JP2002219396A

JP2002219396A - 塗工装置、塗工方法およびこれらを用いて製造されたカラーフィルタ、またはカラー液晶表示装置

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Publication number: JP2002219396A
Application number: JP2001315685A
Authority: JP
Inventors: Masaya Tsujii; 正也辻井; Kazuyuki Hashimoto; 和幸橋本; Hiroshi Kawatake; 洋川竹; Shinji Tomimatsu; 伸二富松; Yasushi Kobayashi; 裕史小林
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 2000-10-12
Filing date: 2001-10-12
Publication date: 2002-08-06
Anticipated expiration: 2021-10-12
Also published as: JP3747833B2

Abstract

(57)【要約】【課題】塗液中のポリマーゲル・粒子凝集物等の異物捕
捉性能が良好で、ポリマーゲル・顔料凝集物およびそれ
らの混合体の分散／破砕効果を有し、塗液起因の異物塗
布欠点がなく、また、濾過装置内部の残存エアーを極小
化して膜厚均一性の高い高品位の塗膜が得られる枚葉塗
工装置、枚葉塗工方法を提供する。また、かかる枚葉塗
工方法および装置を用いたカラーフィルタの製造方法と
そのカラーフィルタを用いたカラー液晶表示装置を提供
する。【解決手段】塗液を非定常的に供給する塗工装置におい
て、フィルタを具備するとともに、該フィルタの濾材の
ヤング率が２００ＭＰａ以上であり、かつ、該フィルタ
の孔径が０．０５μｍ以上１００μｍ以下であることを
特徴とする塗工装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被濾過液体の供給
が非定常的である工程を有する装置または方法、特に、
枚葉塗工装置および枚葉塗工方法に関し、さらに詳しく
は精密塗工用の枚葉塗工において塗液の濾過を良好とな
した枚葉塗工装置および枚葉塗工方法に関するものであ
る。加えて、液晶ディスプレイ用のカラーフィルタを作
成するために基板上に塗膜を形成する場合のほか、液体
状の塗液を枚葉方式で供給される被塗工材の表面に間欠
的に塗工を行う場合において、塗液起因の異物欠点がな
く塗工する場合に好適な枚葉塗工装置、枚葉塗工方法お
よびこれを用いて製造する表示デバイス用カラーフィル
タ、カラー表示デバイスに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、光学フィルタ用のプラスティ
ック基板や、液晶ディスプレイ用のガラス基板、カラー
フィルタ用のガラス基板などのように、塗工方向の長さ
が２ｍにも満たないような比較的小さな基板に様々な塗
料を薄く、しかも均一に塗布することが強く要請されて
いる。工業的にこのような基板に塗膜を形成するために
は、被塗工材を１枚ずつコータに供給し、塗料を供給・
塗布し、乾燥などの次工程に搬送する枚葉塗工方式を採
用することになる。

【０００３】従来、枚葉塗工方法としては、スピンコー
タ、ロールコータ、バーコータ、ダイコータ等、およ
び、これらを組み合わせた方法が広く用いられている。

【０００４】スピンコーティング法は、半導体ウエハの
フォトレジスト塗布に広く用いられている方法であり、
回転する基板の表面中央に塗液を滴下することにより塗
膜を形成するものである。カラーフィルタ用途では例え
ば特開昭６３−１０７７６９号公報に開示されている。
スピンコーティング法により得られる塗膜は、例えば特
開平６−３４８０２３号公報や特開平７−２６１３７８
号公報に開示されているように、塗液のレオロジー特性
をニュートニアン化することにより、基板の全範囲にわ
たって膜厚をかなり精度良く均一化できるが、塗液が非
ニュートニアンであったり粘度が高い場合は、回転中央
部に膜厚の厚い部分が生じ、膜厚均一性が低下する。加
えて、所定の膜厚を得るための塗液の使用量が著しく多
く、経済面での欠点を持っている。

【０００５】ロールコーティング法は、ゴムロールを介
して塗液を基板に転写する方法であり、長尺の被塗工
材、ロール状の巻き取られた被塗工材への塗工を行うこ
とができる。しかし、塗液がパンからアプリケーション
ロール、基板へ順次送られる関係上、塗液が空気に曝さ
れる時間が長く、塗液の吸湿による変質が起こりやすい
のみならず、異物の混入も発生しやすい。

【０００６】バーコーティング法は、ロッドに細いワイ
ヤを巻いたバーを用いて基板にペーストを塗布する方法
であり、特開平２−２５８０８１号公報などに開示され
ている。この方法では、ロッドに巻かれたワイヤが基板
に直接接するため、ペーストが非ニュートニアンであっ
たり粘度が高い場合は、レベリング性が悪く、ワイヤの
跡が残るといった欠点を持っている。

【０００７】塗液によっては前記コータでも十分である
が、近年に至って、ダイコータを用いることが提案され
ている。そして、ダイコータをカラーフィルタの製造に
応用する提案が特開平５−１１１０５号公報、特開平５
−１４２４０７号公報、特開平６−３３９６５６号公
報、特開平８−２２９４８２号公報、特開平８−２２９
４９７号公報などにおいてなされている。

【０００８】ダイコータは、従来から厚膜塗工や、高粘
度塗料を連続塗布する用途に広く採用されており、ダイ
コータを用いて被塗工材に塗膜を形成する場合には、米
国特許第４２３０７９３号明細書、米国特許第４６９６
８８５号明細書、米国特許第２７６１７９１号明細書に
見られるようにカーテンフロー法、押し出し法、ビード
法などの塗工方法が知られる。通常、ダイコータの口金
に設けられたスリットから塗料を吐出して、口金と一定
の間隔を保って相対的に走行する被塗工材との間に塗料
ビードと呼ばれる塗料溜りを形成し、この状態で被塗工
材の走行に伴なって塗料を引き出して塗膜を形成する。
そして、塗膜形成により消費される塗料と同量の塗料を
スリットから供給することにより塗膜を連続的に形成す
るビード法を採用すれば、形成された塗膜は膜厚の均一
性をかなり高精度に達成できる。また、塗料の無駄が殆
どなく、さらにまた、スリットから吐出されるまで塗料
送液経路が密閉されているので、塗料の変質、異物の混
入を防止でき、得られる塗膜の品質を高く維持できる。

【０００９】しかしながら、特開平８−２２９４８２号
公報、特開平８−２２９４９７号公報に詳細に記載され
ているように、ダイコータを用いる方法は均一な塗膜を
得ることが非常に困難であり、均一膜厚の塗膜を得よう
とすると塗工装置も複雑化する。したがって、上記ロー
ルコータ、バーコータ、ダイコータなどの簡便な直線塗
布方法とスピンコータを組み合わせて均一な塗膜を得る
枚葉塗工方法が特開平８−３３２４３６号公報などで提
案されている。

【００１０】例えば、カラー液晶表示装置用カラーフィ
ルタにこれらの枚葉塗工方法を適用する場合、塗膜に突
起異物欠点が存在すると、対向基板とカラーフィルタ基
板が接触して導通しコモンショートと呼ばれる現象が発
生、輝点や輝線、黒点や黒線といった表示不良が発生す
る。このような事態を回避するためには、カラーフィル
タ基板上にコモンショートを発生させる突起異物欠点が
存在しないことが求められる。塗膜形成工程で塗液起因
の突起異物欠点を抑制するため、通常次のような対策が
施される。すなわち、被塗工材を装置内に供給して、塗
液を間欠的に供給・塗布し、乾燥などの次工程に被塗工
材を搬送するという一連の枚葉塗工工程において、例え
ば特開平８−２２９４９７号公報中に図示されているよ
うに、塗液を被塗工材に間欠的に供給・塗布する経路中
で、塗液中に含まれる異物、すなわち、塗液の製造工程
から混入する環境異物、また、塗液がポリマー溶液また
はポリマー前駆体溶液である場合は、ポリマーゲルやモ
ノマー残渣不溶物などの異物、塗液がスラリーである場
合は粒子の凝集物などやバインダー樹脂（ポリマーまた
はポリマー前駆体、感光性バインダーを用いる場合はそ
の前駆体等）起因の異物を濾過して除去することが一般
的に行われている。

【００１１】通常、これら濾過に用いられるフィルタと
しては、ポリプロピレン・ポリエチレン・四フッ化エチ
レン等の樹脂濾材などを用い、これらを不織布状に加工
してディスク形状としたもの、または不織布をプリーツ
状に加工または巻き物状に加工してカプセル内に納めた
もの、また、メンブレンフィルタとして、同様にディス
ク状、プリーツ状、巻き物状としたものなどが挙げられ
る。特に、フッ素系樹脂の不織布フィルタおよびメンブ
レンフィルタは耐溶剤性が良好であるため好適に用いら
れている。一般的に、塗液に粒子を含まないポリマー溶
液またはポリマー前駆体溶液の場合は０．０５〜３μｍ
の精密な濾過精度を持つメンブレンフィルタ、塗液中に
粒子を含む場合は塗布欠点となる粗大粒子のみを除く目
的で、得たい目標粒子径に応じて濾過精度を最適化した
不織布フィルタが用いられる。例えば、カラーフィルタ
用顔料分散カラーペーストで、０．１μｍ以下の顔料粒
子径を目標とするスラリー塗液を２μｍの膜厚で塗布す
る場合については、２μｍ以上の粗大粒子を除去するの
が理想的で、孔径２μｍの不織布フィルタを用いれば粗
大粒子除去の目的は達成されると考えられる。

【００１２】枚葉塗工装置において、塗液を間欠的に濾
過する頻度を減らすために、図３に示すように、塗液タ
ンク１から塗工ヘッド（ダイ口金）７の間にバッファタ
ンク２を設け、バッファタンク２の手前でフィルタ６に
より濾過を行うことも考えられるが、特開平１１−３１
９６７５号公報にも記載されているように、塗工ヘッド
（ダイ口金）７の直前にフィルタ６を設置する方が異物
欠点抑制の点からは好ましく、また計量ポンプ（定量ポ
ンプ）４の前にもフィルタ６を設置してもより異物欠点
抑制に効果があるが、ヤング率の低い樹脂製濾材フィル
タを用いてこのような構成にしただけでは、濾過回数が
減少するだけで、濾過による本質的な粗大粒子捕捉およ
び後述するポリマーゲル、顔料凝集物およびそれらの混
合体の分散／破砕効果による塗布時の異物欠点抑制には
ならない。

【００１３】フィルタの形状としては前述のように種々
のものが用いられるが、均一な膜面を形成するために、
特にフィルタ内部の空隙容積が小さく枚葉塗工時の吐出
応答性が良好な、特開平５−２０８号公報に示されるよ
うな、ディスク状のフィルタを上流側と下流側の２つの
ハウジングで挟みこみ、ハウジング間に一対の環状パッ
キンを配置した濾過装置が好んで用いられる。この濾過
装置は上流側ハウジングに塗液の流入口を備えており、
流入口から供給された塗液は前記フィルタで濾過され
て、下流側ハウジングに備えられた流出口から濾過装置
外に排出される。

【００１４】しかしながら、このような濾過装置におい
ては、上流側および下流側ハウジングの端部で塗液が滞
留しやすい。特に下流側ハウジング内で長時間滞留する
と、塗液が劣化し、劣化により発生した異物が濾過した
塗液とともに塗布装置に供給されて、基板に塗布される
ことになるので、塗布面に欠点が生じてしまうという問
題がある。

【００１５】また、ダイコータを用いて枚葉塗布を行う
場合、各基板毎に塗液を間欠的に供給・濾過するため
に、特に塗布開始・終了時に大きな圧力変動が生じる。
塗液流路内にエアーが残留していると、各基板の塗布毎
に生じる圧力変動によって、残留したエアーが膨張・収
縮することにより、塗布開始時および終了時の塗液の吐
出応答性が低下して、製品の膜厚不良領域が大きくな
る。それを防ぐためには、塗布前には、塗液供給タンク
からダイまでのエアーを完全に排出し、塗液で充満す
る、いわゆるエアー抜き作業が必須となる。実際には、
濾過装置内のエアーを完全に排出することは困難であ
り、特に粘度が１００ｍＰａ・ｓ以下の塗液では、フィ
ルタの上流側に多量のエアーが残留して、吐出開始時お
よび終了時の膜厚が不安定になることが実験より判明し
ている。

【００１６】濾過装置内に残留するエアーを除去する方
法としては、特開平１１−２８３２３号公報に記述され
ているように、濾過装置のハウジングにエアー抜き用の
排出口を設けるのが一般的である。しかしながら、濾過
装置に排出口を設けると、排出口付近で塗液が滞留し
て、劣化しやすい塗液では異物が発生してしまう。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
技術の欠点を解消せんとするものであり、その目的とす
るところは、前述のような塗液中のポリマーゲル・粒子
凝集物などの異物捕捉性能が良好で、かつ後述するポリ
マーゲル、顔料凝集物およびそれらの混合体の分散／破
砕効果により、塗液起因の異物塗布欠点がなく、また、
濾過装置内部の残存エアーを極小化して膜厚均一性の高
い高品位の膜面が得られる枚葉塗工装置を提供すること
にある。

【００１８】また、本発明の他の目的は、かかる枚葉塗
工装置を用いたカラーフィルタの製造方法とそのカラー
フィルタを用いたカラー表示デバイス、枚葉塗工方法お
よびこれを用いたカラーフィルタ、カラー表示デバイス
を提供することにある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記本発明の目的は以下
の［１］〜［６］に記載した構成により基本的に達成さ
れる。

【００２０】［１］塗液を非定常的に供給する塗工装置
において、フィルタを具備するとともに、前記フィルタ
の濾材のヤング率が２００ＭＰａ以上であり、かつ、前
記フィルタの孔径が０．０５μｍ以上１００μｍ以下で
あることを特徴とする塗工装置。

【００２１】［２］塗液を間欠的に供給する枚葉塗工装
置において、吐出ノズル部より上流側にフィルタを具備
するとともに、前記フィルタの濾材のヤング率が２００
ＭＰａ以上であり、かつ、前記フィルタの孔径が０．０
５μｍ以上１００μｍ以下であることを特徴とする枚葉
塗工装置。

【００２２】［３］前記［１］または［２］に記載の枚
葉塗工装置を用いて塗布することを特徴とする枚葉塗工
方法。

【００２３】［４］前記［３］に記載の塗布方法を用い
ることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

【００２４】［５］前記［４］に記載の製造方法により
製造されたことを特徴とするカラーフィルタ。

【００２５】［６］前記［５］に記載のカラーフィルタ
を用いたことを特徴とするカラー液晶表示装置。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を説明す
る。

【００２７】本発明において、塗液を非定常的に供給す
るとは、例えば、塗液の供給速度および／または供給圧
力が頻繁に変動（特にフィルタ部分において）するもの
である。この場合の変動とは、下流へ塗液を供給して塗
布等の作業を行う通常状態に対して、前記塗布等の作業
の一旦停止や次工程移行などにより、送液速度乃至は圧
力が低下する変動状態の少なくとも２つの状態を有する
ものである。本発明の効果が好適に発揮されるのは、供
給速度比（変動状態の供給速度／通常状態の供給速度）
が８０％以下（より好適には５０％以下、更に好適には
２０％以下）の範囲となるように変動する場合、また
は、供給圧力比（変動状態の供給圧力／通常状態の供給
圧力）が８０％以下（より好適には５０％以下、更に好
適には２０％以下）の範囲となるように変動する場合で
ある。また、本発明の効果が好適に発揮されるのは、前
記変動のサイクルが６００秒以下（より好適には３００
秒以下、更に好適には６０秒以下）の範囲の場合であ
り、あるいは、前記変動のサイクルが、途中でフィルタ
の交換などの調整無しで、５０回以上（より好適には２
５０回以上、更に好適には５００回以上）の範囲で繰り
返された場合である。端的な場合、供給速度が０の場合
であり、これは枚葉塗工のケースに該当する。枚葉塗工
の場合は、フィルタ部と塗工部の間にバッファータンク
を設けない限り、フィルタ部における塗液供給速度は実
質上停止するシークエンスを必要とする。なお、本発明
における枚葉塗工方法もしくは装置とは前述の通り被塗
工材を１枚ずつ塗布する方法もしくは装置であればいず
れでも良く、前述のスピンコーティング法、ロールコー
ティング法、バーコーティング法、ダイコーティング法
に加え、スプレーコーティング法、ノズルコーティング
法等の方法でも構わない。また、連続塗工と枚葉塗工の
区別は、前者が塗膜が定常塗工状態になるまでの非定常
部位をカットした後、定常部位のみを連続的に利用する
塗工であるのに対し、後者が塗工初期から塗工終端まで
の全ての部位を１枚の部材として利用する塗工として区
別する。本発明は後者の枚葉塗工方法および装置に関す
るものである。以後、ダイコータの枚葉塗工装置を例と
して説明するが、枚葉塗工装置はこれに限定されるもの
ではない。

【００２８】図１は本発明の枚葉塗工の一例を示す概念
図であり、塗液タンクからダイ口金までの流れを示した
ものである。塗液タンク１から圧送により塗液タンク１
の下流に設けられたバッファタンク２に塗液を送液す
る。次にバッファタンク２の下流に設けられた切替弁３
を開くと同時に切替弁３の下流に設けられたシリンジポ
ンプ（定量供給ポンプ）４の吸引を開始し、塗液を吸引
する。シリンジポンプ４での塗液の吸引量Ｑ（ｇ）は、
被塗工材上に塗工する塗膜の面積Ｓ（ｍ²）と膜厚ｔ
（μｍ）および塗布塗液の固形成分濃度ｃ（重量％）に
より決定される。塗膜の比重をρ（ｇ／ｃｍ³）とすれ
ば、Ｑは理論的には以下のように求められる。

【００２９】Ｑ＝Ｓ・ｔ×１０^-6・ρ×１０⁶／ｃ×１０² 塗液が所定量吸引された後、切替弁３を閉じると同時に
シリンジポンプ４の下流に設けられた切替弁５を開け、
シリンジポンプ４の送液を開始する。この動作によりス
テージ８上の被塗工材とダイ口金７間に塗液の液だまり
が形成され、その後ステージ８をダイ口金７に対して相
対的に移動させることにより塗膜を形成する。ダイ口金
７から被塗工材へ塗液が吐出されている時間Ｔ（Ｓ）
は、タクトタイムの要請から一義的に決定されているた
め、シリンジポンプ４の送液速度ｖ（ｇ／ｓ）は以下の
ように求められる。

【００３０】ｖ＝Ｑ／Ｔここで、フィルタ６の濾過面積をＳ_f（ｍ²）とすれば、
濾過速度ｖ_f（ｇ／ｓ・ｍ³）は以下のように求められ
る。

【００３１】ｖ_f＝ｖ／Ｓ_f ステージ８の移動が被塗工材の終点に達した時点で切替
弁５を閉じ、枚葉塗工を終了する。

【００３２】本発明においては、ダイ口金７より上流側
にフィルタ６を具備した枚葉塗工装置において、ヤング
率が２００ＭＰａ以上のフィルタ濾材を用いることを特
徴とする。

【００３３】濾過精度を最適化したフィルタを具備した
枚葉塗工装置を用いて塗工を行っても、従来技術のよう
に濾材が樹脂、すなわち、軟質でヤング率が小さい材質
のフィルタを用いると、特に粗大ポリマーゲルや粒子の
粗大凝集物は完全には濾過しきれず、被塗工材上にこれ
ら異物がそのまま塗布されるために塗工欠点となる。こ
のメカニズムは、次のように説明される。

【００３４】前述のカラーフィルタ用顔料分散カラーペ
ーストの枚葉塗工を例に考察する。０．１μｍ以下の顔
料粒子をバインダーである感光性ポリマー前駆体溶液ま
たは非感光性ポリマー溶液中に分散させた塗液を、上述
のスピンコータ、ロールコータ、バーコータ、ダイコー
タなど、またはこれらを組み合わせた枚葉塗工装置によ
り塗布を行う。この枚葉塗工装置において、塗液供給タ
ンクから最終的に被塗工材へ塗工されるまでの塗工ヘッ
ド（塗工装置により名称は異なる。例えばスピンコータ
の場合は吐出ノズル、ダイコータの場合はダイ口金）ま
での間に、２μｍ以上の粗大粒子を捕捉するとされる樹
脂濾材不織布フィルタを用いて濾過を行っても、枚葉塗
工方式であるが故に、塗液が間欠的に供給・濾過され、
供給・濾過毎の圧力変動により、軟質である樹脂濾材不
織布フィルタの孔径が２μｍ以上となり、２μｍを越え
る顔料凝集物または顔料分散カラーペースト固化物やポ
リマーゲル、感光性ポリマー前駆体不溶物等の粗大粒子
が流出して塗工欠点となると考えられる。

【００３５】この考察に従えば、塗工分野以外で同様の
濾過工程を有する場合にも好適に応用することも考えら
れる。ヤング率が２００ＭＰａ未満の濾材を用いると、
間欠送液時の急峻な濾過圧変動によりフィルタの孔径が
変化し、所望の濾過精度が得られず、塗液の製造工程か
ら混入する環境異物、また、塗液がポリマー溶液である
場合は、ポリマーゲルやモノマー残渣等の異物、塗液が
スラリーである場合は粒子の凝集物などやバインダー樹
脂（ポリマーまたはポリマー前駆体、感光性バインダー
を用いる場合はその前駆体等）起因の異物が捕捉されず
に塗布欠点となる。濾材のヤング率は、より好ましくは
５００ＭＰａ以上、さらに好ましくは１０００ＭＰａ以
上であればよい。ヤング率の高い濾材を用いることによ
って、間欠送液時の急峻な濾過圧変動によってもフィル
タ孔径が変化せずに異物が捕捉され、かつ後述するポリ
マーゲル、顔料凝集物およびそれらの混合体の分散／破
砕効果により、異物欠点のない高品位な塗膜を得ること
ができる。また、フィルタ内部での異常滞留部でポリマ
ーゲルが発生した場合においても、同様の効果が期待で
きる。なお、濾材のヤング率は高ければ高いほど好まし
い。

【００３６】濾材のヤング率は、表１の注２中に記載の
ように、樹脂の場合はＪＩＳＫ６９１１に基づく方法
で、セラミックの場合はＪＩＳＲ１６０２に基づく方
法で、金属その他材料の場合は一般的な材料試験に用い
る引っ張り試験機にて測定を行う。

【００３７】このようなヤング率を持ち、かつ濾材とし
て使用可能な材料としては、グラスファイバー、多孔質
セラミック、焼結金属等があるが、特にこれらに限定さ
れない。アルカリ金属溶出分がないこと、一般的で入手
容易かつ低コストという点で焼結金属が好ましい。金属
材料としては、防錆の点でステンレスを用いることが好
ましい。焼結金属フィルタは、繊維状金属を焼結したも
のとパウダー状金属を焼結したものがあるが、そのいず
れでも構わない。

【００３８】また、塗液が顔料分散液のごとく帯電した
粒子を含む場合は、フィルタ濾材と該帯電粒子とのフィ
ルタ濾材層内での送液時に摩擦による帯電量増加で粒子
の凝集が発生するため、帯電を放電する働きのある導電
性の金属性フィルタ、特に焼結金属フィルタが有効であ
る。

【００３９】本発明においてフィルタは、材料的力学特
性であるヤング率と並んで、構造的力学特性の観点から
も、ある程度の性能を有することが好適であり、フィル
タを構成する格子の幅および／または厚さは、好ましく
は０．０５μｍ以上１００μｍ以下（より好ましくは
０．０５μｍ以上５μｍ以下、更に好ましくは０．２μ
ｍ以上２０μｍ、特に好ましくは０．５μｍ以上１０μ
ｍ以下）の範囲である。前記数値範囲の下限値を下回る
とフィルタ格子の変形乃至は切断する等の恐れがあり好
ましくない。また、前記数値範囲の上限値を上回ると、
濾過効率の低下や細かい孔径精度を保持することが困難
になるなどの問題があり好ましくない。また、前記数値
範囲の径を有する格子を複数層積層することも良く、好
ましくは５層以上（より好ましくは１０層以上、更に好
ましくは２０層以上）である。積層数の上限については
特にないが、余り多いと濾過抵抗が増大するなどの問題
があり、これは後述のフィルタ孔径によって大きく影響
されるので、一概に上限を規定することはできない。積
層方法としては、例えば、材質が金属の場合では、一方
向乃至はランダムに配向した細線よりなる単層を積み重
ねて、適当な圧力をかけ、さらに必要に応じて焼結し
て、交差点が塑性変形させて固定させればよい。

【００４０】また、フィルタ孔径については、０．０５
μｍ以上１００μｍ以下のフィルタを用いることが好ま
しい。孔径が０．０５μｍ未満のフィルタを用いるとフ
ィルタ圧損が高くなりすぎて送液が困難となり、また、
孔径が１００μｍより大きいフィルタを用いると捕捉す
べき異物が通過してしまうので好ましくない。塗液に粒
子を含まないポリマー溶液またはポリマー前駆体溶液の
場合は、孔径は小さければ小さいほど好ましく、より好
ましくは０．０５μｍ以上５μｍ以下である。塗液中に
粒子を含む場合は塗布欠点となる粗大粒子のみを除く目
的で、得たい目標粒子径に応じて濾過精度を最適化する
ことが好ましい。例えば、カラーフィルタ用顔料分散カ
ラーペーストの場合、顔料の粒径が０．１μｍ以下であ
ることから、０．２μｍ以上２０μｍが好ましく、より
好ましくは０．５μｍ以上１０μｍ以下である。

【００４１】フィルタ孔径とはＪＩＳＫ３８３２記載
のバブルポイントによる測定から求められる孔径であ
る。

【００４２】本発明に適する塗液は、塗液中に粒子を含
まないポリマー溶液またはポリマー前駆体溶液、およ
び、塗液中に粒子を含むスラリーのいずれでも構わな
い。前者の場合、ポリマーゲルやモノマー残渣不溶物等
の異物、後者の場合、粒子の凝集物等やバインダー樹脂
（ポリマーまたはポリマー前駆体、感光性バインダーを
用いる場合はその前駆体等）起因の異物を濾過して除去
することができ、高品位の膜面を得ることができる。

【００４３】塗液の粘度は１００，０００ｍＰａ・ｓ以
下であることが好ましく、１０，０００ｍＰａ・ｓ以下
がより好ましい。１００，０００ｍＰａ・ｓより大きい
場合、濾過での圧損が大きくなりフィルタでの通液が困
難となる。また、圧損が過大になると、所望のフィルタ
孔径が変化するので好ましくない。

【００４４】なお、粘度は、１２００ｍＰａ・ｓより小
さい低粘度領域ではＥ型粘度計（コーン回転型粘度
計）、それ以上の高粘度領域ではＢ型粘度計（筒回転型
粘度計）により測定したものである。

【００４５】濾過速度については、１００ｇ／ｓ・ｍ²
以上であることが好ましい。詳細は不明であるが、特に
ヤング率の高い硬質フィルタを用いた場合、驚くべきこ
とに、ゲルや粒子凝集物の分散／破砕効果があることが
確認できており、この効果をより効果的に発現させるた
めに、好ましくは２００ｇ／ｓ・ｍ²以上、より好まし
くは３００ｇ／ｓ・ｍ²以上である。ダイコーティング
方式の場合、前述の算出式で濾過速度を求めることがで
きる。

【００４６】また、樹脂製ディスク形状のフィルタの場
合、その材質および形状のためにフィルタとしての耐圧
性が低く、フィルタ背面に耐圧板（通常は多孔板、本発
明では以下スクリーンと称す）を用いないとフィルタが
たわんでしまうため、適用する枚葉塗工装置の構成によ
っては、スクリーンを用いることが必要となる。この場
合も、ヤング率が２００ＭＰａ以下の濾材では、スクリ
ーン上でフィルタが圧縮され、塗液がフィルタ内部で異
常滞留を起こし、フィルタ内部で塗液が固化する、塗液
がポリマー前駆体溶液である場合は、ポリマーゲルやモ
ノマー残渣不溶物等の異物が発生する、塗液がスラリー
である場合は粒子の凝集物等やバインダー樹脂（ポリマ
ーまたはポリマー前駆体、感光性バインダーを用いる場
合はその前駆体等）起因の異物が発生する等の弊害が生
じる。したがって、ディスク形状のフィルタでスクリー
ンを用いる場合も、濾材のヤング率は２００ＭＰａ以上
であることが好ましい。また、好ましくは濾材のヤング
率が１０００ＭＰａ以上のフィルタを用いれば、ディス
ク形状のフィルタであっても、フィルタ背面にスクリー
ンが不要となり、フィルタとスクリーン界面での塗液の
異常滞留を抑制することができ、ひいては前述のような
異常滞留起因の異物発生を抑制することができる。

【００４７】ディスク形状のフィルタを使用した濾過装
置を備えた塗工装置に関して更に詳述する。図４は流路
が直線的である本発明の塗工装置に備えられた濾過装置
の一実施例を示す断面図、図５は流路が曲線的である本
発明の濾過装置の他の実施例を示す断面図、図６は従来
の濾過装置を示す断面図、図７は従来の濾過装置のシー
ル部を示す拡大断面図、図８は上流側スクリーンの一実
施例を示す平面図、図９は下流側スクリーンの一実施例
を示す平面図である。

【００４８】図４には本発明になる塗工装置に備えられ
た濾過装置１０が示されている。濾過装置１０は、塗液
中の異物を捕捉するディスク状のフィルタ１３の周囲に
デッドスペースを実質上形成しない環状シール材１７を
配置して、上流側スクリーン１４および下流側スクリー
ン１５で挟みこんだものを、環状パッキン１６を介して
上流側ハウジング１１と下流側ハウジング１２で挟みこ
んで構成されている。ここで、上流側スクリーン１４、
および下流側スクリーン１５はフィルタ１３を支持する
役割を有し、さらに塗液を自由に通過させねばならない
ので、図８に示すような金属製円板に多数の孔を設けた
ものを通常使用する。なお、図８は上流側スクリーンの
一実施例を示す平面図としたが、場合によっては、下流
側スクリーンに用いても良い。逆に図９についても同様
であり、即ち、図９に示したスクリーンを下流側スクリ
ーンに用いても良い。また、図４において、塗液は上流
側ハウジング１１に備えられた流入口１８から供給さ
れ、フィルタ１３に向かって円錐形状に拡大する流路を
通過して、フィルタ１３で濾過された後、下流側ハウジ
ング１２に備えられた流出口１９に向かって、円錘形状
に縮小する流路を通過して排出される。そして、濾過装
置１０は図示しないブラケットによって、流出口１９を
上向きにして、塗液が上向きに流れて濾過されるように
固定されている。

【００４９】図６には従来の濾過装置３０が示されてい
る。本発明になる濾過装置１０とは、上流側ハウジング
３１および下流側ハウジング３２の内部流路が拡大・縮
小のない円筒形状である点、フィルタ１３の周囲にデッ
ドスペースを実質上形成しない環状シール材１７がな
く、下流側スクリーン１５と下流側ハウジング３２の間
を環状パッキン１６のかわりに、Ｏリング３７でシール
する点、上流側スクリーン１４と下流側スクリーン１５
が同じものである点、が異なる以外は同じである。図７
には濾過装置３０でのＯリング３７と環状パッキン１６
で上流側スクリーン１４、フィルタ１３、下流側スクリ
ーン１５を挟みこんで、シールを行っている状況がより
詳細に示されている。従来の濾過装置３０では、その構
成上、フィルタ１３の周辺にデッドスペースＢが生じる
が、図示した本発明の１実施形態の濾過装置１０では、
そのようなデッドスペースＢは生じない。

【００５０】本発明の塗工装置に備えられた濾過装置１
０は、従来の濾過装置３０に比べて、その構成により滞
留を低減する効果を有する。次にそれについて説明す
る。

【００５１】まず図４（または５）に示した濾過装置１
０（または２０）のように、本発明では、上流側ハウジ
ング１１（または２１）の内部に形成される塗液の流路
を流入口１８（または２８）からフィルタ１３に向かっ
て滑らかに拡大させた形状および／または、下流側ハウ
ジング１２（または２２）の流路をフィルタ４から流出
口１９（または２９）に向かって滑らかに縮小させた形
状を有している。その拡大・縮小の割合は、式（１）お
よび／または（２）を満たすことが必要である。

【００５２】０．０２５≦ｈ_IN／（ｄ_FLT−ｄ_IN）≦１（１）０．１≦ｈ_OUT／（ｄ_FLT−ｄ_OUT）≦１（２）ｄ_IN：流入口径［ｍｍ］ｄ_OUT：流出口径［ｍｍ］ｄ_FLT：フィルタ１３で実際に濾過に使用される径［ｍ
ｍ］ｈ_IN：流入口１８からフィルタ１３までの距離［ｍ
ｍ］ｈ_OUT：流出口１９からフィルタ１３までの距離［ｍ
ｍ］ここでいう、流路とは、処理流体（塗液、未濾過液、濾
過済液等）の流れを律する構造体、内壁、ないしは導管
などを指す。この場合、ハウジングの内壁であると考え
て良い。なお、ここで、フィルタ１３で実際に濾過に使
用される径とは、濾過におけるフィルタの有効面積の径
に相当する。例えば、フィルタ自体の径が大きくとも、
環状パッキンや環状シール材で塗液の流路が阻まれてい
たらその分、実際に濾過に使用される径は小さくなる。
図４、５では、フィルタの環状パッキンにより覆われて
いない部分の径が実際に濾過に使用されている径とな
る。また、本発明の濾過装置は、その垂直断面（上流−
下流方向に対して垂直の平面で切断した断面の意）はお
およそ円形（この場合、前記の径とは前記円形の直径と
なる）であることが好ましいが、場合によっては楕円そ
の他の閉曲線形であっても良い。その場合、径（流入出
口径、フィルタで実際に使用される径等）は、当該垂直
断面を等面積的に円に変換したときの当該円の直径とす
る。なお、位置ａ：流入口と上流ハウジングとの接合部分位置ｂ：フィルタ上流側の面位置ｃ：フィルタ下流側の面位置ｄ：下流ハウジングと流出口とハウジングとの接合
部分とすると、ｈ_INとｈ_OUTにおける距離とは、それぞれ、
濾過装置における流体の進行方向（濾過装置の長軸方向
やフィルタ厚さ方向でもよい）で測った、位置ａ−ｂ間
の距離と位置ｃ−ｄ間の距離である。塗液の流路をこの
ような形状に形成すると、従来の濾過装置３０のハウジ
ング端部の滞留部Ａのような殆ど流れが生じない箇所
（滞留箇所）がないので、濾過装置１０内での滞留を大
幅に低減することができる。拡大・縮小の割合が１以下
（好ましくは０．３以下）である必要があり、これより
大きいと、内部の流路容量が大きくなるので、濾過装置
１０内の塗液を新たな塗液で完全に置換するのに必要な
時間が増大し好ましくない。また、拡大・縮小の割合が
上流側で０．０２５以上（好ましくは０．１以上、より
好ましくは０．１５以上）、下流側で０．１以上（好ま
しくは０．１５以上）である必要があり、これより小さ
いと、塗液が流路で均一に流れにくくなるので好ましく
ない。この流路形状により滞留を低減させる効果は可視
化による流れの検証からも確認している。また、図５に
示す本発明の別の濾過装置２０は、上流側ハウジング２
１および下流側ハウジング２２の流路が円錐形状ではな
く、円錘形とアール面を組み合わせた形状である以外は
濾過装置１０と同じであるが、濾過装置１０と同様に流
れが全く生じない部分が実質上なく、そのため滞留がほ
とんど生じないという特徴を有する。

【００５３】なお、本発明において、滑らかであると
は、デッドスペースを実質上有しないことである。ここ
でいうデッドスペースとは気体や塗液が滞留し易いハウ
ジングの箇所である。具体的な例としては、図４、５の
断面（（上流−下流方向に対して平行の平面で切断した
断面）において、１つの角（３ｍｍ以下のＲを有するも
のも含む）を挟んだ２つの壁面により形成される形状で
ある。仮にかかるデッドスペースが有ったとしても、ハ
ウジング内部から計った２つの壁面の成す角度が１５０
〜１８０°（より好ましくは１７０〜１８０゜）または
２つの壁面に挟まれた角を起点とする壁面の長さの短い
方が１μｍ以下（より好ましくは０．１μｍ以下）であ
るならば、実質上デッドスペースが存在しないものと考
えても良い。

【００５４】本発明においては、上流または下流の流路
の少なくとも一方が、上記の通り、滑らかな拡大した形
状または滑らかに縮小した形状を有していることが好ま
しい。勿論、上下流の流路とも前述のように滑らかな形
状であることが好ましい。しかし、一方のみでも効果が
あり、その場合、滞留して発生する異物を濾過できるこ
とを考慮すると、上流の流路のみが滑らかに拡大した形
状であるよりも、下流の流路のみが滑らかに縮小した形
状を有している方が好ましい。

【００５５】また、本発明に用いられるフィルタの形状
については特に限定されるものではなく、多角形状、楕
円形状、またはその他の曲線形状等が挙げられるが、フ
ィルタ全面で均一に濾過を行なうという点でディスク形
状であることが好ましい。なお、図４〜７では、既に示
したとおり、ディスク形状のフィルタの例を挙げてい
る。

【００５６】さらに濾過装置１０のディスク状フィルタ
１３の下流側に隣接して配置される下流側スクリーン１
５の開口率は６０％以上にすることが好ましく、より好
ましくは８５％以上である。開口率が上記範囲内にある
と、圧力が付加されるフィルタ１３を支持するための接
触面積が必要最小限となるので、フィルタ１３と下流側
スクリーン１５の接触面での滞留発生を防止することが
できる。開口率が６０％より小さいと、接触面で塗液が
滞留しやすくなる。開口率を大きくして接触面積を小さ
くするには、図９に示すような幅１ｍｍ以下の線状物で
下流側スクリーン１５を構成することが好ましい。

【００５７】なお、適切なエアー抜き方法の実行が困難
な場合には、ディスク状フィルタ１３に隣接して配置さ
れる上流側スクリーン１４の開口率は１０〜５０％にす
ることが好ましく、より好ましくは１５〜３０％であ
り、下流側スクリーンについては好ましくは９５％以下
である。開口率が上記範囲内にあると、ディスク状フィ
ルタ１３の上流側に残留するエアーがフィルタ１３を通
過する濾圧を高くすることができるので、エアーをフィ
ルタ１３を容易に通過させて、流出口１９から排出する
ことができる。そして、前記の通り、適切なエアー抜き
方法の実行が困難な場合には、上流側スクリーン１４と
しては、図８に示すように円板形状の板材に多数の孔を
設けたものを用いることも好ましく、穴の直径はφ３ｍ
ｍ以下、より好ましくはφ０．５〜１ｍｍにするが、開
口率を満足するなら、図９のような線状物で任意の形状
に構成してもよい。

【００５８】次に本発明の塗工装置に備えられた濾過装
置１０は、その構成から従来の濾過装置３０に比べて、
容易にエアー抜きを行ったり、外部からのエアー侵入を
防止したりすることができるので、以下にその理由を説
明する。

【００５９】濾過装置１０では、フィルタ１３の周囲に
デッドスペースを実質上形成しない環状シール材１７を
配置しているので、図７に示すような従来の濾過装置３
０にあるエアー残留箇所であるデッドスペースＢがな
く、デッドスペースＢのエアーがフィルタ１３に侵入す
ることを皆無にできる。また、フィルタ１３として焼結
金属フィルタを用いる場合は、デッドスペースを実質上
形成しない環状シール材１７をなくして、フィルタ１３
の周縁をプレスして空隙をなくすことで、その代替とし
てもよい。ここでデッドスペースを実質上形成しない環
状シール材とは、前記環状シール材とそれに接する他の
部材（ハウジング、スクリーン、フィルタ）とぴったり
と密着して、隙間を形成しないものである。その為に
は、前記環状シール材は、それがはめ込まれる空間形状
に適合した形状を有し、かつ、適度の弾力を有する必要
がある。特に径方向にフィルタの大きさの誤差を吸収す
る為に弾力を有することは重要である。また、径方向に
は、前記環状シール材の内径側面は環状パッキンの内壁
側面よりも２〜５ｍｍ外周側にあることが好ましい。前
記数値範囲を下回ると、上流からの流体の一部がフィル
タを通らず素通りする恐れがあり、前記数値範囲を上回
ると環状シール材の外周部にエアーが残留して好ましく
ないことがあるからである。

【００６０】また、濾過装置１０は、下流側ハウジング
１２の流路がフィルタ１３から流出口１９に向かって上
向きで滑らかに縮小される形状であるので、フィルタ１
３を通過したエアーは、その浮力によって流出口１９に
集まり、容易に濾過装置１０外に排出することができ
る。

【００６１】以上の構成によって、エアーを容易に排出
し、さらに外部からのエアーの侵入もないことから、濾
過装置内に全くエアーが残らないため、圧力変動の大き
い塗布開始時および終了時の吐出応答性が残留エアーに
妨げられず、良好となり、膜厚が均一で高品位の膜面を
得ることができる。

【００６２】さらに、本特許発明者は、エアーを効率よ
く排出するために、濾過装置の下流側に圧力計と弁をこ
の順で設置し、弁を閉じて塗液を送液して濾過装置の内
圧を上昇させ、圧力計による検知圧力が設定値に達した
時点で弁を急激に解放することにより、濾過装置内部の
残存エアーを吐出させることが著しく有効であることを
新たに発見した。これを図１を用いて具体的に説明す
る。フィルタ６からダイ口金７の間に圧力計と弁をこの
順で設置し、前述のように弁を閉じて塗液を送液する。
圧力計による検知圧力が規定値に達した時点で弁を急激
に解放させ、フィルタ６の内部に滞留している残存エア
ーを塗液と共に一気に吐出させる。この際、弁の解放は
圧力計と連動して自動で行うことが好ましいが、圧力計
を見ながら手動で実施しても構わない。自動で実施すれ
ば、定量供給ポンプ４が１回の吐出を行う間に、前記エ
アー吐出動作を複数回実施することが容易となる。この
際、定量ポンプ４が塗液を吐出しながら前記エアー吐出
動作を１回実施した後、再び弁を閉じてエアー吐出動作
待機に入るまでの時間をできるだけ短く設定してやれ
ば、１回の吐出中に前記エアー吐出動作を数多く実施す
ることができ、エアー抜き作業時間を短縮することがで
きる。フィルタ６以降の異常滞留による異物発生を抑制
するため、エアー抜き完了後は圧力計と弁をフィルタ６
とダイ口金７の間から除去することが好ましい。

【００６３】なお、上流側スクリーン１４および下流側
スクリーン１５の材質は、剛性と防錆の点からステンレ
スとすることが好ましい。ただし、フィルタ１３として
焼結金属フィルタのような剛性の高いものを使用する場
合は、下流側スクリーン１５はなくてもよい。

【００６４】デッドスペースを実質上形成しない環状シ
ール材１７の形状としては、ハウジングへの密着性の点
から、断面が方形であることが好適であり、材料として
は、耐薬品性に優れ、膨潤しにくい赤シリコン、テフロ
ン（登録商標）等が好ましい。

【００６５】フィルタ１３として使用可能なものとし
て、前述のようにポリプロピレン、ポリエチレン、四フ
ッ化エチレン、グラスファイバー等の織布・不織布、多
孔質セラミック、焼結金属等があるが、濾過性能を満た
すなら、これら以外のものを使用してもよい。最も好ま
しいのは、前述のようにステンレス焼結金属である。

【００６６】特にカラーフィルタ用顔料分散カラーペー
ストに適用する場合について、以下に詳細に説明する。

【００６７】着色剤としては、有機顔料、無機顔料など
を用いることができ、色度特性や耐熱性、耐薬品性、耐
光性などの点で有機顔料を使用することが望ましい。さ
らに、紫外線吸収剤、分散剤、レベリング剤などの種々
の添加剤を添加しても良い。特に、顔料の分散安定性を
向上させ、降伏値を下げるためには、分散安定剤を添加
することが望ましい。

【００６８】またブラックペーストにおいては、遮光剤
として、カーボンブラック、酸化チタン、酸窒化チタ
ン、四酸化鉄などの金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属
粉の他に、赤、青、緑色の顔料の混合物などを用いるこ
とができる。この中でも、カーボンブラックは遮光性が
優れており、特に好ましい。分散性に優れた粒径の小さ
いカーボンブラックは主として茶系統の色調を呈するの
で、カーボンブラックに対する補色の顔料を混合させて
無彩色にするのが好ましい。また、基板に平行な向きの
電界で駆動する液晶表示装置に用いるカラーフィルタ用
のブラックペーストには、ブラックマトリックスの体積
抵抗値を高くするために酸窒化チタンを使用することが
好ましい。これらのブラックペーストには、着色ペース
トの場合と同様に、紫外線吸収剤、分散剤、およびレベ
リング剤などの種々の添加剤を添加しても良い。特に、
遮光剤の分散安定性を向上させ、降伏値を下げるために
は、分散安定剤を添加することが望ましい。

【００６９】ペーストに用いられるマトリックス樹脂と
しては、特に制限はなく、エポキシ系樹脂、アクリル系
樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリイミ
ド系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、およびゼラチンなど
の感光性または非感光性の材料が好ましく用いられ、着
色剤または遮光剤をこれらの樹脂中に分散あるいは溶解
させて着色することが好ましい。

【００７０】感光性の樹脂としては、光分解型樹脂、光
架橋型樹脂、光重合型樹脂などのタイプがあり、特に、
エチレン不飽和結合を有するモノマ、オリゴマまたはポ
リマと紫外線によりラジカルを発生する開始剤とを含む
感光性組成物、感光性ポリアミック酸組成物などが好適
に用いられる。

【００７１】非感光性の樹脂としては、上記の各種ポリ
マなどで現像処理が可能なものが好ましく用いられる
が、透明導電膜の成膜工程や液晶表示装置の製造工程で
かかる熱に耐えられるような耐熱性を有する樹脂が好ま
しく、また、液晶表示装置の製造工程で使用される有機
溶剤への耐性を持つ樹脂が好ましいことから、ポリイミ
ド系樹脂、アクリル樹脂が特に好ましく用いられる。

【００７２】マトリックス樹脂がポリイミド系樹脂の場
合、溶媒としては、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（以
下、ＮＭＰとする）、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、
Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドなどのアミド系極性溶
媒、γ−ブチロラクトン（以下、γＢＬとする）などの
ラクトン系極性溶媒などが好適に使用される。

【００７３】ポリイミド系樹脂としては、特に限定され
ないが、通常下記の一般式（１）で表される構造単位を
主成分とするポリイミド前駆体（ｎ＝１〜２）を、加熱
もしくは適当な触媒によってイミド化したものが好適に
用いられる。

【００７４】

【化１】

【００７５】また、ポリイミド系樹脂には、イミド結合
の他に、アミド結合、スルフォン結合、エーテル結合、
カルボニル結合などのイミド結合以外の結合が含まれて
いても差し支えない。

【００７６】上記一般式（１）中、Ｒ１は少なくとも２
個以上の炭素原子を有する３価または４価の有機基であ
る。耐熱性の面から、Ｒ１は環状炭化水素、芳香族環又
は芳香族複素環を含有し、かつ炭素数６〜３０の３価ま
たは４価の基が好ましい。

【００７７】Ｒ１の例として、フェニル基、ビフェニル
基、ターフェニル基、ナフタレン基、ペリレン基、ジフ
ェニルエーテル基、ジフェニルスルフォン基、ジフェニ
ルプロパン基、ベンゾフェノン基、ビフェニルトリフル
オロプロパン基、シクロブチル基、シクロペンチル基な
どが挙げられるが、これらに限定されない。

【００７８】Ｒ２は少なくとも２個以上の炭素原子を有
する２価の有機基であるが、耐熱性の面から、Ｒ２は環
状炭化水素、芳香族環又は芳香族複素環を含有し、かつ
炭素数６〜３０の２価の基が好ましい。Ｒ２の例とし
て、フェニル基、ビフェニル基、ターフェニル基、ナフ
タレン基、ペリレン基、ジフェニルエーテル基、ジフェ
ニルスルフォン基、ジフェニルプロパン基、ベンゾフェ
ノン基、ビフェニルトリフルオロプロパン基、ジフェニ
ルメタン基、ジシクロヘキシルメタン基などが挙げられ
るが、これらに限定されない。

【００７９】前記一般式（１）を主成分とするポリマに
おいては、Ｒ１、Ｒ２が上記したもののうち、各々１種
類から構成されていても良いし、各々２種以上から構成
される共重合体であってもよい。さらに、基板との接着
性を向上させるために、耐熱性を低下させない範囲でジ
アミン成分として、シロキサン構造を有するビス（３−
アミノプロピル）テトラメチルジシロキサンなどを共重
合するのが好ましい。

【００８０】前記一般式（１）を主成分とするポリマの
具体的な例として、ピロメリット酸二無水物、３，
３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
水物、４，４’−オキシジフタル酸無水物、３，３’，
４，４’−ビフェニルトリフルオロプロパンテトラカル
ボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ビフェニルスル
フォンテトラカルボン酸二無水物、２，３，５−トリカ
ルボキシシクロペンチル酢酸二無水物などからなる群か
ら選ばれた１種以上のカルボン酸二無水物と、パラフェ
ニレンジアミン、３，３’−ジアミノジフェニルエーテ
ル、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、３，４’
−ジアミノジフェニルエーテル、３，３’−ジアミノジ
フェニルスルフォン、４，４’−ジアミノジフェニルス
ルフォン、４，４’−ジアミノジシクロヘキシルメタ
ン、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、４，４’−
ジアミノベンズアニリドなどの群から選ばれた少なくと
も１種以上のジアミンから合成されたポリイミド前駆体
が挙げられるが、これらに限定されない。これらのポリ
イミド前駆体は公知の方法、すなわち、テトラカルボン
酸二無水物とジアミンを選択的に組み合わせ、溶媒中で
反応させることにより合成される。

【００８１】本発明のカラーフィルタ用ペーストは、例
えば、溶媒中に樹脂と着色剤または遮光剤を混合させた
後、三本ロール、サンドグラインダー、ボールミル、サ
ンドミル等の分散機中で分散させる方法などにより製造
することができる。

【００８２】次に、本発明のカラーフィルタ用ペースト
を用いたカラーフィルタの製造方法について説明する。

【００８３】すなわち、上記したカラーフィルタ用ペー
ストを使用してカラーフィルタの製造を行うものであ
り、具体的には透明基板上に、着色ペーストおよび／ま
たはブラックペーストとして、上記したカラーフィルタ
用ペーストを塗布することによりカラーフィルタを製造
することができる。

【００８４】以下、カラーフィルタの製造方法について
例を挙げてさらに説明する。

【００８５】本発明においてカラーフィルタは、透明基
板上に３原色からなる着色層を複数配列したものであ
り、カラーフィルタは３原色からなる各着色層により形
成された画素を一絵素とし、多数の絵素により構成され
たものを意味する。

【００８６】また３原色としては、加色混法によりカラ
ー表示を行う場合には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）
の３原色が選ばれ、減色混法によりカラー表示を行う場
合には、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、およびイエロ
ー（Ｙ）の３原色が選ばれる。これらの３原色を含んだ
要素を１単位としてカラー表示の絵素とすることができ
る。

【００８７】透明基板としては、特に限定されるもので
なく、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、アルミノケイ酸
塩ガラス、表面をシリカコートしたソーダライムガラス
などの無機ガラス類、有機プラスチックのフィルムまた
はシートなどが好ましく用いられる。

【００８８】着色層は、例えば、着色ペーストを直接あ
るいはあらかじめブラックマトリックスを形成した透明
基板上に塗布・乾燥した後に、パターニングを行うこと
により形成することができる。

【００８９】なお、ブラックペースト、着色ペーストを
塗布する方法としては、先に述べたスピンコーティング
法、ロールコーティング法、バーコーティング法、ダイ
コーティング法などを用いることができ、ダイコーティ
ング法が好ましく挙げられるが、これらの方法に特に限
定されない。なお、ダイコーティング法で用いられるダ
イ口金の詳細を図１０に示した。即ち、ダイ口金７は、
長尺なブロック形状のリアリップ７１とフロントリップ
７２の間に図示しないシムを挟みこみ、図示しない複数
の連結ボルトで相互に一体的に結合して構成されてい
る。ダイ口金７の内部では、その中央部分にマニホール
ド７３が形成されており、マニホールド７３は口金供給
ホース７０に内部通路（図示しない）を介して常時接続
されている。そして、マニホールド７３は、リアリップ
７１、フロントリップ７２の間に挟みこんだシムと同じ
厚さを持つスリット７４とつながっている。このスリッ
ト７４の下端は、吐出面７５にて開口して、塗液を吐出
する吐出口７６になっている。そして塗液が吐出口７６
から吐出されると、吐出面７５と被塗工材９との間にビ
ードＣが形成される。被塗工材９はステージ８０に吸着
保持され、任意の速度で往復動させることができる。

【００９０】なお、本発明ではダイコータを例として説
明したが、本発明の濾過装置は、スピンコータ、バーコ
ータ、ロールコータ等すべての塗布装置にも好ましく適
用することができる。

【００９１】また、被塗工材９としてはガラス基板の他
にアルミ等の金属板、セラミック板、シリコンウエハー
等を用いても良い。

【００９２】透明基板へペーストを塗布してウェット膜
を形成した後、オーブンやホットプレートを用いて加熱
乾燥（セミキュア）を行う。セミキュア条件は、使用す
る樹脂、溶媒、ペースト塗布量により異なるが６０〜２
００℃で１〜６０分加熱することが好ましい。

【００９３】このようにして得られたペースト塗膜は、
樹脂が非感光性の樹脂である場合は、その上にポジ型フ
ォトレジストの塗膜を形成した後に、また、樹脂が感光
性の樹脂である場合は、そのままかあるいは酸素遮断膜
を形成した後に、露光・現像を行い、樹脂ブラックマト
リクス、着色層を形成することができる。必要に応じ
て、ポジ型フォトレジストまたは酸素遮断膜を除去し、
再び、加熱乾燥（キュア）する。キュア条件は樹脂によ
り異なるが、ポリイミド前駆体からポリイミド系樹脂を
得る場合には、通常２００〜３００℃で１〜６０分加熱
すればよい。

【００９４】なお、着色層のキュア後膜厚は、要求され
る色特性と着色ペーストの着色剤／マトリックス樹脂比
率により決定される。なお着色剤／マトリックス樹脂比
率は重量比で５／９５〜７０／３０の範囲が好ましく、
１０／９０〜６０／４０の範囲がより好ましい。着色剤
比率が５未満の場合、十分な色純度を得るために塗布す
る必要のある膜厚が厚くなり、画素間の段差が大きくな
り、液晶の配向不良などの弊害が発生することがある。
着色剤比率が７０を超えると、マトリックス樹脂が不足
するため画素の密着性が悪くなる傾向がある。着色剤／
マトリックス樹脂比率が上記好ましい比率である場合、
望ましい色特性を得るために塗布するキュア後膜厚を
０．２〜４μｍとすることが好ましい。０．２μｍ以上
とすることが色純度の点で好ましく、４μｍ以下とする
ことが光透過率の点で好ましい。

【００９５】なおブラックマトリックスには、通常（２
０〜２００）μｍ×（２０〜３００）μｍの開口部が設
けられるが、この開口部を少なくとも被覆するように３
原色からなる着色層が複数配列される。３原色のパター
ン配置は、モザイク型、トライアングル型、ストライプ
型、４画素配置型など目的により、いずれも好適に用い
ることができる。

【００９６】また、上記製造方法においては着色ペース
トおよびブラックペーストの少なくとも一方に本発明の
着色ペースト、ブラックペーストを用いればよく、着色
ペーストとして本発明の着色ペーストを用いた場合は、
ブラックマトリックスが、Ｃｒ、Ａｌ、Ｎｉなどの金属
薄膜（厚さ約０．１〜０．２μｍ）やＣｒと透明基板間
に酸化クロムや酸窒化クロム等の層を設けた多層クロム
膜などの無機材料からなるものであってもよい。

【００９７】なおブラックマトリックスの遮光性は、Ｏ
Ｄ値（透過率の逆数の常用対数）で表されるが、液晶表
示装置の表示品位を向上させるためには、好ましくは
２．５以上であり、より好ましくは３以上である。ＯＤ
値の上限は、ブラックマトリックスの膜厚により定めら
れる。

【００９８】本発明のブラックペーストを用いた樹脂ブ
ラックマトリックスの場合、膜厚は、好ましくは０．５
〜１．５μｍ、より好ましくは０．８〜１．２μｍであ
る。膜厚が、０．５μｍよりも薄いと、遮光性の点で好
ましくない。また、膜厚が１．５μｍよりも厚い場合
は、遮光性は確保できるものの、カラーフィルタの平坦
性が犠牲になり易く、段差が生じ易い。表面段差が生じ
た場合、カラーフィルタ上部に透明導電膜や液晶配向膜
を形成させても段差は殆ど軽減されず、液晶配向膜のラ
ビングによる配向処理が不均一になり、液晶表示装置の
表示品位が低下する。表面段差を小さくするためには、
着色層上に透明保護膜を設けることが有効である。

【００９９】また、ブラックマトリックスの反射率は、
画素と遮光領域の境界面における反射光による影響を低
減し液晶表示装置の表示品位を向上させるために、４０
０〜７００ｎｍの可視領域での視感度補正された反射率
（Ｙ値）で２％以下が好ましく、より好ましくは１％以
下である。反射率が２％を越えると、表面反射光のため
に表示コントラストが低下する。

【０１００】次に、本発明のカラーフィルタ用ペースト
を用いて作成したカラー液晶表示装置について説明す
る。本発明において、カラー液晶表示装置は透明電極基
板と透明電極を有するカラーフィルタにより液晶層を挟
持したものであり、カラーフィルタが上記したカラーフ
ィルタ用ペーストにより製造されたものであればよい。
カラーフィルタには、必要に応じて着色層上に透明保護
膜を設けても差し支えなく、また、カラーフィルタ上に
は透明電極としてＩＴＯ膜などを形成した上で透明電極
基板を対向させる。

【０１０１】カラーフィルタと対向する透明電極基板と
しては、ＩＴＯ膜などの透明電極が透明基板上にパター
ン化されて設けられ、さらに、透明電極基板に、透明電
極以外に、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）素子や薄膜ダイ
オード（ＴＦＤ）素子、走査線、信号線などを目的に応
じて設けることにより、ＴＦＴ液晶表示装置やＴＦＤ液
晶表示装置を作製することができる。

【０１０２】なお、カラー液晶表示装置は、透明電極を
有するカラーフィルタおよび透明電極基板上に液晶配向
膜を設け、ラビングなどによる配向処理が施され、次
に、プラスチックビーズなどをスペーサーとして散布
し、シール剤を用いてカラーフィルタおよび透明電極板
を貼り合わせ、シール部に設けられた注入口から液晶を
注入した後に、注入口を封止し、製造することができ
る。さらに、偏光板を基板の外側に貼り合わせた後にＩ
Ｃドライバーなどを実装することによりモジュールが完
成する。

【０１０３】上記した本発明のカラー液晶表示装置は、
パソコン、ワードプロセッサ、エンジニアリング・ワー
クステーション、ナビゲーションシステム、液晶テレ
ビ、ビデオなどの表示画面に用いられ、また、液晶プロ
ジェクションなどにも好適に用いられる。

【０１０４】なお、図２は図１と実質的な差がないた
め、説明を省略した。

【０１０５】

【実施例】以下に、実施例を挙げて本発明をさらに詳し
く説明するが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。

【０１０６】また、実施例中で使用されるポリイミド前
駆体Ａ−１、オリゴアミック酸分散剤Ａ−２、カラーフ
ィルタ用顔料分散赤ペーストは次の方法で製造されたも
のとする。

【０１０７】Ａ．ポリイミド前駆体Ａ−１の製法３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無
水物、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、およ
び、ビス（３−アミノプロピル）テトラメチルジシロキ
サンをγＢＬおよびＮＭＰの混合溶媒中で反応させ、ポ
リイミド前駆体Ａ−１の溶液を得た。

【０１０８】Ｂ．オリゴアミック酸分散剤Ａ−２の製法３，３’，４，４’−ジフェニルスルホンテトラカルボ
ン酸二無水物、無水ピロメリット酸二無水物、３，３’
−ジアミノジフェニルスルホン、および、ビス（３−ア
ミノプロピル）テトラメチルジシロキサンをγＢＬ溶媒
中で反応させた後、２−アミノアントラキノンで末端封
止し、オリゴアミック酸分散剤Ａ−２の溶液を得た。

【０１０９】Ｃ．カラーフィルタ用顔料分散Ｒペースト
の製法ホモジナイザー（日本精機製作所製）を用い、ガ
ラスビーズ（東芝バロディーニ製ＧＢ７３７）を分散メ
ディアとして、７０００ｒｐｍで３０分間攪拌し、顔料
分散液を得た後、希釈し、以下の組成の着色ペースト
（固形成分濃度５．１ｗｔ％）を得た。本赤ペーストの
粘度は２３ｍＰａ・ｓであった。

【０１１０】赤顔料１：ＰｉｇｍｅｎｔＲｅｄ２５４０．８ｗｔ％赤顔料２：ＰｉｇｍｅｎｔＲｅｄ１７７０．３ｗｔ％黄顔料：ＰｉｇｍｅｎｔＹｅｌｌｏｗ１３８０．３ｗｔ％分散剤：オリゴアミック酸Ａ−２０．１ｗｔ％樹脂：ポリイミド前駆体Ａ−１３．６ｗｔ％溶媒：ＮＭＰ、γＢＬ９４．９ｗｔ％実施例１〜６、比較例１〜３図１に示すダイコーティング方式にて清浄なガラス基板
（０．６２ｍ×０．７５ｍ）に上記Ｒペーストを１００
枚塗布し、ポリマゲル状粒および顔料凝集粒の個数の推
移を調べた。結果を表１に示す。

【０１１１】

【表１】

【０１１２】注１）ＧＦ：グラスファイバーＳＵＳ：ＳＵＳ３１６ＰＴＦＥ：四フッ化エチレン注２）樹脂はＪＩＳＫ６９１１基づき測定した値、
ＧＦおよびＳＵＳは引っ張り試験機にて測定した値注３）塗布開始後１シート目の突起高さ１０μｍ以上
のポリマーゲル状粒および顔料凝集異物の合計ををカウ
ントした。

【０１１３】注４）１００枚続塗工における注３記載
の異物の増加を調べた。

【０１１４】良好：ほとんど変化がない不良：明らかに増加傾向が見られるヤング率が２００ＭＰａより小さい濾材を使用した比較
例１〜３では、突起高さ１０μｍ以上のポリマーゲル状
粒および顔料凝集粒の合計（表中では「凝集粒」と記
載）が著しく多いため、これを研磨テープ等による公知
の突起修正技術を用いて個々修正すると、修正に要する
時間が長く必要となり、実質上カラーフィルタの生産歩
留まりが低下する。また、このままカラーフィルタとし
て使用すると、対向する透明電極基板と凝集粒が接触し
て液晶表示素子の画素欠点となる。また、１００枚連続
塗工における凝集粒の個数が明らかに増加傾向にあるた
め、フィルタの交換頻度を多くする必要がある。

【０１１５】一方、ヤング率が２００ＭＰａ以上の濾材
を使用した実施例１〜６では、凝集粒が少なく、研磨テ
ープ等を用いた公知の突起修正技術により個々に修正可
能である。特にステンレス焼結金属を用い、かつ、最も
孔径の小さい濾材である実施例３においては凝集粒の発
生は皆無であった。また、実施例１〜６では、１００枚
連続塗工における凝集粒の増加傾向も見られず、フィル
タの交換頻度も少なくて済む。

【０１１６】実施例７３６０×４６５ｍｍで厚さ０．７ｍｍの無アルカリガラ
ス基板上に、基板の幅方向にピッチが４５６μｍ、基板
の長手方向にピッチが１５２μｍ、線幅が３０μｍ、Ｒ
ＧＢ画素数が１９２０（基板長手方向）×４８０（基板
幅方向）、全体の対角の長さが１４．４インチ（基板幅
方向に２１９ｍｍ、基板長手方向に２９２ｍｍ）となる
格子形状で、厚さが１μｍのブラックマトリックス膜を
形成した。ブラックマトリックス膜は、チタン酸窒化物
を遮光材、ポリアミック酸をバインダーとして用いたも
のであった。

【０１１７】次いで、上流側スクリーン１４として開口
率６０％で、開口部がφ０．５ｍｍの多数の孔で形成さ
れた厚みもの、下流側スクリーン１５として開口率９０
％で、幅０．８ｍｍの線状物で図９に示すようにスコー
プ形状に形成された厚みもの、フィルタ１３として孔径
４μｍで直径９０ｍｍの燒結金属フィルタを用い、さら
に内部流路形状を流入口１９からフィルタ１３に向かっ
て０．０７の割合で拡大し、フィルタ１３から流出口１
９に向かって０．２２の割合で縮小する円鐘形状にした
図４に示す濾過装置１０を用意した。この濾過装置１０
を備えた図１に示すダイコータで、ポリアミック酸をバ
インダーとして、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２
−ピロリドンおよび３−メチル−３−メトキシブタノー
ルの混合物を溶媒として、さらに、ピグメントレッド１
７７を顔料にして固形分濃度１０％で混合し、さらに粘
度を５０ｍＰａ・ｓに調整したＲペーストをバッファタ
ンク２に充填し、定量供給ポンプ４で吐出速度８０００
μｌ／ｓ、吐出時間３ｓ、吸引速度３０００μｌ／ｓ、
吸引時間８ｓの送液条件でバッファタンク２からダイ口
金７までエアーを排出しつつ、塗液の充填を行った。本
条件では、エアーを完全に排出するには１０分間を要し
た。ここで、ダイ口金７にはスリット間隙１００μｍ、
スリット幅２２０ｍｍのものを用いて、ウェット洗浄に
よってパーティクルを除去した基板上に、基板との間隙
を１００μｍに設定して、塗布厚み２０μｍ、塗布速度
３ｍ／ｍｉｎにて全面均一に塗布した。塗布された基板
はホットプレートを使用した乾燥装置で１００℃で２０
分乾燥した。続いて、固形分濃度１０％、粘度８％のレ
ジスト液を１０μｍ塗布後、９０℃のホットプレートで
１０分乾燥後、フォトマスクを用いて露光・現像・剥離
をして、Ｒ画素部のみに塗膜を残し、２６０℃のホット
プレートで３０分加熱して、キュアを行った。

【０１１８】同様の色塗膜の形成をＧ、Ｂ色について
も、Ｒ色と同様にダイコータを用いて、全面に均一な塗
膜を形成後、所定格子状パターンに加工を行って色塗膜
を形成した。ここでＧ色の塗布液には、Ｒ色の塗布液で
顔料をピグメントグリーン３６にして固形分濃度１０％
で粘度を４０ｍＰａ・ｓに調整したもの、Ｂ色の塗布液
には、Ｒ色の塗布液で顔料をピグメントブルー１５にし
て固形分濃度１０％で粘度を５０ｍＰａ・ｓに調整した
ものを用いた。

【０１１９】そして最後にＩＴＯをスパッタリングで蒸
着させ、カラーフィルタを作成した。作成したカラーフ
ィルタの膜厚と異物発生数を測定した結果、塗布開始部
および終了部の膜厚不良領域は平均９．５ｍｍであっ
た。また、粒子径４μｍ以上の異物発生数は平均３個／
枚であった。

【０１２０】比較例４次に、濾過装置として従来の濾過装置３０を用いた以外
は上記実施例と全く同じ条件でカラーフィルタを作成し
た。同様に作成したカラーフィルタの膜厚と異物発生数
を測定した結果、塗布開始部および終了部の膜厚不良領
域は平均１８ｍｍ、粒子径４μｍ以上の異物発生数は平
均７個／枚であった。

【０１２１】

【発明の効果】本発明では、ヤング率が２００ＭＰａ以
上の濾材を使用したフィルタを具備することにより、被
濾過液の供給が非定常的な工程を有する場合、特に枚葉
塗工に必然となる塗液の間欠濾過における濾過圧力の急
峻な変化に対して孔径の変化がなくなるため、所望の濾
過精度を高く保つことができる。従って、塗液の製造工
程から混入する環境異物、また、塗液がポリマー溶液で
ある場合は、ポリマーゲルやモノマー残渣等の異物、塗
液がスラリーである場合は粒子の凝集物等やバインダー
樹脂（ポリマーまたはポリマー前駆体、感光性バインダ
ーを用いる場合はその前駆体等）起因の異物を効果的に
捕捉し、粒欠点のない高品位な膜面を得ることができ
る。

【０１２２】また、本発明では、流入口からフィルタに
向かって滑らかに拡大した形状、または、フィルタから
流出口に向かって滑らかに縮小した形状の流路を有して
いるので、濾過装置内の滞留箇所を皆無にして、エアー
を完全に排出することができる。さらに、フィルタの上
下流側に開口率６０％以上のスクリーンを隣接して配置
し、さらにフィルタの周囲にデッドスペースを実質上形
成しない環状シール材を接して配置する構成を有してい
ることにより、一層その効果を高めることができる。し
たがって、滞留による異物欠点がなく、残留エアーによ
って塗布開始・終了時の吐出応答性が妨げられないため
に塗布開始部および終了部の膜厚精度が高く、膜厚均一
性に優れた高品質なカラーフィルタを高い生産性で製造
することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ダイコータを使用した本発明の枚葉塗工の一実
施例を示すフロー図である。

【図２】ダイコータを使用した本発明の枚葉塗工の他の
実施例を示すフロー図である。

【図３】ダイコータを使用した本発明の枚葉塗工のさら
に他の実施例を示すフローずである。

【図４】本発明の塗工装置に備えた濾過装置の一実施例
を示す断面図である。

【図５】本発明の塗工装置に備えた濾過装置の他の実施
例を示す断面図である。

【図６】従来の塗工装置に備えた濾過装置を示す断面図
である。

【図７】図３の従来の濾過装置のシール部の拡大断面図
である。

【図８】上流側スクリーンの一実施例を示す平面図であ
る。

【図９】下流側スクリーンの一実施例を示す平面図であ
る。

【図１０】ダイ口金部の断面略図である。

【符号の説明】

１：塗液タンク２：バッファタンク３：切替弁４：定量供給ポンプ５：切替弁６：フィルタ７：ダイ口金８：ステージ９：被塗工材１０：濾過装置１１：上流側ハウジング１２：下流側ハウジング１３：フィルタ１４：上流側スクリーン１５：下流側スクリーン１６：環状パッキン１７：デッドスペースを実質上形成しない環状シール材１８：流入口１９：流出口２０：濾過装置２１：上流側ハウジング２２：下流側ハウジング２８：流入口２９：流出口３０：従来の濾過装置３１：上流側ハウジング３２：下流側ハウジング３７：Ｏリング３８：流入口３９：流出口７０：口金供給ホース７１：リアリップ７２：フロントリップ７３：マニホールド７４：スリット７５：吐出面７６：吐出口Ａ：滞留部Ｂ：デッドスペースＣ：ビード

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｂ０５Ｃ 5/02 Ｂ０５Ｄ 1/26 Ｚ４Ｆ０４１Ｂ０５Ｄ 1/26 3/00 Ｂ４Ｆ０４２ 3/00 Ｇ０２Ｂ 5/20 １０１Ｇ０２Ｂ 5/20 １０１Ｂ０１Ｄ 35/02 Ｚ (72)発明者富松伸二滋賀県大津市園山１丁目１番１号東レ株式会社滋賀事業場内 (72)発明者小林裕史滋賀県大津市園山１丁目１番１号東レ株式会社滋賀事業場内Ｆターム(参考） 2H048 BA43 BA45 BA47 BA48 BB42 4D006 GA02 HA41 JA02C JA14A JA14B JA18A JA18B KA12 KA72 KB17 KB30 KE05Q MA03 MA08 MA09 MA22 MB01 MB16 MC02 MC02X PA01 PB13 PC01 PC80 4D019 AA03 BA02 BA04 BA05 BB03 BB06 BB09 BC15 BD01 CB04 4D064 AA40 CD03 4D075 AC02 AC84 AC93 AC94 AC95 AC96 CA48 DA06 DB07 DB13 DB14 DC22 DC24 EA14 EB07 EB13 EB22 EB33 EB35 EB38 EB39 EC11 4F041 AA02 AA05 AB02 BA02 BA31 BA34 CA02 4F042 AA02 AA10 BA03 BA06 BA08 BA12 BA15 CB02 CB11 CB25

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】塗液を非定常的に供給する塗工装置におい
て、フィルタを具備するとともに、前記フィルタの濾材
のヤング率が２００ＭＰａ以上であり、かつ、前記フィ
ルタの孔径が０．０５μｍ以上１００μｍ以下であるこ
とを特徴とする塗工装置。
【請求項２】塗液を間欠的に供給する枚葉塗工装置にお
いて、吐出ノズル部より上流側にフィルタを具備すると
ともに、前記フィルタの濾材のヤング率が２００ＭＰａ
以上であり、かつ、前記フィルタの孔径が０．０５μｍ
以上１００μｍ以下であることを特徴とする枚葉塗工装
置。
【請求項３】前記フィルタの濾材が焼結金属であること
を特徴とする請求項１または２に記載の塗工装置。
【請求項４】フィルタを使用する濾過装置において、流
路が、流入口からフィルタに向かって滑らかに拡大した
形状、および／または、フィルタから流出口に向かって
滑らかに縮小した形状を有し、かつその拡大および／ま
たは縮小の割合が式（１）および／または（２）を満た
す濾過装置を備えたことを特徴とする請求項１〜３のい
ずれかに記載の塗工装置。０．０２５≦ｈ_IN／（ｄ_FLT−ｄ_IN）≦１（１）０．１≦ｈ_OUT／（ｄ_FLT−ｄ_OUT）≦１（２）ｄ_IN：流入口径［ｍｍ］ｄ_OUT：流出口径［ｍｍ］ｄ_FLT：フィルタで実際に濾過に使用される径［ｍｍ］ｈ_IN：流入口からフィルタまでの距離［ｍｍ］ｈ_OUT：流出口からフィルタまでの距離［ｍｍ］
【請求項５】前記フィルタの下流側に開口率６０％以上
のスクリーンを隣接して配置するものである請求項４に
記載の塗工装置。
【請求項６】前記フィルタの上流側に開口率６０％以上
のスクリーンを隣接して配置するものである請求項４ま
たは５に記載の塗工装置。
【請求項７】前記フィルタの周囲にデッドスペースを実
質上形成しない環状シール材を接して配置するものであ
る請求項４〜６のいずれかに記載の塗工装置。
【請求項８】粘度が１００，０００ｍＰａ・ｓ以下であ
る塗液を請求項１〜７のいずれかに記載の塗工装置を用
いて塗布することを特徴とする枚葉塗工方法。
【請求項９】前記塗液がスラリーであることを特徴とす
る請求項８に記載の枚葉塗工方法。
【請求項１０】前記スラリーが顔料分散液であることを
特徴とする請求項９に記載の枚葉塗工方法。
【請求項１１】１００ｇ／ｓ・ｍ²以上の濾過速度で濾
過を行うことを特徴とする請求項８〜１０のいずれかに
記載の枚葉塗工方法。
【請求項１２】前記濾過装置の下流側に圧力計と弁をこ
の順で設置し、前記弁を閉じて送液して前記濾過装置の
内圧を上昇させ、前記圧力計による検知圧力が設定値に
達した時点で前記弁を急激に解放することにより、前記
濾過装置内部の残存エアーを吐出させることを特徴とす
る請求項４〜７に記載の枚葉塗工方法。
【請求項１３】請求項８〜１２のいずれかに記載の塗布
方法を用いることを特徴とするカラーフィルタの製造方
法。
【請求項１４】請求項１３に記載の製造方法により製造
されたことを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項１５】請求項１４に記載のカラーフィルタを用
いたことを特徴とするカラー液晶表示装置。