KR101547276B1 - 약액 이송시스템 및 이를 이용한 약액 이송방법 - Google Patents

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Abstract

약액이 수용된 제1 및 제2드럼으로부터 순차적으로 약액을 펌핑하여 상기 제1 및 제2드럼보다 높은 위치에 약액 수요처로 공급하기 위한 약액 이송시스템에 있어서, 약액 유입구 및 약액 배출구가 설치되는 약액 탱크, 제1 및 제2드럼에서 펌핑된 약액을 약액탱크의 약액 유입구로 공급하는 메인 공급라인, 제1드럼 및 제2드럼의 약액을 메인 공급라인으로 각각 공급하도록 연결되는 제1 및 제2드럼 공급라인, 제1 및 제2드럼 공급라인이 메인 공급라인에 연결되는 부분에 설치되는 메인 삼방밸브, 약액 탱크의 약액 배출구와 약액 수요처로 공급하기 위한 약액 배출라인, 메인 공급라인에 설치되는 펌프, 메인 공급라인의 펌프의 하류에 설치되는 필터, 필터에서 상기 메인 공급라인과 분기되어 연결되는 필터측 벤트라인, 필터측 벤트라인과 연결되도록 약액 탱크에 연결되는 탱크측 드레인라인, 필터측 벤트라인과 탱크측 드레인라인의 연결부분에 설치되는 드레인측 삼방밸브, 약액 탱크의 상부에 연결되는 탱크측 벤트부 및, 약액 수요처에서의 약액 수요신호에 따라 메인 삼방밸브, 펌프, 드레인측 삼방밸브 및 탱크측 벤트부를 제어하여, 제1 및 제2드럼의 약액을 순차적으로 약액 탱크를 경유하여 약액 수요처로 이송시키는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 이송시스템이 게시된다.

Description

약액 이송시스템 및 이를 이용한 약액 이송방법{Apparatus For Supplying Photo Resist And Method thereof}
본 발명은 약액 이송시스템 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체, LCD 코팅장비에 사용되는 포토레지스트 등의 약액을 PE(플라스틱) 드럼에서 도포장치로 이송해주는 약액 이송시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 웨이퍼 상에 패턴을 형성하기 위한 방법으로 포토리소그래피(photolithography) 공정이 이용되고 있다. 이 방법은 식각 대상물 상에 포토레지스트(photoresist, PR)를 도포한 후, 레티클(reticle) 또는 마스크(mask)를 사용하여 포토레지스트의 소정 부분을 노광한다. 그리고 노광 후 상기 식각 대상물 상에 남아 있는 포토레지스트를 현상 용액으로 제거하여 패턴 형성용 마스크를 형성한 후, 마스크로 식각 대상물을 식각하여 소정의 패턴을 형성하는 방법이다.
상기한 포토레지스트를 도포하기 위한 코팅(coating) 장비는, 반도체 웨이퍼의 표면에 포토레지스트를 도포하는 코팅 유닛(coating unit)을 포함하고 있는데, 이에 대해 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
코팅 유닛은 대개, 반도체 웨이퍼의 표면에 코팅하고자 하는 포토레지스트가 담긴 용기(드럼), 상기 용기 내의 포토레지스트를 이송하여 저장하는 버퍼 탱크(buffer tank), 용기 및 버퍼 탱크 내의 포토레지스트를 펌핑하는 펌프, 상기 펌프의 동작으로 이송되는 포토레지스트 내에 함유된 불순물을 여과하는 필터 하우징, 회전하는 반도체 웨이퍼의 표면에 여과된 포토레지스트를 분사시키는 노즐, 포토레지스트의 흐름을 조절하기 위한 수 개의 밸브 및 공정을 진행할 반도체 웨이퍼를 진공으로 흡착함과 동시에 고속으로 회전시키는 회전 척을 포함하고 있다. 여기서 상기와 같은 각 구성 부분 간의 상호 연결은 관로에 의해 이루어진다.
한편, 상기와 같은 펌프의 펌핑력에 의해 상기 포토레지스트가 필터 하우징으로 유입되는 과정에서 상기 펌프의 동작에 따른 압력 변화로 인해 상기 포토레지스트 내에는 에어가 많이 생성된다. 또한, 상기와 같이 포토레지스트 내에 에어가 함유되는 현상은 펌프의 구동에 따른 발생뿐만 아니라 용기의 교체시나 각 관로의 연결부 기밀 저하 등 여러 가지의 요인으로 인해 포토레지스트가 유동하는 과정에서 공기와 접촉하게 되므로 결국, 상기 포토레지스트 내에는 에어가 생성됨과 함께
상기와 같이 생성된 에어는 포토레지스트 내에 함유된 상태로 상기 포토레지스트와 함께 유동하게 된다.
이에 따라 에어를 제거한 상태에서 포토레지스트를 코팅하여야만 반도체 웨이퍼에서 생산되는 반도체 메모리 장치의 수율(yield)을 향상시킬 수 있으므로 에어를 제거하기 위해 또 다른 장치를 필요로 하게 되는데, 이같은 장치로서는 일반적으로 포토레지스트 내의 에어를 제거하기 위해 구성된 필터하우징이 많이 이용된다. 그리고 상기 필터하우징에 의한 에어 제거에 앞서 그 전단 즉 버퍼 탱크에서 드레인하는 방법에 의하여 에어를 제거하는 방법도 함께 이용된다.
한편, 상기와 같이 용기(드럼) 및 버터 탱크로 포토레지스트를 필요처(분사노즐)쪽으로 이송시키는 위해서는 펌프가 요구되는데, 종래에는 버터 탱크의 하류와 상류 각각에 복수의 펌프를 설치하여야만 하였다. 즉, 용기의 교체과정에서 포토레지스트에 에어(버블)가 유입됨에 따라서, 하나의 펌프만을 이용할 경우에는 유입된 에어에 의해 펌프에 충분한 압력이 작용하지 못하는 문제점이 있었다. 따라서, 설비비용이 증가하더라도 복수의 펌프를 설치하여야만 하는 문제점이 있었다.
대한민국 공개특허 제10-2002-0083375호
본 발명은 상기와 같은 점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 부품 수를 줄이고 설비를 소형화 및 간소화하여 설비비용을 줄이고 설치공간을 줄일 수 있는 약액 이송시스템 및 그 제어방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 약액 이송시스템은, 약액이 수용된 제1 및 제2드럼으로부터 순차적으로 약액을 펌핑하여 상기 제1 및 제2드럼보다 높은 위치에 약액 수요처로 공급하기 위한 약액 이송시스템에 있어서, 약액 유입구 및 약액 배출구가 설치되는 약액 탱크; 상기 제1 및 제2드럼에서 펌핑된 약액을 상기 약액탱크의 약액 유입구로 공급하는 메인 공급라인; 상기 제1드럼 및 제2드럼의 약액을 상기 메인 공급라인으로 각각 공급하도록 연결되는 제1 및 제2드럼 공급라인; 상기 제1 및 제2드럼 공급라인이 상기 메인 공급라인에 연결되는 부분에 설치되는 메인 삼방밸브; 상기 약액 탱크의 약액 배출구와 상기 약액 수요처로 공급하기 위한 약액 배출라인; 상기 메인 공급라인에 설치되는 펌프; 상기 메인 공급라인의 상기 펌프의 하류에 설치되는 필터; 상기 필터에서 상기 메인 공급라인과 분기되어 연결되는 필터측 벤트라인; 상기 필터측 벤트라인과 연결되도록 상기 약액 탱크에 연결되는 탱크측 드레인라인; 상기 필터측 벤트라인과 상기 탱크측 드레인라인의 연결부분에 설치되는 드레인측 삼방밸브; 상기 약액 탱크의 최상부에 연결되는 탱크측 벤트부; 및 상기 약액 수요처에서의 약액 수요신호에 따라 상기 메인 삼방밸브, 상기 펌프, 상기 드레인측 삼방밸브 및 상기 탱크측 벤트부를 제어하여, 상기 제1 및 제2드럼의 약액을 순차적으로 상기 약액 탱크를 경유하여 상기 약액 수요처로 이송시키는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 약액 유입구 및 상기 약액 배출구는 상기 약액 탱크의 하부에 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 탱크측 벤트부는, 상기 약액 탱크의 상부에 연결되는 탱크측 벤트라인; 및 상기 탱크측 벤트라인에 설치되는 밸브;를 포함하는 것이 좋다.
또한, 상기 메인 공급라인의 상기 필터의 하부에 설치되는 온/오프 밸브를 더 포함하는 것이 좋다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 약액 이송시스템 제어방법은, 상기 약액 수요처로부터의 약액 요구신호 발생 전에 상기 약액 탱크로 상기 제1드럼의 약액을 펌핑하여 상기 약액 탱크로 이송하고, 상기 약액에 포함된 버블을 상기 약액 탱크에서 분리하여 제거하는 제1이송단계; 상기 약액 수요처로부터 약액 요구신호 발생시 상기 펌프를 구동하여 상기 제1드럼의 약액을 상기 약액 탱크로 펌핑하여 공급하고, 상기 약액탱크 내의 약액을 발생압력으로 상기 약액수요처로 이송시키는 제2이송단계; 상기 제1드럼의 약액 소진시, 상기 제2드럼의 약액을 펌핑하여 상기 약액 탱크를 경유하여 상기 약액수요처로 이송시키는 제3이송단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제1이송단계는, 상기 탱크측 벤트부를 개방하는 단계; 상기 드레인측 삼방밸브를 폐쇄하는 단계; 상기 메인 삼방밸브를 제어하여 상기 제1드럼 공급라인과 상기 메인 공급라인을 연통시키는 단계; 및 상기 펌프를 구동시켜 상기 제1드럼의 약액을 펌핑하여 상기 약액 탱크로 공급하는 제1펌핑단계;를 포함하는 것이 좋다.
또한, 상기 제2이송단계는, 상기 탱크측 벤트부를 폐쇄하는 단계; 및 상기 펌프를 구동시켜 상기 제1드럼의 약액을 펌핑하여 상기 약액 탱크로 공급하고, 펌핌압력으로 상기 약액 탱크의 약액을 상기 약액 배출라인을 통해 상기 약액 수요처로 공급하는 제2펌핑단계;를 포함하는 것이 좋다.
또한, 상기 제3이송단계는, 상기 메인 삼방밸브를 제어하여 상기 제2드럼 공급라인과 상기 메인 공급라인을 연통시키는 단계; 상기 드레인측 삼방밸브를 개방하여 상기 필터측 벤트라인을 드레인측으로 연통시키는 단계; 상기 펌프를 기설정된 회수만큼 구동시켜 상기 제2드럼으로 전환시 유입된 버블이 상기 필터를 통해 상기 필터측 벤트라인으로 배출되도록 하는 에어 벤트단계; 및 상기 드레인측 삼방밸브를 초기위치로 복귀 후, 상기 펌프를 구동하여 상기 제2드럼의 약액을 펌핑하여 상기 약액 탱크를 경유하여 상기 약액 수요처로 공급하는 제3펌핑단계;를 포함하는 것이 좋다.
본 발명의 약액 이송시스템 및 그 제어방법에 따르면, 필터에서 분기되는 벤트라인을 설치하여 제1드럼과 제2드럼의 전환시 필터측 벤트라인을 통해 에어를 배출할 수 있게 된다.
따라서, 펌프에 에어가 차서 펌프에 펌핑압력이 작용하지 못하는 문제를 해결할 수 있게 됨으로써, 하나의 펌프를 이용하더라도 지상으로부터 일정 높이의 약액 수요처로 약액을 펌핑하여 공급할 수 있게 된다. 그로 인해, 펌프를 복수 설치할 필요가 없게 되어, 설비 비용을 줄일 수 있게 되어 시스템의 설비 비용을 절감할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 약액 이송시스템을 나타내 보인 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 약액 이송시스템을 이용한 약액 이송방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 약액 이송시스템 및 그 제어방법을 자세히 설명하기로 한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 약액 이송시스템(100)은, 약액 탱크(110)와, 메인 공급라인(120), 제1 및 제2드럼 공급라인(131,133), 메인 삼방벨브(140), 약액 배출라인(150), 펌프(160), 필터(170), 필터측 벤트라인(181), 탱크측 드레인라인(183), 드레인측 삼방밸브(185), 탱크측 벤트부(190) 및 제어부(200)를 구비한다.
여기서, 본 발명의 실시예에 따른 약액 이송시스템(100)은 약액 탱크(110)가 설치되는 지면으로부터 소정 높이의 상부, 바람직하게는 대략 6m 이상의 높이에 배치되는 약액 요구처(30)로 제1드럼(10)과 제2드럼(20)의 약액을 순차적으로 고압으로 펌핑하여 이송시키기 위한 것이다.
상기 약액 탱크(110)는 상기 약액 요구처(30) 보다 낮은 위치, 예를 들어 지면에 설치된다. 이러한 약액 탱크(110)에는 약액 유입구(111)와, 약액 배출구(112)와, 벤트구(113) 및 드레인 배출구(114)가 설치된다. 약액 유입구(111)와 약액 배출구(112)는 약액 탱크(110)의 하부에 설치되고, 드레인 배출구(114)는 약액 탱크(110)의 대략 중간 부분에 설치되고, 벤트구(113)는 도 1에 도시된 바와 같이, 약액 탱크(110)의 최상부에 설치된다.
상기 약액 유입구(111)에는 메인 공급라인(120)이 연결되며, 약액 배출구(112)에는 약액 배출라인(150)이 연결된다. 약액 배출라인(150)은 지면으로부터 대략 6m 이상의 높이에 설치되는 약액 요구처(30)로 연결되어 약액 요구처(30)에서의 약액 요구신호 발생시, 제어부(200)의 제어동작에 따라 약액 탱크(110)로 경유하여 이송되는 약액을 펌핑압력에 의해 공급받게 된다.
상기 벤트구(113)에는 탱크측 벤트부(190)가 연결되다. 이러한 탱크측 벤트부(190)는 벤트구(113)에 연결되는 벤트라인(191)과, 벤트라인(191)에 설치되는 벤트측 밸브(193)를 구비한다. 탱크측 벤트부(190)에 의해 약액 탱크(110) 내부의 약액에 포함된 버블(에어)이 약액 탱크(110) 내부의 상부로 상승하게 되고, 벤트측 밸브(193)의 개방시 외부로 자연스럽게 배출되도록 하여 제거할 수 있다. 벤트측 밸브(193)는 제어부(200)에 의해 선택적으로 개폐동작이 제어된다.
상기 드레인 배출구(114)에는 탱크측 드레인라인(183)이 연결된다.
상기 메인 공급라인(120)의 하류측은 약액 탱크(110)의 약액 유입구(111)에 연결되고, 상류측은 삼방밸브(140)를 기준으로 제1 및 제2드럼 공급라인(131)(133)과 연결된다. 따라서, 삼방밸브(140)의 동작에 의해 메인 공급라인(120)은 제1 및 제2드럼 공급라인(131)(133) 중 어느 하나와 연통되어 약액을 공급받고, 나머지 하나는 차단된다. 예를 들어 제1드럼(10)의 약액을 먼저 공급한 후에, 제1드럼(10)의 약액이 소진되면, 메인 삼방밸브(140)를 제어하여 제1드럼 공급라인(131)은 차단하고, 제2드럼 공급라인(133) 측을 개방함으로써 제2드럼(20)의 약액을 제1드럼(10)에 이어서 순차적으로 공급할 수 있게 된다.
상기 메인 삼방밸브(140)의 하류에는 펌프(160)가 설치되어, 제1드럼(10) 또는 제2드럼(20)의 약액을 고압으로 펌핑하여 약액 탱크(110)로 공급하고, 약액 탱크(110) 내의 약액이 펌프(160)의 압력에 의해 약액 요구처(30)로 배출되어 공급되도록 한다.
상기 필터(170)는 펌프(160)의 하류에 설치되며, 상기 필터측 벤트라인(181)과 메인 공급라인(120)의 분기점에 설치된다. 이러한 필터(170)는 공급되는 약액에 포함된 버블 및 이물질을 제거하는 역할을 한다. 필터(170)에서 필터링된 버블은 필터측 벤트라인(181)을 통해 탱크측 드레인라인(183)을 경유하여 외부로 드레인될 수 있다.
구체적으로 보면, 필터측 벤트라인(181)은 필터(170)에서 분기되어 연결되며, 탱크측 드레인라인(183)과 연결된다. 필터측 벤트라인(181)과 탱크측 드레인라인(183)의 연결부분에는 드레인측 삼방밸브(185)가 설치되어, 제어부(200)에 의해 개폐동작이 제어된다.
또한, 메인 공급라인(120)의 필터(170)의 하류에는 온/오프 밸브(121)가 설치되어, 제어부(200)에 의해 온/오프 제어됨으로써 약액의 이동을 선택적으로 차단 및 허용하게 된다.
한편, 상기 제1 및 제2드럼(10,20)은 PE(플라스틱) 재질로 형성되며, 그 내부에 약액이 수용된 상태로 제공된다. 이러한 제1 및 제2드럼(10)(20) 각각은 약액을 약액 요구처(약액 도포장치)로 약액을 지속적으로 공급할 수 있도록 준비된다. 따라서, 준비된 제1 및 제2드럼(10)(20) 각각에 제1 및 제2드럼 공급라인(131)(133)을 각각 연결한 후, 제1드럼(10)의 약액부터 펌핑하여 공급한다. 그리고 제1드럼(10)의 약액이 소진되면, 메인 삼방밸브(140)를 제어하여 제2드럼(20)의 약액을 펌핑하여 공급하도록 하여 약액을 계속해서 공급할 수 있게 된다. 그리고 제2드럼(20)의 약액을 공급하는 중에, 제1드럼(10)을 새것으로 교체하여 제1드럼 공급라인(131)을 연결하여 둠으로써, 제2드럼(20)의 약액 소진시에는 다시 교체된 제1드럼(10)의 약액을 연속하여 펌핑하여 공급할 수 있게 된다.
여기서, 상기 제1 및 제2드럼(10)(20) 각각은 플라스틱 드럼으로서, 약액과의 화학반응에 대해 안전하고, 대용량으로 사용이 가능함은 물론, 드럼의 제조비용을 줄일 수 있는 이점이 있다.
상기 제어부(200)는 메인 삼방밸브(140), 펌프(160), 온/오프 밸브(121), 드레인측 삼방밸브(185), 벤트측 밸브(193)의 동작을 제어한다.
상기와 같은 구성을 가지는 본 발명의 약액 이송시스템(100)을 이용한 약액 이송방법에 대해 자세하게 설명하기로 한다.
먼저, 초기에는 메인 삼방밸브(140)를 제1드럼측은 개방하고 제2드럼측은 폐쇄한 상태에서, 벤트측 밸브(193)를 개방하고, 필터측 벤트라인(181)은 폐쇄한다(S10). 이 상태에서 제어부(200)는 펌프(160)를 구동시켜서 제1드럼(10)의 약액을 펌핌하여 약액 탱크(110)로 이송한다(S11). 이와 같이, 펌프(160)를 구동하여 제1드럼(10)의 약액을 약액 탱크(110)로 이송시, 이송되는 약액의 이물질과 버블 등은 필터(170)에서 걸러지게 되며, 일부 약액 탱크(110)로 이송되는 버블은 약액 탱크(110)의 탱크측 벤트라인(191)을 통해 외부로 배출될 수 있다. 즉, 약액에 포함된 버블은 약액 탱크(110) 내에서 일정 시간이 경과하면 자연스럽게 약액 탱크(110)의 최상부로 이동되어 최상부에 연결된 벤트구(113)에 연결되는 탱크측 벤트부(190)를 통해 외부로 빠져나가게 된다. 이때, 약액 탱크(110) 내의 소량의 버블이 탱크측 벤트부(190)를 통해 외부로 빠져나가는데 요구되는 시간 등은 반복적인 실험을 통해 획득할 용이하게 획득할 수 있는 것이다.
이러한 방법으로 약액 탱크(110)에 약액을 일정량 공급한 상태에서, 약액 요구처(30) 즉, 지면에서 대략 6m 이상에 위치한 곳에서 약액을 요구하는 신호가 발생하면(S12), 이 신호를 전달받은 제어부(200)는 약액 탱크(110)의 벤트측 밸브(193)를 폐쇄한다(S13). 이때 제어부(200)는 벤트측 밸브(193)를 폐쇄하기에 앞서서 약액 탱크(110) 내의 버블이 충분히 외부로 빠져나가는데 필요한 시간(반복실험을 통해 당업자게 용이하게 구하고 설정할 수 있으며, 설계적 사항에 해당될 수 있음)이 흘렀는지 확인 후에 폐쇄할 수 있다. 약액 탱크(110) 내의 버블이 충분히 외부로 빠져나가는데 필요한 시간이 경과한 경우 제어부(200)는 펌프(160)를 구동시켜서 제1드럼(10)의 약액이 펌핑되어 약액 탱크(110)로 이동됨과 동시에, 펌프(160)가 펌핑압력에 의해 약액 탱크(110) 내에 압력이 발생하면서, 그 압력에 의해 약액 탱크(110) 내의 약액이 약액 배출라인(150)을 통해 6m 이상의 높이에 위치한 약액 요구처(30)로 이송되어 공급할 수 있게 한다(S14).
삭제
즉, 상기와 같은 방법에 의해 제1드럼(10)의 약액을 펌프(160)로 펌핑하여 약액 탱크(110)로 공급하고, 펌핑압력으로 약액 탱크(110) 내의 약액을 약액 요구처(30)로 공급한다. 그리고 제1드럼(10)의 약액이 소진되어 제1드럼(10)에서 제2드럼(20)으로 약액 제공드럼을 전환하는 신호가 발생되면(S15), 제어부(200)는 제2드럼(20)의 약액을 공급할 수 있도록 메인 삼방밸브(140)를 전환시켜서 제1드럼측은 폐쇄하고, 제2드럼측을 개방한다(S16). 즉, 제2드럼 공급라인(133)과 메인 공급라인(120)을 연통되게 연결한다. 그리고 메인 삼방밸브(140)의 전환과 동시에 필터(170)에 연결되는 필터측 벤트라인(181)을 개방한다(S17). 즉, 드레인측 삼방밸브(185)를 제어하여, 필터측 벤트라인(181)이 탱크측 드레인라인(183)의 드레인측으로 개방되도록 전환시킨다.
이 상태에서 펌프(160)를 미리 설정된 횟수(또는 시간) 구동제어한다(S18). 그러면, 제2드럼(20)으로 전환과정에서 메인 공급라인(120)으로 유입되는 버블(에어)이 필터(170)에서 걸러지면서 필터측 벤트라인(181)으로 배출되어 외부로 제거된다. 이와 같이, 필터(170) 측의 필터측 벤트라인(181)을 통해 버블(에어)을 외부로 드레인시킴으로써, 제1드럼(10)에서 제2드럼(20)으로 전환시 유입되는 버블을 외부로 빼내어 제거할 수 있다. 이와 같이, 펌프(160)를 소정 횟수 구동시켜서 메인 삼방밸브(140)의 전환시 유입된 에어를 드레인시키고, 드레인측 삼방밸브(185)를 다시 초기위치로 원위치시켜서 필터측 벤트라인(181)을 폐쇄시킨다(S19). 그리고 펌프(160)를 정상적으로 구동시켜서 제2드럼(20)의 약액을 펌핑하여 약액 탱크(110)로 보내고, 약액 탱크(110)의 약액은 펌핑압력에 의해 약액 배출라인(150)을 통해 약액 수요처(30)로 공급한다(S20).
이와 같이, 제1드럼(10)에서 제2드럼(20)으로 전환하는 과정에서 유입되는 에어가 펌프(160)에 머물지 않게 되고, 외부로 빠지도록 함으로써 펌프(160)에 압력이 충분히 작용하게 되어 하나의 펌프(160)만을 설치하여 구동하더라도 펌프(160)에서 압력이 충분히 걸리게 되어 제2드럼(20)의 약액을 펌핑하여 이송시키는 동시에, 약액 탱크(110) 내의 약액을 6m 이상의 약액 요구처(30)로 공급할 수 있다.
또한, 필터(170)를 통해서도 일부 제거되지 못한 버블이 있더라도, 약액 탱크(110) 내에서 일정 시간(반복 실험을 통해 버블이 자연스럽게 상승하여 외부로 빠져나가는데 필요한 시간을 획득하고 설정할 수 있으며, 이러한 반복실험에 의한 시간획득은 당업자가 용이하게 확보할 수 있는 설계적 사항에 해당될 수 있다) 머무르게 하면서 공급함으로써, 나머지 버블이 약액 탱크(110) 내에서 떠오르게 되어, 약액 배출라인(150) 측으로는 버블이 이동하지 않게 된다. 따라서, 약액 요구처(도포장치 측)에서의 약액 토출시 버블은 거의 발견되지 않게 되어 도포장치의 도포공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있게 된다.
이상, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시 예와 관련하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범위를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.
10..제1드럼 20..제2드럼
30..약액 수용처 100..약액 이송시스템
110..약액 탱크 120..메인 공급라인
131..제1드럼 공급라인 133..제2드럼 공급라인
140..메인 삼방밸브 150..약액 배출라인
160..펌프 170..필터
181..필터측 벤트라인 183..탱크측 드레인라인
183..드레인측 삼방밸브 190..탱크측 벤트부
191..탱크측 벤트라인 193..벤트측 밸브
200..제어부

Claims (8)

  1. 약액이 수용된 제1 및 제2드럼으로부터 순차적으로 약액을 펌핑하여 상기 제1 및 제2드럼보다 높은 위치에 약액 수요처로 공급하기 위한 약액 이송시스템에 있어서,
    약액 유입구 및 약액 배출구가 설치되는 약액 탱크;
    상기 제1 및 제2드럼에서 펌핑된 약액을 상기 약액탱크의 약액 유입구로 공급하는 메인 공급라인;
    상기 제1드럼 및 제2드럼의 약액을 상기 메인 공급라인으로 각각 공급하도록 연결되는 제1 및 제2드럼 공급라인;
    상기 제1 및 제2드럼 공급라인이 상기 메인 공급라인에 연결되는 부분에 설치되는 메인 삼방밸브;
    상기 약액 탱크의 약액 배출구와 상기 약액 수요처로 공급하기 위한 약액 배출라인;
    상기 메인 공급라인에 설치되는 펌프;
    상기 메인 공급라인의 상기 펌프의 하류에 설치되는 필터;
    상기 필터에서 상기 메인 공급라인과 분기되어 연결되는 필터측 벤트라인;
    상기 필터측 벤트라인과 연결되도록 상기 약액 탱크에 연결되는 탱크측 드레인라인;
    상기 필터측 벤트라인과 상기 탱크측 드레인라인의 연결부분에 설치되는 드레인측 삼방밸브;
    상기 약액 탱크의 최상부에 연결되는 탱크측 벤트부; 및
    상기 약액 수요처에서의 약액 수요신호에 따라 상기 메인 삼방밸브, 상기 펌프, 상기 드레인측 삼방밸브 및 상기 탱크측 벤트부를 제어하여, 상기 제1 및 제2드럼의 약액을 순차적으로 상기 약액 탱크를 경유하여 상기 약액 수요처로 이송시키는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 이송시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 약액 유입구 및 상기 약액 배출구는 상기 약액 탱크의 하부에 설치되는 것을 특징으로 하는 약액 이송시스템.
  3. 제2항에 있어서, 상기 탱크측 벤트부는,
    상기 약액 탱크의 상부에 연결되는 탱크측 벤트라인; 및
    상기 탱크측 벤트라인에 설치되는 밸브;를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 이송시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 메인 공급라인의 상기 필터의 하부에 설치되는 온/오프 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 이송시스템.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 약액 이송시스템을 이용한 약액 이송방법에 있어서,
    상기 약액 수요처로부터의 약액 요구신호 발생 전에 상기 약액 탱크로 상기 제1드럼의 약액을 펌핑하여 상기 약액 탱크로 이송하고, 상기 약액에 포함된 버블을 상기 약액 탱크에서 분리하여 제거하는 제1이송단계;
    상기 약액 수요처로부터 약액 요구신호 발생시 상기 펌프를 구동하여 상기 제1드럼의 약액을 상기 약액 탱크로 펌핑하여 공급하고, 상기 약액탱크 내의 약액을 발생압력으로 상기 약액수요처로 이송시키는 제2이송단계;
    상기 제1드럼의 약액 소진시, 상기 제2드럼의 약액을 펌핑하여 상기 약액 탱크를 경유하여 상기 약액수요처로 이송시키는 제3이송단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 이송방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1이송단계는,
    상기 탱크측 벤트부를 개방하는 단계;
    상기 드레인측 삼방밸브를 폐쇄하는 단계;
    상기 메인 삼방밸브를 제어하여 상기 제1드럼 공급라인과 상기 메인 공급라인을 연통시키는 단계; 및
    상기 펌프를 구동시켜 상기 제1드럼의 약액을 펌핑하여 상기 약액 탱크로 공급하는 제1펌핑단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 이송방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제2이송단계는,
    상기 탱크측 벤트부를 폐쇄하는 단계; 및
    상기 펌프를 구동시켜 상기 제1드럼의 약액을 펌핑하여 상기 약액 탱크로 공급하고, 펌핌압력으로 상기 약액 탱크의 약액을 상기 약액 배출라인을 통해 상기 약액 수요처로 공급하는 제2펌핑단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 이송방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 제3이송단계는,
    상기 메인 삼방밸브를 제어하여 상기 제2드럼 공급라인과 상기 메인 공급라인을 연통시키는 단계;
    상기 드레인측 삼방밸브를 개방하여 상기 필터측 벤트라인을 드레인측으로 연통시키는 단계;
    상기 펌프를 기설정된 회수만큼 구동시켜 상기 제2드럼으로 전환시 유입된 버블이 상기 필터를 통해 상기 필터측 벤트라인으로 배출되도록 하는 에어 벤트단계; 및
    상기 드레인측 삼방밸브를 초기위치로 복귀 후, 상기 펌프를 구동하여 상기 제2드럼의 약액을 펌핑하여 상기 약액 탱크를 경유하여 상기 약액 수요처로 공급하는 제3펌핑단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 이송방법.



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