駆動され、入口側逆止弁３２が開いて出口側逆止弁３６が閉じる。これにより、ポンプ室８ａ内には流路３０を通じて液が吸入され、同時に、ポンプ室８ｂから流路４０を通じて液が送液される。このとき、送液ポンプ２ｂの吐出流量がこの送液装置の送液流量となる。

ポンプヘッド４ａのプランジャ容量はポンプヘッド４ｂのプランジャ容量の約２倍であり、プランジャ１０ａと１０ｂは位相が１８０度ずれて駆動されることにより、流路４０における送液流量が一定に維持されるようになっている。

次に、入口側逆止弁３２及び出口側逆止弁３６の構造について図２を用いて説明する。なお、この実施例において、出口側逆止弁３６は入口側逆止弁３２と同じ構造を有するものであるため、ここでは入口側逆止弁３２についてのみ説明する。

入口側逆止弁３２は、上方へ突起した凸部をもつＴ字型のバルブボディ４２とバルブボディ４２の下面に取り付けられた駆動機構７０を備えている。バルブボディ４２は内部に空洞を有し、その空洞に側面から液を流入させる液入口４６が設けられているとともに、上端面に、液を流出させる液出口４７が設けられている。

バルブボディ４２の凸部の先端側から円筒形状のハウジング４４が挿入されている。ハウジング４４の内部には、バルブボディ４２の液入口４６から流入した液を液出口４７へ向かって一方向へ流す直線状の流路（直線流路）が形成されている。ハウジング４４の上端面にリング状のガスケット４９が取り付けられ、そのガスケット４９内側の貫通孔が液を流出させる液出口４７となっている。

ハウジング４４内部の空洞内に、下方から、ボールシート５０（第１弁座）、ボール５２（第１弁体）、ボールシート５４（第２弁座）及びボール５６（第２弁体）がハウジング４４の軸方向（上下方向）に並んで収容されている。ボールシート５０及び５４はハウジング４４内の直線流路の一部を構成する円筒形状の部材である。ボールシート５０及び５４はその位置が固定されており、それぞれの上面開口部上にそれぞれボール５２，５６を着座させるものである。ボールシート５０とボール５２の組と、ボールシート５４とボール５６の組はそれぞれ弁を開閉させる開閉機構を構成する。

ボールシート５０と５４の間にスペーサ５３が介在している。スペーサ５３はボール５２の外径よりも僅かに大きい内径を有する。ボール５２は、スペーサ５３の内側においてハウジング４４の軸方向へ移動可能に配置されている。ボール５６もボールシート５４の上方においてハウジング４４の軸方向へ移動可能に配置されている。第１弁体、第２弁体としては、ボール５２，５６に代えて円錐プラグなど他の形状の部材を用いてもよい。ボールシート５０と５４は同一の部材で構成されており、ボール５２と５６は同一の部材で構成されている。

バルブボディ４２は、ハウジング４４の直下の位置にシリンダ部４８を備えている。シリンダ部４８は、永久磁石５８が埋設された作動部６０をハウジング４４の軸方向（上下方向）へ移動させるための空間である。シリンダ部４８の内部に作動部６０が上下方向へ移動可能に収容されている。作動部６０はピン６２（第１駆動体）の基端を保持している。ピン６２はボール５２に向かって伸びるように鉛直方向に配置されている。ボールシート５０にボール５２が着座している状態において、ピン６２とボール５２の間には、例えば０．４ｍｍ程度の隙間が存在している。シリンダ部４８の底面として、例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）などからなるシート６５が設けられている。作動部６０はシート６５に支持されている。

ボール５２と５６の間にピン６４（第２駆動体）が、ハウジング４４の軸方向に沿って鉛直方向に配置されている。ピン６４はボールシート５４の内側において上下方向へ移動可能に設けられている。ピン６４の長さはボール５２と５６の隙間よりも短く、ボール５２がボールシート５０に着座し、かつボール５６がボールシート５４に着座しているときに、ピン６４とボール５６との間に、例えば０．３ｍｍ程度の隙間が存在する。

ピン６４の断面形状は、図３に示されているように、ボールシート５４の内径と略同一の外径を有する円形のうちの一部が欠損した形状になっている。これにより、ピン６４がボールシート５４の内側で上下方向へ動作するときに、ピン６４の軸が鉛直方向から傾くことがなく、ボールシート５４の内周面とピン６４とが局所的に接触して摩耗することが防止される。

さらに、ピン６４はボールシート５４と同一の材質（例えば、サファイア）により構成されている。ピン６４はボールシート５４の内周面と摺動するが、両者の材質が同一であることにより、一方側が著しく摩耗することが防止される。

ハウジング４４の上端に取り付けられたガスケット４９とボール５６との間にオモリ６６が設けられている。オモリ６６は例えばコイルバネからなる弾性部材６８によって鉛直下方向へ付勢されている。これにより、常時、ボール５６をボールシート５４側へ押圧している。オモリ６６及び弾性部材６８は、ボール５６（第２弁体）をボールシート５４（第２弁座）側へ押圧する押圧部材をなしている。

駆動機構７０は、作動部６０を支持するシート６５の直下の位置に設けられた鉄心７２と、その鉄心７２の側面とは間隔をもって配置されたコイル７４を備えている。コイル７４に電流が流れると作動部６０を通る磁場が発生し、作動部６０がシート６５から上方へ、例えば０．９ｍｍ持ち上がった状態となる。

作動部６０が上方へ持ち上がった状態になると、図４に示されているように、ピン６２がボール５２を上方へ押圧し、ボール５２がボールシート５０から０．５ｍｍ持ち上げられる。ボール５２がボールシート５０から持ち上がった状態になると、それに伴ってピン６４が上方へ持ち上げられてボール５６を上方へ押圧する。これにより、ボール５６がボールシート５４に着座した状態から０．２ｍｍ持ち上げられる。これにより、入口側逆止弁３２が開いた状態となる。このときのピン６２の状態を「開状態」という。

入口側逆止弁３２を開く際は、駆動機構７０によって作動部６０が上方向へ移動するように、永久磁石５８と反発する方向の磁場を発生させることでピン６２を開状態にし、ボール５２をピン６２によって上方へ押し上げ、ボール５６をピン６４によって上方へ押し上げる。したがって、ボール５２及び５６はそれぞれピン６２及び６４によって能動的に上方へ押し上げられるため、ボールシート５０とボール５２との吸着やボールシート５４とボール５６との吸着によって弁が開かないという不具合は発生せず、弁を確実に開くことができる。

逆に、弁を閉じる際は、駆動機構７０が磁場を発生させないことで作動部６０が自重によってシート６５まで下降する。作動部６０が下降するとボール５２が自重とピン６４の荷重によって下降してボールシート５０に着座する。ボール５６は、ポンプ室８ａ内が加圧されることによって、及びオモリ６６による下方への押圧によって、ボールシート５４に着座する。このときのピン６４の状態を「閉状態」という。

弁の開閉機構を２段にすると、弁を閉じる際に、その２段の開閉機構のうちいずれか一方が正常に閉じられれば、逆止弁としての機能が果たされることから、弁を閉じる際の信頼性が向上するという利点がある。他方、弁を開く際には、２段の開閉機構のうち一方が正常に開かない場合には逆止弁として機能しないため、弁を開く際に不具合が発生するリスクが２倍になるという問題がある。

しかし、上記実施例のように、弁体であるボール５２と５６の間にピン６４を挿入し、作動部６０が持ち上がったときにボール５２とともにボール５６も能動的に押し上げられるようにすることで、弁の開閉機構を２段構成にして弁を閉じる際の信頼性を高めながら、弁を開く際の信頼性も高めることができる。

この実施例では、出口側逆止弁３６の構造も入口側逆止弁３２と同様であるが、必ずしも入口側逆止弁３２及び出口側逆止弁３６が上記構成をとる必要はなく、いずれか一方のみが上記構成をもつものであってもよい。

２ａ，２ｂ 送液ポンプ
４ａ，４ｂ ポンプヘッド
６ａ，６ｂ ポンプボディ
８ａ，８ｂ ポンプ室
１０ａ，１０ｂ プランジャ
１２ａ，１２ｂ クロスヘッド
１４ａ，１４ｂ カムフォロワ
１６ａ，１６ｂ 弾性部材
１８ａ，１８ｂ カム
２０ ステッピングモータ
２２ 駆動軸
３０ 流路（液入口流路）
３２ 入口側逆止弁
３４ 流路（液出口流路）
３６ 出口側逆止弁
４２ バルブボディ
４４ ハウジング
４６ 液入口
４７ 液出口
４８ シリンダ部
４９ ガスケット
５０ ボールシート（第１弁座）
５２ ボール（第１弁体）
５３ スペーサ
５４ ボールシート（第２弁座）
５６ ボール（第２弁体）
５８ 永久磁石
６０ 作動部
６２ ピン（第１駆動体）
６４ ピン（第２駆動体）
６６ オモリ
６８ 弾性部材
７０ 駆動機構
７２ 鉄心
７４ コイル

Claims (8)

1. 液を流入させる液入口と液を流出させる液出口を有し、一方向へ液を流す直線流路と、
   前記一方向への可動性をもって前記直線流路内に設けられた第１弁体と、
   前記第１弁体よりも前記液入口側に設けられ、内側に前記直線流路の一部をなす流路を有し、その流路の前記液出口側の開口を塞ぐように前記第１弁体を着座させる第１弁座と、
   前記一方向への可動性をもって前記直線流路内における前記第１弁体よりも前記液出口側に設けられた第２弁体と、
   前記第２弁体よりも前記液入口側で前記第１弁体よりも前記液出口側に設けられ、内側に前記直線流路の一部をなす流路を有し、その流路の前記液出口側の開口を塞ぐように前記第２弁体を着座させる第２弁座と、
   前記直線流路内における前記第１弁体よりも前記液入口側において前記一方向への可動性をもって設けられた第１駆動体と、
   前記第１駆動体を前記一方向へ駆動し、前記第１駆動体を、前記第１弁体を前記液出口側へ押圧して前記第１弁体を前記第１弁座から離脱させる開状態、又は前記第１弁体を前記液出口側へ押圧せずに前記第１弁体を前記第１弁座に着座させる閉状態のいずれか一方の状態にする駆動機構と、
   前記直線流路内における前記第１弁体と前記第２弁体の間に前記一方向への可動性をもって設けられ、前記第１駆動体が前記開状態になるときに前記第１弁体によって前記液出口側へ押圧され、それに伴って前記第２弁体を前記液出口側へ押圧して前記第２弁体を前記第２弁座から離脱させ、前記第１駆動体が前記閉状態になるときに前記第２弁体から離れて前記第２弁体を前記第２弁座に着座させる第２駆動体と、を備えた逆止弁。
2. 前記第２駆動体は、前記第１弁座に着座した前記第１弁体と前記第２弁座に着座した前記第２弁体との間の距離よりも短いピンである請求項１に記載の逆止弁。
3. 前記第２駆動体は、その軸方向が前記一方向を向いた状態を維持するように前記第２弁座によって支持されている請求項２に記載の逆止弁。
4. 前記第２弁座の内側流路はその流れ方向に対して垂直な方向における断面が円形であり、
   前記第２駆動体の断面形状は、軸方向に対して垂直な方向において、前記第２弁座の内側流路の内径と略同一の外径を有する円形の一部が欠損した形状である請求項３に記載の逆止弁。
5. 前記第２駆動体は前記第２弁座と同一の材質により構成されている請求項３に記載の逆止弁。
6. 前記第１弁体と前記第２弁体は同一材質からなる同一形状の部材であり、前記第１弁座と前記第２弁座は同一材質からなる同一形状の部材である請求項１から５のいずれか一項に記載の逆止弁。
7. 前記液出口側から前記液入口側へ前記第２弁体を押圧する押圧部材を備えている請求項１に記載の逆止弁。
8. ポンプ室と、
   前記ポンプ室に液を流入させる液入口流路と、
   前記ポンプ室から液を流出させる液出口流路と、
   前記ポンプ室に先端が挿入されたプランジャと、
   前記プランジャをその軸方向に駆動するプランジャ駆動機構と、
   前記液入口流路上に設けられ前記ポンプ室から液を吐出する際の前記液入口流路における液の逆流を防止する入口側逆止弁と、
   前記液出口流路上に設けられ前記ポンプ室に液を吸入する際の前記液出口流路における液の逆流を防止する出口側逆止弁と、を備え、
   前記入口側逆止弁及び前記出口側逆止弁のうち少なくとも一方が請求項１から７のいずれか一項に記載の逆止弁である送液ポンプ。

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