JP3786677B2 - 液体ポンプ - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば、半導体製造業、磁気ディスク製造業及び薬品工業等の各種製造業で使用される液体を圧送供給するための液体ポンプに係り、特に詳しくは、液体中の気体等を除去して清浄な状態で液体を圧送供給するための液体ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、例えば、半導体製造業の製造プロセスでは、純水、有機溶剤、ホトレジスト及び現像液等の薬液を用いた薬液処理プロセスが多用されている。ここで、上記薬液処理プロセスを経て製造される製品の要求加工寸法は、近年更に微細化される傾向にある。このことから、薬液処理プロセスに供給される薬液中に、気体、異物等の不純物が混入すると、製品に形状不良や特性不良が発生するおそれがある。そのため、気体、異物等の不純物を薬液中から予め除去しておき、清浄な状態の薬液のみを薬液処理プロセスへ供給する必要がある。
【０００３】
そこで、本願出願人は、先に、特公平７−４５００１号公報において、薬液処理プロセス等へ供給される液体中から気体、異物等の不純物を除去することのできる液体供給装置を提案した。この装置は、ポンプ室の容積変化を利用して液体を吸入及び吐出する構造を有する液体ポンプを備える。この液体ポンプは、開閉弁機能を有する吸入口、吐出口及び気泡除去口を有し、吸入口は脱泡用オリフィスを含む。この液体ポンプは、そのポンプ室内に液体を吸入した状態で吸入口、吐出口及び気泡除去口を閉じて、ポンプ室内の容積を膨張させることにより、ポンプ室内を負圧にするようにしている。
【０００４】
従って、この液体ポンプによれば、液体がポンプ室内に吸入される際、吸入口に設けられたオリフィスにより、液体が負圧状態となり、その液体中に溶け込んでいるミクロな気体が脱泡される。更に、ポンプ室内に液体を吸入した状態で、吸入口、吐出口及び気泡除去口を閉じて、ポンプ室内の容積を膨張させてその室内を負圧にすることにより、ポンプ室内の液体が負圧に晒される。これにより、ポンプ室内に吸入された液体が更に真空脱泡される。その後、気泡除去口を開けておき、ポンプ室の容積を縮小させてその室内を加圧することにより、ポンプ室内に溜まった気泡が気泡除去口を通じてポンプ室外へ除去される。その後、ポンプ室の容積を縮小させる途中で、気泡除去口を閉じて吐出口を開くことにより、ポンプ室内に吸入された液体が、気体、異物等の不純物が除去された状態で吐出口から吐出されることになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の液体ポンプでは、脱泡により発生した気泡が吐出口の周囲に集まることもあることから、吐出口を開いたときに、その集まった気泡が吐出口から液体と共に外部へ流出するおそれがあった。
一方、ポンプ室内に多量の気泡が溜まった場合に、それら気泡の全てを気泡除去口から除去し切れなくなるおそれがあった。この場合、余った気泡が、吐出口から吐出される液体に混入するおそれがあり、液体からの気泡の除去が不完全となるおそれがあった。
【０００６】
この発明は上記の事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、液体中の気体、異物等の不純物を除去すると共に、吐出口から吐出される液体から気泡を確実に除去することを可能にした液体ポンプを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明の液体ポンプは、容積可変に形成されたポンプ室の容積を膨張させることにより吸入口からポンプ室内に液体を吸入し、前記ポンプ室の容積を縮小させることにより吐出口からポンプ室外へ液体を吐出させるようにした構造と、前記吸入口に設けられ、その吸入口から前記ポンプ室内へ前記液体が吸入されるときにその液体中に溶け込んだ気体を脱泡させるための脱泡オリフィスと、前記吐出口とは別に設けられ、その吐出口から前記ポンプ室外へ前記液体を吐出させる前に、前記脱泡された気泡を前記ポンプ室外へ除去するための気泡除去口とを備えた液体ポンプにおいて、前記吸入口、前記吐出口、及び前記気泡除去口が同じ面に形成されており、前記吸入口と前記吐出口との中間位置に前記ポンプ室内へ前記同じ面から突出配置され、前記吐出口より吐出される液体から前記気泡を分離するために前記液体のみを導入する液体導入孔を先端部の側面に有する液泡分離管を備えたことを趣旨とする。
【０００８】
上記の発明の構成によれば、ポンプ室の容積を膨張させて吸入口からポンプ室内に液体を吸入させるときに、吸入口に設けられた脱泡オリフィスにより液体が負圧状態となり、液体中に溶け込んだ気体が脱泡される。
そして、ポンプ室内に所定量の液体が吸入された状態で、吸入口、吐出口及び気泡除去口を閉じてポンプ室の容積を更に膨張させてポンプ室内を負圧にすることにより、ポンプ室内の液体が負圧に晒される。これにより、脱泡オリフィスにより脱泡されたポンプ室内の液体が更に脱泡される。
その後、気泡除去口を開き、ポンプ室の容積を縮小させてポンプ室を加圧することにより、ポンプ室内に溜まった気泡が気泡除去口からポンプ室外へ除去される。
その後、気泡除去口を閉じ、吐出口を開いてポンプ室の容積を更に縮小させてポンプ室を更に加圧することにより、吐出口からポンプ室外へ液体が吐出される。ここで、吐出口には液泡分離管が設けられており、その液体導入孔からは液体のみが導入され、吐出口より吐出される液体から気泡が分離される。
従って、吐出口の周囲に気泡が集まっていたり、先に多量の気泡が発生していて除去し切れない気泡がポンプ室内に溜まっていたりしても、その気泡が吐出口から吐出される液体に混入することがない。
【０００９】
上記目的を達成するために、請求項２に記載の発明の液体ポンプは、請求項１に記載の発明の構成において、ポンプ室は伸縮自在なベローズを隔壁として形成されたものであることを趣旨としている。
【００１０】
上記の発明の構成によれば、請求項１の発明の作用に加え、ベローズを伸縮させることにより、ポンプ室の容積が膨張及び縮小される。
【００１１】
上記目的を達成するために、請求項３に記載の発明の液体ポンプは、請求項１又は請求項２に記載の発明の構成において、液泡分離管は、吐出口から下方へ垂直に延び、下端が閉塞されると共に液体導入孔が水平方向又は斜め上方へ向かって開口されることを趣旨としている。
【００１２】
上記の発明の構成によれば、液泡分離管の下端は閉塞され、液体導入孔は液泡分離管において水平方向又は斜め上方へ向かって開口されることから、ポンプ室内を浮力によって浮上しようとする気泡が液体導入孔に入り込み難くなる。
【００１３】
上記目的を達成するために、請求項４に記載の発明の液体ポンプは、請求項３に記載の発明の構成において、液泡分離管は、液体導入孔の直下に外方へ拡がる傘部を有することを趣旨としている。
【００１４】
上記の発明の構成によれば、請求項３の発明の作用に加え、ポンプ室内を浮力によって浮上しようとする気泡は傘部により遮られることから、液体導入孔に対して気泡がより入り込み難くなる。
【００１５】
上記目的を達成するために、請求項５に記載の発明の液体ポンプは、容積可変に形成されたポンプ室の容積を膨張させることにより吸入口からポンプ室内に液体を吸入し、前記ポンプ室の容積を縮小させることにより吐出口からポンプ室外へ液体を吐出させるようにした構造と、前記吸入口に設けられ、その吸入口から前記ポンプ室内へ前記液体が吸入されるときにその液体中に溶け込んだ気体を脱泡させるための脱泡オリフィスと、前記吐出口とは別に設けられ、その吐出口から前記ポンプ室外へ前記液体を吐出させる前に、前記脱泡された気泡を前記ポンプ室外へ除去するための気泡除去口とを備えた液体ポンプにおいて、前記吸入口、前記吐出口、及び前記気泡除去口が同じ面上に形成されており、前記吸入口と前記吐出口との中間位置に前記ポンプ室内へ前記同じ面から突出配置される液泡分離管を備え、前記液泡分離管が、前記吐出口からＪ字状に湾曲して延び、前記気泡除去口に向かって上方へ指向する先端に開口され、前記吐出口より吐出される液体から前記気泡を分離するために前記液体のみを導入する液体導入孔を有することを趣旨とする。
【００１６】
上記の発明の構成によれば、請求項１又は請求項２の発明の作用に加え、Ｊ字状に湾曲しており、液体導入孔はその上方へ指向する先端に開口されることから、ポンプ室内を浮力によって浮上しようとする気泡が液体導入孔に入り込み難くなる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
［第１の実施の形態］
以下、本発明の液体ポンプを具体化した第１の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】
この実施の形態では、半導体製造の薬液処理プロセスにおいて、有機溶剤、ホトレジスト及び現像液等の薬液を供給するための液体ポンプについて説明する。ここでは、半導体製品の要求加工寸法が極めて微細化していることから、薬液処理プロセスに供給される薬液中に気体、異物等の不純物が混入していることは、半導体製品に形状不良や特性不良が発生するおそれがあり好ましくない。そこで、気体等の不純物を薬液中から予め除去して、清浄な状態の薬液のみを薬液処理プロセスへ供給することのできる液体ポンプが使用されている。
【００１９】
図１及び図２にその液体ポンプ１の構造等を示す。この液体ポンプ１は、容積可変に形成されたポンプ室２の容積を膨張させることにより吸入口３からポンプ室２内に薬液を吸入し、ポンプ室２の容積を縮小させることにより吐出口４からポンプ室２外へ薬液を吐出させるようにした構造を有する。図１はポンプ室２の容積が最も縮小した状態を示し、図２はポンプ室２の容積が最も膨張した状態を示す。
この実施の形態では、伸縮自在なベローズ５を隔壁としてポンプ室２が形成されている。ベローズ５は、液体ポンプ１を構成するケーシング６に収容されている。ベローズ５の上端はケーシング６の上部に固定されて封止され、その下端は底板７により閉塞されている。ケーシング６とベローズ５との間の空間は、ポンプ室２の背室８となっていいる。この背室８に負圧を導入することにより、ベローズ５が伸張してポンプ室２の容積が膨張する。背室８に正圧を導入することにより、ベローズ５が収縮してポンプ室２の容積が縮小する。この実施の形態では、背室８に正圧及び負圧を導入するための圧力管路９が背室８に接続されている。この圧力管路９の途中には、第１の開閉弁１０が設けられている。
【００２０】
吸入口３には、本発明の脱泡オリフィスとしてのキャビテーションノズル１１が設けられている。このノズル１１は、吸入口３からポンプ室２内へ薬液が吸入されるときにその薬液中に溶け込んだミクロな気体を脱泡させるためのものである。この実施の形態では、吸入口３に薬液を導入するための導入管路１２が吸入口３に接続されている。この導入管路１２の一端は、薬液タンク等の供給源に接続されている。この導入管路１２の途中には、第２の開閉弁１３が設けられている。
【００２１】
この実施の形態において、液体ポンプ１は、吐出口４とは別に設けられた気泡除去口１４を備える。この気泡除去口１４は、吐出口４からポンプ室２外へ薬液を吐出させる前に、脱泡された気泡（異物等の不純物を含む）をポンプ室２外へ除去するためのものである。この実施の形態では、気泡除去口１４から気泡を導出するための導出管路１５が気泡除去口１４に接続されている。この導出管路１５の途中には、第３の開閉弁１６が設けられている。
【００２２】
この実施の形態において、液体ポンプ１は、吐出口４に取り付けられた気泡分離管１７を有する。この気泡分離管１７は、吐出口４からポンプ室２内へ突出配置される。気泡分離管１７は、吐出口４より吐出される薬液から気泡を分離するために薬液のみを導入する複数の液体導入孔１７ａを有する。この実施の形態において、液泡分離管１７は、吐出口４から下方へ垂直に延び、その下端が閉塞されている。そして、その下端部付近において、円形をなす各液体導入孔１７ａが水平方向へ向かって開口されている。この実施の形態において、液泡分離管１７は、その下端に各液体導入孔１７ａの直下において外方へ拡がる傘部１７ｂを有する。この実施の形態では、上記の液泡分離管１７の形状が一体成形されている。この実施の形態では、吐出口４から薬液を導出するための導出管路１８が吐出口４に接続されている。導出管路１８は、薬液処理プロセスのための装置（図示しない）に接続されている。この導出管路１８の途中には、第４の開閉弁１９が設けられている。
【００２３】
次に、上記のように構成した液体ポンプ１の動作を説明する。
先ず、ポンプ室２に薬液を吸入するには、図１に示す状態において、吸入口３に対応する第２の開閉弁１３を開き、吐出口４及び気泡除去口１４に対応する第３及び第４の開閉弁１６，１９を閉じる。そして、第１の開閉弁１０を開いて背室８に圧力管路９を通じて負圧を導入する。これにより、図２に示す状態へ向かってベローズ５が伸張してポンプ室２の容積が膨張し、これに伴って導入管路１２及び吸入口３を通じてポンプ室２内に薬液が吸入される。このとき、ポンプ室２内に吸入される薬液は、吸入口３に設けられたキャビテーションノズル１１により負圧状態となることから、その薬液中に溶け込んだ気体、異物等の不純物が最初の脱泡を受けて気泡化される。
【００２４】
そして、ポンプ室２内に所定量の薬液が吸入され、最初の脱泡による気泡が溜まった状態で、第２の脱泡を行う。そのために、吸入口３、吐出口４及び気泡除去口１４に対応する各開閉弁１３，１９，１６を閉じ、背室８に更に負圧を導入することにより、ポンプ室２の容積を更に膨張させてポンプ室２内を負圧にする。これにより、ポンプ室２内の薬液が負圧に晒されることになり、キャビテーションノズル１１により脱泡されたポンプ室２内の薬液が更に脱泡され、薬液中に溶け込んでいた気体等が気泡化される。
【００２５】
その後、気泡除去口１４に対応する第３の開閉弁１６を開き、圧力管路９を通じて背室８に正圧を導入する。これにより、図１に示す状態へ向かってベローズ５が収縮してポンプ室２の容積が縮小してポンプ室２が加圧され、これに伴いポンプ室２内に溜まった気泡が気泡除去口１４から導出管路１５を通じてポンプ室２外へ除去される。
【００２６】
その後、気泡除去口１４に対応する第３の開閉弁１６を閉じ、吐出口４に対応する第４の開閉弁１９を開いて、背室８に更に正圧を導入することにより、ポンプ室２の容積を更に縮小させてポンプ室２を更に加圧する。これにより、吐出口４から導出管路１８を通じてポンプ室２外へ薬液が吐出される。ここで、吐出口４には液泡分離管１７が設けられ、その液体導入孔１７ａからは薬液のみが分離管１７内に導入され、吐出口４より吐出される薬液から気泡が分離されることになる。
【００２７】
従って、吐出口４の周囲に気泡が集まっていたり、脱泡時に多量の気泡が発生していたために除去し切れない気泡がポンプ室２内に溜まっていたりしても、その気泡が吐出口４から吐出される薬液に混入することがない。このため、薬液中の気体、異物等の不純物を除去することができると共に、吐出口４から吐出される薬液から気泡を確実に除去することができるようになる。これにより、気体等の不純物を一切含まない清浄な状態の薬液のみを薬液処理プロセスの装置へ供給することができるようになる。
【００２８】
特に、この実施の形態のでは、液泡分離管１７はその下端が閉塞され、その液体導入孔１７ａが水平方向へ向かって開口されている。又、液中の気泡は、普通、その浮力に従って真上へ向かって浮上する性質がある。従って、ポンプ室２内を浮力によって浮上しようとする気泡が各液体導入孔１７ａに入り込み難くなる。この意味において、吐出口４から吐出される薬液から気泡を確実に除去することができるようになる。
【００２９】
更に、この実施の形態によれば、液泡分離管１７には、各液体導入孔１７ａの直下において外方へ拡がる傘部１７ｂが設けられている。従って、ポンプ室２内を浮力によって浮上しようとする気泡が傘部１７ｂにより遮られることになり、各液体導入孔１７ａに対して気泡が更に入り込み難くなる。この意味で、吐出口４から吐出される薬液から気泡を、傘部１７ｂがない場合に比べて、より確実に除去することができるようになる。
【００３０】
この実施の形態の液体ポンプ１では、ベローズ５を伸縮させることにより、ポンプ室２の容積を膨張及び縮小させるようにしていることから、ポンプ室２の容積変化を比較的大きくすることが可能となる。このため、薬液の吸入及び吐出と、薬液の脱泡及びその排出とを、１回の吸入・吐出工程でそれぞれ過不足なく行うことができる。
【００３１】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の液体ポンプを具体化した第２の実施の形態を図３に従って説明する。
尚、本実施の形態を含む以下の各実施の形態において、前記第１の実施の形態と同じ構成要素については、同一の符号を付して説明を省略し、以下には異なった点を中心にそれぞれ説明するものとする。
【００３２】
この実施の形態の液体ポンプ３１では、液泡分離管１７の点で第１の実施の形態の液体ポンプ１と構成が異なる。即ち、この実施の形態では、液泡分離管１７の下端部付近において、楕円形をなす複数の液体導入孔１７ａが斜め上方へ向かって開口されている。更に、この実施の形態では、傘部１７ｂの周縁に上方へ起立する周壁１７ｃが設けられている。このような液泡分離管１７の形状が一体成形されている。
【００３３】
従って、この実施の形態によれば、各液体導入孔１７ａが斜め上方へ向かって開口されていることから、第１の実施の形態の場合と比べて、更に気泡が各液体導入孔１７ａに入り込み難くなる。又、傘部１７ｂに設けられた周壁１７ｃが、各液体導入孔１７ａに対する気泡の侵入を更に規制するように機能することになる。この意味で、吐出口４から吐出される薬液から気泡をより一層確実に除去することができるようになる。
【００３４】
［第３の実施の形態］
次に、本発明の液体ポンプを具体化した第３の実施の形態を図４に従って説明する。
【００３５】
この実施の形態の液体ポンプ４１では、液泡分離管２０の点で第１の実施の形態の液体ポンプ１と構成が異なる。即ち、この実施の形態では、チューブ２１とカップ２２を一体的に接合することにより液泡分離管２０が形成されている。チューブ２１には水平方向へ開口する四角形状の液体導入孔２０ａが設けられている。カップ２２は、前述した傘部１７ｂ及び周壁１７ｃの機能を兼ね備えたものである。
【００３６】
従って、この実施の形態の液体ポンプ４１においても、第２の実施の形態の液体ポンプ３１と同等の作用及び効果を得ることができる。
【００３７】
［第４の実施の形態］
次に、本発明の液体ポンプを具体化した第４の実施の形態を図５に従って説明する。
【００３８】
この実施の形態の液体ポンプ５１では、液泡分離管２３の点で第１〜第３の実施の形態の液体ポンプ１，３１，４１と構成が異なる。即ち、この実施の形態において、液泡分離管２３は、吐出口４からＪ字状に湾曲して延び、その先端が上方へ指向している。その上方へ指向する先端に一つの液体導入孔２３ａが開口されている。この実施の形態では、両端を開放させたチューブを単にＪ字状に湾曲させることにより、液泡分離管２３が形成されている。
【００３９】
従って、この実施の形態によれば、液泡分離管２３がＪ字状に湾曲しており、その上方へ指向する先端に液体導入孔２３ａが開口されていることから、ポンプ室２内を浮力によって浮上しようとする気泡が液体導入孔２３ａに入り込み難くなる。このため、吐出口４から吐出される薬液から気泡を確実に除去することができるようになる。特に、この実施の形態では、単にチューブをＪ字状に湾曲させるだけなので、液泡分離管２３を比較的容易に得ることができる。
【００４０】
尚、この発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で以下のように実施することもできる。
【００４１】
前記実施の形態では、伸縮自在なベローズ５を使用して容積可変なポンプ室２を構成したが、ベローズ５以外にダイヤフラム等の手段を使用して容積可変なポンプ室を構成することもできる。即ち、ダイヤフラムタイプの液体ポンプに、本発明の構成を適用してもよい。
【００４２】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明の構成によれば、ポンプ室内に吸入される液体中から気体、異物等の不純物を除去することができる液体ポンプにおいて、吐出口からポンプ室内へ突出配置され、吐出口より吐出される液体から気泡を分離するために液体のみを導入する液体導入孔を有する液泡分離管を設けている。
これにより、液泡分離管の液体導入孔からは液体のみが導入され、吐出口より吐出される液体から気泡が分離される。従って、ポンプ室内に溜まったりしていた気泡が吐出口から吐出される液体に混入することがない。この結果、液体中の気体、異物等の不純物を除去することができると共に、吐出口から吐出される液体から気泡を確実に除去することができ、清浄な状態の液体のみを供給先へ供給することができるという効果を発揮する。
【００４３】
請求項２に記載の発明の構成によれば、請求項１の発明の構成において、ポンプ室を伸縮自在なベローズを隔壁として形成している。
従って、請求項１の発明の作用及び効果に加え、ベローズを伸縮させることによりポンプ室の容積を膨張及び縮小させるようにしていることから、ポンプ室の容積変化を比較的大きくすることが可能となる。この結果、液体の吸入及び吐出と、液体の脱泡及びその排出とを、１回の吸入・吐出工程でそれぞれ過不足なく行うことができるという効果を発揮する。
【００４４】
請求項３に記載の発明の構成によれば、請求項１又は請求項２の発明の構成において、吐出口から下方へ垂直に延び、下端が閉塞されると共に液体導入孔が水平方向又は斜め上方へ向かって開口される液泡分離管を設けている。
従って、ポンプ室内を浮上しようとする気泡が液体導入孔に入り込み難くなる。この意味で、液体中の気体、異物等の不純物を除去することができると共に、吐出口から吐出される液体から気泡を確実に除去することができるという効果を発揮する。
【００４５】
請求項４に記載の発明の構成によれば、請求項３の発明の構成において、液泡分離管に、液体導入孔の直下に外方へ拡がる傘部を設けている。
従って、請求項３の発明の作用及び効果に加え、ポンプ室内を浮上しようとする気泡が傘部で遮られ、液体導入孔に気泡がより入り込み難くなる。この意味で、傘部がない場合と比べ、吐出口から吐出される液体から気泡をより確実に除去することができるという効果を発揮する。
【００４６】
請求項５に記載の発明の構成によれば、請求項１又は請求項２の発明の構成において、吐出口からＪ字状に湾曲して延び、上方へ指向する先端に液体導入孔が開口される液泡分離管を設けている。
従って、ポンプ室内を浮上しようとする気泡が液体導入孔に入り込み難くなる。この意味で、液体中の気体、異物等の不純物を除去することができると共に、吐出口から吐出される液体から気泡を確実に除去することができるという効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係り、液体ポンプの構造を示す断面図である。
【図２】同じく、液体ポンプの構造を示す断面図である。
【図３】第２の実施の形態に係り、液体ポンプの構造を示す断面図である。
【図４】第３の実施の形態に係り、液体ポンプの構造を示す断面図である。
【図５】第４の実施の形態に係り、液体ポンプの構造を示す断面図である。
【符号の説明】
１ 液体ポンプ
２ ポンプ室
３ 吸入口
４ 吐出口
５ ベローズ
１１ キャビテーションノズル
１４ 気泡除去口
１７ 液泡分離管
１７ａ 液体導入孔
１７ｂ 傘部
２０ 液泡分離管
２０ａ 液体導入孔
２３ 液泡分離管
２３ａ 液体導入孔
３１ 液体ポンプ
４１ 液体ポンプ
５１ 液体ポンプ
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば、半導体製造業、磁気ディスク製造業及び薬品工業等の各種製造業で使用される液体を圧送供給するための液体ポンプに係り、特に詳しくは、液体中の気体等を除去して清浄な状態で液体を圧送供給するための液体ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、例えば、半導体製造業の製造プロセスでは、純水、有機溶剤、ホトレジスト及び現像液等の薬液を用いた薬液処理プロセスが多用されている。ここで、上記薬液処理プロセスを経て製造される製品の要求加工寸法は、近年更に微細化される傾向にある。このことから、薬液処理プロセスに供給される薬液中に、気体、異物等の不純物が混入すると、製品に形状不良や特性不良が発生するおそれがある。そのため、気体、異物等の不純物を薬液中から予め除去しておき、清浄な状態の薬液のみを薬液処理プロセスへ供給する必要がある。
【０００３】
そこで、本願出願人は、先に、特公平７−４５００１号公報において、薬液処理プロセス等へ供給される液体中から気体、異物等の不純物を除去することのできる液体供給装置を提案した。この装置は、ポンプ室の容積変化を利用して液体を吸入及び吐出する構造を有する液体ポンプを備える。この液体ポンプは、開閉弁機能を有する吸入口、吐出口及び気泡除去口を有し、吸入口は脱泡用オリフィスを含む。この液体ポンプは、そのポンプ室内に液体を吸入した状態で吸入口、吐出口及び気泡除去口を閉じて、ポンプ室内の容積を膨張させることにより、ポンプ室内を負圧にするようにしている。
【０００４】
従って、この液体ポンプによれば、液体がポンプ室内に吸入される際、吸入口に設けられたオリフィスにより、液体が負圧状態となり、その液体中に溶け込んでいるミクロな気体が脱泡される。更に、ポンプ室内に液体を吸入した状態で、吸入口、吐出口及び気泡除去口を閉じて、ポンプ室内の容積を膨張させてその室内を負圧にすることにより、ポンプ室内の液体が負圧に晒される。これにより、ポンプ室内に吸入された液体が更に真空脱泡される。その後、気泡除去口を開けておき、ポンプ室の容積を縮小させてその室内を加圧することにより、ポンプ室内に溜まった気泡が気泡除去口を通じてポンプ室外へ除去される。その後、ポンプ室の容積を縮小させる途中で、気泡除去口を閉じて吐出口を開くことにより、ポンプ室内に吸入された液体が、気体、異物等の不純物が除去された状態で吐出口から吐出されることになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の液体ポンプでは、脱泡により発生した気泡が吐出口の周囲に集まることもあることから、吐出口を開いたときに、その集まった気泡が吐出口から液体と共に外部へ流出するおそれがあった。
一方、ポンプ室内に多量の気泡が溜まった場合に、それら気泡の全てを気泡除去口から除去し切れなくなるおそれがあった。この場合、余った気泡が、吐出口から吐出される液体に混入するおそれがあり、液体からの気泡の除去が不完全となるおそれがあった。
【０００６】
この発明は上記の事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、液体中の気体、異物等の不純物を除去すると共に、吐出口から吐出される液体から気泡を確実に除去することを可能にした液体ポンプを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明の液体ポンプは、容積可変に形成されたポンプ室の容積を膨張させることにより吸入口からポンプ室内に液体を吸入し、前記ポンプ室の容積を縮小させることにより吐出口からポンプ室外へ液体を吐出させるようにした構造と、前記吸入口に設けられ、その吸入口から前記ポンプ室内へ前記液体が吸入されるときにその液体中に溶け込んだ気体を脱泡させるための脱泡オリフィスと、前記吐出口とは別に設けられ、その吐出口から前記ポンプ室外へ前記液体を吐出させる前に、前記脱泡された気泡を前記ポンプ室外へ除去するための気泡除去口とを備えた液体ポンプにおいて、前記吸入口、前記吐出口、及び前記気泡除去口が同じ面に形成されており、前記吸入口と前記吐出口との中間位置に前記ポンプ室内へ前記同じ面から突出配置され、前記吐出口より吐出される液体から前記気泡を分離するために前記液体のみを導入する液体導入孔を先端部の側面に有する液泡分離管を備えたことを趣旨とする。
【０００８】
上記の発明の構成によれば、ポンプ室の容積を膨張させて吸入口からポンプ室内に液体を吸入させるときに、吸入口に設けられた脱泡オリフィスにより液体が負圧状態となり、液体中に溶け込んだ気体が脱泡される。
そして、ポンプ室内に所定量の液体が吸入された状態で、吸入口、吐出口及び気泡除去口を閉じてポンプ室の容積を更に膨張させてポンプ室内を負圧にすることにより、ポンプ室内の液体が負圧に晒される。これにより、脱泡オリフィスにより脱泡されたポンプ室内の液体が更に脱泡される。
その後、気泡除去口を開き、ポンプ室の容積を縮小させてポンプ室を加圧することにより、ポンプ室内に溜まった気泡が気泡除去口からポンプ室外へ除去される。
その後、気泡除去口を閉じ、吐出口を開いてポンプ室の容積を更に縮小させてポンプ室を更に加圧することにより、吐出口からポンプ室外へ液体が吐出される。ここで、吐出口には液泡分離管が設けられており、その液体導入孔からは液体のみが導入され、吐出口より吐出される液体から気泡が分離される。
従って、吐出口の周囲に気泡が集まっていたり、先に多量の気泡が発生していて除去し切れない気泡がポンプ室内に溜まっていたりしても、その気泡が吐出口から吐出される液体に混入することがない。
【０００９】
上記目的を達成するために、請求項２に記載の発明の液体ポンプは、請求項１に記載の発明の構成において、ポンプ室は伸縮自在なベローズを隔壁として形成されたものであることを趣旨としている。
【００１０】
上記の発明の構成によれば、請求項１の発明の作用に加え、ベローズを伸縮させることにより、ポンプ室の容積が膨張及び縮小される。
【００１１】
上記目的を達成するために、請求項３に記載の発明の液体ポンプは、請求項１又は請求項２に記載の発明の構成において、液泡分離管は、吐出口から下方へ垂直に延び、下端が閉塞されると共に液体導入孔が水平方向又は斜め上方へ向かって開口されることを趣旨としている。
【００１２】
上記の発明の構成によれば、液泡分離管の下端は閉塞され、液体導入孔は液泡分離管において水平方向又は斜め上方へ向かって開口されることから、ポンプ室内を浮力によって浮上しようとする気泡が液体導入孔に入り込み難くなる。
【００１３】
上記目的を達成するために、請求項４に記載の発明の液体ポンプは、請求項３に記載の発明の構成において、液泡分離管は、液体導入孔の直下に外方へ拡がる傘部を有することを趣旨としている。
【００１４】
上記の発明の構成によれば、請求項３の発明の作用に加え、ポンプ室内を浮力によって浮上しようとする気泡は傘部により遮られることから、液体導入孔に対して気泡がより入り込み難くなる。
【００１５】
上記目的を達成するために、請求項５に記載の発明の液体ポンプは、容積可変に形成されたポンプ室の容積を膨張させることにより吸入口からポンプ室内に液体を吸入し、前記ポンプ室の容積を縮小させることにより吐出口からポンプ室外へ液体を吐出させるようにした構造と、前記吸入口に設けられ、その吸入口から前記ポンプ室内へ前記液体が吸入されるときにその液体中に溶け込んだ気体を脱泡させるための脱泡オリフィスと、前記吐出口とは別に設けられ、その吐出口から前記ポンプ室外へ前記液体を吐出させる前に、前記脱泡された気泡を前記ポンプ室外へ除去するための気泡除去口とを備えた液体ポンプにおいて、前記吸入口、前記吐出口、及び前記気泡除去口が同じ面上に形成されており、前記吸入口と前記吐出口との中間位置に前記ポンプ室内へ前記同じ面から突出配置される液泡分離管を備え、前記液泡分離管が、前記吐出口からＪ字状に湾曲して延び、前記気泡除去口に向かって上方へ指向する先端に開口され、前記吐出口より吐出される液体から前記気泡を分離するために前記液体のみを導入する液体導入孔を有することを趣旨とする。
【００１６】
上記の発明の構成によれば、請求項１又は請求項２の発明の作用に加え、Ｊ字状に湾曲しており、液体導入孔はその上方へ指向する先端に開口されることから、ポンプ室内を浮力によって浮上しようとする気泡が液体導入孔に入り込み難くなる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
［第１の実施の形態］
以下、本発明の液体ポンプを具体化した第１の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】
この実施の形態では、半導体製造の薬液処理プロセスにおいて、有機溶剤、ホトレジスト及び現像液等の薬液を供給するための液体ポンプについて説明する。ここでは、半導体製品の要求加工寸法が極めて微細化していることから、薬液処理プロセスに供給される薬液中に気体、異物等の不純物が混入していることは、半導体製品に形状不良や特性不良が発生するおそれがあり好ましくない。そこで、気体等の不純物を薬液中から予め除去して、清浄な状態の薬液のみを薬液処理プロセスへ供給することのできる液体ポンプが使用されている。
【００１９】
図１及び図２にその液体ポンプ１の構造等を示す。この液体ポンプ１は、容積可変に形成されたポンプ室２の容積を膨張させることにより吸入口３からポンプ室２内に薬液を吸入し、ポンプ室２の容積を縮小させることにより吐出口４からポンプ室２外へ薬液を吐出させるようにした構造を有する。図１はポンプ室２の容積が最も縮小した状態を示し、図２はポンプ室２の容積が最も膨張した状態を示す。
この実施の形態では、伸縮自在なベローズ５を隔壁としてポンプ室２が形成されている。ベローズ５は、液体ポンプ１を構成するケーシング６に収容されている。ベローズ５の上端はケーシング６の上部に固定されて封止され、その下端は底板７により閉塞されている。ケーシング６とベローズ５との間の空間は、ポンプ室２の背室８となっていいる。この背室８に負圧を導入することにより、ベローズ５が伸張してポンプ室２の容積が膨張する。背室８に正圧を導入することにより、ベローズ５が収縮してポンプ室２の容積が縮小する。この実施の形態では、背室８に正圧及び負圧を導入するための圧力管路９が背室８に接続されている。この圧力管路９の途中には、第１の開閉弁１０が設けられている。
【００２０】
吸入口３には、本発明の脱泡オリフィスとしてのキャビテーションノズル１１が設けられている。このノズル１１は、吸入口３からポンプ室２内へ薬液が吸入されるときにその薬液中に溶け込んだミクロな気体を脱泡させるためのものである。この実施の形態では、吸入口３に薬液を導入するための導入管路１２が吸入口３に接続されている。この導入管路１２の一端は、薬液タンク等の供給源に接続されている。この導入管路１２の途中には、第２の開閉弁１３が設けられている。
【００２１】
この実施の形態において、液体ポンプ１は、吐出口４とは別に設けられた気泡除去口１４を備える。この気泡除去口１４は、吐出口４からポンプ室２外へ薬液を吐出させる前に、脱泡された気泡（異物等の不純物を含む）をポンプ室２外へ除去するためのものである。この実施の形態では、気泡除去口１４から気泡を導出するための導出管路１５が気泡除去口１４に接続されている。この導出管路１５の途中には、第３の開閉弁１６が設けられている。
【００２２】
この実施の形態において、液体ポンプ１は、吐出口４に取り付けられた気泡分離管１７を有する。この気泡分離管１７は、吐出口４からポンプ室２内へ突出配置される。気泡分離管１７は、吐出口４より吐出される薬液から気泡を分離するために薬液のみを導入する複数の液体導入孔１７ａを有する。この実施の形態において、液泡分離管１７は、吐出口４から下方へ垂直に延び、その下端が閉塞されている。そして、その下端部付近において、円形をなす各液体導入孔１７ａが水平方向へ向かって開口されている。この実施の形態において、液泡分離管１７は、その下端に各液体導入孔１７ａの直下において外方へ拡がる傘部１７ｂを有する。この実施の形態では、上記の液泡分離管１７の形状が一体成形されている。この実施の形態では、吐出口４から薬液を導出するための導出管路１８が吐出口４に接続されている。導出管路１８は、薬液処理プロセスのための装置（図示しない）に接続されている。この導出管路１８の途中には、第４の開閉弁１９が設けられている。
【００２３】
次に、上記のように構成した液体ポンプ１の動作を説明する。
先ず、ポンプ室２に薬液を吸入するには、図１に示す状態において、吸入口３に対応する第２の開閉弁１３を開き、吐出口４及び気泡除去口１４に対応する第３及び第４の開閉弁１６，１９を閉じる。そして、第１の開閉弁１０を開いて背室８に圧力管路９を通じて負圧を導入する。これにより、図２に示す状態へ向かってベローズ５が伸張してポンプ室２の容積が膨張し、これに伴って導入管路１２及び吸入口３を通じてポンプ室２内に薬液が吸入される。このとき、ポンプ室２内に吸入される薬液は、吸入口３に設けられたキャビテーションノズル１１により負圧状態となることから、その薬液中に溶け込んだ気体、異物等の不純物が最初の脱泡を受けて気泡化される。
【００２４】
そして、ポンプ室２内に所定量の薬液が吸入され、最初の脱泡による気泡が溜まった状態で、第２の脱泡を行う。そのために、吸入口３、吐出口４及び気泡除去口１４に対応する各開閉弁１３，１９，１６を閉じ、背室８に更に負圧を導入することにより、ポンプ室２の容積を更に膨張させてポンプ室２内を負圧にする。これにより、ポンプ室２内の薬液が負圧に晒されることになり、キャビテーションノズル１１により脱泡されたポンプ室２内の薬液が更に脱泡され、薬液中に溶け込んでいた気体等が気泡化される。
【００２５】
その後、気泡除去口１４に対応する第３の開閉弁１６を開き、圧力管路９を通じて背室８に正圧を導入する。これにより、図１に示す状態へ向かってベローズ５が収縮してポンプ室２の容積が縮小してポンプ室２が加圧され、これに伴いポンプ室２内に溜まった気泡が気泡除去口１４から導出管路１５を通じてポンプ室２外へ除去される。
【００２６】
その後、気泡除去口１４に対応する第３の開閉弁１６を閉じ、吐出口４に対応する第４の開閉弁１９を開いて、背室８に更に正圧を導入することにより、ポンプ室２の容積を更に縮小させてポンプ室２を更に加圧する。これにより、吐出口４から導出管路１８を通じてポンプ室２外へ薬液が吐出される。ここで、吐出口４には液泡分離管１７が設けられ、その液体導入孔１７ａからは薬液のみが分離管１７内に導入され、吐出口４より吐出される薬液から気泡が分離されることになる。
【００２７】
従って、吐出口４の周囲に気泡が集まっていたり、脱泡時に多量の気泡が発生していたために除去し切れない気泡がポンプ室２内に溜まっていたりしても、その気泡が吐出口４から吐出される薬液に混入することがない。このため、薬液中の気体、異物等の不純物を除去することができると共に、吐出口４から吐出される薬液から気泡を確実に除去することができるようになる。これにより、気体等の不純物を一切含まない清浄な状態の薬液のみを薬液処理プロセスの装置へ供給することができるようになる。
【００２８】
特に、この実施の形態のでは、液泡分離管１７はその下端が閉塞され、その液体導入孔１７ａが水平方向へ向かって開口されている。又、液中の気泡は、普通、その浮力に従って真上へ向かって浮上する性質がある。従って、ポンプ室２内を浮力によって浮上しようとする気泡が各液体導入孔１７ａに入り込み難くなる。この意味において、吐出口４から吐出される薬液から気泡を確実に除去することができるようになる。
【００２９】
更に、この実施の形態によれば、液泡分離管１７には、各液体導入孔１７ａの直下において外方へ拡がる傘部１７ｂが設けられている。従って、ポンプ室２内を浮力によって浮上しようとする気泡が傘部１７ｂにより遮られることになり、各液体導入孔１７ａに対して気泡が更に入り込み難くなる。この意味で、吐出口４から吐出される薬液から気泡を、傘部１７ｂがない場合に比べて、より確実に除去することができるようになる。
【００３０】
この実施の形態の液体ポンプ１では、ベローズ５を伸縮させることにより、ポンプ室２の容積を膨張及び縮小させるようにしていることから、ポンプ室２の容積変化を比較的大きくすることが可能となる。このため、薬液の吸入及び吐出と、薬液の脱泡及びその排出とを、１回の吸入・吐出工程でそれぞれ過不足なく行うことができる。
【００３１】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の液体ポンプを具体化した第２の実施の形態を図３に従って説明する。
尚、本実施の形態を含む以下の各実施の形態において、前記第１の実施の形態と同じ構成要素については、同一の符号を付して説明を省略し、以下には異なった点を中心にそれぞれ説明するものとする。
【００３２】
この実施の形態の液体ポンプ３１では、液泡分離管１７の点で第１の実施の形態の液体ポンプ１と構成が異なる。即ち、この実施の形態では、液泡分離管１７の下端部付近において、楕円形をなす複数の液体導入孔１７ａが斜め上方へ向かって開口されている。更に、この実施の形態では、傘部１７ｂの周縁に上方へ起立する周壁１７ｃが設けられている。このような液泡分離管１７の形状が一体成形されている。
【００３３】
従って、この実施の形態によれば、各液体導入孔１７ａが斜め上方へ向かって開口されていることから、第１の実施の形態の場合と比べて、更に気泡が各液体導入孔１７ａに入り込み難くなる。又、傘部１７ｂに設けられた周壁１７ｃが、各液体導入孔１７ａに対する気泡の侵入を更に規制するように機能することになる。この意味で、吐出口４から吐出される薬液から気泡をより一層確実に除去することができるようになる。
【００３４】
［第３の実施の形態］
次に、本発明の液体ポンプを具体化した第３の実施の形態を図４に従って説明する。
【００３５】
この実施の形態の液体ポンプ４１では、液泡分離管２０の点で第１の実施の形態の液体ポンプ１と構成が異なる。即ち、この実施の形態では、チューブ２１とカップ２２を一体的に接合することにより液泡分離管２０が形成されている。チューブ２１には水平方向へ開口する四角形状の液体導入孔２０ａが設けられている。カップ２２は、前述した傘部１７ｂ及び周壁１７ｃの機能を兼ね備えたものである。
【００３６】
従って、この実施の形態の液体ポンプ４１においても、第２の実施の形態の液体ポンプ３１と同等の作用及び効果を得ることができる。
【００３７】
［第４の実施の形態］
次に、本発明の液体ポンプを具体化した第４の実施の形態を図５に従って説明する。
【００３８】
この実施の形態の液体ポンプ５１では、液泡分離管２３の点で第１〜第３の実施の形態の液体ポンプ１，３１，４１と構成が異なる。即ち、この実施の形態において、液泡分離管２３は、吐出口４からＪ字状に湾曲して延び、その先端が上方へ指向している。その上方へ指向する先端に一つの液体導入孔２３ａが開口されている。この実施の形態では、両端を開放させたチューブを単にＪ字状に湾曲させることにより、液泡分離管２３が形成されている。
【００３９】
従って、この実施の形態によれば、液泡分離管２３がＪ字状に湾曲しており、その上方へ指向する先端に液体導入孔２３ａが開口されていることから、ポンプ室２内を浮力によって浮上しようとする気泡が液体導入孔２３ａに入り込み難くなる。このため、吐出口４から吐出される薬液から気泡を確実に除去することができるようになる。特に、この実施の形態では、単にチューブをＪ字状に湾曲させるだけなので、液泡分離管２３を比較的容易に得ることができる。
【００４０】
尚、この発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で以下のように実施することもできる。
【００４１】
前記実施の形態では、伸縮自在なベローズ５を使用して容積可変なポンプ室２を構成したが、ベローズ５以外にダイヤフラム等の手段を使用して容積可変なポンプ室を構成することもできる。即ち、ダイヤフラムタイプの液体ポンプに、本発明の構成を適用してもよい。
【００４２】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明の構成によれば、ポンプ室内に吸入される液体中から気体、異物等の不純物を除去することができる液体ポンプにおいて、吐出口からポンプ室内へ突出配置され、吐出口より吐出される液体から気泡を分離するために液体のみを導入する液体導入孔を有する液泡分離管を設けている。
これにより、液泡分離管の液体導入孔からは液体のみが導入され、吐出口より吐出される液体から気泡が分離される。従って、ポンプ室内に溜まったりしていた気泡が吐出口から吐出される液体に混入することがない。この結果、液体中の気体、異物等の不純物を除去することができると共に、吐出口から吐出される液体から気泡を確実に除去することができ、清浄な状態の液体のみを供給先へ供給することができるという効果を発揮する。
【００４３】
請求項２に記載の発明の構成によれば、請求項１の発明の構成において、ポンプ室を伸縮自在なベローズを隔壁として形成している。
従って、請求項１の発明の作用及び効果に加え、ベローズを伸縮させることによりポンプ室の容積を膨張及び縮小させるようにしていることから、ポンプ室の容積変化を比較的大きくすることが可能となる。この結果、液体の吸入及び吐出と、液体の脱泡及びその排出とを、１回の吸入・吐出工程でそれぞれ過不足なく行うことができるという効果を発揮する。
【００４４】
請求項３に記載の発明の構成によれば、請求項１又は請求項２の発明の構成において、吐出口から下方へ垂直に延び、下端が閉塞されると共に液体導入孔が水平方向又は斜め上方へ向かって開口される液泡分離管を設けている。
従って、ポンプ室内を浮上しようとする気泡が液体導入孔に入り込み難くなる。この意味で、液体中の気体、異物等の不純物を除去することができると共に、吐出口から吐出される液体から気泡を確実に除去することができるという効果を発揮する。
【００４５】
請求項４に記載の発明の構成によれば、請求項３の発明の構成において、液泡分離管に、液体導入孔の直下に外方へ拡がる傘部を設けている。
従って、請求項３の発明の作用及び効果に加え、ポンプ室内を浮上しようとする気泡が傘部で遮られ、液体導入孔に気泡がより入り込み難くなる。この意味で、傘部がない場合と比べ、吐出口から吐出される液体から気泡をより確実に除去することができるという効果を発揮する。
【００４６】
請求項５に記載の発明の構成によれば、請求項１又は請求項２の発明の構成において、吐出口からＪ字状に湾曲して延び、上方へ指向する先端に液体導入孔が開口される液泡分離管を設けている。
従って、ポンプ室内を浮上しようとする気泡が液体導入孔に入り込み難くなる。この意味で、液体中の気体、異物等の不純物を除去することができると共に、吐出口から吐出される液体から気泡を確実に除去することができるという効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係り、液体ポンプの構造を示す断面図である。
【図２】同じく、液体ポンプの構造を示す断面図である。
【図３】第２の実施の形態に係り、液体ポンプの構造を示す断面図である。
【図４】第３の実施の形態に係り、液体ポンプの構造を示す断面図である。
【図５】第４の実施の形態に係り、液体ポンプの構造を示す断面図である。
【符号の説明】
１ 液体ポンプ
２ ポンプ室
３ 吸入口
４ 吐出口
５ ベローズ
１１ キャビテーションノズル
１４ 気泡除去口
１７ 液泡分離管
１７ａ 液体導入孔
１７ｂ 傘部
２０ 液泡分離管
２０ａ 液体導入孔
２３ 液泡分離管
２３ａ 液体導入孔
３１ 液体ポンプ
４１ 液体ポンプ
５１ 液体ポンプ
Claims (5)
- 容積可変に形成されたポンプ室の容積を膨張させることにより吸入口からポンプ室内に液体を吸入し、前記ポンプ室の容積を縮小させることにより吐出口からポンプ室外へ液体を吐出させるようにした構造と、
前記吸入口に設けられ、その吸入口から前記ポンプ室内へ前記液体が吸入されるときにその液体中に溶け込んだ気体を脱泡させるための脱泡オリフィスと、
前記吐出口とは別に設けられ、その吐出口から前記ポンプ室外へ前記液体を吐出させる前に、前記脱泡された気泡を前記ポンプ室外へ除去するための気泡除去口と
を備えた液体ポンプにおいて、
前記吸入口、前記吐出口、及び前記気泡除去口が同じ面に形成されており、
前記吸入口と前記吐出口との中間位置に前記ポンプ室内へ前記同じ面から突出配置され、前記吐出口より吐出される液体から前記気泡を分離するために前記液体のみを導入する液体導入孔を先端部に有する液泡分離管を備えたことを特徴とする液体ポンプ。 - 請求項１に記載の液体ポンプにおいて、
前記ポンプ室は伸縮自在なベローズを隔壁として形成されたものであることを特徴とする液体ポンプ。 - 請求項１又は請求項２に記載の液体ポンプにおいて、
前記液泡分離管は、前記吐出口から下方へ垂直に延び、下端が閉塞されると共に前記液体導入孔が水平方向又は斜め上方へ向かって開口されることを特徴とする液体ポンプ。 - 請求項３に記載の液体ポンプにおいて、
前記液泡分離管は、前記液体導入孔の直下に外方へ拡がる傘部を有することを特徴とする液体ポンプ。 - 容積可変に形成されたポンプ室の容積を膨張させることにより吸入口からポンプ室内に液体を吸入し、前記ポンプ室の容積を縮小させることにより吐出口からポンプ室外へ液体を吐出させるようにした構造と、
前記吸入口に設けられ、その吸入口から前記ポンプ室内へ前記液体が吸入されるときにその液体中に溶け込んだ気体を脱泡させるための脱泡オリフィスと、
前記吐出口とは別に設けられ、その吐出口から前記ポンプ室外へ前記液体を吐出させる前に、前記脱泡された気泡を前記ポンプ室外へ除去するための気泡除去口と
を備えた液体ポンプにおいて、
前記吸入口、前記吐出口、及び前記気泡除去口が同じ面上に形成されており、
前記吸入口と前記吐出口との中間位置に前記ポンプ室内へ前記同じ面から突出配置される液泡分離管を備え、
前記液泡分離管が、前記吐出口からＪ字状に湾曲して延び、前記気泡除去口に向かって上方へ指向する先端に開口され、前記吐出口より吐出される液体から前記気泡を分離するために前記液体のみを導入する液体導入孔を有することを特徴とする液体ポンプ。
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