KR100230502B1

KR100230502B1 - 회전식 약액 처리장치

Info

Publication number: KR100230502B1
Application number: KR1019950005959A
Authority: KR
Inventors: 히로요시 사고; 히데야 고바리; 고지 우에다; 히데노리 미야모또; 류죠 다까즈끼
Original assignee: 도리고에 도시오; 다즈모 가부시키가이샤; 나까네 히사시; 도꾜오까 고교 가부시키가이샤
Priority date: 1994-03-24
Filing date: 1995-03-21
Publication date: 1999-11-15
Also published as: JPH07256195A; JP3388628B2; US5591262A; KR950031250A

Abstract

본발명은 반도체 소자용의 웨이퍼나 액정판넬용의 유리기판등의 처리물 표면에 막형성용의 액을 도포하거나, 피처리물 표면에 부착되어 있는 액을 회전에 의해 제거하거나, 또는 현상처리나 습식에칭을 하는 회전식 약액 처리장치에 관한 것이다.

회전컵식 처리장치의 내측컵용 덮개의 아랫면 세정을 효율좋게 할 수 있도록 본 발명은 세정액 노즐(12)의 외주면과 중공공(13)에 있는 노즐축(8) 내주면과의 사이에 형성되는 환상의 간극은 격벽부재인 파이프(15)로 환상의 외측간극(16)과 내측간극(17)으로 나누고, 외측간극(16)은 그 상단부 및 하단부가 씰재(18, 19)로 기밀하게 밀봉되고, 밀봉된 외측간극(16)은 그 하부에 튜브(20)를 게재하여 진공흡인장치에 연결하고 또 상부에 있어서 흡인척(7)에 형성된 흡인공이 연통하도록 구성하였다.

Description

회전식 약액 처리장치

제1도는 본발명에 관한 회전식 약액 처리장치 중 회전컵식 약액 처리장치의 단면도.

제2도는 상기 회전컵식 약액 처리장치의 흡인척의 부분확대단면도.

제3도는 상기 회전컵식 약액 처리장치의 스피너축 하부의 확대단면도.

제4도는 스피너축의 내부구조를 도시한 확대횡단면도.

제5도는 스피너축의 실시예를 도시한 확대횡단면도.

제6도는 세정액 노즐의 별개 실시예를 도시한 도.

제7도 세정액 노즐의 별개 실시예를 도시한 도.

제8도는 세정액 노즐의 별개 실시예를 도시한 도.

제9도는 별개 실시예에 관한 회전컵식 약액 처리장치의 단면도.

제10도는 제9도의 화살표 A방향에서 본 도면.

제11도는 본 발명에 관한 회전식 약액 처리장치중 스피너식 약액 처리장치의 단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

3 : 외측컵 5 : 내측컵

7 : 흡인척 8 : 스피너척

9 : 승강체 11 : 고정블럭

12,63 : 세정액 노즐 12a,12b,12c : 노즐공

13,60 : 중공공 14,16a : 테이퍼 공

15 : 격벽부재(파이프) 16 : 외측간극

17 : 내측간극 33 : 외측컵용 덮개

35 : 내측컵용 덮개 40,59 : 계지부재

41,64 : 간극 52 : 고정컵

54 : 스피너 W : 피처리물

웨이퍼나 유리기판에 박막형성용의 도포액을 도포하기 위함 등에 이용되는 회전식 약액 처리장치로서는 스피너 척(Spiner Chuck)에 피처리물을 고정하고, 스피너 척과 일체적으로 피처리물을 회전시켜 이 회전에 의해 발생하는 원심력으로 피처리물 표면에 적하한 도포액을 균일하게 피처리물 표면에 확산되도록 하고 있다.

그러나, 상술한 약액 처리장치에 있어서는 컵이 고정되여 스피너 척이 회전하기 때문에 컵 내에 난류가 생기고, 균일한 도포가 곤란하여 미세한 먼지가 부착하여 진행이 정류되는 저항을 초래한다.

그래서, 도포 분무기에 난류를 일으키지 않는 장치로서 일본국 특개평 3-293056호에 회전컵식 약액 처리장치(도포장치)가 제한되어 있다.

이 회전컵식 약액 처리장치는 고정된 외측컵 내에 내측컵을 배치하고, 이 내측컵이 내측컵 안에 피처리물을 고정시킴과 함께 내측컵의 윗면 개구를 마개로 폐쇄한 상태에서 내측컵을 회전시키도록 한 것이다.

상술한 스피너식 또는 회전컵식 어느쪽의 회전식 약액 처리장치에 있어서도 피처리물의 배면에 돌아들어가거나 컵 내면에 부착한 도포액등을 그대로 두면 건조하여 먼지로 되어 다음공정에 있어서 피처리물 표면에 부착하는 점이 있다.

그래서, 스피너식의 장치에 있어서는 스피너의 주연에서 세정액을 피처리물 배면으로 향하여 분출하는 구조의 것이 제한되고, 회전컵식의 장치에 있어서는 마개를 윗쪽으로 도망갈 수 있는 상태로 내측컵내에 이동식의 세정노즐을 두고, 내측컵에 세정액을 적합함과 함께 내측컵을 회전시키도록 하고 있다.

또한, 스피너식 혹은 회전컵식 어느쪽의 회전식 약액 처리장치도 진공척에 의해 피처리물을 흡인 고정하는 것이 일반적이지만, 진공척에 의해 피처리물을 흡인 고착하는 경우, 흡착면에 온도차가 생기거나, 또는 흡착면에 부착한 미세한 먼지가 피처물에 전사되어 제품에 악영향을 미치는 불이익이 있다. 특히 이 불이익은 대규격의 유리기판을 처리하는 경우에 현저하게 된다.

그래서, 진공척에 의하지 않는 고척수단으로서 피처리물의 주연을 스피너 상면에 설치한 핀등의 계지부재로서 지지하고, 스피너 또는 내측컵으로 일체적으로 피처리물을 회전시키는 수단이 제한되어 있다.

상술한 스피너식 또는 회전컵식 어느쪽의 회전식 약액 처리장치도 장치자체의 세정 및 피처리물 배면의 세정에 문제를 가지고 있다.

즉, 이동식의 세정노즐을 사용한 회전컵식 약액 처리장치에 있어서는 내측컵 내면은 세정가능해도 마개밑면은 세정불가하고, 이 때문에 마개밑면에 대해서는 수작업으로 세정하고 있어 자동화의 방해가 되고 있다.

그래서, 내측컵의 밑면에서 세정액을 분출하도록 하면 마개밑면을 세정할수 있지만, 내측컵은 고속으로 회전하는 부재임으로 이 내측컵에서 세정액을 분출시키는 경우에는 내측컵과 세정액 공급부와를 잇는 부분의 밀폐가 곤란하게 된다.

한편, 진공척에 의하지 않는 고착수단으로 피처리물을 회전시키는 경우에는 피처물의 배면에 돌아들어간 도포액을 세정할 필요가 있으나, 진공척에 설치된 세정기구를 그대로 적용할 수 없다.

즉, 진공척으로 피처리물을 고착하는 경우에는 피처리물 보다도 소경의 진공척 일부에 외측으로 향하는 세정액 분출구를 설치하도록 하고 있으나, 계지부재로 피처리물의 외주를 지지하는 고착수단을 채용한 경우에는 세정액 분출구의 위치도 효과적인 위치를 선택할 필요가 있다.

이 경우 세정액 분출구의 가장 효과적일 위치로서, 진공척을 사용한 장치에 있어서는 세정액 분출구를 설치하는 것이 불가능한 위치에 있던 스피너 또는 내측컵의 중심부가 고려되어진다. 그러나 상기한 바와 같이 회전부분과 세정액 공급부와를 잇는 부분이 밀폐가 곤란하게 된다.

상기 과제를 해결하려는 본원의 회전식 약액 처리장치중 회전컵식 장치에 관한 발명은 내측컵의 바깥쪽에 회전하는 내측컵에서의 배수를 받아주는 외측컵을 배치한 회전식 약액 처리장치에 있어서, 상기 내측컵의 회전중심에 상하방향으로 관통하는 중공구멍을 설치하고, 이 궁공구멍내에 고정블럭에 취부되어진 세정액노즐을 중공구멍 내주면과의 사이에 간극을 형성하도록 삽입했다.

또한, 본원의 회전식 약액 처리장치중 스피너식 장치에 관한 발명은 고정한 컵안에 스피너를 배치하고, 이 스피너에 판상 피처리물의 아래면을 스피너 윗면에서 이격한 상태로 지지하는 계지부재를 설치한 회전식 약액 처리장치에 있어서, 상기 스피너의 중심에는 상하방향으로 관통하는 중공구멍이 설치되고, 이 중공구멍안에 고정블럭에 취부된 세정액 노즐이 중공구멍 내주면과의 사이에 간극을 형성했다.

그리고, 상기 발명에 있어서, 세정액 노즐 외주면과 중공구멍 내주면과의 사이에 간극은 폐액용 또는 가스공급용 통로로 할 수 있고, 또 피처리물을 고착하는 척으로써 흡인척을 구비한 것에 있어서는 상기 간극을 파이프등의 격벽부재에 의해 바깥쪽 간극과 안쪽 간극으로 나누고, 바깥쪽 간극을 흡인척의 흡입공에 연결되는 통로로 할 수 있다.

더구나, 상기 중공구멍의 상단부 형상으로는 테이퍼구멍으로 하고, 세정액 노즐로는 상기 테이퍼구멍에 세정액을 분출하는 횡공 혹은 마개아랫면에 세정액을 넓게 분출하는 경사공등을 형성하는 것, 또는 부채꼴의 것으로 해도 좋다.

회전컵식 약액 처리장치의 덮개를 세정한 경우에는 피처리물을 정착시키지 않은채 덮개를 열고, 이 상태에서 내측컵을 회전함과 함께 세정액 노즐에서 세정액을 분출하여 덮개 아랫면 및 내측컵 내면을 세정한다.

또한, 회전컵식 약액 처리장치 혹은 스피너식 약액 처리장치에 있어서 피처리물 배면을 세정하는 경우에는 피처리물을 내측켭 또는 스피너에 설치한 계지부재위에 정착하고, 다음으로 내측컵 또는 스피너를 회전함과 함께 세정액 노즐에서 세정액을 분출하여 피처리물 아랫면을 세정한다. 이 세정은 피처리물 윗면에 도포액을 도포하는 것과 동시에 해도 좋고 도포와는 별도로 해도 좋다.

[실시예]

아래에 본 발명의 실시예를 첨부도면에 기하여 설명한다. 여기서, 제1도는 본발명에 관한 회전식 약액 처리장치 중 회전컵식 약액 처리장치의 단면도이고, 제2도는 상기 회전컵식 약액 처리장치의 흡인척의 부분확대 단면도이고, 제3도는 상기 회전컵식 약액 처리장치의 스피너축 하부의 확대단면도이고, 제4도는 스피너축의 내부구조를 도시한 확대횡단면도이다.

회전컵식 약액 처리장치는 지주(1)에 지지되는 베이스(2)위에 환상의 외측컵(3)을 고정하고, 이 외측컵(3) 안쪽에 베어링(4)을 게재하여 내측컵(5)을 회전자재하게 배치하고 있다. 이 내측컵(5)은 도시하지 않은 모터의 구동력을 타이밍벨트(6)를 게재하여 내측컵(5) 하부의 통체(5a)로 전달하도록 회전되어 진다.

또 내측컵(5)의 중앙부에는 흡인척(7)이 설치되어 있다. 이 흡인척(7)의 회전중심에는 아래쪽으로 늘어진 중공의 스피너축(8)이 취부되고, 이 중공의 스피너축(8), 하단은 도시하지 않은 실린더유니트등에 의해 상기 지주(1)에 대하여 승강구동하는 승강체(9)에 베어링(10)을 게제하여 회전자재하게 지지되어 있다.

이렇게 흡인척(7)은 스피너축(8)을 게재하여 승강체(9)에 지지되어 있으므로, 승강체(9)가 상승하면 흡인척(7)은 내측컵(5) 저면보다도 상승하고, 이 상승한 위치에서 흡인척(7) 윗면에 반도체웨이퍼등의 피처리물(W)이 정착되고, 또 승강체(9)가 하강하여 흡인척(7)도 하강하고, 흡인척(7)의 윗면과 내측컵(5) 저면이 대략 같은 면으로 된다. 또 흡인척(7)은 하강하여 내측컵(5)과 요철(凹凸)계합하고, 내측컵(5)의 회전이 흡인척(7)에 전달된다.

또한, 상기 승강체(9)의 아랫면에는 블록(11)이 취부되고, 이 블록(11)에 고정된 세정액 노즐(12)이 상기 스피너축(8)의 내주면인 중공공(13)안에 삽입되고, 세정액 노즐(12)의 상단부는 흡인척(7)에 형성된 윗쪽으로 넓은 테이퍼공(14)안에 놓여있다.

또한, 세정액 노즐(12)의 외주면과 중공공(13) 내주면과의 사이에 형성되는 환상의 간극은 격벽부재인 파이프(15)에서 환상의 외측간극(16)과 내측간극(17)으로 나누어지고, 외측간극(16)은 그 상단부 및 하단부가 씰재(18,19)로 기밀하게 봉함유지되고, 봉함된 외측간극(16)은 그 하부에 척(20)을 게재하여 진공흡입장치에 연결되고, 또 상부에 흡인척(7)에 형성한 흡입공(21)이 연통하고 있다.

여기서, 상기 흡인공(21)은 윗쪽이 외경측으로 되도록 경사하고 있다. 이는 내측컵(5)과 흡인척(7)이 회전할 때 흡입공(21)안에 주입된 세정액을 원심력에 의해 바깥쪽으로 배출하기 때문이다. 동일한 이유로 흡인척(7)의 상단 외주부와 내측컵(5)과의 합치부(22)도 윗쪽으로 향하여 바깥이 넓은 형상으로 되어 있다.

또한, 상기 고정블럭(11)에는 상기 내측간극(17)에 연결되는 구멍(23,24)이 형성되고, 구멍(23)에는 세정액의 회수간(25)이 컨넥터(26)에 의해 접속되고, 구멍(24)에는 질소가스등의 분위기가스를 분출하는 노즐(27)이 컨넥터(28)에 의해 접속되어 있다.

한편, 내측컵(5)의 외주부에는 외측컵(3)의 회수통로(30)에 개구하는 배액겸배기공(31)이 형성되고 또 임의의 움직임이 가능한 암(32)의 선단에 외측컵(3)의 덮개(33)이 취부되고, 이 덮개(33)의 중앙부에 형성된 개구(34)에 내측컵(5)의 덮개(35)의 프렌지부착축부(36)가 승강자제하게 지지되어 있다.

이상에서, 피처리물(W) 표면에 피막형성용의 도포액을 도포하기에는 암(32)을 이동시켜 외측컵(3) 및 내측컵(5)의 덮개(33,35)를 열고, 흡인척(7)을 승강체(9)로 상승시켜 내측컵(5) 윗면보다 들어올린 상태에서 흡인척(7)위에 피처리물(W)을 정착하고, 튜브(20) ·외측간극(16) 및 흡입공(21)을 게재하여 피처리물(W)을 흡인척(7)위에 흡인고정하고, 흡인척(7)을 하강시켜 흡인척(7)과 내측컵(5)과를 요철계지시키고, 다음에 피처리물(W)윗면 중앙에 도포액을 적하하고, 덮게(33,35)로 외측컵(3) 및 내측컵(5)의 윗면 개구를 닫음과 함께 내측컵(5)을 회전시킨다.

그러면, 내측컵(5)과 피처리물(W)을 흡인고정합 흡인척(7)이 일체적으로 회전하고, 원심력에 의해 적하된 도포액이 피처리물(W) 윗면에 균일하게 확산되어 진다. 또한, 원심력에 의해 내측컵(5) 안의 기체는 배액겸배기공(31)에서 외측컵(3)의 회수통로(30)로 배출되어 내측컵(5)안에는 감암됨으로 도포액중에 용전되어있는 가스도 도포액에서 제거된다.

한편, 덮개를 세정하는 경우에는 피처리물(W)을 고정하지 않고 덮개(33,35)를 닫고, 이 상태에서 내측컵(5)을 회전함과 함께 세정액 노즐(12)에서 세정액을 분출하여 내측컵(5)의 덮개(35) 아랫면 및 내측컵(5)내면을 세정한다.

제5도는 스피너축의 별개 실시예를 도시하는 제4도와 동일한 도면이고, 본 실시예에서는 파이프에 의해 외측간극과 내측간극을 구획하지 않고, 스피너축(8)을 두껍게 하고, 이 두꺼운 스피너축(8)안에 상기 외측간극(16)에 상당하는 구멍(37)을 형성하고 있다.

또한, 제6도 ·제7도 및 제8도는 세정액 노즐의 별개 실시예를 도시한 도이고, 제6도에 도시한 세정액 노즐(12)은 흡인척(7)의 테이퍼공(14)으로 향하여 세정액을 분출하는 횡공(12a)과 직상방으로 향하여 세정액을 분출하는 종공(12b)을 형성하고 있다. 이렇게 구성함에 의해 세정액이 윗쪽뿐만 아니라 옆쪽으로도 넓은 흡인척(7) 및 내측컵(5) 내면이 효과적으로 세정된다.

또한, 제7도에 도시한 세정액 노즐(12)은 상기 횡공(12a)외에 경사공(12c)을 형성하고, 또 제8도에 도시한 세정액 노즐(12)은 노즐 상단부의 형상을 테이퍼공에 연하여 부채꼴로 하고, 세정공(12d)를 형성하고 있다. 이렇게 구성한 것으로 규격이 큰 덮개 일지라도 확실히 아랫면을 세정할 수 있다.

제9도는 별개 실시예에 관한 회전식 약액 처리장치의 단면도이고, 제10도는 제9도의 화살표 A방향에서 본 도면이고, 본 실시예에서는 피처리물로서 액정판넬용의 유리기판(W)에 약액을 도포하는 도포장치를 도시하고 있다. 통상, 상기 실시예와 동일부재에 대해서는 동일한 부호를 붙여 설명을 생략한다.

이 별도 실시예에 관한 도포장치는 흡인척 대신에 내측컵(5) 저면에 유리기판(W)의 모서리부를 계지하는 한쌍의 단부침돌기(40)를 4개소 설치하고, 이들 단부침돌기(40)에 유리기판(W)을 내측컵(5) 윗면에서 부유시킨 상태로 유지하고, 이 상태에서 회전하도록 하고 있다.

그래서, 본 실시예에서는 흡인척을 이용하지 않기 때문에 흡인용의 간극(상기 실시예의 외측간극)은 불필요하고, 스피너축(8)의 안쪽에는 세정노즐(12)만을 간극(41) 게재하여 배치하고 있다.

이상에 있어서, 본 실시예도 덮개의 세정을 하는 경우에는 피처리물(W)을 고정하지 않고 덮개(33,35)를 열고, 이 상태에서 내측컵(5)을 회전함과 함께 세정액 노즐(12)에서 세정액을 분출하여 내측컵(5)의 덮개(35) 아랫면 및 내측컵(5) 내면을 세정하는 것이지만, 본 실시예에 있어서는 피처리물(W)을 고정한 상태에서 피처리물(W) 아랫면과 내측컵(5) 저면과의 사이는 간극이 형성되므로 피처리물(W) 아랫면을 세정하는 것도 가능하다.

흡인척을 구비한 종래의 배면(하면) 세정기구에 있어서는 흡인척 보다도 바깥쪽에 세정노즐을 설치하지 않으면 안되었지만, 본 실시예에 의하면 세정노즐을 피처리물(W)의 아랫면 중앙에 위치시킬 수 있으므로 피처리물의 배면 중앙부근까지 돌아들어간 약액을 세정하는 것이 가능하게 되었다.

제11도는 본 발명에 관한 회전식 약액 처리장치중 스피너식 약액 처리장치의 단면도이고, 스피너식 약액 처리장치는 베이스(51) 위에 환상의 고정컵(52)을 고정하고, 이 고정컵(52) 안쪽에 베어링(53)을 게재하여 스피너(54)을 회전자제하게 배치하고 있다. 이 스피너(54)는 도시하지 않은 모터의 구동력을 타이밍벨트(55)를 게재하여 전달하여 회전시킨다.

또한 컵(52) 안에서 스피너(54)의 외측에는 도포액과 세정액의 회수통로(56)가 형성되고, 이 회수통로(56) 안에 배출된 도포액과 세정액을 드레인파이프(57)에서 취출하도록 하고 있다. 또한, 고정컵(52)의 상부개구는 착탈자재한 덮개(58)로 폐쇄된다.

한편, 스피너(54)의 상면에는 유리기판등의 피처리물(W)을 지지하는 계지부재로서 단부침돌기(59)를 여러개 식설하고 있다. 이 단부침돌기(59)는 상기 단부침돌기(40)와 구성 ·작용도 동일하다.

한편, 스피너(54)의 회전중심은 상하방향으로 관통하는 중공공(60)이 형성되고, 또 베이스(51)의 아랫면에서 늘어진 브라켓트(61)에 고정블럭(62)을 취부하고, 이 고정블럭(62)에 세정액 노즐 (63)이 고정되고, 이 세정액 노즐(63)이 상기 중공공(60) 안에 삽입되고, 세정액 노즐(63)의 상단부가 있는 중공공(60)의 상단부는 위쪽으로 넓은 테이퍼공(60a)로 되어 있다.

또한, 세정액 노즐(63)의 외주면과 중공공(60)의 내주면과의 사이에는 환상의 간극(64)이 형성되고, 또 상기 고정블럭(62)에는 이 간극(64)에 연결되는 세정액의 회수관(65) 및 질소가스등의 분위기가스를 분출하는 노즐(66)이 취부되어 있다. 또 세정액 노즐(63)이 선단부 형상에 대해서는 상기한 제6도 내지 제8도의 것을 채용할 수 있다.

이상에 있어서, 피처리물(W) 아랫면을 세정하는 경우에는 피처리물(W)을 고정한 상태에서 스피너(54)를 회전함과 함께 세정액 노즐(63)에서 세정액을 분출하여 피처리물(W)의 아랫면 전면을 세정한다.

또, 실시예에 있어서는 본 발명에 관한 회전식 약액 처리장치를 도포 장치로서 설명했지만 회전에 의해 피처리물 표면에 부착한 액체를 제거하는 건조장치로서 이용할수도 있다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면 회전컵식 약액 처리장치의 내측컵의 회전중심에 또는 스피너식 약액 처리장치의 스피너의 회전중심에 상하방향으로 관통하는 중공공을 설치하고, 이 중공공 내에 중공공의 내주면과의 사이에 간극을 취해 세정액 노즐을 삽입하여 내측컵 혹은 스피너와 함께 세정액 노즐을 회전시킬 필요가 없도록 한 것이므로 가동부분에서 세정액의 씰(밀폐)을 하지 않아 경제적이고, 세정액의 누출방지가 확실히 행해진다.

또한, 세정액 노즐 외주와 중공공의 내주면과의 사이 간극을 폐액용 또는 가스공급용 통로로 하여 충분한 세정액의 회수 혹은 컵 안으로의 질소가스등의 공급이 특별한 구조의 부가없이 행해진다.

또한, 회전식 약액 처리장치로써 흡인척을 구비한 것에 있어서는 세정액 노즐과 중공공 내주면과의 사이에 형성된 간극을 파이프에 의해 외측간극과 내측간극으로 나누고, 외측간극을 흡인척의 흡입공에 연결하는 흡입통로로 하여 필요한 구조를 집약시켜 배설할 수 있다.

더구나, 중공공 상단부의 형상을 윗쪽으로 넓어지는 테이퍼공으로 하고, 세정액 노즐의 상단부에 상기 테이퍼공으로 향하여 세정액을 분출하는 횡공을 형성하여 효율좋게 세정액을 분출할 수 있고, 또 세정액 노즐의 상단부에 경사진 분출공을 형성하여 더욱이 세정액 노즐의 상단부 형상을 부채꼴로 하여 대경의 덮개 아랫면에 있어서도 구석구석까지 세정할 수 있다.

Claims

내측컵의 바깥쪽에 회전하는 내측컵에서의 배수를 받아주는 외측컵을 배치한 회전식 약액 처리장치에 있어서, 상기 내측컵의 회전중심에는 상하방향으로 관통하는 중공공이 설치하고, 고정블럭에 취부되어진 세정액 노즐이 중공공 내주면과의 사이에 간극을 형성하여 중공공 내에 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제1항에 있어서, 상기 내측컵의 중앙에는 판상 피처리물과 내측컵과를 일체적으로 회전시키기 위한 흡인척이 설치되고, 이 흡인척을 관통하여 상기 중공공이 설치되고, 또 상기 세정액 노즐과 중공공 내주면과의 사이에 형성된 간극은 격벽부재에 의해 외측간극와 내측간극으로 나누어지고, 외측간극은 흡인척의 흡입공에 연결되는 흡입통로로 되고, 내측 간극은 폐액용 또는 가스공급용 통로로 되어 있는 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제1항에 있어서, 상기 내측컵 윗면에 판상 피처리물의 아랫면을 내측컵 윗면에서 이격한 상태로 지지하는 계지부재를 설치하고 있는 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
고정한 컵 내에 스피너를 배치하고, 이 스피너에 판상 피처리물의 아랫면을 스피너 윗면에서 이격한 상태로 지지하는 계지부재를 설치한 회전식 약액 처리장치에 있어서, 상기 스피너의 중심에는 상하방향으로 관통하는 중공공이 설치되고, 이 중공공 내에 고정블럭에 취부된 세정액 노즐이 중공공 내주면과의 사이에 간극을 형성하여 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 세정액 노즐 외주면과 중공공 내주면과의 사이 간극은 폐액통로로 한 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 세정액 노즐 외주면과 중공공 내주면과의 사이 간극은 가스공급통로로 한 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 세정액 노즐의 상단부가 있는 중공공 상단부의 형상은 윗쪽으로 넓어지는 테이퍼공으로 되고, 또 세정액 노즐의 상단부에는 상기 테이퍼공으로 향하여 세정액을 분출하는 횡공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 세정액 노즐의 상단부에는 피처리물 아랫면으로 향하여 경사진 세정액을 분출하는 경사공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 세정액 노즐의 상단부가 있는 중공공 상단부의 형상은 윗쪽으로 넓어지는 테이퍼공으로 되고, 또 세정액 노즐의 상단부 형상은 테이퍼공에 연하여 부채꼴로 넓어지고 있는 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제4항에 있어서, 계지부재가 단부침돌기인 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제4항에 있어서, 상기 세정액 노즐 외주면과 중공공 내주면과의 사이 간극은 폐액통로로 한 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제4항에 있어서, 상기 세정액 노즐 외주면과 중공공 내주면과의 사이 간극은 가스공급통로로 한 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제4, 11, 12항중 어느 한 항에 있어서, 상기 세정액 노즐의 상단부가 있는 중공공 상단부의 형상은 윗쪽으로 넓어지는 테이퍼공으로 되고, 또 세정액 노즐의 상단부에는 상기 테이퍼공으로 향하여 세정액을 분출하는 횡공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제5항에 있어서, 상기 세정액 노즐의 상단부가 있는 중공공 상단부의 형상은 윗쪽으로 넓어지는 테이퍼공으로 되고, 또 세정액 노즐의 상단부에는 상기 테이퍼공으로 향하여 세정액을 분출하는 횡공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제6항에 있어서, 상기 세정액 노즐의 상단부가 있는 중공공 상단부의 형상은 윗쪽으로 넓어지는 테이퍼공으로 되고, 또 세정액 노즐의 상단부에는 상기 테이퍼공으로 향하여 세정액을 분출하는 횡공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제4, 11, 12항중 어느 한 항에 있어서, 상기 세정액 노즐의 상단부에는 피처리물 아랫면으로 향하여 경사진 세정액을 분출하는 경사공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제5항에 있어서, 상기 세정액 노즐의 상단부에는 피처리물 아랫면으로 향하여 경사진 세정액을 분출하는 경사공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제6항에 있어서, 상기 세정액 노즐의 상단부에는 피처리물 아랫면으로 향하여 경사진 세정액을 분출하는 경사공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제4, 11, 12항중 어느 한 항에 있어서, 상기 세정액 노즐의 상단부가 있는 중공공 상단부의 형상은 윗쪽으로 넓어지는 테이퍼공으로 되고, 또 세정액 노즐의 상단부 형상은 테이퍼공에 연하여 부채꼴로 넓어지고 있는 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제5항에 있어서, 상기 세정액 노즐의 상단부가 있는 중공공 상단부의 형상은 윗쪽으로 넓어지는 테이퍼공으로 되고, 또 세정액 노즐의 상단부 형상은 테이퍼공에 연하여 부채꼴로 넓어지고 있는 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.
제6항에 있어서, 상기 세정액 노즐의 상단부가 있는 중공공 상단부의 형상은 윗쪽으로 넓어지는 테이퍼공으로 되고, 또 세정액 노즐의 상단부 형상은 테이퍼공에 연하여 부채꼴로 넓어지고 있는 것을 특징으로 하는 회전식 약액 처리장치.