JP4391147B2 - 液体回収機能付きスピンコーター - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種の基板に感材等を塗布するスピンコーターに関し、特に、塗布液、あるいは塗布液と洗浄液等を回収することができる、液体回収装置付きスピンコーターに関する。
【0002】
【従来の技術】
カラーフィルタ用のガラス基板等に対する感材(レジスト)の塗布には、品質面から、塗布基板を保持する基板保持手段(チャック)と一体となって回転でき、塗布する基板が接する雰囲気をほぼ密閉するためのインナーカップと、固定で前記インナーカップ全体を囲むように設けられたアウターカップとを有するスピンコーターが使用されている。(特開平6−232036号公報、特開平10−66920号公報を参照)
このような回転塗布式のスピンコーターにおいては、回転塗布時には、塗布液がインナーカップの周辺部に飛散するが、この塗布液が該周辺部に溜まった場合、品質的に悪影響が出るため、塗布液を排出する手段を設けるが、通常は、これを十分に行うため、洗浄液を流し、洗浄する。
特に、カラーフィルタ用のガラス基板に対する感材(レジスト)等の高価な感材の塗布の場合には、感材をできるだけ多く洗浄液と接触させずに分離して、回収することも要求されるようになってきた。
これに対応するため、従来は、本願出願人による出願である特願2002−382429号にもあるように、塗布液排出用のノズルと洗浄液排出用のノズルを設け、それぞれのノズルから、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップには、固定して配設された、塗布液排出用のノズルから排出される塗布液を受ける排出室および洗浄液排出用のノズルから排出される洗浄液を受ける排出室を、それぞれ、独立して設けており、それぞれのノズルから排出されてきた液がそれぞれの排出室に回収され、更に排出されていた。
しかし、特願2002−382429号に記載のものでも、特に、カラーフィルタ用のガラス基板に対する着色感材塗布においては、排出室に回収される着色感材のミスト等の影響が強く、品質面への影響が大きく問題となっていた。
【0003】
【特許文献1】
特願2002−382429号
【特許文献2】
特開平6−232036号公報
【特許文献3】
特開平10−66920号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、インナーカップとアウターカップとを有するスピンコーターを使用し、カラーフィルタ用のガラス基板に対する着色感材を塗布する際に、特願2002−382429号に記載のように、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップには、塗布液排出用のノズルから排出される塗布液を受ける排出室、洗浄液排出用のノズルから排出される洗浄液を受ける排出室を、それぞれ、独立して設けており、それぞれのノズルから排出されてきた液をそれぞれの排出室に回収し、更に排出し、高価な塗布液の回収を、洗浄液とは分離し行う場合には、固定された排出室に回収される着色感材のミスト等の影響が強く、品質面への影響が大きく問題となっていた。
本発明は、これに対応するもので、インナーカップとアウターカップとを有するスピンコーターを使用し、カラーフィルタ用のガラス基板に対する着色感材を塗布する際に、回収される着色感材のミスト等の影響が品質的にほとんどでない、塗布液回収機能付きスピンコーターを提供しようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の液体回収機能付きスピンコーターは、塗布基板を保持する基板保持手段(チャック)と一体となって回転でき、塗布基板が接する雰囲気をほぼ密閉するためのインナーカップと、固定で前記インナーカップ全体を囲むように設けられたアウターカップとを有するスピンコーターであって、塗布回転の際に排出する塗布液を一旦溜める塗布液溜め部と、該塗布溜め部へ塗布液を送り込む塗布液取り出し部とを有し、且つ、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する第1の排出手段を、インナーカップの外周側に、アウターカップ側に跨って設け、前記第1の排出手段の塗布液溜め部から排出される塗布液を受ける第1の排出室を、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側に設けており、第1の排出室にて、第1の排出手段の塗布液溜め部から排出されてきた塗布液を回収するものであり、前記第1の排出手段の塗布液溜め部の塗布液が溜まる底部は、インナーカップ中心側に向う勾配がつけられており、回転が停止した際には、塗布液溜め部に溜まった塗布液が、該勾配の底部を通り、第1の排出室に緩やかに取出されるものであることを特徴とするものである。
そして、上記の液体回収装置付きスピンコータであって、第1の排出手段の塗布液溜め部がアウターカップ側に設けられていることを特徴とするものである。
あるいは、本発明の液体回収機能付きスピンコーターは、塗布基板を保持する基板保持手段(チャック)と一体となって回転でき、塗布基板が接する雰囲気をほぼ密閉するためのインナーカップと、固定で前記インナーカップ全体を囲むように設けられたアウターカップとを有するスピンコーターであって、塗布回転の際に排出する塗布液を一旦溜める塗布液溜め部と、該塗布溜め部へ塗布液を送り込む塗布液取り出し部とを有し、且つ、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する第1の排出手段を、インナーカップの外周側に、アウターカップ側に跨って設け、前記第1の排出手段の塗布液溜め部から排出される塗布液を受ける第1の排出室を、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側に設けており、第1の排出室にて、第1の排出手段の塗布液溜め部から排出されてきた塗布液を回収するものであり、前記インナーカップの外周側に、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する、洗浄液排出用の管部を有する第2の排出手段を、アウターカップ側に跨り設け、且つ、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側には、前記第2の排出手段から排出される洗浄液を受ける第2の排出室を、第1の排出室と隔てて設けており、第2の排出室にて第2の排出手段から排出されてきた洗浄液が回収されるものであることを特徴とするものである。
そして、上記の液体回収装置付きスピンコータであって、第1の排出手段の塗布液溜め部がアウターカップ側に設けられていることを特徴とするものである。
そしてまた、上記いずれかの液体回収装置付きスピンコータであって、第1の排出室と第2の排出室とは、いずれも上方を開口し、該開口から塗布液あるいは洗浄液を回収するものであることを特徴とするものである。
また、上記いずれかの液体回収装置付きスピンコータであって、第2の排出手段は、管状ノズルであることを特徴とするものであり、第2の排出手段の管状ノズルの開口端部は、第1の排出手段より下側に離れて設けられていることを特徴とするものである。
また、上記いずれか1項に記載の液体回収装置付きスピンコータであって、第1の排出室が第2の排出室よりも外側あるいは上側に設けられていることを特徴とするものである。
尚、上記において、アウターカップ側とは、インナーカップ外側で、且つ、アウターカップ内側を意味する。
【0006】
【作用】
本発明の液体回収機能付きスピンコーターは、上記のような構成にすることによって、インナーカップとアウターカップとを有するスピンコーターを使用し、カラーフィルタ用のガラス基板に対する着色感材を塗布する際に、回収される着色感材のミスト等の影響が品質的にほとんどでない、塗布液回収機能付きスピンコーターの提供を可能としている。 具体的には、塗布回転の際に排出する塗布液を一旦溜める塗布液溜め部と、該塗布溜め部へ塗布液を送り込む塗布液取り出し部とを有し、且つ、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する第1の排出手段を、インナーカップの外周側に、アウターカップ側に跨って設け、前記第1の排出手段の塗布液溜め部から排出される塗布液を受ける第1の排出室を、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側に設けており、第1の排出室にて、第1の排出手段の塗布液溜め部から排出されてきた塗布液を回収するものであり、前記第1の排出手段の塗布液溜め部の塗布液が溜まる底部は、インナーカップ中心側に向う勾配がつけられており、回転が停止した際には、塗布液溜め部に溜まった塗布液が、該勾配の底部を通り、第1の排出室に緩やかに取出されるものであることにより、あるいは、塗布回転の際に排出する塗布液を一旦溜める塗布液溜め部と、該塗布溜め部へ塗布液を送り込む塗布液取り出し部とを有し、且つ、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する第1の排出手段を、インナーカップの外周側に、アウターカップ側に跨って設け、前記第1の排出手段の塗布液溜め部から排出される塗布液を受ける第1の排出室を、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側に設けており、第1の排出室にて、第1の排出手段の塗布液溜め部から排出されてきた塗布液を回収するものであり、前記インナーカップの外周側に、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する、洗浄液排出用の管部を有する第2の排出手段を、アウターカップ側に跨り設け、且つ、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側には、前記第2の排出手段から排出される洗浄液を受ける第2の排出室を、第1の排出室と隔てて設けており、第2の排出室にて第2の排出手段から排出されてきた洗浄液が回収されるものであることこれを達成している。
【0007】
詳しくは、第1の排出部は、塗布液の回転塗布の際には、塗布基板やインナーカップと一体的に回転する塗布液溜め部を有するものであって、回転動作により、塗布液が激しく飛び散ることはなく、更に、塗布液が溜まる底部は、インナーカップ中心側に向う勾配がつけられている塗布液溜め部を設けていることにより、回転が停止した際には、塗布液溜め部に溜まった塗布液が、該勾配の底部を通り、第1の排出室に緩やかに取出されることを可能にしている。
第1の排出室と第2の排出室とは、いずれも上方を開口し、該開口から塗布液あるいは洗浄液を回収する形態のものが挙げられる。
第2の排出手段は、構成を簡素なものとするため管状ノズルが用いられるが、この場合、通常、第2の排出手段の管状ノズルの開口端部は、第1の排出手段より下側に離れて設けられてる。
また、構成の簡単化から、通常は、第1の排出室が第2の排出室よりも外側あるいは上側に設ける。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態例を図に基づいて説明する。
図1は本発明の液体回収機能付きスピンコーターの実施の形態の一例の第1の排出手段を跨ぐ概略断面図で、図2は本発明の液体回収機能付きスピンコーターの実施の形態の一例の第2の排出手段を跨ぐ概略断面図で、図3は第1の排出手段、第2の排出手段の平面位置関係を示した概略図で、図4は第1の排出手段を拡大して示した一平面図で、図5は第1の排出手段を拡大して示した一断面図で、図6は塗布液回収部材の図である。
尚、図2、図3は第1の排出手段の上面カバーを取り外して内側が分かり易いように示した図で、図1は図3のA1−A2位置における断面図で、図2は図3のA3−A4位置における断面図で、図5は図3のA5−A2位置における断面図である。
図1〜図6において、110は塗布基板、121はチャック(基板保持手段)、122はチャック固定部、123は吸引部、125は軸部、130は第1の排出手段、131は塗布液取り出し部、132は塗布液溜め部、132aは塗布液溜め室、132bは排出口、133は塗布液排出用の孔部、135、136はネジ、140は第2の排出手段、150は液回収室、151は第1の排出室、152は第2の排出室、153は隙間(開口部とも言う)、155はネジ、160は塗布液回収部材(トレイとも言う)、160aは突出部、161、162はパネル、163はスペーサ、164は抜き孔、165は排出路、165aは排出口、170は飛散防止板、180はインナーカップ、181はインナーカップ蓋部(外蓋部とも言う)、182はインナーカップ外周側面、183はインナーカップ底部、187は整流板、187aは隙間、190はアウターカップ、191はアウターカップ蓋部(内蓋部とも言う)、192はアウターカップ外周側面、193はアウターカップ底部、195は支持基材である。
【0009】
本例の液体回収機能付きスピンコーターの実施の形態例を図1〜図6に基づいて説明する。
本例の液体回収機能付きスピンコーターは、図1に示すように、液晶ディスプレイ用のカラーフィルタ形成用として、基材をガラスとする矩形状の塗布基板上に、着色感材を塗布液として塗布するためのスピンコーターで、塗布基板110を保持する基板保持手段(チャック)121と一体となって回転でき、塗布基板が接する雰囲気をほぼ密閉するための、インナーカップの蓋部181、インナーカップ外周側面182、インナーカップ底部183等により囲まれたインナーカップ180と、固定で、前記インナーカップ180全体を囲むように設けられ、且つ、アウターカップ蓋部191、アウターカップ外周側面192、アウターカップ底部193等に囲まれるように形成されたアウターカップ190とを有し、更に、塗布液と洗浄液の回収機能を備えたスピンコーターである。
そして、図3に示すように、インナーカップの外周側面182に固定され、これと一体的に回転する、塗布液取り出し部131と、塗布回転中には塗布液取り出し部131の塗布液排出用の孔部133から排出される塗布液を一旦溜める塗布液溜め部132とを有する第1の排出手段130と、洗浄液排出用の管部からなる第2の排出手段140とを、アウターカップ側に跨り設け、且つ、インナーカップ180の外周を一周するように、アウターカップ190には、前記第1の排出手段130の塗布液溜め部132から排出される塗布液を受ける第1の排出室181と、前記第2の排出手段から排出される洗浄液を受ける第2の排出室とを、それぞれ、隔てて設けており、第1の排出室151にて第1の排出手段130から排出されてきた塗布液が回収され、更に排出され、第2の排出室152にて第2の排出手段140から排出されてきた洗浄液が回収され、更に排出されるものである。
本例においては、塗布液は、図1のように整流板187で塗布面側覆いほぼ密閉した状態で塗布されるが、塗布基板の外周から余分の塗布液は、太点線矢印のように、塗布液回収部材(トレイとも言う)160により塗布液取り出し部131に集められ、塗布液排出用の孔部133を経て、塗布液取り出し部131へと送られる。
詳しくは、図6に示す塗布液回収部材(トレイとも言う)160の排出路165から回収された塗布液が、集められ、その排出口165aから第1の排出部130へと送られ、排出される。
また、本例においては、洗浄液は、塗布回転の際、図2の太点線矢印のように流れ、隙間187aを介して第2の排出部140を経て回収される。
整流板187は、インナーカップの蓋部181に吊り下げられ、回転塗布の際、インナーカップ内の気流を安定的に制御するためのもので、本例では、塗布回転の際、塗布基板110の中心部側から、インナーカップ180外周側面182側に緩やかな清浄な空気あるいは窒素の流れが発生するように、図示していないが、清浄な空気あるいは窒素の供給、吸引を行う手段を設けている。
【0010】
液回収室150は、その内に第1の排出室151、第2の排出室152を設け、そのインターカップ180側側面には、隙間153をインナーカップ180の外全周にわたり設け、第1の排出手段130、第2の排出手段140の回転動作にも接触しないようになっている。
第1の排出手段130の塗布液排出用の孔部133位置がこの隙間153を通るようになっている。
尚、本例においては、第1の排出室151は、第2の排出室152よりも外側に設けられ、第2の排出手段140の排出用の開口端部が、第1の排出手段130より下側位置に離れて設けられている。
【0011】
前記塗布液溜め部132は、その上面カバーを開けた状態を拡大して図4に示すが、本例においては、塗布液溜め部132の塗布液が溜まる塗布液溜め室132aと、溜まった塗布液を排出するためのの排出口132bとを備え、全体はインナーカップの外周側面182にネジ135により留められ保持されている。
そして、塗布液溜め部132の塗布液が溜まる塗布液溜め室132aの底部は、インナーカップ中心側に向う勾配がつけられており、また、排出口132bの底部には、インナーカップ中心側からアウターカップ側に向う勾配がつけられており、回転が停止した際には、塗布液が、勾配がついた各底部を通り、第1の排出室181に緩やかに取出されるものである。
尚、図4において、点線矢印は回収される塗布液の進む方向を示している。
【0012】
前記塗布液回収部材(トレイとも言う)160は、その外観を図6に示すが、パネル162間にスペーサ163を挟み、該スペーサにて塗布回転の際に出る余分の塗布液を回収する流路を形成する構造のものである。
そして、塗布する塗布基板外周に沿う抜き孔164を設け(図1、図3等参照)、抜き孔164側の側面には、塗布液の排出路165を設け、その外側の側面には、突出部160aを除き、スペーサ163にて塗布液の流路を形成し、突出部160aに塗布液を集め、回転塗布の際、突出部160aの排出口165aから、これに接続する第1の排出部130に塗布液が送られる。
塗布液回収部材(トレイとも言う)160の外周側面は、 突出部160aの排出口165a以外は、スペーサ163にて塞がれ、塗布液が漏れないようになっている。
排出口165aからの塗布液は第1の排出部130以外に流出しない構造となっている。
勿論、図3の塗布液回収部材160ではない領域B0内の洗浄液は、塗布液回収部材160側に入り込むことはできない。
本例では、塗布液回収部材(トレイとも言う)160には、図3に示すような位置に、排出口165aが4箇所設けられており、これに合せ、第1の排出手段130を4個備えている。
【0013】
本例のスピンコーターでは、塗布基板の出し入れ、回転塗布とを、以下のように行う。
本例では、図示していない動作部により、インナーカップ蓋部(外蓋部とも言う)181、アウターカップ蓋部(内蓋部とも言う)191は閉じる位置と開く位置との間でそれぞれ移動可能になっており、また、チャック121は、チャック固定部122と一体的に上下移動できるようになっており、塗布基板の出し入れは、インナーカップ蓋部(外蓋部とも言う)181とアウターカップ蓋部(内蓋部とも言う)191とを開けた状態で、チャック固定部122と一体的にチャック121を上下動作させて行う。
本例では、上側の位置で、図示していないロボットによりチャックへ塗布基板を載置、およびチャック121から塗布基板を取出しを行い、下側の位置で、図1に示すように、インナーカップ蓋部(外蓋部とも言う)181とアウターカップ蓋部(内蓋部とも言う)191とを閉じた状態で塗布液の回転塗布を行う。
チャック121の所定の位置に塗布基板が載置され、吸引部123により真空吸着された後、塗布液が塗布され、チャック121が回転し、塗布液の塗布が行われる。
塗布液の供給や洗浄液の供給は図示していない所定の供給路にて、制御して行うことができるようになっている。
勿論、このような動作を行う各部の制御および各部の関連付けた制御は、図示してない処理制御部にて行うことが出来るようになっている。
【0014】
軸部125は、インナーカップ蓋部(外蓋部とも言う)181の回転軸を有するものであるが、図1および図2において図示されていないが、通常は、この中に、洗浄液供給部が配されている。
この場合、回転時に整流板187の上面に洗浄液(例えば有機溶媒)が供給されると、回転動作によりインナーカップ180内に洗浄液は散布される。
図1、図2に示すように整流板187の外周側には、インナーカップ180の内周面との間に隙間187aを設けている。
図1、図2では分からないが、飛散防止板170のインナーカップ180の内周面との間、隙間埋め部材188より外側にも隙間があり、洗浄液は、これらの隙間を通り、それぞれ、落下し、第2の排出手段140を通って排出される。
洗浄液の流れる方向は、概略図2に太点線矢印のようになる。
したがって、洗浄液は、塗布液の排出経路とは明確に分離されて排出される。
第2の排出手段140である管部は排出用のノズルとして働く。
本例においては、第2の排出手段140の排出用の開口端部は、第1の排出手段130より下側に離れて設けられている。
【0015】
本例においては、上記のように、スピンコーター内に配設された塗布液と洗浄液とを分離した流路と各液の排出手段(第1の排出手段130、第2の排出手段140)と、各液の排出室(第1の排出室151、第2の排出室152)を備えていることにより、塗布液と洗浄液とを分離して、品質面で悪影響を及ぼすことなく回収する機能を果たすことができるが、基本的な構成が同じで、同様の機能を果たすことができるものであれば、本例の構造に限定はされない。
勿論、第2の排出手段140の数を増やしたり、場合によっては、塗布液回収部材(トレイとも言う)160内の流路を変えて、第1の排出手段130の数を変えても良い。
【0016】
本例は、液晶ディスプレイ用のカラーフィルタ形成用として、基材をガラスとする矩形状の塗布基板上に、着色感材を塗布液として塗布するためのスピンコーターであるが、塗布する対象が異なる、これ以外の塗布液、洗浄液の組み合わせで用いても良い。
変形例としては、本例において、洗浄液の塗布を行わず、洗浄液の流路を持たず、第2の排出部140、第2の排出手段152を備えていない構造、即ち、塗布液のみ回収する構造のものも挙げられ、種々の液体の回収にも適用できる。
【0017】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、インナーカップとアウターカップとを有するスピンコーターを使用し、回転塗布の際に、塗布された余分の塗布液を回収することができる塗布液回収機能付きスピンコーターの提供を可能とした。
特に、カラーフィルタ用のガラス基板に対する着色感材を塗布する際に、回収される着色感材のミスト等の影響が品質的にほとんどでない、塗布液回収装置付きスピンコーターの提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の液体回収機能付きスピンコーターの実施の形態の一例の第1の排出手段を跨ぐ概略断面図である。
【図2】本発明の液体回収機能付きスピンコーターの実施の形態の一例の第2の排出手段を跨ぐ概略断面図である。
【図3】第1の排出手段、第2の排出手段の平面位置関係を示した概略図である。
【図4】第1の排出手段を拡大して示した一平面図である。
【図5】図5は図3のA5−A2位置における断面図である。
【図6】塗布液回収部材(トレイとも言う)の図である。
【符号の説明】
110 塗布基板
121 チャック(基板保持手段)
122 チャック固定部
123 吸引部
125 軸部
130 第1の排出手段
131 塗布液取り出し部
132 塗布液溜め部
132a 塗布液溜め室
132b 排出口
133 塗布液排出用の孔部
135、136 ネジ
140 第2の排出手段
150 液回収室
151 第1の排出室
152 第2の排出室
153 隙間(開口部とも言う)
155 ネジ
160 塗布液回収部材(トレイとも言う)
160a 突出部
161、162 パネル
163 スペーサ
164 抜き孔
165 排出路
165a 排出口
170 飛散防止板
180 インナーカップ
181 インナーカップ蓋部(外蓋部とも言う)
182 インナーカップ外周側面
183 インナーカップ底部
187 整流板
187a 隙間
190 アウターカップ
191 アウターカップ蓋部(内蓋部とも言う)
192 アウターカップ外周側面
193 アウターカップ底部
195 支持基材
Claims (8)
- 塗布基板を保持する基板保持手段と一体となって回転でき、塗布基板が接する雰囲気をほぼ密閉するためのインナーカップと、固定で前記インナーカップ全体を囲むように設けられたアウターカップとを有するスピンコーターであって、塗布回転の際に排出する塗布液を一旦溜める塗布液溜め部と、該塗布溜め部へ塗布液を送り込む塗布液取り出し部とを有し、且つ、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する第1の排出手段を、インナーカップの外周側に、アウターカップ側に跨って設け、前記第1の排出手段の塗布液溜め部から排出される塗布液を受ける第1の排出室を、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側に設けており、第1の排出室にて、第1の排出手段の塗布液溜め部から排出されてきた塗布液を回収するものであり、前記第1の排出手段の塗布液溜め部の塗布液が溜まる底部は、インナーカップ中心側に向う勾配がつけられており、回転が停止した際には、塗布液溜め部に溜まった塗布液が、該勾配の底部を通り、第1の排出室に緩やかに取出されるものであることを特徴とする液体回収機能付きスピンコーター。
- 請求項1に記載の液体回収装置付きスピンコータであって、第1の排出手段の塗布液溜め部がアウターカップ側に設けられていることを特徴とする液体回収機能付きスピンコーター。
- 塗布基板を保持する基板保持手段と一体となって回転でき、塗布基板が接する雰囲気をほぼ密閉するためのインナーカップと、固定で前記インナーカップ全体を囲むように設けられたアウターカップとを有するスピンコーターであって、塗布回転の際に排出する塗布液を一旦溜める塗布液溜め部と、該塗布溜め部へ塗布液を送り込む塗布液取り出し部とを有し、且つ、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する第1の排出手段を、インナーカップの外周側に、アウターカップ側に跨って設け、前記第1の排出手段の塗布液溜め部から排出される塗布液を受ける第1の排出室を、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側に設けており、第1の排出室にて、第1の排出手段の塗布液溜め部から排出されてきた塗布液を回収するものであり、前記インナーカップの外周側に、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する、洗浄液排出用の管部を有する第2の排出手段を、アウターカップ側に跨り設け、且つ、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側には、前記第2の排出手段から排出される洗浄液を受ける第2の排出室を、第1の排出室と隔てて設けており、第2の排出室にて第2の排出手段から排出されてきた洗浄液が回収されるものであることを特徴とする液体回収機能付きスピンコーター。
- 請求項3に記載の液体回収装置付きスピンコータであって、第1の排出手段の塗布液溜め部がアウターカップ側に設けられていることを特徴とする液体回収機能付きスピンコーター。
- 請求項3ないし4のいずれか1項に記載の液体回収装置付きスピンコータであって、第1の排出室と第2の排出室とは、いずれも上方を開口し、該開口から塗布液あるいは洗浄液を回収するものであることを特徴とする液体回収機能付きスピンコーター。
- 請求項3ないし5いずれか1項に記載の液体回収装置付きスピンコータであって、第2の排出手段は、管状ノズルであることを特徴とする液体回収装置機能スピンコーター。
- 請求項6に記載の液体回収装置付きスピンコータであって、第2の排出手段の管状ノズルの開口端部は、第1の排出手段より下側に離れて設けられていることを特徴とする液体回収機能付きスピンコーター。
- 請求項3ないし7いずれか1項に記載の液体回収装置付きスピンコータであって、第1の排出室が第2の排出室よりも外側あるいは上側に設けられていることを特徴とする液体回収機能付きスピンコーター。
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