JPS63274488A - 超純水の比抵抗制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は超純水の比抵抗制御装置に関し、特に、炭酸
ガスを超純水にｍ細気泡化して溶解させ、迅速かつ容易
に超純水の比抵抗値を大幅に下げることができるような
超純水の比抵抗制御装置に関する。

［従来の技術］ 従来のこの種の超純水の比抵抗制御Ｏ装置は、限外濾過
膜や逆浸透膜などの透過膜を使用して、超純水と炭酸ガ
スとを接触させ、これによって超純水中に炭酸ガスを溶
解させるように構成された気液、８解手段が一般に用い
られている。

［発明が解決しようと−ｆる問題点］ しかしながら、このような透過膜を用いた気液溶解手段
では、通常は超純水中に溶（プ込ませることのできる炭
酸ガスの分量が少ないことから、迅速かつ容易に、比抵
抗値を大幅に下げた超純水を得ることが困難であった。

すなわち、従来の超純水の比抵抗制御装置において、超
純水の比抵抗値を飛躍的に下げたい場合には、炭酸ガス
の溶解率を大きくするために、たとえば超純水の流速を
緩めて透過膜との接触時間を長くしたり、あるいは炭酸
ガスの圧力を上げてガスの透過率を高くしたり、または
１度処理した超純水を還流して気液溶解工程を繰返させ
るなどの、種々の複雑な処理操作を必要としたちのであ
った。したがって、従来の超純水の１し抵１へ制御装置
で超純水の比抵抗値を大幅に下げることを欲する場合に
は、簡便かつ速やかにはなし得す、特に超純水が大苗の
ときには長時間を要するという欠点があった。

それゆえに、この発明の主たる目的は、たとえば大口の
超純水の場合であっても、その比抵抗値を大幅に下げる
ことが迅速かつ容易にできるように構成された超純水の
比抵抗制御ＩＩ猜買を提供することである。

［問題点を解決するための手段］ この発明は超純水に炭酸ガスを溶解させる気液溶解手段
を備えたＦＢ純水の比抵抗制御装置であって、気液溶解
手段として、超純水を収容するタンクと、このタンク内
に配置されて炭酸ガスの微細気泡８発生Ｊ−る気泡発生
器とによって構成し、気泡発生器に供給されるＰＭ酸ガ
スのガス流通路に逆止弁を設け、タンク内からの超純水
の逆流を防止するように構成したものである。

Ｌ作用］ この発明にかかる超純水の比抵抗Ｌｌｌ　ｉＪ　＋ＡＡ
ｃ１Ｌ、気泡発生器によって炭酸ガスの微ｉな気泡を発
生させ、超純水に溶解させるようにしたので、炭酸ガス
の溶解率が従来の透過膜を使用するｉ合に比べて飛躍的
に向上でき、大助の超純水でも比較的短時間に比抵抗値
を大幅に下げることができる。

［発明の実施例］ 第１圀はこの発明の一実施例を示す配管系統を示す図で
あり、第２図は第１図に示した気液ＦＪ解手段の一例を
示す一部破西側面図である。

まず、第１１２！ｌおよび第２図を参照して、この発明
の一実施例の構成について説明する。気液溶解手段１は
炭酸ガスをｒｄ純水に溶解させろものであって、第２図
に示すように、超純水を収容するタンク２と、このタン
ク２内に設けられ、このタンク２内に炭酸ガスの微細な
気泡を発生する気泡発生器３とによって構成されている
。タンク２の上面には、超純水をタンク２内へ導入させ
る導入管２ａと、炭酸ガスの溶解された後の超純水を流
出させる流出管２ｂとがそれぞれ接続されている。

気泡発生器３は、この実施例においては、通気孔径が数
μｍ〜数１０μｍの多孔性セラミックスで内部にガス導
入孔３ａを有する円柱状に形成され、このように形成さ
れた気泡発生器３がタンク２内の中空に水平状態となる
ように配置される。

ガス流通路４は気泡発生器３←−炭酸ガスを流通させる
ものであって、このガス流通路４と気泡発生器３に形成
された上述のガス導入孔３ａとは連通状態に接続されて
いる。また、−このガス流通路４には、タンク２内から
の超純水の逆流を防止するための逆止弁５が設けられて
いる。上述のガス流通路４の一方の端部には炭酸ガスの
供給源としてガスボンベ６が設けられている。このガス
ボンベ６と上述の逆止弁５との間のガス流通路４には、
第１図に示すように、複数の減圧弁７．ガス流通路用開
閉弁８．ガスの流量制御用調節弁９．ニー、　ドルパル
プ１ｏ、ｍｓフィルタ１１およびバイパス管１２が適宜
設けられている。

タンク２に接続された流出管２ｂの所定の箇所には測定
器１３か設けられていて、この測定器１３は超純水の比
抵抗値を測定する。この測定器］３で測定された測定値
は制御部１４に与えられる。

この制御部１４は、測定値と予め設定された期待する比
抵抗値とを比較演算し、たとえば、測定値が設定値の範
囲内でなければカスの流量制御用調節弁９を開閉動作さ
せる動作１言号を出力し、この動作信号によって上述の
流出制御用調節弁９が制御されるように構成されている
。

次に、この発明の一実施例の４体的な動作についχ説明
する。まず、この発明の一実施例では、タンク２内へた
とえば１８ＭΩの比抵抗値を有する超純水が供給され、
次いでガスボンベ６からガス流通路４を介して上述の気
泡発生器３に炭酸ガスが供給される。この場合、気泡発
生器３は上述のごとく孔径が数μＩ〜数１０μ謡の多孔
性セラミックスＳ形成されているので、供給された炭酸
ガスは、この気泡発生器３により微細な気泡状に変えら
れ、超純水中に発散されて溶解される。炭酸ガスの溶解
された超純水は、流出管２ｂを介して洗浄液槽１５に供
給される。

なお、超純水がタンク２内へ供給されると、一時的に気
泡発生器３の通気孔を介して超純水の一部がガス流通路
４内を逆流するが、この逆流水は逆止弁５によって阻止
される。

第３図は気泡発生器の他の例を示す一部破断側面図であ
る。

この第３図に示した気泡発生器３は、タンク２の底部に
板状に形成した気泡発生器３を収納し、タンク２の下部
中央にガス流通路４を連通させたものである。この実浦
例においても、前述の第１図および第２因の実施例と同
様の動作をなす。

なお、上述の実施例において、気泡発生器３の形成材料
は、多孔性材料であればよく、セラミックスに限られる
ことなく、その他たとえばテフロンなどを用いるように
してもよい。

また、気泡発生器３の通気孔の径は、上述のごとく数μ
ｍ−数１０μｍに限定されるものではなく、超純水の処
理温度などの諸条件によって適宜選定すればよい。

［発明の効果〕 以上のように、この発明によれば、クンク内にｒＩ２酸
ガスの微細な気泡を発生させる気泡発生器を設け、この
気泡発生器によって炭酸ガスを気泡化させた状態で超純
水に溶解させるように構成したので、超純水に溶解され
る炭酸ガスの溶解率を従来の透過膜を使用する場合に比
べて飛躍的に向上する。したがって、たとえば超純水が
大量の場合であっても、その比抵抗値を迅速かつ容易に
大幅に小げることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す配色系統を示す図で
ある。第２図は気液溶解手段を示す一部破断側面図であ
る。第３図は気泡発生器の他の例を示す一部破断側面図
である。 図において、１は気液溶解手段、２はタンク、３は気泡
発生器、４はガス流通路、５は逆止弁、６はガスボンベ
、７は減圧弁、８はガス流通路用開閉弁、９は流員制御
用調節弁、１０はニードルバルブ、１１は精密フィルタ
、１３は測定器、１４は制御部、１５は洗浄液槽を示す
。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 超純水に炭酸ガスを溶解させる気液溶解手段を備えた超
   純水の比抵抗制御装置において、 前記気液溶解手段は、前記超純水を収容するタンクと、
   該タンク内に配置されかつ該タンク内に炭酸ガスの微細
   気泡を発生する気泡発生器とによって構成され、さらに 前記気泡発生器に供給される炭酸ガスのガス流通路に設
   けられ、前記タンク内からの超純水の逆流を防止するた
   めの逆止弁を備えたことを特徴とする、超純水の比抵抗
   制御装置。