JP2006018263A - フォト装備及びフォト装備を利用したカラーフィルター基板の製造方法。 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明によるフォト装備は、ネガティブ現像液を供給する現像液供給部と、基板上に形成された光遮断金属層をパターニングして、ブラックマトリクスを形成する際に必要であるポジティブフォトレジストパターンを、ノボラック系の樹脂を基本として、アクリル系の樹脂を含むポジティブフォトレジストと前記ネガティブ現像液とを利用して形成する第1フォト装備を含むことを特徴とする。
【選択図】図4
Description
6、R、G、B:カラーフィルター 8,42:共通電極
10:カラーフィルター基板 12:下部グラス基板
14:ゲートライン 16:データーライン
18:薄膜トランジスター 20:薄膜トランジスター基板
22:画素電極 24:液晶
32:クロム層 34:フォトレジストパターン
62,162:BMフォト装備 64,164:Rフォト装備
66,166:Gフォト装備 68,168:Bフォト装備
70:第1現像液供給部 72:第2現像液供給部
170:現像液供給部 174,184,194:濃度調節部
182:BM/Gフォトバックアップ装備
186:R/Bフォトバックアップ装備
Claims (32)
- ネガティブ現像液を供給する現像液供給部と、
基板上に形成された光遮断金属層をパターニングして、ブラックマトリクスを形成する際に必要とするポジティブフォトレジストパターンを、ノボラック系樹脂を基本として、アクリル系の樹脂を含むポジティブフォトレジストと前記ネガティブ現像液を利用して形成する第1フォト装備と
を含むことを特徴とするフォト装備。 - 前記第1フォト装備は、前記現像液供給部からのネガティブ現像液の濃度を調節するための自動濃度調節部をさらに備える
ことを特徴とする請求項1に記載のフォト装備。 - 前記第1フォト装備は、基板上に形成されたブラック樹脂層をパターニングして、ブラックマトリクスを形成する際に必要とするネガティブフォトレジストパターンを、ネガティブフォトレジストと前記現像液供給部からのネガティブ現像液とを利用してさらに形成する
ことを特徴とする請求項1に記載のフォト装備。 - 前記ブラックマトリクス及び基板上で、ネガティブ現像液とカラーネガティブフォトレジストを利用して、R、G、Bカラーフィルターを形成するための第2乃至第4フォト装備をさらに含む
ことを特徴とする請求項1に記載のフォト装備。 - 前記ブラックマトリクスを形成する際に必要とする前記ポジティブフォトレジストパターン及び前記R、G、Bの中、いずれか一つのカラーフィルターを形成するための第1バックアップフォト装備と、残りの二つのカラーフィルターを形成するための第2バックアップフォト装備とをさらに備える
ことを特徴とする請求項4に記載のフォト装備。 - 前記第1バックアップフォト装備は、前記現像液供給部からのネガティブ現像液の濃度を調節して、前記ポジティブフォトレジストパターンの際に利用させる自動濃度調節部をさらに備える
ことを特徴とする請求項5に記載のフォト装備。 - 前記カラーフィルターの上にオーバーコート用のネガティブフォトレジストと、前記現像液供給部からのネガティブ現像液とを利用してオーバーコート層を形成する第5フォト装備をさらに備える
ことを特徴とする請求項4に記載のフォト装備。 - 前記オーバーコート層の上にスペーサー用のネガティブフォトレジストと、前記現像液供給部からのネガティブ現像液とを利用してカラムスペーサーを形成する第6フォト装備をさらに備える
ことを特徴とする請求項7に記載のフォト装備。 - 前記ネガティブ現像液は、KOH系現像液を含む
ことを特徴とする請求項1に記載のフォト装備。 - 前記現像液供給部は前記ネガティブ現像液の約0.4%の濃度を維持させ、前記濃度調節部は前記ネガティブ現像液の約1%の濃度を維持させる
ことを特徴とする請求項9に記載のフォト装備。 - 前記第1フォト装備は、前記ポジティブフォトレジストの露光ギャップが100〜200μmの範囲を維持するようにする
ことを特徴とする請求項1に記載のフォト装備。 - 前記第1フォト装備は、前記ポジティブフォトレジストの露光量が40〜70mjの範囲を維持するようにする
ことを特徴とする請求項1に記載のフォト装備。 - 前記第1フォト装備は、前記ポジティブフォトレジストにスプレイ方式で前記ネガティブ現像液を供給する場合、スプレイの角度は40〜50度の範囲を維持させる
ことを特徴とする請求項1に記載の製造方法。 - 前記第1フォト装備は、前記ネガティブ現像液のシャワー流量の13〜17mlを維持させる
ことを特徴とする請求項1に記載のフォト装備。 - 前記第1フォト装備は、ネガティブ現像液にポジティブフォトレジストを浸漬する方式により前記ポジティブフォトレジストにネガティブ現像液を供給する
ことを特徴とする請求項1に記載のフォト装備。 - 前記ポジティブフォトレジストは、ノボラック系の樹脂とアクリル系の樹脂とを含む
ことを特徴とする請求項1に記載のフォト装備。 - 前記ポジティブフォトレジストに含まれるノボラック系の樹脂とアクリル系の樹脂との比率は1:0.4〜0.6である
ことを特徴とする請求項16に記載のフォト装備。 - 前記ポジティブフォトレジストは、12〜17%のノボラックレジン、5〜10%のアクリルレジーン、3〜5%のフォトアクティブコンパウンド、77〜82%のソルベントを含む
ことを特徴とする請求項1に記載のフォト装備。 - 基板上に光遮断金属層を形成する段階と、
前記光遮断金属層の上にノボラック系の樹脂を基本として、アクリル系の樹脂を含むポジティブフォトレジストを形成し、マスクを利用して前記ポジティブフォトレジストを露光する段階と、
第1ネガティブ現像液を供給する段階と、
前記第1ネガティブ現像液の濃度を調節して第2ネガティブ現像液を供給する段階と、
前記第2ネガティブ現像液を利用して前記露光されたポジティブフォトレジストを現像してポジティブフォトレジストパターンを形成する段階と、
前記ポジティブフォトレジストパターンを利用して前記光遮断金属層をパターニングし、ブラックマトリクスを形成する段階と
を含むことを特徴とするフォト装備を利用したカラーフィルター基板の製造方法。 - 前記ブラックマトリクスが形成された基板上にカラーネガティブフォトレジストを形成する段階と、
マスクを利用して前記カラーネガティブフォトレジストを露光する段階と、
前記第1ネガティブ現像液で前記露光されたカラーネガティブフォトレジストを現像してカラーフィルターを形成する段階と
を含むことを特徴とする請求項19に記載のフォト装備を利用したカラーフィルター基板の製造方法。 - 前記カラーネガティブフォトレジストの形成及び露光と現像の段階を繰り返して該当画素領域にR、G、Bカラーフィルターを形成する
ことを特徴とする請求項20に記載のフォト装備を利用したカラーフィルター基板の製造方法。 - 前記カラーフィルターの上にオーバーコート用のネガティブフォトレジストを形成し露光した後、前記第1ネガティブ現像液で現像してオーバーコート層を形成する段階をさらに含む
ことを特徴とする請求項20に記載のフォト装備を利用したカラーフィルター基板の製造方法。 - 前記オーバーコート層の上にスペーサー用のネガティブフォトレジストを形成し露光した後、前記第1ネガティブ現像液で現像してカラムスペーサーを形成する段階をさらに含む
ことを特徴とする請求項22に記載のフォト装備を利用したカラーフィルター基板の製造方法。 - 前記第1及び第2ネガティブ現像液は、KOH系の現像液を含むことを特徴とする請求項19に記載のフォト装備を利用したカラーフィルター基板の製造方法。
- 前記第1ネガティブ現像液は約0.4%の濃度を、前記第2ネガティブ現像液は約1%の濃度を維持させる
ことを特徴とする請求項24に記載のフォト装備を利用したカラーフィルター基板の製造方法。 - 前記ポジティブフォトレジストの露光ギャップは100〜200μmの範囲を維持させる
ことを特徴とする請求項19に記載のフォト装備を利用したカラーフィルター基板の製造方法。 - 前記ポジティブフォトレジストの露光量は40〜70mjの範囲を維持させる
ことを特徴とする請求項19に記載のフォト装備を利用したカラーフィルター基板の製造方法。 - 前記第2ネガティブ現像液をスプレイ方式で前記ポジティブフォトレジストに供給する場合、スプレイの角度は40〜50度の範囲を維持させることを特徴とする請求項19に記載のフォト装備を利用したカラーフィルター基板の製造方法。
- 前記第2ネガティブ現像液のシャワー流量は13〜17mlを維持させる
ことを特徴とする請求項28に記載のフォト装備を利用したカラーフィルター基板の製造方法。 - 前記第2ネガティブ現像液にポジティブフォトレジストを浸漬する方式により前記ポジティブフォトレジストに第2ネガティブ現像液を供給する
ことを特徴とする請求項19に記載のフォト装備を利用したカラーフィルター基板の製造方法。 - 前記ポジティブレジストに含まれる前記ノボラック系の樹脂とアクリル系の樹脂との比率は1:0.4〜0.6である
ことを特徴とする請求項19に記載のフォト装備を利用したカラーフィルター基板の製造方法。 - 前記ポジティブレジストは12〜17%のノボラックレジン、5〜10%のアクリルレジーン、3〜5%のフォトアクティブコンパウンド(PAC)、77〜82%のソルベントを含む
ことを特徴とする請求項19に記載のフォト装備を利用したカラーフィルター基板の製造方法。
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A521 | Written amendment |
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A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
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