JP2003080159A - 回転塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 排気通路内への塗布液ミストの付着を防止す
ることにより、排気機能の低下等のトラブル発生を回避
する。 【解決手段】 基板Ｗをテーブル１２に保持して回転さ
せながらその遠心力により基板Ｗの表面に塗布液を塗布
するスピンコータ１（回転塗布装置）において、塗布液
の外部飛散を防止するカップ４の内部に、カップ４の下
部２０と整流板２８とによって廃液貯溜部２２に向って
開口する無端状の中空部分２９を形成するとともに、こ
の中空部分２９に対応する箇所に排気管２６を接続し
た。これにより排気管２６および中空部分２９によりカ
ップ４内の雰囲気を排気する排気通路を構成した。排気
通路の排気口（開口３０）近傍には、排気中に含まれる
塗布液ミストを捕捉するための多孔状の部材からなるミ
ストトラップ３２を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶表示パ
ネル用のガラス基板、半導体ウエハ、半導体製造用のマ
スク基板などの基板（以下、単に『基板』という）の表
面に、例えばフォトレジスト液などの塗布液を塗布する
回転塗布装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、テーブル上に吸着保持した基
板に塗布液を供給した後、基板とテーブルとを一体に回
転させることにより、遠心力を利用して塗布液を基板面
上に拡張させる、いわゆるスピンコータと呼ばれる塗布
装置は一般に知られている。

【０００３】この装置では、テーブルの周囲が廃液回収
用のカップで覆われており、基板の処理中（回転中）
は、このカップの上部に蓋体がセットされて基板が閉空
間内に配置され、この状態で処理を行うことにより塗布
液の外部飛散を防止するように構成されている。

【０００４】前記カップには、廃液口および排気口が開
口しており、処理中は、前記廃液口から廃液通路を通じ
てカップ内に溜まった廃液を排出するとともに、前記排
気口から排気通路を通じてカップ内の雰囲気（塗布液が
蒸発した溶剤ガスや塗布液ミストを含んだ空気）を吸引
するように構成されている。これによってカップ内で廃
液が乾燥固化することによりできる塵埃（パーティク
ル）や塗布液ミスト等が基板へ付着することに起因する
基板の汚損を防止するように構成されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
に排気通路を通じてカップ内の空気を強制排気する装置
では、排気口から排気通路内にかけて塗布液ミストが付
着することとなる。

【０００６】このような塗布液ミストの付着を長期に亘
って放置していると、塗布液ミスト（乾燥固化したも
の）が排気口や排気通路内壁に堆積して通路を塞ぎ、例
えばカップ内雰囲気の吸引力の低下を招くことが考えら
れる。このような場合には、処理中にカップ内の排気が
滞り、その結果、基板に対する塗布液ミストの付着防止
機能が低下することが考えられるため、何らかの対策を
打つ必要がある。

【０００７】なお、特開平１０−５５９４８号公報に、
排気管の途中にミスト除去部を設けた装置が開示されて
いるが、この構成ではミスト除去部に至るまでの排気管
部分での塗布液ミストの付着を防ぐことはできず、依然
として排気能力の低下を避けることはできない。

【０００８】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であって、排気通路内への塗布液ミストの付着を防止す
ることにより、排気機能の低下等のトラブル発生を回避
することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、基板を保持して回転させる基板保持部
と、この基板保持部を包囲して塗布液の外部飛散を防止
するカップと、前記カップに連通して該カップ内の雰囲
気を外部排気する排気通路とを備えた回転塗布装置にお
いて、前記排気通路内であって、かつ排気口近傍に、前
記雰囲気中に含まれる塗布液ミストを捕捉するためのミ
ストトラップが設けられているものである（請求項
１）。

【００１０】この回転塗布装置によると、排気口近傍で
塗布液ミストが捕捉されるので、実質的な排気通路内へ
の塗布液ミストの侵入が抑えられ、排気通路内への塗布
液ミストの付着が略全域に亘って防止されることとな
る。

【００１１】この装置において、特に、排気通路をカッ
プ内部に延設してミストトラップをカップ内に設けるよ
うにすれば（請求項２）、カップ外部への塗布液ミスト
の持ち出しを良好に防止することができる。

【００１２】なお、ミストトラップは、前記排気通路を
塞ぐ多孔状の部材から構成されるものであってもよいし
（請求項３）、あるいは前記排気通路に凹凸を設けて通
路表面積を増大させることにより構成されるもの（請求
項４）であってもよい。

【００１３】上記のような回転塗布装置においては、ミ
ストトラップに洗浄液を供給することにより付着した塗
布液ミストを洗浄、除去する洗浄手段を備えているのが
好ましい（請求項５）。

【００１４】この装置によれば、ミストトラップを交換
することなく、ミストトラップに付着した塗布液ミスト
によって排気通路が塞がれるのを防止することができ
る。また、ミストトラップによって捕捉した塗布液ミス
トが乾燥してパーティクルが発生するのを有効に防止す
ることができる。

【００１５】なお、塗布処理に伴い飛散した塗布液を溜
めながら排出する廃液貯溜部が前記カップ内に設けられ
ている場合には、排気通路の排気口をこの廃液貯溜部に
臨むように設け、排気通路におけるミストトラップより
も排気方向下流側から該ミストトラップに向って洗浄液
を供給するように前記洗浄手段を構成するのが好ましい
（請求項６）。

【００１６】このようにすれば、合理的な構成で、塗布
液ミストが含まれた使用済みの洗浄液を排気と分離した
状態で廃液（飛散した塗布液）と共に外部に排出するこ
とができるようになる。

【００１７】この場合、シャワーノズルや扇形ノズル
等、各種ノズルを使って洗浄液を直接ミストトラップに
吹き付けて洗浄してもよいが、例えば排気通路の排気口
を水平又は下向きに設け、さらに排気方向におけるミス
トトラップよりも下流側に洗浄液貯溜部を設けてこの洗
浄液貯溜部に洗浄液を貯溜しながらオーバーフローさせ
るように洗浄手段を構成してもよい（請求項７）。

【００１８】このようなオーバーフロー方式の洗浄手段
によれば、洗浄液が排気通路に沿って流動しながらミス
トトラップに供給されるため、排気通路の形状、あるい
はミストトラップが設けられる場所等によっては、シャ
ワーノズル等により洗浄液を吹き付けて洗浄する場合に
比べ、少ない洗浄液で効率的にミストトラップ及びその
近傍を洗浄することが可能となる。

【００１９】なお、こようなオーバーフロー方式の洗浄
手段においては、洗浄液貯溜部における洗浄液のオーバ
ーフロー部分に、洗浄液を通路幅方向に均等に案内する
凹凸が形成されているのがより好ましい（請求項８）。

【００２０】このようにすれば、ミストトラップの特定
の部分に洗浄液が偏って供給されるのを防止することが
でき、より適切にミストトラップを洗浄することが可能
となる。

【００２１】上記の回転塗布装置においては、洗浄手段
が洗浄液を吐出する複数のノズルと各ノズルに対して洗
浄液を供給する供給系統とを有する場合であって、例え
ば、洗浄エリアが広い場合等には、ノズルを洗浄液の供
給エリアに基づいて複数のグループに区分し、各グルー
プ毎に独立した供給系統を設けるのが好ましい（請求項
９）。

【００２２】このようにすれば、洗浄エリアが広い場合
でも、洗浄液の供給時に要求される洗浄液の圧力や量を
より適切に確保することができるようになる。

【００２３】また、洗浄手段は、洗浄液の供給源として
未使用の洗浄液と使用済みの洗浄液とを貯溜するタンク
を夫々有し、これらのタンクから選択的に洗浄液を供給
するように構成されているのが好ましい（請求項１
０）。

【００２４】ミストトラップの洗浄は必ずしも未使用の
洗浄液を使用する必要はなく、洗浄能力を有していれば
使用済みの洗浄液を用いることも可能である。そのた
め、上記のように未使用の洗浄液と使用済みの洗浄液と
の使い分けが可能な構成とすることで、洗浄液を有効活
用することが可能となる。なお、ここで「使用済みの洗
浄液」は、ミストトラップの洗浄に使用されたものに限
らず、例えば基板自体の洗浄等、基板の一連の処理工程
で使用された洗浄液であっても構わない。

【００２５】なお、上記の回転塗布装置において、排気
通路を通じてカップ内を強制的に吸引する吸引手段を有
する場合、この吸引手段は、塗布処理以外のときには、
吸引を停止し、又は塗布処理中の吸引力よりも低い吸引
力でカップ内を吸引するように構成されているのが好ま
しい（請求項１１）。

【００２６】このようにすれば、ミストトラップによっ
て捕捉した塗布液ミストが乾燥するのを抑制することが
でき、捕捉した塗布液ミストに起因するパーティクルの
発生を有効に防止することができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態につい
て図面を用いて説明する。

【００２８】図１及び図２は、本発明に係る回転塗布装
置（スピンコータ）を断面図で概略的に示している。こ
の図に示すように、スピンコータ１は、基板Ｗを保持す
るための基板保持部２と、この基板保持部２を包囲する
カップ４と、このカップ４の上部開口４ａを塞ぐ蓋部材
６とを備えている。

【００２９】前記基板保持部２は、基板Ｗを支持するた
めのテーブル１２を有している。このテーブル１２は、
駆動シャフト１０の先端（上端）にボス１０ａを介して
結合されており、図外のモータの作動による駆動シャフ
ト１０の回転駆動に伴い該シャフト１０と一体に回転す
るように構成されている。

【００３０】テーブル１２の表面（上面）には、吸着部
（図示せず）が設けられるとともに、所定の配列で支持
ピン１４が突設されており、処理時には、基板Ｗが前記
ピン１４ａ上に支持され、かつ吸着部に真空吸着された
状態でテーブル上に保持されるように構成されている。

【００３１】また、テーブル１２の周縁部には、円環状
のスペーサ１６が設けられており、処理時には、蓋部材
６を構成する後記トッププレート４４がこのスペーサ１
６を介してテーブル１２上に合体することにより、テー
ブル１２、スペーサ１６及びトッププレート４４により
略密閉された基板処理用の空間をテーブル１２上に形成
するように構成されている。

【００３２】前記カップ４は、前記テーブル１２の下側
を覆う円盤状の下部２０の周囲にテーブル１２を外側か
ら覆う無端状の外周部２１を備えた皿型の部材である。

【００３３】このカップ４において下部２０の周縁部分
には、カップ中心から径方向外側に向って先下がりの傾
斜面２０ａが形成されており、これによってカップ４の
周縁部分に、その全周に亘って溝状の廃液貯溜部２２が
形成されている。

【００３４】廃液貯溜部２２の底部には廃液管２４が接
続されており、処理に伴い飛散して廃液貯溜部２２に溜
まった塗布液や、あるいは後述するようにミストトラッ
プの洗浄に供されて廃液貯溜部２２に溜まった洗浄液等
の廃液がこの廃液管２４を通じて外部に排出されるよう
になっている。なお、図示していないが、廃液管２４
は、例えばカップ４の周方向に均等な間隔で複数箇所に
接続されている。

【００３５】また、カップ４内において、廃液貯溜部２
２の内側（カップ４の径方向内側）の部分には、前記下
部２０と整流板２８とによって廃液貯溜部２２に向って
開口（開口３０）する無端円環状の中空部分２９が形成
されている。より詳しく説明すると、前記整流板２８
は、カップ４と中心を同じくする略円環形状であって、
図２に示すようにその外周部分が下部２０の前記傾斜面
２０ａの部分まで延設されて該傾斜面２０ａと平行に延
びており、その結果、前記中空部分２９は、その外周部
分がカップ４の径方向中心から外側に向って先下がりに
形成されて開口３０が廃液貯溜部２２内に下向きに臨ん
だ状態で形成されている。

【００３６】カップ４の下部２０において中空部分２９
に対応する箇所には排気管２６が接続されており、処理
中は、カップ４内の雰囲気が前記開口３０から中空部分
２９および排気管２６を通って図外の吸引手段により吸
引されながら外部排気されるように構成されている。つ
まり、当実施形態では、排気管２６および中空部分２９
等により本発明の排気通路が、前記開口３０により本発
明の排気口が夫々構成されている（以下、排気管２６お
よび中空部分２９等に形成される通路を必要に応じて排
気通路とよぶことにする）。なお、前記排気管２６は複
数箇所に接続されており、当実施形態では、図３に示す
ように周方向に均等な間隔で４本の排気管２６がカップ
４に接続されている。

【００３７】排気通路を構成する前記中空部分２９に
は、排気される雰囲気中に含まれる塗布液ミストを捕捉
するためのミストトラップ３２と、このミストトラップ
３２を洗浄するための洗浄手段が設けられている。

【００３８】ミストトラップ３２は、排気通路を塞ぐ多
孔状の部材で、排気中に含まれる塗布液ミストを付着さ
せることにより捕捉するもので、当実施形態では、図５
に示すような格子状のミストトラップ３２が採用されて
いる。ミストトラップ３２は、図２に示すように開口３
０（排気口）の直ぐ近傍であって中空部分２９の全周に
亘って設けられており、塗布液ミストの付着面積をでき
るだけ多く確保できるように奥行き方向（排気方向）に
ある程度厚みを有して設けられている。

【００３９】洗浄手段は、洗浄液を貯溜しつつオーバー
フローさせる洗浄液貯溜部３４と、洗浄液をミストトラ
ップ３２に対して噴射するノズル３６と、これら洗浄液
貯溜部３４およびノズル３６に対して洗浄液を供給する
洗浄液の供給系統とから構成されている。

【００４０】前記洗浄液貯溜部３４は、図２及び図３に
示すように、カップ４の前記下部２０であって、排気管
２６の直ぐ外側（すなわち傾斜面２０ａの上端部分）に
形成される無端状の溝からなる。洗浄液貯溜部３４の底
部にはポート３８が周方向に一定の間隔で設けられてお
り、これらポート３８に対して洗浄液の供給管３９が接
続されている。つまり、供給管３９およびポート３８を
通じて洗浄液貯溜部３４に洗浄液を供給することによ
り、一定量の洗浄液を洗浄液貯溜部３４に貯溜しながら
オーバーフローさせ、これによって洗浄液をその自重に
より傾斜面２０ａに沿って流下させながらミストトラッ
プ３２を洗浄するように構成されている。

【００４１】なお、洗浄液貯溜部３４の側壁のうち内側
の側壁（径方向内側の側壁；図２では左側の側壁）は外
側の側壁よりも高く形成されており、その結果、貯溜さ
れる洗浄液は傾斜面２０ａ側にのみオーバーフローする
ようになっている。また、洗浄液貯溜部３４の外側の側
壁上端部分（洗浄液のオーバーフロー部分）には、カッ
プ４の径方向に延びる細溝が周方向に等間隔で刻設され
ており、これによって洗浄液がカップ４の全周に亘って
均等にオーバーフローし得るように構成されている。

【００４２】前記ノズル３６は、洗浄液の噴射孔を一定
の間隔で備えた円環状のパイプノズルであって、図２に
示すように洗浄液貯溜部３４内であってその内側の側壁
に沿って固定され、ミストトラップ３２およびその近傍
の整流板２８に対して洗浄液を吹き付けるように設けら
れている。なお、当実施形態においてこのノズル３６
は、図３及び図４に示すようにカップ４の周方向に分割
された４つの単位ノズル３６ａ〜３６ｄからなり、これ
ら単位ノズル３６ａ〜３６ｄが協働して円環状の前記ノ
ズル３６を構成している。そして、各単位ノズル３６ａ
〜３６ｄに夫々独立した処理液の供給管３７が接続され
ることにより独立した供給系統に接続され、洗浄時に
は、各単位ノズル３６ａ〜３６ｄ毎に夫々処理液が供給
されるように構成されている。

【００４３】一方、蓋部材６は、図１に示すように、上
部フード４２と、その下側に連結されるトッププレート
４４とから構成されている。

【００４４】上部フード４２は、図外の駆動機構により
昇降可能に支持されており、処理時には、下降端位置に
セットされることによりカップ４の前記上部開口４ａを
塞いでカップ４内に閉空間を形成するように構成されて
いる。

【００４５】トッププレート４４は、上部フード４２と
共に昇降し、処理時には、前記スペーサ１６を介してテ
ーブル１２上に合体することにより、テーブル１２、ス
ペーサ１６及びトッププレート４４によってテーブル上
に閉空間を形成し、テーブル１２上に保持された基板Ｗ
をその空間内に配するように構成されている。

【００４６】上部フード４２及びトッププレート４４
は、上部フード４２の中央部分に形成された中空部４５
にトッププレート４２上部に形成された円盤状の被係合
部４４ａが介装されることにより連結されており、蓋部
材６の上昇時には、上部フード４２に連設される係合部
４２ａが被係合部４４ａに対して下側から係合すること
により（図１の二点鎖線図参照）、トッププレート４４
と上部フード４２とが一体に上昇するように構成されて
いる。なお、処理に伴う蓋部材６の下降時には、まずト
ッププレート４４がテーブル１２に合体して被係合部４
２ａと被係合部４４ａとの係合状態が解除され、その
後、トッププレート４４がカップ４上にセットされて上
部開口４ａを塞ぐように前記係合部４２ａ及び被係合部
４４ａの位置関係が設定されており（図１の実線図参
照）、これによって基板Ｗの処理中は、トッププレート
４４が上部フード４２から独立（分離）した状態とな
り、トッププレート４４がテーブル１２と共に一体に回
転するように構成されている。

【００４７】また、上記フード４２の中央部分近傍に
は、クリーンルーム内の清浄な下降気流を取り入れるた
めの開口４２ｂが形成されている。

【００４８】次に、以上のように構成されたスピンコー
タ１の動作について説明する。

【００４９】まず、蓋部材６が所定の上昇端位置にセッ
トされ、これによりカップ４の上部開口４ａが開放され
た状態で（図１の二点鎖線に示す状態）、図外の搬送手
段により基板Ｗが搬入されて前記テーブル１２上にセッ
トされる。

【００５０】基板Ｗがセットされると、移動可能な塗布
液供給ノズル（図示せず）がテーブル１２の中央であっ
て、かつその上方に設定された液供給位置に配置され、
所定量の塗布液が基板Ｗの中央部分に滴下される。

【００５１】そして、カップ４の外部に塗布液供給ノズ
ルが移動した後、蓋部材６が下降し、図１の実線図に示
すように、テーブル１２上にトッププレート４４が合体
するとともに、カップ４の上部開口４ａが上部フード４
２によって塞がれる。

【００５２】こうして処理準備が完了すると、排気管２
６に接続された図外の吸引手段が吸引動作を開始し、カ
ップ４内の雰囲気が開口３０から排気通路を通じて外部
排気され始めるとともに、図外のモータの作動によりテ
ーブル１２が回転駆動され、これにより基板Ｗが高速で
回転する。このように基板Ｗが回転すると、その遠心力
により塗布液が基板上に拡散され、その結果、塗布液が
基板上に薄く塗布されることとなる。

【００５３】なお、このような基板Ｗの処理中、回転に
よって基板Ｗから振り切られた余剰の塗布液は、前記ス
ペーサ１６とテーブル１２との間に形成された隙間１６
ａを通じてカップ４内に流出、あるいは飛散しながら底
部の廃液貯溜部２２内に案内され、この廃液貯溜部２２
に廃液として集められ、前記廃液管２４を通じて外部に
排出されることとなる。

【００５４】また、上記のように排気通路を通じてカッ
プ４内が吸引されることによりカップ４内の雰囲気（空
気）が開口３０からカップ４外へ排気され、これにより
空気中に含まれる塗布液ミスト等の基板Ｗへの付着が防
止される。排気によって陰圧となったカップ４内には、
開口４２ｂを介して清浄な気体が取り入れられ、これに
よりトッププレート４４上で中心から外向きの気流が生
じ、カップ４内の円滑な排気が実現されている。なお、
空気と共に開口３０から排気通路内に吸引された塗布液
ミストは、排気通路（中空部分２９）内でミストトラッ
プ３２を通過する際にこれに付着し、排気管２６に至る
ことなくカップ４内で捕捉されることとなる。

【００５５】基板Ｗの塗布処理が完了すると、テーブル
２０が停止し、蓋部材６が上昇端位置にリセットされる
ことによりカップ４が開放される。また、これと同時に
カップ４内の吸引が停止される。そして、テーブル１２
から前記搬送手段に基板Ｗが受け渡され、該搬送手段に
より基板Ｗが搬出される。これにより当該基板Ｗに対す
る塗布液の塗布処理が終了することとなる。

【００５６】そして、例えば予め設定された数の基板Ｗ
に対して処理液の塗布動作が繰り返された後、あるいは
生産ロットの切替え等のタイミングでミストトラップ３
２の洗浄が行われ、ミストトラップ３２に付着した塗布
液ミストが除去される。これにより、ミストトラップ３
２に塗布液ミストが堆積して排気通路面積が縮小するの
が防止され、また、塗布液ミストが乾燥固化することに
よるパーティクルの発生が防止されることとなる。

【００５７】ミストトラップ３２の洗浄は、上述したよ
うに、洗浄液貯溜部３４に洗浄液を貯溜しながらオーバ
ーフローさせるとともに、ノズル３６からミストトラッ
プ３２およびその近傍の整流板２８に洗浄液を噴射する
ことにより行われる。このようにすると、洗浄液貯溜部
３４からオーバーフローした洗浄液が傾斜面２０ａに沿
って流下し、該傾斜面２０ａおよびミストトラップ３２
に付着した塗布液ミストを溶解しながら廃液貯溜部２２
内に流入する一方、ノズル３６から噴射された洗浄液が
整流板２８およびミストトラップ３２に付着した塗布液
ミストを溶解しながら傾斜面２０ａおよび整流板２８に
沿って廃液貯溜部２２内に流下することとなる。従っ
て、ミストトラップ３２のみならずその近傍の傾斜面２
０ａや整流板２８に付着した塗布液ミストも洗浄除去さ
れることとなる。なお、上記のように洗浄に供された洗
浄液は、全て廃液貯溜部２２に集められて廃液として廃
液管２４を通じて外部に排出されることとなる。

【００５８】以上のようなスピンコータ１によると、排
気通路を通じてカップ４内の空気（雰囲気）を排気する
構成において、その排気口（開口３０）近傍にミストト
ラップ３２を設けることによって排気通路内への塗布液
ミストの侵入を防止するようにしているので、排気通路
内への塗布液ミストの付着、堆積を略全域に亘って防止
することができる。従って、排気通路内に塗布液ミスト
が堆積することによるトラブル、例えば実質的な排気通
路面積の縮小に伴うカップ内の吸引力低下（排気機能の
低下）といった事態の発生を有効に防止することができ
る。特に、このスピンコータ１では、カップ４内に形成
した中空部分２９に排気管２６を連通接続して排気通路
を構成し、ミストトラップ３２を前記中空部分２９に設
けているので、すなわちカップ４内にミストトラップ３
２を設けているので、カップ４外への塗布液ミストの持
ち出しを効果的に防止することができる。従って、排気
管２６等、カップ４以外の部分への塗布液ミストの堆積
をより効果的に防止することができ、排気管２６等の保
守点検作業を軽減することができるという利点がある。

【００５９】しかも、このスピンコータ１では、洗浄手
段を設けてミストトラップ３２に付着した塗布液ミスト
を洗浄、除去できるように構成されているので、ミスト
トラップ３２に付着した塗布液ミストによって排気通路
が塞がれたり、あるいは塗布液ミストが乾燥固化するこ
とに起因してパーティクルが発生するといった弊害を有
効に防止することができる利点がある。特に、このスピ
ンコータ１では、ミストトラップ３２の洗浄に供した洗
浄液が自ずと廃液貯溜部２２内に流入するように排気通
路や洗浄手段が構成されているので、使用済みの洗浄液
を廃液（飛散した塗布液）と共に外部に排出することが
できる合理的な構成が達成されるという利点がある。

【００６０】次に、本発明の第２の実施形態について図
６を用いて説明する。

【００６１】この図は、排気通路をカップ４の外周部２
１に設けた構成のスピンコータ１を断面図で概略的に示
している。すなわち、図６に示すスピンコータ１では、
カップ４を構成する外周部２１の内側に沿って整流板２
８が設けられており、この整流板２８と外周部２１とに
よって真下に向って開口する無端状の中空部分２９が形
成されている。そして、この中空部分２９に対して外周
部２１の外側から排気管２６が接続されることにより、
これら中空部分２９及び排気管２６により排気通路が構
成されている。

【００６２】また、中空部分２９の開口３０の近傍にミ
ストトラップ３２が設けられ、中空部分２９の内部であ
ってこのミストトラップ３２に対向する位置に洗浄手段
としてノズル３６が設けられている。

【００６３】このように排気通路の排気口（開口３０）
は、必ずも第１の実施形態のようにカップ４の下部２０
（テーブル１２の下側）に設けられている必要はなく、
カップ４の外周部２１に設けられているものであっても
よく、このような第２の実施形態の構成においても第１
の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。

【００６４】次に、本発明の第３の実施形態について図
７を用いて説明する。

【００６５】この図は、ミストトラップとして第１の実
施形態のような多孔状の部材かなるミストトラップ３２
を設けるのではなく、排気通路自体に通路表面積を増大
させるような形状的な特徴を持たせることによりミスト
トラップを設けた構成を示している。

【００６６】すなわち、この図に示すスピンコータ１で
は、開口３０の近傍、具体的にはカップ４の傾斜面２０
ａの部分において整流板２８および傾斜面２０ａの相対
向する面に凹凸を適宜形成し、排気通路自体をラビリン
ス状に形成することによりミストトラップが構成されて
いる。

【００６７】このような構成によると、開口３０の近傍
において排気通路内壁面に塗布液ミストが効果的に付着
することとなり、第１の実施形態の同様、塗布液ミスト
を開口３０近傍で良好に捕捉することができる。なお、
同図においては、便宜上洗浄手段の図示を省略している
が、勿論、この構成においても洗浄手段を設けて付着し
た塗布液ミストを洗浄、除去するのが好ましい。

【００６８】次に、本発明の第４の実施形態について図
９を用いて説明する。

【００６９】この図は、第１の実施形態において、ミス
トトラップ３２を傾斜面２０ａに設ける代わりに洗浄液
貯溜部３４に設けたものである。すなわち、上記ノズル
３６の代わりにミストトラップ３２を洗浄液貯溜部３４
に設け、ミストトラップ３２の一部をここに貯溜される
洗浄液に浸漬した状態で設けたものである。

【００７０】このような構成によると、ミストトラップ
３２に付着した塗布液ミストに対して洗浄液が自然と含
浸し、これにより付着した塗布液ミストが溶けだして除
去されることとなる。そして、除去された塗布液ミスト
は、洗浄液貯溜部３４からオーバーフローする洗浄液と
共に傾斜面２０ａに沿って流下する。なお、この構成に
おいても洗浄液貯溜部３４は、貯まった洗浄液が傾斜面
２０ａの方へオーバーフローするように内外（同図では
左右）の側壁高さが設定されている。

【００７１】ところで、第１〜第４の実施形態に示した
スピンコータ１は、本発明に係る回転塗布装置の代表的
な構成例であって、その具体的な構成は、本発明の要旨
を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、以下
のような構成を採用することもできる。

【００７２】 ミストトラップとして多孔状の部材を
排気通路に介設する場合、ミストトラップ３２は、第１
の実施形態のような格子状のものに限らず、図８に示す
ように多数の円形開口を打ち抜いたパンチング板や、あ
るいはネット状のものであってもよい。

【００７３】 第１の実施形態では、洗浄手段である
ノズル３６を４つの単位ノズル３６ａ〜３６ｄから構成
し、洗浄液の供給系統として各単位ノズル３６ａ〜３６
ｄ毎に独立した供給系統を設けるようにしているが、勿
論、ノズル３６を単一のノズル構成とし一つの供給系統
で洗浄液を供給するようにしてもよい。但し、広域に亘
って設けたノズルに対して単一の供給系統で洗浄液を供
給しようとすると、要求される圧力や量を確保すること
が難しくなるため、洗浄エリアが広い場合には、第１の
実施形態のようにノズルを洗浄液の供給エリアに基づい
て複数のグループに区分し、各グループ毎に独立した供
給系統を設けるのが好ましい。

【００７４】 ミストトラップの洗浄は必ずしも未使
用の洗浄液を使用する必要はなく、使用済みの洗浄液を
用いるようにしてもよい。例えば、この種のスピンコー
タ１には、通常、その後工程として基板縁部に塗布され
た塗布液を洗浄除去する除去装置が設置されるため、こ
の除去装置で使用された洗浄液を再度ミストトラップの
洗浄液として使用するように構成してもよい。これによ
れば洗浄液を有効活用することが可能となる。なお、こ
の場合、未使用の洗浄液と使用済みの洗浄液を夫々貯溜
するタンクを設け、これらのタンクから選択的に洗浄液
を供給できるように洗浄液の供給系統を構成し、ミスト
トラップへの塗布液ミストの付着具合に応じて未使用の
洗浄液と使用済みの洗浄液とを使い分けるように構成し
てもよい。これによれば、洗浄液を有効活用しながら、
塗布液ミストの付着具合に応じた効果的な洗浄が可能に
なるというメリットがある。

【００７５】 上記スピンコータ１では吸引手段によ
り排気通路を通じてカップ４内を吸引するように構成
し、塗布処理中にのみカップ４内を吸引するようにして
いるが、係るカップ４内の吸引は、例えば常時行うよう
にしてもよい。但し、カップ４内を常時吸引すると、排
気通路内の気流によってミストトラップ３２に付着した
塗布液ミストの乾燥が促進され、パーティクルが発生し
易くなることが考えられる。そのため、カップ４内を常
時吸引する場合には、非処理時のカップ４内の吸引力を
塗布処理中の吸引力よりも低く設定して排気通路内での
気流の発生を抑え、これにより塗布液ミストの乾燥を抑
制するのが好ましい。なお、吸引手段としては、排気管
２６に吸引ポンプを設けてもよいし、クリーンルームに
設置されている排気手段に接続して吸引手段として利用
してもよい。吸引の断続制御は、吸引ポンプのオン・オ
フ、あるいは、排気管２６内にダンパーを設けてそれを
開閉すること等により実現することができる。

【００７６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、液飛散
防止用のカップ内で基板を回転させて塗布液を塗布しな
がら、カップに連通した排気通路を通じてカップ内の雰
囲気を外部排気するようにした回転塗布装置において、
排気通路の排気口近傍にミストトラップを設けて塗布液
ミストを捕捉するようにしたので、排気通路内への塗布
液ミストの付着を略全域に亘って防止することができ
る。従って、塗布液ミストの付着による排気機能の低下
等のトラブル発生を回避することができる。

【００７７】特に、ミストトラップに洗浄液を供給して
付着した塗布液ミストを洗浄する洗浄手段を設けるよう
にすれば、ミストトラップを交換することなく、ミスト
トラップに付着した塗布液ミストによって排気通路が塞
がれるのを防止することができ、また、ミストトラップ
によって捕捉した塗布液ミストが乾燥してパーティクル
が発生するのを有効に防止することができるようにな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る回転塗布装置（第１の実施の形
態）の一例を示す断面略図である。

【図２】排気通路の排気口近傍を示す回転塗布装置の要
部断面図である。

【図３】洗浄手段の具体的な構成を示すカップ内部の平
面図である。

【図４】単位ノズルの構成を示す平面略図である。

【図５】ミストトラップの具体的な形状を示す図１のＡ
―Ａ断面図である。

【図６】本発明に係る回転塗布装置（第２の実施の形
態）の一例を示す断面略図である。

【図７】本発明に係る回転塗布装置（第３の実施の形
態）の一例を示す断面略図である。

【図８】第１の実施の形態におけるミストトラップの変
形例を示す断面図である。

【図９】本発明に係る回転塗布装置（第４の実施の形
態）の一例を示す断面略図である。

【符号の説明】

１ スピンコータ ２ 基板保持部 ４ カップ ２０ 下部 ２０ａ 傾斜面 ２６ 排気管 ２８ 整流板 ２９ 中空部分 ３０ 開口（排気口） ３２ ミストトラップ Ｗ 基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H025 AA18 AB16 EA05 4F042 AA06 AA07 AB00 CC03 CC07 CC28 DF09 DF28 DF32 EB05 EB09 EB24 5F046 JA05 JA08

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を保持して回転させる基板保持部
   と、この基板保持部を包囲して塗布液の外部飛散を防止
   するカップと、前記カップに連通して該カップ内の雰囲
   気を外部排気する排気通路とを備えた回転塗布装置にお
   いて、 前記排気通路内であって、かつ排気口近傍に、前記雰囲
   気中に含まれる塗布液ミストを捕捉するためのミストト
   ラップが設けられていることを特徴とする回転塗布装
   置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の回転塗布装置において、 前記排気通路がカップ内部に延設されて前記ミストトラ
   ップがカップ内に設けられていることを特徴とする回転
   塗布装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２記載の回転塗布装置にお
   いて、 前記ミストトラップは、前記排気通路を塞ぐ多孔状の部
   材からなることを特徴とする回転塗布装置。
4. 【請求項４】 請求項１又は２記載の回転塗布装置にお
   いて、 前記ミストトラップは、前記排気通路に凹凸を設けて通
   路表面積を増大させることにより構成されていることを
   特徴とする回転塗布装置。
5. 【請求項５】 請求項１乃至４の何れかに記載の回転塗
   布装置において、 前記ミストトラップに洗浄液を供給することにより付着
   した塗布液ミストを洗浄、除去する洗浄手段を備えてい
   ることを特徴とする回転塗布装置。
6. 【請求項６】 請求項５記載の回転塗布装置において、 塗布処理に伴い飛散した塗布液を溜めながら排出する廃
   液貯溜部が前記カップ内に設けられるものであって、前
   記排気通路の排気口がこの廃液貯溜部に臨むように設け
   られ、前記洗浄手段は、排気通路におけるミストトラッ
   プよりも排気方向下流側から該ミストトラップに向って
   洗浄液を供給するように構成されていることを特徴とす
   る回転塗布装置。
7. 【請求項７】 請求項６記載の回転塗布装置において、 前記排気通路の排気口が水平又は下向きに設けられるも
   のであって、前記洗浄手段は、排気方向におけるミスト
   トラップよりも下流側に洗浄液貯溜部を有し、この洗浄
   液貯溜部に洗浄液を洗浄しながらオーバーフローさせる
   ように構成されていることを特徴とする回転塗布装置。
8. 【請求項８】 請求項７記載の回転塗布装置において、 前記洗浄液貯溜部における洗浄液のオーバーフロー部分
   に、洗浄液を通路幅方向に均等に案内する凹凸が形成さ
   れていることを特徴とする回転塗布装置。
9. 【請求項９】 請求項５乃至８の何れかに記載の回転塗
   布装置において、 前記洗浄手段は洗浄液を吐出する複数のノズルと各ノズ
   ルに対して洗浄液を供給する供給系統とを有するもので
   あって、前記ノズルが洗浄液の供給エリアに基づいて複
   数のグループに区分され、各グループ毎に独立した前記
   供給系統が設けられていることを特徴とする回転塗布装
   置。
10. 【請求項１０】 請求項５乃至９の何れかに記載の回転
    塗布装置において、 前記洗浄手段は、洗浄液の供給源として未使用の洗浄液
    と使用済みの洗浄液とを貯溜するタンクを夫々有し、こ
    れらのタンクから選択的に洗浄液を供給するように構成
    されていることを特徴とする回転塗布装置。
11. 【請求項１１】 請求項１乃至１０の何れかに記載の回
    転塗布装置において、 前記排気通路を通じて前記カップ内を強制的に吸引する
    吸引手段を有するものであって、この吸引手段は、塗布
    処理以外のときには、吸引を停止し、又は塗布処理中の
    吸引力よりも低い吸引力でカップ内を吸引するように構
    成されていることを特徴とする回転塗布装置。