JP4327304B2 - スピン処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は基板を回転させて処理液を噴射することで洗浄などの処理をするスピン処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
たとえば、半導体装置や液晶表示装置の製造過程においては、基板としての半導体ウエハや液晶用ガラス基板に回路パタ−ンを形成するための成膜プロセスやフォトプロセスがある。これらのプロセスでは、上記基板に対して成膜処理と洗浄処理とが繰り返し行われる。
【0003】
上記基板の洗浄処理及び洗浄後の乾燥処理を行うためにはスピン処理装置が用いられる。このスピン処理装置はカップ体を有し、このカップ体内には回転駆動される回転体が設けられている。この回転体には保持機構が設けられ、この保持機構には基板が着脱可能に保持される。
【0004】
上記保持機構に保持された基板には、回路パターンが形成される上面に向けて上部処理液用ノズルから処理液が噴射される。また、基板は上面だけでなく、下面の清浄度が要求されることもあるので、そのような場合には基板の下面に向けて処理液を噴射する下部処理液用ノズルが配置される。
【0005】
上記基板の下面側に下部処理液用ノズルを配置する場合、上記カップ体内にノズルヘッドを設け、このノズルヘッドに下部処理液用ノズルや基板の下面を処理した後に乾燥するために気体を噴射する気体用ノズル等を設けるようにしている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
このような構成によると、基板の下面を処理するために下部処理液用ノズルから噴射された処理液の一部は、基板の裏面で反射して上記ノズルヘッドの上面に滴下する。ノズルヘッドの上面に滴下した処理液は基板の乾燥処理時などに、基板の回転によってこの基板の下面側に生じる乱気流で飛散し、洗浄された基板の裏面に付着して汚染の原因になるということがある。
【0007】
この発明は、基板の下面側に向けて噴射された処理液が、基板の下面で反射して滴下しても、ノズルヘッドの上面に付着残留することのないようにしたスピン処理装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、基板を回転させるとともに、この基板の下面に処理液を噴射して処理するスピン処理装置において、
カップ体と、
このカップ体内に配設され中心部に通孔が形成された回転駆動される回転体と、
この回転体の上面に設けられ上記基板を上記回転体の上面側で着脱可能に保持する保持機構と、
上記回転体の通孔に設けられた固定軸の上端に上記回転体の上面側に突出して設けられ上記保持機構によって保持される上記基板の下面の中心部に対向する位置に配置されこの基板の下面に向けて処理液を噴射する下部処理液用ノズルが設けられたノズルヘッドと、
このノズルヘッドの上面に開放して形成された凹部と、
この凹部の内底部に連通して設けられ上記下部処理液用ノズルから噴射されて上記基板の下面で反射して上記凹部内に滴下する処理液を排出する排液部と
を具備したことを特徴とするスピン処理装置にある。
【0009】
請求項2の発明は、上記凹部は、ノズルヘッドの上面に開放した上部から下部に向かって小径となる円錐形状に形成されていることを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置にある。
【0010】
請求項3の発明は、上記凹部の内面には上下方向に沿う案内溝が形成されていることを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置にある。
【0011】
請求項4の発明は、上記下部処理用ノズルは、上記ノズルヘッドの凹部の内面に開口形成されていることを特徴とする特徴とする請求項1記載のスピン処理装置にある。
【0012】
請求項5の発明は、上記下部処理液用ノズルは、上記基板の回転中心に向けて処理液を噴射する角度で上記凹部の内面に開
口形成されていることを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置にある。
【0013】
請求項6の発明は、上記下部処理液用ノズルの処理液を噴射する角度は、基板の下面で反射した処理液が上記凹部内に滴下する範囲であることを特徴とする請求項5記載のスピン処理装置にある。
【0014】
請求項7の発明は、上記ノズルヘッドの上部には、上記基板の回転によって生じるこの基板の下面側の気流を上記凹部内へ導入する羽根が設けられていることを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置にある。
【0015】
請求項8の発明は、上記ノズルヘッドには、気体を上記基板の下面の回転中心に向けて噴射する気体用ノズルが上記凹部の内面に開口形成されていることを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置にある。
【0016】
請求項9の発明は、上記回転体の上面側であって、上記保持機構に保持される基板の下面側には、上記回転体の上面側のほぼ全体を覆うとともに、上記ノズルヘッドの凹部に対向する部分に開口部が形成された乱流防止カバ−が設けられていて、この乱流防止カバーの上記開口部を形成した部分の周辺部には上記凹部内に入り込む遮蔽部が設けられていることを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置にある。
【0017】
請求項1の発明によれば、基板の下面に処理液を噴射する下部処理液用ノズルが設けられたノズルヘッドには、その上面に開放した凹部を形成し、この凹部内に滴下する処理液を排出するようにしたから、基板を処理液で処理した後に、乾燥処理する際、ノズルヘッドに滴下した処理液が飛散するのを防止できる。
【0018】
請求項2の発明によれば、凹部を円錐形状に形成したので、凹部内に滴下した処理液を効率よく確実に排出することが可能となる。
【0019】
請求項3の発明によれば、凹部の内面に上下方向に沿う案内溝を形成したことで、凹部内に滴下した処理液を上記案内溝に沿って効率よく確実に排出することが可能となる。
【0020】
請求項4の発明によれば、下部処理液用ノズルをノズルヘッドの凹部の内面に開口形成したから、下部処理液用ノズルを別部品を用いることなくノズルヘッドと一体形成することができる。
【0021】
請求項5の発明によれば、下部処理液用ノズルからの処理液を基板の回転中心に向けて噴射するため、基板の回転によって生じる遠心力で基板の下面に噴射された処理液を全面にわたって分散させることができる。
【0022】
請求項6の発明によれば、下部処理液用ノズルから噴射されて基板の下面で反射した処理液がノズルヘッドの凹部内に滴下するため、基板の下面で反射する処理液のほとんどを凹部を通じて確実に排液することができる。
【0023】
請求項7の発明によれば、ノズルヘッドに、基板の回転によってノズルヘッドの上方に生じる気流を凹部内に導入する羽根を設けたことで、ノズルヘッドの上方に浮遊するミスト状の処理液などを効率よく確実に凹部内に流入させて排出することができる。
【0024】
請求項8の発明によれば、ノズルヘッドの凹部の内面に基板の回転中心に向けて気体を噴射する気体用ノズルを設けたことで、基板の下面を処理液による処理後に確実に乾燥処理することができる。
【0025】
請求項9の発明によれば、回転体の上面側と基板の下面側との間に、乱流の発生を抑制する乱流防止カバーを設け、この乱流防止カバーにはノズルヘッドの凹部に対向する開口部を形成するとともに、上記凹部内に入り込む遮蔽部を設けたから、基板の下面に気流の乱れによりミストが付着するのを防止でき、しかも上記遮蔽部によってノズルヘッドの上面から乱流防止カバーの内面側へ処理液やミストなどが入り込むのを防止できる。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。
【0027】
図2に示すこの発明のスピン処理装置はカップ体1を有する。このカップ体1は載置板2上に設けられた下カップ3と、この下カップ3の上側に図示しない上下駆動機構によって上下駆動自在に設けられた上カップ4とからなる。
【0028】
上記下カップ3の底壁の中心部と載置板2とにはこれらを貫通する通孔5が形成されており、また上記下カップ3の周壁3aは上記上カップ4の二重構造の周壁4aにスライド自在に嵌挿し、これら周壁によってラビリンス構造をなしている。
【0029】
上記上カップ4の上面は開口していて、この上カップ4が下降方向に駆動されることで、後述するようにカップ体1内で処理された基板としてのたとえば半導体ウエハUを取り出したり、未処理の半導体ウエハUを供給できるようになっている。さらに、上記下カップ3の底壁には周方向に所定間隔で複数の排出管6の一端が接続され、他端は図示しない吸引ポンプに連通している。それによって、上記半導体ウエハUを洗浄処理したり、乾燥処理することで上記カップ体1内で飛散する処理液が排出されるようになっている。
【0030】
上記カップ体1の下面側には板状のベ−ス7が配置されている。このベ−ス7には上記カップ体1の通孔5と対応する位置に取付孔8が形成されていて、この取付孔8には駆動手段を構成するパルス制御モ−タ9の固定子9aの上端部が嵌入固定されている。
【0031】
上記固定子9aは筒状をなしていて、その内部には同じく筒状の回転子9bが回転自在に嵌挿されている。この回転子9bの上端面には筒状の連結体11が下端面を接合させて一体的に固定されている。この連結体11の下端面には上記固定子9aの内径寸法よりも大径な鍔部11aが形成されている。この鍔部11aは上記固定子9aの上端面に摺動自在に接合しており、それによって回転子9bの回転を阻止することなくこの回転子9aが固定子9bから抜け落ちるのを規制している。
【0032】
上記連結体11は上記カップ体1の通孔5からその内部に突出し、上端面には円板状の回転体12が取付け固定されている。この回転体12は図1に示すように下板13aと上板13bとを接合させた二重板構造をなしていて、その中心部には通孔14が形成されている。
【0033】
図2に示すように、上記下カップ3の通孔5の周辺部には環状壁3bが突設され、上記回転体12の外周面には上記環状壁3bの外周面に内周面を対向させた環状壁12bが垂設され、これら環状壁3b、12bによって処理液が回転体12の下面側に回り込むのを防止するラビリンス構造をなしている。
【0034】
上記回転体12の上面には周方向に所定間隔、この実施の形態では60度間隔で6つのボス部15(図1に2つだけ示す)が突設されている。このボス部15には滑り軸受16が外嵌されていて、この滑り軸受16には保持部材17が回転自在に挿入支持されている。
【0035】
上記保持部材17は、図1に示すように上部が上記ボス部15の外径寸法とほぼ同径の大径部18に形成され、この大径部18の下面に上記滑り軸受16に支持される軸部19が一体形成されてなる。上記大径部18の上面には中心部に円錐状の支持ピン21が突設され、径方向周辺部である偏心位置には逆テ−パ状のロックピン22が突設されている。
【0036】
上記6本の保持部材17の支持ピン21上には上記半導体ウエハUが下面を支持されて載置される。その状態で図3に示すように上記ロックピン22が半導体ウエハUの外周面に当接することで、その半導体ウエハUは回転体12と一体的に保持されるようになっている。
【0037】
後述するように、回転体12が回転(公転)することで、上記保持部材17が図3にXで示す状態から鎖線で示すYの状態へ回転(自転)すると、上記ロックピン22が保持部材17の回転中心に対して偏心回転するから、上記ロックピン22による上記半導体ウエハUの保持状態が解除されるようになっている。
【0038】
図1に示すように、上記保持部材17の各軸部19の下端部は回転体12の下面から突出し、その下端部にはセクタギヤからなる子歯車23が嵌合固定されている。各子歯車23は上記連結体11の外周面に軸受24によって回転自在に設けられた平歯車からなる親歯車25に噛合している。この親歯車25は図3に示すように、6つの子歯車23と対応する間隔で6つの凸部25aが周方向に所定間隔で形成されてなり、各凸部25aの先端外周面には上記子歯車23に噛合する歯が形成されている。
【0039】
図1に示す上記連結体11の外周面には付勢手段としての捩じりコイルばね26が装着されている。この捩じりコイルばね26は一端を上記連結体11に係合させ、他端を上記親歯車25に係合させることで、上記親歯車25を図3に矢印Aで示す回転方向(反時計方向)に付勢している。それによって、上記子歯車23は同図に矢印Bで示す時計方向に付勢されるから、この子歯車23の回転に保持部材17が連動し、上記ロックピン22が回転体12の中心方向へ偏心回転して半導体ウエハUの外周面に当接するようになっている。
【0040】
上記ロックピン22による半導体ウエハUのロック状態の解除は、図2に示す解除機構31によって行えるようになっている。この解除機構31はガイド付きの解除シリンダ32を有する。この解除シリンダ32は上記固定子9aの下端面に一端を固定したほぼL字状のブラケット33の他端に軸線を垂直にして取付けられている。
【0041】
上記解除シリンダ32の駆動軸34にはクランク状に折曲されたア−ム35の下端が連結されている。このア−ム35の上端部は上記ベ−ス7に形成された挿通孔7aを通されて上記親歯車25の下面近傍まで延出され、その上端には解除ピン36が垂直に立設されている。
【0042】
図3に示すように上記保持部材17のロックピン22が半導体ウエハUの外周面に当接してこの半導体ウエハUが保持された状態において、上記解除シリンダ32が作動してその駆動軸34が突出方向に駆動され、その動きにア−ム35が連動すると、このア−ム35の上端に設けられた解除ピン36は上記親歯車25の1つの凸部25aの側面に係合し、上記親歯車25が矢印A方向に回転するのを阻止するようになっている。
【0043】
上記解除ピン36によって親歯車25の矢印A方向の回転が阻止された状態で、パルス制御モ−タ9を駆動してその回転子9bを図3に示す矢印C方向へ回転させると、上記回転体12が捩じりコイルばね26の付勢力に抗して連結体11とともに回転する。
【0044】
上記回転体12を矢印C方向へ角度θ回転させると、親歯車25は回転体12と一体的に回転せず、回転体12だけが回転子9bとともに角度θ回転する。
【0045】
それによって、上記親歯車25に噛合した上記子歯車23は回転体12とともに公転しながら自転するから、この子歯車23と一体的に設けられた保持部材17は矢印B方向と逆方向である反時計方向に回転する。その結果、保持部材17は図3にXで示す状態からYで示す状態になり、ロックピン22は半導体ウエハUの外周面から離れる方向へ偏心回転するから、このロックピン22による半導体ウエハUの保持状態が解除されることになる。
【0046】
なお、上記回転子9bの下端面には図2に示すようにゲ−ジ37が設けられ、このゲ−ジ37は上記固定子9aの下端面に設けられたセンサ38によって検出される。センサ38がゲ−ジ37を検出した位置が上記回転子9bの回転角度の原点として認識され、その認識に基づいて上記回転子9bの回転角度が制御されるようになっている。
【0047】
上記回転子9bの内部には中空状の固定軸41が挿通されている。この固定軸41の下端部は上記パルス制御モ−タ9の下方に配置された支持部材42の取付孔42aに嵌入固定されている。上記支持部材42にはブレ−キシリンダ43が軸線を垂直にして取付けられている。このブレ−キシリンダ43の駆動軸44にはブレ−キシュ−45aが取付けられている。
【0048】
上記ブレ−キシリンダ43が作動してその駆動軸44が上昇方向に駆動されると、ブレ−キシュ−45aは上記回転子9bの下端面に設けられたブレ−キディスク45bに圧接してこの回転子9bの回転を阻止するようになっている。
【0049】
すなわち、回転子9bに上記捩じりコイルばね26の復元力が加わっているとき、つまり回転体12を捩じりコイルばね26の付勢力に抗してパルス制御モ−タ9により矢印C方向に角度θだけ回転させ、ロックピン22による半導体ウエハUのロック状態を解除しているときに、たとえば停電などでパルス制御モ−タ9の駆動力が消失しても、上記回転体12が捩じりコイルばね26の復元力によって矢印C方向と逆方向へ戻るのを阻止している。
【0050】
上記ロックピン22による半導体ウエハUのロック状態を解除した状態において、図示しないロボットにより、上記回転体12から処理された半導体ウエハUが搬出されたり、未処理の半導体ウエハUが供給される。
【0051】
そのため、ロボットによる半導体ウエハUの搬出、供給時に停電などが生じても、回転体12が捩じりコイルばね26の復元力によって矢印C方向と逆方向へ回転して戻ることがないから、回転体12に立設された保持部材17の位置が変化することもない。
【0052】
したがって、上記ブレ−キシリンダ43により、停電時などに、保持部材17の間を通して半導体ウエハUの下面側に導入されるロボットのア−ムが保持部材17にぶつかり、半導体ウエハUの搬出、供給作業が不能になるのを防止できるようになっている。
【0053】
上記固定軸41の上端部は上記回転体12の通孔14に対向位置する。この固定軸41の上端にはノズルヘッド46が嵌入固定されている。このノズルヘッド46は回転体12の上面側に突出していて、その外周部には上記通孔14の周辺部に突設された環状壁47を内部に収容する環状溝48が下面に開放して形成されている。つまり、環状壁47と環状溝48とでラビリンス構造を形成しており、回転体12の上面側で飛散する処理液が通孔14を通り、固定軸41に沿ってカップ体1の外部へ流出するのを阻止している。
【0054】
上記ノズルヘッド46には図4と図5に示すように、その上面に開放した凹部51が形成されている。この凹部51は上部から下部にゆくにつれて小径となる円錐形状に形成されている。ノズルヘッド46の上面の上記凹部51の周辺部は径方向外方に向かって低く傾斜した傾斜面52に形成されている。
【0055】
上記凹部51の底部には排液部を形成する排液孔53の一端が開口している。この排液孔53の他端には排液管54(図1に示す)の一端が接続されている。この排液管54の他端は上記排出管6と同様、図示しない吸引ポンプに接続されている。
【0056】
図4に示すように、上記ノズルヘッド46には、先端を上記凹部51の内面に開口させた3つの下部処理液用ノズル55と、1つの下部気体用ノズル56とが周方向にほぼ90度間隔で形成されている。つまり、各ノズル55,56は上記ノズルヘッド46に穿設された管路からなり、先端が凹部51の内面に開口させたノズル孔55a,56aとなっている。
【0057】
各ノズル55,56の基端は上記ノズルヘッド46の下面に開口して設けられた第1、第2の接続孔57,58にそれぞれ連通している。第1の接続孔57には図1に示すように処理液供給管59が接続され、第2の接続孔58には気体供給管61が接続されている。
【0058】
下部処理液用ノズル55からは、処理液供給管59を通じて洗浄処理時に純水、過酸化水素水、フッ酸などの処理液が保持部材17に保持された半導体ウエハUの下面に向けて噴射され、下部気体用ノズル56からは気体供給管61を通じて乾燥処理時に窒素などの気体が噴射されるようになっている。
【0059】
各ノズル55,56の噴射方向はノズルヘッド46の軸線Oに対して所定角度傾斜している。すなわち、下部処理液用ノズル55は、保持部材17に保持された半導体ウエハUの回転中心に向けて処理液を噴射するようになっている。また、下部気体用ノズル56からの気体も半導体ウエハUの径方向中心部、つまり回転中心に向けて噴射されるようになっている。
【0060】
それによって、処理液は回転する半導体ウエハUの遠心力によって裏面のほぼ全体に分散するとともに、半導体ウエハUで反射した処理液のほとんどが凹部51内に滴下することになり、また気体も半導体ウエハUの裏面ほぼ全体に作用することになる。
【0061】
なお、処理液は半導体ウエハUの回転中心からわずかにずれた位置に向けて噴射するようにしてもよく、その場合半導体ウエハUの裏面で反射した処理液が凹部51内に滴下する角度で処理液を噴射することが好ましい。同様に、気体も半導体ウエハUの回転中心からわずかにずれた位置に向けて噴射するようにしてもよい。
【0062】
上記凹部51の内面には上下方向に沿う複数の案内溝62が周方向に所定間隔で形成されている。この案内溝62は半導体ウエハUで反射して凹部51に滴下した処理液を、凹部51の内面に沿って排液孔53へ円滑に案内することになる。
【0063】
さらに、ノズルヘッド46の上面には、図4に示すように周方向に180度間隔で、一対の取付溝63が径方向に沿って形成されている。この取付溝63の先端は上記凹部51の内面に連通している。この取付溝63にはそれぞれ羽根64が先端部を上記凹部51内に突出させて設けられている。
【0064】
上記羽根64は、上記半導体ウエハUが回転体12とともに回転したときに、この半導体ウエハUの下面に生じる気流を凹部51内へ導入する形状になっている。それによって、とくに乾燥処理時に半導体ウエハUの下面側に浮遊するミスト状の処理液を効率よく凹部51内へ導入して排出できるようになっている。
【0065】
図1に示すように、上記回転体12の上面側には乱流防止カバ−66が設けられている。この乱流防止カバ−66は上記保持部材17に保持された半導体ウエハUの下面側に位置し、周辺部には上記保持部材17の上部を露出させる第1の開口部67が形成され、中心部には上記ノズルヘッド46の凹部51を開口させる第2の開口部68が形成されている。第2の開口部68の周辺部は凹部51内に入り込むよう折り曲げられた遮蔽部69に形成されている。なお、遮蔽部69はノズルヘッド46凹部51内面に対して非接触となっている。
【0066】
上記乱流防止カバ−66によって回転体12の凹凸状の上面が覆われている。それによって、回転体12の回転に伴う乱流の発生が抑制されるから、半導体ウエハUを洗浄した塵埃を含む処理液がカップ体1内であらゆる方向に飛散し、たとえば半導体ウエハUの下面側に舞い込んで付着するのを防止できるようになっている。とくに、上記乱流防止カバ−66の上面と半導体ウエハUの下面との間隔を所定の間隔に設定すると、乱流の抑制効果が高くなる。
【0067】
さらに、乱流防止カバー66にノズルヘッド46の凹部51内に入り込む遮蔽部69を形成したことで、第2の開口部68によって生じるノズルヘッド46と乱流防止カバー66との隙間を閉塞することができる。
【0068】
それによって、洗浄処理時にカップ体1内に飛散する処理液が乱流防止カバー66の内面側に入り込んで付着し、その処理液が乾燥処理時に飛散して半導体ウエハUに付着するということを防止できる。
【0069】
回転体12の保持部材22によって保持された半導体ウエハUの上方には、上部処理液用ノズル71及び上部気体用ノズル72が配置されている。上部処理液用ノズル71からは上記半導体ウエハUの上面に向けて処理液が噴射され、上部気体用ノズル72からは窒素などの乾燥用の気体が噴射されるようになっている。
【0070】
つぎに、上記構成のスピン処理装置によって半導体ウエハUを洗浄処理する場合について説明する。
【0071】
半導体ウエハUを回転体12に供給する前には、保持部材17のロックピン22はアンロック状態になっている。つまり、解除シリンダ32が作動して解除ピン36が親歯車25の凸部25aの側面に係合した状態で回転体12がパルス制御モ−タ9によって図3に矢印Cで示す方向に捩じりコイルばね26の付勢力に抗して角度θ回転させられている。それによって、保持部材17が回転するから、ロックピン22が偏心回転し、このロックピン22は支持ピン21に支持される半導体ウエハUの外周面よりも所定寸法径方向外方の離れた位置にある。
【0072】
ロックピン22がアンロック状態にあるとき、上記回転体12上に未処理の半導体ウエハUが図示しないロボットによってそのア−ムを保持部材17の間を通して供給される。つまり、半導体ウエハUを保持したア−ムは回転体12の上面へ進入してから下降し、半導体ウエハUをア−ムから支持ピン21に受け渡し、ついで後退することで上記半導体ウエハUの供給が完了する。
【0073】
半導体ウエハUの供給時にはブレ−キシリンダ43が作動してブレ−キシュ−45aがブレ−キディスク45bに圧接し、回転子9bの回転を阻止している。そのため、半導体ウエハUの供給時に停電などが生じても、上記回転子9bが捩じりコイルばね26の復元力によって矢印C方向と逆方向に回転するのが防止される。
【0074】
したがって、上記ブレ−キシリンダ43によって回転体12の回転角度が一定に維持されるから、停電等が生じてパルス制御モ−タ9の駆動力が消失しても、回転体12が回転してロボットのア−ムが保持部材17にぶつかり、半導体ウエハUの供給ができなくなるということがない。
【0075】
回転体12に半導体ウエハUが供給されたなら、解除シリンダ32の駆動を解除し、解除ピン36を親歯車25の凸部25aから外す。それによって、親歯車25は捩じりコイルばね26の付勢力によって矢印A方向へ回転するから、この親歯車25により子歯車23が保持部材17とともに矢印B方向に回転させられる。
【0076】
保持部材17が矢印B方向に回転すれば、この保持部材17に設けられたロックピン22が半導体ウエハUの外周面に当接する方向へ偏心回転するから、上記半導体ウエハUがロックピン22によって保持されることになる。
【0077】
半導体ウエハUをロックピン22によって保持したならば、ブレ−キシリンダ43の駆動を解除してブレ−キシュ−45aによる回転子9bの回転阻止状態も解除する。ついで、パルス制御モ−タ9を作動させて回転体12を回転させるとともに、半導体ウエハUの上面および下面に上部処理液用ノズル71及び下部処理液用ノズル55から処理液を噴射することで、この半導体ウエハUの上下面を洗浄処理することができる。
【0078】
下部処理液用ノズル55から噴射される処理液は半導体ウエハUの回転中心に向けて噴射される。そのため、処理液は、半導体ウエハUの回転によって生じる遠心力で径方向外方に向かって流れるから、半導体ウエハUの下面全体を処理液によって確実に処理することができる。
【0079】
しかも、第2の開口部68の周辺部には凹部51内に入り込む遮蔽部69を形成したから、処理液が乱流防止カバー66内に入り込んで付着し、乾燥処理時に飛散して半導体ウエハUに付着するということも防止できる。
【0080】
下部処理液用ノズル55から噴射された半導体ウエハUの下面で反射した処理液のほとんどはノズルヘッド46の凹部51内に滴下する。この凹部51の形状は円錐状であり、しかも内面には上下方向に沿って案内溝62が形成されている。そのため、凹部51に滴下した処理液はその底部に形成された排液孔53へ円滑に導かれ、排液管54から排出されることになる。
【0081】
半導体ウエハUの洗浄が終了したならば、その上下面に上部気体用ノズル71と下部気体用ノズル56とから乾燥用の気体を噴射しながら回転体12とともに半導体ウエハUを高速回転させ、その上下面に付着した処理液を除去乾燥させる。
【0082】
下部気体用ノズル56は気体が半導体ウエハUの径方向外方に向かって噴射される。そのため、その気体の流れによって半導体ウエハUの下面を全体にわたって良好に乾燥処理することができる。
【0083】
上記半導体ウエハUの下面側には乱流防止カバ−66が設けられ、回転体12が高速回転しても、その上面の凹凸形状によって乱流が発生するのを防止する。そのため、半導体ウエハUの下面側に浮遊するミスト状の処理液は、排出管6から円滑に排出されるから、カップ体1内で舞い上がって半導体ウエハUに再付着することがほとんどない。
【0084】
また、半導体ウエハUを高速回転させると、この半導体ウエハUの下面側には気流が発生する。この気流の一部はノズルヘッド46に設けられた羽根64によって凹部51内に向かう流れとなる。
【0085】
そのため、半導体ウエハを高速回転させることで、この下面側にミスト状の処理液が浮遊していても、その処理液は上記羽根64によって生じる気流で凹部51内に導入されて排液管54から排出されるため、このことによっても半導体ウエハUの下面の汚染を防止することができる。
【0086】
乾燥処理が終了したならば、回転体12の回転を停止し、ついでセンサ38がゲ−ジ37を検出する原点位置まで上記回転体12をパルス駆動する。回転体12を原点位置まで回転させたなら、解除シリンダ32を作動させて解除ピン36を親歯車25の凸部25aの側面に係合させる。
【0087】
ついで、パルス制御モ−タ9の回転子9bを所定のパルス数だけ回転させ、回転体12を捩じりコイルばね26の付勢力に抗して矢印C方向へ角度θ回転させる。つまり、親歯車25の回転を解除ピン36で阻止して回転体12だけを回転させることで、この回転体12を捩じりコイルばね26の付勢力に抗して回転させることができる。
【0088】
それによって、上記親歯車25に噛合した子歯車23が回転体12とともに公転しながら自転し、その自転に保持部材17が連動して矢印Bと逆方向に回転するから、ロックピン22による半導体ウエハUのロック状態が解除される。
【0089】
半導体ウエハUのロック状態が解除されたならば、ブレ−キシリンダ43を作動させて回転子9bを固定し、回転体12が捩じりコイルばね26の復元力で矢印C方向と逆方向に回転するのを阻止したならば、図示しないロボットによってカップ体1内の処理された半導体ウエハUを回転体12から取り出す。
【0090】
処理された半導体ウエハUを回転体12から取り出したならば、未処理の半導体ウエハUを供給し、上述した工程を繰り返すことで、その半導体ウエハUの洗浄処理および乾燥処理を行うことができる。
【0091】
一方、下部処理液用ノズル55と下部気体用ノズル56とは、ノズルヘッド46に通路を穿設して形成されている。そのため、上記各ノズル55,58を形成するために別部品を用いる必要がないから、部品点数を少なくし、構成の簡略化やコストの低減を図ることができる。
【0092】
この発明は上記一実施の形態に限定されず、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能である。たとえば、基板としては半導体ウエハに限られず、液晶表示装置用のガラス基板であってもよく、要は高精度に洗浄処理することが要求される基板であれば、この発明を適用することができる。
【0093】
【発明の効果】
請求項1の発明によれば、基板の下面に処理液を噴射する下部処理液用ノズルが設けられたノズルヘッドには、その上面に開放した凹部を形成し、この凹部内に滴下する処理液を排出するようにした。
【0094】
そのため、基板を処理液で処理した際に、ノズルヘッドの上面に処理液が付着残留するのを防止できるから、洗浄処理後に乾燥処理する際、ノズルヘッドから処理液が舞い上がって基板の裏面に付着するのを防止できる。
【0095】
請求項2の発明によれば、ノズルヘッドに形成される凹部の形状を円錐形状にした。
【0096】
そのため、凹部内に滴下した処理液はその傾斜した内周面に沿って円滑に排出することが可能となるから、凹部の内面に付着残留して乾燥処理時に舞い上がるのを防止できる。
【0097】
請求項3の発明によれば、ノズルヘッドの凹部の内面に上下方向に沿う案内溝を形成した。
【0098】
そのため、凹部内に滴下した処理液を案内溝に沿って円滑に排出することが可能となるから、凹部の内面に付着残留して乾燥処理時に舞い上がるのを防止できる。
【0099】
請求項4の発明によれば、下部処理液用ノズルをノズルヘッドの凹部の内面に開口形成した。
【0100】
そのため、下部処理液用ノズルを別部品を用いることなくノズルヘッドと一体形成することができるから、部品点数を少なくし、構成の簡略化やコストの低減を図ることができる。
【0101】
請求項5の発明によれば、下部処理液用ノズルからの処理液を基板の回転中心に向けて噴射するようにした。
【0102】
そのため、処理液は、基板の回転によって生じる遠心力で基板の下面全体にわたって分散させることができるから、処理液による処理効果を高めることができる。
【0103】
請求項6の発明によれば、下部処理液用ノズルから噴射されて基板の下面で反射した処理液がノズルヘッドの凹部内に滴下するようにした。
【0104】
そのため、基板の下面で反射する処理液のほとんどを凹部を通じて確実に排液することができるから、基板で反射した処理液がカップ体内に飛散し、乾燥処理時などに基板に付着するのを防止できる。
【0105】
請求項7の発明によれば、ノズルヘッドに、基板の回転によってノズルヘッドの上方に生じる気流を凹部内に導入する羽根を設けるようにした。
【0106】
そのため、乾燥処理にノズルヘッドの上方に浮遊するミスト状の処理液などを効率よく確実に凹部内に流入させて排出することができるから、基板への付着による汚染を防止できる。
【0107】
請求項8の発明によれば、ノズルヘッドの凹部の内面に基板の回転中心に向けて気体を噴射する気体用ノズルを設けた。
【0108】
そのため、乾燥処理時に、基板の下面を全体にわたって確実に乾燥処理することが可能となる。
【0109】
請求項9の発明によれば、回転体の上面側と基板の下面側との間に、乱流の発生を抑制する乱流防止カバーを設け、この乱流防止カバーにはノズルヘッドの凹部に対向する開口部を形成するとともに、上記凹部内に入り込む遮蔽部を設けた。
【0110】
そのため、基板の下面側の気流が乱れるのを防止できるから、基板の下面にミストが付着し難くなり、しかも上記遮蔽部によってノズルヘッドの上面と乱流防止カバーの間に隙間が生じる防げるから、処理液やミストなどが乱流防止カバー内に入り込み、乾燥処理時などに流出して基板の下面に付着するのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施の形態を示す回転体の部分の拡大断面図。
【図2】同じく全体構成を示す縦断面図。
【図3】同じく乱流防止カバ−を除去した回転体の平面図。
【図4】同じくノズルヘッドの平面図。
【図5】同じく図4のX−X線に沿う断面図。
【符号の説明】
1…カップ体
12…回転体
17…保持部材(保持機構)
21…支持ピン(保持機構)
22…ロックピン(保持機構)
46…ノズルヘッド
51…凹部
53…排液孔(排液部)
55…下部処理液用ノズル
56…下部気体用ノズル
62…案内溝
64…羽根
66…乱流防止カバ−
68…第2の開口部
Claims (9)
- 基板を回転させるとともに、この基板の下面に処理液を噴射して処理するスピン処理装置において、
カップ体と、
このカップ体内に配設され中心部に通孔が形成された回転駆動される回転体と、
この回転体の上面に設けられ上記基板を上記回転体の上面側で着脱可能に保持する保持機構と、
上記回転体の通孔に設けられた固定軸の上端に上記回転体の上面側に突出して設けられ上記保持機構によって保持される上記基板の下面の中心部に対向する位置に配置されこの基板の下面に向けて処理液を噴射する下部処理液用ノズルが設けられたノズルヘッドと、
このノズルヘッドの上面に開放して形成された凹部と、
この凹部の内底部に連通して設けられ上記下部処理液用ノズルから噴射されて上記基板の下面で反射して上記凹部内に滴下する処理液を排出する排液部と
を具備したことを特徴とするスピン処理装置。 - 上記凹部は、ノズルヘッドの上面に開放した上部から下部に向かって小径となる円錐形状に形成されていることを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置。
- 上記凹部の内面には上下方向に沿う案内溝が形成されていることを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置。
- 上記下部処理液用ノズルは、上記ノズルヘッドの凹部の内面に開口形成されていることを特徴とする特徴とする請求項1記載のスピン処理装置。
- 上記下部処理液用ノズルは、上記基板の回転中心に向けて処理液を噴射する角度で上記凹部の内面に開口形成されていることを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置。
- 上記下部処理液用ノズルの処理液を噴射する角度は、基板の下面で反射した処理液が上記凹部内に滴下する範囲であることを特徴とする請求項5記載のスピン処理装置。
- 上記ノズルヘッドの上部には、上記基板の回転によって生じるこの基板の下面側の気流を上記凹部内へ導入する羽根が設けられていることを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置。
- 上記ノズルヘッドには、気体を上記基板の下面の回転中心に向けて噴射する気体用ノズルが上記凹部の内面に開口形成されていることを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置。
- 上記回転体の上面側であって、上記保持機構に保持される基板の下面側には、上記回転体の上面側のほぼ全体を覆うとともに、上記ノズルヘッドの凹部に対向する部分に開口部が形成された乱流防止カバ−が設けられていて、この乱流防止カバーの上記開口部を形成した部分の周辺部には上記凹部内に入り込む遮蔽部が設けられていることを特徴とする請求項1記載のスピン処理装置。
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