JP3374519B2 - 回転塗布装置 - Google Patents
回転塗布装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、回転塗布方式にて、ガ
ラス基板、プラスチック基板等の板状のワーク面に、感
光液やフォトレジスト液、あるいはコーティング液等の
樹脂液を塗布するための回転塗布装置に関する。
ラス基板、プラスチック基板等の板状のワーク面に、感
光液やフォトレジスト液、あるいはコーティング液等の
樹脂液を塗布するための回転塗布装置に関する。
【0002】
【従来の技術】ガラス基板、プラスチック基板等の板状
のワーク面に、感光液やコーティング液等の塗布液を塗
布するための従来のスピンコーターなどの回転塗布装置
は、円筒状の側板と、該側板下端に排液管と、底板とか
らなる塗布カップ部内に、ガラス基板等の板状のワーク
を保持して、電動モーターにて駆動回転する水平回転テ
ーブルを備えている。
のワーク面に、感光液やコーティング液等の塗布液を塗
布するための従来のスピンコーターなどの回転塗布装置
は、円筒状の側板と、該側板下端に排液管と、底板とか
らなる塗布カップ部内に、ガラス基板等の板状のワーク
を保持して、電動モーターにて駆動回転する水平回転テ
ーブルを備えている。
【0003】水平回転テーブル上にワークを取付け保持
した後、所定回転数にて、水平回転テーブルを回転さ
せ、塗布カップ部内の水平回転テーブル上方に進入動作
した供給ノズルより、回転するワーク面上に、塗布液を
供給滴下し、ワーク面上に滴下された塗布液を、ワーク
面上で均一になるように、回転遠心力によって拡張させ
て塗布するものである。
した後、所定回転数にて、水平回転テーブルを回転さ
せ、塗布カップ部内の水平回転テーブル上方に進入動作
した供給ノズルより、回転するワーク面上に、塗布液を
供給滴下し、ワーク面上に滴下された塗布液を、ワーク
面上で均一になるように、回転遠心力によって拡張させ
て塗布するものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記回転塗布装置にお
いては、供給された塗布液の大部分は、遠心力によって
ワーク面より外側に水平方向に飛散し、円筒状の側板内
面に付着して、乾燥固化し、装置内部に固形物として付
着残存し、回転塗布装置内部を汚損する。
いては、供給された塗布液の大部分は、遠心力によって
ワーク面より外側に水平方向に飛散し、円筒状の側板内
面に付着して、乾燥固化し、装置内部に固形物として付
着残存し、回転塗布装置内部を汚損する。
【0005】このような回転塗布装置内に発生する飛散
した塗布液による付着固形物は、装置の故障原因になる
とともに、付着固形物が剥離して、ワーク面に再付着し
たりすると、塗布膜厚の均一性に影響を与えるものであ
る。
した塗布液による付着固形物は、装置の故障原因になる
とともに、付着固形物が剥離して、ワーク面に再付着し
たりすると、塗布膜厚の均一性に影響を与えるものであ
る。
【0006】そのため、回転塗布装置内で飛散して付着
する塗布液や固形物は、一定期間をおいて除去しなけれ
ばならないが、除去操作においては、当該装置、及びそ
れに付帯する生産設備を一旦停止させなければならない
し、一旦乾燥固化した固形物は、溶解除去にかなりの時
間と手間が掛かるものであった。
する塗布液や固形物は、一定期間をおいて除去しなけれ
ばならないが、除去操作においては、当該装置、及びそ
れに付帯する生産設備を一旦停止させなければならない
し、一旦乾燥固化した固形物は、溶解除去にかなりの時
間と手間が掛かるものであった。
【0007】本発明は、回転塗布装置内に付着した塗布
液を、乾燥固化する以前に、自動的に洗浄除去すること
ができるようにすることにある。
液を、乾燥固化する以前に、自動的に洗浄除去すること
ができるようにすることにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、塗布カップ部
Aと、該塗布カップ部A内にて、ワークwを回転させる
ワーク保持回転部Bと、前記塗布カップ部Aの上部開口
部を施蓋する施蓋部Cと、塗布カップ部A内に進入及び
後退動作する塗布液供給部Dとを備えた回転塗布装置に
おいて、施蓋部Cが塗布カップ部Aの上部開口部を施蓋
した際に、塗布カップ部Aの側板1と係合して一体的に
水平回転可能であり且つ塗布カップ部A内に洗浄液を供
給する洗浄液供給水平盤23を備え、施蓋部Cが塗布カ
ップ部Aの上部開口部を施蓋した際における前記水平盤
23周端部23aと、塗布カップ部Aの側板1上端内周
1aとの間に、洗浄液を側板1内面に沿って流下させる
間隙部Eが形成されるようにしたことを特徴とする回転
塗布装置である。
Aと、該塗布カップ部A内にて、ワークwを回転させる
ワーク保持回転部Bと、前記塗布カップ部Aの上部開口
部を施蓋する施蓋部Cと、塗布カップ部A内に進入及び
後退動作する塗布液供給部Dとを備えた回転塗布装置に
おいて、施蓋部Cが塗布カップ部Aの上部開口部を施蓋
した際に、塗布カップ部Aの側板1と係合して一体的に
水平回転可能であり且つ塗布カップ部A内に洗浄液を供
給する洗浄液供給水平盤23を備え、施蓋部Cが塗布カ
ップ部Aの上部開口部を施蓋した際における前記水平盤
23周端部23aと、塗布カップ部Aの側板1上端内周
1aとの間に、洗浄液を側板1内面に沿って流下させる
間隙部Eが形成されるようにしたことを特徴とする回転
塗布装置である。
【0009】また、本発明は、上記発明において、前記
側壁1上端に、側壁1上端内周1aより大きい径の内周
を有する凸堤部1bを備える回転塗布装置である。
側壁1上端に、側壁1上端内周1aより大きい径の内周
を有する凸堤部1bを備える回転塗布装置である。
【0010】また、本発明は、上記発明において、前記
側板1下端に排液孔3を備え、該排液孔3より外側に排
液管3aを備え、該排液管3aより排出される排液を回
収する排液回収路4を備える回転塗布装置である。
側板1下端に排液孔3を備え、該排液孔3より外側に排
液管3aを備え、該排液管3aより排出される排液を回
収する排液回収路4を備える回転塗布装置である。
【0011】また、本発明は、上記発明において、前記
側板1下端に排液孔3を備え、該排液孔3より下側の側
板1外周に沿って、排液導出用のフランジ部8を張出し
て備え、該フランジ部8より排出される排液を回収する
排液回収路4を備える回転塗布装置である。
側板1下端に排液孔3を備え、該排液孔3より下側の側
板1外周に沿って、排液導出用のフランジ部8を張出し
て備え、該フランジ部8より排出される排液を回収する
排液回収路4を備える回転塗布装置である。
【0012】また、本発明は、上記発明において、前記
排液回収路4内に洗浄液を送流する補助供給管6を備え
る回転塗布装置である。
排液回収路4内に洗浄液を送流する補助供給管6を備え
る回転塗布装置である。
【0013】
【実施例】本発明の回転塗布装置を、図1の実施例に従
って説明すれば、側板1と、側板1下端に排液管3と、
底板2とからなる塗布カップ部Aと、底板2中央下方に
備える軸受11と、該軸受11に回転可能に軸支した垂
直支軸12と、該垂直支軸12上端に取付けられ且つ塗
布カップ部A内にてワークwを保持して回転する水平回
転テーブル13とからなるワーク保持回転部Bと、前記
塗布カップ部Aの上部開口部を施蓋する可動アーム21
に取付支持された水平蓋板22と、該水平蓋板22下面
に取付け支持された洗浄液を供給する洗浄液供給水平盤
23とからなる施蓋部Cと、塗布カップ部A内に進入及
び後退動作する塗布液bを供給する供給管31及び供給
ノズル32からなる塗布液供給部Dとを備えた回転塗布
装置において、施蓋部Cが塗布カップ部Aの上部開口部
を施蓋した際に、塗布カップ部Aの側板1と係合して一
体的に水平回転可能であり且つ塗布カップ部A内に洗浄
液を供給する洗浄液供給水平盤23を備え、施蓋部Cの
水平蓋板22が施蓋された際における洗浄液供給水平盤
23の周端部23aと塗布カップ部Aの側板1上端内周
1aとの間に、洗浄液を側板1内面に沿って流下させる
間隙部Eが形成されるようにした回転塗布装置である。
って説明すれば、側板1と、側板1下端に排液管3と、
底板2とからなる塗布カップ部Aと、底板2中央下方に
備える軸受11と、該軸受11に回転可能に軸支した垂
直支軸12と、該垂直支軸12上端に取付けられ且つ塗
布カップ部A内にてワークwを保持して回転する水平回
転テーブル13とからなるワーク保持回転部Bと、前記
塗布カップ部Aの上部開口部を施蓋する可動アーム21
に取付支持された水平蓋板22と、該水平蓋板22下面
に取付け支持された洗浄液を供給する洗浄液供給水平盤
23とからなる施蓋部Cと、塗布カップ部A内に進入及
び後退動作する塗布液bを供給する供給管31及び供給
ノズル32からなる塗布液供給部Dとを備えた回転塗布
装置において、施蓋部Cが塗布カップ部Aの上部開口部
を施蓋した際に、塗布カップ部Aの側板1と係合して一
体的に水平回転可能であり且つ塗布カップ部A内に洗浄
液を供給する洗浄液供給水平盤23を備え、施蓋部Cの
水平蓋板22が施蓋された際における洗浄液供給水平盤
23の周端部23aと塗布カップ部Aの側板1上端内周
1aとの間に、洗浄液を側板1内面に沿って流下させる
間隙部Eが形成されるようにした回転塗布装置である。
【0014】本発明を、図1の実施例に従って、以下に
詳細に説明すれば、上記本発明装置は、側板1と、該側
板1下端に排液管3と、底板2とからなる塗布カップ部
Aを備える。
詳細に説明すれば、上記本発明装置は、側板1と、該側
板1下端に排液管3と、底板2とからなる塗布カップ部
Aを備える。
【0015】該塗布カップ部Aの底板2中央下方には、
軸受11を備え、該軸受11に回転可能に軸支した垂直
支軸12と、該垂直支軸12上端に取付けられ且つ塗布
カップ部A内にてワークwを保持して回転する水平回転
テーブル13とからなるワーク保持回転部Bを備える。
軸受11を備え、該軸受11に回転可能に軸支した垂直
支軸12と、該垂直支軸12上端に取付けられ且つ塗布
カップ部A内にてワークwを保持して回転する水平回転
テーブル13とからなるワーク保持回転部Bを備える。
【0016】前記塗布カップ部Aの上部には、塗布カッ
プ部Aの上部開口部を施蓋する可動アーム21に取付支
持された水平蓋板22と、該水平蓋板22下面に取付け
支持された洗浄液を供給する洗浄液供給水平盤23とか
らなる施蓋部Cを備える。
プ部Aの上部開口部を施蓋する可動アーム21に取付支
持された水平蓋板22と、該水平蓋板22下面に取付け
支持された洗浄液を供給する洗浄液供給水平盤23とか
らなる施蓋部Cを備える。
【0017】塗布カップ部Aの側方には、該塗布カップ
部A内に進入及び後退動作する塗布液bを供給する供給
管31及び供給ノズル32からなる塗布液供給部Dとを
備える。
部A内に進入及び後退動作する塗布液bを供給する供給
管31及び供給ノズル32からなる塗布液供給部Dとを
備える。
【0018】上記本発明の回転塗布装置においては、図
1に示すように、施蓋部Cが塗布カップ部Aの上部開口
部を施蓋した際に、塗布カップ部Aの側板1と係合して
一体的に水平回転可能であり且つ塗布カップ部A内に洗
浄液を供給する洗浄液供給水平盤23を備え、側板1の
上端内周1aと、洗浄液供給水平盤23の周端部23a
との間には、洗浄液を側板1内面に沿って流下させる間
隙部Eが形成されるようにしたものである。
1に示すように、施蓋部Cが塗布カップ部Aの上部開口
部を施蓋した際に、塗布カップ部Aの側板1と係合して
一体的に水平回転可能であり且つ塗布カップ部A内に洗
浄液を供給する洗浄液供給水平盤23を備え、側板1の
上端内周1aと、洗浄液供給水平盤23の周端部23a
との間には、洗浄液を側板1内面に沿って流下させる間
隙部Eが形成されるようにしたものである。
【0019】また、上記本発明の回転塗布装置における
一実施例としては、前記側壁1上端に、側壁1上端内周
1aより大きい径の内周を有する凸堤部1bを備えるよ
うにしてもよい。
一実施例としては、前記側壁1上端に、側壁1上端内周
1aより大きい径の内周を有する凸堤部1bを備えるよ
うにしてもよい。
【0020】また、上記本発明の回転塗布装置における
他の実施例としては、前記側板1下端に排液孔3を備
え、該排液孔3の外側に排液管3aを備え、該排液管3
aより排出される排液を回収する排液回収路4を、塗布
カップ部Aの下端外周に備えるようにしてもよい。
他の実施例としては、前記側板1下端に排液孔3を備
え、該排液孔3の外側に排液管3aを備え、該排液管3
aより排出される排液を回収する排液回収路4を、塗布
カップ部Aの下端外周に備えるようにしてもよい。
【0021】また、上記本発明の回転塗布装置における
その他の実施例としては、図3に示すように、前記側板
1下端に排液孔3を備え、側板1外周に沿って、該排液
孔3より下部に、外方に向かってほぼ水平方向に(若し
くは外方に向かって僅かに低く傾斜するように)張出す
るようにして、排液を導出するための排液導出用のフラ
ンジ部8を備え、該排液孔3より排出され、フランジ部
8に沿って排出する排液を回収する排液回収路4を、塗
布カップ部Aの下端外周に備えるようにしてもよい。な
お、本発明においては、フランジ部8は、少なくとも、
側板1下端の1乃至数個所に孔設される各々排液孔3相
当部毎に、排液回収路4上方に外端部が掛かるように張
出して設ける必要があるが、排液孔3の下部に、側板1
の外周に沿ってリング状に連続して張出して設けること
が適当である。
その他の実施例としては、図3に示すように、前記側板
1下端に排液孔3を備え、側板1外周に沿って、該排液
孔3より下部に、外方に向かってほぼ水平方向に(若し
くは外方に向かって僅かに低く傾斜するように)張出す
るようにして、排液を導出するための排液導出用のフラ
ンジ部8を備え、該排液孔3より排出され、フランジ部
8に沿って排出する排液を回収する排液回収路4を、塗
布カップ部Aの下端外周に備えるようにしてもよい。な
お、本発明においては、フランジ部8は、少なくとも、
側板1下端の1乃至数個所に孔設される各々排液孔3相
当部毎に、排液回収路4上方に外端部が掛かるように張
出して設ける必要があるが、排液孔3の下部に、側板1
の外周に沿ってリング状に連続して張出して設けること
が適当である。
【0022】また、上記本発明の回転塗布装置における
その他の実施例としては、前記排液回収路4内に洗浄液
を送流する補助供給管6を備えるようにしてもよい。
その他の実施例としては、前記排液回収路4内に洗浄液
を送流する補助供給管6を備えるようにしてもよい。
【0023】上記本発明の回転塗布装置を、図1に示す
一実施例に従って以下に詳細に説明する。
一実施例に従って以下に詳細に説明する。
【0024】塗布カップ部Aは、円筒状の側板1と、側
板1下端の底板2とにより構成される。該側板1下端の
1個所乃至数個所には排液管3を備える。また、塗布カ
ップ部Aの底部2は、前記支軸12上端の水平回転テー
ブル13下部に対して一体的に接続支持され、支軸12
の回転によって、水平回転テーブル13と、塗布カップ
部Aの円筒状の側板1及び側板1下端の底板2とは、一
体的に回転する。塗布カップ部Aの側板1外周には、円
筒状の外側板5を備え、該外側板5は、装置本体フレー
ムF側に、固定状態で取付け支持されている。
板1下端の底板2とにより構成される。該側板1下端の
1個所乃至数個所には排液管3を備える。また、塗布カ
ップ部Aの底部2は、前記支軸12上端の水平回転テー
ブル13下部に対して一体的に接続支持され、支軸12
の回転によって、水平回転テーブル13と、塗布カップ
部Aの円筒状の側板1及び側板1下端の底板2とは、一
体的に回転する。塗布カップ部Aの側板1外周には、円
筒状の外側板5を備え、該外側板5は、装置本体フレー
ムF側に、固定状態で取付け支持されている。
【0025】円筒状の側板1内面は、ほぼ垂直面であ
り、側板1の上端には、上端内周1aの直径よりも大径
の内周面を有する凸堤部1bを備えている。また、円筒
状の側板1の下端には、上端内周1aの直径よりも大径
の内周面を有する裾部を備えるようにしてもよい。
り、側板1の上端には、上端内周1aの直径よりも大径
の内周面を有する凸堤部1bを備えている。また、円筒
状の側板1の下端には、上端内周1aの直径よりも大径
の内周面を有する裾部を備えるようにしてもよい。
【0026】塗布カップ部Aの側板1の上端部内側(側
板1の上端内周1a若しくは凸堤部1b内周)には、側
板係合部1cを備える。側板係合部1cは、上端内周1
aの適宜1乃至数個所に設けるか、若しくは上端内周1
aの全周に沿って設けることができる。
板1の上端内周1a若しくは凸堤部1b内周)には、側
板係合部1cを備える。側板係合部1cは、上端内周1
aの適宜1乃至数個所に設けるか、若しくは上端内周1
aの全周に沿って設けることができる。
【0027】上記底板2の内端部は、側板1側に低く傾
斜しており、塗布液などの排液が流れ易くなっている。
斜しており、塗布液などの排液が流れ易くなっている。
【0028】塗布カップ部Aの側板1外側下端に設けた
排液孔3の出口側に排液管3aを備え、該排液管3a下
側には、排液を回収するための排液回収路4を備え、該
回収路4の一部に、下向きにドレイン管7を備える。ま
た、排液回収路4上側の1乃至数個所には、該回収路4
内に、補助的に洗浄液を供給するための補助供給管6
を、装置本体フレームF側に取付け支持されている。
排液孔3の出口側に排液管3aを備え、該排液管3a下
側には、排液を回収するための排液回収路4を備え、該
回収路4の一部に、下向きにドレイン管7を備える。ま
た、排液回収路4上側の1乃至数個所には、該回収路4
内に、補助的に洗浄液を供給するための補助供給管6
を、装置本体フレームF側に取付け支持されている。
【0029】ワーク保持回転部Bは、装置本体フレーム
Fに取付け支持された軸受11に、回転可能に支持され
た垂直支軸12の上端に、塗布カップ部Aと一体的に、
水平回転テーブル13が軸支固定されている。垂直支軸
12は電動モーター(図示せず)によって駆動回転す
る。
Fに取付け支持された軸受11に、回転可能に支持され
た垂直支軸12の上端に、塗布カップ部Aと一体的に、
水平回転テーブル13が軸支固定されている。垂直支軸
12は電動モーター(図示せず)によって駆動回転す
る。
【0030】塗布カップ部Aの底部2中央下方には、装
置本体フレームFに取付け支持された軸受11を備え、
該軸受11に回転可能に垂直支軸12が軸支され、該垂
直支軸12上端が、水平回転テーブル13を軸支固定
し、該テーブル13下部によって、塗布カップ部Aの底
部2中央部の上部を一体的に取付け支持している。
置本体フレームFに取付け支持された軸受11を備え、
該軸受11に回転可能に垂直支軸12が軸支され、該垂
直支軸12上端が、水平回転テーブル13を軸支固定
し、該テーブル13下部によって、塗布カップ部Aの底
部2中央部の上部を一体的に取付け支持している。
【0031】水平回転テーブル13は、その上面に、ガ
ラス板などの板状のワークwを吸着保持するための、複
数のエアー吸引小孔(図示せず)、若しくは掴み爪など
のクランプなど、チャック機構を備えている。吸引小孔
の場合は、吸引小孔と連通する垂直支軸12内部に装備
したエアー流路を通ってバキューム吸引される。板状の
ワークwは、図1に示すように水平回転テーブル13上
面に載置固定される。
ラス板などの板状のワークwを吸着保持するための、複
数のエアー吸引小孔(図示せず)、若しくは掴み爪など
のクランプなど、チャック機構を備えている。吸引小孔
の場合は、吸引小孔と連通する垂直支軸12内部に装備
したエアー流路を通ってバキューム吸引される。板状の
ワークwは、図1に示すように水平回転テーブル13上
面に載置固定される。
【0032】施蓋部Cは、前記塗布カップ部Aの上部開
口部を施蓋するものであり、塗布カップ部Aの真上にて
昇降動作可能であって、エアーシリンダ、ラックアンド
ピニオンなどの駆動により、垂直リニアガイド(図示せ
ず)に沿って垂直方向に昇降動作する可動アーム21を
備え、外可動アーム21に、水平蓋板22が取付支持さ
れている。
口部を施蓋するものであり、塗布カップ部Aの真上にて
昇降動作可能であって、エアーシリンダ、ラックアンド
ピニオンなどの駆動により、垂直リニアガイド(図示せ
ず)に沿って垂直方向に昇降動作する可動アーム21を
備え、外可動アーム21に、水平蓋板22が取付支持さ
れている。
【0033】該水平蓋板22下面に対して平行に一体的
に、該水平蓋板22中央に取付けた軸受24に回転自在
に軸支された支軸27を介して洗浄液を供給する洗浄液
供給水平盤23が回転自在に取付け支持されている。
に、該水平蓋板22中央に取付けた軸受24に回転自在
に軸支された支軸27を介して洗浄液を供給する洗浄液
供給水平盤23が回転自在に取付け支持されている。
【0034】図2に示すように、水平蓋板22及び水平
盤23からなる施蓋部Cの上昇動作によって、塗布カッ
プ部Aの上部開口部が開放され、一方、下降動作によっ
て、塗布カップ部Aの上部開口部は閉鎖される。
盤23からなる施蓋部Cの上昇動作によって、塗布カッ
プ部Aの上部開口部が開放され、一方、下降動作によっ
て、塗布カップ部Aの上部開口部は閉鎖される。
【0035】前記水平盤23の内部は、中空部25が形
成されており、該中空部25と、水平蓋板22上部に一
体的に取付け支持された洗浄液供給管26とは、支軸2
7を介して連通しており、洗浄液供給管26から送流さ
れる洗浄液を、中空部25内に送流できるようになって
いる。
成されており、該中空部25と、水平蓋板22上部に一
体的に取付け支持された洗浄液供給管26とは、支軸2
7を介して連通しており、洗浄液供給管26から送流さ
れる洗浄液を、中空部25内に送流できるようになって
いる。
【0036】また、水平盤23の外周端縁は、中空部2
5より外側に開放しており、中空部25内に送流される
洗浄液は、水平盤23の外周端縁より外方に放出できる
ようになっている。
5より外側に開放しており、中空部25内に送流される
洗浄液は、水平盤23の外周端縁より外方に放出できる
ようになっている。
【0037】また、上記水平盤23の端縁部には、前述
した側板1の上端内周に設けた係合部1cと係合する水
平盤係合部23cを備えるものであり(図2参照)、水
平蓋板22及び水平盤23からなる施蓋部Cの下降動作
によって、塗布カップ部Aの上部開口部を閉鎖した際
に、塗布カップ部A側の側板係合部1cと、水平盤係合
部23cとは、互いに上下方向より係合して、水平回転
方向に対して、一体的に回転できるようになっている。
した側板1の上端内周に設けた係合部1cと係合する水
平盤係合部23cを備えるものであり(図2参照)、水
平蓋板22及び水平盤23からなる施蓋部Cの下降動作
によって、塗布カップ部Aの上部開口部を閉鎖した際
に、塗布カップ部A側の側板係合部1cと、水平盤係合
部23cとは、互いに上下方向より係合して、水平回転
方向に対して、一体的に回転できるようになっている。
【0038】上記水平盤23の内部構造は、本発明にお
いては特に限定するものではなく、適宜設計変更が可能
であり、例えば、図1に示すように、上下2枚の平行に
離間対向する円盤状の板の内面同士を、所々数個所で、
スペーサー様の部材によって互いに接続したような構造
であってもよいし、1枚の円盤状の板の表面を刻切して
洗浄液流路を形成した後に、別の板と重ね合わせて接合
した構造であってもよいし、あるいは1枚の板の内部を
中空状に成形した構造のものであってもよい。
いては特に限定するものではなく、適宜設計変更が可能
であり、例えば、図1に示すように、上下2枚の平行に
離間対向する円盤状の板の内面同士を、所々数個所で、
スペーサー様の部材によって互いに接続したような構造
であってもよいし、1枚の円盤状の板の表面を刻切して
洗浄液流路を形成した後に、別の板と重ね合わせて接合
した構造であってもよいし、あるいは1枚の板の内部を
中空状に成形した構造のものであってもよい。
【0039】上記水平盤係合部23cの構造は、本発明
においては特に限定するものではなく、塗布カップ部A
の上部開口部を閉鎖した際に、塗布カップ部A側の側板
1と水平盤23とが、水平回転方向に対して、互いに一
体的に回転できるように係合できるか、若しくは互いに
一体的に回転できるように摩擦係数を大きくできるよう
な構造とすればよい。
においては特に限定するものではなく、塗布カップ部A
の上部開口部を閉鎖した際に、塗布カップ部A側の側板
1と水平盤23とが、水平回転方向に対して、互いに一
体的に回転できるように係合できるか、若しくは互いに
一体的に回転できるように摩擦係数を大きくできるよう
な構造とすればよい。
【0040】例えば、一例として、図1、図2に示すよ
うに、一方の側板係合部1cとしては、側板1の凸堤部
1b内周に、内側に向かって突出する棒状の突起部材を
設けるか、若しくは側板1の凸堤部1b内周に、内側に
向かって突出する上面が鋸歯状あるいは粒状の凹凸面
(摩擦抵抗面)を設け、他方の水平盤係合部23cとし
ては、水平盤23の上面端縁部23bの下面に下向きに
突出し、前記棒状の突起部材1cに嵌合する嵌合突起部
材を設けるか、若しくは水平盤23の上面端縁部23b
に下向きの鋸歯状あるいは粒状の凹凸面(摩擦抵抗面)
を設けて、施蓋部Cによる施蓋動作によって、前記一方
の側板係合部1cと、他方の水平盤係合部23cとが、
互いに係合できるようにする。
うに、一方の側板係合部1cとしては、側板1の凸堤部
1b内周に、内側に向かって突出する棒状の突起部材を
設けるか、若しくは側板1の凸堤部1b内周に、内側に
向かって突出する上面が鋸歯状あるいは粒状の凹凸面
(摩擦抵抗面)を設け、他方の水平盤係合部23cとし
ては、水平盤23の上面端縁部23bの下面に下向きに
突出し、前記棒状の突起部材1cに嵌合する嵌合突起部
材を設けるか、若しくは水平盤23の上面端縁部23b
に下向きの鋸歯状あるいは粒状の凹凸面(摩擦抵抗面)
を設けて、施蓋部Cによる施蓋動作によって、前記一方
の側板係合部1cと、他方の水平盤係合部23cとが、
互いに係合できるようにする。
【0041】施蓋部Cが下降動作して下止位置にくる
と、水平蓋板22の外周端縁と外側板5上端が蜜接し
て、塗布カップ部Aの上部開口部は閉鎖され、同時に、
前記一方の側板係合部1cと、他方の水平盤係合部23
cとが、互いに係合して、側板1と、水平盤23とは、
互いに一体的に回転可能になり、同時に、水平盤23下
面の外周端縁と側板1の上端内周1aとの間に、洗浄液
を、側板1内面に沿って流下させるための僅かの間隙部
Eが形成される。
と、水平蓋板22の外周端縁と外側板5上端が蜜接し
て、塗布カップ部Aの上部開口部は閉鎖され、同時に、
前記一方の側板係合部1cと、他方の水平盤係合部23
cとが、互いに係合して、側板1と、水平盤23とは、
互いに一体的に回転可能になり、同時に、水平盤23下
面の外周端縁と側板1の上端内周1aとの間に、洗浄液
を、側板1内面に沿って流下させるための僅かの間隙部
Eが形成される。
【0042】塗布液供給部Dは、塗布カップ部A内に進
入及び後退動作する塗布液供給管31及び供給ノズル3
2を備えている。
入及び後退動作する塗布液供給管31及び供給ノズル3
2を備えている。
【0043】塗布液供給管31(及びその先端部にある
供給ノズル32)は、図1に示すように、塗布カップ部
Aの側方から、図2に示すように、上記施蓋部Cが上昇
して上止位置に停止し、塗布カップ部Aの上部開口部が
開放している間に、塗布カップ部A内に進入して、感光
液、その他コーティング液などの塗布液を、ワークw面
に、一定量供給滴下し、滴下終了後は、直ちに、図1に
示す元の位置に復帰動作する。
供給ノズル32)は、図1に示すように、塗布カップ部
Aの側方から、図2に示すように、上記施蓋部Cが上昇
して上止位置に停止し、塗布カップ部Aの上部開口部が
開放している間に、塗布カップ部A内に進入して、感光
液、その他コーティング液などの塗布液を、ワークw面
に、一定量供給滴下し、滴下終了後は、直ちに、図1に
示す元の位置に復帰動作する。
【0044】該塗布液供給管31は、エアーシリンダ、
ラックアンドピニオンなどの駆動により、リニアガイド
に沿って、水平なX方向と垂直なZ方向とに、それぞれ
直線移動動作が可能であり、施蓋部Cが上昇動作する
と、塗布液供給管31は、図1に示す原点位置から、水
平X方向に移動して、塗布カップ部A内のワークw真上
に進入し、その後、垂直Z方向に僅かに下降動作して
(図2参照)、回転する水平回転テーブル13上のワー
クw面に、塗布液を滴下する。滴下終了後は、直ちに、
塗布液供給管31は、垂直Z方向に一旦持ち上げられ
て、水平X方向に後退移動して、図1に示す元の位置に
復帰するとともに、直ちに、施蓋部Cは、図1に示す位
置に下降動作して、塗布カップ部Aの上部開口部を閉鎖
して、継続回転する水平回転テーブル13によって滴下
された塗布液はワークw面に均一に塗布される。
ラックアンドピニオンなどの駆動により、リニアガイド
に沿って、水平なX方向と垂直なZ方向とに、それぞれ
直線移動動作が可能であり、施蓋部Cが上昇動作する
と、塗布液供給管31は、図1に示す原点位置から、水
平X方向に移動して、塗布カップ部A内のワークw真上
に進入し、その後、垂直Z方向に僅かに下降動作して
(図2参照)、回転する水平回転テーブル13上のワー
クw面に、塗布液を滴下する。滴下終了後は、直ちに、
塗布液供給管31は、垂直Z方向に一旦持ち上げられ
て、水平X方向に後退移動して、図1に示す元の位置に
復帰するとともに、直ちに、施蓋部Cは、図1に示す位
置に下降動作して、塗布カップ部Aの上部開口部を閉鎖
して、継続回転する水平回転テーブル13によって滴下
された塗布液はワークw面に均一に塗布される。
【0045】なお図4は、本発明装置の水平盤23上か
ら見た概要平面図であり、塗布カップ部Aと、ワーク保
持回転部Bとの配置を示すものであり、また、塗布カッ
プ部Aの側板1と外側板5との平面的配置を示すもので
あり、また、塗布カップ部Aとその外周に形成された排
液回収路4との平面的配置を示すものであり、また、塗
布カップ部Aの側板1の上端内周1aと水平盤23の下
面端縁23aとの平面的配置を示すものであり、また、
上端内周1aと下面端縁23aの間に形成される僅かな
間隙部Eを平面的に示すものである。また、塗布液供給
部Dは、同図4に示すように、他の例として、例えば、
塗布液供給管31の長手方向に対して直交する水平X方
向に進入・後退動作するように構成したものでもよい
し、あるいは塗布液供給管31の長手方向一端部を中心
に水平方向に回動させて進入・退出動作するように構成
したものでもよい。
ら見た概要平面図であり、塗布カップ部Aと、ワーク保
持回転部Bとの配置を示すものであり、また、塗布カッ
プ部Aの側板1と外側板5との平面的配置を示すもので
あり、また、塗布カップ部Aとその外周に形成された排
液回収路4との平面的配置を示すものであり、また、塗
布カップ部Aの側板1の上端内周1aと水平盤23の下
面端縁23aとの平面的配置を示すものであり、また、
上端内周1aと下面端縁23aの間に形成される僅かな
間隙部Eを平面的に示すものである。また、塗布液供給
部Dは、同図4に示すように、他の例として、例えば、
塗布液供給管31の長手方向に対して直交する水平X方
向に進入・後退動作するように構成したものでもよい
し、あるいは塗布液供給管31の長手方向一端部を中心
に水平方向に回動させて進入・退出動作するように構成
したものでもよい。
【0046】施蓋部Cにより塗布カップ部Aの上部開口
部を閉鎖中に、継続回転する水平回転テーブル13によ
って、滴下された塗布液がワークw面に均一に塗布され
ている間(図1参照)において、洗浄液供給管26よ
り、洗浄液量調整バルブ(図示せず)を介して、適量の
洗浄液(塗布液溶媒)を、水平盤23の中空部25内を
通って、水平盤23の外周端縁より放出する。
部を閉鎖中に、継続回転する水平回転テーブル13によ
って、滴下された塗布液がワークw面に均一に塗布され
ている間(図1参照)において、洗浄液供給管26よ
り、洗浄液量調整バルブ(図示せず)を介して、適量の
洗浄液(塗布液溶媒)を、水平盤23の中空部25内を
通って、水平盤23の外周端縁より放出する。
【0047】水平盤23の外周端縁より放出された洗浄
液は、水平盤23下面の外周端縁と側板1の上端内周1
aとの間の間隙部Eを通って、側板1内面を流下するこ
とにより、ワークwの回転遠心力によって水平外方に飛
散し、塗布カップ部Aの側板1内面に付着する塗布液を
洗い流すものである。
液は、水平盤23下面の外周端縁と側板1の上端内周1
aとの間の間隙部Eを通って、側板1内面を流下するこ
とにより、ワークwの回転遠心力によって水平外方に飛
散し、塗布カップ部Aの側板1内面に付着する塗布液を
洗い流すものである。
【0048】側板1内面を流下した洗浄排液は、排液管
3を通って、排液回収路4に回収され、ドレイン管7よ
り排出されるものである。また、本発明装置は、排液回
収路4を通過する洗浄排液を洗い流すために、補助供給
管6より、同時に、又は前後して、洗浄液を、回収路4
内に供給するようにしてもよい。
3を通って、排液回収路4に回収され、ドレイン管7よ
り排出されるものである。また、本発明装置は、排液回
収路4を通過する洗浄排液を洗い流すために、補助供給
管6より、同時に、又は前後して、洗浄液を、回収路4
内に供給するようにしてもよい。
【0049】また、本発明装置のその他の実施例とし
て、図3に示すように、洗浄排液が、排液回収路4内に
回収された後において、排液回収路4より、塗布カップ
部Aの底部2下側に排液が溢れ出した場合は、塗布カッ
プ部Aの底板2の直下に設けた受皿部9(装置本体フレ
ームFに取付け支持)に収容して、補助ドレイン管9a
より排出させるものである。
て、図3に示すように、洗浄排液が、排液回収路4内に
回収された後において、排液回収路4より、塗布カップ
部Aの底部2下側に排液が溢れ出した場合は、塗布カッ
プ部Aの底板2の直下に設けた受皿部9(装置本体フレ
ームFに取付け支持)に収容して、補助ドレイン管9a
より排出させるものである。
【0050】
【作用】本発明の回転塗布装置は、塗布カップ部Aの上
部開口部を施蓋部Cが施蓋した際における洗浄液供給水
平盤23の周端部23aと、塗布カップ部A側板1の上
端内周1aとの間に、洗浄液を側板1内面に沿って流下
させる間隙部Eが形成されるので、塗布カップ部Aの上
部開口部を施蓋部Cによって施蓋して塗布カップ部A内
にてワークwを回転させ、滴下した塗布液を均一に塗布
している間に、前記水平盤23の周端部23aより流出
した洗浄液は、前記間隙部Eを通って、側板1上端内周
1aより、側板1内面に沿って流下する。
部開口部を施蓋部Cが施蓋した際における洗浄液供給水
平盤23の周端部23aと、塗布カップ部A側板1の上
端内周1aとの間に、洗浄液を側板1内面に沿って流下
させる間隙部Eが形成されるので、塗布カップ部Aの上
部開口部を施蓋部Cによって施蓋して塗布カップ部A内
にてワークwを回転させ、滴下した塗布液を均一に塗布
している間に、前記水平盤23の周端部23aより流出
した洗浄液は、前記間隙部Eを通って、側板1上端内周
1aより、側板1内面に沿って流下する。
【0051】そのため、回転塗布中に、水平盤23の周
端部23aより洗浄液を流出した際に、塗布カップ部A
の側板1内面に付着する飛散した塗布液は、流下する洗
浄液によって洗い流される。
端部23aより洗浄液を流出した際に、塗布カップ部A
の側板1内面に付着する飛散した塗布液は、流下する洗
浄液によって洗い流される。
【0052】また、本発明装置において、側壁1上端よ
り上部に、該側壁1の上端内周1aより大きい径の内周
を有する凸堤部1bを備えることによって、水平盤23
の周端部23aより流出させた洗浄液を、側板1より外
側に溢れさせずに、側板1内面に沿って流下させること
ができる。
り上部に、該側壁1の上端内周1aより大きい径の内周
を有する凸堤部1bを備えることによって、水平盤23
の周端部23aより流出させた洗浄液を、側板1より外
側に溢れさせずに、側板1内面に沿って流下させること
ができる。
【0053】また、本発明装置において、側板1下端に
設けた排液孔3の外側に設けた排液管3aより排出され
る排液を回収する排液回収路4を備えることによって、
排液管3aより外部に排出される洗浄排液を回収するこ
とができる。
設けた排液孔3の外側に設けた排液管3aより排出され
る排液を回収する排液回収路4を備えることによって、
排液管3aより外部に排出される洗浄排液を回収するこ
とができる。
【0054】また、本発明装置において、側板1下端に
設けた排液孔3より下方に、側板1の外周に沿って連続
するリング状のフランジ部8を張出して設けたので、排
液孔3よりフランジ部8に沿って、排液を排液回収路4
内に円滑に回収することができる。そのため、側壁1下
端に設けた排液孔3の口径を、特に、塗布カップ部Aに
おける側壁1の回転方向に沿って広く拡張しても、排液
は、フランジ部8によって排液回収路4に円滑に回収で
き、排液孔3の口径を、従来よりも大きく設定すること
が可能になり、排液の付着等による排液孔3の目詰まり
の発生を回避することができる。
設けた排液孔3より下方に、側板1の外周に沿って連続
するリング状のフランジ部8を張出して設けたので、排
液孔3よりフランジ部8に沿って、排液を排液回収路4
内に円滑に回収することができる。そのため、側壁1下
端に設けた排液孔3の口径を、特に、塗布カップ部Aに
おける側壁1の回転方向に沿って広く拡張しても、排液
は、フランジ部8によって排液回収路4に円滑に回収で
き、排液孔3の口径を、従来よりも大きく設定すること
が可能になり、排液の付着等による排液孔3の目詰まり
の発生を回避することができる。
【0055】また、本発明装置において、排液回収路4
内に、洗浄液を送流する補助供給管6を備えることによ
って、排液回収路4に付着する洗浄排液を、洗浄液によ
って洗い流すことができる。
内に、洗浄液を送流する補助供給管6を備えることによ
って、排液回収路4に付着する洗浄排液を、洗浄液によ
って洗い流すことができる。
【0056】
【発明の効果】本発明の回転塗布装置は、塗布カップ部
内にて、回転遠心力によってワーク面より外側に水平方
向に飛散し、側板内面に付着する飛散塗布液を、乾燥固
化する前に、洗浄液によって洗い流すことができ、乾燥
固化した固形物を溶解除去する必要がなく迅速に洗浄除
去ができる。
内にて、回転遠心力によってワーク面より外側に水平方
向に飛散し、側板内面に付着する飛散塗布液を、乾燥固
化する前に、洗浄液によって洗い流すことができ、乾燥
固化した固形物を溶解除去する必要がなく迅速に洗浄除
去ができる。
【0057】また、付着する塗布液が、装置内部に固形
物として付着残存して回転塗布装置内部を汚損したり、
装置故障の原因となったりすることがないし、装置内に
付着した乾燥固形物が剥離して、ワーク面に再付着し
て、塗布膜厚の均一性に影響を与えることを防止でき
る。
物として付着残存して回転塗布装置内部を汚損したり、
装置故障の原因となったりすることがないし、装置内に
付着した乾燥固形物が剥離して、ワーク面に再付着し
て、塗布膜厚の均一性に影響を与えることを防止でき
る。
【0058】また、本発明の回転塗布装置は、塗布液を
回転塗布中に洗浄操作を行なうことができるので、洗浄
操作のために、当該装置、及びそれに付帯する生産設備
の稼動を、一旦中止することなく洗浄操作ができ、能率
的な回転塗布、及び洗浄操作を行なうことができるスピ
ンコーターなどの回転塗布装置として効果的である。
回転塗布中に洗浄操作を行なうことができるので、洗浄
操作のために、当該装置、及びそれに付帯する生産設備
の稼動を、一旦中止することなく洗浄操作ができ、能率
的な回転塗布、及び洗浄操作を行なうことができるスピ
ンコーターなどの回転塗布装置として効果的である。
【図1】本発明の回転塗布装置の一実施例を説明する側
断面図である。
断面図である。
【図2】本発明の回転塗布装置の一実施例を説明する側
断面図である。
断面図である。
【図3】本発明の回転塗布装置の他の実施例を説明する
側断面図である。
側断面図である。
【図4】本発明の回転塗布装置の概要平面図である。
A…塗布カップ部 B…ワーク保持回転部 C…施蓋部
D…塗布液供給部 E…間隙部 w…ワーク F…装置本体フレーム 1…側板 1a…上端内周 1b…凸堤部 1c…側板
係合部 2…底板 3…排液孔 3a…排液管 4…排液回収路 5…外側
板 6…補助供給管 7…ドレイン管 8…フランジ部 9…受皿部 11…軸受 12…支軸 13…水平回転テーブル 21…可動アーム 22…水平蓋板 23…水平盤 2
3a…外周端縁 23b…外周端縁 23c…水平盤係合部 24…軸受
25…中空部 26…洗浄液供給管 27…支軸 31…塗布液供給管 32…塗布液供給ノズル
D…塗布液供給部 E…間隙部 w…ワーク F…装置本体フレーム 1…側板 1a…上端内周 1b…凸堤部 1c…側板
係合部 2…底板 3…排液孔 3a…排液管 4…排液回収路 5…外側
板 6…補助供給管 7…ドレイン管 8…フランジ部 9…受皿部 11…軸受 12…支軸 13…水平回転テーブル 21…可動アーム 22…水平蓋板 23…水平盤 2
3a…外周端縁 23b…外周端縁 23c…水平盤係合部 24…軸受
25…中空部 26…洗浄液供給管 27…支軸 31…塗布液供給管 32…塗布液供給ノズル
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
H01L 21/027
G03F 7/16 502
Claims (5)
- 【請求項1】塗布カップ部Aと、該塗布カップ部A内に
てワークwを回転させるワーク保持回転部Bと、前記塗
布カップ部Aの上部開口部を施蓋する施蓋部Cと、塗布
カップ部A内に進入及び後退動作する塗布液供給部Dと
を備えた回転塗布装置において、施蓋部Cが塗布カップ
部Aの上部開口部を施蓋した際に、塗布カップ部Aの側
板1と係合して一体的に水平回転可能であり且つ塗布カ
ップ部A内に洗浄液を供給する洗浄液供給水平盤23を
備え、施蓋部Cが塗布カップ部Aの上部開口部を施蓋し
た際における前記水平盤23周端部23aと、塗布カッ
プ部Aの側板1上端内周1aとの間に、洗浄液を側板1
内面に沿って流下させる間隙部Eが形成されるようにし
たことを特徴とする回転塗布装置。 - 【請求項2】前記側壁1上端に、側壁1上端内周1aよ
り大きい径の内周を有する凸堤部1bを備える請求項1
記載の回転塗布装置。 - 【請求項3】前記側板1下端に排液孔3を備え、該排液
孔3より外側に排液管3aを備え、該排液管3aより排
出される排液を回収する排液回収路4を備える請求項1
又は請求項2記載の回転塗布装置。 - 【請求項4】前記側板1下端に排液孔3を備え、該排液
孔3より下側の側板1外周に沿って排液導出用のフラン
ジ部8を張出して備え、該フランジ部8より排出される
排液を回収する排液回収路4を備える請求項1又は請求
項2記載の回転塗布装置。 - 【請求項5】前記排液回収路4内に洗浄液を送流する補
助供給管6を備える請求項3又は請求項4記載の回転塗
布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10822994A JP3374519B2 (ja) | 1994-05-23 | 1994-05-23 | 回転塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10822994A JP3374519B2 (ja) | 1994-05-23 | 1994-05-23 | 回転塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07321002A JPH07321002A (ja) | 1995-12-08 |
JP3374519B2 true JP3374519B2 (ja) | 2003-02-04 |
Family
ID=14479334
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10822994A Expired - Fee Related JP3374519B2 (ja) | 1994-05-23 | 1994-05-23 | 回転塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3374519B2 (ja) |
-
1994
- 1994-05-23 JP JP10822994A patent/JP3374519B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07321002A (ja) | 1995-12-08 |
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