JP3439266B2 - 回転カップ式液体供給装置 - Google Patents
回転カップ式液体供給装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガラス基板や半導体ウェ
ーハ等の被処理物の表面に被膜形成用の塗布液等を塗布
する回転カップ式液体供給装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】スピンナーによって回転せしめられるイ
ンナーカップ及びチャックをケーシング（アウターカッ
プ）内に配置し、チャック上に吸着された被処理物上面
にＳＯＧ等の塗布液を滴下し、インナーカップとともに
チャック上に吸着された被処理物を回転し、滴下された
塗布液を遠心力で被処理物表面に均一に拡散するように
した回転カップ式の塗布装置を本出願人は特開平３−２
９３０５５号公報に提案した。 【０００３】上述した回転カップ式の塗布装置にあって
は、滴下された塗布液の一部は被処理物表面に残るが、
他の塗布液は遠心力にて被処理物から飛散する。この飛
散した塗布液を回収して再利用等を図るため、従来にあ
ってはケーシングに回収通路を形成し、被処理物から飛
散した塗布液をインナーカップを介してケーシングの回
収通路に入れ、インナーカップの回転を利用して外部で
回収するようにしている。しかしながら、この回収方法
では回収効率が悪く、また、回収通路の清掃は装置を停
止して頻繁に行わなければならず、更に、ケーシングに
回収通路を形成しているため、その分ケーシングの径が
大きくなり、装置全体の大型化につながっている。 【０００４】そこで、本出願人は先に回転カップ式液体
供給装置のインナーカップの内周部側に供給された液の
貯留部を形成し、この貯留部に溜まった液体を移動可能
なノズルにて吸引回収する装置を提案した。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】被処理物がガラス基板
等の破損しやすい材料からなる場合には、スピンナーに
て回転せしめる際に、被処理物が割れることがある。そ
して貯留部に入った被処理物の小さな破片はノズルにて
吸引され、ノズルを傷つけるだけでなく、ノズルにつな
がる吸引装置を損傷することがある。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明に係る回転カップ式液体供給装置は、インナーカッ
プの内周部側に供給された液の貯留部を形成し、更に貯
留部に溜まった液体を吸引回収するノズルを移動可能に
配置したものにおいて、前記貯留部よりも内側で且つ前
記被処理物よりも外側となるインナーカップの底面に壁
体を立設し、この壁体に液体が流通可能な内外連通部を
形成した。 【０００７】 【作用】ガラス基板等に回転塗布を施している際に、万
一ガラス基板が破損しても破片は壁体によって止めら
れ、貯留部に入ることがない。 【０００８】 【実施例】以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。ここで、図１は本発明に係る回転カップ式液
体供給装置の一例としての塗布装置の半裁図、図２は同
塗布装置の塗布液回収の状態を示す断面図、図３は壁体
の拡大断面図である。 【０００９】回転カップ式塗布装置はベースプレート１
に環状のケーシング２を固定し、このケーシング２内に
スピンナー３によって回転せしめられるインナーカップ
４を配置し、このインナーカップ４の中央に被処理物と
してのガラス基板Ｗを吸着固定する真空チャック５をイ
ンナーカップ４に対して昇降可能に設けている。尚、ス
ピンナー３によって回転せしめられるインナーカップ４
に代えてインナーカップ４によって回転せしめられるス
ピンナー３を用いてもよい。 【００１０】前記インナーカップ４の外周面とケーシン
グ２の内周面とは略平行に近接し、これらの間に微小な
隙間６が形成され、またインナーカップ４の内周部側は
塗布液の貯留部７とされ、この貯留部７の底部は真空チ
ャック５に吸着されたガラス基板Ｗよりも深くなってい
る。 【００１１】前記ケーシング２及びインナーカップ４の
上方にはアーム８を配置している。アーム８は直線動、
回転動、上下動或いはこれらを合成した動きが可能で先
端には下方に伸びる軸９を取り付け、この軸９にはチッ
素ガス及び洗浄液を噴出するためのノズルを穿設してい
る。 【００１２】また、前記軸９にはベアリング及び磁気シ
ールを介してボス部１０を回転自在に嵌合し、このボス
部１０にインナーカップ４の上面開口を閉塞するための
円板状をなすアルミニウム又は塩化ビニル等から成る蓋
体１１を取り付けている。そして、この蓋体１１の下面
に整流板１２を取り付け、また、蓋体１１の上方のアー
ム８の先端下面にはケーシング２の上面開口を閉塞する
ための蓋体１３を設けている。この蓋体１３はアーム８
の先端下面に取り付けた筒体１４の外周にリング状のス
ライド部材１５を介して上下摺動自在に保持されてい
る。 【００１３】また、本発明に係る回転カップ式塗布装置
は吸引装置につながるノズル１６を備えている。このノ
ズル１６は上下動、水平動或いはこれらの合成動が可能
で、ノズル１６にて吸引された液は回収ボックスに送ら
れる。 【００１４】更に、前記貯留部７よりも内側で且つガラ
ス基板Ｗよりも外側となるインナーカップ４の底面には
壁体１７を立設している。この壁体１７は蓋体１１にて
インナーカップ４の上面を閉塞した状態で、整流板１２
の下面に接触しない高さとされ、その全体形状はガラス
基板Ｗの周囲に沿った矩形状をなし、図３に示すように
液体が流通可能な内外連通部１８を形成している。 【００１５】内外連通部１８は壁体１７の周方向に沿っ
て多数形成され、その寸法は、前記ノズル１６によって
ガラス基板Ｗの破片が吸引された場合に、ノズル１６や
吸引装置に悪影響を及ぼす大きさの破片を通過させない
寸法としている。 【００１６】ここで、前記壁体１７の形状はガラス基板
Ｗ等の被処理体の形状に必ずしも合わせる必要はなく、
また壁体１７に形成する内外連通部１８は壁体１７の周
方向に沿って多数形成されるが、その形成位置は壁体１
７の高さ方向の中間位置でもよい。また、壁体１７をイ
ンナーカップ４の底面に直接設けずに、壁体１７を枠と
し、これにチャック５用の孔を穿設した底面を設けた箱
状体をインナーカップ底面に取り付け、洗浄時に取り外
すようにする。このようにすれば、メンテナンスにおい
てもトレー全体を取り換えれば済むし、インナーカップ
４の底面を常時清浄にしておくことができる。 【００１７】以上において、アーム８を上昇し蓋体１
１，１３をインナーカップ４及びケーシング２から外し
た状態で、図示しないノズルから塗布液をチャック５上
に吸着されたガラス基板Ｗ表面に滴下し、この後アーム
８を下降し蓋体１１，１３を下げ、インナーカップ４及
びケーシング２上部を閉塞し、インナーカップ４ととも
にチャック５上に吸着されたガラス基板Ｗを回転させ、
滴下された塗布液を遠心力でガラス基板Ｗ表面に均一に
拡散する。 【００１８】この時、ガラス基板Ｗ表面から飛散した塗
布液１９は貯留部７内に溜まる。そこで、図２に示すよ
うに、蓋体１１，１３をインナーカップ４及びケーシン
グ２から外すとともにチャック５にてガラス基板Ｗを持
ち上げ、次工程にガラス基板Ｗを搬送する間に、ノズル
１６を貯留部７まで移動し、その先端を貯留部７内の塗
布液１９に浸漬し塗布液１９を吸引回収する。この時イ
ンナーカップ４については回転を停止するか又はゆっく
り回転せしめる。尚、吸引の頻度は１回の塗布毎、或い
はガラス基板Ｗを数枚処理する毎に行うようにする。こ
の実施例は塗布装置に適用したものであるが、現像液や
洗浄液、剥離液等の液体供給装置に使用してもよい。 【００１９】そして、上記の塗布工程において何らかの
原因でガラス基板Ｗが破損すると、その破片は遠心力で
外方に飛散するが、前記壁体１７にて止められ貯留部７
内に入ることがない。したがって、ノズルによって吸引
されることもない。尚、ガラス基板Ｗの破片のうち極め
て微細なものは、壁体１７の内外連通部１８を液体とと
もに通過して貯留部７内に入りノズル１６によって吸引
されるが、極めて小さな破片であるので、ノズル１６等
に悪影響を及ぼすことはない。 【００２０】 【発明の効果】以上に説明したように本発明に係る回転
カップ式液体供給装置は、インナーカップの内周部側に
供給された液の貯留部を形成し、更に貯留部に溜まった
液体を吸引回収するノズルを移動可能に配置したものに
おいて、前記貯留部よりも内側で且つ前記被処理物より
も外側となるインナーカップの底面に壁体を立設し、こ
の壁体に液体が流通可能な内外連通部を形成したので、
被処理物に回転塗布を施している際に、万一被処理物が
破損しても破片は壁体によって止められ、貯留部に入る
ことがない。したがって、回収した液体（塗布液）を最
使用する際に有利であり、またノズルが破片を吸引して
傷ついたり、破片がノズルにつながる吸引装置にまで入
り込んで吸引装置を損傷することがない。
ーハ等の被処理物の表面に被膜形成用の塗布液等を塗布
する回転カップ式液体供給装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】スピンナーによって回転せしめられるイ
ンナーカップ及びチャックをケーシング（アウターカッ
プ）内に配置し、チャック上に吸着された被処理物上面
にＳＯＧ等の塗布液を滴下し、インナーカップとともに
チャック上に吸着された被処理物を回転し、滴下された
塗布液を遠心力で被処理物表面に均一に拡散するように
した回転カップ式の塗布装置を本出願人は特開平３−２
９３０５５号公報に提案した。 【０００３】上述した回転カップ式の塗布装置にあって
は、滴下された塗布液の一部は被処理物表面に残るが、
他の塗布液は遠心力にて被処理物から飛散する。この飛
散した塗布液を回収して再利用等を図るため、従来にあ
ってはケーシングに回収通路を形成し、被処理物から飛
散した塗布液をインナーカップを介してケーシングの回
収通路に入れ、インナーカップの回転を利用して外部で
回収するようにしている。しかしながら、この回収方法
では回収効率が悪く、また、回収通路の清掃は装置を停
止して頻繁に行わなければならず、更に、ケーシングに
回収通路を形成しているため、その分ケーシングの径が
大きくなり、装置全体の大型化につながっている。 【０００４】そこで、本出願人は先に回転カップ式液体
供給装置のインナーカップの内周部側に供給された液の
貯留部を形成し、この貯留部に溜まった液体を移動可能
なノズルにて吸引回収する装置を提案した。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】被処理物がガラス基板
等の破損しやすい材料からなる場合には、スピンナーに
て回転せしめる際に、被処理物が割れることがある。そ
して貯留部に入った被処理物の小さな破片はノズルにて
吸引され、ノズルを傷つけるだけでなく、ノズルにつな
がる吸引装置を損傷することがある。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明に係る回転カップ式液体供給装置は、インナーカッ
プの内周部側に供給された液の貯留部を形成し、更に貯
留部に溜まった液体を吸引回収するノズルを移動可能に
配置したものにおいて、前記貯留部よりも内側で且つ前
記被処理物よりも外側となるインナーカップの底面に壁
体を立設し、この壁体に液体が流通可能な内外連通部を
形成した。 【０００７】 【作用】ガラス基板等に回転塗布を施している際に、万
一ガラス基板が破損しても破片は壁体によって止めら
れ、貯留部に入ることがない。 【０００８】 【実施例】以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。ここで、図１は本発明に係る回転カップ式液
体供給装置の一例としての塗布装置の半裁図、図２は同
塗布装置の塗布液回収の状態を示す断面図、図３は壁体
の拡大断面図である。 【０００９】回転カップ式塗布装置はベースプレート１
に環状のケーシング２を固定し、このケーシング２内に
スピンナー３によって回転せしめられるインナーカップ
４を配置し、このインナーカップ４の中央に被処理物と
してのガラス基板Ｗを吸着固定する真空チャック５をイ
ンナーカップ４に対して昇降可能に設けている。尚、ス
ピンナー３によって回転せしめられるインナーカップ４
に代えてインナーカップ４によって回転せしめられるス
ピンナー３を用いてもよい。 【００１０】前記インナーカップ４の外周面とケーシン
グ２の内周面とは略平行に近接し、これらの間に微小な
隙間６が形成され、またインナーカップ４の内周部側は
塗布液の貯留部７とされ、この貯留部７の底部は真空チ
ャック５に吸着されたガラス基板Ｗよりも深くなってい
る。 【００１１】前記ケーシング２及びインナーカップ４の
上方にはアーム８を配置している。アーム８は直線動、
回転動、上下動或いはこれらを合成した動きが可能で先
端には下方に伸びる軸９を取り付け、この軸９にはチッ
素ガス及び洗浄液を噴出するためのノズルを穿設してい
る。 【００１２】また、前記軸９にはベアリング及び磁気シ
ールを介してボス部１０を回転自在に嵌合し、このボス
部１０にインナーカップ４の上面開口を閉塞するための
円板状をなすアルミニウム又は塩化ビニル等から成る蓋
体１１を取り付けている。そして、この蓋体１１の下面
に整流板１２を取り付け、また、蓋体１１の上方のアー
ム８の先端下面にはケーシング２の上面開口を閉塞する
ための蓋体１３を設けている。この蓋体１３はアーム８
の先端下面に取り付けた筒体１４の外周にリング状のス
ライド部材１５を介して上下摺動自在に保持されてい
る。 【００１３】また、本発明に係る回転カップ式塗布装置
は吸引装置につながるノズル１６を備えている。このノ
ズル１６は上下動、水平動或いはこれらの合成動が可能
で、ノズル１６にて吸引された液は回収ボックスに送ら
れる。 【００１４】更に、前記貯留部７よりも内側で且つガラ
ス基板Ｗよりも外側となるインナーカップ４の底面には
壁体１７を立設している。この壁体１７は蓋体１１にて
インナーカップ４の上面を閉塞した状態で、整流板１２
の下面に接触しない高さとされ、その全体形状はガラス
基板Ｗの周囲に沿った矩形状をなし、図３に示すように
液体が流通可能な内外連通部１８を形成している。 【００１５】内外連通部１８は壁体１７の周方向に沿っ
て多数形成され、その寸法は、前記ノズル１６によって
ガラス基板Ｗの破片が吸引された場合に、ノズル１６や
吸引装置に悪影響を及ぼす大きさの破片を通過させない
寸法としている。 【００１６】ここで、前記壁体１７の形状はガラス基板
Ｗ等の被処理体の形状に必ずしも合わせる必要はなく、
また壁体１７に形成する内外連通部１８は壁体１７の周
方向に沿って多数形成されるが、その形成位置は壁体１
７の高さ方向の中間位置でもよい。また、壁体１７をイ
ンナーカップ４の底面に直接設けずに、壁体１７を枠と
し、これにチャック５用の孔を穿設した底面を設けた箱
状体をインナーカップ底面に取り付け、洗浄時に取り外
すようにする。このようにすれば、メンテナンスにおい
てもトレー全体を取り換えれば済むし、インナーカップ
４の底面を常時清浄にしておくことができる。 【００１７】以上において、アーム８を上昇し蓋体１
１，１３をインナーカップ４及びケーシング２から外し
た状態で、図示しないノズルから塗布液をチャック５上
に吸着されたガラス基板Ｗ表面に滴下し、この後アーム
８を下降し蓋体１１，１３を下げ、インナーカップ４及
びケーシング２上部を閉塞し、インナーカップ４ととも
にチャック５上に吸着されたガラス基板Ｗを回転させ、
滴下された塗布液を遠心力でガラス基板Ｗ表面に均一に
拡散する。 【００１８】この時、ガラス基板Ｗ表面から飛散した塗
布液１９は貯留部７内に溜まる。そこで、図２に示すよ
うに、蓋体１１，１３をインナーカップ４及びケーシン
グ２から外すとともにチャック５にてガラス基板Ｗを持
ち上げ、次工程にガラス基板Ｗを搬送する間に、ノズル
１６を貯留部７まで移動し、その先端を貯留部７内の塗
布液１９に浸漬し塗布液１９を吸引回収する。この時イ
ンナーカップ４については回転を停止するか又はゆっく
り回転せしめる。尚、吸引の頻度は１回の塗布毎、或い
はガラス基板Ｗを数枚処理する毎に行うようにする。こ
の実施例は塗布装置に適用したものであるが、現像液や
洗浄液、剥離液等の液体供給装置に使用してもよい。 【００１９】そして、上記の塗布工程において何らかの
原因でガラス基板Ｗが破損すると、その破片は遠心力で
外方に飛散するが、前記壁体１７にて止められ貯留部７
内に入ることがない。したがって、ノズルによって吸引
されることもない。尚、ガラス基板Ｗの破片のうち極め
て微細なものは、壁体１７の内外連通部１８を液体とと
もに通過して貯留部７内に入りノズル１６によって吸引
されるが、極めて小さな破片であるので、ノズル１６等
に悪影響を及ぼすことはない。 【００２０】 【発明の効果】以上に説明したように本発明に係る回転
カップ式液体供給装置は、インナーカップの内周部側に
供給された液の貯留部を形成し、更に貯留部に溜まった
液体を吸引回収するノズルを移動可能に配置したものに
おいて、前記貯留部よりも内側で且つ前記被処理物より
も外側となるインナーカップの底面に壁体を立設し、こ
の壁体に液体が流通可能な内外連通部を形成したので、
被処理物に回転塗布を施している際に、万一被処理物が
破損しても破片は壁体によって止められ、貯留部に入る
ことがない。したがって、回収した液体（塗布液）を最
使用する際に有利であり、またノズルが破片を吸引して
傷ついたり、破片がノズルにつながる吸引装置にまで入
り込んで吸引装置を損傷することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る回転カップ式液体供給装置の一例
としての塗布装置の半裁図 【図２】同塗布装置の塗布液回収の状態を示す断面図 【図３】壁体の拡大断面図 【符号の説明】 １…ベース、２…ケーシング、３…スピンナー、４…イ
ンナーカップ、５…チャック、７…貯留部、１６…ノズ
ル、１７…壁体、１８…内外連通部、１９…塗布液。
としての塗布装置の半裁図 【図２】同塗布装置の塗布液回収の状態を示す断面図 【図３】壁体の拡大断面図 【符号の説明】 １…ベース、２…ケーシング、３…スピンナー、４…イ
ンナーカップ、５…チャック、７…貯留部、１６…ノズ
ル、１７…壁体、１８…内外連通部、１９…塗布液。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平６−170315（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−78467（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−126237（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−136572（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B05C 11/08
G03F 7/16
H01L 21/027
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 ケーシング内にスピンナーにて回転せし
められるインナーカップを配置し、このインナーカップ
内に被処理物のチャックを設け、前記インナーカップの
内周部側に供給された液の貯留部を形成し、この貯留部
内に溜まった液体を移動可能なノズルで吸引回収するよ
うにした回転カップ式液体供給装置において、前記貯留
部よりも内側で且つ前記被処理物よりも外側となるイン
ナーカップの底面には蓋体にてインナーカップの上面を
閉塞した状態で整流板の下面に接触しない高さの壁体が
立設され、この壁体には液体が流通可能な内外連通部が
形成されていることを特徴とする回転カップ式液体供給
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24153694A JP3439266B2 (ja) | 1994-10-05 | 1994-10-05 | 回転カップ式液体供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24153694A JP3439266B2 (ja) | 1994-10-05 | 1994-10-05 | 回転カップ式液体供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08103716A JPH08103716A (ja) | 1996-04-23 |
| JP3439266B2 true JP3439266B2 (ja) | 2003-08-25 |
Family
ID=17075818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24153694A Expired - Fee Related JP3439266B2 (ja) | 1994-10-05 | 1994-10-05 | 回転カップ式液体供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3439266B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4832176B2 (ja) * | 2006-06-16 | 2011-12-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置および液処理方法 |
-
1994
- 1994-10-05 JP JP24153694A patent/JP3439266B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08103716A (ja) | 1996-04-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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