JP2019145561A - 液処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
レジスト塗布装置32は、図4、図5に示すように内部を密閉可能な処理容器120を有している。処理容器120の側面には、ウェハWの搬入出口(図示せず)が形成されている。
また、ウェハWの周縁部の洗浄時に、溶剤供給ノズル158からの溶剤を用いて、固化したレジスト液を溶解除去するようにしてもよい。
溶剤供給ノズル158からの溶剤をウェハWの上面から振り切る場合であっても、バックリンス液供給ノズル182からの溶剤をウェハWの下面から振り切る場合であっても、振り切られた溶剤をより確実に捕集部材181に衝突させ、捕集部材181上の所定の場所に滴下させることができる。
前述の例では、中継部180は1つであったが、図9に示すように2つであってもよい。なお、中継部180の数は3以上であってもよい。中継部180を複数とする場合、側面視において、一の中継部180の下端は、該一の中継部180より内側の他の中継部180の下端より下方に位置するように、各中継部180は設けられる。
前述の例では、中継部180はアウターカップ130と一体に形成されており捕集部材181とは別体であったが、図11に示すように捕集部材181に中継部180を一体に設けてもよい。これにより、既存のカップを用いることができる。なお、この場合、中継部180が一体に形成された捕集部材181は、例えば樹脂製である。また、この捕集部材181は、分割可能とすることにより当該捕集部材181のカップ125への取り付けが容易となる。
図4等の例では、中継部180はアウターカップ130と一体に形成されていた。しかし、中継部180は、図12に示すように、アウターカップ130とは別体の中継部材として形成されていてもよい。これにより、中継部180の上下方向の長さを容易に変えることができ、例えば、レジスト液の粘度に応じて中継部180の上下方向の長さを選択することができる。
32 レジスト塗布装置
120 処理容器
121 スピンチャック
125 カップ
130 アウターカップ
140 インナーカップ
154 レジスト液供給ノズル
158 溶剤供給ノズル
180 中継部
181 捕集部材
181a 開口部
182 バックリンス液供給ノズル
200 制御部
d 排気経路
R1 開口形成領域
W ウェハ
Claims (11)
- 基板上に塗布液を塗布する液処理装置であって、
前記基板を保持して回転させる基板保持部と、
該基板保持部に保持された前記基板に塗布液を塗布する塗布液供給部と、
前記基板保持部に保持される前記基板を囲み得るように、前記基板保持部の外側に配置されたカップ部と、
前記基板保持部と前記カップ部の内周面との間に設けられる排気経路と、
前記排気経路の上方に当該排気経路を覆うように設けられ、かつ、上下方向に連通する開口部を有する塗布液捕集部と、
前記塗布液捕集部に前記塗布液の溶剤を供給する溶剤供給部と、
前記塗布液捕集部の上方に位置し、前記カップ部の内周面から前記塗布液捕集部に向けて突出する中継部と、を備えることを特徴とする液処理装置。 - 前記基板保持部と前記溶剤供給部とを制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記基板保持部に保持された前記基板へ前記溶剤供給部から供給された前記溶剤が、回転する前記基板から振り切られて、前記中継部に衝突し、前記塗布液捕集部上に滴下されるように前記基板保持部と前記溶剤供給部とを制御することを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。 - 前記中継部の下端と前記塗布液捕集部との間の距離が、前記中継部の上下方向の長さより大きいことを特徴とする請求項1または2に記載の液処理装置。
- 前記塗布液捕集部は環状に形成され、
前記塗布液捕集部の径方向の幅は、14mm以上29mm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の液処理装置。 - 前記塗布液捕集部は環状に形成され、
前記中継部の下端が、前記塗布液捕集部の、径方向において開口部が形成された領域である開口形成領域の上方に位置することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の液処理装置。 - 前記中継部の下端が、前記基板保持部に保持された前記基板の下面よりも下方に位置することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記塗布液捕集部の開口率は40%以上70%以下であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記中継部は、前記塗布液捕集部と一体に形成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記中継部は、前記カップ部とは別体の部材として形成されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 基板上に塗布液を塗布する液処理装置の洗浄方法であって、
前記液処理装置が、
前記基板を保持して回転させる基板保持部と、
該基板保持部に保持された前記基板に塗布液を塗布する塗布液供給部と、
前記基板保持部に保持される前記基板を囲み得るように、前記基板保持部の外側に配置されたカップ部と、
前記基板保持部と前記カップ部の内周面との間に設けられる排気経路と、
前記排気経路の上方に当該排気経路を覆うように設けられ、かつ、上下方向に連通する開口部を有する塗布液捕集部と、
前記塗布液捕集部に前記塗布液の溶剤を供給する溶剤供給部と、
前記塗布液捕集部の上方に位置し、前記カップ部の内周面から前記塗布液捕集部に向けて突出する中継部と、を備え、
当該洗浄方法は、
前記基板保持部により回転される前記基板へ前記溶剤供給部から前記溶剤を供給し、回転する前記基板から前記溶剤を振り切って、前記中継部に衝突させ、前記塗布液捕集部上に滴下させ滴下工程を含むことを特徴とする液処理装置の洗浄方法。 - 前記溶剤は、前記基板のプリウェット処理及び/または前記基板の一部に対する洗浄処理に用いられるものであり、
前記滴下工程は、前記プリウェット処理時及び/または前記洗浄処理時に、回転する前記基板から前記溶剤を振り切って、前記中継部に衝突させ前記塗布液捕集部上に滴下させることを特徴とする請求項10に記載の液処理装置の洗浄方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018025955A JP7067950B2 (ja) | 2018-02-16 | 2018-02-16 | 液処理装置 |
US16/266,310 US11235350B2 (en) | 2018-02-16 | 2019-02-04 | Solution treatment apparatus and cleaning method for solution treatment apparatus |
KR1020190014729A KR102612328B1 (ko) | 2018-02-16 | 2019-02-08 | 액 처리 장치 |
CN201910110985.6A CN110164793B (zh) | 2018-02-16 | 2019-02-12 | 液体处理装置 |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018025955A JP7067950B2 (ja) | 2018-02-16 | 2018-02-16 | 液処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019145561A true JP2019145561A (ja) | 2019-08-29 |
JP7067950B2 JP7067950B2 (ja) | 2022-05-16 |
Family
ID=67616388
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018025955A Active JP7067950B2 (ja) | 2018-02-16 | 2018-02-16 | 液処理装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11235350B2 (ja) |
JP (1) | JP7067950B2 (ja) |
KR (1) | KR102612328B1 (ja) |
CN (1) | CN110164793B (ja) |
TW (1) | TWI803575B (ja) |
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KR102612183B1 (ko) | 2020-09-29 | 2023-12-13 | 세메스 주식회사 | 처리 용기 및 액처리 장치 |
KR20220072013A (ko) * | 2020-11-23 | 2022-06-02 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
KR102624576B1 (ko) | 2020-11-23 | 2024-01-16 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
KR20240005587A (ko) | 2022-07-05 | 2024-01-12 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 액 처리 장치 |
KR20240005588A (ko) | 2022-07-05 | 2024-01-12 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 액 처리 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI803575B (zh) | 2023-06-01 |
CN110164793A (zh) | 2019-08-23 |
TW201937548A (zh) | 2019-09-16 |
CN110164793B (zh) | 2024-04-30 |
US11235350B2 (en) | 2022-02-01 |
US20190255561A1 (en) | 2019-08-22 |
KR102612328B1 (ko) | 2023-12-12 |
JP7067950B2 (ja) | 2022-05-16 |
KR20190099124A (ko) | 2019-08-26 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A621 | Written request for application examination |
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