JP2006080315A - 基板洗浄方法及び現像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 現像を終えたウエハを回転させながら、ノズルからウエハ中心部に洗浄液を吐出してその洗浄液を周囲に広げて液膜を形成し、次いで前記ノズルを移動させて、基板の中心部に乾燥領域を発生させ、基板を1500rpmの回転数で回転させその遠心力により前記乾燥領域を周囲に広げる。前記ノズルは乾燥領域に追いつかれない速度でウエハの中心から例えば80mm〜95mm離れた位置まで移動し、そこで洗浄液の吐出を停止する。また予めこの位置に別のノズルを配置して、ここから洗浄液を吐出しておき、乾燥領域がそこへ到達する直前にその吐出を停止してもよい。ウエハの中心に乾燥領域のコアを形成する場合、ガスを基板の中心部に吹き付け、直ぐにその吹き付けを停止することが好ましい。
【選択図】 図4
Description
基板を水平に保持した基板保持部を鉛直軸の回りに回転させながら基板の中心部に洗浄液を供給する工程と、
その後、基板保持部を回転させたまま、洗浄液の供給を停止するかまたは洗浄液の供給位置を基板の中心部から外側に移動することにより、洗浄液の乾燥領域を基板の中心部に発生させる工程と、
基板保持部を1500rpm以上の回転数で回転させた状態で、前記乾燥領域内に洗浄液を供給することなく、前記乾燥領域を基板の中心部から外に向かって広げる工程と、
前記基板の表面における前記乾燥領域の外側領域に洗浄液を供給する工程と、を含むことを特徴とする。
基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部を鉛直軸の回りに回転させる回転機構と、
前記基板保持部に保持された基板の表面に洗浄液を供給する洗浄液ノズルと、
この洗浄液ノズルを移動させるためのノズル駆動機構と、
基板保持部を回転させながら前記洗浄液ノズルから基板の中心部に洗浄液を供給するステップと、洗浄液の供給位置を基板の中心部から外側に移動させることにより洗浄液の乾燥領域を基板の中心部に発生させるステップと、基板保持部を1500rpm以上の回転数で回転させた状態とすることにより前記乾燥領域を基板の中心部から外に向かって広げると共にその洗浄液の供給位置が乾燥領域に追いつかれない速度で洗浄液ノズルを基板の外側に向かって移動するステップと、を実行するように作成されたプログラムと、
を備えたことを特徴とする。
基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部を鉛直軸の回りに回転させる回転機構と、
前記基板保持部に保持された基板の表面に洗浄液を供給する第1の洗浄液ノズル及び第2の洗浄液ノズルと、
基板保持部を回転させながら前記第1の洗浄液ノズルから基板の中心部に洗浄液を供給すると共に基板の中心部から予め設定された距離だけ外側に離れた位置に第2の洗浄液ノズルから洗浄液を供給するステップと、第1の洗浄液ノズルの洗浄液の供給を止めることにより洗浄液の乾燥領域を基板の中心部に発生させるステップと、基板保持部を1500rpm以上の回転数で回転させた状態とすることにより前記乾燥領域を基板の中心部から外に向かって広げるステップと、前記乾燥領域がその供給位置に到達する前に、第2の洗浄液ノズルの洗浄液の供給を止めるかあるいはその供給位置が乾燥領域に追いつかれない速度で当該第2の洗浄液ノズルを基板の外側に向かって移動するステップと、を実行するように作成されたプログラムと、
を備えたことを特徴とする。
また基板の中心部から洗浄液を周囲に広げて液膜を形成した後、ガスを基板の中心部に吹き付け、直ぐにその吹き付けを停止するようにすれば、中心部に近い領域において、ガスの吹き付けを利用しない場合に比べ、より確実に乾燥領域を発生させることができ、中心部に近い領域における洗浄効果をより高めることができる。
本発明の第1の実施の形態に係る現像装置について図1及び図2を参照しながら説明する。図中2は基板例えばウエハWの裏面側中央部を吸引吸着して水平姿勢に保持するための基板保持部であるスピンチャックである。スピンチャック2は回転軸21を介して回転機構を含む駆動機構22と接続されており、ウエハWを保持した状態で回転及び昇降可能なように構成されている。なお、本例では、スピンチャック2の回転軸21上にウエハWの中心が位置するように設定されている。
(第2の実施の形態)
この実施の形態は、洗浄液ノズル4の他にガスをウエハWの表面に吹き付けるためのガスノズルを更に備えている点が第1の実施の形態の構成と異なる。図6に示すようにこのガスノズル7は、洗浄液ノズル4と一体に、即ち共通のアームにより移動できるように構成してもよいし、あるいは洗浄液ノズル4とは独立して移動できる構成であってもよい。図6では、ガスノズル7は支持部71を介して洗浄液ノズル4に固定されている。ガスノズル7は、ガス供給路72例えばガス供給管を介してガス供給系73に接続されている。このガス供給系73は、ガス供給源、バルブ、流量調整部などを含んでおり、制御部5によりガスの供給制御が行われるようになっている。
(第3の実施の形態)
この実施の形態は、2本の洗浄液ノズルを用い、一方の洗浄液ノズルをウエハWの中心部への洗浄液供給用とし、他方の洗浄液ノズルを中心部から設定距離離れた位置への洗浄液供給用とした点が第1の実施の形態と異なる。以下に第1の実施の形態と異なる点を中心に洗浄工程を述べる。
(第4の実施の形態)
この実施の形態は、第2の実施の形態と第3の実施の形態とを組み合わせたものであり、要部の構成は図9に示すとおりである。この実施の形態では2本の洗浄液ノズル4、8を用いており、第2の実施の形態のように一方の洗浄液ノズル4についてウエハWの中心部に洗浄液を供給した後、供給位置が乾燥領域6の外に位置するという点を考慮しなくて済むことから、洗浄液ノズル4とガスノズル7とは接近して設けられ、例えば両者は共通の移動機構により移動できるようになっている。以下にこの例の洗浄工程について説明する。
(実験例)
実施例1:レジストが塗布され、露光が行われ、かつ現像が終了した後の12インチサイズのウエハについて、上述第2の実施の形態により洗浄を行った。
(現像装置を適用した塗布・現像装置の例)
最後に上述の現像装置が組み込まれ塗布・現像装置の一例の構成について図11及び図12を参照しながら簡単に説明する。図中B1は基板であるウエハWが例えば13枚密閉収納されたキャリアC1を搬入出するためのキャリア載置部であり、キャリアC1を複数個載置可能な載置部90aを備えたキャリアステーション90と、このキャリアステーション90から見て前方の壁面に設けられる開閉部91と、開閉部91を介してキャリアC1からウエハWを取り出すための受け渡し手段A1とが設けられている。
2 スピンチャック
23 現像液ノズル
28 ガイドレール
3 カップ体
4 洗浄液ノズル
42 洗浄液供給路
43 洗浄液供給系
44 ノズルアーム
45 移動基体
5 制御部
R 洗浄液
P パーティクル
Claims (12)
- 露光された基板の表面に現像液を供給して現像を行った後に基板の表面を洗浄する方法において、
基板を水平に保持した基板保持部を鉛直軸の回りに回転させながら基板の中心部に洗浄液を供給する工程と、
その後、基板保持部を回転させたまま、洗浄液の供給を停止するかまたは洗浄液の供給位置を基板の中心部から外側に移動することにより、洗浄液の乾燥領域を基板の中心部に発生させる工程と、
基板保持部を1500rpm以上の回転数で回転させた状態で、前記乾燥領域内に洗浄液を供給することなく、前記乾燥領域を基板の中心部から外に向かって広げる工程と、
前記基板の表面における前記乾燥領域の外側領域に洗浄液を供給する工程と、を含むことを特徴とする基板洗浄方法。 - 前記乾燥領域の外側領域に洗浄液を供給する工程を行った後、基板の周縁よりも中心部側に寄った位置であって、基板の中心部から予め設定された距離だけ外側に離れた位置において、当該洗浄液の供給を停止する工程を含むことを特徴とする請求項1記載の基板洗浄方法。
- 基板は、8インチサイズ以上の大きさの半導体ウエハであり、前記予め設定された距離は、基板の中心部より50mm以上、95mm以下の距離であることを特徴とする請求項2記載の基板洗浄方法。
- 前記乾燥領域の外側領域に洗浄液を供給する工程は、基板の中心部に洗浄液を供給したノズルにより行うことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一に記載の基板洗浄方法。
- 前記乾燥領域の外側領域に洗浄液を供給する工程は、基板の中心部に洗浄液を供給したノズルとは別のノズルにより行うことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一に記載の基板洗浄方法。
- 洗浄液の乾燥領域を基板の中心部に発生させる工程は、洗浄液の供給を停止するかまたは洗浄液の供給位置を基板の中心部から外側に移動することに加えて、ガスを基板の中心部に吹き付け、直ぐにその吹き付けを停止する工程を含むことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一に記載の基板洗浄方法。
- 露光された基板の表面に現像液ノズルにより現像液を供給して現像を行い、続いて当該基板の表面を洗浄する現像装置において、
基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部を鉛直軸の回りに回転させる回転機構と、
前記基板保持部に保持された基板の表面に洗浄液を供給する洗浄液ノズルと、
この洗浄液ノズルを移動させるためのノズル駆動機構と、
基板保持部を回転させながら前記洗浄液ノズルから基板の中心部に洗浄液を供給するステップと、洗浄液の供給位置を基板の中心部から外側に移動させることにより洗浄液の乾燥領域を基板の中心部に発生させるステップと、基板保持部を1500rpm以上の回転数で回転させた状態とすることにより前記乾燥領域を基板の中心部から外に向かって広げると共にその洗浄液の供給位置が乾燥領域に追いつかれない速度で洗浄液ノズルを基板の外側に向かって移動するステップと、を実行するように作成されたプログラムと、
を備えたことを特徴とする現像装置。 - 前記プログラムは、洗浄液ノズルを乾燥領域に追いつかれない速度で基板の外側に向かって移動するステップに加えて、基板の周縁よりも中心部側に寄った位置であって、基板の中心部から予め設定された距離だけ外側に離れた位置において、当該洗浄液ノズルからの洗浄液の供給を停止するステップを実行するように作成されていることを特徴とする請求項7記載の現像装置。
- ガスを基板に吹き付けるためのガスノズルを更に備え、
洗浄液の乾燥領域を基板の中心部に発生させるステップは、洗浄液の供給位置を基板の中心部から外側に移動させた直後にガスノズルからガスを基板の中心部に吹き付け、直ぐにその吹き付けを停止するステップであることを特徴とする請求項7または8に記載の現像装置。 - 露光された基板の表面に現像液ノズルにより現像液を供給して現像を行い、続いて当該基板の表面を洗浄する現像装置において、
基板を水平に保持する基板保持部と、
この基板保持部を鉛直軸の回りに回転させる回転機構と、
前記基板保持部に保持された基板の表面に洗浄液を供給する第1の洗浄液ノズル及び第2の洗浄液ノズルと、
基板保持部を回転させながら前記第1の洗浄液ノズルから基板の中心部に洗浄液を供給すると共に基板の中心部から予め設定された距離だけ外側に離れた位置に第2の洗浄液ノズルから洗浄液を供給するステップと、第1の洗浄液ノズルの洗浄液の供給を止めることにより洗浄液の乾燥領域を基板の中心部に発生させるステップと、基板保持部を1500rpm以上の回転数で回転させた状態とすることにより前記乾燥領域を基板の中心部から外に向かって広げるステップと、前記乾燥領域がその供給位置に到達する前に、第2の洗浄液ノズルの洗浄液の供給を止めるかあるいはその供給位置が乾燥領域に追いつかれない速度で当該第2の洗浄液ノズルを基板の外側に向かって移動するステップと、を実行するように作成されたプログラムと、
を備えたことを特徴とする現像装置。 - ガスを基板に吹き付けるためのガスノズルを更に備え、
洗浄液の乾燥領域を基板の中心部に発生させるステップは、第1の洗浄液ノズルの洗浄液の供給を止めた直後にガスノズルからガスを基板の中心部に吹き付け、直ぐにその吹き付けを停止するステップであることを特徴とする請求項10記載の現像装置。 - 基板は、8インチサイズ以上の大きさの半導体ウエハであり、前記予め設定された距離は、基板の中心部より50mm以上、95mm以下の距離であることを特徴とする請求項8、10または11記載の現像装置。
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