JPH11226475A - 処理液吐出ノズルおよび基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カップの性能を維持しつつ処理液の吐出開始
時の衝撃による処理不良を防止することができる処理液
吐出ノズルおよびそれを備えた基板処理装置を提供する
ことである。 【解決手段】 現像液吐出ノズル１０のノズル本体部２
０は上部材１１、シート状パッキン１３および下部材１
２をボルト１４，１５で接合することにより構成され
る。下部材１２の下面には複数の吐出口２２が設けられ
ている。下部材１２の下面におけるカップ側の縁部に沿
って切り欠き凹所２３が形成されている。下部材１２の
下面の切り欠き凹所２３をカップのテーパ部の内側縁部
の上方に位置させ、複数の吐出口２２を基板の外周部と
カップのテーパ部の内側縁部との間に位置させた状態で
現像液の吐出を開始する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、処理液を吐出する
処理液吐出ノズルおよびそれを備えた基板処理装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基
板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の
基板に所定の処理を行うために基板処理装置が用いられ
る。基板処理装置には、現像装置、塗布装置、洗浄装置
等がある。

【０００３】現像装置では、基板上に形成された感光性
膜に処理液として現像液を供給することにより現像処理
を行う。塗布装置では、基板の表面に処理液としてフォ
トレジスト液等の塗布液を供給することにより塗布処理
を行う。洗浄装置では、基板の表面に処理液として洗浄
液を供給することにより洗浄処理を行う。

【０００４】このような基板処理装置では、基板上に供
給された処理液が周囲に飛散することを防止するために
基板の周囲を取り囲むように処理液飛散防止用のカップ
が設けられている。

【０００５】図１２は従来の回転式現像装置の主要部の
構成を示す模式図である。図１２の現像装置は、基板１
００を保持する基板保持部１を備える。基板保持部１
は、モータ２の回転軸３の先端部に水平に固定され、鉛
直方向の軸の周りで回転駆動される。基板保持部１に保
持された基板１００の周囲を取り囲むように飛散防止用
のカップ５０が設けられている。カップ５０の上端部に
は、内側に傾斜したテーパ部５０ａが形成されている。
それにより、カップ５０内に浮遊する現像液のミスト
（液体粒子）が外部に漏れ出ることが阻止される。

【０００６】また、現像液吐出ノズル９０が、水平面内
で回動自在に設けられたノズルアーム（図示せず）の先
端に取り付けられており、カップ５０内の基板保持部１
に保持された基板１００の上方位置とカップ５０外の待
機位置との間で移動可能に構成されている。

【０００７】現像処理時には、現像液吐出ノズル９０が
カップ５０外の待機位置からカップ５０内の基板１００
の上方位置に移動した後、基板１００上の感光性膜に現
像液を供給する。供給された現像液は、基板１００の回
転によって基板１００の全面に塗り広げられ、感光性膜
と接触する。表面張力により基板１００上に現像液を保
持した状態（液盛り）で一定時間基板１００を静止させ
ることにより感光性膜の現像が行われる。現像液の供給
が終了すると、現像液吐出ノズル９０はノズルアームの
回動によりカップ５０内の基板１００の上方位置からカ
ップ５０外の待機位置に移動する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来の現像装置
では、回転する基板１００に吐出開始時の現像液が当た
ることにより基板１００上の感光性膜が大きな衝撃を受
ける。その衝撃で現像液中に気泡が生じ、感光性膜の表
面に残留する微小な気泡が現像欠陥となる場合がある。
また、吐出開始時の現像液による衝撃で感光性膜が損傷
するおそれもある。

【０００９】そこで、基板の上方から外れた位置で現像
液吐出ノズルによる現像液の吐出を開始し、現像液を吐
出しながら現像液吐出ノズルを基板上に移動させること
により、吐出開始時の現像液による衝撃が基板に加わる
ことを防止することが提案されている。

【００１０】一方、基板上に均一に現像液を供給するた
めに複数の吐出口を有する現像液吐出ノズルが提案され
ている。図１３（ａ），（ｂ）は複数の吐出口を有する
現像液吐出ノズルのそれぞれ正面図および底面図であ
る。図１３に示すように、現像液吐出ノズル６０の下面
には、複数の吐出口６１が一直線状に配列されている。

【００１１】このような現像液吐出ノズル６０のノズル
本体部６５は、図１４に示すように、上部材６２と下部
材６３とを接合することにより構成される。上部材６２
と下部材６３との接合の際には現像液と反応する接着剤
を用いることができないため、上部材６２と下部材６３
との間にシート状パッキン６４を挟み込んで上部材６
２、シート状パッキン６４および下部材６３を複数のボ
ルト６６，６７で接合する方法が用いられる。

【００１２】この方法では、ノズル本体部６５の縁部の
近くにボルト６６，６７を挿入する領域が必要となるた
め、吐出口６１を下部材６３の下面の縁部近傍に形成す
ることができない。それにより、現像液吐出ノズル６０
をカップ５０のテーパ部５０ａの内側縁部の近くまで移
動させた場合でも、現像液吐出ノズル６０の吐出口６１
から吐出される現像液を基板１００外に滴下することが
できない。

【００１３】そこで、カップ５０の開口部の径を拡大す
ることにより、基板１００の外周部とテーパ部５０ａの
内側縁部との間の隙間を広げると、現像液吐出ノズル６
０の吐出口６１を基板１００の外周部とカップ５０のテ
ーパ部５０ａの内側縁部との間に位置させることが可能
となる。しかしながら、この場合、カップ５０内の現像
液のミストがカップ５０外に漏れ出ることを十分に防止
することができず、カップ５０の性能が損なわれること
になる。

【００１４】本発明の目的は、カップの性能を維持しつ
つ処理液の吐出開始時の衝撃による処理不良を防止する
ことができる処理液吐出ノズルおよびそれを備えた基板
処理装置を提供することである。

【００１５】

【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明に係る処理液吐出ノズルは、カップ内に保持された
基板に処理液を吐出する処理液吐出ノズルであって、下
面に処理液吐出口を有するノズル本体部を備え、処理液
吐出口が基板の外周部とカップの内側縁部との間に位置
した状態でカップの内側縁部の上方に位置するようにノ
ズル本体部の下面におけるカップ側の縁部に沿って凹所
が設けられたものである。

【００１６】本発明に係る処理液吐出ノズルにおいて
は、ノズル本体部の下面におけるカップ側の縁部に沿っ
て凹所が設けられているので、基板の外周部とカップの
内側縁部との間の隙間が狭い場合でも、カップの内側縁
部の上方にノズル本体部の凹所を位置させることによ
り、処理液吐出口を基板の外周部とカップの内側縁部と
の間に位置させることができる。それにより、吐出開始
時に処理液を基板の外周部とカップの内側縁部との間に
滴下することができる。

【００１７】したがって、カップの開口部を拡大するこ
となく、吐出開始時の処理液による衝撃が基板の表面に
加わることを防止することができる。その結果、カップ
の性能を維持しつつ処理液の吐出開始時の衝撃による処
理不良を防止することが可能となる。

【００１８】第２の発明に係る処理液吐出ノズルは、第
１の発明に係る処理液吐出ノズルの構成において、ノズ
ル本体部は、処理液入口が設けられた上部材と、処理液
吐出口が設けられた下部材と、上部材と下部材との間に
挟み込まれるシート状パッキンとを備え、下部材の下面
におけるカップ側の縁部に沿って凹所が形成され、上部
材、シート状パッキンおよび下部材が凹所の位置および
処理液吐出口よりも基板側の位置でねじ部材により接合
されたものである。

【００１９】この場合、上部材と下部材とをシート状パ
ッキンを挟んでねじ部材により接合することによりノズ
ル本体部が構成されるので、処理液と接着剤との反応の
問題が生じない。特に、凹所の位置にねじ部材が設けら
れるので、処理液吐出口が基板の外周部とカップの内側
縁部との間に位置した状態でねじ部材がカップの内側縁
部の上方に位置することになる。したがって、ねじ部材
に妨げられることなく吐出開始時に処理液を基板の外周
部とカップの内側縁部との間に滴下することが可能とな
る。

【００２０】第３の発明に係る処理液吐出ノズルは、第
１または第２の発明に係る処理液吐出ノズルの構成にお
いて、処理液吐出口が複数の孔状吐出口であることを特
徴とする。

【００２１】この場合、基板の外周部とカップの内側縁
部との間で複数の孔状吐出口からの処理液の吐出を開始
させ、処理液を吐出しながら複数の孔状吐出口を基板の
表面に近接させた状態で処理液吐出ノズルを基板上へ移
動させることができる。したがって、基板の表面に衝撃
を与えることなく基板の表面に処理液を均一に供給する
ことができる。

【００２２】第４の発明に係る処理液吐出ノズルは、第
１または第２の発明に係る処理液吐出ノズルの構成にお
いて、処理液吐出口がスリット状吐出口であることを特
徴とする。

【００２３】この場合、基板の外周部とカップの内側縁
部との間でスリット状吐出口からの処理液の吐出を開始
させ、処理液を吐出しながらスリット状吐出口を基板の
表面に近接させた状態で処理液吐出ノズルを基板上へ移
動させることができる。したがって、基板の表面に衝撃
を与えることなく基板の表面に処理液を均一に供給する
ことができる。

【００２４】第５の発明に係る基板処理装置は、基板に
所定の処理を行う基板処理装置であって、基板を保持す
る基板保持手段と、基板保持手段に保持された基板の周
囲を取り囲むように配設されたカップと、基板保持手段
に保持された基板の上方の位置とカップ外の待機位置と
の間で移動可能に設けられ、下面に処理液を吐出する処
理液吐出口を有する処理液吐出ノズルとを備え、処理液
吐出ノズルの処理液吐出口が基板の外周部とカップの内
側縁部との間に位置した状態でカップの内側縁部の上方
に位置するように処理液吐出ノズルの下面におけるカッ
プ側の縁部に沿って凹所が設けられたものである。

【００２５】本発明に係る基板処理装置においては、基
板保持手段に保持された基板の周囲を取り囲むようにカ
ップが配設され、処理液吐出ノズルが基板保持手段に保
持された基板の上方の位置とカップ外の待機位置との間
で移動可能に設けられている。

【００２６】特に、処理液吐出ノズルの下面におけるカ
ップ側の縁部に沿って凹所が設けられているので、基板
の外周部とカップの内側縁部との間の隙間が狭い場合で
も、カップの内側縁部の上方に処理液吐出ノズルの凹所
を位置させることにより、処理液吐出口を基板の外周部
とカップの内側縁部との間に位置させることができる。
それにより、吐出開始時に処理液を基板の外周部とカッ
プの内側縁部との間に滴下することができる。

【００２７】したがって、カップの開口部を拡大するこ
となく、吐出開始時の処理液による衝撃が基板の表面に
加わることを防止することができる。その結果、カップ
の性能を維持しつつ処理液の吐出開始時の衝撃による処
理不良を防止することが可能となる。

【００２８】第６の発明に係る基板処理装置は、第５の
発明に係る基板処理装置の構成において、基板保持手段
を回転駆動する駆動手段と、基板保持手段に保持された
基板の外周部とカップの内側縁部との間に処理液吐出ノ
ズルの処理液吐出口が位置する状態で処理液の吐出を開
始させ、駆動手段により基板保持手段を回転駆動しつつ
処理液吐出ノズルを基板上へ移動させる制御手段とをさ
らに備えたものである。

【００２９】この場合、吐出開始時の処理液を基板の外
周部とカップの内側縁部との間に滴下した後、処理液吐
出ノズルが処理液を吐出しながら回転する基板上へ移動
する。それにより、基板の表面の全体に均一に処理液を
供給することができる。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る基板処理装置
の一例として現像装置について説明する。

【００３１】図１は本発明の一実施例における現像装置
の主要部の断面図、図２は図１の現像装置の平面図であ
る。

【００３２】図１に示すように、現像装置は、基板１０
０を水平姿勢で吸引保持する基板保持部１を備える。基
板保持部１はモータ２の回転軸３の先端部に固定され、
鉛直方向の軸の周りで回転可能に構成されている。

【００３３】基板保持部１の周囲には、基板１００を取
り囲むように処理液飛散防止用のカップ４，５が配設さ
れている。カップ５は固定されており、カップ４はカッ
プ駆動部（図示せず）により上下動自在に設けられてい
る。このカップ４は、内方に傾斜するテーパ部４ａと、
そのテーパ部４ａの外側上方を取り囲む円筒状のスプラ
ッシュガード４ｂとを有する。

【００３４】図２に示すように、カップ４外の待機位置
には待機ポット６が配置されている。また、ノズルアー
ム７がアーム駆動部８により水平面内で回動可能に設け
られている。ノズルアーム７の先端部の下面側には現像
液吐出ノズル１０が取り付けられており、ノズルアーム
７の回動により現像液吐出ノズル１０が矢印Ｒで示すよ
うにカップ４内の基板１００の上方位置と待機ポット６
の位置とで移動可能となっている。

【００３５】現像液吐出ノズル１０の移動経路における
スプラッシュガード４ｂの部分には、現像液吐出ノズル
１０の通過を可能にするように切り欠き部４ｃが設けら
れている。現像液吐出ノズル１０には、現像液供給系
（図示せず）から処理液として現像液が供給される。

【００３６】図１の制御部９は、モータ２の回転動作、
アーム駆動部８による現像液吐出ノズル１０の移動、現
像液吐出ノズル１０からの現像液の吐出およびカップ駆
動部によるカップ４の上下動を制御する。

【００３７】現像処理時には、モータ２により基板１０
０を回転させつつ現像液吐出ノズル１０が基板１００の
外周部とカップ４のテーパ部４ａとの間の位置から回転
する基板１００の中心部まで現像液を吐出しながら移動
する。

【００３８】図３（ａ），（ｂ），（ｃ）は現像液吐出
ノズル１０のそれぞれ正面図、底面図および側面図であ
る。また、図４（ａ），（ｂ），（ｃ）は図３（ａ）の
現像液吐出ノズル１０のそれぞれＡ−Ａ線断面図、Ｂ−
Ｂ線断面図およびＣ−Ｃ線断面図である。

【００３９】以下、現像液吐出ノズル１０が基板１００
の外周部とカップ４のテーパ部４ａの内側縁部との間に
位置する状態でカップ４側を矢印Ｘで示し、基板１００
側を矢印Ｙで示す。

【００４０】図３に示すように、現像液吐出ノズル１０
は、上部材１１および下部材１２を備え、上部材１１と
下部材１２とがシート状パッキン１３を挟んでボルト１
４，１５で接合されている。これらの上部材１１、シー
ト状パッキン１３および下部材１２によりノズル本体部
２０が構成される。

【００４１】ノズル本体部２０の上面には液入口２１が
設けられ、下面には複数の吐出口２２が設けられてい
る。複数の吐出口２２のうち少なくとも一部の吐出口２
２は、基板１００の外周部に沿うように円弧状に配列さ
れている。

【００４２】また、下部材１２の下面におけるカップ４
側の縁部に沿って切り欠き凹所２３が設けられている。
これにより、ノズル本体部２０の吐出口２２よりもカッ
プ４側の部分の厚みが他の部分の厚みよりも薄くなるよ
うにノズル本体部２０の底面が段差状に形成されてい
る。

【００４３】上部材１１の一端部の近くには、図４
（ａ）に示すように、液入口２１から現像液が導入され
る液導入部２４が設けられている。図４（ａ），
（ｂ），（ｃ）に示すように、下部材１２には、一端部
側から他端部側に延びる液溜まり部２５、および各吐出
口２２から上方に延びる管状の吐出流路２７，２７ａが
形成されている。

【００４４】特に、図４（ｃ）に示すように、一部の吐
出流路２７ａの上端は、上部材１１に設けられた管状の
上部流路２８を介して液溜まり部２５の上端に連通して
いる。残りの複数の吐出流路２７の上端は、図４
（ａ），（ｂ）に示すように、斜め下方に延びる管状の
傾斜流路２６を介して液溜まり部２５の下端に連通して
いる。本実施例では、２つの吐出流路２７ａが上部流路
２８を介して液溜まり部２５に連通している。

【００４５】図５（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は現
像液吐出ノズル１０における上部材１１のそれぞれ平面
図、正面図、底面図およびＤ−Ｄ線断面図である。

【００４６】図５に示すように、上部材１１には上下に
貫通する液導入部２４が形成されている。この上部材１
１の下面には、上部流路２８を構成する２つの溝部２８
ａが形成されている。また、上部材１１のカップ４側の
縁部に沿ってボルト１４を挿入するための複数のねじ孔
３１が形成され、基板１００側の縁部に沿ってボルト１
５を挿入するための複数のねじ孔３２が形成されてい
る。

【００４７】図６（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），
（ｅ）は現像液吐出ノズル１０における下部材１２のそ
れぞれ平面図、正面図、底面図、Ｅ−Ｅ線断面図および
Ｆ−Ｆ線断面図である。

【００４８】図６に示すように、下部材１２の上面に
は、液溜まり部２５を構成する凹部２５ａが形成されて
いる。また、下部材１２の下面には、複数の吐出口２２
が形成されている。さらに、複数の吐出口２２から上面
に貫通する複数の吐出流路２７，２７ａが形成されてい
る。また、下部材１２には、２つの吐出流路２７ａを除
く残りの吐出流路２７と凹部２５ａの下端とを結合する
傾斜流路２６が形成されている。下部材１２の下面に
は、カップ４側の縁部に沿って切り欠き凹所２３が形成
されている。

【００４９】下部材１２のカップ４側の縁部に沿ってボ
ルト１４を挿入するための複数のねじ孔３３が形成さ
れ、基板１００側の縁部に沿ってボルト１５を挿入する
ための複数のねじ孔３４が形成されている。

【００５０】図７はシート状パッキン１３の平面図であ
る。図７に示すように、シート状パッキン１３には、上
部材１１の液導入部２４と下部材１２の凹部２５ａとを
連通させる連通孔３６、上部材１１の溝部２８ａと下部
材１２の凹部２５ａとを連通させる連通孔３５および上
部材１１の溝部２８ａと下部材１２の吐出流路２７ａと
を連通させる連通孔３７が設けられている。

【００５１】また、シート状パッキン１３のカップ４側
の縁部に沿ってボルト１４を挿入するための複数のねじ
孔３８が形成され、基板１００側の縁部に沿ってボルト
１５を挿入するための複数のねじ孔３９が設けられてい
る。

【００５２】図５の上部材１１の下面と図６の下部材１
２の上面との間に図７のシート状パッキン１３を挟み込
んでねじ孔３１，３８，３３にボルト１４を通しかつね
じ孔３２，３９，３４にボルト１５を通して上部材１
１、シート状パッキン１３および下部材１２を連結する
ことにより、図４に示した液溜まり部２５および上部流
路２８が構成される。

【００５３】本実施例では、基板保持部１が基板保持手
段に相当し、現像液吐出ノズル１０が処理液吐出ノズル
に相当し、制御部９が制御手段に相当する。

【００５４】図８および図９は現像液吐出ノズル１０の
吐出口２２を基板１００の外周部とカップ４のテーパ部
４ａの内側縁部との間に配置した場合のそれぞれ平面図
および正面図である。

【００５５】本実施例の現像液吐出ノズル１０において
は、現像液吐出ノズル１０の下面のカップ４側の縁部に
沿って切り欠き凹所２３が設けられているので、基板１
００の外周部とカップ４のテーパ部４ａの内側縁部との
間の隙間が狭い場合でも、図９に示すように、切り欠き
凹所２３をテーパ部４ａの内側縁部の上部に位置させる
ことにより吐出口２２を基板１００の外周部とカップ４
のテーパ部４ａの内側縁部との間に配置することができ
る。

【００５６】また、複数の吐出口２２の少なくとも一部
が基板１００の外周部に沿うように円弧状に配列されて
いるので、基板１００の外周部とカップ４のテーパ部４
ａとの間の隙間が狭い場合でも、図８に示すように、す
べての吐出口２２を基板１００の外周部とカップ４のテ
ーパ部４ａの内側縁部との間に配置することが可能とな
る。

【００５７】したがって、現像液吐出ノズル１０による
現像液の吐出開始時に、現像液を基板１００とカップ４
との間の隙間に滴下し、現像液を吐出しながら現像液吐
出ノズル１０を回転する基板１００上へ移動させること
ができる。それにより、吐出開始時の現像液による衝撃
が基板１００上の感光性膜に加わることを防止しつつ基
板１００の表面の全体に現像液を均一に供給することが
できる。

【００５８】また、カップ４のテーパ部４ａに切り欠き
を設けたり、カップ４の開口部の径を拡大する必要がな
いので、カップ４の性能を維持することができ、カップ
４内の現像液のミストがカップ４外に漏れ出ることや風
切り現象による現像むらが発生することを防止すること
ができる。これらの結果、均一な現像処理を行うことが
できる。さらに、カップ４の寸法を小さくし、現像装置
全体を小型化することも可能となる。

【００５９】また、本実施例の現像液吐出ノズル１０に
おいては、図４（ｂ）に示したように、複数の吐出流路
２７の上端が傾斜流路２６を介して液溜まり部２５の下
端に連通しているので、気泡が吐出口２２から液溜まり
部２５に侵入しにくくなっている。液溜まり部２５に気
泡が侵入した場合には、その気泡は液溜まり部２５の上
部に溜まるため、傾斜流路２６を通して吐出口２２から
抜けにくくなる。特に、液溜まり部２５の端部および液
導入部２４の付近に気泡が溜まりやすくなる。しかし、
図４（ｃ）に示したように、液溜まり部２５の端部およ
び液導入部２４の付近の吐出流路２７ａが上部流路２８
を介して液溜まり部２５の上端に連通しているので、液
溜まり部２５の上部に溜まった気泡を上部流路２８およ
び吐出流路２７ａを通して吐出口２２から容易に抜き出
すことができる。

【００６０】したがって、現像液の吐出時に気泡が混入
した現像液を吐出することや、現像液の吐出終了時に気
泡が膨張等を起こして液垂れが発生することを防止する
ことができる。それにより、気泡の混入による現像欠陥
の発生を回避することができる。

【００６１】なお、本実施例の現像液吐出ノズル１０で
は、複数の吐出口２２の一部が基板１００の外周部に沿
うように円弧状に配列されているが、複数の吐出口２２
の全てを基板１００の外周部に沿うように円弧状に配列
してもよい。また、複数の吐出口２２の少なくとも一部
を基板１００の外周部にほぼ沿うように階段状に配列し
てもよい。

【００６２】図１０は本発明の他の実施例における現像
装置の平面図である。図１０の現像装置においては、ノ
ズルアーム７の先端部の下面側に２つの現像液吐出ノズ
ル１０ａ，１０ｂが取り付けられている。一方の現像液
吐出ノズル１０ａの下面には、基板１００の一方側の外
周部に沿うように複数の吐出口２２が円弧状に配列され
ている。また、他方の現像液吐出ノズル１０ｂの下面に
は、基板１００の他方側の外周部に沿うように複数の吐
出口２２が円弧状に配列されている。

【００６３】本実施例の現像装置では、２種類の現像液
を使用することができる。現像液吐出ノズル１０ａを用
いる場合には、現像液吐出ノズル１０ａから現像液を吐
出しつつ、矢印Ｒ１で示すように、ノズルアーム７の先
端部を基板１００の一方側の外周部から中心部へ移動さ
せ、他方の現像液吐出ノズル１０ｂを用いる場合には、
現像液吐出ノズル１０ｂから現像液を吐出しつつ、矢印
Ｒ２で示すように、ノズルアーム７の先端部を基板１０
０の他方側の外周部から中心部へ移動させる。

【００６４】本実施例の現像装置においても、カップ４
の性能を維持しつつ吐出開始時の現像液による衝撃が基
板１００上の感光性膜に加わることを防止し、基板１０
０の表面の全体に現像液を均一に供給することができ
る。また、カップ４の寸法を小さくし、現像装置全体を
小型化することも可能となる。さらに、気泡の混入によ
る現像欠陥の発生を防止することができる。

【００６５】なお、上記実施例では、複数の吐出口２２
を有する現像液吐出ノズル１０，１０ａ，１０ｂについ
て説明したが、本発明はスリット状吐出口を有する現像
液吐出ノズルにも適用することができる。

【００６６】図１１（ａ），（ｂ），（ｃ）はスリット
状吐出口を有する現像液吐出ノズルのそれぞれ正面図、
底面図および側面図である。

【００６７】図１１に示す現像液吐出ノズル１１０も、
図３の現像液吐出ノズル１０と同様に、上部材１１と下
部材１２とを備え、上部材１１と下部材１２とがシート
状パッキン１３を挟んでボルト１４，１５で接合されて
いる。

【００６８】現像液吐出ノズル１１０の下部材１２の下
面にはスリット状吐出口４０が設けられている。スリッ
ト状吐出口４０は、基板１００の外周部に沿うように円
弧状に形成されている。また、現像液吐出ノズル１１０
の下部材１２の下面におけるカップ４側の縁部に沿って
切り欠き凹所２３が設けられている。

【００６９】図１１の現像液吐出ノズル１１０の他の部
分の構成は、図３の現像液吐出ノズル１０の構成と同様
である。

【００７０】図１１の現像液吐出ノズル１１０において
も、スリット状吐出口４０の全体を基板１００の外周部
とカップ４のテーパ部４ａの内側縁部との間に配置する
ことができ、吐出開始時の現像液を基板１００の外周部
とカップ４のテーパ部４ａの内側端部との間の隙間に滴
下することができる。

【００７１】図１１の現像液吐出ノズル１１０では、ス
リット状吐出口４０の全体が基板１００の外周部に沿う
ように円弧状に形成されているが、スリット状吐出口４
０の一部を基板１００の外周部に沿うように円弧状に形
成してもよい。また、スリット状吐出口４０の少なくと
も一部を基板１００の外周部にほぼ沿うように階段状に
形成してもよい。

【００７２】なお、上記実施例では、本発明を現像液吐
出ノズルおよび現像装置に適用した場合を説明したが、
本発明は、例えばレジスト液等の塗布液を吐出する塗布
液吐出ノズルおよびそれを用いた塗布装置など、他の処
理液吐出ノズルおよびそれを用いた基板処理装置にも適
用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における現像装置の主要部の
断面図である。

【図２】図１の現像装置の平面図である。

【図３】図１の現像装置に用いられる現像液吐出ノズル
の正面図、底面図および側面図である。

【図４】図３の現像液吐出ノズルのＡ−Ａ線断面図、Ｂ
−Ｂ線断面図およびＣ−Ｃ線断面図である。

【図５】現像液吐出ノズルにおける上部材の平面図、正
面図、底面図およびＤ−Ｄ線断面図である。

【図６】現像液吐出ノズルにおける下部材の平面図、正
面図、底面図、Ｅ−Ｅ線断面図およびＦ−Ｆ線断面図で
ある。

【図７】現像液吐出ノズルにおけるシート状パッキンの
平面図である。

【図８】現像液吐出ノズルの吐出口を基板の外周部とカ
ップのテーパ部の内側縁部との間に配置した状態を示す
平面図である。

【図９】現像液吐出ノズルの吐出口を基板の外周部とカ
ップのテーパ部の内側縁部との間に配置した状態を示す
正面図である。

【図１０】本発明の他の実施例における現像装置の平面
図である。

【図１１】スリット状吐出口を有する現像液吐出ノズル
の正面図、底面図および側面図である。

【図１２】従来の現像装置の主要部の構成を示す模式図
である。

【図１３】複数の吐出口を有する現像液吐出ノズルの正
面図および底面図である。

【図１４】図１３の現像液吐出ノズルをカップのテーパ
部の内側縁部の近傍に移動させた状態を示す正面図であ
る。

【符号の説明】

１ 基板保持部 ２ モータ ４ カップ ４ａ テーパ部 ７ ノズルアーム ８ アーム駆動部 １０，１０ａ，１０ｂ，１１０ 現像液吐出ノズル １１ 上部材 １２ 下部材 １３ シート状パッキン １４，１５ ボルト ２１ 液入口 ２２ 吐出口 ２３ 切り欠き凹所 ２４ 液導入部 ２５ 液溜まり部 ２６ 傾斜流路 ２７，２７ａ 吐出流路 ２８ 上部流路

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カップ内に保持された基板に処理液を吐
   出する処理液吐出ノズルであって、下面に処理液吐出口
   を有するノズル本体部を備え、前記処理液吐出口が基板
   の外周部と前記カップの内側縁部との間に位置した状態
   で前記カップの内側縁部の上方に位置するように前記ノ
   ズル本体部の下面における前記カップ側の縁部に沿って
   凹所が設けられたことを特徴とする処理液吐出ノズル。
2. 【請求項２】 前記ノズル本体部は、処理液入口が設け
   られた上部材と、前記処理液吐出口が設けられた下部材
   と、前記上部材と前記下部材との間に挟み込まれるシー
   ト状パッキンとを備え、 前記下部材の下面における前記カップ側の縁部に沿って
   前記凹所が形成され、前記上部材、前記シート状パッキ
   ンおよび前記下部材が前記凹所の位置および前記処理液
   吐出口よりも基板側の位置でねじ部材により接合された
   ことを特徴とする請求項１記載の処理液吐出ノズル。
3. 【請求項３】 前記処理液吐出口が複数の孔状吐出口で
   あることを特徴とする請求項１または２記載の処理液吐
   出ノズル。
4. 【請求項４】 前記処理液吐出口がスリット状吐出口で
   あることを特徴とする請求項１または２記載の処理液吐
   出ノズル。
5. 【請求項５】 基板に所定の処理を行う基板処理装置で
   あって、 基板を保持する基板保持手段と、 前記基板保持手段に保持された基板の周囲を取り囲むよ
   うに配設されたカップと、 前記基板保持手段に保持された基板の上方の位置と前記
   カップ外の待機位置との間で移動可能に設けられ、下面
   に処理液を吐出する処理液吐出口を有する処理液吐出ノ
   ズルとを備え、 前記処理液吐出ノズルの前記処理液吐出口が基板の外周
   部と前記カップの内側縁部との間に位置した状態で前記
   カップの内側縁部の上方に位置するように前記処理液吐
   出ノズルの下面における前記カップ側の縁部に沿って凹
   所が設けられたことを特徴とする基板処理装置。
6. 【請求項６】 前記基板保持手段を回転駆動する駆動手
   段と、 前記基板保持手段に保持された基板の外周部と前記カッ
   プの内側縁部との間に前記処理液吐出ノズルの前記処理
   液吐出口が位置する状態で処理液の吐出を開始させ、前
   記駆動手段により前記基板保持手段を回転駆動しつつ前
   記処理液吐出ノズルを基板上へ移動させる制御手段とを
   さらに備えたことを特徴とする請求項５記載の基板処理
   装置。