JPH11226476A - 処理液吐出ノズルおよび基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 気泡の混入による処理不良を防止することが
できる処理液吐出ノズルおよびそれを備えた基板処理装
置を提供することである。 【解決手段】 現像液吐出ノズル１０のノズル本体部２
０の下面には複数の吐出口２２が設けられている。ノズ
ル本体部２０内には、液導入部２４を介して現像液が供
給される液溜まり部２５および各吐出口２２から上方に
延びる吐出流路２７，２７ａが形成されている。一部の
吐出流路２７ａの上端は上部流路２８を介して液溜まり
部２５の上端に連通し、残りの複数の吐出流路２７の上
端は傾斜流路２６を介して液溜まり部２５の下端に連通
している。複数の吐出口２２の少なくとも一部は基板の
外周部に沿うように円弧状に配列されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、処理液を吐出する
処理液吐出ノズルおよびそれを備えた基板処理装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基
板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の
基板に所定の処理を行うために基板処理装置が用いられ
る。基板処理装置には、現像装置、塗布装置、洗浄装置
等がある。

【０００３】現像装置では、基板上に形成された感光性
膜に処理液として現像液を供給することにより現像処理
を行う。塗布装置では、基板の表面に処理液としてフォ
トレジスト液等の塗布液を供給することにより塗布処理
を行う。洗浄装置では、基板の表面に処理液として洗浄
液を供給することにより洗浄処理を行う。

【０００４】このような基板処理装置では、基板上に供
給された処理液が周囲に飛散することを防止するために
基板の周囲を取り囲むように処理液飛散防止用のカップ
が設けられている。

【０００５】図１１は従来の回転式現像装置の主要部の
構成を示す模式図である。図１１の現像装置は、基板１
００を保持する基板保持部１を備える。基板保持部１
は、モータ２の回転軸３の先端部に水平に固定され、鉛
直方向の軸の周りで回転駆動される。基板保持部１に保
持された基板１００の周囲を取り囲むように飛散防止用
のカップ５０が設けられている。カップ５０の上端部に
は、内側に傾斜したテーパ部５０ａが形成されている。
それにより、カップ５０内に浮遊する現像液のミスト
（液体粒子）が外部に漏れ出ることが阻止される。

【０００６】また、現像液吐出ノズル９０が、水平面内
で回動自在に設けられたノズルアーム（図示せず）の先
端に取り付けられており、カップ５０内の基板保持部１
に保持された基板１００の上方位置とカップ５０外の待
機位置との間で移動可能に構成されている。

【０００７】現像処理時には、現像液吐出ノズル９０が
カップ５０外の待機位置からカップ５０内の基板１００
の上方位置に移動した後、基板１００上の感光性膜に現
像液を供給する。供給された現像液は、基板１００の回
転によって基板１００の全面に塗り広げられ、感光性膜
と接触する。表面張力により基板１００上に現像液を保
持した状態（液盛り）で一定時間基板１００を静止させ
ることにより感光性膜の現像が行われる。現像液の供給
が終了すると、現像液吐出ノズル９０はノズルアームの
回動によりカップ５０内の基板１００の上方位置からカ
ップ５０外の待機位置に移動する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来の現像装置
では、回転する基板１００に吐出開始時の現像液が当た
ることにより基板１００上の感光性膜が大きな衝撃を受
ける。その衝撃で現像液中に気泡が生じ、感光性膜の表
面に残留する微小な気泡が現像欠陥となる場合がある。
また、吐出開始時の現像液による衝撃で感光性膜が損傷
するおそれもある。

【０００９】そこで、基板の上方から外れた位置で現像
液吐出ノズルによる現像液の吐出を開始し、現像液を吐
出しながら現像液吐出ノズルを基板上に移動させること
により、吐出開始時の現像液による衝撃が基板に加わる
ことを防止することが提案されている。

【００１０】一方、基板上に均一に現像液を供給するた
めに複数の吐出口を有する現像液吐出ノズルが提案され
ている。図１２（ａ），（ｂ）は複数の吐出口を有する
現像液吐出ノズルのそれぞれ正面図およ底面図である。
また、図１３（ａ）は図１２の処理液吐出ノズルの複数
の吐出口の配列方向に沿った断面図、図１３（ｂ）は図
１２の現像液吐出ノズルの複数の吐出口の配列方向に垂
直な方向に沿った断面図である。なお、図１３（ａ）は
図１３（ｂ）におけるＺ−Ｚ線断面を示す。

【００１１】図１２に示すように、現像液吐出ノズル６
０の下面には、複数の吐出口６１が一直線状に配置され
ている。図１３に示すように、現像液吐出ノズル６０の
内部には、複数の吐出口６１の配列方向に沿って延びる
液溜まり部６２と、複数の吐出口６１からそれぞれ上方
に延びる複数の吐出流路６３と、複数の吐出流路６３の
上端と液溜まり部６２の下端とを連通させる複数の傾斜
流路６４とが設けられている。液溜まり部６２の上部に
は液導入部６５が設けられている。

【００１２】液溜まり部６２には、液導入部６５から現
像液が導入される。液溜まり部６２に導入された現像液
は、傾斜流路６４および吐出流路６３を通して吐出口６
１から吐出される。

【００１３】上記の現像液吐出ノズル６０においては、
複数の吐出流路６３の上端が傾斜流路６４を介して液溜
まり部６２の下端に連通しているので、気泡が吐出口６
１から液溜まり部６２に侵入しにくくなっている。しか
しながら、液溜まり部６２に一旦気泡が侵入すると、そ
の気泡は液溜まり部６２の上部に溜まるため、傾斜流路
６４を通して吐出口６１から抜け出ることが困難とな
る。

【００１４】液溜まり部６２に気泡が溜まると、現像液
の吐出時に気泡が混入した現像液が吐出されたり、現像
液の吐出終了時に気泡が膨脹等を起こして液垂れが発生
することがある。その結果、現像欠陥が発生するおそれ
がある。

【００１５】本発明の目的は、気泡の混入による処理不
良を防止することができる処理液吐出ノズルおよびそれ
を備えた基板処理装置を提供することである。

【００１６】

【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明に係る処理液吐出ノズルは、下面に複数の吐出口を
有するノズル本体部を備え、ノズル本体部内に、処理液
が供給される液溜まり部と、複数の吐出口からそれぞれ
上方に延びる複数の吐出流路と、複数の吐出流路を液溜
まり部にそれぞれ連通させる複数の連通流路とが設けら
れ、複数の連通流路のうち一部の連通流路は、吐出流路
の上端と液溜まり部の上端とを連通させる上部流路であ
るものである。

【００１７】本発明に係る処理液吐出ノズルにおいて
は、ノズル本体内の液溜まり部に供給された処理液が、
複数の連通流路および複数の吐出流路を通して複数の吐
出口からそれぞれ吐出される。

【００１８】吐出口から吐出流路および連通流路を通し
て気泡が液溜まり部内に侵入した場合には、その気泡は
液溜まり部の上部に溜まる。この場合、複数の連通流路
のうち一部の連通流路が吐出流路の上端と液溜まり部の
上端とを連通させる上部流路であるので、液溜まり部の
上部に溜まった気泡を上部流路および吐出流路を通して
吐出口から容易に抜き出すことができる。すなわち、上
部流路は処理液の吐出および気泡の排出の役割を兼ねる
ことになる。

【００１９】したがって、処理液の吐出時に気泡が混入
した現像液が吐出されることや、処理液の吐出終了時に
気泡が膨脹を起こして液垂れが発生することを防止する
ことができる。その結果、気泡の混入による処理不良の
発生を防止することが可能となる。

【００２０】第２の発明に係る処理液吐出ノズルは、第
１の発明に係る処理液吐出ノズルの構成において、上部
流路を除く連通流路は、吐出流路の上端と液溜まり部の
下端とを連通させる傾斜流路であるものである。

【００２１】この場合、いくつかの吐出流路の上端が傾
斜流路を介して液溜まり部の下端に連通しているので、
気泡が吐出口から液溜まり部に侵入しにくくなる。

【００２２】第３の発明に係る処理吐出ノズルは、第１
または第２の発明に係る処理液吐出ノズルの構成におい
て、ノズル本体部の液溜まり部の上部に液導入部が設け
られ、上部流路は、液導入部に近い液溜まり部の位置に
つながるように設けられたものである。

【００２３】液溜まり部に侵入した気泡は液導入部付近
に溜まりやすくなるので、液溜まり部に溜まった気泡を
液導入部に近い液溜まり部の位置につながる上部流路を
通して吐出口から容易に抜き出すことが可能になる。

【００２４】第４の発明に係る処理液吐出ノズルは、第
１、第２または第３の発明に係る処理液吐出ノズルの構
成において、複数の吐出口は一列に配列され、液溜まり
部は複数の吐出口の配列方向に沿って延び、上部流路
は、液溜まり部の端部に近い位置につながるように設け
られたものである。

【００２５】液溜まり部に侵入した気泡は液溜まり部の
端部付近に溜まりやすくなるので、液溜まり部に溜まっ
た気泡を液溜まり部の端部に近い位置につながる上部流
路を通して吐出口から容易に抜き出すことが可能にな
る。

【００２６】第５の発明に係る処理液吐出ノズルは、第
１〜第４のいずれかの発明に係る処理液吐出ノズルの構
成において、複数の吐出口の少なくとも一部が基板の外
周部に沿うように配列されたものである。

【００２７】この場合、基板の外周部とカップの内側縁
部との間の隙間が狭い場合でも、処理液吐出ノズルの複
数の吐出口を基板の外周部とカップの内側縁部との間に
位置させることができる。それにより、吐出開始時に処
理液を基板の外周部とカップの内側縁部との間に滴下
し、吐出開始時の処理液による衝撃が基板の表面に加わ
ることを防止することができる。したがって、カップの
性能を維持しつつ処理液の吐出開始時の衝撃による処理
不良を防止することが可能となる。

【００２８】第６の発明に係る基板処理装置は、基板に
所定の処理を行う基板処理装置であって、基板を保持す
る基板保持手段と、基板保持手段に保持された基板の上
方の位置と基板の上方から外れた待機位置との間で移動
可能に設けられ、下面に複数の吐出口を有する処理液吐
出ノズルとを備え、処理液吐出ノズル内に、処理液が供
給される液溜まり部と、複数の吐出口からそれぞれ上方
に延びる複数の吐出流路と、複数の吐出流路を液溜まり
部にそれぞれ連通させる複数の連通流路とが設けられ、
複数の連通流路のうち一部の連通流路は、吐出流路の上
端と液溜まり部の上端とを連通させる上部流路であるも
のである。

【００２９】本発明に係る基板処理装置においては、基
板保持手段に基板が保持され、処理液吐出ノズルが基板
保持手段に保持された基板の上方の位置と基板の上方か
ら外れた待機位置との間で移動可能に設けられている。
処理液吐出ノズルの液溜まり部に供給された処理液は、
複数の連通流路および複数の吐出流路を通して複数の吐
出口からそれぞれ吐出される。

【００３０】吐出口から吐出流路および連通流路を通し
て気泡が液溜まり部に浸入した場合には、その気泡は液
溜まり部の上部に溜まる。この場合、複数の連通流路の
うち一部の連通流路が吐出流路の上端と液溜まり部の上
端とを連通させる上部流路であるので、液溜まり部の上
部に溜まった気泡を上部流路および吐出流路を通して吐
出口から容易に抜き出すことができる。すなわち、上部
流路は処理液の吐出および気泡の排出の役割を兼ねるこ
とになる。

【００３１】したがって、処理液の吐出時に気泡が混入
した処理液が吐出されることや、処理液の吐出終了時に
気泡が膨張等を起こして液垂れが発生することを防止す
ることができる。その結果、気泡の混入による処理不良
の発生を防止することが可能となる。

【００３２】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る基板処理装置
の一例として現像装置について説明する。

【００３３】図１は本発明の一実施例における現像装置
の主要部の断面図、図２は図１の現像装置の平面図であ
る。

【００３４】図１に示すように、現像装置は、基板１０
０を水平姿勢で吸引保持する基板保持部１を備える。基
板保持部１はモータ２の回転軸３の先端部に固定され、
鉛直方向の軸の周りで回転可能に構成されている。

【００３５】基板保持部１の周囲には、基板１００を取
り囲むように処理液飛散防止用のカップ４，５が配設さ
れている。カップ５は固定されており、カップ４はカッ
プ駆動部（図示せず）により上下動自在に設けられてい
る。このカップ４は、内方に傾斜するテーパ部４ａと、
そのテーパ部４ａの外側上方を取り囲む円筒状のスプラ
ッシュガード４ｂとを有する。

【００３６】図２に示すように、カップ４外の待機位置
には待機ポット６が配置されている。また、ノズルアー
ム７がアーム駆動部８により水平面内で回動可能に設け
られている。ノズルアーム７の先端部の下面側には現像
液吐出ノズル１０が取り付けられており、ノズルアーム
７の回動により現像液吐出ノズル１０が矢印Ｒで示すよ
うにカップ４内の基板１００の上方位置と待機ポット６
の位置とで移動可能となっている。

【００３７】現像液吐出ノズル１０の移動経路における
スプラッシュガード４ｂの部分には、現像液吐出ノズル
１０の通過を可能にするように切り欠き部４ｃが設けら
れている。現像液吐出ノズル１０には、現像液供給系
（図示せず）から処理液として現像液が供給される。

【００３８】図１の制御部９は、モータ２の回転動作、
アーム駆動部８による現像液吐出ノズル１０の移動、現
像液吐出ノズル１０からの現像液の吐出およびカップ駆
動部によるカップ４の上下動を制御する。

【００３９】現像処理時には、モータ２により基板１０
０を回転させつつ現像液吐出ノズル１０が基板１００の
外周部とカップ４のテーパ部４ａとの間の位置から回転
する基板１００の中心部まで現像液を吐出しながら移動
する。

【００４０】図３（ａ），（ｂ），（ｃ）は現像液吐出
ノズル１０のそれぞれ正面図、底面図および側面図であ
る。また、図４（ａ），（ｂ），（ｃ）は図３（ａ）の
現像液吐出ノズル１０のそれぞれＡ−Ａ線断面図、Ｂ−
Ｂ線断面図およびＣ−Ｃ線断面図である。

【００４１】以下、現像液吐出ノズル１０が基板１００
の外周部とカップ４のテーパ部４ａの内側縁部との間に
位置する状態でカップ４側を矢印Ｘで示し、基板１００
側を矢印Ｙで示す。

【００４２】図３に示すように、現像液吐出ノズル１０
は、上部材１１および下部材１２を備え、上部材１１と
下部材１２とがシート状パッキン１３を挟んでボルト１
４，１５で接合されている。これらの上部材１１、シー
ト状パッキン１３および下部材１２によりノズル本体部
２０が構成される。

【００４３】ノズル本体部２０の上面には液入口２１が
設けられ、下面には複数の吐出口２２が設けられてい
る。複数の吐出口２２のうち少なくとも一部の吐出口２
２は、基板１００の外周部に沿うように円弧状に配列さ
れている。

【００４４】また、下部材１２の下面におけるカップ４
側の縁部に沿って切り欠き凹所２３が設けられている。
これにより、ノズル本体部２０の吐出口２２よりもカッ
プ４側の部分の厚みが他の部分の厚みよりも薄くなるよ
うにノズル本体部２０の底面が段差状に形成されてい
る。

【００４５】上部材１１の一端部の近くには、図４
（ａ）に示すように、液入口２１から現像液が導入され
る液導入部２４が設けられている。図４（ａ），
（ｂ），（ｃ）に示すように、下部材１２には、一端部
側から他端部側に延びる液溜まり部２５、および各吐出
口２２から上方に延びる管状の吐出流路２７，２７ａが
形成されている。

【００４６】特に、図４（ｃ）に示すように、一部の吐
出流路２７ａの上端は、上部材１１に設けられた管状の
上部流路２８を介して液溜まり部２５の上端に連通して
いる。残りの複数の吐出流路２７の上端は、図４
（ａ），（ｂ）に示すように、斜め下方に延びる管状の
傾斜流路２６を介して液溜まり部２５の下端に連通して
いる。本実施例では、２つの吐出流路２７ａが上部流路
２８を介して液溜まり部２５に連通している。

【００４７】図５（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は現
像液吐出ノズル１０における上部材１１のそれぞれ平面
図、正面図、底面図およびＤ−Ｄ線断面図である。

【００４８】図５に示すように、上部材１１には上下に
貫通する液導入部２４が形成されている。この上部材１
１の下面には、上部流路２８を構成する２つの溝部２８
ａが形成されている。また、上部材１１のカップ４側の
縁部に沿ってボルト１４を挿入するための複数のねじ孔
３１が形成され、基板１００側の縁部に沿ってボルト１
５を挿入するための複数のねじ孔３２が形成されてい
る。

【００４９】図６（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），
（ｅ）は現像液吐出ノズル１０における下部材１２のそ
れぞれ平面図、正面図、底面図、Ｅ−Ｅ線断面図および
Ｆ−Ｆ線断面図である。

【００５０】図６に示すように、下部材１２の上面に
は、液溜まり部２５を構成する凹部２５ａが形成されて
いる。また、下部材１２の下面には、複数の吐出口２２
が形成されている。さらに、複数の吐出口２２から上面
に貫通する複数の吐出流路２７，２７ａが形成されてい
る。また、下部材１２には、２つの吐出流路２７ａを除
く残りの吐出流路２７と凹部２５ａの下端とを結合する
傾斜流路２６が形成されている。下部材１２の下面に
は、カップ４側の縁部に沿って切り欠き凹所２３が形成
されている。

【００５１】下部材１２のカップ４側の縁部に沿ってボ
ルト１４を挿入するための複数のねじ孔３３が形成さ
れ、基板１００側の縁部に沿ってボルト１５を挿入する
ための複数のねじ孔３４が形成されている。

【００５２】図７はシート状パッキン１３の平面図であ
る。図７に示すように、シート状パッキン１３には、上
部材１１の液導入部２４と下部材１２の凹部２５ａとを
連通させる連通孔３６、上部材１１の溝部２８ａと下部
材１２の凹部２５ａとを連通させる連通孔３５および上
部材１１の溝部２８ａと下部材１２の吐出流路２７ａと
を連通させる連通孔３７が設けられている。

【００５３】また、シート状パッキン１３のカップ４側
の縁部に沿ってボルト１４を挿入するための複数のねじ
孔３８が形成され、基板１００側の縁部に沿ってボルト
１５を挿入するための複数のねじ孔３９が設けられてい
る。

【００５４】図５の上部材１１の下面と図６の下部材１
２の上面との間に図７のシート状パッキン１３を挟み込
んでねじ孔３１，３８，３３にボルト１４を通しかつね
じ孔３２，３９，３４にボルト１５を通して上部材１
１、シート状パッキン１３および下部材１２を連結する
ことにより、図４に示した液溜まり部２５および上部流
路２８が構成される。

【００５５】本実施例では、基板保持部１が基板保持手
段に相当し、現像液吐出ノズル１０が処理液吐出ノズル
に相当し、制御部９が制御手段に相当する。

【００５６】本実施例の現像液吐出ノズル１０において
は、図４（ｂ）に示したように、複数の吐出流路２７の
上端が傾斜流路２６を介して液溜まり部２５の下端に連
通しているので、気泡が吐出口２２から液溜まり部２５
に侵入しにくくなっている。液溜まり部２５に気泡が侵
入した場合には、その気泡は液溜まり部２５の上部に溜
まるため、傾斜流路２６を通して吐出口２２から抜けに
くくなる。特に、液溜まり部２５の端部および液導入部
２４の付近に気泡が溜まりやすくなる。しかし、図４
（ｃ）に示したように、液溜まり部２５の端部および液
導入部２４の付近の吐出流路２７ａが上部流路２８を介
して液溜まり部２５の上端に連通しているので、液溜ま
り部２５の上部に溜まった気泡を上部流路２８および吐
出流路２７ａを通して吐出口２２から容易に抜き出すこ
とができる。

【００５７】したがって、現像液の吐出時に気泡が混入
した現像液を吐出することや、現像液の吐出終了時に気
泡が膨張等を起こして液垂れが発生することを防止する
ことができる。それにより、気泡の混入による現像欠陥
の発生を回避することができる。

【００５８】図８および図９は現像液吐出ノズル１０の
吐出口２２を基板１００の外周部とカップ４のテーパ部
４ａの内側縁部との間に配置した場合のそれぞれ平面図
および正面図である。

【００５９】本実施例の現像液吐出ノズル１０において
は、複数の吐出口２２の少なくとも一部が基板１００の
外周部に沿うように円弧状に配列されているので、基板
１００の外周部とカップ４のテーパ部４ａとの間の隙間
が狭い場合でも、図８に示すように、すべての吐出口２
２を基板１００の外周部とカップ４のテーパ部４ａの内
側縁部との間に配置することが可能となる。

【００６０】また、現像液吐出ノズル１０の下面のカッ
プ４側の縁部に沿って切り欠き凹所２３が設けられてい
るので、基板１００の外周部とカップ４のテーパ部４ａ
の内側縁部との間の隙間が狭い場合でも、図９に示すよ
うに、切り欠き凹所２３をテーパ部４ａの内側縁部の上
部に位置させることにより吐出口２２を基板１００の外
周部とカップ４のテーパ部４ａの内側縁部との間に配置
することができる。

【００６１】したがって、現像液吐出ノズル１０による
現像液の吐出開始時に、現像液を基板１００とカップ４
との間の隙間に滴下し、現像液を吐出しながら現像液吐
出ノズル１０を回転する基板１００上へ移動させること
ができる。それにより、吐出開始時の現像液による衝撃
が基板１００上の感光性膜に加わることを防止しつつ基
板１００の表面の全体に現像液を均一に供給することが
できる。

【００６２】また、カップ４のテーパ部４ａに切り欠き
を設けたり、カップ４の開口部の径を拡大する必要がな
いので、カップ４の性能を維持することができ、カップ
４内の現像液のミストがカップ４外に漏れ出ることや風
切り現象による現像むらが発生することを防止すること
ができる。これらの結果、均一な現像処理を行うことが
できる。さらに、カップ４の寸法を小さくし、現像装置
全体を小型化することも可能となる。

【００６３】なお、本実施例の現像液吐出ノズル１０で
は、複数の吐出口２２の一部が基板１００の外周部に沿
うように円弧状に配列されているが、複数の吐出口２２
の全てを基板１００の外周部に沿うように円弧状に配列
してもよい。また、複数の吐出口２２の少なくとも一部
を基板１００の外周部にほぼ沿うように階段状に配列し
てもよい。

【００６４】図１０は本発明の他の実施例における現像
装置の平面図である。図１０の現像装置においては、ノ
ズルアーム７の先端部の下面側に２つの現像液吐出ノズ
ル１０ａ，１０ｂが取り付けられている。一方の現像液
吐出ノズル１０ａの下面には、基板１００の一方側の外
周部に沿うように複数の吐出口２２が円弧状に配列され
ている。また、他方の現像液吐出ノズル１０ｂの下面に
は、基板１００の他方側の外周部に沿うように複数の吐
出口２２が円弧状に配列されている。

【００６５】本実施例の現像装置では、２種類の現像液
を使用することができる。現像液吐出ノズル１０ａを用
いる場合には、現像液吐出ノズル１０ａから現像液を吐
出しつつ、矢印Ｒ１で示すように、ノズルアーム７の先
端部を基板１００の一方側の外周部から中心部へ移動さ
せ、他方の現像液吐出ノズル１０ｂを用いる場合には、
現像液吐出ノズル１０ｂから現像液を吐出しつつ、矢印
Ｒ２で示すように、ノズルアーム７の先端部を基板１０
０の他方側の外周部から中心部へ移動させる。

【００６６】本実施例の現像装置においても、カップ４
の性能を維持しつつ吐出開始時の現像液による衝撃が基
板１００上の感光性膜に加わることを防止し、基板１０
０の表面の全体に現像液を均一に供給することができ
る。また、カップ４の寸法を小さくし、現像装置全体を
小型化することも可能となる。さらに、気泡の混入によ
る現像欠陥の発生を防止することができる。

【００６７】なお、上記実施例では、本発明を現像液吐
出ノズルおよび現像装置に適用した場合を説明したが、
本発明は、例えばレジスト液等の塗布液を吐出する塗布
液吐出ノズルおよびそれを用いた塗布装置など、他の処
理液吐出ノズルおよびそれを用いた基板処理装置にも適
用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における現像装置の主要部の
断面図である。

【図２】図１の現像装置の平面図である。

【図３】図１の現像装置に用いられる現像液吐出ノズル
の正面図、底面図および側面図である。

【図４】図３の現像液吐出ノズルのＡ−Ａ線断面図、Ｂ
−Ｂ線断面図およびＣ−Ｃ線断面図である。

【図５】現像液吐出ノズルにおける上部材の平面図、正
面図、底面図およびＤ−Ｄ線断面図である。

【図６】現像液吐出ノズルにおける下部材の平面図、正
面図、底面図、Ｅ−Ｅ線断面図およびＦ−Ｆ線断面図で
ある。

【図７】現像液吐出ノズルにおけるシート状パッキンの
平面図である。

【図８】現像液吐出ノズルの吐出口を基板の外周部とカ
ップのテーパ部の内側縁部との間に配置した状態を示す
平面図である。

【図９】現像液吐出ノズルの吐出口を基板の外周部とカ
ップのテーパ部の内側縁部との間に配置した状態を示す
正面図である。

【図１０】本発明の他の実施例における現像装置の平面
図である。

【図１１】従来の現像装置の主要部の構成を示す模式図
である。

【図１２】複数の吐出口を有する現像液吐出ノズルの正
面図および底面図である。

【図１３】図１２の現像液吐出ノズルの複数の吐出口の
配列方向に沿った断面図および複数の吐出口の配列方向
に垂直な方向に沿った断面図である。

【符号の説明】

１ 基板保持部 ２ モータ ４ カップ ４ａ テーパ部 ７ ノズルアーム ８ アーム駆動部 １０，１０ａ，１０ｂ，１１０ 現像液吐出ノズル １１ 上部材 １２ 下部材 １３ シート状パッキン １４，１５ ボルト ２１ 液入口 ２２ 吐出口 ２３ 切り欠き凹所 ２４ 液導入部 ２５ 液溜まり部 ２６ 傾斜流路 ２７，２７ａ 吐出流路 ２８ 上部流路

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下面に複数の吐出口を有するノズル本体
   部を備え、前記ノズル本体部内に、処理液が供給される
   液溜まり部と、前記複数の吐出口からそれぞれ上方に延
   びる複数の吐出流路と、前記複数の吐出流路を前記液溜
   まり部にそれぞれ連通させる複数の連通流路とが設けら
   れ、 前記複数の連通流路のうち一部の連通流路は、前記吐出
   流路の上端と前記液溜まり部の上端とを連通させる上部
   流路であることを特徴とする処理液吐出ノズル。
2. 【請求項２】 前記上部流路を除く前記連通流路は、前
   記吐出流路の上端と前記液溜まり部の下端とを連通させ
   る傾斜流路であることを特徴とする請求項１記載の処理
   液吐出ノズル。
3. 【請求項３】 前記ノズル本体部の前記液溜まり部の上
   部に液導入部が設けられ、前記上部流路は、前記液導入
   部に近い前記液溜まり部の位置につながるように設けら
   れたことを特徴とする請求項１または２記載の処理液吐
   出ノズル。
4. 【請求項４】 前記複数の吐出口は一列に配設され、前
   記液溜まり部は前記複数の吐出口の配列方向に沿って延
   び、前記上部流路は、前記液溜まり部の端部に近い位置
   につながるように設けられたことを特徴とする請求項
   １、２または３記載の処理液吐出ノズル。
5. 【請求項５】 前記複数の吐出口の少なくとも一部が基
   板の外周部に沿うように配列されたこと特徴とする請求
   項１〜４のいずれかに記載の処理液吐出ノズル。
6. 【請求項６】 基板に所定の処理を行う基板処理装置で
   あって、 基板を保持する基板保持手段と、 前記基板保持手段に保持された基板の上方の位置と前記
   基板の上方から外れた待機位置との間で移動可能に設け
   られ、下面に複数の吐出口を有する処理液吐出ノズルと
   を備え、 前記処理液吐出ノズル内に、処理液が供給される液溜ま
   り部と、前記複数の吐出口からそれぞれ上方に延びる複
   数の吐出流路と、前記複数の吐出流路を前記液溜まり部
   にそれぞれ連通させる複数の連通流路とが設けられ、 前記複数の連通流路のうち一部の連通流路は、前記吐出
   流路の上端と前記液溜まり部の上端とを連通させる上部
   流路であることを特徴とする基板処理装置。