JP2000202344A - 感光性着色樹脂組成物用の塗布装置 - Google Patents
感光性着色樹脂組成物用の塗布装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】顔料分散法により表示装置用カラーフィルタを
製造する際の、感光性着色樹脂組成物を塗布する塗布装
置の全流路において発生する凝集体を除去する塗布装置
を提供する。 【解決手段】感光性着色樹脂組成物の凝集体を濾過する
最終段フィルタ１７を、吐出ノズル先端部に設けるこ
と。
製造する際の、感光性着色樹脂組成物を塗布する塗布装
置の全流路において発生する凝集体を除去する塗布装置
を提供する。 【解決手段】感光性着色樹脂組成物の凝集体を濾過する
最終段フィルタ１７を、吐出ノズル先端部に設けるこ
と。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板上にフォトレ
ジストなどの塗布装置に関するもので、特に、感光性着
色樹脂組成物用の塗布装置に関する。
ジストなどの塗布装置に関するもので、特に、感光性着
色樹脂組成物用の塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置やプラズマディスプレイパ
ネルにおいて、カラー表示、反射率の低減、コントラス
トの改善、分光特性制御などの目的にカラーフィルタを
用いることは有用な手段となっている。この表示装置に
用いるカラーフィルタは、多くの場合、カラーフィルタ
は画素として形成されて使用されるものである。この表
示装置用カラーフィルタの画素を形成する方法として、
これまで実用されてきた方法としては、フォトリソグラ
フィイ法、印刷法などがあげられる。
ネルにおいて、カラー表示、反射率の低減、コントラス
トの改善、分光特性制御などの目的にカラーフィルタを
用いることは有用な手段となっている。この表示装置に
用いるカラーフィルタは、多くの場合、カラーフィルタ
は画素として形成されて使用されるものである。この表
示装置用カラーフィルタの画素を形成する方法として、
これまで実用されてきた方法としては、フォトリソグラ
フィイ法、印刷法などがあげられる。
【０００３】例えば、顔料分散法は、このフォトリソグ
ラフィイ法の一方法であるが、この顔料分散法において
使用するカラーフィルタ用の材料は、感光性着色樹脂組
成物とも称されている。この感光性着色樹脂組成物は、
例えば、高分子樹脂に顔料を分散剤を用いて分散させ、
この分散液に重合性モノマー、光重合開始剤、増感剤、
溶剤などを添加して調製されるものである。
ラフィイ法の一方法であるが、この顔料分散法において
使用するカラーフィルタ用の材料は、感光性着色樹脂組
成物とも称されている。この感光性着色樹脂組成物は、
例えば、高分子樹脂に顔料を分散剤を用いて分散させ、
この分散液に重合性モノマー、光重合開始剤、増感剤、
溶剤などを添加して調製されるものである。
【０００４】そして、この感光性着色樹脂組成物を、ガ
ラス板や半導体ウェハーのような基板上に、例えば、ス
ピナーなどを用いて回転塗布し、この塗膜にフォトマス
クを介してＵＶ露光し、現像処理により表示装置用カラ
ーフィルタの画素を形成するものである。
ラス板や半導体ウェハーのような基板上に、例えば、ス
ピナーなどを用いて回転塗布し、この塗膜にフォトマス
クを介してＵＶ露光し、現像処理により表示装置用カラ
ーフィルタの画素を形成するものである。
【０００５】上記感光性着色樹脂組成物は、感光性着色
樹脂組成物中においては、分散剤によって高分子樹脂に
顔料を分散させ、また、分散した顔料の凝集を防ぐ機能
を果たすようになっている。しかし、高分子樹脂を用い
て顔料を分散させるには、ボールミル、サンドミルなど
の方法で行うものであるが、顔料を一次粒子、または、
それに近い状態にまで微粒子化することは困難なことで
ある。ちなみに、顔料は粒径約１μｍ以下の状態であ
る。感光性着色樹脂組成物中において、粒径約１μｍ以
下の顔料が分散していると、微小な顔料粒子は凝集し易
く、この顔料粒子が核となって、感光性着色樹脂組成物
に凝集体が生じ易いものとなる。
樹脂組成物中においては、分散剤によって高分子樹脂に
顔料を分散させ、また、分散した顔料の凝集を防ぐ機能
を果たすようになっている。しかし、高分子樹脂を用い
て顔料を分散させるには、ボールミル、サンドミルなど
の方法で行うものであるが、顔料を一次粒子、または、
それに近い状態にまで微粒子化することは困難なことで
ある。ちなみに、顔料は粒径約１μｍ以下の状態であ
る。感光性着色樹脂組成物中において、粒径約１μｍ以
下の顔料が分散していると、微小な顔料粒子は凝集し易
く、この顔料粒子が核となって、感光性着色樹脂組成物
に凝集体が生じ易いものとなる。
【０００６】このような凝集体は、その粒径が数μｍに
達するものもあり、これが感光性着色樹脂組成物の中に
存在したまま、吐出ノズルより基板上に滴下され、表示
装置用カラーフィルタの画素が形成されると、カラーフ
ィルタの画素上に凝集体が突出固着した状態になり、カ
ラーフィルタとしては異物と称する欠陥となるものであ
る。
達するものもあり、これが感光性着色樹脂組成物の中に
存在したまま、吐出ノズルより基板上に滴下され、表示
装置用カラーフィルタの画素が形成されると、カラーフ
ィルタの画素上に凝集体が突出固着した状態になり、カ
ラーフィルタとしては異物と称する欠陥となるものであ
る。
【０００７】図６は、基板上に感光性着色樹脂組成物を
塗布する塗布装置の一例を断面で示す説明図である。図
６に示す塗布装置において、レジストタンク（６１）の
中の感光性着色樹脂組成物（６２）は、流路のチューブ
（６３）、第一段フィルタ（６４）、第二段フィルタ
（６５）、及びバルブ（６６）、最終段フィルタ（６
７）を経て、吐出ノズル（６８）よりスピナーのハウジ
ング（７０）内の基板（６９）上に適量が滴下されるよ
うになっている。
塗布する塗布装置の一例を断面で示す説明図である。図
６に示す塗布装置において、レジストタンク（６１）の
中の感光性着色樹脂組成物（６２）は、流路のチューブ
（６３）、第一段フィルタ（６４）、第二段フィルタ
（６５）、及びバルブ（６６）、最終段フィルタ（６
７）を経て、吐出ノズル（６８）よりスピナーのハウジ
ング（７０）内の基板（６９）上に適量が滴下されるよ
うになっている。
【０００８】そして、図６に示す塗布装置においては、
上記凝集体などを各段フィルタ（６４、６５、６７）に
より除去し、吐出ノズル（６８）より基板（６９）上に
滴下されるようになっている。
上記凝集体などを各段フィルタ（６４、６５、６７）に
より除去し、吐出ノズル（６８）より基板（６９）上に
滴下されるようになっている。
【０００９】図６に示す吐出装置に使用される材料は、
耐薬品性、電気的特性、表面特性などの優れた性質を有
し、且つ溶融成形が可能なフッ素系樹脂が多く用いられ
ている。
耐薬品性、電気的特性、表面特性などの優れた性質を有
し、且つ溶融成形が可能なフッ素系樹脂が多く用いられ
ている。
【００１０】しかし、各段フィルタ以外のバルブ（６
６）などを含む全流路における内壁面の性状、特に表面
の粗さが大きい際、また、使用している材料の電気的特
性、特に絶縁性（帯電性）によって、この感光性着色樹
脂組成物の凝集体が生じ易くなるものである。
６）などを含む全流路における内壁面の性状、特に表面
の粗さが大きい際、また、使用している材料の電気的特
性、特に絶縁性（帯電性）によって、この感光性着色樹
脂組成物の凝集体が生じ易くなるものである。
【００１１】このため、図６における第二段フィルタ
（６５）〜最終段フィルタ（６７）間において発生した
感光性着色樹脂組成物の凝集体は、最終段フィルタ（６
７）にて除去し得るものであるが、最終段フィルタ（６
７）〜吐出ノズル（６８）間において発生した感光性着
色樹脂組成物の凝集体は除去されずに吐出ノズル（６
８）より基板（６９）上に滴下されてしまうことにな
る。
（６５）〜最終段フィルタ（６７）間において発生した
感光性着色樹脂組成物の凝集体は、最終段フィルタ（６
７）にて除去し得るものであるが、最終段フィルタ（６
７）〜吐出ノズル（６８）間において発生した感光性着
色樹脂組成物の凝集体は除去されずに吐出ノズル（６
８）より基板（６９）上に滴下されてしまうことにな
る。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】本発明においては、上
記のように、感光性着色樹脂組成物を用い、顔料分散法
により表示装置用カラーフィルタを製造する際に、感光
性着色樹脂組成物を塗布する塗布装置において、感光性
着色樹脂組成物の凝集体の発生を抑制しても、更に最終
段フィルタ以降において発生する粒径数μｍの凝集体を
除去することのできる感光性着色樹脂組成物用の塗布装
置を提供するものである。
記のように、感光性着色樹脂組成物を用い、顔料分散法
により表示装置用カラーフィルタを製造する際に、感光
性着色樹脂組成物を塗布する塗布装置において、感光性
着色樹脂組成物の凝集体の発生を抑制しても、更に最終
段フィルタ以降において発生する粒径数μｍの凝集体を
除去することのできる感光性着色樹脂組成物用の塗布装
置を提供するものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、感光性着色樹
脂組成物を塗布する塗布装置であって、該感光性着色樹
脂組成物の凝集体を濾過する最終段フィルタを、該塗布
装置の吐出ノズル先端部に設けることを特徴とする感光
性着色樹脂組成物用の塗布装置である。
脂組成物を塗布する塗布装置であって、該感光性着色樹
脂組成物の凝集体を濾過する最終段フィルタを、該塗布
装置の吐出ノズル先端部に設けることを特徴とする感光
性着色樹脂組成物用の塗布装置である。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明を一実施の形態に基づいて
以下に説明する。図１は、本発明による感光性着色樹脂
組成物を塗布する塗布装置の一実施例を断面で示す説明
図である。図１に示す塗布装置において、レジストタン
ク（１１）の中の感光性着色樹脂組成物（１２）は、流
路のチューブ（１３）、第一段フィルタ（１４）、チュ
ーブ（１３）、第二段フィルタ（１５）、チューブ（１
３）、バルブ（１６）、及びチューブ（１３）を経て、
吐出ノズル先端部（１８）に設けた最終段フィルタ（１
７）よりスピナーの外側ハウジング（２０）内の基板
（１９）上に適量が滴下されるようになっている。
以下に説明する。図１は、本発明による感光性着色樹脂
組成物を塗布する塗布装置の一実施例を断面で示す説明
図である。図１に示す塗布装置において、レジストタン
ク（１１）の中の感光性着色樹脂組成物（１２）は、流
路のチューブ（１３）、第一段フィルタ（１４）、チュ
ーブ（１３）、第二段フィルタ（１５）、チューブ（１
３）、バルブ（１６）、及びチューブ（１３）を経て、
吐出ノズル先端部（１８）に設けた最終段フィルタ（１
７）よりスピナーの外側ハウジング（２０）内の基板
（１９）上に適量が滴下されるようになっている。
【００１５】本発明による感光性着色樹脂組成物を塗布
する塗布装置は、上記のような構造であるので、図１に
示す第二段フィルタ（１５）〜最終段フィルタ（１７）
間で発生した凝集体などを最終段フィルタ（１７）によ
って除去し、凝集体などのない感光性着色樹脂組成物を
基板（１９）上に滴下することができるものとなる。
する塗布装置は、上記のような構造であるので、図１に
示す第二段フィルタ（１５）〜最終段フィルタ（１７）
間で発生した凝集体などを最終段フィルタ（１７）によ
って除去し、凝集体などのない感光性着色樹脂組成物を
基板（１９）上に滴下することができるものとなる。
【００１６】図２、及び図３は、塗布機の一実施例とし
てスピナーを用いた際を説明する断面図である。図２
は、スピナーの蓋部が開けられて、感光性着色樹脂組成
物が基板上に滴下される状態を示し、また、図３は、ス
ピナーの蓋部が閉じられて、基板が回転され感光性着色
樹脂組成物が延展・乾燥される状態を示している。
てスピナーを用いた際を説明する断面図である。図２
は、スピナーの蓋部が開けられて、感光性着色樹脂組成
物が基板上に滴下される状態を示し、また、図３は、ス
ピナーの蓋部が閉じられて、基板が回転され感光性着色
樹脂組成物が延展・乾燥される状態を示している。
【００１７】図２においては、スピナーのスピナーヘッ
ド（２１）、内側ハウジング（２２）、軸受け（２
３）、回転軸（２４）、及び外側ハウジング（２０）な
どで構成されるスピナー本体部（２５）と、整流板（２
６）、蓋（２７）などで構成される蓋部（２８）と、流
路のチューブ（１３）、吐出ノズル先端部（１８）に設
けた最終段フィルタ（１７）、チューブ（１３）、最終
段フィルタ（１７）を支えるアーム（２９）、支柱（３
１）を示している。
ド（２１）、内側ハウジング（２２）、軸受け（２
３）、回転軸（２４）、及び外側ハウジング（２０）な
どで構成されるスピナー本体部（２５）と、整流板（２
６）、蓋（２７）などで構成される蓋部（２８）と、流
路のチューブ（１３）、吐出ノズル先端部（１８）に設
けた最終段フィルタ（１７）、チューブ（１３）、最終
段フィルタ（１７）を支えるアーム（２９）、支柱（３
１）を示している。
【００１８】基板（３０）は、スピナーヘッド（２１）
上に載置され、最終段フィルタ（１７）より感光性着色
樹脂組成物が基板上に滴下されると、二重矢印で示すよ
うに支柱（３１）が、例えば、９０度の回転し、図３に
示すように最終段フィルタ（１７）を支えるアーム（２
９）が外側ハウジング（２０）の外部に移動し、蓋部
（２８）が点線矢印で示すように降下し密閉する。
上に載置され、最終段フィルタ（１７）より感光性着色
樹脂組成物が基板上に滴下されると、二重矢印で示すよ
うに支柱（３１）が、例えば、９０度の回転し、図３に
示すように最終段フィルタ（１７）を支えるアーム（２
９）が外側ハウジング（２０）の外部に移動し、蓋部
（２８）が点線矢印で示すように降下し密閉する。
【００１９】図３において、基板（３０）は、駆動源
（図示せず）により回転軸（２４）、内側ハウジング
（２２）、スピナーヘッド（２１）と共に一重矢印で示
すように回転され感光性着色樹脂組成物が延展・乾燥さ
れる。この際、整流板（２６）は内側ハウジング（２
２）と共に回転されるようになっている。これは、回転
時の内側ハウジング（２２）内部の空気の乱流を防ぎ均
一な塗布膜を形成するためのものである。
（図示せず）により回転軸（２４）、内側ハウジング
（２２）、スピナーヘッド（２１）と共に一重矢印で示
すように回転され感光性着色樹脂組成物が延展・乾燥さ
れる。この際、整流板（２６）は内側ハウジング（２
２）と共に回転されるようになっている。これは、回転
時の内側ハウジング（２２）内部の空気の乱流を防ぎ均
一な塗布膜を形成するためのものである。
【００２０】図４は、本発明に用いられる最終段フィル
タ（１７）の一実施例を示す説明図である。図５は、図
４の最終段フィルタ（１７）をＡ−Ａ’断面で示す説明
図である。図４、及び図５において、最終段フィルタ
（１７）は、アーム（２９）に支えられたフィルタホル
ダー（４１）、チューブ（１３）に連結され感光性着色
樹脂組成物を通過させるフィルタホルダー内の流路（４
２）、逆圧防止スクリーン（４３）、オーリング（４
４）、第一メンブレンフィルタ（４５）、第二メンブレ
ンフィルタ（４６）、支えスクリーン（４７）、及びフ
ィルタホルダー内下部に設けられた吐出口（４８）など
で構成されている。
タ（１７）の一実施例を示す説明図である。図５は、図
４の最終段フィルタ（１７）をＡ−Ａ’断面で示す説明
図である。図４、及び図５において、最終段フィルタ
（１７）は、アーム（２９）に支えられたフィルタホル
ダー（４１）、チューブ（１３）に連結され感光性着色
樹脂組成物を通過させるフィルタホルダー内の流路（４
２）、逆圧防止スクリーン（４３）、オーリング（４
４）、第一メンブレンフィルタ（４５）、第二メンブレ
ンフィルタ（４６）、支えスクリーン（４７）、及びフ
ィルタホルダー内下部に設けられた吐出口（４８）など
で構成されている。
【００２１】この第一メンブレンフィルタ（４５）と第
二メンブレンフィルタ（４６）は、フィルタ穴径に差を
つけたもので、例えば、第一メンブレンフィルタ（４
５）は１０μｍφ、第二メンブレンフィルタ（４６）は
５μｍφ程度のものである。
二メンブレンフィルタ（４６）は、フィルタ穴径に差を
つけたもので、例えば、第一メンブレンフィルタ（４
５）は１０μｍφ、第二メンブレンフィルタ（４６）は
５μｍφ程度のものである。
【００２２】上記のように、本発明においては感光性着
色樹脂組成物を塗布する塗布装置の吐出ノズル先端部に
最終段フィルタを設けたものであり、最終段フィルタ直
前までに発生した凝集体が濾過された感光性着色樹脂組
成物を最終段フィルタの吐出口から直接に基板上に滴下
するので、凝集体の含まない感光性着色樹脂組成物によ
るカラーフィルタ、すなわち、異物欠陥のないカラーフ
ィルタが得られることになる。
色樹脂組成物を塗布する塗布装置の吐出ノズル先端部に
最終段フィルタを設けたものであり、最終段フィルタ直
前までに発生した凝集体が濾過された感光性着色樹脂組
成物を最終段フィルタの吐出口から直接に基板上に滴下
するので、凝集体の含まない感光性着色樹脂組成物によ
るカラーフィルタ、すなわち、異物欠陥のないカラーフ
ィルタが得られることになる。
【００２３】
【発明の効果】本発明は、感光性着色樹脂組成物を塗布
する塗布装置であって、感光性着色樹脂組成物の凝集体
を濾過する最終段フィルタを、塗布装置の吐出ノズル先
端部に設けるので、顔料分散法により表示装置用カラー
フィルタを製造する際に、感光性着色樹脂組成物を塗布
する塗布装置の全流路において発生する粒径が数μｍに
達する凝集体を除去することができ、カラーフィルタ塗
布膜に欠陥のない感光性着色樹脂組成物用の塗布装置と
なる。
する塗布装置であって、感光性着色樹脂組成物の凝集体
を濾過する最終段フィルタを、塗布装置の吐出ノズル先
端部に設けるので、顔料分散法により表示装置用カラー
フィルタを製造する際に、感光性着色樹脂組成物を塗布
する塗布装置の全流路において発生する粒径が数μｍに
達する凝集体を除去することができ、カラーフィルタ塗
布膜に欠陥のない感光性着色樹脂組成物用の塗布装置と
なる。
【図１】本発明による感光性着色樹脂組成物の塗布装置
の一実施例を断面で示す説明図である。
の一実施例を断面で示す説明図である。
【図２】塗布機としてスピナーを用いた際を説明する断
面図である。
面図である。
【図３】塗布機としてスピナーを用いた際を説明する断
面図である。
面図である。
【図４】本発明に用いられる最終段フィルタの一実施例
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図５】最終段フィルタをＡ−Ａ’断面で示す説明図で
ある。
ある。
【図６】従来法による塗布装置の一例を断面で示す説明
図である。
図である。
１１、６１…レジストタンク １２、６２…感光性着色樹脂組成物 １３、６３…チューブ １４、６４…第一段フィルタ １５、６５…第二段フィルタ １６、６６…バルブ １７、６７…最終段フィルタ １８…吐出ノズル先端部 １９、３０、６９…基板 ２０…外側ハウジング ２１…スピナーヘッド ２２…内側ハウジング ２３…軸受け ２４…回転軸 ２５…スピナー本体部 ２６…整流板 ２７…蓋 ２８…蓋部 ２９…アーム ３１…支柱 ４１…フィルタホルダー ４２…フィルタホルダー内の流路 ４３…逆圧防止スクリーン ４４…オーリング ４５…第一メンブレンフィルタ ４６…第二メンブレンフィルタ ４７…支えスクリーン ４８…フィルタホルダー内下部に設けられた吐出口 ６８…吐出ノズル
Claims (1)
- 【請求項１】感光性着色樹脂組成物を塗布する塗布装置
であって、該感光性着色樹脂組成物の凝集体を濾過する
最終段フィルタを、該塗布装置の吐出ノズル先端部に設
けることを特徴とする感光性着色樹脂組成物用の塗布装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP629799A JP2000202344A (ja) | 1999-01-13 | 1999-01-13 | 感光性着色樹脂組成物用の塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP629799A JP2000202344A (ja) | 1999-01-13 | 1999-01-13 | 感光性着色樹脂組成物用の塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000202344A true JP2000202344A (ja) | 2000-07-25 |
Family
ID=11634450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP629799A Pending JP2000202344A (ja) | 1999-01-13 | 1999-01-13 | 感光性着色樹脂組成物用の塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000202344A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002219396A (ja) * | 2000-10-12 | 2002-08-06 | Toray Ind Inc | 塗工装置、塗工方法およびこれらを用いて製造されたカラーフィルタ、またはカラー液晶表示装置 |
| KR100722806B1 (ko) * | 2000-10-12 | 2007-05-30 | 도레이 가부시끼가이샤 | 리프코터 및 리프형 코팅기판의 제조방법 |
| JP2009080481A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-04-16 | Fujifilm Corp | カラーフィルタの製造方法 |
| JP2016063205A (ja) * | 2014-09-22 | 2016-04-25 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 塗布装置 |
-
1999
- 1999-01-13 JP JP629799A patent/JP2000202344A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002219396A (ja) * | 2000-10-12 | 2002-08-06 | Toray Ind Inc | 塗工装置、塗工方法およびこれらを用いて製造されたカラーフィルタ、またはカラー液晶表示装置 |
| KR100722806B1 (ko) * | 2000-10-12 | 2007-05-30 | 도레이 가부시끼가이샤 | 리프코터 및 리프형 코팅기판의 제조방법 |
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| US10600647B2 (en) | 2014-09-22 | 2020-03-24 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Coating apparatus |
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