JP4391147B2

JP4391147B2 - 液体回収機能付きスピンコーター

Info

Publication number: JP4391147B2
Application number: JP2003201429A
Authority: JP
Inventors: 潤長谷川
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2003-07-25
Filing date: 2003-07-25
Publication date: 2009-12-24
Anticipated expiration: 2023-07-25
Also published as: JP2005040679A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種の基板に感材等を塗布するスピンコーターに関し、特に、塗布液、あるいは塗布液と洗浄液等を回収することができる、液体回収装置付きスピンコーターに関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラーフィルタ用のガラス基板等に対する感材（レジスト）の塗布には、品質面から、塗布基板を保持する基板保持手段（チャック）と一体となって回転でき、塗布する基板が接する雰囲気をほぼ密閉するためのインナーカップと、固定で前記インナーカップ全体を囲むように設けられたアウターカップとを有するスピンコーターが使用されている。（特開平６−２３２０３６号公報、特開平１０−６６９２０号公報を参照）
このような回転塗布式のスピンコーターにおいては、回転塗布時には、塗布液がインナーカップの周辺部に飛散するが、この塗布液が該周辺部に溜まった場合、品質的に悪影響が出るため、塗布液を排出する手段を設けるが、通常は、これを十分に行うため、洗浄液を流し、洗浄する。
特に、カラーフィルタ用のガラス基板に対する感材（レジスト）等の高価な感材の塗布の場合には、感材をできるだけ多く洗浄液と接触させずに分離して、回収することも要求されるようになってきた。
これに対応するため、従来は、本願出願人による出願である特願２００２−３８２４２９号にもあるように、塗布液排出用のノズルと洗浄液排出用のノズルを設け、それぞれのノズルから、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップには、固定して配設された、塗布液排出用のノズルから排出される塗布液を受ける排出室および洗浄液排出用のノズルから排出される洗浄液を受ける排出室を、それぞれ、独立して設けており、それぞれのノズルから排出されてきた液がそれぞれの排出室に回収され、更に排出されていた。
しかし、特願２００２−３８２４２９号に記載のものでも、特に、カラーフィルタ用のガラス基板に対する着色感材塗布においては、排出室に回収される着色感材のミスト等の影響が強く、品質面への影響が大きく問題となっていた。
【０００３】
【特許文献１】
特願２００２−３８２４２９号
【特許文献２】
特開平６−２３２０３６号公報
【特許文献３】
特開平１０−６６９２０号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、インナーカップとアウターカップとを有するスピンコーターを使用し、カラーフィルタ用のガラス基板に対する着色感材を塗布する際に、特願２００２−３８２４２９号に記載のように、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップには、塗布液排出用のノズルから排出される塗布液を受ける排出室、洗浄液排出用のノズルから排出される洗浄液を受ける排出室を、それぞれ、独立して設けており、それぞれのノズルから排出されてきた液をそれぞれの排出室に回収し、更に排出し、高価な塗布液の回収を、洗浄液とは分離し行う場合には、固定された排出室に回収される着色感材のミスト等の影響が強く、品質面への影響が大きく問題となっていた。
本発明は、これに対応するもので、インナーカップとアウターカップとを有するスピンコーターを使用し、カラーフィルタ用のガラス基板に対する着色感材を塗布する際に、回収される着色感材のミスト等の影響が品質的にほとんどでない、塗布液回収機能付きスピンコーターを提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の液体回収機能付きスピンコーターは、塗布基板を保持する基板保持手段（チャック）と一体となって回転でき、塗布基板が接する雰囲気をほぼ密閉するためのインナーカップと、固定で前記インナーカップ全体を囲むように設けられたアウターカップとを有するスピンコーターであって、塗布回転の際に排出する塗布液を一旦溜める塗布液溜め部と、該塗布溜め部へ塗布液を送り込む塗布液取り出し部とを有し、且つ、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する第１の排出手段を、インナーカップの外周側に、アウターカップ側に跨って設け、前記第１の排出手段の塗布液溜め部から排出される塗布液を受ける第１の排出室を、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側に設けており、第１の排出室にて、第１の排出手段の塗布液溜め部から排出されてきた塗布液を回収するものであり、前記第１の排出手段の塗布液溜め部の塗布液が溜まる底部は、インナーカップ中心側に向う勾配がつけられており、回転が停止した際には、塗布液溜め部に溜まった塗布液が、該勾配の底部を通り、第１の排出室に緩やかに取出されるものであることを特徴とするものである。
そして、上記の液体回収装置付きスピンコータであって、第１の排出手段の塗布液溜め部がアウターカップ側に設けられていることを特徴とするものである。
あるいは、本発明の液体回収機能付きスピンコーターは、塗布基板を保持する基板保持手段（チャック）と一体となって回転でき、塗布基板が接する雰囲気をほぼ密閉するためのインナーカップと、固定で前記インナーカップ全体を囲むように設けられたアウターカップとを有するスピンコーターであって、塗布回転の際に排出する塗布液を一旦溜める塗布液溜め部と、該塗布溜め部へ塗布液を送り込む塗布液取り出し部とを有し、且つ、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する第１の排出手段を、インナーカップの外周側に、アウターカップ側に跨って設け、前記第１の排出手段の塗布液溜め部から排出される塗布液を受ける第１の排出室を、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側に設けており、第１の排出室にて、第１の排出手段の塗布液溜め部から排出されてきた塗布液を回収するものであり、前記インナーカップの外周側に、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する、洗浄液排出用の管部を有する第２の排出手段を、アウターカップ側に跨り設け、且つ、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側には、前記第２の排出手段から排出される洗浄液を受ける第２の排出室を、第１の排出室と隔てて設けており、第２の排出室にて第２の排出手段から排出されてきた洗浄液が回収されるものであることを特徴とするものである。
そして、上記の液体回収装置付きスピンコータであって、第１の排出手段の塗布液溜め部がアウターカップ側に設けられていることを特徴とするものである。
そしてまた、上記いずれかの液体回収装置付きスピンコータであって、第１の排出室と第２の排出室とは、いずれも上方を開口し、該開口から塗布液あるいは洗浄液を回収するものであることを特徴とするものである。
また、上記いずれかの液体回収装置付きスピンコータであって、第２の排出手段は、管状ノズルであることを特徴とするものであり、第２の排出手段の管状ノズルの開口端部は、第１の排出手段より下側に離れて設けられていることを特徴とするものである。
また、上記いずれか１項に記載の液体回収装置付きスピンコータであって、第１の排出室が第２の排出室よりも外側あるいは上側に設けられていることを特徴とするものである。
尚、上記において、アウターカップ側とは、インナーカップ外側で、且つ、アウターカップ内側を意味する。
【０００６】
【作用】
本発明の液体回収機能付きスピンコーターは、上記のような構成にすることによって、インナーカップとアウターカップとを有するスピンコーターを使用し、カラーフィルタ用のガラス基板に対する着色感材を塗布する際に、回収される着色感材のミスト等の影響が品質的にほとんどでない、塗布液回収機能付きスピンコーターの提供を可能としている。具体的には、塗布回転の際に排出する塗布液を一旦溜める塗布液溜め部と、該塗布溜め部へ塗布液を送り込む塗布液取り出し部とを有し、且つ、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する第１の排出手段を、インナーカップの外周側に、アウターカップ側に跨って設け、前記第１の排出手段の塗布液溜め部から排出される塗布液を受ける第１の排出室を、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側に設けており、第１の排出室にて、第１の排出手段の塗布液溜め部から排出されてきた塗布液を回収するものであり、前記第１の排出手段の塗布液溜め部の塗布液が溜まる底部は、インナーカップ中心側に向う勾配がつけられており、回転が停止した際には、塗布液溜め部に溜まった塗布液が、該勾配の底部を通り、第１の排出室に緩やかに取出されるものであることにより、あるいは、塗布回転の際に排出する塗布液を一旦溜める塗布液溜め部と、該塗布溜め部へ塗布液を送り込む塗布液取り出し部とを有し、且つ、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する第１の排出手段を、インナーカップの外周側に、アウターカップ側に跨って設け、前記第１の排出手段の塗布液溜め部から排出される塗布液を受ける第１の排出室を、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側に設けており、第１の排出室にて、第１の排出手段の塗布液溜め部から排出されてきた塗布液を回収するものであり、前記インナーカップの外周側に、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する、洗浄液排出用の管部を有する第２の排出手段を、アウターカップ側に跨り設け、且つ、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側には、前記第２の排出手段から排出される洗浄液を受ける第２の排出室を、第１の排出室と隔てて設けており、第２の排出室にて第２の排出手段から排出されてきた洗浄液が回収されるものであることこれを達成している。
【０００７】
詳しくは、第１の排出部は、塗布液の回転塗布の際には、塗布基板やインナーカップと一体的に回転する塗布液溜め部を有するものであって、回転動作により、塗布液が激しく飛び散ることはなく、更に、塗布液が溜まる底部は、インナーカップ中心側に向う勾配がつけられている塗布液溜め部を設けていることにより、回転が停止した際には、塗布液溜め部に溜まった塗布液が、該勾配の底部を通り、第１の排出室に緩やかに取出されることを可能にしている。
第１の排出室と第２の排出室とは、いずれも上方を開口し、該開口から塗布液あるいは洗浄液を回収する形態のものが挙げられる。
第２の排出手段は、構成を簡素なものとするため管状ノズルが用いられるが、この場合、通常、第２の排出手段の管状ノズルの開口端部は、第１の排出手段より下側に離れて設けられてる。
また、構成の簡単化から、通常は、第１の排出室が第２の排出室よりも外側あるいは上側に設ける。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態例を図に基づいて説明する。
図１は本発明の液体回収機能付きスピンコーターの実施の形態の一例の第１の排出手段を跨ぐ概略断面図で、図２は本発明の液体回収機能付きスピンコーターの実施の形態の一例の第２の排出手段を跨ぐ概略断面図で、図３は第１の排出手段、第２の排出手段の平面位置関係を示した概略図で、図４は第１の排出手段を拡大して示した一平面図で、図５は第１の排出手段を拡大して示した一断面図で、図６は塗布液回収部材の図である。
尚、図２、図３は第１の排出手段の上面カバーを取り外して内側が分かり易いように示した図で、図１は図３のＡ１−Ａ２位置における断面図で、図２は図３のＡ３−Ａ４位置における断面図で、図５は図３のＡ５−Ａ２位置における断面図である。
図１〜図６において、１１０は塗布基板、１２１はチャック（基板保持手段）、１２２はチャック固定部、１２３は吸引部、１２５は軸部、１３０は第１の排出手段、１３１は塗布液取り出し部、１３２は塗布液溜め部、１３２ａは塗布液溜め室、１３２ｂは排出口、１３３は塗布液排出用の孔部、１３５、１３６はネジ、１４０は第２の排出手段、１５０は液回収室、１５１は第１の排出室、１５２は第２の排出室、１５３は隙間（開口部とも言う）、１５５はネジ、１６０は塗布液回収部材（トレイとも言う）、１６０ａは突出部、１６１、１６２はパネル、１６３はスペーサ、１６４は抜き孔、１６５は排出路、１６５ａは排出口、１７０は飛散防止板、１８０はインナーカップ、１８１はインナーカップ蓋部（外蓋部とも言う）、１８２はインナーカップ外周側面、１８３はインナーカップ底部、１８７は整流板、１８７ａは隙間、１９０はアウターカップ、１９１はアウターカップ蓋部（内蓋部とも言う）、１９２はアウターカップ外周側面、１９３はアウターカップ底部、１９５は支持基材である。
【０００９】
本例の液体回収機能付きスピンコーターの実施の形態例を図１〜図６に基づいて説明する。
本例の液体回収機能付きスピンコーターは、図１に示すように、液晶ディスプレイ用のカラーフィルタ形成用として、基材をガラスとする矩形状の塗布基板上に、着色感材を塗布液として塗布するためのスピンコーターで、塗布基板１１０を保持する基板保持手段（チャック）１２１と一体となって回転でき、塗布基板が接する雰囲気をほぼ密閉するための、インナーカップの蓋部１８１、インナーカップ外周側面１８２、インナーカップ底部１８３等により囲まれたインナーカップ１８０と、固定で、前記インナーカップ１８０全体を囲むように設けられ、且つ、アウターカップ蓋部１９１、アウターカップ外周側面１９２、アウターカップ底部１９３等に囲まれるように形成されたアウターカップ１９０とを有し、更に、塗布液と洗浄液の回収機能を備えたスピンコーターである。
そして、図３に示すように、インナーカップの外周側面１８２に固定され、これと一体的に回転する、塗布液取り出し部１３１と、塗布回転中には塗布液取り出し部１３１の塗布液排出用の孔部１３３から排出される塗布液を一旦溜める塗布液溜め部１３２とを有する第１の排出手段１３０と、洗浄液排出用の管部からなる第２の排出手段１４０とを、アウターカップ側に跨り設け、且つ、インナーカップ１８０の外周を一周するように、アウターカップ１９０には、前記第１の排出手段１３０の塗布液溜め部１３２から排出される塗布液を受ける第１の排出室１８１と、前記第２の排出手段から排出される洗浄液を受ける第２の排出室とを、それぞれ、隔てて設けており、第１の排出室１５１にて第１の排出手段１３０から排出されてきた塗布液が回収され、更に排出され、第２の排出室１５２にて第２の排出手段１４０から排出されてきた洗浄液が回収され、更に排出されるものである。
本例においては、塗布液は、図１のように整流板１８７で塗布面側覆いほぼ密閉した状態で塗布されるが、塗布基板の外周から余分の塗布液は、太点線矢印のように、塗布液回収部材（トレイとも言う）１６０により塗布液取り出し部１３１に集められ、塗布液排出用の孔部１３３を経て、塗布液取り出し部１３１へと送られる。
詳しくは、図６に示す塗布液回収部材（トレイとも言う）１６０の排出路１６５から回収された塗布液が、集められ、その排出口１６５ａから第１の排出部１３０へと送られ、排出される。
また、本例においては、洗浄液は、塗布回転の際、図２の太点線矢印のように流れ、隙間１８７ａを介して第２の排出部１４０を経て回収される。
整流板１８７は、インナーカップの蓋部１８１に吊り下げられ、回転塗布の際、インナーカップ内の気流を安定的に制御するためのもので、本例では、塗布回転の際、塗布基板１１０の中心部側から、インナーカップ１８０外周側面１８２側に緩やかな清浄な空気あるいは窒素の流れが発生するように、図示していないが、清浄な空気あるいは窒素の供給、吸引を行う手段を設けている。
【００１０】
液回収室１５０は、その内に第１の排出室１５１、第２の排出室１５２を設け、そのインターカップ１８０側側面には、隙間１５３をインナーカップ１８０の外全周にわたり設け、第１の排出手段１３０、第２の排出手段１４０の回転動作にも接触しないようになっている。
第１の排出手段１３０の塗布液排出用の孔部１３３位置がこの隙間１５３を通るようになっている。
尚、本例においては、第１の排出室１５１は、第２の排出室１５２よりも外側に設けられ、第２の排出手段１４０の排出用の開口端部が、第１の排出手段１３０より下側位置に離れて設けられている。
【００１１】
前記塗布液溜め部１３２は、その上面カバーを開けた状態を拡大して図４に示すが、本例においては、塗布液溜め部１３２の塗布液が溜まる塗布液溜め室１３２ａと、溜まった塗布液を排出するためのの排出口１３２ｂとを備え、全体はインナーカップの外周側面１８２にネジ１３５により留められ保持されている。
そして、塗布液溜め部１３２の塗布液が溜まる塗布液溜め室１３２ａの底部は、インナーカップ中心側に向う勾配がつけられており、また、排出口１３２ｂの底部には、インナーカップ中心側からアウターカップ側に向う勾配がつけられており、回転が停止した際には、塗布液が、勾配がついた各底部を通り、第１の排出室１８１に緩やかに取出されるものである。
尚、図４において、点線矢印は回収される塗布液の進む方向を示している。
【００１２】
前記塗布液回収部材（トレイとも言う）１６０は、その外観を図６に示すが、パネル１６２間にスペーサ１６３を挟み、該スペーサにて塗布回転の際に出る余分の塗布液を回収する流路を形成する構造のものである。
そして、塗布する塗布基板外周に沿う抜き孔１６４を設け（図１、図３等参照）、抜き孔１６４側の側面には、塗布液の排出路１６５を設け、その外側の側面には、突出部１６０ａを除き、スペーサ１６３にて塗布液の流路を形成し、突出部１６０ａに塗布液を集め、回転塗布の際、突出部１６０ａの排出口１６５ａから、これに接続する第１の排出部１３０に塗布液が送られる。
塗布液回収部材（トレイとも言う）１６０の外周側面は、突出部１６０ａの排出口１６５ａ以外は、スペーサ１６３にて塞がれ、塗布液が漏れないようになっている。
排出口１６５ａからの塗布液は第１の排出部１３０以外に流出しない構造となっている。
勿論、図３の塗布液回収部材１６０ではない領域Ｂ０内の洗浄液は、塗布液回収部材１６０側に入り込むことはできない。
本例では、塗布液回収部材（トレイとも言う）１６０には、図３に示すような位置に、排出口１６５ａが４箇所設けられており、これに合せ、第１の排出手段１３０を４個備えている。
【００１３】
本例のスピンコーターでは、塗布基板の出し入れ、回転塗布とを、以下のように行う。
本例では、図示していない動作部により、インナーカップ蓋部（外蓋部とも言う）１８１、アウターカップ蓋部（内蓋部とも言う）１９１は閉じる位置と開く位置との間でそれぞれ移動可能になっており、また、チャック１２１は、チャック固定部１２２と一体的に上下移動できるようになっており、塗布基板の出し入れは、インナーカップ蓋部（外蓋部とも言う）１８１とアウターカップ蓋部（内蓋部とも言う）１９１とを開けた状態で、チャック固定部１２２と一体的にチャック１２１を上下動作させて行う。
本例では、上側の位置で、図示していないロボットによりチャックへ塗布基板を載置、およびチャック１２１から塗布基板を取出しを行い、下側の位置で、図１に示すように、インナーカップ蓋部（外蓋部とも言う）１８１とアウターカップ蓋部（内蓋部とも言う）１９１とを閉じた状態で塗布液の回転塗布を行う。
チャック１２１の所定の位置に塗布基板が載置され、吸引部１２３により真空吸着された後、塗布液が塗布され、チャック１２１が回転し、塗布液の塗布が行われる。
塗布液の供給や洗浄液の供給は図示していない所定の供給路にて、制御して行うことができるようになっている。
勿論、このような動作を行う各部の制御および各部の関連付けた制御は、図示してない処理制御部にて行うことが出来るようになっている。
【００１４】
軸部１２５は、インナーカップ蓋部（外蓋部とも言う）１８１の回転軸を有するものであるが、図１および図２において図示されていないが、通常は、この中に、洗浄液供給部が配されている。
この場合、回転時に整流板１８７の上面に洗浄液（例えば有機溶媒）が供給されると、回転動作によりインナーカップ１８０内に洗浄液は散布される。
図１、図２に示すように整流板１８７の外周側には、インナーカップ１８０の内周面との間に隙間１８７ａを設けている。
図１、図２では分からないが、飛散防止板１７０のインナーカップ１８０の内周面との間、隙間埋め部材１８８より外側にも隙間があり、洗浄液は、これらの隙間を通り、それぞれ、落下し、第２の排出手段１４０を通って排出される。
洗浄液の流れる方向は、概略図２に太点線矢印のようになる。
したがって、洗浄液は、塗布液の排出経路とは明確に分離されて排出される。
第２の排出手段１４０である管部は排出用のノズルとして働く。
本例においては、第２の排出手段１４０の排出用の開口端部は、第１の排出手段１３０より下側に離れて設けられている。
【００１５】
本例においては、上記のように、スピンコーター内に配設された塗布液と洗浄液とを分離した流路と各液の排出手段（第１の排出手段１３０、第２の排出手段１４０）と、各液の排出室（第１の排出室１５１、第２の排出室１５２）を備えていることにより、塗布液と洗浄液とを分離して、品質面で悪影響を及ぼすことなく回収する機能を果たすことができるが、基本的な構成が同じで、同様の機能を果たすことができるものであれば、本例の構造に限定はされない。
勿論、第２の排出手段１４０の数を増やしたり、場合によっては、塗布液回収部材（トレイとも言う）１６０内の流路を変えて、第１の排出手段１３０の数を変えても良い。
【００１６】
本例は、液晶ディスプレイ用のカラーフィルタ形成用として、基材をガラスとする矩形状の塗布基板上に、着色感材を塗布液として塗布するためのスピンコーターであるが、塗布する対象が異なる、これ以外の塗布液、洗浄液の組み合わせで用いても良い。
変形例としては、本例において、洗浄液の塗布を行わず、洗浄液の流路を持たず、第２の排出部１４０、第２の排出手段１５２を備えていない構造、即ち、塗布液のみ回収する構造のものも挙げられ、種々の液体の回収にも適用できる。
【００１７】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、インナーカップとアウターカップとを有するスピンコーターを使用し、回転塗布の際に、塗布された余分の塗布液を回収することができる塗布液回収機能付きスピンコーターの提供を可能とした。
特に、カラーフィルタ用のガラス基板に対する着色感材を塗布する際に、回収される着色感材のミスト等の影響が品質的にほとんどでない、塗布液回収装置付きスピンコーターの提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液体回収機能付きスピンコーターの実施の形態の一例の第１の排出手段を跨ぐ概略断面図である。
【図２】本発明の液体回収機能付きスピンコーターの実施の形態の一例の第２の排出手段を跨ぐ概略断面図である。
【図３】第１の排出手段、第２の排出手段の平面位置関係を示した概略図である。
【図４】第１の排出手段を拡大して示した一平面図である。
【図５】図５は図３のＡ５−Ａ２位置における断面図である。
【図６】塗布液回収部材（トレイとも言う）の図である。
【符号の説明】
１１０塗布基板
１２１チャック（基板保持手段）
１２２チャック固定部
１２３吸引部
１２５軸部
１３０第１の排出手段
１３１塗布液取り出し部
１３２塗布液溜め部
１３２ａ塗布液溜め室
１３２ｂ排出口
１３３塗布液排出用の孔部
１３５、１３６ネジ
１４０第２の排出手段
１５０液回収室
１５１第１の排出室
１５２第２の排出室
１５３隙間（開口部とも言う）
１５５ネジ
１６０塗布液回収部材（トレイとも言う）
１６０ａ突出部
１６１、１６２パネル
１６３スペーサ
１６４抜き孔
１６５排出路
１６５ａ排出口
１７０飛散防止板
１８０インナーカップ
１８１インナーカップ蓋部（外蓋部とも言う）
１８２インナーカップ外周側面
１８３インナーカップ底部
１８７整流板
１８７ａ隙間
１９０アウターカップ
１９１アウターカップ蓋部（内蓋部とも言う）
１９２アウターカップ外周側面
１９３アウターカップ底部
１９５支持基材

Claims

塗布基板を保持する基板保持手段と一体となって回転でき、塗布基板が接する雰囲気をほぼ密閉するためのインナーカップと、固定で前記インナーカップ全体を囲むように設けられたアウターカップとを有するスピンコーターであって、塗布回転の際に排出する塗布液を一旦溜める塗布液溜め部と、該塗布溜め部へ塗布液を送り込む塗布液取り出し部とを有し、且つ、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する第１の排出手段を、インナーカップの外周側に、アウターカップ側に跨って設け、前記第１の排出手段の塗布液溜め部から排出される塗布液を受ける第１の排出室を、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側に設けており、第１の排出室にて、第１の排出手段の塗布液溜め部から排出されてきた塗布液を回収するものであり、前記第１の排出手段の塗布液溜め部の塗布液が溜まる底部は、インナーカップ中心側に向う勾配がつけられており、回転が停止した際には、塗布液溜め部に溜まった塗布液が、該勾配の底部を通り、第１の排出室に緩やかに取出されるものであることを特徴とする液体回収機能付きスピンコーター。
請求項１に記載の液体回収装置付きスピンコータであって、第１の排出手段の塗布液溜め部がアウターカップ側に設けられていることを特徴とする液体回収機能付きスピンコーター。
塗布基板を保持する基板保持手段と一体となって回転でき、塗布基板が接する雰囲気をほぼ密閉するためのインナーカップと、固定で前記インナーカップ全体を囲むように設けられたアウターカップとを有するスピンコーターであって、塗布回転の際に排出する塗布液を一旦溜める塗布液溜め部と、該塗布溜め部へ塗布液を送り込む塗布液取り出し部とを有し、且つ、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する第１の排出手段を、インナーカップの外周側に、アウターカップ側に跨って設け、前記第１の排出手段の塗布液溜め部から排出される塗布液を受ける第１の排出室を、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側に設けており、第１の排出室にて、第１の排出手段の塗布液溜め部から排出されてきた塗布液を回収するものであり、前記インナーカップの外周側に、インナーカップに固定されて、これと一体的に回転する、洗浄液排出用の管部を有する第２の排出手段を、アウターカップ側に跨り設け、且つ、インナーカップの外周を一周するように、アウターカップ側には、前記第２の排出手段から排出される洗浄液を受ける第２の排出室を、第１の排出室と隔てて設けており、第２の排出室にて第２の排出手段から排出されてきた洗浄液が回収されるものであることを特徴とする液体回収機能付きスピンコーター。
請求項３に記載の液体回収装置付きスピンコータであって、第１の排出手段の塗布液溜め部がアウターカップ側に設けられていることを特徴とする液体回収機能付きスピンコーター。
請求項３ないし４のいずれか１項に記載の液体回収装置付きスピンコータであって、第１の排出室と第２の排出室とは、いずれも上方を開口し、該開口から塗布液あるいは洗浄液を回収するものであることを特徴とする液体回収機能付きスピンコーター。
請求項３ないし５いずれか１項に記載の液体回収装置付きスピンコータであって、第２の排出手段は、管状ノズルであることを特徴とする液体回収装置機能スピンコーター。
請求項６に記載の液体回収装置付きスピンコータであって、第２の排出手段の管状ノズルの開口端部は、第１の排出手段より下側に離れて設けられていることを特徴とする液体回収機能付きスピンコーター。
請求項３ないし７いずれか１項に記載の液体回収装置付きスピンコータであって、第１の排出室が第２の排出室よりも外側あるいは上側に設けられていることを特徴とする液体回収機能付きスピンコーター。