JP4610582B2 - 液体ポンプシステム - Google Patents
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Description
前記吐出駆動状態から前記吸入駆動状態に切換わるときには、前記吐出駆動状態の終了に伴って、前記吐出側弁28を開弁し、かつ、前記吸入側弁27を閉弁して前記ポンプPを吸入動作させる逆駆動状態を経て前記吸入駆動状態に切換えられるとともに、
前記吐出駆動状態から前記逆駆動状態に切換わるときは、前記吐出側弁28の開弁状態と前記吸入側弁27の閉弁状態とが維持されている状態で前記ポンプPが前記吐出動作から直ちに前記吸入動作に切換えられるように構成され、
前記逆駆動状態での前記ポンプPの吸入動作が、前記吐出動作から切換えられた直後の高速吸入動作と、前記高速吸入動作に続く低速吸入動作とによる二段切換駆動状態に設定されていることを特徴とするものである。
実施例1による液体ポンプシステムAは、図1に示すように、薬液タンク31と、ポンプPと、フィルタ(流体機器Kの一例)32と、ノズル(流体機器Kの一例)33と、吸入側弁27と、吐出側弁(流体機器Kの一例)28と、吸入側流路29と、吐出側流路30とを有して構成されている。ポンプPの吸入部6と薬液タンク31とに亘る吸入側流路29の途中に吸入側弁27が配備され、ポンプPの吐出部7とノズル33とに亘る吐出側流路30には、吐出側弁28とフィルタ32とが配備されている。
サックバック動作の際は、吐出側弁の液押出し分を予め吸い込んでおかねばならないが、1回のサックバック動作では、液切れ良くするために吸込み速度を速くする必要がある。即ち、吐出側弁28の開弁状態と吸入側弁27の閉弁状態とを維持しながらポンプPを吐出動作から一旦停止することなく一気に高速吸入動作に切換えることにより、図6(a)に示すように、ノズル33先端部の薬液eを一気に吸い込み、次の薬液吐出までの間の液垂れを防止することができると考えられる。
2 ピストン
3 ローリングダイヤフラム
3a 内周部
3d 折返部
3e 外周部
4 圧力室
6 吸込口
7 吐出口
27 吸入側弁
28 吐出側弁
29 吸入側流路
30 吐出側流路
32 フィルタ
33 液体吐出部
A 液体ポンプシステム
B 液垂れ防止装置
K 流体機器
P ポンプ
e 薬液
Claims (3)
- 液体用のポンプと、前記ポンプに対する吐出側流路を開閉する吐出側弁と、前記ポンプに対する吸入側流路を開閉する吸入側弁とを有し、前記吐出側弁を閉弁し、かつ、前記吸入側弁を開弁して前記ポンプを吸入動作させる吸入駆動状態と、前記吐出側弁を開弁し、かつ、前記吸入側弁を閉弁して前記ポンプを吐出動作させる吐出駆動状態とが切換可能に構成されている液体ポンプシステムであって、
前記吐出駆動状態から前記吸入駆動状態に切換わるときには、前記吐出駆動状態の終了に伴って、前記吐出側弁を開弁し、かつ、前記吸入側弁を閉弁して前記ポンプを吸入動作させる逆駆動状態を経て前記吸入駆動状態に切換えられるとともに、
前記吐出駆動状態から前記逆駆動状態に切換わるときは、前記吐出側弁の開弁状態と前記吸入側弁の閉弁状態とが維持されている状態で前記ポンプが前記吐出動作から直ちに前記吸入動作に切換えられるように構成され、
前記逆駆動状態での前記ポンプの吸入動作が、前記吐出動作から切換えられた直後の高速吸入動作と、前記高速吸入動作に続く低速吸入動作とによる二段切換駆動状態に設定されている液体ポンプシステム。 - 前記吐出側流路に配備される流体機器のうち、前記吐出側流路の終端に配備される液体吐出部を除いて最も液体流れ方向下流側に配備される流体機器がフィルタに設定されている請求項1に記載の液体ポンプシステム。
- 前記ポンプが、シリンダと、このシリンダ内に収容されて往復駆動されるピストンと、前記ピストンに取付けられる内周部、及び前記ピストンの外周に位置する折返部を経て前記シリンダに取付けられる外周部を有するローリングダイヤフラムと、前記シリンダ、前記ピストン、及び前記ローリングダイヤフラムにより形成される圧力室と、各々が前記圧力室に連通する液体の吸込口及び吐出口とを有するローリングダイヤフラムポンプに構成されている請求項1又は2に記載の液体ポンプシステム。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002273113A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-24 | Koganei Corp | 濾過器および薬液供給装置並びに薬液供給方法 |
JP2003195510A (ja) * | 2001-12-27 | 2003-07-09 | Koganei Corp | 薬液供給装置および薬液供給装置の脱気方法 |
JP2003227472A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-15 | Saginomiya Seisakusho Inc | 往復ポンプ |
JP2006207781A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Koganei Corp | 弁装置 |
JP2006316711A (ja) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Ckd Corp | 薬液供給システム及び薬液供給ポンプ |
JP2007023935A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | ローリングダイヤフラムポンプ |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08285125A (ja) * | 1995-04-12 | 1996-11-01 | Koganei Corp | 弁装置および弁装置を有する薬液供給装置 |
JP3717996B2 (ja) * | 1996-05-17 | 2005-11-16 | 株式会社コガネイ | 薬液供給装置 |
JP3483461B2 (ja) * | 1997-04-01 | 2004-01-06 | 宮崎沖電気株式会社 | レジスト吐出システムとレジスト吐出方法 |
-
2007
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002273113A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-24 | Koganei Corp | 濾過器および薬液供給装置並びに薬液供給方法 |
JP2003195510A (ja) * | 2001-12-27 | 2003-07-09 | Koganei Corp | 薬液供給装置および薬液供給装置の脱気方法 |
JP2003227472A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-15 | Saginomiya Seisakusho Inc | 往復ポンプ |
JP2006207781A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Koganei Corp | 弁装置 |
JP2006316711A (ja) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Ckd Corp | 薬液供給システム及び薬液供給ポンプ |
JP2007023935A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | ローリングダイヤフラムポンプ |
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