JP2016184644A - 回転式塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 トラップ部材10は、その中央に開口部を有する薄板からなる円盤状(ドーナツ状)の形状を有する。このトラップ部材10には、その円周部に沿って、多数の矩形状の孔部11が、等間隔で穿設されている。トラップ部材10は、ネジ15により整流部材30の下面に固定されている。そして、トラップ部材10と整流部材30との間には、スペーサ16が配設されている。このスペーサ16の作用により、整流部材30の下端部とトラップ部材10の上面との間の距離を、スペーサ16の厚みに応じた一定の距離に維持することが可能となる。
【選択図】 図2
Description
11 孔部
15 ネジ
16 スペーサ
20 カップ
21 上部部材
22 ガイド部材
23 洗浄液貯留部
24 孔部
25 管路
26 導入管
28 凹部
29 排気部
30 整流部材
31 錐面
41 スピンチャック
42 回転軸
49 塗布液供給ノズル
100 基板
Claims (3)
- 基板を保持して回転するスピンチャックと、
前記スピンチャックに保持されて回転する基板の表面に塗布液を供給する塗布液供給ノズルと、
前記スピンチャックの外周部に配設されたカップと、
前記カップの下方から排気を行う排気部と、
前記カップ内の気体を整流して前記排気部に案内する整流部材と、
を備えた回転式塗布装置であって、
基板から飛散する塗布液を捕獲するための複数の孔部が形成されたトラップ部材を、前記整流部材に対して、前記整流部材の下方において前記整流部材から所定の距離だけ離隔した位置に配置される状態で固定したことを特徴とする回転式塗布装置。 - 請求項1に記載の回転式塗布装置において、
前記トラップ部材は、スペーサを介して前記整流部材の下方に固定される回転式基板処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載の回転式塗布装置において、
前記整流部材は、略円錐台状の外形を有するとともに、前記トラップ部材は円盤状の形状を有し、
前記整流部材と前記トラップ部材とは同心円状に配設され、かつ、前記トラップ部材の外径は前記整流部材の外径より大きく構成されるとともに、
前記略円錐台状の外形を有する整流部材の錐面に洗浄液を供給する洗浄液供給機構をさらに備える回転式塗布装置。
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