JP4440354B2 - スピン処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は被処理物を回転させながら洗浄処理し、ついで乾燥処理するスピン処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
たとえば液晶製造装置や半導体製造装置においては、液晶用ガラス基板や半導体ウエハなどの被処理物を高い清浄度で洗浄して乾燥させるということが要求される工程がある。上記被処理物を洗浄して乾燥させるためには、この被処理物を回転させながら純水などの処理液を噴射して洗浄し、ついで処理液を噴射させずに回転させることで乾燥させるということが行われる。
【0003】
このような処理を行うためにスピン処理装置が用いられている。スピン処理装置はカップ体を有する。このカップ体の内部には回転駆動機構によって回転駆動される回転体が設けられている。この回転体の上面側には上記被処理物が保持されている。上記カップ体の上方には上記被処理物に向けて処理液を噴射するノズル体が設けられている。
【0004】
したがって、上記ノズル体から処理液を上記被処理物に向けて噴射させることで、この被処理物の上面全体を洗浄処理することができる。
たとえば、被処理物を薬液で洗浄処理する場合、その薬液による洗浄後、同じく処理液としての純水を噴射してリンス処理し、ついで処理液を供給しない状態で上記被処理物を回転させることで、リンス処理された被処理物を乾燥処理するということが行われる。
【0005】
上記カップ体の内部には、回転する回転体や被処理物に処理液が噴射されることでミストが発生し、そのミストが洗浄処理や乾燥処理された被処理物に再付着し、その被処理物を汚染させるということがある。
【0006】
そこで、上記カップ体の底部に排気管を接続し、カップ体内に浮遊するミストをカップ体内の気体とともに吸引排出することで、上記ミストが被処理物に再付着するのを防止するということが行われている。
【0007】
ところで、回転する被処理物からは、ミストが径方向外方へ向かって高速度で飛散し、カップ体の内周面に衝突して反射する。カップ体の内周面で反射したミストは上記排気管に吸引されてカップ体内から排出される。
【0008】
しかしながら、カップ体の内周面で反射したミストはその反射方向が一定になりにくいから、その一部は、カップ体内における、上記排気管で発生する吸引作用が及ばない箇所に散乱する。そのため、ミストの一部は上記排気管の吸引力によってカップ体内に生じる気流に乗らずに、被処理物に再付着するということがある。
【0009】
上記カップ体は下カップと、この下カップに上下動自在に設けられた上カップとから構成されている。そして、上記被処理物を上記回転体に対して着脱する際には、上記上カップを下降させて回転体を露出させ、たとえばロボットによって着脱するようにしている。
【0010】
このような構成のカップ体によると、上カップを上下動自在な構成とするためには、下カップと上カップとの間に隙間を設けなければならない。そのため、カップ体内の気体を排出するために排気管に吸引力を発生させると、その吸引力によって外気が下カップと上カップとの隙間から吸引されるということがある。下カップと上カップとの隙間を通過した外気には塵埃が含まれていることがあるから、それによって被処理物が汚染されるということがある。
【0011】
なお、下カップと上カップとの間に隙間を設けずに、上カップを上下動させると、これらの摺動によって塵埃が発生して被処理物に付着することが避けられないから、その点では隙間を設けた方がよいことになる。
【0012】
さらに、排気管によってカップ体内の気体を吸引排出する際、カップ体内で生じる気流の方向と排気管によってカップ体内で生じる吸引方向とが異なると、カップ体内のミストが上記排気管へ円滑に流れにくいということがある。その結果、カップ体内にミストが浮遊し、そのミストが被処理物に付着するということがある。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来は、カップ体内で発生するミストや被処理物が汚染されたり、カップ体内に侵入する外気によって被処理物が汚染されるということがあった。この発明の目的は、カップ体内で発生するミストによって被処理物が汚染されたり、カップ体内に侵入する外気によって被処理物が汚染されるなどのことがないようにしたスピン処理装置を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、被処理物を回転させて処理するスピン処理装置において、
下カップおよびこの下カップに対し所定の隙間を介して上下動自在に設けられた上カップとを有するカップ体と、
このカップ体内に設けられ上記被処理物を保持する回転体と、
この回転体を回転駆動する駆動手段と、
上記下カップの底部に接続され上記カップ体内の排気を行う排気管と、
上記上カップの内周面に設けられる飛散防止カバ−を具備し、
上記飛散防止カバ−は上記回転体に保持される上記被処理物の周囲を囲むリング状をなしていて、その下端は上記被処理物に対する処理時に上記回転体に保持される被処理物の上面よりも上方に位置するとともに、下端部は径方向外方に向かって折曲され上記被処理物の上面から飛散してその内周面に衝突したミストを下方に向かって反射する下部折曲部に形成されていることを特徴とする。
【0016】
請求項2の発明は、被処理物を回転させて処理するスピン処理装置において、
下カップおよびこの下カップに対し所定の隙間を介して上下動自在に設けられた上カップとを有するカップ体と、
このカップ体内に設けられ上記被処理物を保持する回転体と、
この回転体を回転駆動する駆動手段と、
上記下カップの底部に接続され上記カップ体内の排気を行う排気管と、
上記上カップの内周面に設けられる飛散防止カバ−と、
上記上カップと下カップとの上記隙間を覆う外気侵入防止カバ−を具備し、
上記飛散防止カバ−は上記回転体に保持される上記被処理物の周囲を囲むリング状をなしていて、その下端は上記被処理物に対する処理時に上記回転体に保持される被処理物の上面よりも上方に位置するとともに、下端部は径方向外方に向かって折曲され上記被処理物の上面から飛散してその内周面に衝突したミストを下方に向かって反射する下部折曲部に形成されていることを特徴とする。
【0017】
請求項3の発明は、被処理物を回転させて処理するスピン処理装置において、
下カップおよびこの下カップに対し所定の隙間を介して上下動自在に設けられた上カップとを有するカップ体と、
このカップ体内に設けられ上記被処理物を保持する回転体と、
この回転体を回転駆動する駆動手段と、
上記下カップの底部に接続され上記カップ体内の排気を行う排気管と、
上記上カップの内周面に設けられる飛散防止カバ−と、
上記カップ体の内底部に設けられこのカップ体内の気体を上記排気管へガイドするガイド部材を具備し、
上記飛散防止カバ−は上記回転体に保持される上記被処理物の周囲を囲むリング状をなしていて、その下端は上記被処理物に対する処理時に上記回転体に保持される被処理物の上面よりも上方に位置するとともに、下端部は径方向外方に向かって折曲され上記被処理物の上面から飛散してその内周面に衝突したミストを下方に向かって反射する下部折曲部に形成されていることを特徴とする。
【0018】
請求項4の発明は、被処理物を回転させて処理するスピン処理装置において、
下カップおよびこの下カップに対し所定の隙間を介して上下動自在に設けられた上カップとを有するカップ体と、
このカップ体内に設けられ上記被処理物を保持する回転体と、
この回転体を回転駆動する駆動手段と、
上記下カップの底部に接続され上記カップ体内の排気を行う排気管と、
上記上カップの内周面に設けられる飛散防止カバ−と、
上記上カップと下カップとの上記隙間を覆う外気侵入防止カバ−と、
上記カップ体の内底部に設けられこのカップ体内の気体を上記排気管へガイドするガイド部材を具備し、
上記飛散防止カバ−は上記回転体に保持される上記被処理物の周囲を囲むリング状をなしていて、その下端は上記被処理物に対する処理時に上記回転体に保持される被処理物の上面よりも上方に位置するとともに、下端部は径方向外方に向かって折曲され上記被処理物の上面から飛散してその内周面に衝突したミストを下方に向かって反射する下部折曲部に形成されていることを特徴とする。
【0027】
この発明によれば、飛散防止カバ−の下端が回転体に保持される被処理物の上面よりも上方に位置していることで、被処理物の上面から飛散するミストは飛散防止カバ−の内周面にほとんど衝突することなく、下端側を通過して上カップの内周面で反射し、ついで外周面に衝突して排出されるから、ミストによる被処理物の汚染が良好に防止される。
さらに、飛散防止カバ−の下端部が径方向外方に向かって屈曲されていることで、被処理物からのミストが飛散防止カバ−の下端部内周面に衝突しても、そのミストは下方に向かって反射するから、被処理物に付着するのが防止される。
【0040】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施形態を図面を参照して説明する。
図1に示すこの発明のスピン乾燥処理装置は本体ベ−ス1を有する。この本体ベ−ス1には円筒状の支持体2が上下方向に貫通して設けられている。この支持体2には同じく円筒状の回転軸3が中途部を軸受4によって回転自在に支持されて設けられている。
【0041】
上記回転軸3の下端部は上記支持体2から突出し、その下端部には従動プ−リ5が設けられている。この従動プ−リ5の近傍にはステップモ−タ6が配設されている。このステップモ−タ6の回転軸6aには駆動プ−リ7が嵌着され、この駆動プ−リ7と上記従動プ−リ5とにはベルト8が張設されている。したがって、上記ステップモ−タ6が作動すれば、上記回転軸3が回転駆動されるようになっている。
【0042】
上記回転軸3の上端には上面にダイ10が接合された回転体9が一体的に取り付けられている。この回転体9には周方向に90度間隔で4本の保持部材11がブッシュ12を介して回転自在に立設されている。上記保持部材11は図2に示すように円筒部13を有する。この円筒部13は上端が閉塞され、下端が開口している。円筒部13の下端からは支軸14が垂設されている。この支軸14は上記ブッシュ12(図1に示す)に回転自在に支持されている。
【0043】
上記円筒部13の上面には断面が流線形状に形成された支持部15が一体的に設けられている。この支持部15の上面には支持ピン16と、この支持ピン16に比べて背の高いロックピン17とが立設されている。支持ピン16は上記支軸14と軸中心をほぼ一致させており、ロックピン17は上記支軸14の軸線に対して所定寸法偏心して設けられている。
【0044】
上記構成の4本の保持部材11には図1に示すように被処理物としての半導体ウエハ21が保持される。つまり、半導体ウエハ21はその周辺部の下面が上記支持ピン16に支持されて設けられる。半導体ウエハ21が支持ピン16に支持された状態で、上記保持部材11は後述するごとく回転される。それによって、上記保持部材11に設けられたロックピン17が偏心回転して上記半導体ウエハ21の外周面に当接するから、半導体ウエハ21は径方向にずれ動くことなく保持されることになる。
【0045】
上記回転体9とダイ10との中心部分には図1に示すように通孔25が形成されている。この通孔25にはノズル体26が非接触状態で嵌挿されている。このノズル体26は円錐形状をなしていて、その上面にはノズル孔27が一端を開放して形成されている。
【0046】
上記ノズル体26の下端面には支持軸28の上端が連結されている。この支持軸28の上部はブラケット31に保持されている。このブラケット31は上記回転軸3に軸受29によって回転自在に支持されている。つまり、上記ノズル体26は支持軸28を介してブラケット31に保持されている。
【0047】
上記回転軸3の内部の上記ブラケット31の下方にはハウジング33が挿入されている。このハウジング33の上端はブラケット31に結合され、下端部は軸受33aによって上記回転軸3に回転自在に支持されている。
【0048】
上記ハウジング33には上記支持軸28が挿通される第1の貫通孔34と、上記ノズル孔27に一端を接続した供給チュ−ブ35が挿通された第2の貫通孔36とが穿設されている。上記供給チュ−ブ35の他端は図示しない薬液やリンス液などの処理液の供給部に連通している。したがって、上記ノズル孔27から半導体ウエハ21の下面に処理液を噴射できるようになっている。
【0049】
上記回転体9に保持される半導体ウエハ21の上方にはノズル体30が配置されている。このノズル体30は図示しない薬液やリンス液などの処理液の供給部に連通していて、上記半導体ウエハ21の上面に向けて処理液を噴射できるようになっている。
【0050】
したがって、上記保持部材11に保持された半導体ウエハ21には上面と下面とに処理液を噴射することができるようになっている。つまり、半導体ウエハ21を乾燥処理する前にその上面と下面を洗浄処理やリンス処理できるようになっている。
【0051】
なお、上記ノズル体26は上記支持軸28によって保持され、上記回転体9とは非接触状態となっているから、この回転体9が回転軸3と一体に回転しても、回転しないようになっている。
【0052】
上記回転体9の下面側で、上記回転軸3の上部外周面には円筒状のロック筒体41が回転自在に設けられている。このロック筒体41の上端には、図3に示すようにフランジ42が設けられ、このフランジ42の上面には周方向に90度間隔で4本の係止ピン43が突設されている。
【0053】
上記係止ピン43は図2に示すようにレバ−44の一端に開放して形成された係合溝45に係合している。このレバ−44の他端は上記保持部材11の支軸14の下端部に取付けられている。したがって、上記ロック筒体41を図3と図4に矢印で示す反時計方向に回転させ、係止ピン43によりレバ−44を同方向に回動させれば、このレバ−44が連結された上記支軸14を支点として上記保持部材11を図2に矢印で示す時計方向に回動させることができる。
【0054】
それによって、ロックピン17が偏心回転するから、支持ピン16に支持された半導体ウエハ21の外周面に上記ロックピン17を当接させ、半導体ウエハ21の支持状態をロックできる。つまり、支持ピン16に支持された半導体ウエハ21が径方向にずれ動くのを阻止する。上記ロック筒体41を時計方向に回動させれば、上記ロックピン17による半導体ウエハ21のロック状態を解除することができる。
【0055】
上記ロックピン17による半導体ウエハ21のロックおよびロックの解除、つまりロック筒体41の回動は解除機構51によって行われる。この解除機構51は図3と図4に示すように上記回転軸3の外周面に設けられ上記ロック筒体41に形成された切欠溝41a内に位置する第1の係止片52と、上記ロック筒体41の外周面に設けられた第2の係止片53とを有する。
【0056】
第1の係止片52と第2の係止片53との間にはばね54が張設されている。このばね54は上記第2の係止片53を介してロック筒体41を第1の係止片52の方向に付勢している。つまり、ロック筒体41は図3に矢印で示す反時計方向に付勢されている。
【0057】
それによって、ロック筒体41は、ばね54の付勢力によって常時、反時計方向に回動付勢されているので、係止ピン43およびレバ−44を介して保持部材11が時計方向に回動させられ、ロックピン17が半導体ウエハ21の外周面に当接するロック状態となっている。
【0058】
上記ロックピン17による半導体ウエハ21のロック状態の解除は、上記ステップモ−タ6の近傍に配置された上記解除機構51を構成する第1のシリンダ61と、第2のシリンダ62とによって行われる。
【0059】
すなわち、図4に示すように第1のシリンダ61の側方には第1のリニアガイド63によって第1の可動体64が矢印方向にスライド自在に支持されている。この第1の可動体64は上記第1のシリンダ61のロッド61aに連結されている。それによって、第1の可動体64は、上記第1のシリンダ61が作動することで、上記第1のリニアガイド63に沿って往復駆動されるようになっている。
【0060】
上記第1の可動体64の上面先端部には一対の挟持ロ−ラ65が所定の間隔で設けられている。第1の可動体64が前進方向に駆動されると、これら挟持ロ−ラ65は図4に鎖線で示すように回転軸3の第1の係止片52を挟持する。それによって、上記回転軸3が回転するのを阻止する。
【0061】
上記第2のシリンダ62の側方には第2のリニアガイド67によって第2の可動体68が矢印方向にスライド自在に設けられている。第2の可動体68の上面先端部には押圧ロ−ラ69が回転自在に設けられている。したがって、上記押圧ロ−ラ69は第2のシリンダ62によって進退駆動される。
【0062】
上記第1の係止片52が上記一対の挟持ロ−ラ65によって挟持された状態で、上記第2のシリンダ62が作動して第2の可動体68が前進方向に駆動されると、図4に鎖線で示すようにその先端部に設けられた押圧ロ−ラ69が上記ロック筒体41に設けられた第2の係止片53を押圧する。
【0063】
それによって、上記ロック筒体41は、ばね54の付勢力に抗して回転させられるから、係止ピン43およびレバ−44を介して保持部材11がロック時とは逆方向に回転させられる。したがって、ロックピン17が反時計方向に偏心回転して半導体ウエハ21のロック状態を解除するようになっている。
【0064】
図1に示すように上記回転軸3の下端部外周面にはドグ71が設けられ、このドグ71はマイクロフォトセンサ72によって検知される。このマイクロフォトセンサ72の検知信号で上記ステップモ−タ6による回転軸3の回転角度が制御される。つまり、半導体ウエハ21のロック状態を解除するときには、上記解除機構51の第1、第2のシリンダ61、62に対して第1の係止片52と第2の係止片53とが所定の位置になるよう回転軸3の回転角度が制御されるようになっている。
【0065】
上記本体ベ−ス1の上面側にはカップ体80が設けられている。このカップ体80は、底部に上記回転軸3が挿通される通孔75aが形成された有底状の下カップ75と、この下カップ75の内周面に対して外周面が所定の隙間79を有するリング状の上カップ76とからなる。上カップ76には図示しない上下駆動シリンダのロッド78が連結され、このシリンダが作動することで上カップ76が上下駆動されるようになっている。
【0066】
上記上カップ76は、上昇位置で上記保持部材11に保持された半導体ウエハ21の外周面を覆い、図1に鎖線で示す下降位置で上端が上記半導体ウエハ21の上面よりも低い位置になるよう上下動のストロ−クが設定されている。
【0067】
したがって、上カップ76を図1に鎖線で示す位置まで下降させた状態において、図示しないロボットによって上記回転体9に設けられた保持部材11へ未処理の半導体ウエハ21を供給したり、処理液で処理されてから乾燥処理された半導体ウエハ21を取り出すことができるようになっている。
【0068】
さらに、下カップ75の底部には周方向に所定間隔、たとえば90度間隔で複数の排気管77が接続されている。各排気管77は図示しない処理液と気体を分離する気水分離器を介して吸引ポンプ90に連通している。したがって、上記排気管77に連通する吸引ポンプ90の吸引力で、上記カップ体80内の処理液、ミスト、気体などを吸引排出できるようになっている。
【0069】
上記上カップ76の内周面は凹状の円弧面76aに形成され、この円弧面76aの上部には、上記保持部材11に保持される半導体ウエハ21の上面よりわずかに上方の外周部を覆う円筒状の飛散防止カバ−81が設けられている。この飛散防止カバ−81は下端が半導体ウエハ21の上面よりもわずかに上方、たとえば数mm〜数十mm程度、好ましくは10mm程度上方に位置している。
【0070】
上記飛散防止カバ−81は弗素樹脂などの耐蝕性に優れた合成樹脂によって筒状に形成されている。この飛散防止カバ−81の上端には上部折曲部81aが形成され、この上部折曲部81aは上記上カップ76の円弧面76aに接着あるいはねじなどによって固定されている。さらに、飛散防止カバ−81の下端部には径方向外方に向かって折曲された下部折曲部81bが形成されている。
【0071】
上記回転体9が回転駆動されて保持部材11に保持された半導体ウエハ21が一体的に回転することで、この半導体ウエハ21から処理液が飛散してミストが発生すると、そのミストは上カップ76の円弧面76aで反射する。
【0072】
円弧面76aに衝突したミストは、その円弧面76aが凹状であることで、大半が下方に向かって反射するが、一部が上方に向かって反射することがある。上記円弧面76aで上方に向かって反射したミストは上記飛散防止カバ−81の外周面に衝突するから、そのミストが保持部材11に保持された半導体ウエハ21に付着するのが防止される。
【0073】
しかも、上記飛散防止カバ−81の下端部は径方向外方に向かって折曲された下部折曲部81bが形成されている。そのため、半導体ウエハ21から飛散するミストの一部は上記下部折曲部81bの内周面に衝突するが、その内周面に衝突したミストは下方に向かって反射する。そのため、飛散防止カバ−81を設けても、ミストがその内周面で反射して半導体ウエハ21へ戻るのが上記下部折曲部81bによって防止される。
【0074】
つまり、飛散防止カバ−81の下端と半導体ウエハ21の上面との間隔を狭くしたことで、上カップ76の円弧面76aで反射したミストが半導体ウエハ21の上面へ再付着するのを防止できる反面、ミストの一部が上記飛散防止カバ−81の下端部に衝突する。しかしながら、飛散防止カバ−81の下端部は下部折曲部81bに形成されているから、そこに衝突したミストは下方に反射するため、半導体ウエハ21に付着するのが防止されることになる。
【0075】
上記上カップ76の外周面には外気侵入防止カバ−82が取付けられている。この外気侵入防止カバ−82は、上記飛散防止カバ−81と同様、弗素樹脂などの耐蝕性に優れた合成樹脂によって筒状に形成されている。この外気侵入防止カバ−82の上端にはL字状の折曲部82aが形成され、この折曲部82aは上記上カップ76の外周面上部の取付部76bに取付け固定されている。
【0076】
上記下カップ75の周壁には、その上端に開放した収納溝83が全周にわたって形成されている。上記上カップ76が上昇した状態において、上記外気侵入防止カバ−82の下端部は上記収納溝83内に位置している。それによって、上記下カップ75の上端部分、つまり下カップ75と上カップ76との隙間79を介して重合した部分の外周は、上記外気侵入防止カバ−82の下端部によって覆われている。
【0077】
上記外気侵入カバ−82によって上記隙間79が覆われることで、その隙間79から外気がカップ体80内に侵入するのが防止される。
上記外気侵入防止カバ−82を収納溝83に挿入したことで、この外気侵入防止カバ−82と下カップ75の周壁の収納溝83が形成された部分とでラビリンス構造をなしている。そのため、外気侵入防止カバ−82を収納溝83に挿入したことで、上記隙間79からの外気侵入を良好に阻止することができる。
【0078】
上記収納溝83に液体を入れ、この液体に上記外気侵入防止カバ−82の下端部を浸漬させれば、上記外気侵入防止カバ−82と下カップ75との間が気密になるから、上記隙間79から外気が侵入するのを確実に防止することができる。
【0079】
上記上カップ76の上面が開口していることで、その開口からカップ体80内には外気が侵入する。しかしながら、スピン処理装置は、通常クリ−ンル−ム(図示せず)内に設置されている。クリ−ンル−ムでは、パ−ティクルを含まない清浄空気が天井から床面に向けて流れている。そのため、上記カップ体80の内部には、上記上カップ76の上面開口から清浄空気が流入するため、その空気によって半導体ウエハ21が汚染されることはほとんどない。
【0080】
なお、図6に示すように外気侵入防止カバ−82Aを伸縮可能なゴムや合成樹脂によって蛇腹状の円筒体とし、下端を下カップ75の上端に連結し、上端を上カップ76の取付部76bに連結するようにしてもよい。
【0081】
上記下カップ75の内底部には、弗素樹脂などの耐蝕性に優れた合成樹脂によって上端が開放した傘状に形成されたガイド部材85が設けられている。つまり、このガイド部材85は上端面が下端面よりも小径で、周壁が上端から下端にゆくにつれて径方向外方に向かって傾斜した筒状に形成されている。
【0082】
上記ガイド部材85は、上端内周面が上記回転体9の外周面に接近し、下端は下カップ75の底部に接続された排気管77の開口の径方向中途部に位置している。
【0083】
上記吸引ポンプ90の吸引力がカップ体80内に作用することで、カップ体80内のミストと気体は上記ガイド部材85の傾斜した外周面にガイドされて上記排気管77へ円滑に排出される。しかも、ガイド部材85の下端が排気管77の径方向中途部に位置していることで、上記ガイド部材85の外周面側と内周面側との両方に、上記排気管77を介して吸引ポンプ90の吸引力が作用する。そのため、上記ガイド部材85の外周面側だけでなく、内周面側に入り込んだミストや下カップ75の通孔75aから内周面側に入り込んだ気体も上記排気管77から良好に排出されることになる。
【0084】
このように構成されたスピン乾燥処理装置によって半導体ウエハ21を洗浄処理してから乾燥処理する場合には、まず、上カップ76を下降させて半導体ウエハ21を回転体9(保持部材11)に供給する。ついで、上カップ76を上昇させ、回転体9に保持された半導体ウエハ21の周辺部を覆い、カップ体80内を吸引ポンプ90によって吸引しながら回転体9を回転させ、半導体ウエハ21の上面と下面とに処理液を供給する。それによって、上記半導体ウエハ21は上面と下面とが上記処理液によってたとえば洗浄処理されることになる。
【0085】
洗浄処理を行ったのち、処理液の供給を停止して回転体9を高速で回転して半導体ウエハ21に付着した処理液を飛散させることで、上記半導体ウエハ21が乾燥処理されることになる。
【0086】
回転する半導体ウエハ21に処理液が噴射されたり、半導体ウエハ21が乾燥処理されることで、その処理液がミストとなって周囲に飛散して上カップ76の円弧面76aに衝突する。この円弧面76aは凹状であるから、半導体ウエハ21から飛散して上記円弧面76aに衝突したミストのほとんどは下方に向かって反射する。そのため、吸引ポンプ90の吸引力によってガイド部材85の外周面に沿って流れ、上記排気管77へ円滑に排出される。
【0087】
上カップ76の円弧面76aで反射したミストの一部は、その円弧面76aへの入射角度によっては上方に向かって反射する。しかしながら、上方に向かって反射したミストは、上カップ76の上部に設けられた飛散防止カバ−81の外周面に衝突する。そのため、上カップ76の円弧面76aで上方に向かって反射したミストが半導体ウエハ21に付着するのも防止される。
【0088】
上記飛散防止カバ−81の下端部は径方向外方に向かって折曲された下部折曲部81bに形成されている。そのため、半導体ウエハ21の上面からわずかに上方に向かって飛散して上記下部折曲部81bの内周面に衝突したミストは下方へ向かって反射する。そして、そのミストはガイド部材85の外周面にガイドされて排気管77へ排出されるため、半導体ウエハ21に付着することがない。
【0089】
このように、回転する半導体ウエハ21から飛散するミストは、上カップ76の内周面が凹状の円弧面76aであることや上カップ76に飛散防止カバ−81を設けたことによって、上記上カップ76の内周面で反射して半導体ウエハ21に付着するのを良好に防止することができる。
【0090】
しかも、カップ体80内から排気管77へ排出されるミストはガイド部材85の傾斜した周壁の外周面によって円滑にガイドされるから、そのことによってもミストがカップ体80内から排出され易くなる。
【0091】
上記飛散防止カバ−81とガイド部材85とによって洗浄処理時に発生したミストがカップ体80内から円滑かつ確実に排出されることで、乾燥処理時に上記カップ体80内にはミストがほとんど残留することがない。したがって、洗浄に続いて乾燥処理を終えた半導体ウエハ21が、ミストによって汚染されるのが防止される。
【0092】
上記カップ体80は、上カップ76を下降させて半導体ウエハ21を回転体9から着脱する構成であるため、上記下カップ75と上カップ76との間に隙間79が確保されるが、その隙間79、つまり下カップ75と上カップ76との重合部分からパ−ティクルを含む外気がカップ体80の内部へ侵入する虞がある。
【0093】
しかしながら、上記各カップ75、76の重合部分は外気侵入防止カバ−82によって覆われている。そのため、上記重合部分の隙間79から外気がカップ体80内へ侵入するのが防止されるから、外気に含まれるパ−ティクルが半導体ウエハ21に付着するということもない。
【0094】
さらに、下カップ75の内底部に設けられたガイド部材85は、下端が排気管77の径方向中途部に位置するように設けられている。そのため、排気管77を介してカップ体80内に作用する吸引ポンプ90の吸引力は、上記ガイド部材85の外周面側だけでなく内周面側にも作用する。
【0095】
上記ガイド部材85の内周面側に作用する吸引力は、下カップ75の通孔75aからカップ体80内に侵入する外気を、カップ体80内に散乱させることなく排気管77へ吸引するから、上記通孔75aから侵入する外気に含まれるパ−ティクルが半導体ウエハ21に付着するのが防止される。
【0096】
図5は回転体9に保持された半導体ウエハ21の上面におけるパ−ティクルをパ−ティクルカウンタによって計測した結果を示す。同図中曲線Aは飛散防止カバ−81と外気侵入防止カバ−82とが設けられていない場合で、その場合には回転体9の回転数が600rpm に上昇するとパ−ティクル数が増加し始め、1500rpm では所定の単位面積当たりのパ−ティクル数が約5100個に急増した。
【0097】
曲線Bは飛散防止カバ−81だけを設けた場合で、この場合は曲線Aに比べて回転体9の回転数の増加に対してパ−ティクルの増加割合が低く、回転数が1500rpm のときには所定の単位面積当たりのパ−ティクル数が約3500個であった。つまり、飛散防止カバ−81を設けることで、ミストが上カップ76で反射して半導体ウエハ21へ付着するのが抑制できると考えられる。
【0098】
曲線Cは飛散防止カバ−81と外気侵入防止カバ−82とを設けた場合で、この場合には回転体9の回転数が1500rpmnとなっても、上記半導体ウエハ21の上面ではパ−ティクルがほとんど検出されなかった。つまり、飛散防止カバ−81と外気侵入防止カバ−82とを設けることで、飛散防止カバ−81による上述した効果と、外気侵入防止カバ−82による外気の侵入防止効果によって半導体ウエハ21の汚染が低減されるものと考えられる。
【0099】
なお、この発明は上記一実施形態に限定されず、種々変形可能である。たとえば、上記一実施形態では被処理物として半導体ウエハを挙げたが、半導体ウエハに代わり、液晶表示装置に用いられる矩形状のガラス基板であっても、この発明の装置で処理する際の汚染を防止することができる。
【0100】
【発明の効果】
この発明によれば、回転体に保持された被処理物の周囲を覆う飛散防止カバ−を設けるようにした。そのため、被処理物から飛散して上カップの内周面で反射したミストは上記飛散防止カバ−の外周面に衝突して上記被処理物へ戻りにくいから、被処理物がミストによって汚染されにくくなる。
また、上記飛散防止カバ−の下端を回転体に保持される被処理物の上面よりも上方に位置させるようにした。そのため、被処理物の上面から飛散するミストは飛散防止カバ−の内周面にほとんど衝突することなく、下端側を通過して上カップの内周面で反射し、ついで外周面に衝突して排出されるから、ミストによる被処理物の汚染が良好に防止される。
さらに、飛散防止カバ−の下端部を径方向外方に向かって屈曲するようにした。そのため、被処理物からのミストが飛散防止カバ−の下端部内周面に衝突しても、そのミストは下方に向かって反射するから、被処理物に付着するのが防止される。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態を示す装置全体の概略的構成の断面図。
【図2】同じく保持部材の斜視図。
【図3】同じく回転軸とロック筒体との関係を示す斜視図。
【図4】同じく解除機構の平面図。
【図5】同じく実験結果を示すグラフ。
【図6】外気侵入防止カバ−の変形例を示す一部分の断面図。
【符号の説明】
6…ステップモ−タ
9…回転体
21…半導体ウエハ(被処理物)
75…下カップ
76…上カップ
77…排気管
79…隙間
80…カップ体
81…飛散防止カバ−
82…外気侵入防止カバ−
83…収納溝
85…ガイド部材
90…吸引ポンプ
Claims (7)
- 被処理物を回転させて処理するスピン処理装置において、
下カップおよびこの下カップに対し所定の隙間を介して上下動自在に設けられた上カップとを有するカップ体と、
このカップ体内に設けられ上記被処理物を保持する回転体と、
この回転体を回転駆動する駆動手段と、
上記下カップの底部に接続され上記カップ体内の排気を行う排気管と、
上記上カップの内周面に設けられる飛散防止カバ−を具備し、
上記飛散防止カバ−は上記回転体に保持される上記被処理物の周囲を囲むリング状をなしていて、その下端は上記被処理物に対する処理時に上記回転体に保持される被処理物の上面よりも上方に位置するとともに、下端部は径方向外方に向かって折曲され上記被処理物の上面から飛散してその内周面に衝突したミストを下方に向かって反射する下部折曲部に形成されていることを特徴とするスピン処理装置。 - 被処理物を回転させて処理するスピン処理装置において、
下カップおよびこの下カップに対し所定の隙間を介して上下動自在に設けられた上カップとを有するカップ体と、
このカップ体内に設けられ上記被処理物を保持する回転体と、
この回転体を回転駆動する駆動手段と、
上記下カップの底部に接続され上記カップ体内の排気を行う排気管と、
上記上カップの内周面に設けられる飛散防止カバ−と、
上記上カップと下カップとの上記隙間を覆う外気侵入防止カバ−を具備し、
上記飛散防止カバ−は上記回転体に保持される上記被処理物の周囲を囲むリング状をなしていて、その下端は上記被処理物に対する処理時に上記回転体に保持される被処理物の上面よりも上方に位置するとともに、下端部は径方向外方に向かって折曲され上記被処理物の上面から飛散してその内周面に衝突したミストを下方に向かって反射する下部折曲部に形成されていることを特徴とするスピン処理装置。 - 被処理物を回転させて処理するスピン処理装置において、
下カップおよびこの下カップに対し所定の隙間を介して上下動自在に設けられた上カップとを有するカップ体と、
このカップ体内に設けられ上記被処理物を保持する回転体と、
この回転体を回転駆動する駆動手段と、
上記下カップの底部に接続され上記カップ体内の排気を行う排気管と、
上記上カップの内周面に設けられる飛散防止カバ−と、
上記カップ体の内底部に設けられこのカップ体内の気体を上記排気管へガイドするガイド部材を具備し、
上記飛散防止カバ−は上記回転体に保持される上記被処理物の周囲を囲むリング状をなしていて、その下端は上記被処理物に対する処理時に上記回転体に保持される被処理物の上面よりも上方に位置するとともに、下端部は径方向外方に向かって折曲され上記被処理物の上面から飛散してその内周面に衝突したミストを下方に向かって反射する下部折曲部に形成されていることを特徴とするスピン処理装置。 - 被処理物を回転させて処理するスピン処理装置において、
下カップおよびこの下カップに対し所定の隙間を介して上下動自在に設けられた上カップとを有するカップ体と、
このカップ体内に設けられ上記被処理物を保持する回転体と、
この回転体を回転駆動する駆動手段と、
上記下カップの底部に接続され上記カップ体内の排気を行う排気管と、
上記上カップの内周面に設けられる飛散防止カバ−と、
上記上カップと下カップとの上記隙間を覆う外気侵入防止カバ−と、
上記カップ体の内底部に設けられこのカップ体内の気体を上記排気管へガイドするガイド部材を具備し、
上記飛散防止カバ−は上記回転体に保持される上記被処理物の周囲を囲むリング状をなしていて、その下端は上記被処理物に対する処理時に上記回転体に保持される被処理物の上面よりも上方に位置するとともに、下端部は径方向外方に向かって折曲され上記被処理物の上面から飛散してその内周面に衝突したミストを下方に向かって反射する下部折曲部に形成されていることを特徴とするスピン処理装置。 - 上記上カップの内周面は凹状の円弧面であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のスピン処理装置。
- 上記外気侵入防止カバ−は筒状に形成され上端が上記上カップの外周面に取付けられ、上記下カップの周壁には上端に開放した収納溝が形成されていて、上記外気侵入防止カバ−は、上記収納溝にスライド自在に収納されているとともに上記上カップが上昇した状態において下端部が上記収納溝内に位置する長さに設定されていることを特徴とする請求項2又は請求項4のいずれかに記載のスピン処理装置。
- 上記外気侵入防止カバ−は、伸縮自在な蛇腹状に形成されていて、一端が上記下カップの外周面に取付けられ、他端が上記上カップの外周面に取付けられていることを特徴とする請求項2又は請求項4のいずれかに記載のスピン処理装置。
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-
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