JP4011040B2 - 現像装置および現像方法 - Google Patents
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Description
4 内側カップ
5 外側カップ
6,7 待機スポット
8 ガイドレール
9 ノズルアーム
10 ノズル駆動部
11 現像液吐出ノズル
12 現像液供給系
13 制御部
15 スリット状吐出口
16 リンス液吐出ノズル
17 リンス液供給系
18 スリット状吐出口
30 共用ノズル
Claims (10)
- 基板を水平姿勢で保持する基板保持手段と、
現像液を前記基板の直径以上の幅で吐出する現像液吐出ノズルと、
現像を停止させるためのリンス液を前記基板の直径以上の幅で吐出するリンス液吐出ノズルと、
前記基板保持手段に静止状態で保持された基板外の一方側の位置から前記現像液吐出ノズルを移動させ、前記現像液吐出ノズルが前記基板上に達する前に前記現像液吐出ノズルによる現像液の吐出を開始させ、前記現像液吐出ノズルを直線状に移動させつつ前記基板の一方の端縁側から他方の端縁側へ前記現像液吐出ノズルによる現像液の吐出を行った後、前記リンス液吐出ノズルを直線状に移動させつつ前記基板の前記一方の端縁側から前記他方の端縁側へ前記リンス液吐出ノズルによるリンス液の吐出を行う制御手段とを備えたことを特徴とする現像装置。 - 前記現像液吐出ノズルは、移動方向とほぼ垂直な方向にほぼ直線状に現像液を吐出し、
前記リンス液吐出ノズルは、移動方向とほぼ垂直な方向にほぼ直線状にリンス液を吐出することを特徴とする請求項1記載の現像装置。 - 前記制御手段は、前記現像液吐出ノズルが前記基板上を通過した後に前記現像液吐出ノズルによる現像液の吐出を停止させることを特徴とする請求項1または2記載の現像装置。
- 前記制御手段は、リンス液の供給時に、前記リンス液吐出ノズルが前記基板上に達する前に前記リンス液吐出ノズルによるリンス液の吐出を開始させることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の現像装置。
- 前記制御手段は、前記リンス液吐出ノズルが前記基板上を通過した後に前記リンス液吐出ノズルによるリンス液の吐出を停止させることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の現像装置。
- 前記現像液吐出ノズルによる現像液の吐出方向が鉛直下向きから前記現像液吐出ノズルの移動方向と反対方向に傾けられたことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の現像装置。
- 前記リンス液吐出ノズルによるリンス液の吐出方向が鉛直下向きから前記リンス液吐出ノズルの移動方向と反対方向に傾けられたことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の現像装置。
- 前記現像液吐出ノズルおよび前記リンス液吐出ノズルは、水平方向に配置されたスリット状吐出口をそれぞれ有し、前記制御手段は、前記現像液吐出ノズルおよび前記リンス液吐出ノズルを前記スリット状吐出口とほぼ垂直な方向に直線状に移動させることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の現像装置。
- 前記制御手段は、リンス液の供給時に、前記リンス液吐出ノズルを現像液供給時の前記現像液吐出ノズルと同じ速度で移動させることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の現像装置。
- 基板保持手段に静止状態で保持された基板上に現像液吐出ノズルから現像液を吐出供給する現像方法であって、
前記基板保持手段に静止状態で保持された基板外の一方側の位置から前記現像液吐出ノズルを移動させ、前記現像液吐出ノズルが前記基板上に達する前に前記現像液吐出ノズルによる現像液の吐出を開始させ、前記現像液吐出ノズルを直線状に移動させつつ前記基板の一方の端縁側から他方の端縁側へ前記現像液吐出ノズルにより現像液を前記基板の直径以上の幅で吐出させる工程と、
前記現像液を吐出する工程の後、前記リンス液吐出ノズルを直線状に移動させつつ前記基板の前記一方の端縁側から前記他方の端縁側へ前記リンス液吐出ノズルによりリンス液を前記基板の直径以上の幅で吐出させる工程とを含むことを特徴とする現像方法。
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