WO2005014148A1 - 簡易型フィルタ装置 - Google Patents

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WO2005014148A1
WO2005014148A1 PCT/JP2004/011372 JP2004011372W WO2005014148A1 WO 2005014148 A1 WO2005014148 A1 WO 2005014148A1 JP 2004011372 W JP2004011372 W JP 2004011372W WO 2005014148 A1 WO2005014148 A1 WO 2005014148A1
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bowl
filter plate
filter
head
filter device
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PCT/JP2004/011372
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Kazunori Sudo
Eiko Oka
Original Assignee
Mykrolis Corporation
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Publication date
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    • B01L3/563—Joints or fittings ; Separable fluid transfer means to transfer fluids between at least two containers, e.g. connectors
    • B01L3/5635—Joints or fittings ; Separable fluid transfer means to transfer fluids between at least two containers, e.g. connectors connecting two containers face to face, e.g. comprising a filter

Definitions

  • the present invention relates to a filter for filtering, separating, or purifying a gel or other particulate matter from a liquid, and a filtration membrane, a separation membrane, or a purification membrane (hereinafter, “separation membrane”) used for the filter. (Hereinafter referred to as “membrane”).
  • the filter device of the present invention can be widely used in other fields such as small-volume filtration for research and development, resist development, drug development, or purification of a photoresist solution in beer production, pharmaceutical production, and semiconductor production. .
  • the separation membrane test apparatus described in the publication has four cylindrical and flat cells so that a plurality of separation membranes can be tested at once.
  • the cells are vertically stacked, and a first, a second and a third different types of separation membranes are mounted between each cell.
  • the processing stock solution is supplied in parallel to each of these separation membranes, and the first, third, and third separation membranes are separated. Performance can be done at once.
  • this apparatus also has a problem that it cannot be evaluated when a plurality of separation membranes are used in series. Further, when a plurality of separation membranes are used in series, it is necessary to use a plurality of filter devices in series.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-137973
  • Patent Document 2 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-044661
  • JP-A-2002-046651 An invention in which the above-mentioned disadvantages of the conventional example are improved is disclosed in JP-A-2002-046651.
  • the replacement and disassembly of the separation membrane can be performed relatively easily and quickly, but the structure is complicated and replacement of a plurality of membranes is difficult. It takes a considerable amount of time, for example, the time required for setting up the device, and in the case of membrane characterization, there is a problem that it takes much time.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and when a membrane test or a small amount of filtration is required, filtration can be easily performed with a simple configuration, and one or more types of separation can be performed.
  • a simple filter for separation membranes that can be easily assembled and added without the need for complicated assembly or addition of parts, even if it is a membrane. It is intended to provide a device.
  • an object of the present invention is to provide a filter device capable of evaluating the overall effect of a plurality of separation membranes of the same or different types arranged in series. Means for solving the problem
  • the present invention has the following configuration in order to achieve such an object.
  • the present invention provides a bowl having an opening communicating with the discharge port on one side and the discharge port on the other side, and a separation membrane for filtering the undiluted solution held or fixed.
  • a filter plate having at least one filter plate having an opening formed therein, and at least one filter plate housed in the opening of the bowl, and a protrusion for pressing the filter plate with one side force to prevent leakage of filtrate.
  • a simplified filter device comprising: a head having a pressing portion on one side and a supply port for a stock solution on the other side; and means for pressing the head toward the bowl.
  • a female screw or a male screw is provided on the bowl and the head, and the bowl and the head are screwed together, and the bowl and the head are put together. By rotating, assembly and airtight / liquid tight sealing can be performed.
  • a plurality of filter plates holding or fixing the separation membrane are overlapped to form a plurality of separation membranes of the same or different types. , Filtration, separation, or purification, or an evaluation test.
  • a stock solution or filtrate in which a bowl having a discharge port on one side and an opening communicating with the discharge port on the other side, and a separation membrane for filtering the stock solution are held or fixed.
  • a filter plate having an opening through which at least one filter plate is housed in the opening of the bowl, and a protruding shape for pressing the filter plate to one side to prevent leakage of filtrate.
  • a simplified filter device comprising a head having a pressing portion on one side and a supply port of a stock solution on the other side, and a locking nut for pressing the head toward the bowl in the axial direction thereof. I do.
  • the bowl and the lock member are provided with screw portions to be screwed together, and screwed and rotated to each other to assemble the device and the axis.
  • Directional pressing In another preferred embodiment, in the above (4), the bowl and the lock member are provided with screw portions to be screwed together, and screwed and rotated to each other to assemble the device and the axis.
  • a plurality of filter plates each having the separation membrane are stacked and placed, and a plurality of separation plates of the same type are placed. It allows the use of membranes or different types of separation membranes.
  • plate-shaped projections are provided on the outer surface of the bowl and the outer surface of the head in the case of (2) above to facilitate the action of screw tightening, and used as a hook or a tool hook. Can use S power.
  • a plate-like projection is provided on the outer surface of the bowl, so that the bowl can be used as a hand or tool.
  • the locking nut can be provided with a handle at three locations on the periphery thereof.
  • the filter plate has a circumferential projection of a fixed height on the bottom surface, while the inner bottom of the opening of the bowl is provided. Has a circumferential groove for receiving the circumferential projection, and can be sealed by pressing the filter plate against the bowl.
  • a holding ring provided with at least one concentric projection, preferably a plurality (three in the embodiment) on the lower surface side is provided with the at least one filter plate.
  • the filter plate is provided with a flat surface extending all around the upper surface of the filter plate, and the concentric projections of the holding ring are pressed against the flat surface of the filter plate to perform sealing. It has become.
  • the pressing ring has a flat surface on the upper surface side, and the flat surface has a fixed height provided on the lower surface side of the filter plate disposed on the upper side thereof. The force that presses and seals the circumferential projection or the protruding pressing portion of the head is pressed and sealed via a ring.
  • the press ring has a peripheral portion surrounding the flat surface on the upper surface thereof, the filter plate has a peripheral portion surrounding the flat surface on the upper surface thereof, and the press ring is accommodated in the concave portion of the filter plate. At this time, the peripheral portions are fused to each other. As a result, the filter plate and the holding ring can be combined and integrated, so that the filter plate can be easily attached to and detached from the filter housing.
  • a finger hook tab is provided on the outer periphery of the filter plate, and a guide groove for the finger hook tab is provided in the bowl correspondingly.
  • the flow path of the processing stock solution is the simplest linear type (so-called in-line type), and while the configuration is the simplest, the filtration is simple. Since the separation membrane to be mounted is mounted almost perpendicular to the flow path, the filtration efficiency is improved.The separation and removal of the membrane for testing the membrane performance of this separation membrane can be easily and quickly replaced. .
  • a normal filter is weak in itself and cannot be cleaned. However, in actual specifications such as resist development and chemical development, a cartridge filter cleaned with various chemicals is used.
  • the filter plate supporting the separation membrane specified in the present invention by welding or the like can be taken out after use, washed, and reused.
  • a test of a plurality of membranes can be easily performed, so that the state and effect of separation by a plurality of membranes can be easily confirmed. Also, disassembly and assembly can be performed easily and quickly. In other words, even one type of multiple separation membranes or multiple types of multiple separation membranes can be easily incorporated, so it is extremely easy to perform separation membrane tests and tests with different combinations. it can.
  • the addition of the lock member more effectively seals the filter with the bowl and the head, so that efficient filtration can be performed. it can.
  • the attachment and detachment at the time of replacement of the filter and the easiness thereof are the same as those of the other inventions.
  • the lock member is more specifically a locking nut, and the filter, the bowl, and the head are effectively sealed with ordinary screws. Therefore, the filter can be securely tightened and effective filtration can be performed.
  • the attachment and detachment at the time of replacement of the filter and its easiness are the same as those of the other inventions.
  • plate-like projections are provided on the outer surface of the bowl and the outer surface of the head, so that they can be used as hands or tools. Work becomes easier.
  • a plate-like projection is provided on the outer surface of the bowl, and the bowl can be used as a hand or a tool.
  • the head can be more easily attached and detached.
  • the filter plate has a circumferential protrusion having a constant height on a bottom surface, and the filter plate receives the circumferential protrusion on an inner bottom of the opening of the bowl.
  • a holding ring provided with at least one, preferably a plurality of concentric projections on the lower surface side is disposed on the upper surface of the at least one filter plate, and the upper surface of the filter plate is provided.
  • a flat surface extending all around is provided, and the concentric projection of the press ring is pressed against the flat surface of the filter plate to perform sealing.
  • sealing can be performed using the holding ring, and the periphery of the separation membrane can be sealed without using each ring. Sufficient sealing can be performed, workability is increased, and cost is reduced.
  • the presser ring has a flat surface on the upper surface side, and the flat surface has a circle of a constant height provided on the lower surface side of the filter plate disposed on the upper side. Since the peripheral projections are pressed and sealed, it is possible to overlap a plurality of filter plates without using a ring. (However, in the case of the holding ring used at the top, the protruding pressing portion of the head is pressed and sealed via the O-ring).
  • the press ring has a peripheral portion surrounding the flat surface on the upper surface thereof, the filter plate has a peripheral portion surrounding the flat surface on the upper surface thereof, and the press ring is accommodated in the concave portion of the filter plate. At this time, since the peripheral portions are fused to each other, even if the separation membrane cannot be fused to the filter plate, it can be sealed and held by integrating the filter plate and the holding ring. Become.
  • a finger hook tab is provided on an outer periphery of the filter plate, and the bowl is correspondingly provided on the bowl.
  • a groove is provided, the flow path between the undiluted solution and the filtrate and the space outside it are isolated by the sealing means as described above, so that workability is improved without fear of contamination from outside. Becomes possible.
  • the present invention will be described in detail with reference to a preferred embodiment, and the material used may be a material of this type which is conventionally known.
  • separation membrane examples include arbitrary pore separation membranes such as PTFE, PE, PFA, PVDF, and PSE.
  • any resin material such as PP, PE, and PFA can be used.
  • a conventionally known rigid plastic material or metal can be used for the housing.
  • FIGS. 1-10 A simplified filter device according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
  • the vertical relationship in the figure may be reversed for the sake of explanation, and may be reversed, or the supply port for the undiluted solution and the discharge port for the filtrate may be reversed.
  • the filter device has a bowl 1 (having a discharge port 13 for filtrate on the lower surface and an opening 2 (or recess) on the upper surface). Or a cup), one or more filter plates 5 inserted into the opening 2 and supported at the bottom of the opening, and a filter plate for sealing the periphery of the filter plate 5 in an air-tight and liquid-tight manner. And a head 3 having an annular convex pressing portion 23 for pressing the peripheral portion of 5 toward the bottom of the opening and having an undiluted solution supply port 15. Separate into filter plate 5 as described later The membrane 25 (FIG. 5 or FIG. 6) is supported.
  • the opening 2 of the bowl 1 has a cylindrical inner wall 7 and a bottom, and the bottom is loosely converged downward in a funnel shape and supports a central portion extending to the discharge port 13 and a peripheral portion of the filter plate 5. And an annular flat peripheral portion. This peripheral portion is provided with a circumferential groove for receiving the elastic ring 16 for sealing.
  • a female screw 21 is formed on the upper part of the cylindrical inner wall 7 of the bowl 1, and is screwed with a male screw 19 provided on the outer peripheral surface of the head 3.
  • vertical guide grooves (longitudinal grooves) 18, 18 for receiving the tabs 17, 17 of the finhole plate 5 are formed in opposing portions across the diameter of the cylindrical inner wall 7.
  • a plate-like projection 9 is formed on the lower surface of the bowl 1 and serves as a tool or a tool hook when the head 3 is fastened to or removed from the bowl 1.
  • the head 3 has a male screw 19 screwed into the female screw 21 of the bowl 1 on the outer periphery of the cylindrical shape.
  • the inner end of the supply port 15 expands to form a space 43 communicating with the filtration surface of the filter plate 5, and the wall surrounding the space 43 seals the periphery of the filter plate 5 airtight and liquid tight as described above.
  • An annular convex pressing portion 23 that presses the peripheral portion of the filter plate 5 toward the bottom of the opening to seal the filter plate 5 is formed.
  • the bottom surface of the convex pressing portion 23 is a horizontal surface, and a predetermined sealing is performed by pressing a filter plate 5 described later via an O-ring.
  • a plate-like projection 11 which is used as a hook (or a tool hook) when screwing is formed.
  • the filter plate 5 has a large number of holes 27.
  • the filter plate 5 is provided with a concave portion 31 on which a separation membrane 25 (indicated by a phantom line) is held.
  • the separation membrane 25 is preferably fixed to the surface of the filter plate 5 by thermal welding.
  • the recess 31 forms a distribution channel to the separation membrane 25 when a plurality of filter plates are used.
  • a large number of grooves 26 are formed on the surface of the concave portion 31 in a radial or mesh form from a large number of holes 27 to increase the effective filtration area.
  • a peripheral groove 29 is provided in a peripheral portion of the filter plate 5, and a sealing ring 20 is accommodated therein.
  • Tabs 17 and 17 are formed at two places sandwiching the diameter of the filter plate 5 so as to fit in the guide groove 18 of the bow 1.
  • the filter plate 5 is in place Rotation is prevented when tightening the slack head 3 that is only placed.
  • the convex pressing portion 23 of the head 3 presses the peripheral portion of the filter plate 5, and the liquid-tight and air-tight sealing is obtained by the rings 16 and 20 between the members.
  • a plurality of filter plates 5 can be incorporated as shown in FIG. 2, or a single filter plate 5 can be incorporated as shown in FIG.
  • the filter device of the present invention has a highly flexible structure in which one or more filter plates 5 can be incorporated according to the purpose.
  • the filter device according to this embodiment has an advantage of low manufacturing cost due to its simple structure. However, since frictional sliding occurs between the convex pressing portion 23 of the head 3 and the O-ring 20, screwing is performed. Is inconvenient in that it must be done carefully. The following example improves on this. Example 2
  • FIGS. 1 and 2 a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
  • This embodiment is more complicated than the filter device of the above embodiment, but has an advantage that airtightness and liquid tightness can be easily obtained.
  • members corresponding to the filter device of the first embodiment use the same reference numerals.
  • the filter device includes a bowl 1 having a filtrate discharge port 13 on the lower surface and an opening or recess 2 on the upper surface, a filter inserted into the opening 2 and supported at the bottom of the opening.
  • the above-described filter plate 5 and an annular convex pressing portion 23 that presses the peripheral portion of the filter plate 5 toward the bottom of the opening in order to airtightly and liquid-tightly seal the peripheral portion of the filter plate 5 are provided.
  • the head 3 has a stock solution supply port 15 and a locking nut 33 for fixing the head 3 to the bowl 1.
  • the filter plate 5 has the same structure as that of the first embodiment, and therefore will be described below only to the extent necessary.
  • bowl 1 does not have internal threads on the cylindrical inner wall in this example.
  • the head 3 has no external thread on the outer peripheral surface.
  • the opening 2 of the bowl 1 converges with the cylindrical inner wall 7 and the funnel-like shape gently downward to the discharge port 13. It has a central portion that extends and an annular flat periphery that supports the periphery of the filter plate 5.
  • a peripheral groove for receiving the elastic O-ring 16 for sealing is provided in the peripheral portion.
  • a male screw 37 is formed on an upper portion of the cylindrical outer peripheral surface of the bowl 1 and is screwed with a female screw 35 provided on an inner peripheral surface of the locking nut 33.
  • vertical guide grooves 18, 18 for receiving the tabs 17, 17 (see FIG. 5) of the finhole plate 5 are formed as in the case of FIG. 2. Have been.
  • a plate-like projection 9 is formed on the lower surface of the bowl 1 and serves as a hand or tool hook when the head 3 is tightened or removed from the bowl 1.
  • the inner end of the supply port 15 of the head 3 expands to form a space 43 communicating with the filtration surface of the finole plate 5.
  • the peripheral wall of the space forms an annular convex pressing portion 23 that presses the peripheral portion of the filter plate 5 toward the bottom of the opening 2 via the ring 20.
  • the diameter of the head 3 is slightly smaller than the diameter of the cylindrical inner wall 7 of the bowl 1 so that the head 3 can be fitted. Further, on the outer periphery of the head 3, tabs 45, 45 that fit into the longitudinal grooves 18, 18 of the bowl 1 are provided in order to prevent the head 3 from rotating.
  • a shoulder portion 41 which is in contact with the action portion 39 of the locking nut 33 and receives a tightening force is formed. Therefore, the filter plate 5 can receive a tightening force in the vertical direction (the axial direction of the filter device) from the convex pressing portion 23 of the head 3.
  • the structure of the filter plate 5 is the same as that described with reference to FIGS. 5 and 6 for the first embodiment.
  • the locking nut 33 has an annular flat plate portion having an action portion 39 abutting against the shoulder portion 41 of the head 3 and a cylindrical shape having an internal thread 35 formed on the inner peripheral surface. And an outer peripheral wall.
  • the female screw 35 is screwed with the male screw 37 on the outer peripheral surface of the bowl 1.
  • the working portion 39 of the nut 33 is formed in a polygonal shape so as to be used as a hook or a tool.
  • the filter device of the present invention has a highly flexible structure in which one or a plurality of filter plates 5 can be incorporated according to the purpose.
  • FIGS. 8 to 14 This embodiment is similar to the second embodiment described with reference to FIGS. 8 to 14 except that the force S, the structure of the filter plate seal portion, the structure of the finger hook of the filter plate, and the structure of the locking nut are different. Also in these figures, members corresponding to the filter device of the second embodiment use the same reference numerals.
  • FIG. 15 is a perspective view of the filter device of this embodiment
  • FIG. 16 is a cross-sectional view taken along line XVI-XVI of FIG.
  • the filter device according to this embodiment includes a bowl 1 having an opening or recess 2 and a discharge port 13 for filtrate, one or more filter plates 5 inserted into the opening 2 and supported at the bottom of the opening. , A press ring 55 for pressing the upper surface of the filter plate 5 or the filter membrane disposed thereon, and a concave portion of the press ring 55 for sealing the periphery of the press ring 55 in an airtight and liquid tight manner.
  • a head 3 having a cylindrical or annular convex pressing portion 23 pressed toward the bottom of the place 2 and having a stock solution supply port 15, and a locking nut 33 for fixing the head 3 to the bowl 1. It is configured.
  • a gas vent 51 for extracting bubbles and dissolved gas in the undiluted solution is provided.
  • the opening 2 of the bowl 1 supports the cylindrical inner wall 7, the central portion which is loosely converged downward in a funnel shape and extends to the discharge port 13, and the peripheral portion of the filter plate 5. It has an annular flat peripheral portion.
  • a peripheral groove 57 for sealing is provided in the peripheral portion. In this groove Is fitted with a circumferential projection 59 (see FIG. 18) having an inverted triangular cross section projecting from the bottom surface of the filter plate 5 to perform sealing.
  • a male screw 37 is formed on the upper portion of the cylindrical outer peripheral surface of the bowl 1, and is screwed with a female screw 35 provided on the inner peripheral surface of the locking nut 33.
  • a part of the cylindrical inner wall 7 is provided with a vertical guide groove 65 for receiving a finger tab 63 of the filter plate 5 (see FIGS. 17-19). Due to the structure of the filter plate 5 described below, the finger hook tab 63 is isolated from the passage for the undiluted solution and the filtrate, so that the presence of the finger hook tab 63 does not cause contamination of the filtrate. Therefore, according to this model, the filter plate 5 can be easily assembled and exchanged.
  • Each filter plate 5 is provided with a directional tab 67 shown in FIG. 17 and correspondingly, a vertical groove (not shown) is formed in the inner wall 7 of the bowl 1 as in FIG. Therefore, the filter plate 5 can always be set up and down correctly.
  • the inner end of the supply port 15 of the head 3 expands to form a space 43 communicating with the filtration surface of the filter plate 5.
  • the peripheral wall of the space forms an annular convex pressing portion 23 that presses toward the bottom of the opening 2 formed by the O-ring 20 that presses the peripheral portion of the filter plate 5 via the pressing ring 55.
  • the diameter of the head 3 is slightly smaller than the diameter of the cylindrical inner wall 7 of the bowl 1 so that the lower side of the head 3 can be fitted.
  • a shoulder 41 is formed on the outer peripheral portion of the upper surface of the head 3 so as to come into contact with the action portion 39 of the locking nut 33 and receive a tightening force. Therefore, the filter plate 5 and the press ring 55 can receive a tightening force in the vertical direction (the axial direction of the filter device) from the convex pressing portion 23 of the head 3.
  • the locking nut 33 has an annular flat plate portion having an action portion 39 abutting on a shoulder portion 41 of the head 3, and a cylindrical outer peripheral wall having a female screw 35 formed on the inner peripheral surface.
  • the female screw 35 is screwed with the male screw 37 on the outer peripheral surface of the bowl 1.
  • the locking nut 33 has handles 53 at three locations on the outer peripheral portion thereof which are equidistant from each other, so that the locking nut 33 can be easily tightened and removed.
  • a similar handle 61 is also provided around the bowl 1. If an appropriate detent is provided, the bowl 1 need not be provided with the handle 61.
  • the head 3 and the locking nut 33 can rotate relative to each other. For this reason, after the head 3 is placed on the filter plate 5 and the holding ring 55 via the ⁇ ring 20 and then the locking nut 33 is tightened, the head 3 is frictionally locked with the holding ring 55 so that the locking nut 33 is Since only the member rotates, the sealing means between the head 3, the filter plate 5, and the press ring 55 is prevented from slipping, and a reliable sealing force can be obtained.
  • FIG. 17 (plan view), FIG. 18 (cross-sectional view taken along line XVIII-XVIII in FIG. 17), and FIG. 19 (bottom view) show the filter plate 5 of the third embodiment.
  • the filter plate 5 has a concave portion, a flat holding surface 31 is provided on the inner bottom of the concave portion, and a non-porous flat surface is formed around the holding surface 31.
  • the holding surface 31 holds at least one separation membrane (two separation membranes 25 and 25 'indicated by chain lines in the figure). To hold the separation membranes 25 and 25 ′, insert the press ring 55 into the concave part of the filter plate 5, and hold the peripheral part of the separation membrane by the concentric sealing projections 75 protruding from the bottom of the outer peripheral part.
  • the filter plate 5 is welded to the periphery 79 of the ring 55 and the periphery 70 of the filter plate, as will be described with reference to FIG.
  • both parts 5 and 55 are made of the same thermoplastic material
  • the separation membrane may be heat-sealed with the filter plate 5.
  • the polyethylene separation membrane 25 is fused to the filter plate 5, and the fluororesin separation membrane 25 ′ is simply Then, the peripheral portion is pressed against the flat peripheral portion of the holding surface 31 of the filter plate 5 by the pressing ring 55.
  • the upper surface of the filter plate 5 is formed in a lattice shape, and a large number of grooves 26 connected in a mesh pattern between the lattices are formed on the surface 31 of the concave portion to increase the effective filtration area.
  • the lower surface has a number of uniformly distributed holes 27 for collecting the filtrate coming out of the groove 26.
  • the concave portion forms a distribution channel to the separation membrane 25 when a plurality of filter plates are used.
  • an inverted triangular circumferential protrusion 59 protrudes from the outer peripheral bottom surface of the filter plate 5.
  • the circumferential projection 59 has the same height over the entire circumference, and its tip is in the same plane.
  • the circumferential protrusion 59 is formed wider than the circumferential groove 57 formed in the bowl 1 and at a height such that it does not reach the bottom of the circumferential groove 27 when fitted, so that the circumferential protrusion 59 and the groove 57 are formed. Sealing by elastic deformation between the outer edge and the upper edge of the outer wall is made possible.
  • the filter plate 5 is further provided with a handle tab 63 and a direction tab 67 as described above.
  • the finger tab 63 fits into the guide groove 18 of the bowl 1 and the direction tab 67 fits into the corresponding direction restriction groove.
  • the filter plate 5 can be easily attached and detached, the filter plate 5 can be correctly mounted on the front and back, and further, it does not rotate when the head 3 is tightened.
  • the filter plate 5 further has a flat step portion 69 surrounding the holding surface 31 in the concave portion. This step receives the peripheral bottom surface 81 of the press ring 55 and holds the press ring, and also serves to prevent the elastic sealing portion 77 of the press ring from buckling.
  • the peripheral portion 70 of the filter plate 5 receives the peripheral portion 79 of the press ring 55 fitted inside thereof, and is fused to each other.
  • FIG. 20 a plan view
  • FIG. 21 a cross-sectional view taken along the line XXI—XXI in FIG. 20).
  • the pressing ring 55 has a flat surface 71 formed on the upper surface side, and an elastic sealing portion 77 having a sealing portion including three (generally a plurality of) inverted triangular concentric projections 75 projecting from the bottom surface. Are formed, and the upper and lower surfaces are communicated with each other by an opening 73 to form a liquid distribution passage. The tips of the three projections are in the same plane.
  • the flat surface 71 serves as a sealing surface for the O-ring 20 (FIG. 16) or a sealing surface for the circumferential projection 59 of another filter plate 5.
  • the press ring 55 has a peripheral edge 79 projecting upward, and when the press ring 55 is inserted into the concave portion of the filter plate 5 with the separation membranes 25 and 25 ′ interposed therebetween, the peripheral edge 7 Lined up at almost the same height as 0.
  • the outer periphery of the press ring 55 has a projecting edge 83 having an outer diameter that fits on the inner peripheral surface of the peripheral portion 70 of the filter plate 5. For this reason, there is a gap between the peripheral edge 79 of the press ring 55 and the peripheral edge 70 of the finlet plate 5, where the molten resin can flow. In this state, when a hot plate is placed on these peripheral portions and heated under pressure, the two peripheral edges are melted and flow into this gap, and both are fused firmly to each other and strongly hold the separation membrane.
  • the flat peripheral bottom surface 81 of the holding ring 55 engages with a flat step portion 69 provided on the filter plate 5 to hold the two members 5 and 55 in a fixed relationship, and at the same time, the concentric projection 75.
  • the buckling of the elastic sealing portion 77 having the shape is prevented.
  • FIG. 23 shows a filter plate unit in which the separation membranes 25, 25 ′ are held by the finhole plate 5, pressed by a holding ring 55, and both members 5 and 55 are integrally formed by heat fusion to each other. This shows the state in which is configured.
  • the press ring 55 is inserted into the concave portion of the filter plate 5, and the peripheral portion of the separation membrane is held by the concentric projection 75 for sealing protruding from the bottom surface of the outer peripheral portion. Press against the flat surface of the periphery.
  • the step 69 of the filter plate 5 supports the peripheral bottom surface 81 of the holding ring 55. There is a gap between the peripheral edge 79 of the presser ring 55 inserted into the recess of the filter plate 5 and the inner peripheral surface of the peripheral edge 70 of the filter plate due to the protruding edge 83 around the presser ring.
  • FIG. 22 shows a case where two or more filter plates 5 are used in the filter device of the third embodiment.
  • two filter plates 5 and two holding rings 55 are used, and the sealing between the filter plates 5 and 5 is performed by the flat surface 71 of the lower holding ring 55 and the upper filter ring.
  • the circumferential projection 59 on the bottom surface of the plate 5 abuts, and a sealing force is applied by the fastening nut of the locking nut 33.
  • the separation membrane 25 and / or 25 ′ is incorporated into the filter plate 5 and the holding ring 55 as shown in FIG. 23 to form an integral filter plate unit.
  • the filter plate 5 is dropped into the bottom surface of the opening 2 of the bowl 1 by using the guide groove 65 and the direction tab 67 perpendicular to the finger hook tab 63.
  • the circumferential projection 59 on the bottom surface of the filter plate 5 is fitted into the circumferential groove 57 of the bowl 1 and sealed. If necessary, attach another filter plate 5 and presser ring 55 in the same manner. As a result, the circumferential projection 59 of the upper filter plate 5 comes into contact with the flat surface 71 of the lower press ring 55.
  • the periphery of the filter plate 5 is liquid-tightly sealed by the protrusion 75, the circumferential protrusion 59 and the circumferential groove 57. As a result, the flow paths of the undiluted solution and the filtrate are completely isolated from the guide groove 65 and the like.
  • a single filter plate 5 can be incorporated as shown in FIG. 16 or a plurality of filter plates 5 can be incorporated as shown in FIG.
  • the filter device of the present invention has a highly flexible structure in which one or more filter plates 5 can be incorporated according to the purpose.
  • the flow path of the processing stock solution for testing the separation membrane is the simplest linear type (so-called in-line type). Since the separation membrane to be installed is mounted almost perpendicular to the flow path, the membrane for testing the membrane performance of this separation membrane with good filtration efficiency can be easily and quickly replaced.
  • a filter device is provided.
  • FIG. 1 is a plan view of a filter device according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the filter device.
  • FIG. 3 is a bottom view of the filter device.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing one mode of use of the filter device.
  • FIG. 5 is a plan view of a filter plate common to two embodiments of the present invention.
  • FIG. 6 is a sectional view taken along line VI-VI of the filter plate of FIG. 5.
  • FIG. 7 is a partially enlarged view of the filter device of FIG. 2.
  • FIG. 8 is a plan view of a filter device according to Embodiment 2 of the present invention.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of the filter device.
  • FIG. 10 is a bottom view of the filter device.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view showing one usage mode of the filter device.
  • FIG. 12 is a partially enlarged view of the filter device.
  • FIG. 13 is a plan view of a single head of the filter device.
  • FIG. 14 is a cross-sectional view of a single head of the filter device.
  • FIG. 15 is a perspective view of a filter device according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 16 is an XVI-XVI sectional view of the filter device.
  • 17 is a plan view of a filter plate used in the filter device.
  • FIG. 18 is a sectional view taken along line XVIII-XVIII of the filter plate of FIG.
  • FIG. 19 is a bottom view of the filter plate.
  • FIG. 20 is a plan view of a holding ring.
  • FIG. 21 is a sectional view taken along line XXI—XXI of the presser ring in FIG. 20.
  • FIG. 17 is a cross-sectional view similar to FIG. 16, in which two filter plates 5 are used in the filter device of Embodiment 3.
  • FIG. 23 is a partial cross-sectional view showing a filter plate unit in which a filter plate, a separation membrane, and a holding ring are integrally formed.
  • Peripheral edge Flat surface Concentric projection Elastic sealing part Peripheral edge Perimeter bottom

Abstract

　分離膜を試験するための処理原液の流路は最も単純な直線型(いわゆるインラインタイプ)であり、構成が最も簡単でありながら、濾過しようとする分離膜が流路に対してほぼ垂直に装着されるので、濾過効率がよく、この分離膜の膜性能を試験するための膜の着脱容易にかつ迅速に交換することができるフィルタ装置を提供することを課題とする。 　一方の側に吐出口１３を他方の側に分離膜を載置する開口部２を有するボウル１と、原液を濾過する前記分離膜と、この分離膜を前記ボウル１に固定する、原液又は濾液を通過させる開孔を有するフィルタプレート５と、このフィルタプレート５を一側から押圧して濾過液の漏れを防止する凸状押圧部２３を一方の側に有し他方の側に原液の供給口１５を有するヘッド３と、前記ヘッド３を前記ボウル１に対して前記押圧状態に締着する手段、例えば前記ヘッド３と前記ボウル１に設けた互いに螺合する雌雄ねじ１９、２１又は別個のロッキングナット３３、とを有する簡易型フィルタ装置。

Description

明 細 書
簡易型フィルタ装置
技術分野
[0001] 本発明は、液体からゲルやその他の粒状物等の濾過、分離、又は精製を行うフィル タとして、又、そのフィルタに使用される濾過膜、分離膜、又は精製膜 (以下「分離膜」 と称する）の膜性能を簡単に試験することができるフィルタ装置に関するものである。
[0002] 本発明のフィルタ装置は研究開発用の少量濾過、レジスト開発、薬剤開発、あるい はビール製造や製薬、半導体製造でのフォトレジスト溶液の浄化等、その他の分野 で広く使用可能である。
背景技術
[0003] 少量の供給原液の濾過、分離、精製を行うフィルタ装置に対する需要は多い。又、 処理原液に対する最適の分離膜を決定するためには、実際に分離膜を用いて処理 すべき原液を処理することにより、その分離膜の膜性能を評価する必要がある。少量 の処理原液に対する濾過、分離、精製を行うフィルタ装置は使用又は最適の分離膜 を決定する評価試験に際しては、数多くの分離膜が使用されるが、従来の簡易型フ ィルタ装置では、一度に 1枚の分離膜しか使用あるいは試験できず、 1枚以上の任意 の組合せにより分離膜を使用又は評価をする必要のある場合には複数のフィルタ装 置を直列に使用したり、種類ごとに交換して:!枚ずつ分離膜を試験し、得られた結果 を総合的に評価する必要があった。従って、こうした場合には分離膜の組み込みや 交換に手間を要し、全体の作業時間や評価時間も長く掛つていた。
[0004] 従来力 複数の分離膜を同時に試験することができるものが提案されており、このよ うな複数枚の分離膜を一度に試験できる分離膜試験装置としては、例えば、特開平 11—137973号公報に示すようなものがある。
[0005] 同公報に記載の分離膜試験装置は、円筒形で偏平な 4つのセルを備えることで、 複数枚の分離膜を一度に試験できるようになっている。このセルは、縦に積み重ねた 形態をなし、各セルの間に第 1一第 3の異なる種類の分離膜が各 1枚ずつ装着される 。処理原液はこれらの各分離膜に並列に供給され、第 1一第 3の 3枚の分離膜の膜 性能を一度に行うことができるというものである。しかし、この装置も分離膜を複数枚 直列に使用する場合の評価はできないという問題がある。又、複数の分離膜を直列 に使用する場合にはフィルタ装置を複数直列に使用する必要があった。
[0006] 特許文献 1 :特開平 11一 137973号公報
特許文献 2 :特開 2002 - 046651号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0007] しかし、特開平 11-137973号公報に示された従来の装置の場合には、周辺のケ 一シングゃ接続の様子が開示されていないので不明ではある力 これらの一般的な 構成を考慮すると構成が複雑であり小型化が困難であり、更に処理液は並列に処理 するということで、同種の又は異種の複数の膜を同時に複数試験することはできるが 、直列に配置される同種の膜又は異種の膜を複数枚使用して濾過の精度を上げよう とする場合に、それらの総合的な効果を見ることができなかった。
[0008] 又、上記の従来例の欠点を改良した発明が特開 2002—046651号公報に開示さ れている。しかし、同発明によれば装着された分離膜を交換する場合において、分離 膜の交換や分解を比較的容易にかつ迅速に行えるようになるが、構造が複雑であり 複数の膜の交換にはかなりの時間、例えば装置にセットする段取りの時間等が掛り、 膜 夂の場合には却って時間が掛るという問題が生じている。又、直列に配置される 同一又は種類の異なった複数の分離膜による総合的な効果を評価することはできず 、又、直列にしたものについて評価し、あるいは直列に使用する場合には複数の別 個のフィルタ装置を用いる必要があった。
[0009] 本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、簡単な構成でありながら 膜の試験や少量の濾過が必要な場合には簡単に濾過ができ、一種以上の分離膜で あっても複雑な組立や部品の追加等がなく簡単に組み込めて試験が容易にできる ば力りでなぐ分離膜の交換や分解も容易かつ迅速に行える分離膜用の簡易型のフ ィルタ装置を提供することを目的としている。本発明は特に、直列に配置される同一 又は種類の異なった複数の分離膜による総合的な効果を評価することもできるフィル タ装置を提供することを目的とする。 課題を解決するための手段
[0010] 本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成としている。
(1)本発明は、一方の側に吐出口を他方の側に前記吐出口に連通した開口部を有 するボウルと、原液を濾過する分離膜を保持又は固着した、原液又は濾液を通過さ せる開孔を有するフィルタプレートであって前記ボウルの前記開口部に収容された少 なくとも 1枚のフィルタプレートと、このフィルタプレートを一側力、ら押圧して濾過液の 漏れを防止する突状押圧部を一方の側に有し他方の側に原液の供給口を有するへ ッドと、前記ヘッドを前記ボウルへ向けて押圧する手段とからなる簡易型フィルタ装置 を提供する。
[0011] (2)好ましい形態では、前記（1)において、前記ボウル及び前記ヘッドに、雌ネジ又 は雄ネジを設けて前記ボウル及び前記ヘッドを互いに螺合させ、ボウルとヘッドを互 いに回転させることにより組み立てと気密 ·液密封止を実行できる。
[0012] (3)他の好ましい形態では、前記（1)又は（2)において、前記分離膜を保持又は固 着したフィルタプレートとを複数枚重畳させ、同一又は異なった種類の複数の分離膜 を使用した濾過、分離、又は精製、あるいは評価試験が可能となる。
[0013] (4)別の形態では、一方の側に吐出口を他方の側に前記吐出口に連通した開口部 を有するボウルと、原液を濾過する分離膜を保持又は固着した、原液又は濾液を通 過させる開孔を有するフィルタプレートであって前記ボウルの前記開口部に収容され た少なくとも 1枚のフィルタプレートと、このフィルタプレートを一側力 押圧して濾過 液の漏れを防止する突状押圧部を一方の側に有し他方の側に原液の供給口を有す るヘッドと、前記ヘッドを前記ボウルに向けてそれらの軸線方向に押圧するロッキング ナットとからなる簡易型フィルタ装置を提供する。
[0014] (5)他の好ましい形態では、前記（4)において、前記ボウル及びロック部材に互いに 螺合するネジ部を設け、それらを互いに螺合させ、回転させることにより装置の組み 立て及び軸線方向の押圧を可能にする。
[0015] (6)他の好ましレ、形態では、前記 (4)又は（5)におレ、て、前記分離膜を有するフィル タプレートを複数枚重ねて載置し、同種の複数の分離膜、又は異なった種類の分離 膜の使用を可能にする。 [0016] (7)他の好ましい形態では、ねじ締めの作用を容易にするために上記（2)の場合に はボウルの外面及びヘッドの外面に板状突起を設けて手掛け又は工具掛けとして使 用すること力 Sできる。
[0017] (8)又、（5)の場合にはボウルの外面に板状突起を設けて手掛け又は工具掛けとし て使用すること力 Sできる。
[0018] (9)又、前記 (4)又は（5)の場合には、ロッキングナットがその周部の 3個所に手掛け ハンドルを設けることができる。
[0019] (10)更に前記（1)又は (4)の場合には、前記フィルタプレートが底面に一定の高さ の円周突起を有しており、一方前記ボウルの前記開口部の内底には前記円周突起 を受容する円周溝を有し、前記フィルタプレートを前記ボウルに対して押圧すること により封止を行うことができる。
[0020] (11)更に前記（1)又は (4)において、下面側に少なくとも 1本の同心突起、好ましく は複数（実施例では 3本）を備える押えリングが、前記少なくとも 1つのフィルタプレー トの上面に配置され、前記フィルタプレートの上面側には全周に延びる平坦面が設 けられ、前記押えリングの前記同心突起が前記フィルタプレートの前記平坦面に押 圧されて封止を行うようになっている。
[0021] (12)更に前記（11)において、前記押えリングはその上面側に平坦面を有し、この平 坦面にはその上側に配置されるフィルタプレートの下面側に設けられた一定高さの 円周突起が押圧されて封止される力、又は前記ヘッドの突状押圧部が〇リングを介し て押圧されて封止されている。
[0022] 又、押えリングはその上面の前記平坦面を取り囲む周縁部を有し、フィルタプレート はその上面の前記平坦面を取り囲む周縁部を有し、押えリングがフィルタプレートの 凹部に収容されたとき前記周縁部同志が互いに融着されるようになっている。これに よりフィルタプレートと押えリングの結合一体化が可能となり、フィルタハウジングへの 装脱が容易になる。
[0023] (13)更に前記（1)又は（4)において、前記フィルタプレートの外周には指掛けタブ が設けられ、それに対応して前記ボウルには前記指掛けタブの案内溝が設けられて いる。 発明の効果
[0024] 以上の構成から明らかなように、上記（1)の発明によれば、処理原液の流路は最も 単純な直線型 (いわゆるインラインタイプ)であり、構成が最も簡単でありながら、濾過 しょうとする分離膜が流路に対してほぼ垂直に装着されるので、濾過効率がよぐこの 分離膜の膜性能を試験するための膜の着脱が容易でかつ迅速に交換することがで きる。
[0025] 通常のフィルタはそれ自体で腰が弱くて洗浄はできなレ、が、レジスト開発、薬剤開 発等の実仕様ではカートリッジフィルタをいろいろな薬液で洗浄したものを使っている 。本発明で仕様する分離膜を溶着等により支持したフィルタプレートは、使用後に取 り出して洗浄し、再使用することが可能となる。
[0026] 又、上記（2)に記載の発明によれば、ボウルとヘッドとは、ネジ部の締付け力により 強固に封止されるので、濾過液の漏れや混ざりが防止でき、分離膜の交換や分解を 容易にかつ迅速に行うことができる。
[0027] 又、上記（3)に記載の発明によれば、複数膜の試験が容易にできるので複数の膜 による分離の様子や効果を簡単に確認することができ、又、分離膜の交換や分解 · 組立も容易にかつ迅速に行うことができる。いいかえれば、一種類の複数の分離膜 や多種類の複数の分離膜であっても、容易に組み込むことができるので、極めて容 易に分離膜の試験や組合せを変えての試験もすることができる。
[0028] 又、上記（4)に記載の発明によれば、ロック部材の追加により、フィルタとボウル及 びヘッドとの封止がより効果的になされるので、能率的な濾過をすることができる。フ ィルタの交換に際しての脱着やその容易さについては、前記他の発明と同様である。
[0029] 又、上記（5)に記載の発明によれば、ロック部材はより具体的には、ロッキングナット としており、フィルタとボウル及びヘッドとの封止が通常のネジにより効果的になされる ので、確実に締付けられ効果的な濾過をすることができる。フィルタの交換に際して の脱着やその容易さについては、前記他の発明と同様である。
[0030] 又、上記（6)に記載の発明によれば、上記（4)又は（5)において、前記フィルタプレ ートを複数枚重畳させることにより、従来大型で多段にすることが必要であった濾過 フィルタを簡単な構成とすることができて、濾過の順序等も容易に変更が可能となる 等、より効果的な濾過をすることができる。フィルタの交換に際しての脱着やその容易 さについては、前記他の発明と同様である。従って、本発明によれば複数膜による濾 過で試験やそれ以外の濾過であって、小容量を必要とする時には簡便に適用するこ とができる。
[0031] 上記（7)の好ましレ、形態では、上記（2)の場合にはボウルの外面及びヘッドの外面 に板状突起を設けて手掛け又は工具掛けとして使用することができ、ねじ締めの作 業が容易になる。
[0032] 上記（8)の形態では、ボウルの外面に板状突起を設けて手掛け又は工具掛けとし て使用すること力 Sできる。
[0033] 上記（9)の形態のように、ロッキングナットの周部の 3個所に手掛けハンドルを設け ると、更にヘッドの着脱が容易となる。
[0034] 上記（10)の形態では、前記フィルタプレートが底面に一定の高さの円周突起を有 しており、一方前記ボウルの前記開口部の内底には前記円周突起を受容する円周 溝を有し、前記フィルタプレートを前ボウルに対して押圧することにより、 Oリングをい ちいち使用しなくても充分な封止を行うことができ、作業性が上がり又、低コストにな る。
[0035] 上記（11)の形態では、下面側に少なくとも 1本、好ましくは複数本の同心突起を備 える押えリングが、前記少なくとも 1つのフィルタプレートの上面に配置され、前記フィ ルタプレートの上面側には全周に延びる平坦面が設けられ、前記押えリングの前記 同心突起が前記フィルタプレートの前記平坦面に押圧されて封止を行うようになって いる。このため、フィルタプレートに融着できない分離膜を含む複合分離膜を使用す る場合にも、押えリングを利用して封止が可能となり、いちいち〇リングを使用しなくて も分離膜周部の充分な封止を行うことができ、作業性が上がり又、低コストになる。
[0036] 上記（12)の形態では、前記押えリングはその上面側に平坦面を有し、この平坦面 にはその上側に配置されるフィルタプレートの下面側に設けられた一定高さの円周 突起が押圧されて封止されるので、複数個のフィルタプレートを〇リングを使用しない で重畳させることが可能となる。 （但し最上部に使用される押えリングの場合には前記 ヘッドの突状押圧部が Oリングを介して押圧されて封止される）。 [0037] 又、押えリングはその上面の前記平坦面を取り囲む周縁部を有し、フィルタプレート はその上面の前記平坦面を取り囲む周縁部を有し、押えリングがフィルタプレートの 凹部に収容されたとき前記周縁部同志が互いに融着されるようになっているので、フ ィルタプレートとの融着ができない分離膜でも、フィルタプレートと押えリングの結合一 体化により封止保持することが可能となる。
[0038] 上記（13)の形態では、更に前記（1)又は（4)において、前記フィルタプレートの外 周には指掛けタブが設けられ、それに対応して前記ボウルには前記指掛けタブの案 内溝が設けられてレ、るが、上記のような封止手段によって原液ゃ濾液への流通路と その外側の空間は隔離されるので、外部からの汚染の心配なしに作業性を向上する ことが可能となる。
発明を実施するための最良の形態
[0039] 以下好ましい実施例を参照して本発明を詳しく説明するが、使用する材質は従来 力 知られているこの種の材料が使用できる。
[0040] 分離膜としては PTFE、 PE、 PFA、 PVDF、 PSE等の任意の微細孔分離膜が挙げ られる。
[0041] 分離膜を支持又は溶着するフィルタプレート（ホルダ）としては PP、 PE、 PFA等の 任意の樹脂材料が挙げられる。
[0042] ハウジングとして従来公知の剛性のあるプラスチック材料又は金属が使用できる。
実施例 1
[0043] 図 1一図 7を参照して本発明の第 1の実施例による簡易型フィルタ装置を説明する 。なお図の上下関係は説明の都合であり反転しても良いし、横にしても良いし、原液 の供給口と濾液の吐出口が反転しても良い。
[0044] 図 1一 6、及び図 2の部分拡大図である図 7を参照すると、フィルタ装置は、下面に 濾液の吐出口 13を上面に開口部 2 (又は凹所）を有するボウル 1 (又はカップ）と、こ の開口部 2に挿入されて開口部底部に支持された 1枚以上のフィルタプレート 5と、フ ィルタプレート 5の周部を気密及び液密に封止するためにフィルタプレート 5の周部を 開口部底部に向けて押圧する円環状の凸状押圧部 23を備え且つ原液の供給口 15 を有するヘッド 3とから構成されている。後で述べるようにフィルタプレート 5には分離 膜 25 (図 5又は図 6)が支持される。
[0045] ボウル 1の開口部 2は円筒状内壁 7と、底部を有し、底部は下に向けて緩く漏斗状 に収斂して吐出口 13に延びる中央部分とフィルタプレート 5の周部を支持する環状 の平坦な周辺部とを有する。この周辺部には封止用の弾性〇リング 16を受ける円周 溝が設けられている。図 2に示すようにボウル 1の円筒状内壁 7の上側部分には雌ね じ 21が形成され、ヘッド 3の外周面に施された雄ねじ 19と螺合している。更に、円筒 状内壁 7の直径を挟んだ対向部分には、フイノレタプレート 5のタブ 17、 17を受け入れ る垂直な案内溝 (縦溝） 18、 18が形成されている。図 3に示すようにボウル 1の下面 には板状突起 9が形成され、ヘッド 3をボウル 1に締着したり外したりする場合の手掛 け又は工具掛けとして役立つ。
[0046] ヘッド 3は円筒形の外周部にボウル 1の雌ねじ 21に螺合する雄ねじ 19を有している 。供給口 15の内端部は拡張してフィルタプレート 5の濾過面に連通する空間 43を形 成しており、空間 43を囲む壁は上記のようにフィルタプレート 5の周部を気密及び液 密に封止するためにフィルタプレート 5の周部を開口部底部に向けて押圧する円環 状の凸状押圧部 23を構成している。凸状押圧部 23の底面は水平面であり、 Oリング を介して後述のフィルタプレート 5を押圧して所定の封止を行う。ヘッド 3の上端面に はねじ締めの際に手掛け（又は工具掛け）となる板状突起 11が形成されている。
[0047] 図 5又は図 6に示すように、フィルタプレート 5は多数の孔 27を有する。フィルタプレ ート 5には凹入部 31を設け、その面に分離膜 25 (仮想線で示した）を保持させる。こ の場合には分離膜 25は熱溶着によりフィルタプレート 5の面に固着させるとよい。凹 入部 31は複数のフィルタプレートを使用する場合に分離膜 25への分配流路を形成 する。更に凹入部 31の面には多数の孔 27から放射状又は網目状に多数の溝 26を 形成して実効濾過面積を増大する。フィルタプレート 5の周部には周溝 29を設け、そ こに封止用の〇リング 20を収容する。これにより、図 2のように:!枚以上のフィルタプレ ート 5同志の外周部及びそれらとヘッドの凸状押圧部 23とを互いに封着することがで きる。
[0048] フィルタプレート 5の直径を挟む 2個所にはタブ 17、 17が形成されており、ボウノレ 1 の案内溝 18に嵌合するようになつている。これにフィルタプレート 5は所定の位置に 配置されるだけでなぐヘッド 3を締め込む際に回転を阻止される。
[0049] 濾過、分離又は精製作業又は濾過膜の評価測定に先立ち、ボウル 1の開口部 2の 底面周溝に〇リング 16を嵌め、次いで周溝 29に〇リング 20を嵌めた一枚又は複数 枚のフィルタプレート 5を、タブ 17と縦溝 18を利用して整列させ、ボウル 1の開口部 2 に落とし込む。次レ、でヘッド 3の外周の雄ねじ 19をボウル 1の雌ねじ 21に螺合させ、 板状突起 11を手又は工具を使って回してヘッド 3をボウル 1の開口部 2内へ締め込 む。これによりヘッド 3の凸状押圧部 23がフィルタプレート 5の周部を押圧して各部材 間の〇リング 16、 20により液密及び気密な封止が得られる。このとき図 2のように複数 枚のフィルタプレート 5を組み込むこともできるし、図 4のように単一のフィルタプレート 5を組み込むこともできる。このように、本発明のフィルタ装置は、 目的に応じて単数 又は複数枚のフィルタプレート 5を組み込むことができる融通性に富む構造を有する
[0050] なおこの実施例によるフィルタ装置は構造が単純であるので製造コストが低い利点 があるが、ヘッド 3の凸状押圧部 23と〇リング 20の間に摩擦摺動が起きるので、ねじ 締めを注意深く行う必要がある点で若干不便である。次の実施例でこれを改良する。 実施例 2
[0051] 次に図 8 図 14を参照して本発明の第 2の実施例を説明する。この実施例は上記 実施例のフィルタ装置よりも複雑であるが、気密性及び液密性が容易に得られる利 点を有する。これらの図においても実施例 1のフィルタ装置に対応する部材は同一の 参照符号を使用する。
[0052] この実施例によるフィルタ装置は、下面に濾液の吐出口 13を上面に開口部又は凹 所 2を有するボウル 1と、この開口部 2に揷入されて開口部底部に支持された 夂以 上のフィルタプレート 5と、フィルタプレート 5の周部を気密及び液密に封止するため にフィルタプレート 5の周部を開口部底部に向けて押圧する円環状の凸状押圧部 23 を備え且つ原液の供給口 15を有するヘッド 3と、ヘッド 3をボウル 1に対して固定する ためのロッキングナット 33から構成されている。
[0053] フィルタプレート 5は実施例 1のそれと同様な構造を有するので以下では必要な限 度でのみ言及する。一方、ボウル 1はこの例では円筒状内壁に雌ねじを具備しないし 、ヘッド 3はこの例では外周面に雄ねじを具備しない。
[0054] 図 9、図 10及び図 9の円内拡大図 12を参照するに、ボウル 1の開口部 2は円筒状 内壁 7と、下に向けて緩く漏斗状に収斂して吐出口 13に延びる中央部分と、フィルタ プレート 5の周部を支持する環状の平坦な周辺部とを有する。周辺部には封止用の 弾性 Oリング 16を受ける円周溝が設けられている。図 9に示すようにボウル 1の円筒 状外周面の上側部分には雄ねじ 37が形成され、ロッキングナット 33の内周面に施さ れた雌ねじ 35と螺合している。更に、円筒状内壁 7の直径を挟んだ対向部分には、 フイノレタプレート 5のタブ 17、 17 (図 5参照）を受け入れる垂直な案内溝 18、 18力 S図 2 の場合と同様に形成されている。ボウル 1の下面には板状突起 9が形成され、ヘッド 3 をボウル 1に締着しあるいは外す場合の手掛け又は工具掛けとして役立つ。
[0055] 図 9、図 13及び図 14を参照すると、ヘッド 3の供給口 15の内端部は拡張してフィノレ タプレート 5の濾過面に連通する空間 43を形成してレ、る。空間の周壁は上に述べた ようにフィルタプレート 5の周部を〇リング 20を介して開口部 2の底部に向けて押圧す る円環状の凸状押圧部 23を構成する。ヘッド 3の直径はボウル 1の円筒状内壁 7の 直径よりわずかに小さぐヘッド 3が嵌合できるようになつている。又、ヘッド 3の外周に は、その回転を防止するため、ボウル 1の縦溝 18、 18に嵌合するタブ 45、 45が設け られている。ヘッド 3の上面外周部にはロッキングナット 33の作用部 39に接して締め 付け力を受ける肩部 41が形成されている。このためフィルタプレート 5はヘッド 3の凸 状押圧部 23から垂直方向（フィルタ装置の軸線方向）の締め付け力を受けることがで きる。
[0056] フィルタプレート 5の構造は実施例 1に関して図 5及び図 6に関連して説明したもの と同様である。
[0057] 次に図 8及び図 9を参照すると、ロッキングナット 33は、ヘッド 3の肩部 41に衝接す る作用部 39を有する環状平板部と内周面に雌ねじ 35を形成した円筒状外周壁とを 有する。雌ねじ 35はボウル 1の外周面の雄ねじ 37と螺合している。ナット 33の作用部 39は手掛け又は工具掛けとするために多角形に形成されている。
[0058] 濾過又は分離作業又は濾過膜の評価測定に先立ち、ボウル 1の開口部 2の底面の 周溝に〇リング 16を嵌め、次いで周溝 29に〇リング 20を嵌めた一枚又は複数枚のフ ィルタプレート 5を、タブ 17と縦溝 18を利用して整列させ、ボウル 1の開口部 2に落と し込む。次いでタブ 45を縦溝 18に合わせた状態でヘッド 3をボウル 1の開口部 2に挿 入する。ついでロッキングナット 33をヘッド 3の上に被せ、ロッキングナットの雌ねじ 35 をボウル 1の雄ねじ 37に螺合させて手又は工具を使用して回転させることによりねじ 込む。これにより作用部 39及び肩部 41を介して締め付け力が凸状押圧部 23を介し てフィルタプレート 5のヘッドの周部に加えられ、 Oリング 16、 20によりフィルタプレー ト 5の周部が液密に封止される。この例でも、図 9のように複数枚のフィルタプレート 5 を組み込むこともできるし、図 11のように単一のフィルタプレート 5を組み込むこともで きる。このように、本発明のフィルタ装置は、 目的に応じて単数又は複数枚のフィルタ プレート 5を組み込むことができる融通性に富む構造を有する。
実施例 3
[0059] 次に図 15—図 23を参照して本発明の第 3の実施例を説明する。この実施例は図 8 一図 14に関連して説明した実施例 2に類似している力 S、フィルタプレートのシール部 の構造、フィルタプレートの指掛けの構造、及びロッキングクナットの構造が異なる。こ れらの図においても実施例 2のフィルタ装置に対応する部材は同一の参照符号を使 用する。
[0060] 図 15はこの実施例のフィルタ装置の斜視図であり、図 16は図 15の線 XVI— XVIに 沿った断面図である。この実施例によるフィルタ装置は、開口部又は凹所 2及び濾液 の吐出口 13を有するボウル 1と、この開口部 2に揷入されて開口部底部に支持され た 1枚以上のフィルタプレート 5と、フィルタプレート 5の上面又はそこに配置された濾 過膜を押えるための押えリング 55と、押えリング 55の周部を気密及び液密に封止す るために押えリング 55の周部を凹所 2の底部に向けて押圧する円筒状又は円環状の 凸状押圧部 23を備え且つ原液の供給口 15を有するヘッド 3と、ヘッド 3をボウル 1に 対して固定するためのロッキングナット 33から構成されている。なおこの例では原液 中の気泡、溶存ガスを引き出すガスベント 51が設けられている。
[0061] 図 16において、ボウル 1の開口部 2は円筒状内壁 7と、下に向けて緩く漏斗状に収 斂して吐出口 13に延びる中央部分と、フィルタプレート 5の周部を支持する環状の平 坦な周辺部とを有する。周辺部には封止用の円周溝 57が設けられている。この溝に はフィルタプレート 5の底面から突出する逆三角形断面の円周突起 59 (図 18参照） が嵌り込んで封着を行う。ボウル 1の円筒状外周面の上側部分には雄ねじ 37が形成 され、ロッキングナット 33の内周面に施された雌ねじ 35と螺合している。更に、円筒 状内壁 7の一部にはフィルタプレート 5の指掛けタブ 63 (図 17— 19参照）を受け入れ る垂直な案内溝 65が設けられている。後述するフィルタプレート 5の構造により、指掛 けタブ 63は原液及び濾液の通路から隔離されるので、指掛けタブ 63が存在しても濾 液の汚染は生じない。従って、このモデルによるとフィルタプレート 5の組み込み及び 交換が容易になる。各フィルタプレート 5には図 17 19に示した方向タブ 67が設け られ、対応してボウル 1の内壁 7に縦溝（図示せず）が図 2の場合と同様に形成されて いる。このためフィルタプレート 5は上下の向きが常に正しく設定できる。
[0062] 図 16のように、ヘッド 3の供給口 15の内端部は拡張してフィルタプレート 5の濾過面 に連通する空間 43を形成している。空間の周壁は上に述べたように押えリング 55を 介してフィルタプレート 5の周部を押さえる Oリング 20による開口部 2の底部に向けて 押圧する円環状の凸状押圧部 23を構成する。ヘッド 3の直径はボウル 1の円筒状内 壁 7の直径よりわずかに小さぐヘッド 3の下側部が嵌合できるようになつている。へッ ド 3の上面外周部にはロッキングナット 33の作用部 39に接して締め付け力を受ける 肩部 41が形成されている。このためフィルタプレート 5と押えリング 55はヘッド 3の凸 状押圧部 23から垂直方向（フィルタ装置の軸線方向）の締め付け力を受けることがで きる。
[0063] ロッキングナット 33は、ヘッド 3の肩部 41に衝接する作用部 39を有する環状平板部 と内周面に雌ねじ 35を形成した円筒状外周壁とを有する。雌ねじ 35はボウル 1の外 周面の雄ねじ 37と螺合している。図 15のように、ロッキングナット 33はその外周部の 互いに等角度に離間した 3個所にハンドル 53を有することによりロッキングナット 33 の締着と取り外しを容易にしてレ、る。ボウル 1の周部にも同様なハンドル 61を設ける。 適当な回り止めを有する場合にはボウル 1にハンドル 61を設けなくても良い。
[0064] ヘッド 3とロッキングナット 33は互いに相対回転しうる。このため、ヘッド 3をフィルタ プレート 5及び押えリング 55上に〇リング 20を介して載せたのち、ロッキングナット 33 を締め付けると、ヘッド 3が押えリング 55に摩擦係止した状態でロッキングナット 33の みが回転するので、ヘッド 3とフィルタプレート 5と押えリング 55の間の封止手段の滑 りが防止され、確実な封止力が得られる。
[0065] この実施例 3のフィルタプレート 5は、図 17 (平面図）、図 18 (図 17の XVIII— XVIII 断面図）及び図 19 (底面図）に示す。フィルタプレート 5は凹入部を有し、凹入部の内 底には平坦な保持面 31が設けられ、保持面 31の周部には無孔の平坦面が形成さ れている。保持面 31には少なくとも一枚の分離膜（図では鎖線で示した 2枚の分離 膜 25, 25 ' )が保持される。分離膜 25、 25 'の保持には、フィルタプレート 5の凹入部 に押えリング 55を揷入し、その外周部の底面から突出する封止用同心状突起 75に より分離膜の周部を保持面 31の周部の平坦面に押しあてる。フィルタプレート 5は図 23に関連して説明するように、リング 55の周縁部 79とフィルタプレートの周縁部 70と は互いに溶着される。このためには両部材 5と 55は同じ熱可塑性材料から製作する
[0066] もしも分離膜 25, 25'の一方又は両方がフィルタプレート 5と熱融着性の場合には 分離膜はフィルタプレート 5との熱融着しても良レ、。例えば熱溶着性のポリエチレン製 分離膜と熱溶着できないフッ素樹脂製分離膜とを組み合わせる等の場合には、例え ばポリエチレン分離膜 25をフィルタプレート 5に融着し、フッ素樹脂分離膜 25 'は単 にその上に置き、その周辺部を押さえリング 55によりフィルタプレート 5の保持面 31 の平坦な周部に押しつける。
[0067] フィルタプレート 5の上面は格子状に形成され、凹入部の面 31には格子間に網目 状に連絡した多数の溝 26を形成して実効濾過面積を増大する。又、下面側には溝 2 6に出てくる濾液を集める一様に分布した多数の孔 27を有する。凹入部は複数のフ ィルタプレートを使用する場合に分離膜 25への分配流路を形成する。
[0068] 既に述べたように、フィルタプレート 5の外周部底面には逆三角形状の円周突起 59 が突出している。円周突起 59は全周にわたり同じ高さであり、その先端は同一の平 面内にある。円周突起 59はボウル 1に形成した円周溝 57よりも広幅で且つ嵌合時に 円周溝 27の底に達しないような高さに形成することにより、円周突起 59と溝 57の内 外側壁上縁との間に弾性変形による封着が可能になるようにする。
[0069] フィルタプレート 5には更に既に述べたように手掛けタブ 63と方向タブ 67が形成さ れており、指掛けタブ 63はボウル 1の案内溝 18に嵌合し、方向タブ 67は対応した方 向規制溝に嵌合するようになっている。これによりフィルタプレート 5の着脱が容易に なり、フィルタプレート 5は表裏が正しく装着でき、更に、ヘッド 3を締め込む際に回転 することがない。
[0070] フィルタプレート 5は更に凹入部に保持面 31を取り囲む平坦な段部 69を有する。こ の段部は以下で述べる押えリング 55の周部底面 81を受けて押えリングを保持すると ともに、押えリングの弾性封着部 77の座屈を防ぐ役目もする。フィルタプレート 5の周 縁部 70はその内側に嵌合される押えリング 55の周縁部 79を受け入れ、互いに融着 されるようになつている。
[0071] この実施例 3の押えリング 55は、図 20 (平面図）及び図 21 (図 20の XXI— XXI断面 図）に示されている。
[0072] 押えリング 55には上面側に平坦面 71が形成され、底面に突出する 3本（一般には 複数)の逆三角状の同心状突起 75よりなる封止部を有する弾性封着部 77が形成さ れ、そして上下面は開口 73により連通されて液体分配通路を構成している。 3本の 突起の先端は同一の平面内にある。平坦面 71は Oリング 20 (図 16)の封止面となり、 あるいは他のフィルタプレート 5の円周突起 59に対する封止面となる。
[0073] 押えリング 55は上方に突出する周縁部 79を有し、押えリング 55が分離膜 25、 25 ' を介在してフィルタプレート 5の凹部に挿入されたときにフィルタプレート 5の周縁部 7 0とほぼ同じ高さに並ぶ。押えリング 55の外周はフィルタプレート 5の周縁部 70の内 周面に嵌合する外径の突縁 83を有する。このため押えリング 55の周縁部 79とフィノレ タプレート 5の周縁部 70との間には溶融樹脂の流入できる隙間ができる。この状態で ホットプレートをこれらの周縁部の上に当てて加圧下に加熱すると両周縁は溶融して この隙間に流入し、両者は互いに強固に融着すると共に分離膜を強く保持する。
[0074] 押えリング 55の平らな周部底面 81はフィルタプレート 5に設けられた平らな段部 69 と係合して両部材 5と 55を固定関係に保持し、又、同時に同心状突起 75を有する弾 性封着部 77の座屈を防ぐ。
[0075] この実施例ではフィルタプレート 5、分離膜 25、 25 '及び押えリング 55は予め一体 化された部品として構成される。 [0076] 図 23はフイノレタプレート 5に分離膜 25、 25 'を保持させ、これを押えリング 55により 押え、両部材 5と 55を互いに熱融着して一体に形成してフィルタプレートユニットを構 成した状態を示す。
[0077] 既に説明したように、フィルタプレート 5の凹入部に押えリング 55を揷入し、その外 周部の底面から突出する封止用同心状突起 75により分離膜の周部を保持面 31の 周部の平坦面に押し当てる。又、フィルタプレート 5の段部 69は押えリング 55の周部 底面 81を支持する。フィルタプレート 5の凹入部に揷入した押えリング 55の周縁部 7 9とフィルタプレートの周縁部 70の内周面との間には、押えリングの周りの突縁 83の ために隙間があるので、周縁部 79と周縁部 70の上からホットプレートを当てて押圧 すると、周縁部 70と 79は溶融して押しつぶされて融着し、又、溶融した樹脂はこれら 周縁部 70と 79の間の隙間に流れ、図 23に示したように平坦化した溶着部 Wを形成 する。この平坦ィ匕した溶着部 Wの上面は平坦面 71にほぼ一致する。
[0078] 図 22は実施例 3のフィルタ装置において二枚以上のフィルタプレート 5が使用され る場合を示す。この例では二枚のフィルタプレート 5と二個の押えリング 55が使用さ れており、フィルタプレート 5、 5間の封止は、下側の押えリング 55の平坦面 71に、上 側のフィルタプレート 5の底面の円周突起 59が当接し、ロッキングナット 33の締着カ により封止力を行うようになっている。
[0079] 濾過又は分離作業又は濾過膜の評価測定に先立ち、分離膜 25及び/又は 25 ' は図 23のようにフィルタプレート 5と押えリング 55に組み込まれて一体のフィルタプレ ートユニットに形成されているものとする。
[0080] ついで、指掛けタブ 63と垂直な案内溝 65及び方向タブ 67を利用して、フィルタプ レート 5をボウル 1の開口部 2の底面に落とし込む。これによりフィルタプレート 5底面 の円周突起 59がボウル 1の円周溝 57に嵌合して封止する。必要なら更に別のフィル タプレート 5と押えリング 55を同様に装着する。これにより、上側のフィルタプレート 5 の円周突起 59が下側の押えリング 55の平坦面 71に当接する。最後にヘッド 3をロッ キングナット 33と共にボウル 1に載せ、ヘッド 3の下端部をボウル 1の開口部 2に揷入 し、ロッキングナット 33の雌ねじ 35をボウル 1の雄ねじ 37に螺合させ、ハンドル 53、 場合により更にハンドル 61を利用し手又は工具でロッキングナット 33を回転させるこ とによりねじ込む。これにより作用部 39及び肩部 41を介して締め付け力が凸状押圧 部 23を介してフィルタプレート 5のヘッドの周部に加えられ、〇リング 20、弾性封着部 77の 3本の同心状突起 75、円周突起 59及び円周溝 57によりフィルタプレート 5の周 部が液密に封止される。これにより原液及び濾液の流路は、案内溝 65等から完全に 隔離される。なお、図 16のように単一のフィルタプレート 5を組み込むこともできるし、 図 22のように複数枚のフィルタプレート 5を組み込むこともできる。このように、本発明 のフィルタ装置は、 目的に応じて単数又は複数枚のフィルタプレート 5を組み込むこ とができる融通性に富む構造を有する。
[0081] 以上のように、本発明によると、分離膜を試験するための処理原液の流路は最も単 純な直線型 (いわゆるインラインタイプ)であり、構成が最も簡単でありながら、濾過しよ うとする分離膜が流路に対してほぼ垂直に装着されるので、濾過効率がよぐこの分 離膜の膜性能を試験するための膜の着脱が容易でかつ迅速に交換することができる フィルタ装置が提供される。
図面の簡単な説明
[0082] [図 1]本発明の実施例 1によるフィルタ装置の平面図である。
[図 2]同フィルタ装置の断面図である。
[図 3]同フィルタ装置の底面図である。
[図 4]同フィルタ装置の 1つの使用形態を示す断面図である。
[図 5]本発明の 2つの実施例に共通なフィルタプレートの平面図である。
[図 6]図 5のフィルタプレートの VI— VI断面図である。
[図 7]図 2のフィルタ装置の部分拡大図である。
[図 8]本発明の実施例 2によるフィルタ装置の平面図である。
[図 9]同フィルタ装置の断面図である。
[図 10]同フィルタ装置の底面図である。
[図 11]同フィルタ装置の 1つの使用形態を示す断面図である。
[図 12]同フィルタ装置の部分拡大図である。
[図 13]同フィルタ装置のヘッド単体の平面図である。
[図 14]同フィルタ装置のヘッド単体の断面図である。 園 15]本発明の実施例 3によるフィルタ装置の斜視図である。
[図 16]同フィルタ装置の XVI— XVI断面図である。
園 17]同フィルタ装置に使用するフィルタプレートの平面図である。
[図 18]図 17のフィルタプレートの XVIII—XVIII断面図である。
[図 19]同フィルタプレートの底面図である。
[図 20]押えリングの平面図である。
[図 21]図 20の押えリングの XXI— XXI断面図である。
園 22]実施例 3のフィルタ装置において二枚のフィルタプレート 5が使用される図 16と 同様な断面図である。
園 23]フィルタプレートと分離膜と押えリングとを一体に形成したフィルタプレートュニ ットを示す部分断面図である。
符号の説明
1 ボウノレ
2 開口部
3 ヘッド
5 フィルタプレート
7 円筒状内壁
9 板状突起
11 板状突起
13 濾液の吐出口
15 原液の供給口
16 Oリング
17 タブ
18 案内溝
19 雄ねじ
20 oリング
21 雌ねじ
23 凸状押圧部 分離膜 溝
多数の孔 周溝
保持面 ロッキングナット 雌ねじ 雄ねじ 作用部 肩部
空間
タブ
ガスベント口
/ヽンドノレ 甲えリング 円周溝 円周突起
/ヽンドノレ 指掛けタブ 案内溝 方向タブ 段部
周縁部 平坦面 同心状突起 弾性封着部 周縁部 周部底面
ZL£llO/ OOZd /13d 61 8 0/S00Z OAV

Claims

請求の範囲
[1] 一方の側に吐出口を他方の側に前記吐出口に連通した開口部を有するボウルと、 原液を濾過する分離膜を保持又は固着した、原液又は濾液を通過させる開孔を有 するフィルタプレートであって前記ボウルの前記開口部に収容された少なくとも 1枚の フイノレタプレートと、このフィルタプレートを一側から押圧して濾過液の漏れを防止す る突状押圧部を一方の側に有し他方の側に原液の供給口を有するヘッドと、前記へ ッドを前記ボウルへ向けて押圧する手段とからなるフィルタ装置。
[2] 前記押圧する手段は前記ボウル及び前記ヘッドに形成された互いに螺合する雌ネ ジ及び雄ネジであり、これらを相互に回転させることにより前記押圧を行うようにした 請求項 1記載のフィルタ装置。
[3] 前記分離膜を保持又は固着したフィルタプレートは複数枚重ねて載置した請求項 1又は 2記載のフィルタ装置。
[4] 一方の側に吐出口を他方の側に前記吐出口に連通した開口部を有するボウルと、 原液を濾過する分離膜を保持又は固着した、原液又は濾液を通過させる開孔を有 するフィルタプレートであって前記ボウルの前記開口部に収容された少なくとも 1枚の フイノレタプレートと、このフィルタプレートを一側から押圧して濾過液の漏れを防止す る突状押圧部を一方の側に有し他方の側に原液の供給口を有するヘッドと、前記へ ッドを前記ボウルに向けてそれらの軸線方向に押圧するロッキングナットとからなるフ ィルタ装置。
[5] 前記ボウル及び前記ロッキングナットに互いに螺合するネジ部を設け、それらを互 いに回転させることにより前記ヘッドを前記ボウルに向けて押圧する請求項 4記載の フィルタ装置。
[6] 前記分離膜を保持又は固着したフィルタプレートを複数枚重ねて載置した請求項 4 又は 5記載のフィルタ装置。
[7] 前記ボウルの前記一方の側の外面に手掛け用の板状突起を設けた請求項 2又は 5 記載のフィルタ装置。
[8] 前記ヘッドの前記他方の側の外面に手掛け用の板状突起を設けた請求項 2記載 のフィルタ装置。
[9] ロッキングナットがその周部の 3個所に手掛けハンドルを有する請求項 4又は 5記載 のフィルタ装置。
[10] 前記フィルタプレートが底面に一定の高さの円周突起を有しており、一方前記ボウ ルの前記開口部の内底には前記円周突起を受容する円周溝を有し、前記フィルタプ レートを前ボウルに対して押圧することにより封止を行う請求項 1又は 4に記載のフィ ルタ装置。
[11] 下面側に少なくとも 1本の同心突起を備える押えリングが、前記少なくとも 1つのフィ ルタプレートの上面に配置され、前記フィルタプレートの上面側には全周に延びる第 1の平坦面が設けられ、前記押えリングの前記同心突起が前記フィルタプレートの前 記第 1の平坦面に押圧されて封止を行うようになっている、請求項 1又は 4に記載の フィルタ装置。
[12] 前記押えリングはその上面側に第 2の平坦面を有し、この第 2の平坦面にはその上 側に配置されるフィルタプレートの下面側に設けられた一定高さの円周突起が押圧 されて封止される力、又は前記ヘッドの突状押圧部が Oリングを介して押圧されて封 止されている請求項 11のフィルタ装置。
[13] 前記フィルタプレートの外周には指掛けタブが設けられ、それに対応して前記ボウ ルには前記指掛けタブの案内溝が設けられている請求項 1又は 4に記載のフィルタ 装置。
[14] 前記フィルタプレートは前記第 1の平坦面を取り囲む第 1の周縁部を有し、前記押 えリングは前記第 2の平坦面を取り囲む第 2の周縁部を有し、前記押えリングが前記 フィルタプレートの凹入部に収容されたとき、前記第 1及び第 2の周縁部同志が互い に融着されるように構成されている、請求項 11又は 12に記載のフィルタ装置。
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