JPH05103921A - 薬液ろ過装置 - Google Patents
薬液ろ過装置Info
- Publication number
- JPH05103921A JPH05103921A JP29218991A JP29218991A JPH05103921A JP H05103921 A JPH05103921 A JP H05103921A JP 29218991 A JP29218991 A JP 29218991A JP 29218991 A JP29218991 A JP 29218991A JP H05103921 A JPH05103921 A JP H05103921A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 センサや自動開閉弁等の自動制御機構を用い
ることなく、容易にかつ確実にエアー抜きを行うことが
できるようにする。 【構成】 ろ過タンク本体３の上部に設けられているエ
アー抜き口６に、気泡１０は透過させるものの薬液２は
遮断する気体選択透過膜８を配設し、上記ろ過タンク本
体３内の上部に滞留する気泡１０のみを上記気体選択透
過膜８を通してろ過タンク本体３の外部に排出するよう
にする。
ることなく、容易にかつ確実にエアー抜きを行うことが
できるようにする。 【構成】 ろ過タンク本体３の上部に設けられているエ
アー抜き口６に、気泡１０は透過させるものの薬液２は
遮断する気体選択透過膜８を配設し、上記ろ過タンク本
体３内の上部に滞留する気泡１０のみを上記気体選択透
過膜８を通してろ過タンク本体３の外部に排出するよう
にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は薬液ろ過装置に係わり、
特に、半導体ウエハを処理するために使用する薬液をろ
過するものに用いて好適なものである。
特に、半導体ウエハを処理するために使用する薬液をろ
過するものに用いて好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハを処理するために使用する
薬液等をろ過するためのろ過装置が従来より種々提案さ
れている。例えば、特開昭６４−７５０１２号公報には
「半導体ウエハ処理薬液循環ろ過装置」が提案され、特
開平１−２６２９０８号公報には「薬液フィルター」が
提案されている。
薬液等をろ過するためのろ過装置が従来より種々提案さ
れている。例えば、特開昭６４−７５０１２号公報には
「半導体ウエハ処理薬液循環ろ過装置」が提案され、特
開平１−２６２９０８号公報には「薬液フィルター」が
提案されている。
【０００３】図２は、従来のろ過装置の一般的な構成の
一例を示す構成図である。図２において、薬液２は加圧
気体により押圧され、薬液流入部７を通してろ過タンク
本体３の内部に流入する。ろ過タンク本体３内に供給さ
れた薬液２は、フィルター膜４によってろ過され、薬液
流出部１３を通して外部に排出され、ユースポイントに
供給される。
一例を示す構成図である。図２において、薬液２は加圧
気体により押圧され、薬液流入部７を通してろ過タンク
本体３の内部に流入する。ろ過タンク本体３内に供給さ
れた薬液２は、フィルター膜４によってろ過され、薬液
流出部１３を通して外部に排出され、ユースポイントに
供給される。
【０００４】フィルター膜４によってろ過されるとき
に、薬液２中に混入している気体は気泡となって分離さ
れ、ろ過タンク本体３の上部に滞留する。そこで、上記
気体の滞留量を液面センサ５により検出し、滞留量が所
定の量に達したときに液面コントローラ１９を動作させ
る。この場合、上記液面コントローラ１９は、信号線２
１を介してエアー抜きバルブ２０に駆動信号を送り、上
記エアー抜きバルブ２０を開動作させる。これにより、
エアー抜き口６が開状態となるので、ろ過タンク本体３
内に滞留していた気体が上記エアー抜き口６を通して外
部に排出される。
に、薬液２中に混入している気体は気泡となって分離さ
れ、ろ過タンク本体３の上部に滞留する。そこで、上記
気体の滞留量を液面センサ５により検出し、滞留量が所
定の量に達したときに液面コントローラ１９を動作させ
る。この場合、上記液面コントローラ１９は、信号線２
１を介してエアー抜きバルブ２０に駆動信号を送り、上
記エアー抜きバルブ２０を開動作させる。これにより、
エアー抜き口６が開状態となるので、ろ過タンク本体３
内に滞留していた気体が上記エアー抜き口６を通して外
部に排出される。
【０００５】このようにして外部に排出されることによ
り、ろ過タンク本体３内に滞留している気体が所定の量
まで減り、それが液面センサ５によって検出されると、
上記液面コントローラ１９がエアー抜きバルブ２０を閉
じるように動作させる。
り、ろ過タンク本体３内に滞留している気体が所定の量
まで減り、それが液面センサ５によって検出されると、
上記液面コントローラ１９がエアー抜きバルブ２０を閉
じるように動作させる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の従来装置では、液面センサ５によって薬液２のレベ
ル検出を行い、上記液面センサ５から導出される信号に
基づく自動制御により、或いはマニアル制御により上記
エアー抜きバルブを開閉するようにしているので、上記
液面センサ５が故障するとエアー抜きができなくなって
しまう問題があった。また、マニアル動作を忘れたりす
ることによってもエアー抜きができなくなり、このよう
な場合にはユースポイントに供給する薬液２中にエアー
が混入してしまうことが多く発生していた。本発明は上
述の問題点に鑑み、センサや自動開閉弁等の自動制御機
構を用いることなく、容易にかつ確実にエアー抜きを行
うことができるようにすることを目的とする。
成の従来装置では、液面センサ５によって薬液２のレベ
ル検出を行い、上記液面センサ５から導出される信号に
基づく自動制御により、或いはマニアル制御により上記
エアー抜きバルブを開閉するようにしているので、上記
液面センサ５が故障するとエアー抜きができなくなって
しまう問題があった。また、マニアル動作を忘れたりす
ることによってもエアー抜きができなくなり、このよう
な場合にはユースポイントに供給する薬液２中にエアー
が混入してしまうことが多く発生していた。本発明は上
述の問題点に鑑み、センサや自動開閉弁等の自動制御機
構を用いることなく、容易にかつ確実にエアー抜きを行
うことができるようにすることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の薬液ろ過装置
は、処理すべき薬液を収納するためのろ過タンク本体
と、上記ろ過タンク本体の内部に薬液を供給するために
上記ろ過タンク本体の壁面に設けられた薬液流入部と、
上記ろ過タンク本体の内部において処理された薬液をユ
ースポイントに供給するために上記ろ過タンク本体の壁
面に設けられた薬液流出部と、上記ろ過タンク本体の内
部に供給された薬液をろ過するために上記タンク内の上
記薬液流入部と上記薬液流出部との間に介設されたフィ
ルター膜と、上記薬液中から分離した気泡により上記タ
ンクの内部に滞留した空気を外部に逃がすために上記ろ
過タンク本体の上部に設けられたエアー抜き口と、上記
エアー抜き口に配設されていて、気体は透過するものの
液体は遮断する気体選択透過膜とを具備している。
は、処理すべき薬液を収納するためのろ過タンク本体
と、上記ろ過タンク本体の内部に薬液を供給するために
上記ろ過タンク本体の壁面に設けられた薬液流入部と、
上記ろ過タンク本体の内部において処理された薬液をユ
ースポイントに供給するために上記ろ過タンク本体の壁
面に設けられた薬液流出部と、上記ろ過タンク本体の内
部に供給された薬液をろ過するために上記タンク内の上
記薬液流入部と上記薬液流出部との間に介設されたフィ
ルター膜と、上記薬液中から分離した気泡により上記タ
ンクの内部に滞留した空気を外部に逃がすために上記ろ
過タンク本体の上部に設けられたエアー抜き口と、上記
エアー抜き口に配設されていて、気体は透過するものの
液体は遮断する気体選択透過膜とを具備している。
【０００８】
【作用】ろ過タンク本体の上部に設けられているエアー
抜き口に、気体は透過させるものの液体は遮断する気体
選択透過膜を設けることにより、タンク内部の上部に滞
留している気体のみを上記気体選択透過膜を通して外部
に自然に排出することができるようになり、気体の滞留
状態を検出するためのセンサやエアー抜き用の開閉弁等
が不要となる。
抜き口に、気体は透過させるものの液体は遮断する気体
選択透過膜を設けることにより、タンク内部の上部に滞
留している気体のみを上記気体選択透過膜を通して外部
に自然に排出することができるようになり、気体の滞留
状態を検出するためのセンサやエアー抜き用の開閉弁等
が不要となる。
【０００９】
【実施例】図１は、本発明の一実施例を示す薬液ろ過装
置の構成図である。図１から明らかなように、本実施例
の薬液ろ過装置は薬液タンク１から供給される薬液２を
ろ過するために用いられる。薬液２は、ろ過タンク本体
３の一部に設けられている薬液流入部７を通して送られ
てくるものであり、例えば気体加圧部９から薬液タンク
１内に加圧気体１５を送って上記薬液タンク１内の圧力
を高めることにより、薬液タンク１内に収納されている
薬液２をろ過タンク本体３内に供給するようにしてい
る。
置の構成図である。図１から明らかなように、本実施例
の薬液ろ過装置は薬液タンク１から供給される薬液２を
ろ過するために用いられる。薬液２は、ろ過タンク本体
３の一部に設けられている薬液流入部７を通して送られ
てくるものであり、例えば気体加圧部９から薬液タンク
１内に加圧気体１５を送って上記薬液タンク１内の圧力
を高めることにより、薬液タンク１内に収納されている
薬液２をろ過タンク本体３内に供給するようにしてい
る。
【００１０】ろ過タンク本体３の一部には上記した薬液
流入部７の他に、薬液流出部１３が設けられていて、こ
の薬液流出部１３と薬液流入部７との間の流通路にフィ
ルター膜４が介設されている。したがって、薬液流入部
７からろ過タンク本体３内に供給された薬液２は、フィ
ルター膜４によってろ過された後に薬液流出部１３を通
してユースポイントに供給される。
流入部７の他に、薬液流出部１３が設けられていて、こ
の薬液流出部１３と薬液流入部７との間の流通路にフィ
ルター膜４が介設されている。したがって、薬液流入部
７からろ過タンク本体３内に供給された薬液２は、フィ
ルター膜４によってろ過された後に薬液流出部１３を通
してユースポイントに供給される。
【００１１】そして、フィルター膜４によってろ過され
るときに、薬液２中に混入している気体が気泡１０とな
って分離し、ろ過タンク本体３の上部に滞留する。ろ過
タンク本体３の上部にはエアー抜き口６が設けられてい
て、ここに排気管１６が接続されている。したがって、
ろ過タンク本体３内の上部に滞留した気体はエアー抜き
口６を通り、上記排気管１６を通して外部に排出され
る。
るときに、薬液２中に混入している気体が気泡１０とな
って分離し、ろ過タンク本体３の上部に滞留する。ろ過
タンク本体３の上部にはエアー抜き口６が設けられてい
て、ここに排気管１６が接続されている。したがって、
ろ過タンク本体３内の上部に滞留した気体はエアー抜き
口６を通り、上記排気管１６を通して外部に排出され
る。
【００１２】本実施例においては、排気管１６の途中に
気体選択部１７を設け、ここに気体選択透過膜８を配設
している。この気体選択透過膜８は、微多孔膜により形
成されていて、高い透湿性および高い通気性を有するが
液体は通さないという性質を有している。このような性
質を有するフィルムは従来より知られており、表１にそ
の一例として、或るフィルムＮｏ．１とＮｏ．２の一般
物性を示す。
気体選択部１７を設け、ここに気体選択透過膜８を配設
している。この気体選択透過膜８は、微多孔膜により形
成されていて、高い透湿性および高い通気性を有するが
液体は通さないという性質を有している。このような性
質を有するフィルムは従来より知られており、表１にそ
の一例として、或るフィルムＮｏ．１とＮｏ．２の一般
物性を示す。
【表１】
【００１３】本実施例の薬液ろ過装置は、表１に示すよ
うな気体選択透過膜８を配設したので、気体選択部１７
においてはろ過タンク本体３の上部に滞留した空気のみ
を排出することができ、薬液２が排気管１６を通して外
部に排出される不都合は生じない。また、気体選択透過
膜８は、一定圧力のもとで気体を通過させるものである
から、ろ過タンク本体３内における圧力が減少する不都
合も生じない。
うな気体選択透過膜８を配設したので、気体選択部１７
においてはろ過タンク本体３の上部に滞留した空気のみ
を排出することができ、薬液２が排気管１６を通して外
部に排出される不都合は生じない。また、気体選択透過
膜８は、一定圧力のもとで気体を通過させるものである
から、ろ過タンク本体３内における圧力が減少する不都
合も生じない。
【００１４】上記したように、本実施例の薬液ろ過装置
は液面センサや自動開閉弁等のような自動制御機器を設
けることなく、ろ過タンク本体３の上部に滞留する気体
を常に外部に放出するので、簡単な構成にも拘わらず過
多な気体がろ過タンク本体３の上部に滞留する不都合を
確実に無くすことができる。したがって、薬液２中に気
泡が混入してしまう不都合を無くすことができる。な
お、本実施例においては滞留量の調節を行うために流量
コントローラ１１を設け、エアーの滞留量を常に最適に
調節することができるようにしたが、このような流量コ
ントローラ１１は必ずしも設けなくてもよい。
は液面センサや自動開閉弁等のような自動制御機器を設
けることなく、ろ過タンク本体３の上部に滞留する気体
を常に外部に放出するので、簡単な構成にも拘わらず過
多な気体がろ過タンク本体３の上部に滞留する不都合を
確実に無くすことができる。したがって、薬液２中に気
泡が混入してしまう不都合を無くすことができる。な
お、本実施例においては滞留量の調節を行うために流量
コントローラ１１を設け、エアーの滞留量を常に最適に
調節することができるようにしたが、このような流量コ
ントローラ１１は必ずしも設けなくてもよい。
【００１５】
【発明の効果】本発明は上述したように、ろ過タンク本
体の上部に設けられているエアー抜き口に、気体は透過
させるものの液体は遮断する気体選択透過膜を配設した
ので、タンク内部の上部に滞留した気体のみを上記気体
選択透過膜を通して外部に排出することができる。した
がって、気体がろ過タンク本体の上部に滞留している状
態を検出するためのセンサや、エアー抜き用の開閉弁等
を不要にできるとともに、装置の誤動作により気泡が薬
液に混入する不都合を確実に防止することができる。こ
れにより、気泡が薬液に混入することによって上記薬液
を用いて製造する製品に不良品が発生する危険性や、エ
アー混入状況を確認する点検頻度等を大幅に削減するこ
とができる。
体の上部に設けられているエアー抜き口に、気体は透過
させるものの液体は遮断する気体選択透過膜を配設した
ので、タンク内部の上部に滞留した気体のみを上記気体
選択透過膜を通して外部に排出することができる。した
がって、気体がろ過タンク本体の上部に滞留している状
態を検出するためのセンサや、エアー抜き用の開閉弁等
を不要にできるとともに、装置の誤動作により気泡が薬
液に混入する不都合を確実に防止することができる。こ
れにより、気泡が薬液に混入することによって上記薬液
を用いて製造する製品に不良品が発生する危険性や、エ
アー混入状況を確認する点検頻度等を大幅に削減するこ
とができる。
【図１】本発明の一実施例を示す薬液ろ過装置の構成図
である。
である。
【図２】従来装置の一例を示す薬液ろ過装置の構成図で
ある。
ある。
１ 薬液タンク ２ 薬液 ３ ろ過タンク本体 ４ フィルター膜 ６ エアー抜き口 ７ 薬液流入部 ８ 気体選択透過膜 ９ 気体加圧部 １０ 気泡 １１ 流量コントロー
ラ １３ 薬液流出部
ラ １３ 薬液流出部
Claims (1)
- 【請求項１】 処理すべき薬液を収納するためのろ過タ
ンク本体と、 上記ろ過タンク本体の内部に薬液を供給するために上記
ろ過タンク本体の壁面に設けられた薬液流入部と、 上記ろ過タンク本体の内部において処理された薬液をユ
ースポイントに供給するために上記ろ過タンク本体の壁
面に設けられた薬液流出部と、 上記ろ過タンク本体の内部に供給された薬液をろ過する
ために上記タンク内の上記薬液流入部と上記薬液流出部
との間に介設されたフィルター膜と、 上記薬液中から分離した気泡により上記タンクの内部に
滞留した空気を外部に逃がすために上記ろ過タンク本体
の上部に設けられたエアー抜き口と、 上記エアー抜き口に配設されていて、気体は透過するも
のの液体は遮断する気体選択透過膜とを具備することを
特徴とする薬液ろ過装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29218991A JPH05103921A (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | 薬液ろ過装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29218991A JPH05103921A (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | 薬液ろ過装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05103921A true JPH05103921A (ja) | 1993-04-27 |
Family
ID=17778706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29218991A Pending JPH05103921A (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | 薬液ろ過装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05103921A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19632468C2 (de) * | 1995-09-11 | 2002-08-14 | Wakai Sangyo Kk | Schraubenanordnung |
| WO2003059486A1 (fr) * | 2001-12-27 | 2003-07-24 | Koganei Corporation | Appareil de distribution de medicament liquide, et procede pour evacuer l'air de l'appareil de distribution de medicament liquide |
| JP2009539606A (ja) * | 2006-06-13 | 2009-11-19 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド | 気体除去を含む液体分配システム |
| US7708880B2 (en) | 2001-12-28 | 2010-05-04 | Koganel Corporation | Chemical liquid supply apparatus and a chemical liquid supply method |
| US9211993B2 (en) | 2011-03-01 | 2015-12-15 | Advanced Technology Materials, Inc. | Nested blow molded liner and overpack and methods of making same |
| US9522773B2 (en) | 2009-07-09 | 2016-12-20 | Entegris, Inc. | Substantially rigid collapsible liner and flexible gusseted or non-gusseted liners and methods of manufacturing the same and methods for limiting choke-off in liners |
| US9637300B2 (en) | 2010-11-23 | 2017-05-02 | Entegris, Inc. | Liner-based dispenser |
| CN110361436A (zh) * | 2019-07-12 | 2019-10-22 | 华中科技大学 | 一种梯度叠层阵列、制备方法及气体多组分浓度检测方法 |
| US10676341B2 (en) | 2010-01-06 | 2020-06-09 | Entegris, Inc. | Liquid dispensing systems with gas removal and sensing capabilities |
-
1991
- 1991-10-11 JP JP29218991A patent/JPH05103921A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19632468C2 (de) * | 1995-09-11 | 2002-08-14 | Wakai Sangyo Kk | Schraubenanordnung |
| WO2003059486A1 (fr) * | 2001-12-27 | 2003-07-24 | Koganei Corporation | Appareil de distribution de medicament liquide, et procede pour evacuer l'air de l'appareil de distribution de medicament liquide |
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| US9120616B2 (en) | 2006-06-13 | 2015-09-01 | Advanced Technology Materials, Inc. | Liquid dispensing systems encompassing gas removal |
| US8336734B2 (en) | 2006-06-13 | 2012-12-25 | Advanced Technology Materials, Inc. | Liquid dispensing systems encompassing gas removal |
| JP2009539606A (ja) * | 2006-06-13 | 2009-11-19 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド | 気体除去を含む液体分配システム |
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| CN110361436A (zh) * | 2019-07-12 | 2019-10-22 | 华中科技大学 | 一种梯度叠层阵列、制备方法及气体多组分浓度检测方法 |
| CN110361436B (zh) * | 2019-07-12 | 2020-08-18 | 华中科技大学 | 一种梯度叠层阵列、制备方法及气体多组分浓度检测方法 |
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