JP4748783B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
第1の発明は、その先端部に形成されたオリフィスから基板上に塗布液を吐出するノズルを備えた塗布装置である。ノズルは、フィルタ部を備える。フィルタ部は、その内部に形成されて塗布液をオリフィスまで流動させる流路上に設けられる。フィルタ部は、中空支持部およびフィルタ膜を含む。中空支持部は、流路の一部となる筒穴を有する。フィルタ膜は、中空支持部の筒穴内に支持される。中空支持部は、一対の中空筒状部材を嵌合することによって構成される。一方の中空筒状部材は、その底面に先端外形が漸増的に太くなった先太で、その先端が当接平面である凸形状部が形成される。他方の中空筒状部材は、その上面に凸形状部と同形状で底内径が上面内径より漸増的に広がり、その底が当接平面である凹形状部が形成される。フィルタ膜は、凸形状部と凹形状部とを挿嵌することに
よって、一方の中空筒状部材の底面と他方の中空筒状部材の上面との間に挟持されて支持される。
2…基板載置装置
21…ステージ
22…旋回部
23…平行移動テーブル
24…ガイド受け部
25、511…ガイド部材
3…制御部
5…有機EL塗布機構
50…ノズルユニット
51…ノズル移動機構部
52a、52b、52c…ノズル
520…ノズルホルダ
521…フィルタ部
522…ノズルシート
523…ノズル本体
524…先端固定キャップ
525…後端ナット
526…押さえリング
527…配管
53…液受部
54…供給部
541…供給源
542…ポンプ
543…流量計
60…フィルタ膜
61、63、65、67…上支持部材
62、64、66、68…下支持部材
Claims (5)
- その先端部に形成されたオリフィスから基板上に塗布液を吐出するノズルを備えた塗布装置であって、
前記ノズルは、その内部に形成されて前記塗布液を前記オリフィスまで流動させる流路上に設けられたフィルタ部を備え、
前記フィルタ部は、
前記流路の一部となる筒穴を有する中空支持部と、
前記中空支持部の筒穴内に支持されたフィルタ膜とを含み、
前記中空支持部は、一対の中空筒状部材を嵌合することによって構成され、
一方の前記中空筒状部材は、その底面に先端外形が漸増的に太くなった先太で、その先端が当接平面である凸形状部が形成され、
他方の前記中空筒状部材は、その上面に前記凸形状部と同形状で底内径が上面内径より漸増的に広がり、その底が当接平面である凹形状部が形成され、
前記フィルタ膜は、前記凸形状部と前記凹形状部とを挿嵌することによって、前記一方の中空筒状部材の底面と前記他方の中空筒状部材の上面との間に挟持されて支持されることを特徴とする、塗布装置。
- 前記フィルタ膜は、前記中空支持部の筒穴軸方向に対して当該筒穴の中間位置で支持されることを特徴とする、請求項1に記載の塗布装置。
- 前記フィルタ部は、前記中空支持部が前記フィルタ膜を前記筒穴内で支持した状態で前記ノズルに対して着脱可能であることを特徴とする、請求項1に記載の塗布装置。
- 前記ノズルは、
前記流路の一部となる貫通穴を有するノズル本体と、
前記オリフィスが形成されたノズルシートとを、さらに備え、
前記中空支持部の上面と前記ノズル本体の下面とが当接し、前記中空支持部の下面と前記ノズルシートの上面とが当接することによって、前記フィルタ部は、前記ノズル本体と前記ノズルシートとの間で挟持されて装着され、
前記フィルタ膜は、前記中空支持部の下面から所定距離だけ離れた前記筒穴内に支持されることによって、前記フィルタ部が前記ノズル内に装着されたときに当該フィルタ膜と前記ノズルシートとが離間することを特徴とする、請求項1に記載の塗布装置。 - 前記塗布液は、有機EL表示装置を製造するための有機EL材料および正孔輸送材料の少なくとも一方であることを特徴とする、請求項4に記載の塗布装置。
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JP2005277941A JP4748783B2 (ja) | 2005-09-26 | 2005-09-26 | 塗布装置 |
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Family Applications (1)
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Citations (3)
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JP2002219396A (ja) * | 2000-10-12 | 2002-08-06 | Toray Ind Inc | 塗工装置、塗工方法およびこれらを用いて製造されたカラーフィルタ、またはカラー液晶表示装置 |
JP2004041943A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置および有機el塗布装置 |
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Family Cites Families (1)
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-
2005
- 2005-09-26 JP JP2005277941A patent/JP4748783B2/ja active Active
Patent Citations (3)
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JP2005225109A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Toshiba Tec Corp | フィルターユニット |
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