JP2008289960A - 塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液柱状態の塗布液を基板に塗布する際、基板外に吐出される塗布液が当該基板へ影響しない塗布装置を提供する。
【解決手段】ノズルは、その先端部から塗布液を液柱状態で吐出する。ステージは、基板をその上面に載置する。ノズル移動機構は、ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向にノズルを往復移動させる。液受部は、傾斜面を含み、ノズル移動機構が横断する方向に沿ってステージ上から外れた位置にノズルより塗布液を吐出させつつノズルを移動させる際、当該ノズルからステージ外に吐出された塗布液を受ける。傾斜面は、ステージ上から外れた位置に配置されたノズルの先端部から鉛直下方向となる位置に横断する方向へ延設され、当該横断する方向に垂直な水平方向に対して傾斜している。液受部は、ステージ上から外れた位置に配置されたノズルから吐出された塗布液を、液柱状態で傾斜面に塗着させて回収する。
【選択図】図８

Description

本発明は、塗布装置に関し、より特定的には、ステージ上に載置した基板にノズルから液柱状態の塗布液を吐出して塗布する塗布装置に関する。

従来、ノズルから塗布液を吐出しつつ、連続して一筆書きのように基板に塗布液を塗布する塗布装置が開発されている。例えば、有機ＥＬ表示装置を製造する装置では、ステージ上に載置されたガラス基板等の基板の主面に所定のパターン形状で有機ＥＬ材料がノズル塗布される。このような塗布装置においては、基板に塗布液を塗布する際、ノズルが基板外に移動したときに基板外に塗布された塗布液や不要な塗布液を回収するために、基板外に塗布液を受ける液受部が配設される（例えば、特許文献１参照）。

図１３に示すように、塗布装置は、赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料の塗布を受けるガラス基板Ｐを載置するステージ１０１を備えている。そして、当該製造装置は、赤色、緑色、および青色の有機ＥＬ材料の何れかを吐出する複数本（図１３の例では３本）のノズル１０２〜１０４と、基板Ｐの外に吐出された有機ＥＬ材料を回収する液受部１０５とを備えている。赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料としては、例えば、基板Ｐ上にストライプ状に形成された溝内に拡がるように流動する程度の粘性を有する有機性のＥＬ材料が用いられる。そして、所定の圧力および流量でノズル１０２〜１０４から有機ＥＬ材料を直線棒状（以下、液柱状態と記載する）に吐出して、基板Ｐ上に塗布される。なお、液受部１０５は、基板Ｐの両サイド外側（図１３では、一方のみ示している）に上面を開口して配設されている。

ノズル１０２〜１０４は、後述するノズル往復移動方向に対して斜めに並設した状態で保持部材（図示せず）によって支持されており、当該保持部材およびステージ１０１は、塗布装置の各駆動機構によって動作する。駆動機構は、基板Ｐを所定方向に横断する方向（基板Ｐに形成されたストライプ状の溝の方向であり、図示矢印Ｆ方向；以下、ノズル往復移動方向と記載する）にノズル１０２〜１０４を支持する保持部材を往復移動させる。このとき、駆動機構は、基板Ｐの一方サイド外側に配設されている液受部１０５の上部空間から、基板Ｐを横断して基板Ｐの他方サイド外側に配設されている液受部１０５の上部空間まで、上記保持部材を往復移動させる。また、駆動機構は、上記保持部材が液受部１０５の上部空間に配置されている際、上記ノズル往復移動方向とは垂直の所定方向（紙面垂直方向）に所定ピッチだけステージ１０１を移動させる。このような駆動機構の動作と同時にノズル１０２〜１０３から有機ＥＬ材料を液柱状態で吐出することによって、赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料がストライプ状の溝毎に赤、緑、青色の順に配列された、いわゆる、ストライプ配列が基板Ｐ上に形成される。

しかしながら、基板Ｐ外に設けられた液受部１０５へ液柱状態の塗布液を吐出する場合、次のような問題がある。ノズル１０２〜１０４と液受部１０５との距離（図１３に示すｈ１＋ｈ２）が長くなることによって、液柱状態であった塗布液が表面張力により液滴化する。例えば、ノズル１０２〜１０４の先端部から基板Ｐ上面までの距離ｈ１は、０．２５〜０．５０ｍｍ程度に液柱状態が保証できる距離に設定することができるが、距離ｈ１＋ｈ２が２０ｍｍ以上となる場合、吐出圧力や流量の調整だけでは液滴化を防ぐことが難しくなる。また、ノズル１０２〜１０４が図示Ｆ方向へ高速移動する場合、その速度に応じて液滴化した塗布液が微細なミスト状にさらに分裂する。そして、高速移動するノズル１０２〜１０４の背後の空間が負圧となり、ミスト状になった塗布液がノズル１０２〜１０４の近傍まで舞い上がってしまう。その結果、基板Ｐ外で発生したミスト状の塗布液が基板Ｐ上に落下して上面に付着するため、塗布不良の原因となってしまう。

また、液柱状態の塗布液が液滴化する前に、液柱状態のまま塗布液を平板等の部材に塗着させてしまうような方式が考えられる。しかしながら、塗布液を液柱状態で塗着させた部材上には、当該塗布液が溜まった状態（液だまり）で残存する。そして、部材上に溜まった液だまりに対してさらに液柱状態の塗布液を塗着し続けると、当該液だまりに液柱状態の塗布液が突入する箇所付近においてミスト状の塗布液が発生してしまう。

一方、図１４に示すように、上記特許文献１で記載された塗布装置では、スリットＳが形成された液受部１０６が設けられている。スリットＳは、上記ノズル往復移動方向と平行に液受部１０６の上面に形成される。また、スリットＳは、ステージ１０１上から上記ノズル往復移動方向へ外れた位置で、かつ、ノズル１０２〜１０４の先端部から鉛直下方向となる位置に形成される。そして、スリットＳが形成される液受部１０６の上面は、ステージ１０１の上面とほぼ同じ高さに設けられる（すなわち、距離ｈ２が基板Ｐの厚さ程度の小さい値となる）ため、スリットＳの開口を通してノズルから吐出された液柱状態の塗布液を液受部１０６で回収して、ミスト状の塗布液が液受部１０６の外部へ漏出することを防止している。
特開２００６−１８１４１０号公報

しかしながら、塗布装置は、その製造効率等の面から複数のノズルを用いることが一般的である。また、上述したように複数のノズルは、ノズル往復移動方向に対して斜めに並設した状態で支持されて、当該ノズル往復移動方向へ往復移動するため、全てのノズルからの塗布液を通過させるためにスリットＳの開口幅を広く形成する必要がある。したがって、上記特許文献１で開示された塗布装置においては、スリットＳの開口面積が大きく形成することが必要となり、結果的にスリットＳの開口部からミスト状の塗布液が液受部１０６の外部へ漏出することが考えられる。

それ故に、本発明の目的は、液柱状態の塗布液を基板に塗布する際、基板外に吐出される塗布液が当該基板へ影響しない塗布装置を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明は、以下に述べるような特徴を有している。
第１の発明は、鉛直下方向への直線棒状となった液柱状態の塗布液を基板上に吐出して当該塗布液を塗布する塗布装置である。塗布装置は、ノズル、ステージ、ノズル移動機構、および液受部を備える。ノズルは、その先端部から塗布液を液柱状態で吐出する。ステージは、基板をその上面に載置する。ノズル移動機構は、ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向にノズルを往復移動させる。液受部は、ノズル移動機構が横断する方向に沿ってステージ上から外れた位置にノズルより塗布液を吐出させつつ当該ノズルを移動させる際、当該ノズルからステージ外に吐出された塗布液を受ける。液受部は、傾斜面を含む。傾斜面は、ステージ上から外れた位置に配置されたノズルの先端部から鉛直下方向となる位置に横断する方向へ延設され、当該横断する方向に垂直な水平方向に対して傾斜している。液受部は、ステージ上から外れた位置に配置されたノズルから吐出された塗布液を、液柱状態で傾斜面に塗着させて回収する。

第２の発明は、上記第１の発明において、液受部は、吸引手段をさらに含む。吸引手段は、傾斜面に塗布液が塗着する位置近傍の空間の気体を吸引する。

第３の発明は、上記第２の発明において、吸引手段は、傾斜面に塗布液が塗着する位置の下方に当該傾斜面上部空間の気体を吸引する少なくとも１つの吸引口を有する。

第４の発明は、上記第３の発明において、液受部は、仕切部材をさらに含む。仕切部材は、傾斜面に対して所定の隙間を介して平行に、傾斜面の上部空間の一部に固設される。吸引口は、傾斜面の下端と仕切部材との間に配設される。

第５の発明は、上記第２の発明において、吸引手段は、傾斜面に塗布液が塗着する位置近傍の空間の気体を当該傾斜面の上面に沿った下方へ吸引する。

第６の発明は、上記第１または第２の発明において、傾斜面は、塗布液が塗着する位置が、ノズルから吐出された塗布液が液柱状態から分裂が始まる高さより当該ノズル側となる鉛直下方向位置に配設される。

第７の発明は、上記第６の発明において、傾斜面は、横断する方向に垂直な水平方向に対して一方方向へ傾斜する１つの平面で形成される。

第８の発明は、上記第６の発明において、傾斜面は、横断する方向に垂直な水平方向に対して双方向へそれぞれ傾斜する２つの平面で構成された谷型である。

第９の発明は、上記第６の発明において、傾斜面は、横断する方向に垂直な水平方向に対して双方向へそれぞれ傾斜する２つの平面で構成された山型である。

上記第１の発明によれば、ステージ上から外れた位置に配置されたノズルから吐出され液柱状態であった塗布液が、表面張力により液滴化する前に全て液受部の傾斜面に塗着する。そして、傾斜面上に塗着した塗布液は、その傾斜方向に流れ落ちながら回収される。したがって、塗布液を液柱状態で塗着させた傾斜面上には、当該塗布液が溜まった状態（液だまり）で残存することがない。つまり、傾斜面上に溜まった液だまりに対してさらに液柱状態の塗布液を塗着し続けることがなく、当該液だまりに液柱状態の塗布液を突入させることによるミスト状の塗布液の発生を防止することができる。したがって、基板外に吐出した塗布液が舞い上がって基板上に落下して付着することなく、塗布不良を防止することができる。

上記第２の発明によれば、傾斜面に塗布液が塗着する部位を吸引することによって、さらに液受部に吐出された塗布液が外部へ漏れることを確実に防止することができる。

上記第３の発明によれば、吸引口が傾斜面に塗布液が塗着する位置の下方に設けられているため、傾斜面に塗着して流れ落ちる塗布液の方向に沿って塗布液を吸引することができる。また、傾斜面上にミスト状の塗布液が発生した場合に、塗布液が塗着する位置から下方へミスト化した塗布液を効率よく吸引することができる。また、吸引手段が吸引する空間は、傾斜面によって限定された空間となるため、その吸引効率が向上して、さらに効率よく不要な塗布液を回収することができる。

上記第４の発明によれば、吸引手段が吸引する空間が傾斜面と仕切部材とに挟まれた狭い空間となる。したがって、仕切部材を設けることによって、吸引手段が吸引する空間がさらに限定されるため、吸引手段の吸引効率をさらに向上させることができる。

上記第５の発明によれば、傾斜面の上面に沿った下方へ吸引するため、傾斜面に塗着して流れ落ちる塗布液の方向に沿って塗布液を吸引することができる。また、傾斜面上にミスト状の塗布液が発生した場合に、その上面に沿った下方へミスト化した塗布液を効率よく吸引することができる。さらに、吸引手段が吸引する空間は、傾斜面によって限定された空間となるため、その吸引効率が向上して、さらに効率よく不要な塗布液を回収することができる。

上記第６の発明によれば、ステージ上から外れた位置に配置されたノズルから吐出され液柱状態であった塗布液が、分裂前に傾斜面に塗着する。したがって、塗布液が微細なミスト状になって基板上に落下することを防止することができる。

上記第７の発明によれば、１つの平面で構成される傾斜面上に塗着した塗布液を、その傾斜方向に流れ落としながら回収することができる。

上記第８の発明によれば、谷型で構成される傾斜面上に塗着した塗布液を、その谷底方向に流れ落としながら回収することができる。

上記第９の発明によれば、山型で構成される傾斜面上に塗着した塗布液を、その山裾方向に流れ落としながら回収することができる。

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係る塗布装置について説明する。説明を具体的にするために、当該塗布装置が有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等を塗布液として用いる有機ＥＬ表示装置を製造する塗布装置に適用された例を用いて、以下の説明を行う。当該塗布装置は、有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等をステージ上に載置されたガラス基板上に所定のパターン形状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造するものである。図１は、塗布装置１の要部概略構成を示す平面図および正面図である。なお、塗布装置１は、上述したように有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等の複数の塗布液を用いるが、それらの代表として有機ＥＬ材料を塗布液として説明を行う。

図１において、塗布装置１は、大略的に、基板載置装置２および有機ＥＬ塗布機構５を備えている。有機ＥＬ塗布機構５は、ノズル移動機構部５１と、ノズルユニット５０と、液受部５３Ｌおよび５３Ｒとを有している。ノズル移動機構部５１は、ガイド部材５１１が図示Ｘ軸方向に延設されており、ノズルユニット５０をガイド部材５１１に沿って図示Ｘ軸方向に移動させる。ノズルユニット５０は、赤、緑、および青色の何れか１色の有機ＥＬ材料を吐出する複数のノズル５２（図１では、３本のノズル５２ａ、５２ｂ、および５２ｃ）を並設した状態で保持する。各ノズル５２ａ〜５２ｃへは、それぞれ供給部（図２参照）から赤、緑、および青色の何れか１色の有機ＥＬ材料が供給される。このように、複数のノズル５２から同じ色の有機ＥＬ材料が吐出されるが、説明を具体的にするために赤色の有機ＥＬ材料が３本のノズル５２ａ〜５２ｃから吐出される例を用いる。

基板載置装置２は、ステージ２１、旋回部２２、平行移動テーブル２３、ガイド受け部２４、およびガイド部材２５を有している。ステージ２１は、被塗布体となるガラス基板等の基板Ｐをそのステージ上面に載置する。ステージ２１の下部は、旋回部２２によって支持されており、旋回部２２の回動動作によって図示θ方向にステージ２１が回動可能に構成されている。また、ステージ２１の内部には、有機ＥＬ材料が塗布された基板Ｐをステージ面上で予備加熱処理するための加熱機構や基板Ｐの吸着機構や受け渡しピン機構等が設けられている。

有機ＥＬ塗布機構５の下方を通るように、ガイド部材２５が上記Ｘ軸方向と垂直の図示Ｙ軸方向に延設されて水平に固定される。平行移動テーブル２３の下面には、ガイド部材２５と当接してガイド部材２５上を滑動するガイド受け部２４が固設されている。また、平行移動テーブル２３の上面には、旋回部２２が固設される。これによって、平行移動テーブル２３が、例えばリニアモータ（図示せず）からの駆動力を受けてガイド部材２５に沿った図示Ｙ軸方向に移動可能になり、旋回部２２に支持されたステージ２１の水平移動も可能になる。

受け渡しピン機構を介してステージ２１上に基板Ｐを載置し、当該基板Ｐを吸着固定して、平行移動テーブル２３が有機ＥＬ塗布機構５の下方まで移動したとき、当該基板Ｐが赤色の有機ＥＬ材料の塗布をノズル５２ａ〜５２ｃから受ける位置となる。そして、制御部（図２参照）がノズルユニット５０をＸ軸方向に往復移動させるようにノズル移動機構部５１を制御し、ステージ２１をＹ軸方向へ当該直線移動毎に所定ピッチだけ移動させるように平行移動テーブル２３を制御し、ノズル５２ａ〜５２ｃから所定流量の有機ＥＬ材料を吐出させる。また、ノズル５２ａ〜５２ｃのＸ軸方向吐出位置において、ステージ２１に載置された基板Ｐから逸脱する両サイド空間には、基板Ｐから外れて吐出された有機ＥＬ材料を受ける液受部５３Ｌおよび５３Ｒがそれぞれ固設されている。ノズル移動機構部５１は、基板Ｐの一方サイド外側に配設されている液受部５３（例えば、液受部５３Ｌ）の上部空間から、基板Ｐを横断して基板Ｐの他方サイド外側に配設されている液受部５３（例えば、液受部５３Ｒ）の上部空間まで、ノズルユニット５０を往復移動させる。また、平行移動テーブル２３は、ノズルユニット５０が液受部５３の上部空間に配置されている際、ノズル往復移動方向とは垂直の所定方向（図示Ｙ軸方向）に所定ピッチだけステージ２１を移動させる。このようなノズル移動機構部５１および平行移動テーブル２３の動作と同時にノズル５２ａ〜５２ｃから有機ＥＬ材料を液柱状態で吐出することによって、赤色の有機ＥＬ材料が基板Ｐに形成されたストライプ状の溝毎に配列された、いわゆる、ストライプ配列が基板Ｐ上に形成される。

次に、図２を参照して、塗布装置１における制御機能および供給部の概略構成について説明する。なお、図２は、塗布装置１の制御機能および供給部を示すブロック図である。

図２において、塗布装置１は、上述した構成部の他に、制御部３、第１供給部５４ａ、第２供給部５４ｂ、および第３供給部５４ｃを備えている。第１〜第３供給部５４ａ〜５４ｃは、共に赤色の有機ＥＬ材料をそれぞれノズル５２ａ〜５２ｃに配管を介して供給する。

第１供給部５４ａは、有機ＥＬ材料の供給源５４１ａと、供給源５４１ａから有機ＥＬ材料を取り出すためのポンプ５４２ａと、有機ＥＬ材料の流量を検出する流量計５４３ａとを備えている。また、第２供給部５４ｂは、有機ＥＬ材料の供給源５４１ｂと、供給源５４１ｂから有機ＥＬ材料を取り出すためのポンプ５４２ｂと、有機ＥＬ材料の流量を検出する流量計５４３ｂとを備えている。第３供給部５４ｃは、有機ＥＬ材料の供給源５４１ｃと、供給源５４１ｃから有機ＥＬ材料を取り出すためのポンプ５４２ｃと、有機ＥＬ材料の流量を検出する流量計５４３ｃとを備えている。そして、制御部３は、第１〜第３供給部５４ａ〜５４ｃ、旋回部２２、平行移動テーブル２３、およびノズル移動機構部５１のそれぞれの動作を制御する。なお、供給源５４１ａ〜５４１ｃからノズル５２ａ〜５２ｃに至るそれぞれの配管は、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＰ（ポリプロピレン）、テフロン（登録商標）等を材料とする管部材が用いられる。

ノズル５２ａは、第１供給部５４ａから供給された有機ＥＬ材料中の異物を除去するためのフィルタ部５２１ａを有している。ノズル５２ｂは、第２供給部５４ｂから供給された有機ＥＬ材料中の異物を除去するためのフィルタ部５２１ｂを有している。ノズル５２ｃは、第３供給部５４ｃから供給された有機ＥＬ材料中の異物を除去するためのフィルタ部５２１ｃを有している。なお、ノズル５２ａ〜５２ｃは、それぞれ同一の構造であるため、総称して説明する場合は参照符号「５２」を付して説明を行う。

ここで、赤色の有機ＥＬ材料の塗布を受ける基板Ｐの表面には、有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応じたストライプ状の溝が複数本並設されるように形成されている。有機ＥＬ材料としては、例えば、基板Ｐ上の溝内に拡がるように流動する程度の粘性を有する有機性のＥＬ材料が用いられ、具体的には各色毎の高分子タイプの有機ＥＬ材料が用いられる。ノズルユニット５０は、所定の支持軸周りに回動自在に支持されており、制御部３の制御によって当該支持軸周りに回動させることで、塗布ピッチ間隔を調整することができる。

制御部３は、ステージ２１に載置された基板Ｐの位置や方向に基づいて、基板Ｐに形成された溝の方向が上記Ｘ軸方向になるように旋回部２２の角度を調整し、塗布のスタートポイント、すなわち、基板Ｐに形成された溝の一方の端部側で塗布を開始する塗布開始位置を算出する。なお、上記塗布開始位置は、一方の液受部５３の上部空間となる。そして、制御部３は、上述したように平行移動テーブル２３およびノズル移動機構部５１を駆動させる。

上記塗布開始位置において、制御部３は、各ノズル５２ａ〜５２ｃから有機ＥＬ材料の吐出開始を各ポンプ５４２ａ〜５４２ｃに指示する。このとき、制御部３は、ストライプ状の溝の各ポイントにおける有機ＥＬ材料の塗布量が均一となり、液柱状態で有機ＥＬ材料が吐出されるように、ノズル５２ａ〜５２ｃの移動速度に応じてその塗布量を制御しており、流量計５４３ａ〜５４３ｃからの流量情報をフィードバックして制御する。そして、制御部３は、基板Ｐ上の溝内への有機ＥＬ材料の流し込むために、有機ＥＬ材料を基板Ｐ上の溝に沿わせながらこの溝内に流し込むようにノズルユニット５０をガイド部材５１１に沿わせて移動させるように制御する。この動作によって、液柱状態で各ノズル５２ａ〜５２ｃから吐出される赤色の有機ＥＬ材料が同時にそれぞれの溝に流し込まれていく。

制御部３は、基板Ｐ上をノズルユニット５０が横断して溝の他方端部の外側に固設されている他方の液受部５３上に位置すると、ノズル５２ａ〜５２ｃからの有機ＥＬ材料の吐出を継続したまま、ノズル移動機構部５１によるノズルユニット５０の移動を停止する。この１回の移動によって、３列分の溝への有機ＥＬ材料の塗布が完了する。具体的には、同色の有機ＥＬ材料を各ノズル５２ａ〜５２ｃから吐出しているので、３列毎に１列の溝を塗布対象とした合計３列分の溝に有機ＥＬ材料が塗布される。

次に、制御部３は、平行移動テーブル２３をＹ軸正方向に所定距離（例えば、溝９列分）だけピッチ送りして、次に塗布対象となる溝への有機ＥＬ材料の塗布を行えるようにする。そして、制御部３は、他方の液受部５３の上部空間からノズルユニット５０を逆の方向へ基板Ｐ上を横断させて一方の液受部５３上に位置すると、ノズル５２ａ〜５２ｃからの有機ＥＬ材料の吐出を継続したまま、ノズル移動機構部５１によるノズルユニット５０の移動を停止する。この２回目の移動によって、次の３列分の溝への有機ＥＬ材料の塗布が完了する。このような動作を繰り返すことによって、赤色の有機ＥＬ材料が赤色を塗布対象とした溝に流し込まれる。

次に、図３〜図６を参照して、液受部５３について説明する。なお、図３は、液受部５３の構造を示す斜視図である。図４は、図３のＤ方向から見た液受部５３の側面概要図である。図５は、ノズル５２ａ〜５２ｃから吐出される有機ＥＬ材料と液受部５３との位置関係を示す斜視図である。図６は、ノズル５２ａ〜５２ｃが移動した際の液受部５３との位置関係を示す斜視図である。なお、ステージ２１に対して両サイドにある液受部５３Ｌおよび５３Ｒ（図１参照）は、共にステージ２１を対称とした同一の構造を有しており、図３〜図６は、その一方を液受部５３として示している。

図３において、液受部５３は、下段受け部５３１、上段ボックス部５３２、上板部材５３３、上段支持部材５３４、およびボックス内吸引部５３６を備えている。

下段受け部５３１は、例えばノズル移動機構部５１に連結され、ノズル移動機構部５１との位置関係が常時固定されるように固設されている。下段受け部５３１は、上部ボックス部５３２のステージ２１側の下部に備え付けられ、ノズル５２ａ〜５２ｃが基板Ｐ上と上部ボックス部５３２上との間を移動する際に、基板Ｐと上部ボックス部５３２との隙間から漏れた有機ＥＬ材料等を受けるように位置している。上段ボックス部５３２の内部に吐出された有機ＥＬ材料は、上部ボックス５３２下部に設けられた排出ライン５３５（図７参照）を経由して、下段受け部５３１内に流下する。また、下段受け部５３１内部に吐出された有機ＥＬ材料は、その最下位置から流出する流路（図示せず）を介して排液タンク（図示せず）で回収される。また、下段受け部５３１内部には、ステージ２１側面近傍空間の気体を吸引する局所排気部を設けてもかまわない。さらに、下段受け部５３１の上端面には、上段ボックス部５３２を支持する上段支持部材５３４が固設される。

上段ボックス部５３２は、上段支持部材５３４によって支持され、下段受け部５３１の上部に固設される。上段ボックス部５３２は、上面が開放されたボックス形状を有しており、当該上面を覆うように上板部材５３３が設けられて閉じられている。上板部材５３３は、図示Ｘ軸方向を長手開口方向とするスリット開口部５３３ａが形成されている。上板部材５３３は、上段ボックス部５３２の蓋のように取り付けられており、上段ボックス部５３２から取り外し可能にはめ込まれている。そして、上板部材５３３が上段ボックス部５３２に取り付けられると、スリット開口部５３３ａが上段ボックス部５３２の内部空間と外部空間との開孔として機能する。

上板部材５３３の上面は、ステージ２１の上面と略同一の高さ（図４の高さｄ参照）となるように固設されている。上段ボックス部５３２および上板部材５３３のステージ２１側の側面は、当該ステージ２１近傍に所定の隙間（図４の隙間ａ参照）を形成して固設される。そして、上板部材５３３の上面には、ステージ２１の側面から図示Ｘ軸正方向へ一部がはみ出す（図４の長さｂ参照）ように載置された基板Ｐ（図３においては、破線で示している）に対して、その一部がオーバラップ（図４のオーバラップ長さｃ参照）して配置される。なお、上段ボックス部５３２の内部構造については、後述する。

また、上段ボックス部５３２は、その側面中央位置に吸引口が設けられ、ボックス内吸引部５３６が当該吸引口から上段ボックス部５３２内部の気体等を吸引する。そして、上段ボックス部５３２内部から吸引された気体（上段ボックス部５３２内部に生じたミスト状の有機ＥＬ材料を含む）は、ボックス内吸引部５３６によって上記吸引口から吸引され、排液タンク（図示せず）で回収される。

図４において、上段ボックス部５３２および上板部材５３３のステージ２１側の側面は、ステージ２１側面と隙間ａが形成されるように設けられる。この隙間ａは、ステージ２１の図示Ｙ軸方向への平行移動動作や旋回部２２の回動動作によって、ステージ２１と上段ボックス部５３２および上板部材５３３とが干渉しない距離に設けられ、例えば３ｍｍである。また、基板Ｐは、ステージ２１の端面に対して液受部５３側に長さｂだけはみ出して載置される。長さｂは、上板部材５３３の上面と基板Ｐとが長さｃだけオーバラップするように設定されるため、ｂ＝ａ＋ｃであり、例えば長さｂ＝５ｍｍ、オーバラップ長さｃ＝２ｍｍである。上板部材５３３の上面は、基板Ｐの端部から下方向の洩れを防ぐためにステージ２１の上面と同一の高さで設けられるのが望ましいが、上述したようにステージ２１に載置された基板Ｐが平行移動や回動するため、基板Ｐの下面と上板部材５３３の上面との干渉を防止する必要がある。このため、上板部材５３３の上面は、ステージ２１の上面より高さｄだけ低く設けられ、例えば高さｄ＝０．５〜３．０ｍｍである。

なお、基板Ｐの下面と上板部材５３３の上面との干渉を防止するために、上板部材５３３の上面がステージ２１の上面より高さｄだけ低く設けられる一例を説明したが、このような効果を期待しない場合、上板部材５３３の上面がステージ２１の上面以上の高さに設けられてもかまわない。上板部材５３３の上面が少なくともノズル５２ａ〜５２ｃの先端部より低く設けられていれば、液受部５３とノズル５２ａ〜５２ｃとが干渉することを防止することができる。

次に、図５を参照して、ノズル５２ａ〜５２ｃと液受部５３との位置関係について説明する。なお、図５では、主にノズル５２ａ〜５２ｃ、液受部５３、および基板Ｐを示しており、他の部位を省略して示している。また、液受部５３については、上段ボックス部５３２および上板部材５３３のみ図示している。上述したように、基板Ｐに対して有機ＥＬ材料を塗布する際、塗布開始および終了時点、あるいはＸ軸方向折返し時点等において、ノズル５２ａ〜５２ｃが液受部５３の上部空間に配置される。このとき、ノズル５２ａ〜５２ｃは、液受部５３の上方からスリット開口部５３３ａに向けて液柱状態の有機ＥＬ材料を吐出している。

液受部５３の上部空間にノズル５２ａ〜５２ｃが移動したとき、当該ノズル５２ａ〜５２ｃから吐出される有機ＥＬ材料がスリット開口部５３３ａを通って上段ボックス部５３２の内部で受けられるように、液受部５３が設けられている。つまり、ノズル５２ａ〜５２ｃがＸ軸方向へ基板Ｐ外に出る際、当該ノズル５２ａ〜５２ｃの各先端部（吐出口）の直下位置を全て含むようにスリット開口部５３３ａが形成されている。したがって、ノズル５２ａ〜５２ｃの移動方向（Ｘ軸方向）とスリット開口部５３３ａの長手形成方向（Ｘ軸方向）とは平行であり、ノズル５２ａ〜５２ｃの先端部に対する図示Ｚ軸負方向（鉛直方向）にスリット開口部５３３ａが形成されている。ここで、ノズル５２ａ〜５２ｃは、Ｘ軸方向に並設された３列分の溝へ同時に有機ＥＬ材料を塗布するために図示Ｙ軸方向へ若干ずれて配置される。スリット開口部５３３ａは、これらのノズル５２ａ〜５２ｃから液柱状態で吐出される有機ＥＬ材料を全て通す幅を有している。

また、図５に示したようにノズル５２ａ〜５２ｃが液受部５３の上部空間に配置されると、やがてノズル５２ａ〜５２ｃがＸ軸負方向である図示Ｃ方向へ高速に移動する（図６）。図６に示すように、ノズル５２ａ〜５２ｃが液受部５３の上部空間から図示Ｃ方向へ移動する際も、当該ノズル５２ａ〜５２ｃから吐出される有機ＥＬ材料は、基板Ｐ上に吐出されるまで全てスリット開口部５３３ａを液柱状態で通過して上段ボックス部５３２に回収される。

次に、図７〜図９を参照して、上段ボックス部５３２の内部構造について説明する。なお、図７は、図３の断面Ａ−ＡをＢ方向から見た上段ボックス部５３２の断面図である。図８は、上段ボックス部５３２の一部の側面および上板部材５３３の一部（具体的には、Ｙ軸負方向側の側面、Ｘ軸正方向側の側面、および上板部材５３３のＹ軸負方向側部材）を削除した液受部５３の斜視図である。図９は、ノズル５２ａ〜５２ｃと傾斜面５３７との位置関係を示す概要図である。

図７および図８において、上段ボックス部５３２は、その内部に傾斜面５３７が固設される。傾斜面５３７は、上段ボックス部５３２におけるスリット開口部５３３ａの下方位置に設けられ、ノズルユニット５０が往復移動するＸ軸方向に延設される。そして、傾斜面５３７は、ノズルユニット５０が往復移動する方向に垂直な水平方向（すなわち、Ｙ軸正方向またはＹ軸負方向）に対して下方へ傾斜している。傾斜面５３７は、表面が平滑な板状部材であり、例えばステンレス板や表面がフッ素樹脂にて被覆された板材で構成される。なお、傾斜面５３７は、板状部材に限らず、中実部材や中空部材の一側面で構成してもかまわない。

また、傾斜面５３７の下端は、上段ボックス部５３２のＹ軸方向側の側面に接合している。なお、図７および図８の一例では、傾斜面５３７がＹ軸負方向側へ傾斜しているため、当該傾斜面５３７の下端が上段ボックス部５３２のＹ軸負方向側の側面に接合している。また、傾斜面５３７の両側部は、上段ボックス部５３２のＸ軸方向側の側面にそれぞれ接合している（図８参照）。そして、傾斜面５３７の下端と上段ボックス部５３２の側面との接合部上側近傍に排出ライン５３５が設けられ、傾斜面５３７に沿って流れ落ちる有機ＥＬ材料が排出ライン５３５を通って下段受け部５３１内に流下する。また、傾斜面５３７に有機ＥＬ材料が塗着する位置の下方となる上段ボックス部５３２の側面に、傾斜面５３７の上部空間の気体を吸引するボックス内吸引部５３６の吸引口が接続される。具体的には、ボックス内吸引部５３６の吸引口は、有機ＥＬ材料が塗着する位置より低く、排出ライン５３５が設けられる位置より高く、傾斜面５３７の上部空間と連通する上段ボックス部５３２の側面に設けられる。したがって、ボックス内吸引部５３６は、上段ボックス部５３２内部において、傾斜面５３７の上部空間の気体等を当該傾斜面５３７の下端側から当該傾斜面５３７に沿って吸引する。

このような上段ボックス部５３２の構造によって、液受部５３の上部空間においてノズル５２ａ〜５２ｃから吐出された有機ＥＬ材料（図７〜図９では塗布液Ｌ１〜Ｌ３で示す）は、スリット開口部５３３ａを介して、全て傾斜面５３７に塗着する。そして、図８に示すように、傾斜面５３７に塗着した有機ＥＬ材料は、傾斜面５３７に沿ってその傾斜方向へ流れ落ちていき、排出ライン５３５から下段受け部５３１内に流下する。また、ボックス内吸引部５３６は、傾斜面５３７に沿って吸引する気流を生じさせており、ノズル５２ａ〜５２ｃから吐出された有機ＥＬ材料が塗着する部位近傍に吸引気流を生じさせている。したがって、傾斜面５３７上にミスト状の有機ＥＬ材料が発生した場合は、ミスト化した有機ＥＬ材料がボックス内吸引部５３６の吸引口から吸引される。

ここで、傾斜面５３７は、液受部５３の上部空間においてノズル５２ａ〜５２ｃから吐出された有機ＥＬ材料が、液柱状態から分裂が始まる高さより上方に配置される。そして、水平方向に対する傾斜面５３７の傾斜角度αは、塗着した有機ＥＬ材料を迅速に流れ落とすために、できる限り鉛直方向に近いほうが好ましい。しかしながら、図９に示すように、塗布ピッチ間隔を確保するようにノズル５２ａ〜５２ｃがＹ軸方向へ若干ずれて配置されているため、ノズル５２ａ〜５２ｃそれぞれの先端部と傾斜面５３７との距離は、それぞれ異なっている。したがって、傾斜面５３７は、ノズル５２ａ〜５２ｃそれぞれの先端部と傾斜面５３７との距離が最も長いノズル５２ａ〜５２ｃから吐出された有機ＥＬ材料（図９の例ではノズル５２ａから吐出された塗布液Ｌ１）が、液柱状態で常に塗着するように配置される。具体的には、ノズル５２ａ〜５２ｃそれぞれの先端部と傾斜面５３７との最も長い距離Ｈ１が、吐出する有機ＥＬ材料の液柱状態が保証できる距離（例えば、２０ｍｍ）未満となるように、傾斜面５３７が設けられる。また、傾斜面５３７に対して最も接近しているノズル５２ａ〜５２ｃ（図９の例ではノズル５２ｃ）については、傾斜面５３７との干渉を防止する必要がある。つまり、傾斜面５３７に最も接近するノズル５２ａ〜５２ｃの先端部と傾斜面５３７との距離Ｈ２が、ある程度確保されている必要がある。このような距離Ｈ１およびＨ２の条件を満たす範囲で、できる限り鉛直方向に近い傾斜角度αを設定すればよく、例えば傾斜角度α＝６０°に設定される。

上述した構成によって、基板Ｐの外で吐出される有機ＥＬ材料は、液柱状態でスリット開口部５３３ａを通過させて傾斜面５３７に塗着して上段ボックス部５３２内で回収される。したがって、ノズル５２ａ〜５２ｃから吐出され液柱状態であった有機ＥＬ材料が、表面張力により液滴化する前に全て傾斜面５３７に塗着する。また、傾斜面５３７上に塗着した有機ＥＬ材料は、その傾斜方向に流れ落ちて下段受け部５３１内に流下する。このように、有機ＥＬ材料を液柱状態で塗着させた傾斜面５３７上には、当該有機ＥＬ材料が溜まった状態（液だまり）で残存することがない。つまり、傾斜面５３７上に溜まった液だまりに対してさらに液柱状態の有機ＥＬ材料を塗着し続けることがなく、当該液だまりに液柱状態の有機ＥＬ材料を突入させることによるミスト状の有機ＥＬ材料の発生を防止することができる。また、傾斜面５３７上にミスト状の有機ＥＬ材料が発生した場合も、ボックス内吸引部５３６に吸引されるため、ミスト状の有機ＥＬ材料が液受部５３外部へ漏れ出すことを確実に防止することができる。

このように、本実施形態に係る塗布装置の上段ボックス部５３２は、その内部に傾斜面５３７が設けられているために、上段ボックス部５３２内に吐出された有機ＥＬ材料が外部へ再度舞い上がることがない。また、傾斜面５３７に有機ＥＬ材料が塗着する部位を吸引することによって、さらに上段ボックス部５３２内でミスト状の有機ＥＬ材料が発生した場合も外部へ漏れることを確実に防止することができる。ここで、ボックス内吸引部５３６が吸引する上段ボックス部５３２の内部空間は、傾斜面５３７によって限定された空間となるため、その吸引効率が向上して、さらに効率よくミスト状の有機ＥＬ材料を回収する。したがって、基板外に吐出した有機ＥＬ材料が基板Ｐ上に落下して付着することなく、塗布不良を防止することができる。

なお、上述した傾斜面５３７は、ノズルユニット５０が往復移動する方向に垂直な水平方向に対して下方へ傾斜する１つの傾斜面を用いる一例を用いたが、他の態様の傾斜面を設けてもかまわない。以下、図１０および図１１を参照して、傾斜面の他の態様例について説明する。なお、図１０は、谷型に形成した傾斜面５３８の一例を示す上段ボックス部５３２の断面図である。図１１は、山型に形成した傾斜面５３９の一例を示す上段ボックス部５３２の断面図である。

図１０において、上段ボックス部５３２は、その内部に谷型の傾斜面５３８（谷型の一方の傾斜面を５３８ａとし、他方の傾斜面を５３８ｂとする）が固設される。傾斜面５３８は、傾斜面５３７と同様に上段ボックス部５３２におけるスリット開口部５３３ａの下方位置に設けられ、ノズルユニット５０が往復移動するＸ軸方向に延設される。そして、傾斜面５３８ａは、ノズルユニット５０が往復移動する方向に垂直な一方水平方向（図１０では、Ｙ軸正方向）に対して下方に傾斜している。また、傾斜面５３８ｂは、ノズルユニット５０が往復移動する方向に垂直な他方水平方向（図１０では、Ｙ軸負方向）に対して下方に傾斜している。そして、１組の傾斜面５３８ａおよび５３８ｂによって、谷型の傾斜面５３８が形成される。傾斜面５３８ａおよび５３８ｂは、共に表面が平滑な板状部材であり、例えばステンレス板や表面がフッ素樹脂にて被覆された板材で構成される。なお、傾斜面５３８ａおよび５３８ｂは、板状部材に限らず、それぞれ中実部材や中空部材に形成された２つの側面で構成してもかまわない。

また、傾斜面５３８ａおよび５３８ｂの上端は、それぞれ上板部材５３３の下面または上段ボックス部５３２のＹ軸方向側の側面に接合している。傾斜面５３８ａおよび５３８ｂそれぞれの両側部は、上段ボックス部５３２のＸ軸方向側の側面にそれぞれ接合している。そして、傾斜面５３８ａおよび５３８ｂの下端の間（つまり、谷底部）にはスリット状の隙間が形成されており、傾斜面５３８ａおよび５３８ｂの下端から気液分離ボックス５５まで接続部材が接続される。この接続部材によって、傾斜面５３８ａおよび５３８ｂの下端に形成されたスリット状の隙間と気液分離ボックス５５とが連通される。そして、気液分離ボックス５５の上部にボックス内吸引部５３６の吸引口が接続され、気液分離ボックス５５の下部に下段受け部５３１への排出ライン５３５が接続される。これによって、気液分離ボックス５５および上記接続部材を介して、傾斜面５３８ａおよび５３８ｂの下端に形成されたスリット状の隙間とボックス内吸引部５３６の吸引口とが連通される。したがって、ボックス内吸引部５３６は、上段ボックス部５３２内部において、傾斜面５３８の上部空間の気体等を当該傾斜面５３８の谷底側から当該傾斜面５３８に沿って吸引する。

図１０に示す上段ボックス部５３２の構造によって、液受部５３の上部空間においてノズル５２ａ〜５２ｃから吐出された有機ＥＬ材料（塗布液Ｌ１〜Ｌ３）は、スリット開口部５３３ａを介して、全て谷型の傾斜面５３８に塗着する。そして、図１０に示すように、傾斜面５３８に塗着した有機ＥＬ材料は、傾斜面５３８に沿ってその谷底方向へ流れ落ちていき、上記接続部材、気液分離ボックス５５、および排出ライン５３５を介して、下段受け部５３１へ流下する。また、谷型の傾斜面５３８上の空間に存在する気体は、上記接続部材および気液分離ボックス５５を介して、ボックス内吸引部５３６の吸引口から吸引される。つまり、ボックス内吸引部５３６は、傾斜面５３８に沿って吸引する気流を生じさせており、ノズル５２ａ〜５２ｃから吐出された有機ＥＬ材料が塗着する部位近傍に吸引気流を生じさせていることになる。

ここで、傾斜面５３８も、液受部５３の上部空間においてノズル５２ａ〜５２ｃから吐出された有機ＥＬ材料が、液柱状態から分裂が始まる高さより上方に配置される。そして、水平方向に対する傾斜面５３８の傾斜角度も、塗着した有機ＥＬ材料を迅速に流れ落とすために、できる限り鉛直方向に近いほうが好ましい。しかしながら、傾斜面５３８も上記傾斜面５３７と同様に、ノズル５２ａ〜５２ｃとの干渉を回避しながら、ノズル５２ａ〜５２ｃそれぞれの先端部と傾斜面５３８との距離が最も長いノズル５２ａ〜５２ｃから吐出された有機ＥＬ材料が、液柱状態で常に塗着するように配置する必要がある。したがって、傾斜面５３８も、このような条件を満たす範囲でできる限り鉛直方向に近い傾斜角度で設けられる。

図１１において、上段ボックス部５３２は、その内部に山型の傾斜面５３９（山型の一方の傾斜面を５３９ａとし、他方の傾斜面を５３９ｂとする）が固設される。傾斜面５３９は、傾斜面５３７および５３８と同様に上段ボックス部５３２におけるスリット開口部５３３ａの下方位置に設けられ、ノズルユニット５０が往復移動するＸ軸方向に延設される。そして、傾斜面５３９ａは、ノズルユニット５０が往復移動する方向に垂直な一方水平方向（図１１では、Ｙ軸負方向）に対して下方へ傾斜している。また、傾斜面５３９ｂは、ノズルユニット５０が往復移動する方向に垂直な他方水平方向（図１１では、Ｙ軸正方向）に対して下方へ傾斜している。そして、１組の傾斜面５３９ａおよび５３９ｂによって、山型の傾斜面５３９が形成される。例えば、傾斜面５３９ａおよび５３９ｂは、共に表面が平滑な中実部材に形成された２つの側面で構成され、例えばステンレス部材や表面がフッ素樹脂にて被覆された部材で構成される。なお、傾斜面５３９ａおよび５３９ｂは、中実部材に限らず、２つの板状部材を組み合わせた部材や中空部材に形成された２つの側面で構成してもかまわない。

また、傾斜面５３９の両側部は、上段ボックス部５３２のＸ軸方向側の側面にそれぞれ接合している。また、傾斜面５３９ａおよび５３９ｂの下端（つまり、山裾）は、上段ボックス部５３２のＹ軸方向側の側面との間に隙間が形成されている。この隙間を介して、上段ボックス部５３２の内部空間において、傾斜面５３９ａおよび５３９ｂの上部空間と上段ボックス部５３２の下部空間とが連通している。そして、傾斜面５３９ａおよび５３９ｂより下方に位置する上段ボックス部５３２の側面（図１１では、Ｙ軸負方向側の側面）に、ボックス内吸引部５３６の吸引口が接続される。また、傾斜面５３９ａおよび５３９ｂより下方に位置する上段ボックス部５３２の側面に、排出ライン５３５が接続される。したがって、ボックス内吸引部５３６は、上段ボックス部５３２内部において、山型の傾斜面５３９に対する下部空間の気体等を当該傾斜面５３９の山裾側から吸引する。また、傾斜面５３９ａおよび５３９ｂから上段ボックス部５３２の底面へ流れ落ちた有機ＥＬ材料は、排出ライン５３５から下段受け部５３１へ流下する。

図１１に示す上段ボックス部５３２の構造によって、液受部５３の上部空間においてノズル５２ａ〜５２ｃから吐出された有機ＥＬ材料（塗布液Ｌ１〜Ｌ３）は、スリット開口部５３３ａを介して、全て山型の傾斜面５３９に塗着する。そして、図１１に示すように、傾斜面５３９に塗着した有機ＥＬ材料は、傾斜面５３９に沿ってその山裾方向へ流れ落ちていき、排出ライン５３５から下段受け部５３１へ流下する。また、傾斜面５３９上でミスト状の有機ＥＬ材料が発生した場合、ミスト化した有機ＥＬ材料が上段ボックス部５３２の下部空間へ引き込まれてボックス内吸引部５３６の吸引口から吸引される。

ここで、傾斜面５３９も、液受部５３の上部空間においてノズル５２ａ〜５２ｃから吐出された有機ＥＬ材料が、液柱状態から分裂が始まる高さより上方に配置される。そして、水平方向に対する傾斜面５３９の傾斜角度も、塗着した有機ＥＬ材料を迅速に流れ落とすために、できる限り鉛直方向に近いほうが好ましい。しかしながら、傾斜面５３９も上記傾斜面５３７および５３８と同様に、ノズル５２ａ〜５２ｃとの干渉を回避しながら、ノズル５２ａ〜５２ｃそれぞれの先端部と傾斜面５３９との距離が最も長いノズル５２ａ〜５２ｃから吐出された有機ＥＬ材料が、液柱状態で常に塗着するように配置する必要がある。したがって、傾斜面５３９も、このような条件を満たす範囲でできる限り鉛直方向に近い傾斜角度で設けられる。

このように、本願発明で用いられる上段ボックス部５３２内に設けられる傾斜面は、１つの傾斜面、谷型の傾斜面、および山型の傾斜面等、様々な態様の傾斜面で実現可能である。さらに、本願発明で用いられる傾斜面は、水平方向に対して傾斜する１つの平面（傾斜面５３７）または複数の平面の組み合わせ（傾斜面５３８、５３９）に限らず、水平方向に対して傾斜する曲面で構成されてもかまわない。例えば、傾斜面５３７のように１つの平面で構成される態様では、当該１つの平面を凸または凹形状の１つの曲面で構成して傾斜面を形成してもかまわない。また、傾斜面５３８のように２つの平面を谷型に組み合わせて構成される態様では、当該２つの平面を凹形状の１つの曲面で構成して傾斜面を形成してもかまわない。また、傾斜面５３９のように２つの平面を山型に組み合わせて構成される態様では、当該２つの平面を凸形状の１つの曲面で構成して傾斜面を形成してもかまわない。

また、上述した傾斜面５３７を上段ボックス部５３２の内部に設けることによって、ボックス内吸引部５３６が傾斜面５３７によって限定された空間を吸引することになるため、当該傾斜面５３７を設けずに上段ボックス部５３２の内部の空間を吸引するより吸引効率が向上する。しかしながら、上段ボックス部５３２の内部に、仕切部材５４０を設けることによって、さらにボックス内吸引部５３６の吸引効率を向上させることができる。以下、図１２を参照して、仕切部材５４０について説明する。なお、図１２は、仕切部材５４０の一例を示す上段ボックス部５３２の断面図である。

図１２において、仕切部材５４０は、上段ボックス部５３２の内部に固設される。仕切部材５４０は、上段ボックス部５３２の内部における傾斜面５３７の上部空間をさらに分割して、ボックス内吸引部５３６が吸引する空間をさらに小さくしている。具体的には、仕切部材５４０は、傾斜面５３７の上部に設けられ、当該傾斜面５３７と平行にＸ軸方向に延設された第１仕切面５４０ａを有する。第１仕切面５４０ａの下端は、ボックス内吸引部５３６の吸引口の上部に位置する上段ボックス部５３２のＹ軸方向側の側面に接合する。また、第１仕切面５４０ａの上端は、第１仕切面５４０ａがスリット開口部５３３ａの下方位置に進入しないように、スリット開口部５３３ａの一方端部（図１２では、Ｙ軸負方向側の端部）の鉛直方向となる位置に配設される。そして、仕切部材５４０は、第１仕切面５４０ａの上端とスリット開口部５３３ａの上記一方端部とを接合する第２仕切面５４０ｂを有している。

このような仕切部材５４０を上段ボックス部５３２の内部に設けることによって、ボックス内吸引部５３６が吸引する空間は、傾斜面５３７と仕切部材５４０とに挟まれた狭い空間となる。したがって、仕切部材５４０を設けることによって、さらにボックス内吸引部５３６が吸引する空間が限定されるため、ボックス内吸引部５３６の吸引効率を向上させることができる。つまり、傾斜面５３７に有機ＥＬ材料が塗着する部位をさらに大きな吸引力で吸引することができ、上段ボックス部５３２内で有機ＥＬ材料がミスト化した場合も、ミスト化した有機ＥＬ材料が外部へ漏れることをさらに確実に防止することができる。

また、図３等を用いて説明したように、上段ボックス部５３２の内部からボックス内吸引部５３６が吸引する吸引口を、上段ボックス部５３２の側面中央位置付近に１箇所設置したが、吸引口の設置位置および数はこれに限定されない。例えば、ボックス内吸引部５３６の吸引口は、傾斜面５３７の下端と上段ボックス部５３２の側面との接合部上側近傍であり、有機ＥＬ材料が傾斜面５３７に塗着する位置の下方となる箇所に、傾斜面５３７の下端に沿って複数設置してもかまわない。この場合、傾斜面５３７に有機ＥＬ材料が塗着する部位に吸引気流を効率よく生じさせることができる位置であれば、上記吸引口は上段ボックス部５３２の側面中央位置に設置しなくてもかまわない。また、傾斜面５３７の下端と上段ボックス部５３２の側面との接合部上側近傍であり、有機ＥＬ材料が傾斜面５３７に塗着する位置の下方となる箇所に形成され、傾斜面５３７の下端長さと同等の長軸長さを有するスリット状の吸引口から、ボックス内吸引部５３６が上段ボックス部５３２内を吸引してもかまわない。

また、上述した実施形態では、上段ボックス部５３２の上面を覆うように上板部材５３３が設けられているが、上板部材５３３を設けなくてもかまわない。上板部材５３３は、上段ボックス部５３２内部でミスト状の有機ＥＬ材料が生じた際に、当該ミスト状の有機ＥＬ材料が上段ボックス部５３２の外部に舞い上がることを防ぐために設けられている。また、上段ボックス部５３２の上面を開放する面積を縮小することによって、ボックス内吸引部５３６の吸引効率を向上する効果も期待できる。しかしながら、上述した実施形態では、上段ボックス部５３２の内部に設けられた傾斜面５３７〜５３９によってミスト状の有機ＥＬ材料が生じることが防止され、ボックス内吸引部５３６によってミスト状の有機ＥＬ材料が生じた際にミスト化した有機ＥＬ材料が吸引される。したがって、上段ボックス部５３２の上面が開放状態であってもミスト状の有機ＥＬ材料が上段ボックス部５３２の外部に舞い上がることはなく、上述した上板部材５３３による吸引効率の向上効果を期待しない場合は、上板部材５３３を設けなくてもかまわない。

また、上述した実施形態では、ノズルユニット５０がＸ軸方向に直線移動する毎に、ステージ２１をＹ軸方向へ所定ピッチだけ移動させて、ノズルユニット５０とステージ２１との当該Ｙ軸方向に対する相対的な位置関係を変化させているが、本発明はこれに限らない。例えば、ノズルユニット５０がＸ軸方向に直線移動する毎に、当該ノズルユニット５０をＹ軸方向へ所定ピッチだけ移動（つまり、有機ＥＬ塗布機構５がＹ軸方向へ移動）させて、ノズルユニット５０とステージ２１との当該Ｙ軸方向に対する相対的な位置関係を変化させてもかまわない。この場合、液受部５３は、有機ＥＬ塗布機構５と共にＹ軸方向へ所定ピッチだけ移動する。

また、上述した実施形態では、赤、緑、および青色のうち、赤色の有機ＥＬ材料を３個１組のノズル５２ａ〜５２ｃで基板Ｐの溝内に流し込んでいるが、この塗布工程は、有機ＥＬ表示装置を製造する途中工程である。有機ＥＬ表示装置を製造するときの処理手順は、正孔輸送材料（ＰＥＤＯＴ）塗布→乾燥→赤色の有機ＥＬ材料塗布→乾燥→緑色の有機ＥＬ材料塗布→乾燥→青色の有機ＥＬ材料塗布→乾燥という手順となる。この場合、本発明の塗布装置は、正孔輸送材料、赤色の有機ＥＬ材料、緑色の有機ＥＬ材料、および青色の有機ＥＬ材料をそれぞれ塗布する工程に用いることができる。

また、ノズル５２ａ〜５２ｃから赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料をそれぞれ吐出してもかまわない。この場合、赤、緑、および青色の順に配列された、いわゆる、ストライプ配列が１つの塗布工程で形成される。また、上述した実施形態では、３個１組のノズル５２ａ〜５２ｃで基板Ｐの各溝内に有機ＥＬ材料を流し込んでいるが、この３個１組のノズル５２ａ〜５２ｃを複数組設けて基板Ｐの各溝内に有機ＥＬ材料を流し込んでもかまわない。この場合、各ノズルの組がＸ軸方向へ動作する位置に対応する液受部５３をそれぞれ設ければ、塗布処理にかかる時間を短縮しながら、本発明の効果を得ることができる。

また、上述した実施形態では、塗布液として有機ＥＬ材料や正孔輸送材料を塗布液とした有機ＥＬ表示装置の製造装置を一例にして説明したが、本発明は他の塗布装置にも適用できる。例えば、レジスト液やＳＯＧ（Ｓｐｉｎ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）液やＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）を製造するのに使用される蛍光材料を塗布する装置にも適用することができる。また、液晶カラーディスプレイをカラー表示するために液晶セル内に構成されるカラーフィルタを製造するために使用される色材を塗布する装置にも適用することができる。

本発明に係る塗布装置は、被塗布体となる基板の外に吐出された塗布液を確実に回収することができ、基板に対して液柱状態の塗布液を塗布する装置等として有用である。

本発明の一実施形態に係る塗布装置１の要部概略構成を示す平面図および正面図 図１の塗布装置１の制御機能を示すブロック図 図１の液受部５３の構造を示す斜視図 図３のＤ方向から見た液受部５３の側面概要図 ノズル５２ａ〜５２ｃから吐出される有機ＥＬ材料と液受部５３との位置関係を示す斜視図 ノズル５２ａ〜５２ｃが移動した際の液受部５３との位置関係を示す斜視図 図３の断面Ａ−ＡをＢ方向から見た上段ボックス部５３２の断面図 上段ボックス部５３２の一部の側面および上板部材５３３の一部を削除した液受部５３の斜視図 ノズル５２ａ〜５２ｃと傾斜面５３７との位置関係を示す概要図 谷型に形成した傾斜面５３８の一例を示す上段ボックス部５３２の断面図 山型に形成した傾斜面５３９の一例を示す上段ボックス部５３２の断面図 仕切部材５４０の一例を示す上段ボックス部５３２の断面図 従来の塗布装置のノズル１０２〜１０４と液受部１０５との位置関係を示す側面概要図 従来の液受部１０６の構造を示す斜視図

符号の説明

１…塗布装置
２…基板載置装置
２１…ステージ
２２…旋回部
２３…平行移動テーブル
２４…ガイド受け部
２５、５１１…ガイド部材
３…制御部
５…有機ＥＬ塗布機構
５０…ノズルユニット
５１…ノズル移動機構部
５２…ノズル
５２１…フィルタ部
５３…液受部
５３１…下段受け部
５３２…上段ボックス部
５３３…上板部材
５３４…上段支持部材
５３５…排出ライン
５３６…ボックス内吸引部
５３７〜５３９…傾斜面
５４０…仕切部材
５４…供給部
５４１…供給源
５４２…ポンプ
５４３…流量計
５４４…フィルタ
５５…気液分離ボックス

Claims (9)

1. 鉛直下方向への直線棒状となった液柱状態の塗布液を基板上に吐出して当該塗布液を塗布する塗布装置であって、
   その先端部から前記塗布液を前記液柱状態で吐出するノズルと、
   前記基板をその上面に載置するステージと、
   前記ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向に前記ノズルを往復移動させるノズル移動機構と、
   前記ノズル移動機構が前記横断する方向に沿って前記ステージ上から外れた位置に前記ノズルより前記塗布液を吐出させつつ当該ノズルを移動させる際、当該ノズルから前記ステージ外に吐出された前記塗布液を受ける液受部とを備え、
   前記液受部は、前記ステージ上から外れた位置に配置された前記ノズルの先端部から鉛直下方向となる位置に前記横断する方向へ延設され、当該横断する方向に垂直な水平方向に対して傾斜している傾斜面を含み、
   前記液受部は、前記ステージ上から外れた位置に配置された前記ノズルから吐出された塗布液を、前記液柱状態で前記傾斜面に塗着させて回収する、塗布装置。
2. 前記液受部は、前記傾斜面に塗布液が塗着する位置近傍の空間の気体を吸引する吸引手段を、さらに含む、請求項１に記載の塗布装置。
3. 前記吸引手段は、前記傾斜面に塗布液が塗着する位置の下方に当該傾斜面上部空間の気体を吸引する少なくとも１つの吸引口を有する、請求項２に記載の塗布装置。
4. 前記液受部は、前記傾斜面に対して所定の隙間を介して平行に、前記傾斜面の上部空間の一部に固設された仕切部材を、さらに含み、
   前記吸引口は、前記傾斜面の下端と前記仕切部材との間に配設される、請求項３に記載の塗布装置。
5. 前記吸引手段は、前記傾斜面に塗布液が塗着する位置近傍の空間の気体を当該傾斜面の上面に沿った下方へ吸引する、請求項２に記載の塗布装置。
6. 前記傾斜面は、前記塗布液が塗着する位置が、前記ノズルから吐出された塗布液が前記液柱状態から分裂が始まる高さより当該ノズル側となる前記鉛直下方向位置に配設される、請求項１または２に記載の塗布装置。
7. 前記傾斜面は、前記横断する方向に垂直な水平方向に対して一方方向へ傾斜する１つの平面で形成される、請求項６に記載の塗布装置。
8. 前記傾斜面は、前記横断する方向に垂直な水平方向に対して双方向へそれぞれ傾斜する２つの平面で構成された谷型である、請求項６に記載の塗布装置。
9. 前記傾斜面は、前記横断する方向に垂直な水平方向に対して双方向へそれぞれ傾斜する２つの平面で構成された山型である、請求項６に記載の塗布装置。

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