JP3518948B2 - 基板の回転処理装置 - Google Patents
基板の回転処理装置Info
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
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- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/02—Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface
- B05C11/08—Spreading liquid or other fluent material by manipulating the work, e.g. tilting
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板、液晶
表示器のガラス基板、フォトマスク用のガラス基板、光
ディスク用の基板等（以下、単に基板という）を、スピ
ンチャックなどの基板保持手段で保持して鉛直軸心周り
に高速回転させながら、基板の表面にフォトレジスト、
感光性ポリイミド、カラーフィルタ材等の感光性樹脂、
ガラス溶剤、ドーパント材等の処理液を均一に塗布処理
する装置に係り、特に前記基板保持手段の周囲に配備さ
れた飛散防止カップの内面を洗浄する技術に関する。
表示器のガラス基板、フォトマスク用のガラス基板、光
ディスク用の基板等（以下、単に基板という）を、スピ
ンチャックなどの基板保持手段で保持して鉛直軸心周り
に高速回転させながら、基板の表面にフォトレジスト、
感光性ポリイミド、カラーフィルタ材等の感光性樹脂、
ガラス溶剤、ドーパント材等の処理液を均一に塗布処理
する装置に係り、特に前記基板保持手段の周囲に配備さ
れた飛散防止カップの内面を洗浄する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の基板の回転処理装置に
は、スピンチャックなどの基板保持手段の周囲を取り囲
むように飛散防止カップが配備されており、基板への処
理液回転塗布の際に飛散した処理液を飛散防止カップで
受け止めて回収するようになっている。ところで、回転
塗布処理に伴って飛散した処理液が飛散防止カップの内
面に付着して、それが乾燥して固化すると、飛散防止カ
ップの内部形状が実質的に変化することとなり、塗布性
能に影響を与えたり、回転時の振動等によって処理液の
固化物が微粉末状の塵埃となって浮遊して、被処理基板
の表面に付着して基板を汚染することがある。このよう
な不都合を防止するために、飛散防止カップの内面に付
着した処理液を適時洗浄することが好ましい。このよう
な洗浄を行う手段として、次のようなものが提案実施さ
れている。
は、スピンチャックなどの基板保持手段の周囲を取り囲
むように飛散防止カップが配備されており、基板への処
理液回転塗布の際に飛散した処理液を飛散防止カップで
受け止めて回収するようになっている。ところで、回転
塗布処理に伴って飛散した処理液が飛散防止カップの内
面に付着して、それが乾燥して固化すると、飛散防止カ
ップの内部形状が実質的に変化することとなり、塗布性
能に影響を与えたり、回転時の振動等によって処理液の
固化物が微粉末状の塵埃となって浮遊して、被処理基板
の表面に付着して基板を汚染することがある。このよう
な不都合を防止するために、飛散防止カップの内面に付
着した処理液を適時洗浄することが好ましい。このよう
な洗浄を行う手段として、次のようなものが提案実施さ
れている。
【０００３】（１）実公平５−１３４３号公報に開示さ
れた装置では、飛散防止カップの周囲に洗浄液を流通さ
せる送液管を配備し、この送液管から分岐した複数個の
導管を飛散防止カップの内面に開口させ、これらの開口
から洗浄液を吐出して飛散防止カップの内面を流下させ
ることによって、飛散防止カップの内面を洗浄してい
る。
れた装置では、飛散防止カップの周囲に洗浄液を流通さ
せる送液管を配備し、この送液管から分岐した複数個の
導管を飛散防止カップの内面に開口させ、これらの開口
から洗浄液を吐出して飛散防止カップの内面を流下させ
ることによって、飛散防止カップの内面を洗浄してい
る。
【０００４】（２）特開平５−８２４３５号公報や特開
平７−６６１１６号公報で開示された装置では、通常の
回転塗布処理の際には取り外されている洗浄治具を飛散
防止カップ洗浄時にスピンチャック上に装着して洗浄を
行っている。具体的には、略円盤状を呈したこの洗浄治
具は、洗浄液が供給される内部空間あるいは下部空間を
備え、この内部空間あるいは下部空間が多数の吐出口を
介して洗浄治具の周部に開口している。この洗浄治具を
スピンチャックを介して回転させながら前記内部空間あ
るいは下部空間にノズルを介して洗浄液を供給し、この
洗浄液を前記洗浄治具の周部に形成した吐出口から遠心
力によって噴射させて飛散防止カップの内面を洗浄して
いる。
平７−６６１１６号公報で開示された装置では、通常の
回転塗布処理の際には取り外されている洗浄治具を飛散
防止カップ洗浄時にスピンチャック上に装着して洗浄を
行っている。具体的には、略円盤状を呈したこの洗浄治
具は、洗浄液が供給される内部空間あるいは下部空間を
備え、この内部空間あるいは下部空間が多数の吐出口を
介して洗浄治具の周部に開口している。この洗浄治具を
スピンチャックを介して回転させながら前記内部空間あ
るいは下部空間にノズルを介して洗浄液を供給し、この
洗浄液を前記洗浄治具の周部に形成した吐出口から遠心
力によって噴射させて飛散防止カップの内面を洗浄して
いる。
【０００５】（３）特開平５−１６００１７号公報で開
示された装置では、スピンチャック自体に洗浄液誘導部
を備えて、外部から供給される洗浄液を洗浄液誘導部を
介して周囲に遠心噴射させて飛散防止カップの内面を洗
浄している。
示された装置では、スピンチャック自体に洗浄液誘導部
を備えて、外部から供給される洗浄液を洗浄液誘導部を
介して周囲に遠心噴射させて飛散防止カップの内面を洗
浄している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記各
従来例には次のような問題点がある。すなわち、従来例
（１）によると、飛散防止カップ内面の開口から吐出さ
れた洗浄液をカップ内面を流下させることによって洗浄
している関係で、洗浄液を勢い良く噴射してカップ内面
を洗浄するというような機械的な洗浄力が発揮できな
い。そのため洗浄能力が比較的低く、充分な洗浄効果を
得るのに多量の洗浄液が必要になるという問題点があ
る。
従来例には次のような問題点がある。すなわち、従来例
（１）によると、飛散防止カップ内面の開口から吐出さ
れた洗浄液をカップ内面を流下させることによって洗浄
している関係で、洗浄液を勢い良く噴射してカップ内面
を洗浄するというような機械的な洗浄力が発揮できな
い。そのため洗浄能力が比較的低く、充分な洗浄効果を
得るのに多量の洗浄液が必要になるという問題点があ
る。
【０００７】従来例（２）によれば、洗浄液をカップ内
面に向けて遠心噴射させているので、洗浄液の溶解洗浄
能に機械的な洗浄力が付加される結果、洗浄能力は高め
られるが、洗浄処理の都度、洗浄治具をスピンチャック
に保持装着する必要があるとともに、洗浄処理後は洗浄
治具を取り外して保管しておく必要がある。そのため洗
浄処理のための段取りに時間がかかるとともに、洗浄治
具を保管する専用スペースを要するという難点がある。
また、洗浄治具の装着によってスピンチャック表面が汚
損されやすく、その結果、スピンチャックに載置された
基板の裏面を汚染するおそれもある。
面に向けて遠心噴射させているので、洗浄液の溶解洗浄
能に機械的な洗浄力が付加される結果、洗浄能力は高め
られるが、洗浄処理の都度、洗浄治具をスピンチャック
に保持装着する必要があるとともに、洗浄処理後は洗浄
治具を取り外して保管しておく必要がある。そのため洗
浄処理のための段取りに時間がかかるとともに、洗浄治
具を保管する専用スペースを要するという難点がある。
また、洗浄治具の装着によってスピンチャック表面が汚
損されやすく、その結果、スピンチャックに載置された
基板の裏面を汚染するおそれもある。
【０００８】従来例（３）によると、スピンチャック自
体に洗浄液誘導部を備えてあるので上記従来例（１）お
よび（２）に見られたような不都合はなく、高い洗浄能
力が得られるが、洗浄液誘導部を飛散防止カップ内面に
近づけるためにスピンチャック自体を大径にする必要が
ある。その結果、スピンチャックが大型になり、それだ
け大きな駆動トルクが必要になるので、スピンチャック
駆動機構を大出力にしなければならないという別異の問
題点がある。特に通常の回転処理時にはスピンチャック
は高速回転されるので、スピンチャックが大型化する
と、その回転数の制御が困難になる。
体に洗浄液誘導部を備えてあるので上記従来例（１）お
よび（２）に見られたような不都合はなく、高い洗浄能
力が得られるが、洗浄液誘導部を飛散防止カップ内面に
近づけるためにスピンチャック自体を大径にする必要が
ある。その結果、スピンチャックが大型になり、それだ
け大きな駆動トルクが必要になるので、スピンチャック
駆動機構を大出力にしなければならないという別異の問
題点がある。特に通常の回転処理時にはスピンチャック
は高速回転されるので、スピンチャックが大型化する
と、その回転数の制御が困難になる。
【０００９】本発明は、このような事情に着目してなさ
れたものであって、飛散防止カップの洗浄能力が高く、
またカップ洗浄用治具などの着脱操作やその保管の専用
スペースが不要になり、しかも、通常の基板の回転処理
時には基板保持手段のみを低トルクで好適に回転駆動す
ることができる基板の回転処理装置を提供することを目
的とする。
れたものであって、飛散防止カップの洗浄能力が高く、
またカップ洗浄用治具などの着脱操作やその保管の専用
スペースが不要になり、しかも、通常の基板の回転処理
時には基板保持手段のみを低トルクで好適に回転駆動す
ることができる基板の回転処理装置を提供することを目
的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために次のような構成をとる。すなわち、請求項
１に記載の発明は、基板を保持する基板保持手段と、前
記基板保持手段を回転軸を介して鉛直軸心周りに回転駆
動する回転駆動手段と、前記基板上に処理液を供給する
処理液供給手段と、前記基板保持手段の周囲を囲むよう
に配置され、基板に供給された処理液が基板の回転に伴
って飛散するのを防止する飛散防止カップとを備えた基
板の回転処理装置において、洗浄液を供給する洗浄液供
給手段と、前記基板保持手段の回転軸に挿通配備され、
前記洗浄液供給手段から供給された洗浄液を外周部へ導
く洗浄液案内部が形成されたカップ洗浄部材と、基板の
回転処理時には前記基板保持手段と前記カップ洗浄部材
とが接近するとともに、前記基板保持手段の周囲を飛散
防止カップが取り囲み、カップ洗浄時には前記基板保持
手段とカップ洗浄部材とが離間するとともに、前記カッ
プ洗浄部材の外周部に飛散防止カップの内面が対向する
ように、前記基板保持手段に対してカップ洗浄部材およ
び飛散防止カップを相対昇降させる昇降手段と、前記基
板保持手段とカップ洗浄部材とが接近したときはカップ
洗浄部材と前記回転軸との係合を解除し、前記基板保持
手段とカップ洗浄部材とが離間したときはカップ洗浄部
材と前記回転軸とを係合連結させる係合手段と、を備え
たものである。
成するために次のような構成をとる。すなわち、請求項
１に記載の発明は、基板を保持する基板保持手段と、前
記基板保持手段を回転軸を介して鉛直軸心周りに回転駆
動する回転駆動手段と、前記基板上に処理液を供給する
処理液供給手段と、前記基板保持手段の周囲を囲むよう
に配置され、基板に供給された処理液が基板の回転に伴
って飛散するのを防止する飛散防止カップとを備えた基
板の回転処理装置において、洗浄液を供給する洗浄液供
給手段と、前記基板保持手段の回転軸に挿通配備され、
前記洗浄液供給手段から供給された洗浄液を外周部へ導
く洗浄液案内部が形成されたカップ洗浄部材と、基板の
回転処理時には前記基板保持手段と前記カップ洗浄部材
とが接近するとともに、前記基板保持手段の周囲を飛散
防止カップが取り囲み、カップ洗浄時には前記基板保持
手段とカップ洗浄部材とが離間するとともに、前記カッ
プ洗浄部材の外周部に飛散防止カップの内面が対向する
ように、前記基板保持手段に対してカップ洗浄部材およ
び飛散防止カップを相対昇降させる昇降手段と、前記基
板保持手段とカップ洗浄部材とが接近したときはカップ
洗浄部材と前記回転軸との係合を解除し、前記基板保持
手段とカップ洗浄部材とが離間したときはカップ洗浄部
材と前記回転軸とを係合連結させる係合手段と、を備え
たものである。
【００１１】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
記載の装置において、基板裏面に向けて洗浄液を供給す
る裏面洗浄液供給手段をさらに設け、前記カップ洗浄部
材が合成樹脂で形成されたものである。
記載の装置において、基板裏面に向けて洗浄液を供給す
る裏面洗浄液供給手段をさらに設け、前記カップ洗浄部
材が合成樹脂で形成されたものである。
【００１２】また、請求項３に記載の発明は、請求項１
または請求項２に記載の装置において、前記洗浄液案内
部より上方の位置で前記飛散防止カップ側に張り出した
鍔部を前記カップ洗浄部材に形成したことを特徴とする
ものである。
または請求項２に記載の装置において、前記洗浄液案内
部より上方の位置で前記飛散防止カップ側に張り出した
鍔部を前記カップ洗浄部材に形成したことを特徴とする
ものである。
【００１３】また、請求項４に記載の発明は、請求項３
に記載の装置において、前記基板保持手段に保持された
基板の裏面に臨むように前記飛散防止カップの底部に配
設され、基板の回転処理時に基板裏面の気流を整流する
整流部材を備えるとともに、前記カップ洗浄部材の鍔部
が前記整流部材の上部を構成していることを特徴とする
ものである。
に記載の装置において、前記基板保持手段に保持された
基板の裏面に臨むように前記飛散防止カップの底部に配
設され、基板の回転処理時に基板裏面の気流を整流する
整流部材を備えるとともに、前記カップ洗浄部材の鍔部
が前記整流部材の上部を構成していることを特徴とする
ものである。
【００１４】
【作用】請求項１に記載の発明によると、通常の基板の
回転処理時には、昇降手段により基板保持手段とカップ
洗浄部材とが接近されることにより、カップ洗浄部材と
基板保持手段の回転軸との係合が解かれる。その結果、
基板保持手段のみが回転駆動手段によって回転駆動され
ることにより、基板上に処理液が回転塗布処理される。
回転塗布処理時に飛散した処理液は、昇降手段によって
基板保持手段を取り囲む位置に移動されている飛散防止
カップによって受け止め回収される。一方、飛散防止カ
ップの洗浄時には、昇降手段により基板保持手段とカッ
プ洗浄部材とが離間されることにより、カップ洗浄部材
と基板保持手段の回転軸とが係合手段を介して係合連結
されるとともに、カップ洗浄部材の外周部が飛散防止カ
ップの内面と対向する。その結果、回転駆動手段の回転
力が回転軸を介してカップ洗浄部材に伝達され、カップ
洗浄部材が回転駆動される。この状態で洗浄液供給手段
からカップ洗浄部材へ洗浄液が供給されると、洗浄液に
カップ洗浄部材の遠心力が加わる。そして、この洗浄液
が洗浄液案内部に案内されてカップ洗浄部材の外周部か
ら噴出される結果、飛散防止カップの内面が効果的に洗
浄される。
回転処理時には、昇降手段により基板保持手段とカップ
洗浄部材とが接近されることにより、カップ洗浄部材と
基板保持手段の回転軸との係合が解かれる。その結果、
基板保持手段のみが回転駆動手段によって回転駆動され
ることにより、基板上に処理液が回転塗布処理される。
回転塗布処理時に飛散した処理液は、昇降手段によって
基板保持手段を取り囲む位置に移動されている飛散防止
カップによって受け止め回収される。一方、飛散防止カ
ップの洗浄時には、昇降手段により基板保持手段とカッ
プ洗浄部材とが離間されることにより、カップ洗浄部材
と基板保持手段の回転軸とが係合手段を介して係合連結
されるとともに、カップ洗浄部材の外周部が飛散防止カ
ップの内面と対向する。その結果、回転駆動手段の回転
力が回転軸を介してカップ洗浄部材に伝達され、カップ
洗浄部材が回転駆動される。この状態で洗浄液供給手段
からカップ洗浄部材へ洗浄液が供給されると、洗浄液に
カップ洗浄部材の遠心力が加わる。そして、この洗浄液
が洗浄液案内部に案内されてカップ洗浄部材の外周部か
ら噴出される結果、飛散防止カップの内面が効果的に洗
浄される。
【００１５】請求項２に記載の発明は次のとおりであ
る。基板の裏面洗浄時に、洗浄液の一部がカップ洗浄部
材上に落下して気化する。このときカップ洗浄部材が比
熱の小さな金属材料で形成されていると、カップ洗浄部
材の温度低下が著しくなる。その結果、カップ洗浄部材
と近接している基板の温度低下を招き、処理液の塗布厚
さにムラが発生するおそれがある。しかし、請求項２に
記載の発明によれば、カップ洗浄部材が比熱の大きい合
成樹脂で形成されているので、カップ洗浄部材の温度低
下が極力抑えられる。その結果、カップ洗浄部材に近接
する基板の温度低下を引き起こすことが少なく、処理液
が基板上に均一に塗布される。
る。基板の裏面洗浄時に、洗浄液の一部がカップ洗浄部
材上に落下して気化する。このときカップ洗浄部材が比
熱の小さな金属材料で形成されていると、カップ洗浄部
材の温度低下が著しくなる。その結果、カップ洗浄部材
と近接している基板の温度低下を招き、処理液の塗布厚
さにムラが発生するおそれがある。しかし、請求項２に
記載の発明によれば、カップ洗浄部材が比熱の大きい合
成樹脂で形成されているので、カップ洗浄部材の温度低
下が極力抑えられる。その結果、カップ洗浄部材に近接
する基板の温度低下を引き起こすことが少なく、処理液
が基板上に均一に塗布される。
【００１６】また、請求項３に記載の発明によると、洗
浄液案内部より上方で飛散防止カップ側に張り出した鍔
部がカップ洗浄部材に形成されているので、カップ洗浄
時における飛散防止カップとカップ洗浄部材との隙間を
小さくすることができる。したがって、カップ洗浄時に
洗浄液が隙間を通って漏れ出ることを抑制することがで
き、洗浄液案内部から飛散防止カップ側に噴出する洗浄
液が鍔部より上方へ噴出することを防止できる。よっ
て、洗浄液の噴出する際の方向性を高めることができ、
飛散防止カップ外に洗浄液が漏れて飛散することを防止
することができる。
浄液案内部より上方で飛散防止カップ側に張り出した鍔
部がカップ洗浄部材に形成されているので、カップ洗浄
時における飛散防止カップとカップ洗浄部材との隙間を
小さくすることができる。したがって、カップ洗浄時に
洗浄液が隙間を通って漏れ出ることを抑制することがで
き、洗浄液案内部から飛散防止カップ側に噴出する洗浄
液が鍔部より上方へ噴出することを防止できる。よっ
て、洗浄液の噴出する際の方向性を高めることができ、
飛散防止カップ外に洗浄液が漏れて飛散することを防止
することができる。
【００１７】また、請求項４に記載の発明の作用は次の
とおりである。基板の回転処理時には、その裏面に臨む
ように配設された整流部材によって基板裏面の気流が整
流されるが、飛散防止カップとカップ洗浄部材との隙間
を小さくするためにカップ洗浄部材の鍔部を大きくする
と整流作用を妨げる恐れがある。そこで、カップ洗浄部
材の鍔部が整流部材の上部を兼用することにより、回転
処理時の整流作用を低下させることなく、カップ洗浄時
に洗浄液が飛散防止カップ外に漏れて飛散することを防
止することができる。
とおりである。基板の回転処理時には、その裏面に臨む
ように配設された整流部材によって基板裏面の気流が整
流されるが、飛散防止カップとカップ洗浄部材との隙間
を小さくするためにカップ洗浄部材の鍔部を大きくする
と整流作用を妨げる恐れがある。そこで、カップ洗浄部
材の鍔部が整流部材の上部を兼用することにより、回転
処理時の整流作用を低下させることなく、カップ洗浄時
に洗浄液が飛散防止カップ外に漏れて飛散することを防
止することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。図１ないし図３は、実施例に係る基板
の回転処理装置の概略構成を示す縦断面図であり、特
に、図１は基板の回転処理工程を示す縦断面図、図２は
基板取り替え工程を示す縦断面図、図３はカップ洗浄工
程を示す縦断面図である。図４はカップ洗浄工程におけ
る要部を拡大した縦断面図、図５はカップ洗浄部材を示
す一部切り欠き斜視図、図６はカップ洗浄部材の要部を
拡大した縦断面図である。
づいて説明する。図１ないし図３は、実施例に係る基板
の回転処理装置の概略構成を示す縦断面図であり、特
に、図１は基板の回転処理工程を示す縦断面図、図２は
基板取り替え工程を示す縦断面図、図３はカップ洗浄工
程を示す縦断面図である。図４はカップ洗浄工程におけ
る要部を拡大した縦断面図、図５はカップ洗浄部材を示
す一部切り欠き斜視図、図６はカップ洗浄部材の要部を
拡大した縦断面図である。
【００１９】図１ないし図３に示すように、この回転処
理装置は、基板Ｗを吸着保持して鉛直軸心周りに水平回
転する基板保持手段としてのスピンチャック１を備え、
その中心上方にフォトレジスト等の処理液を基板Ｗの表
面に供給する処理液供給手段としての処理液供給ノズル
２が配備されている。スピンチャック１および基板Ｗを
外囲するように飛散防止カップ３が配備されている。こ
の飛散防止カップ３の下部には回収した余剰の処理液を
排出する排液回収ドレイン４ａや、カップ内を排気する
排気口４ｂが設けられている。なお、ここでは排液回収
ドレイン４ａに接続される廃液配管や、排気口４ｂに接
続される排気ダクトを図示省略してある。
理装置は、基板Ｗを吸着保持して鉛直軸心周りに水平回
転する基板保持手段としてのスピンチャック１を備え、
その中心上方にフォトレジスト等の処理液を基板Ｗの表
面に供給する処理液供給手段としての処理液供給ノズル
２が配備されている。スピンチャック１および基板Ｗを
外囲するように飛散防止カップ３が配備されている。こ
の飛散防止カップ３の下部には回収した余剰の処理液を
排出する排液回収ドレイン４ａや、カップ内を排気する
排気口４ｂが設けられている。なお、ここでは排液回収
ドレイン４ａに接続される廃液配管や、排気口４ｂに接
続される排気ダクトを図示省略してある。
【００２０】スピンチャック１は基板Ｗの径よりも小さ
い径のディスク状に構成され、鉛直に設置されたモータ
５の回転軸６の上端に固着されている。このモータ５は
本発明における回転駆動手段に相当する。
い径のディスク状に構成され、鉛直に設置されたモータ
５の回転軸６の上端に固着されている。このモータ５は
本発明における回転駆動手段に相当する。
【００２１】飛散防止カップ３は、外カップ３ａと、基
板Ｗの裏面に臨むように外カップ３ａの底部に配設され
た整流部材３ｂとから２重筒状に構成されてベース板７
に保持されている。整流部材３ｂは、平面視ほぼ円形状
であって下向きの傾斜面を備え、飛散防止カップ３内に
流入したダウンフローの気流を、基板Ｗの全周にわたっ
て均一な流れとして排気口４ｂに流下させる作用を有す
るものである。ベース板７には洗浄液を基板Ｗの裏面に
向けて吹き付け供給する裏面洗浄液供給手段としての裏
面洗浄ノズル３１が配備されている。ベース板７自体は
上下一対のシリンダ８，９に支持された昇降板１０に取
り付けられている。このシリンダ８，９の伸縮組み合わ
せによって飛散防止カップ３を３段に昇降できるよう構
成されている。このシリンダ８，９は、本発明における
昇降手段に相当する。
板Ｗの裏面に臨むように外カップ３ａの底部に配設され
た整流部材３ｂとから２重筒状に構成されてベース板７
に保持されている。整流部材３ｂは、平面視ほぼ円形状
であって下向きの傾斜面を備え、飛散防止カップ３内に
流入したダウンフローの気流を、基板Ｗの全周にわたっ
て均一な流れとして排気口４ｂに流下させる作用を有す
るものである。ベース板７には洗浄液を基板Ｗの裏面に
向けて吹き付け供給する裏面洗浄液供給手段としての裏
面洗浄ノズル３１が配備されている。ベース板７自体は
上下一対のシリンダ８，９に支持された昇降板１０に取
り付けられている。このシリンダ８，９の伸縮組み合わ
せによって飛散防止カップ３を３段に昇降できるよう構
成されている。このシリンダ８，９は、本発明における
昇降手段に相当する。
【００２２】図４ないし図６に示すように、スピンチャ
ック１に連結された回転軸６にスピンチャック１よりも
大径のカップ洗浄部材１１が緩く挿通配備されている。
このカップ洗浄部材１１は略円盤状を呈し、好ましくは
ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）、ＰＰ（ポリ
プロピレン）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＶＤＦ（２フ
ッ化テフロン）などの合成樹脂で形成される。カップ洗
浄部材１１には、後述する飛散防止カップ３のベース板
７が比較的上昇位置にあるときに、裏面洗浄ノズル３１
が挿通されるための貫通孔３０が形成されている。カッ
プ洗浄部材１１の下面外周部に、外側に向かって上がり
傾斜の環状傾斜面１２ａをもった洗浄液案内部１２が形
成されている。この洗浄液案内部１２には回転中心側に
向けて開放された環状の凹部１３が設けられるととも
に、この凹部１３に連通して多数の洗浄液吐出口１４が
設けられている。これらの洗浄液吐出口１４として、図
５，図６に示すように、やや上向き、水平方向、やや下
向きというように、洗浄液が効率良く広い範囲に供給で
きるように向きが異なるものが周方向に分散して配置さ
れている。
ック１に連結された回転軸６にスピンチャック１よりも
大径のカップ洗浄部材１１が緩く挿通配備されている。
このカップ洗浄部材１１は略円盤状を呈し、好ましくは
ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）、ＰＰ（ポリ
プロピレン）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＶＤＦ（２フ
ッ化テフロン）などの合成樹脂で形成される。カップ洗
浄部材１１には、後述する飛散防止カップ３のベース板
７が比較的上昇位置にあるときに、裏面洗浄ノズル３１
が挿通されるための貫通孔３０が形成されている。カッ
プ洗浄部材１１の下面外周部に、外側に向かって上がり
傾斜の環状傾斜面１２ａをもった洗浄液案内部１２が形
成されている。この洗浄液案内部１２には回転中心側に
向けて開放された環状の凹部１３が設けられるととも
に、この凹部１３に連通して多数の洗浄液吐出口１４が
設けられている。これらの洗浄液吐出口１４として、図
５，図６に示すように、やや上向き、水平方向、やや下
向きというように、洗浄液が効率良く広い範囲に供給で
きるように向きが異なるものが周方向に分散して配置さ
れている。
【００２３】カップ洗浄部材１１は、図１および図２に
示したように、飛散防止カップ３のベース板７が比較的
上昇位置にあるときには、ベース板７に受け持ち支持さ
れることにより、飛散防止カップ３と一体となって昇降
するように構成されている。また、図３に示したよう
に、飛散防止カップ３が下方位置にあるときには、回転
軸６の中間部位に形成された小径円板状の回転伝達部１
６に受け持ち支持されるとともに、カップ洗浄部材１１
の下面中心側に形成されたピン１７が、回転伝達部１６
の係合孔１８に係合して、カップ洗浄部材１１が回転軸
６と一体回転するようになっている。上記の回転伝達部
１６、ピン１７、係合孔１８は、本発明における係合手
段に相当する。
示したように、飛散防止カップ３のベース板７が比較的
上昇位置にあるときには、ベース板７に受け持ち支持さ
れることにより、飛散防止カップ３と一体となって昇降
するように構成されている。また、図３に示したよう
に、飛散防止カップ３が下方位置にあるときには、回転
軸６の中間部位に形成された小径円板状の回転伝達部１
６に受け持ち支持されるとともに、カップ洗浄部材１１
の下面中心側に形成されたピン１７が、回転伝達部１６
の係合孔１８に係合して、カップ洗浄部材１１が回転軸
６と一体回転するようになっている。上記の回転伝達部
１６、ピン１７、係合孔１８は、本発明における係合手
段に相当する。
【００２４】また、ベース板７には洗浄液をカップ洗浄
部材１１の凹部１３に向けて吹き付け供給する洗浄液供
給手段としての洗浄液供給ノズル１５が配備されてい
る。
部材１１の凹部１３に向けて吹き付け供給する洗浄液供
給手段としての洗浄液供給ノズル１５が配備されてい
る。
【００２５】以上のように構成された回転処理装置の動
作を以下に説明する。通常の基板回転処理工程では、図
１に示すように、両シリンダ８，９を共に伸長させて飛
散防止カップ３をスピンチャック１のレベルにまで上昇
させる。そして、処理液供給ノズル２からフォトレジス
トなどの処理液を基板Ｗ上に吐出し、基板Ｗを高速で回
転駆動させることにより処理液を回転塗布する。飛散し
た処理液は飛散防止カップ３で受け止められて回収され
る。基板Ｗ上への処理液塗布が完了すると、裏面洗浄ノ
ズル３１から回転状態の基板裏面へ向けて処理液の溶剤
となる洗浄液を吹き付け供給する。
作を以下に説明する。通常の基板回転処理工程では、図
１に示すように、両シリンダ８，９を共に伸長させて飛
散防止カップ３をスピンチャック１のレベルにまで上昇
させる。そして、処理液供給ノズル２からフォトレジス
トなどの処理液を基板Ｗ上に吐出し、基板Ｗを高速で回
転駆動させることにより処理液を回転塗布する。飛散し
た処理液は飛散防止カップ３で受け止められて回収され
る。基板Ｗ上への処理液塗布が完了すると、裏面洗浄ノ
ズル３１から回転状態の基板裏面へ向けて処理液の溶剤
となる洗浄液を吹き付け供給する。
【００２６】この基板回転処理工程では、カップ洗浄部
材１１はベース板７に受け止め支持されて飛散防止カッ
プ３と一体に上昇しており、スピンチャック１に接近し
た位置にある。このとき、カップ洗浄部材１１と回転伝
達部１６との係合が解かれているので、スピンチャック
１が回転駆動されても、カップ洗浄部材１１は停止した
ままである。なお、基板の裏面洗浄時に、洗浄液は、そ
の一部がカップ洗浄部材１１上に落下して気化するが、
カップ洗浄部材１１は熱伝導率の小さく比熱の大きな合
成樹脂で形成されているので、カップ洗浄部材１１はそ
れほど温度低下することはない。したがって、カップ洗
浄部材１１に近接している基板Ｗの温度低下も回避され
るので、基板Ｗに処理液が均一に塗布される。
材１１はベース板７に受け止め支持されて飛散防止カッ
プ３と一体に上昇しており、スピンチャック１に接近し
た位置にある。このとき、カップ洗浄部材１１と回転伝
達部１６との係合が解かれているので、スピンチャック
１が回転駆動されても、カップ洗浄部材１１は停止した
ままである。なお、基板の裏面洗浄時に、洗浄液は、そ
の一部がカップ洗浄部材１１上に落下して気化するが、
カップ洗浄部材１１は熱伝導率の小さく比熱の大きな合
成樹脂で形成されているので、カップ洗浄部材１１はそ
れほど温度低下することはない。したがって、カップ洗
浄部材１１に近接している基板Ｗの温度低下も回避され
るので、基板Ｗに処理液が均一に塗布される。
【００２７】処理済み基板Ｗの搬出、あるいは未処理基
板Ｗの搬入の工程では、図２に示すように、上方のシリ
ンダ８のみを収縮させて飛散防止カップ３を１段だけ下
降させる。そして、スピンチャック１のみをカップ上方
に露出させた状態で、図示しない搬送ロボットなどによ
って基板の搬出／搬入が行われる。このときカップ洗浄
部材１１はベース板７に受け持たれて、中段にまで下降
している。
板Ｗの搬入の工程では、図２に示すように、上方のシリ
ンダ８のみを収縮させて飛散防止カップ３を１段だけ下
降させる。そして、スピンチャック１のみをカップ上方
に露出させた状態で、図示しない搬送ロボットなどによ
って基板の搬出／搬入が行われる。このときカップ洗浄
部材１１はベース板７に受け持たれて、中段にまで下降
している。
【００２８】飛散防止カップ３の洗浄工程では、図３に
示すように、両シリンダ８，９を共に収縮させて飛散防
止カップ３を大きく下降させる。このとき飛散防止カッ
プ３とともに下降したカップ洗浄部材１１は、その下降
途中で図４および図５に示すように、回転軸６に設けら
れた回転伝達部１６に受け止められ停止し、それ以降は
飛散防止カップ３だけが下降する。その結果、カップ洗
浄部材１１の外周部の洗浄液案内部１２が飛散防止カッ
プ３における外カップ３ａと整流部材３ｂとの間に臨む
高さ位置に保持される。また、カップ洗浄部材１１のピ
ン１７が回転伝達部１６の係合穴１８に係合して、カッ
プ洗浄部材１１が回転軸６と一体回転可能となる。
示すように、両シリンダ８，９を共に収縮させて飛散防
止カップ３を大きく下降させる。このとき飛散防止カッ
プ３とともに下降したカップ洗浄部材１１は、その下降
途中で図４および図５に示すように、回転軸６に設けら
れた回転伝達部１６に受け止められ停止し、それ以降は
飛散防止カップ３だけが下降する。その結果、カップ洗
浄部材１１の外周部の洗浄液案内部１２が飛散防止カッ
プ３における外カップ３ａと整流部材３ｂとの間に臨む
高さ位置に保持される。また、カップ洗浄部材１１のピ
ン１７が回転伝達部１６の係合穴１８に係合して、カッ
プ洗浄部材１１が回転軸６と一体回転可能となる。
【００２９】この状態でカップ洗浄部材１１をスピンチ
ャック１と共に回転軸６を介して駆動回転しながら、洗
浄液供給ノズル１５から吹き出した洗浄液を洗浄液案内
部１２の凹部１３に供給する。凹部１３に供給された洗
浄液はカップ洗浄部材１１の遠心力によって、環状傾斜
面１２ａをせり上がって洗浄液吐出口１４から噴出し、
外カップ３ａと整流部材３ｂの内面を洗浄する。このと
き、図５および図６に示すように、上向き、水平方向、
下向きの各洗浄液吐出口１４から洗浄液が噴出されるの
で、飛散防止カップ３の外カップ３ａおよび整流部材３
ｂの全体が均等に洗浄される。なお、カップ洗浄部材１
１を高速で回転することで、洗浄液案内部１２と略対向
している外カップ３ａの洗浄効果を一層高め、続いてカ
ップ洗浄部材１１の回転速度を落とすことで、洗浄液案
内部１２の下方に位置する整流部材３ｂの洗浄効果を一
層高めるようにしてもよい。
ャック１と共に回転軸６を介して駆動回転しながら、洗
浄液供給ノズル１５から吹き出した洗浄液を洗浄液案内
部１２の凹部１３に供給する。凹部１３に供給された洗
浄液はカップ洗浄部材１１の遠心力によって、環状傾斜
面１２ａをせり上がって洗浄液吐出口１４から噴出し、
外カップ３ａと整流部材３ｂの内面を洗浄する。このと
き、図５および図６に示すように、上向き、水平方向、
下向きの各洗浄液吐出口１４から洗浄液が噴出されるの
で、飛散防止カップ３の外カップ３ａおよび整流部材３
ｂの全体が均等に洗浄される。なお、カップ洗浄部材１
１を高速で回転することで、洗浄液案内部１２と略対向
している外カップ３ａの洗浄効果を一層高め、続いてカ
ップ洗浄部材１１の回転速度を落とすことで、洗浄液案
内部１２の下方に位置する整流部材３ｂの洗浄効果を一
層高めるようにしてもよい。
【００３０】カップ洗浄部材１１の洗浄液案内部１２は
上記構造に限るものではなく、以下のような構造で実施
することも可能である。 （１）図７（ａ）に示すように、カップ洗浄部材１１の
周部下部の偏平面自体を洗浄液案内部１２にして、洗浄
液供給ノズル１５から吹き出した洗浄液をカップ内面に
向けて案内供給する構造とする。
上記構造に限るものではなく、以下のような構造で実施
することも可能である。 （１）図７（ａ）に示すように、カップ洗浄部材１１の
周部下部の偏平面自体を洗浄液案内部１２にして、洗浄
液供給ノズル１５から吹き出した洗浄液をカップ内面に
向けて案内供給する構造とする。
【００３１】（２）図７（ｂ）に示すように、洗浄液案
内部１２の凹部１３を液溜まりのない偏平な形状にす
る。
内部１２の凹部１３を液溜まりのない偏平な形状にす
る。
【００３２】（３）図７（ｃ）に示すように、洗浄液吐
出口１４を周溝１９の内奥に形成して、吐出洗浄液に方
向性を与えるようにする。
出口１４を周溝１９の内奥に形成して、吐出洗浄液に方
向性を与えるようにする。
【００３３】（４）図８（ａ）および（ｂ）に示すよう
に、洗浄液吐出口１４を縦向きのスリット状にして上下
の広い範囲に洗浄液を噴出させるようにする。
に、洗浄液吐出口１４を縦向きのスリット状にして上下
の広い範囲に洗浄液を噴出させるようにする。
【００３４】また、カップ洗浄部材１１は必ずしも上述
の実施例で説明したような円盤状である必要はなく、例
えば図９（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、アーム
状あるいは角盤状のものでもよい。
の実施例で説明したような円盤状である必要はなく、例
えば図９（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、アーム
状あるいは角盤状のものでもよい。
【００３５】なお、さらに別の変形例としてカップ洗浄
部材１１を図１０に示すように構成してもよい。すなわ
ち、洗浄液案内部１２よりも上方の位置であって、か
つ、洗浄液吐出口１４よりも上方の位置から飛散防止カ
ップ３側に向かって張り出した鍔部１１ａをカップ洗浄
部材１１に形成する。さらに、その鍔部１１ａが整流部
材３ｂの上部の一部位を兼用するように構成する。係る
構成によると、図１０に示す基板Ｗの回転処理時には、
カップ洗浄部材１１が整流部材３ｂ内に完全に収納され
るとともに、鍔部１１ａが整流部材３ｂと一体化するの
で、飛散防止カップ３に流入したダウンフローの気流の
整流作用を妨げることがなく基板Ｗの回転処理を好適に
行うことができる。
部材１１を図１０に示すように構成してもよい。すなわ
ち、洗浄液案内部１２よりも上方の位置であって、か
つ、洗浄液吐出口１４よりも上方の位置から飛散防止カ
ップ３側に向かって張り出した鍔部１１ａをカップ洗浄
部材１１に形成する。さらに、その鍔部１１ａが整流部
材３ｂの上部の一部位を兼用するように構成する。係る
構成によると、図１０に示す基板Ｗの回転処理時には、
カップ洗浄部材１１が整流部材３ｂ内に完全に収納され
るとともに、鍔部１１ａが整流部材３ｂと一体化するの
で、飛散防止カップ３に流入したダウンフローの気流の
整流作用を妨げることがなく基板Ｗの回転処理を好適に
行うことができる。
【００３６】ところで、上述した図４に示すような構成
では、カップ洗浄時に洗浄液吐出口１４からやや上向き
に噴出する洗浄液が、図１２中に点線矢印で示すように
飛散防止カップ３外に漏れて飛散する恐れがある。この
ように飛散防止カップ３外に洗浄液が飛散すると、この
とき上方に位置するスピンチャック１が汚染されて基板
Ｗを吸着保持した際にそれを汚染したり、飛散防止カッ
プ３外部や装置を汚染するといった不都合を生じる恐れ
がある。しかしながら、カップ洗浄部材１１に鍔部１１
ａを形成しているので、図１１に示すようにカップ洗浄
時には、飛散防止カップ３との隙間を、鍔部１１ａがな
い場合の間隔Ｌ１よりも狭い間隔Ｌ２にすることができ
る。このように鍔部１１ａを形成しておくことにより、
飛散防止カップ３との隙間を狭めることができるので、
洗浄液が隙間を通って漏れ出ることを抑制することがで
き、洗浄液吐出口１４から上方に噴出した洗浄液を下方
に案内することができる。その結果、噴出する洗浄液の
方向性を良くすることができるので、飛散防止カップ３
の洗浄したい部分に集中して洗浄液を噴出させることが
できて洗浄効率を高めることができる。なお、カップ洗
浄部材１１の鍔部１１ａは基板Ｗの端縁部よりも内側に
ある必要はなく、基板Ｗの端縁部よりも外側に延出形成
した形状としてもよい。つまり、カップ洗浄部材１１の
鍔部１１ａを含めた外径は、基板Ｗの直径より小さくて
も大きくても同様の効果を得ることができる。
では、カップ洗浄時に洗浄液吐出口１４からやや上向き
に噴出する洗浄液が、図１２中に点線矢印で示すように
飛散防止カップ３外に漏れて飛散する恐れがある。この
ように飛散防止カップ３外に洗浄液が飛散すると、この
とき上方に位置するスピンチャック１が汚染されて基板
Ｗを吸着保持した際にそれを汚染したり、飛散防止カッ
プ３外部や装置を汚染するといった不都合を生じる恐れ
がある。しかしながら、カップ洗浄部材１１に鍔部１１
ａを形成しているので、図１１に示すようにカップ洗浄
時には、飛散防止カップ３との隙間を、鍔部１１ａがな
い場合の間隔Ｌ１よりも狭い間隔Ｌ２にすることができ
る。このように鍔部１１ａを形成しておくことにより、
飛散防止カップ３との隙間を狭めることができるので、
洗浄液が隙間を通って漏れ出ることを抑制することがで
き、洗浄液吐出口１４から上方に噴出した洗浄液を下方
に案内することができる。その結果、噴出する洗浄液の
方向性を良くすることができるので、飛散防止カップ３
の洗浄したい部分に集中して洗浄液を噴出させることが
できて洗浄効率を高めることができる。なお、カップ洗
浄部材１１の鍔部１１ａは基板Ｗの端縁部よりも内側に
ある必要はなく、基板Ｗの端縁部よりも外側に延出形成
した形状としてもよい。つまり、カップ洗浄部材１１の
鍔部１１ａを含めた外径は、基板Ｗの直径より小さくて
も大きくても同様の効果を得ることができる。
【００３７】また、カップ洗浄部材１１と回転軸６との
一体化のための係合手段としては、例えば図１３に示す
ように、カップ洗浄部材１１の中心部下面に形成した凹
部２０を回転軸６に貫通したピン２１に係合させるもの
でもよい。
一体化のための係合手段としては、例えば図１３に示す
ように、カップ洗浄部材１１の中心部下面に形成した凹
部２０を回転軸６に貫通したピン２１に係合させるもの
でもよい。
【００３８】さらに、上述の実施例ではカップ洗浄部材
１１を下降させることにより、回転伝達部１６を介して
スピンチャック１の回転軸６とカップ洗浄部材１１とを
係合連結するように構成したが、逆に回転軸６を上昇さ
せることにより回転伝達部１６を介して回転軸６とカッ
プ洗浄部材１１を係合連結させ、飛散防止カップ３の洗
浄を行うように構成してもよい。
１１を下降させることにより、回転伝達部１６を介して
スピンチャック１の回転軸６とカップ洗浄部材１１とを
係合連結するように構成したが、逆に回転軸６を上昇さ
せることにより回転伝達部１６を介して回転軸６とカッ
プ洗浄部材１１を係合連結させ、飛散防止カップ３の洗
浄を行うように構成してもよい。
【００３９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明によれば、次のような効果が期待でき
る。 （１）カップ洗浄部材に供給された洗浄液は、カップ洗
浄部材の遠心力によって周囲に噴射されて飛散防止カッ
プ内面を洗浄するので、洗浄液の溶解洗浄能とともに機
械的な洗浄力が加わり、高い洗浄能力を得ることができ
る。
１に記載の発明によれば、次のような効果が期待でき
る。 （１）カップ洗浄部材に供給された洗浄液は、カップ洗
浄部材の遠心力によって周囲に噴射されて飛散防止カッ
プ内面を洗浄するので、洗浄液の溶解洗浄能とともに機
械的な洗浄力が加わり、高い洗浄能力を得ることができ
る。
【００４０】（２）基板保持手段に対してカップ洗浄部
材および飛散防止カップを相対昇降させることによっ
て、自動的にカップ洗浄部材を基板保持手段の回転軸に
係合連結したり、その係合を解除しているので、カップ
洗浄処理の都度、カップ洗浄部材を着脱する必要がな
く、カップ洗浄処理時間の短縮化を図ることができる。
また、カップ洗浄部材を保管する手間およびスペースも
不要であり、取扱い性および設備管理上で有利なもので
ある。
材および飛散防止カップを相対昇降させることによっ
て、自動的にカップ洗浄部材を基板保持手段の回転軸に
係合連結したり、その係合を解除しているので、カップ
洗浄処理の都度、カップ洗浄部材を着脱する必要がな
く、カップ洗浄処理時間の短縮化を図ることができる。
また、カップ洗浄部材を保管する手間およびスペースも
不要であり、取扱い性および設備管理上で有利なもので
ある。
【００４１】（３）通常の基板回転処理時には、カップ
洗浄部材と基板保持手段の回転軸との係合は解除されて
いるので、基板保持手段のみを低トルクで駆動すること
ができ、回転駆動手段の負担が軽くなるとともに、回転
数の制御も容易になる。
洗浄部材と基板保持手段の回転軸との係合は解除されて
いるので、基板保持手段のみを低トルクで駆動すること
ができ、回転駆動手段の負担が軽くなるとともに、回転
数の制御も容易になる。
【００４２】（４）カップ洗浄部材を基板保持手段の基
板載置面上に装着しないので、基板保持手段を介して基
板が汚染されることもない。
板載置面上に装着しないので、基板保持手段を介して基
板が汚染されることもない。
【００４３】また、請求項２に記載の発明によれば、カ
ップ洗浄部材を比熱の大きい合成樹脂で形成してあるの
で、基板裏面洗浄時の洗浄液の気化に伴う熱的悪影響が
カップ洗浄部材を介して基板に及ぶことが回避でき、基
板への処理液塗布を均一に行うことができる。
ップ洗浄部材を比熱の大きい合成樹脂で形成してあるの
で、基板裏面洗浄時の洗浄液の気化に伴う熱的悪影響が
カップ洗浄部材を介して基板に及ぶことが回避でき、基
板への処理液塗布を均一に行うことができる。
【００４４】また、請求項３に記載の発明によれば、カ
ップ洗浄時に洗浄液が隙間を通って漏れ出ることを抑制
することができ、洗浄液案内部から飛散防止カップ側に
噴出する洗浄液が鍔部より上方へ噴出することを防止で
きる。よって、洗浄液の噴出する際の方向性を高めるこ
とができ、飛散防止カップ外に洗浄液が漏れて飛散する
ことを防止することができる。その結果、漏れ出た洗浄
液によって基板や装置が汚染されることを防止すること
ができる。また、鍔部により洗浄液の噴出軌跡が安定す
るので、飛散防止カップの洗浄したい部分に集中して洗
浄液を噴出させることができ、洗浄効率を向上させるこ
とができる。
ップ洗浄時に洗浄液が隙間を通って漏れ出ることを抑制
することができ、洗浄液案内部から飛散防止カップ側に
噴出する洗浄液が鍔部より上方へ噴出することを防止で
きる。よって、洗浄液の噴出する際の方向性を高めるこ
とができ、飛散防止カップ外に洗浄液が漏れて飛散する
ことを防止することができる。その結果、漏れ出た洗浄
液によって基板や装置が汚染されることを防止すること
ができる。また、鍔部により洗浄液の噴出軌跡が安定す
るので、飛散防止カップの洗浄したい部分に集中して洗
浄液を噴出させることができ、洗浄効率を向上させるこ
とができる。
【００４５】また、請求項４に記載の発明によれば、鍔
部が整流部材の上部を兼用することにより、回転処理時
の整流作用を低下させることなく、カップ洗浄時に洗浄
液が飛散防止カップ外に漏れて飛散することを防止する
ことができる。したがって、基板の回転処理およびカッ
プ洗浄処理を好適に実施することができる。
部が整流部材の上部を兼用することにより、回転処理時
の整流作用を低下させることなく、カップ洗浄時に洗浄
液が飛散防止カップ外に漏れて飛散することを防止する
ことができる。したがって、基板の回転処理およびカッ
プ洗浄処理を好適に実施することができる。
【図１】本発明に係る基板の回転処理装置の一実施例の
回転処理工程を示す縦断面図である。
回転処理工程を示す縦断面図である。
【図２】実施例装置の基板取り替え工程を示す縦断面図
である。
である。
【図３】実施例装置のカップ洗浄工程を示す縦断面図で
ある。
ある。
【図４】実施例装置のカップ洗浄工程における要部を拡
大した縦断面図である。
大した縦断面図である。
【図５】実施例装置のカップ洗浄部材を示す一部切り欠
き斜視図である。
き斜視図である。
【図６】実施例装置のカップ洗浄部材の要部を拡大した
縦断面図である。
縦断面図である。
【図７】カップ洗浄部材における洗浄液供給案内部の変
形例を示す要部の縦断面図である。
形例を示す要部の縦断面図である。
【図８】カップ洗浄部材における洗浄液吐出口の変形例
を示す要部の斜視図である。
を示す要部の斜視図である。
【図９】カップ洗浄部材の変形例を示す斜視図である。
【図１０】カップ洗浄部材のさらに別の変形例を示す要
部の縦断面図である。
部の縦断面図である。
【図１１】カップ洗浄工程を示す縦断面図である。
【図１２】カップ洗浄部材の要部を拡大した縦断面図で
ある。
ある。
【図１３】カップ洗浄部材と回転軸との連結手段の変形
例を示す一部切り欠き斜視図である。
例を示す一部切り欠き斜視図である。
１…スピンチャック（基板保持手段）
２…処理液供給ノズル（処理液供給手段）
３…飛散防止カップ
３ｂ…整流部材
５…モータ（回転駆動手段）
６…回転軸
８，９ …シリンダ（昇降手段）
１１…カップ洗浄部材
１１ａ…鍔部
１２…洗浄液案内部
１５…洗浄液供給ノズル（洗浄液供給手段）
１６…回転伝達部（係合手段）
１７…ピン（係合手段）
Ｗ…基板
フロントページの続き
(72)発明者 三橋 毅
京都府京都市伏見区羽束師古川町322
大日本スクリーン製造株式会社 洛西事
業所内
(72)発明者 杉本 憲司
京都府京都市伏見区羽束師古川町322
大日本スクリーン製造株式会社 洛西事
業所内
(56)参考文献 特開 平５−160017（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−66116（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−322420（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−31923（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−294819（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/027
Claims (4)
- 【請求項１】 基板を保持する基板保持手段と、前記基
板保持手段を回転軸を介して鉛直軸心周りに回転駆動す
る回転駆動手段と、前記基板上に処理液を供給する処理
液供給手段と、前記基板保持手段の周囲を囲むように配
置され、基板に供給された処理液が基板の回転に伴って
飛散するのを防止する飛散防止カップとを備えた基板の
回転処理装置において、 洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、 前記基板保持手段の回転軸に挿通配備され、前記洗浄液
供給手段から供給された洗浄液を外周部へ導く洗浄液案
内部が形成されたカップ洗浄部材と、 基板の回転処理時には前記基板保持手段と前記カップ洗
浄部材とが接近するとともに、前記基板保持手段の周囲
を飛散防止カップが取り囲み、カップ洗浄時には前記基
板保持手段とカップ洗浄部材とが離間するとともに、前
記カップ洗浄部材の外周部に飛散防止カップの内面が対
向するように、前記基板保持手段に対してカップ洗浄部
材および飛散防止カップを相対昇降させる昇降手段と、 前記基板保持手段とカップ洗浄部材とが接近したときは
カップ洗浄部材と前記回転軸との係合を解除し、前記基
板保持手段とカップ洗浄部材とが離間したときはカップ
洗浄部材と前記回転軸とを係合連結させる係合手段と、 を備えたことを特徴とする基板の回転処理装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の装置において、基板裏面
に向けて洗浄液を供給する裏面洗浄液供給手段をさらに
設け、前記カップ洗浄部材は合成樹脂で形成されている
基板の回転処理装置。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の装置に
おいて、前記洗浄液案内部より上方の位置で前記飛散防
止カップ側に張り出した鍔部を前記カップ洗浄部材に形
成したことを特徴とする基板の回転処理装置。 - 【請求項４】 請求項３に記載の装置において、前記基
板保持手段に保持された基板の裏面に臨むように前記飛
散防止カップの底部に配設され、基板の回転処理時に基
板裏面の気流を整流する整流部材を備えるとともに、前
記カップ洗浄部材の鍔部が前記整流部材の上部を構成し
ていることを特徴とする基板の回転処理装置。
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