JP2008060103A - 基板処理方法および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Wをスピンチャックによって水平姿勢に保持し回転モータによって鉛直軸回りに回転させるとともに、純水吐出ノズル20の吐出口から基板の表面へ洗浄液を吐出させつつ、純水吐出ノズルの吐出口を基板の中心に対向する位置から基板の周縁に対向する位置まで走査する際に、純水吐出ノズルの移動を開始した直後であって、基板の中心付近において、基板に乾燥領域が形成されるときの始点となる1つ目の乾燥コアが発生した後、2つ目の乾燥コアが発生する前に、気体噴出ノズル34の噴出口から基板の中心部表面に向けて気体を吹き付ける。
【選択図】図1
Description
したがって、請求項4に係る発明の基板処理装置を使用すると、請求項1に係る発明の基板処理方法を好適に実施して、上記効果を奏することができる。
図1および図2は、この発明に係る基板処理方法を実施するために使用される基板処理装置の構成の1例を示し、図1は、基板処理装置の概略平面図であり、図2は、その概略断面図である。
12 回転支軸
14 回転モータ
16 カップ
20 純水吐出ノズル
22 純水供給管
24 ポンプ
28、38 開閉制御弁
30 純水吐出ノズルのノズル保持部
32 純水吐出ノズルの回転駆動機構
34 ガス噴出ノズル
36 ガス供給管
40 ガス噴出ノズルのノズル保持部
42 ガス噴出ノズルの回転駆動機構
44 制御装置
W 基板
Claims (6)
- 基板を水平姿勢に保持して鉛直軸回りに回転させるとともに、吐出ノズルの吐出口から基板の表面へ洗浄液を吐出させつつ、前記吐出ノズルの吐出口を基板の中心に対向する位置から基板の周縁に対向する位置まで走査して、基板を乾燥させる基板処理方法において、
前記吐出ノズルの吐出口が基板の中心に対向する位置から基板の周縁に向かって移動を開始し、基板の中心位置を中心とし前記吐出ノズルの吐出口に対向する基板面上の位置までの距離を半径とする円周内方の領域において、基板に乾燥領域が形成されるときの始点となる1つ目の乾燥コアが発生した後、2つ目の乾燥コアが発生する前に、気体噴出ノズルの噴出口から基板の中心部表面に向けて気体を吹き付けることを特徴とする基板処理方法。 - 前記気体噴出ノズルの噴出口から基板の中心部表面に向けて大流量の気体を瞬間的に吹き付ける請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記気体噴出ノズルの噴出口から基板の中心部表面に向けて小流量の気体を連続的に吹き付ける請求項1に記載の基板処理方法。
- 基板を水平姿勢に保持する基板保持手段と、
この基板保持手段によって保持された基板を鉛直軸回りに回転させる基板回転手段と、
前記基板保持手段によって保持され前記基板回転手段によって回転させられる基板の表面へ吐出口から洗浄液を吐出する吐出ノズルと、
この吐出ノズルへ洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
前記吐出ノズルの吐出口を、その吐出口から基板の表面へ洗浄液を吐出させつつ基板の中心に対向する位置から基板の周縁に対向する位置まで走査するノズル移動手段と、
を備えた基板処理装置において、
噴出口が基板の中心部に対向する位置に停止した状態で、その噴出口から基板の中心部表面に向けて気体を吹き付ける気体噴出ノズルと、
この気体噴出ノズルへ気体を供給する気体供給手段と、
前記吐出ノズルの吐出口が基板の中心に対向する位置から基板の周縁に向かって移動を開始した直後に、前記気体噴出ノズルの噴出口から基板の中心部表面に向けて気体を吹き付けるように、前記気体供給手段を制御する制御手段と、
をさらに備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記制御手段は、前記気体噴出ノズルの噴出口から基板の中心部表面に向けて大流量の気体を瞬間的に吹き付けるように前記気体供給手段を制御する請求項4に記載の基板処理装置。
- 前記制御手段は、前記気体噴出ノズルの噴出口から基板の中心部表面に向けて小流量の気体を連続的に吹き付けるように前記気体供給手段を制御する請求項4に記載の基板処理装置。
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