JP2000193818A - 塗布方法および装置 - Google Patents
塗布方法および装置Info
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- JP2000193818A JP2000193818A JP10373803A JP37380398A JP2000193818A JP 2000193818 A JP2000193818 A JP 2000193818A JP 10373803 A JP10373803 A JP 10373803A JP 37380398 A JP37380398 A JP 37380398A JP 2000193818 A JP2000193818 A JP 2000193818A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
- B05B15/50—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter
- B05B15/55—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter using cleaning fluids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0254—Coating heads with slot-shaped outlet
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 塗布ヘッドの洗浄およびメンテナンスを行な
う際の作業時間を短縮すし、かつ洗浄液の使用量を削減
する。 【解決手段】 塗布液供給装置により塗布液吐出用のス
リットを有する塗布ヘッドに塗布液を供給しつつ、塗布
ヘッドと被塗布材を保持するステージとを相対的に移動
させることにより、被塗布材表面に塗膜を形成する際、
塗布ヘッドに洗浄液を供給する第２の液回路を、前記塗
布液の供給を行なう第１の液回路とは独立して設ける。
う際の作業時間を短縮すし、かつ洗浄液の使用量を削減
する。 【解決手段】 塗布液供給装置により塗布液吐出用のス
リットを有する塗布ヘッドに塗布液を供給しつつ、塗布
ヘッドと被塗布材を保持するステージとを相対的に移動
させることにより、被塗布材表面に塗膜を形成する際、
塗布ヘッドに洗浄液を供給する第２の液回路を、前記塗
布液の供給を行なう第１の液回路とは独立して設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、塗布液吐出用スリ
ットを介して被塗布材表面に塗布液を塗布する方法およ
び装置に関する。このような方法および装置は、特にカ
ラーテレビ、パーソナルコンピュータ、パチンコ遊戯台
等に使用されるカラーフィルタを製造する際、好適に用
いられる。
ットを介して被塗布材表面に塗布液を塗布する方法およ
び装置に関する。このような方法および装置は、特にカ
ラーテレビ、パーソナルコンピュータ、パチンコ遊戯台
等に使用されるカラーフィルタを製造する際、好適に用
いられる。
【０００２】
【従来の技術】従来、カラーフィルタの製造方法として
は、染料法、顔料分散法、電着法、印刷法等がある。し
かしながら、これらの方法においては、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色
を着色するために同一工程を３回繰り返す必要があり、
工程数が多いために、歩留まりが低下し、コストが高く
なる、等の欠点を有するという問題がある。また、電着
法は、形成可能なパターンの形状が限定されるため、Ｔ
ＦＴへの適用が困難である。また印刷法は、解像性が悪
く、パターン微細化への対応が困難である等の欠点も有
する。
は、染料法、顔料分散法、電着法、印刷法等がある。し
かしながら、これらの方法においては、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色
を着色するために同一工程を３回繰り返す必要があり、
工程数が多いために、歩留まりが低下し、コストが高く
なる、等の欠点を有するという問題がある。また、電着
法は、形成可能なパターンの形状が限定されるため、Ｔ
ＦＴへの適用が困難である。また印刷法は、解像性が悪
く、パターン微細化への対応が困難である等の欠点も有
する。
【０００３】そこで、これらの欠点を補うべく、ガラス
基板上にインクジェットを吐出させてフィルタのパター
ンを形成する技術が提案されている（特開昭５９−７５
２０５等）。この技術では、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の画素を同
時に形成するため、工程の大幅な短縮が可能である。し
かし、この技術では、液滴状態でＲＧＢ各色を描画する
ため、各色間での色が混じりあう混色という現象が起こ
る。
基板上にインクジェットを吐出させてフィルタのパター
ンを形成する技術が提案されている（特開昭５９−７５
２０５等）。この技術では、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の画素を同
時に形成するため、工程の大幅な短縮が可能である。し
かし、この技術では、液滴状態でＲＧＢ各色を描画する
ため、各色間での色が混じりあう混色という現象が起こ
る。
【０００４】このような混色を防止するため、特開平８
−７５９１６には、基板上に、インク受容性を有し光や
熱等によって硬化しまたは親水基残量が減少してインク
受容性が低下する樹脂または樹脂組成物の層（インク受
容層）を形成し、画素間の非画素領域の少なくとも一部
を硬化または親水基残量を減少させて撥インク性化して
混色防止層（撥インク層）を形成することにより、自画
素の色抜けおよび隣接画素へのインクの滲みや混色を防
止する技術が提案されている。
−７５９１６には、基板上に、インク受容性を有し光や
熱等によって硬化しまたは親水基残量が減少してインク
受容性が低下する樹脂または樹脂組成物の層（インク受
容層）を形成し、画素間の非画素領域の少なくとも一部
を硬化または親水基残量を減少させて撥インク性化して
混色防止層（撥インク層）を形成することにより、自画
素の色抜けおよび隣接画素へのインクの滲みや混色を防
止する技術が提案されている。
【０００５】また、カラーフィルタの製造工程において
は、上記のインク受容層や撥インク層以外にも、着色面
を保護するための保護層（オーバーコート）が樹脂で形
成される。さらに、このカラーフィルタを用いて表示す
る際の高コントラスト化または高精彩化のためのブラッ
クマトリクスをエッチングするための感光層も樹脂であ
り、またブラックマトリクス自体が樹脂（樹脂マトリク
ス）で形成される場合もある。
は、上記のインク受容層や撥インク層以外にも、着色面
を保護するための保護層（オーバーコート）が樹脂で形
成される。さらに、このカラーフィルタを用いて表示す
る際の高コントラスト化または高精彩化のためのブラッ
クマトリクスをエッチングするための感光層も樹脂であ
り、またブラックマトリクス自体が樹脂（樹脂マトリク
ス）で形成される場合もある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
樹脂層または樹脂膜を形成するための塗布装置として
は、スピンナーやスリットコータなどが知られている。
スリットコータは、スピンナーに比べて塗布液の無駄が
少ないという長所を有する。また、スリットコータは、
塗布ヘッド先端まで、塗布液の供給回路がすべて密閉系
であるという長所も有する。しかしながら、ヘッド先端
のスリット開口部において塗布液は外気に曝されている
ため、ヘッド先端で塗布液の乾燥が起こりやすく、ま
た、塗布液の固化成分がスリットノズルの詰まりや塗膜
上のスジの発生原因となり、塗布品質の低下を招くとい
う欠点がある。さらにこのような欠陥が発生した場合、
塗布ヘッドを装置本体から取り外し分解清掃が必要な場
合も少なくない。分解清掃を行なった場合、装置停止か
ら復帰までにかなりの時間を要するため、稼働率の低下
も無視できない。
樹脂層または樹脂膜を形成するための塗布装置として
は、スピンナーやスリットコータなどが知られている。
スリットコータは、スピンナーに比べて塗布液の無駄が
少ないという長所を有する。また、スリットコータは、
塗布ヘッド先端まで、塗布液の供給回路がすべて密閉系
であるという長所も有する。しかしながら、ヘッド先端
のスリット開口部において塗布液は外気に曝されている
ため、ヘッド先端で塗布液の乾燥が起こりやすく、ま
た、塗布液の固化成分がスリットノズルの詰まりや塗膜
上のスジの発生原因となり、塗布品質の低下を招くとい
う欠点がある。さらにこのような欠陥が発生した場合、
塗布ヘッドを装置本体から取り外し分解清掃が必要な場
合も少なくない。分解清掃を行なった場合、装置停止か
ら復帰までにかなりの時間を要するため、稼働率の低下
も無視できない。
【０００７】図２は従来の枚葉塗工装置の一例を示す。
同図において、５は塗布ヘッドでフロントリップ５１、
リアリップ５２、マニホールド５３、スリット５４を備
える。６は塗膜、７は被塗工材、８は搬送ステージ、１
１は塗料タンク、１２は配管、１３は開閉弁、１４はフ
ィルタ、１５は定量ポンプである。
同図において、５は塗布ヘッドでフロントリップ５１、
リアリップ５２、マニホールド５３、スリット５４を備
える。６は塗膜、７は被塗工材、８は搬送ステージ、１
１は塗料タンク、１２は配管、１３は開閉弁、１４はフ
ィルタ、１５は定量ポンプである。
【０００８】このような塗工装置（スリットコータ）に
おいては、塗布ヘッド先端における塗布液の固化防止は
必至といえる。このために従来は停止時間が長引く場
合、液供給回路から洗浄液（塗布液の溶媒など）を流す
ことを行なっている。しかし、実際に洗浄が必要となる
のは主として塗布ヘッド先端部およびスリット部である
ため、塗布回路すべてに洗浄液を満たし、復帰時にまた
塗布液で置換するのは塗布液の無駄が多く、また洗浄動
作および再び塗布液に置換する復帰動作にも時間を要す
る。
おいては、塗布ヘッド先端における塗布液の固化防止は
必至といえる。このために従来は停止時間が長引く場
合、液供給回路から洗浄液（塗布液の溶媒など）を流す
ことを行なっている。しかし、実際に洗浄が必要となる
のは主として塗布ヘッド先端部およびスリット部である
ため、塗布回路すべてに洗浄液を満たし、復帰時にまた
塗布液で置換するのは塗布液の無駄が多く、また洗浄動
作および再び塗布液に置換する復帰動作にも時間を要す
る。
【０００９】本発明は、上述の従来例における問題点に
鑑みてなされたもので、スリットコート法における塗布
ヘッドの洗浄およびメンテナンスを行なう際の作業性を
向上しその作業時間を短縮することを目的とする。ま
た、塗布液および洗浄液の使用量を削減し、かつヘッド
先端での塗布液の固化による塗布欠陥を低減し優れた品
質かつ安価な塗布手段を提供することをさらなる目的と
する。
鑑みてなされたもので、スリットコート法における塗布
ヘッドの洗浄およびメンテナンスを行なう際の作業性を
向上しその作業時間を短縮することを目的とする。ま
た、塗布液および洗浄液の使用量を削減し、かつヘッド
先端での塗布液の固化による塗布欠陥を低減し優れた品
質かつ安価な塗布手段を提供することをさらなる目的と
する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
め本発明の塗布方法は、塗布液供給装置により塗布液吐
出用のスリットを有する塗布ヘッドに塗布液を供給しつ
つ、該塗布ヘッドと被塗布材を保持するステージとを相
対的に移動させることにより、該被塗布材表面に塗膜を
形成する塗布方法において、前記塗布ヘッドへの塗布液
の供給を停止し該塗布ヘッドへ直接または該塗布ヘッド
への塗布液供給路の途中から洗浄液を該塗布ヘッドヘ向
けて流入させて、該塗布ヘッドの洗浄を行なうことを特
徴とする。
め本発明の塗布方法は、塗布液供給装置により塗布液吐
出用のスリットを有する塗布ヘッドに塗布液を供給しつ
つ、該塗布ヘッドと被塗布材を保持するステージとを相
対的に移動させることにより、該被塗布材表面に塗膜を
形成する塗布方法において、前記塗布ヘッドへの塗布液
の供給を停止し該塗布ヘッドへ直接または該塗布ヘッド
への塗布液供給路の途中から洗浄液を該塗布ヘッドヘ向
けて流入させて、該塗布ヘッドの洗浄を行なうことを特
徴とする。
【００１１】具体例としては、前記塗布ヘッドへの塗布
液供給路に弁を設け、この弁より洗浄液を該塗布ヘッド
ヘ向けて流入させて、該塗布ヘッドの洗浄を行なう。上
記の問題を解決するため本発明の塗布装置は、塗布液供
給装置により塗布液吐出用のスリットを有する塗布ヘッ
ドに塗布液を供給しつつ、該塗布ヘッドと被塗布材を保
持するステージとを相対的に移動させることにより、被
塗布材表面に塗膜を形成する塗布装置において、前記塗
布ヘッドに洗浄液を供給する第２の液回路を、前記塗布
液の供給を行なう第１の液回路とは独立して設けている
ことを特徴とする。あるいは、塗布液供給装置により塗
布液吐出用のスリットを有する塗布ヘッドに塗布液を供
給しつつ、該塗布ヘッドと被塗布材を保持するステージ
とを相対的に移動させることにより、被塗布材表面に塗
膜を形成する塗布装置において、前記塗布ヘッドへの塗
布液の供給を停止する手段と、該塗布ヘッドの洗浄を行
なうため該塗布ヘッドへ塗布液の供給を行なう第１の液
回路の途中から該塗布ヘッドヘ向けて洗浄液を流入させ
る第２の液回路とを具備することを特徴とする。
液供給路に弁を設け、この弁より洗浄液を該塗布ヘッド
ヘ向けて流入させて、該塗布ヘッドの洗浄を行なう。上
記の問題を解決するため本発明の塗布装置は、塗布液供
給装置により塗布液吐出用のスリットを有する塗布ヘッ
ドに塗布液を供給しつつ、該塗布ヘッドと被塗布材を保
持するステージとを相対的に移動させることにより、被
塗布材表面に塗膜を形成する塗布装置において、前記塗
布ヘッドに洗浄液を供給する第２の液回路を、前記塗布
液の供給を行なう第１の液回路とは独立して設けている
ことを特徴とする。あるいは、塗布液供給装置により塗
布液吐出用のスリットを有する塗布ヘッドに塗布液を供
給しつつ、該塗布ヘッドと被塗布材を保持するステージ
とを相対的に移動させることにより、被塗布材表面に塗
膜を形成する塗布装置において、前記塗布ヘッドへの塗
布液の供給を停止する手段と、該塗布ヘッドの洗浄を行
なうため該塗布ヘッドへ塗布液の供給を行なう第１の液
回路の途中から該塗布ヘッドヘ向けて洗浄液を流入させ
る第２の液回路とを具備することを特徴とする。
【００１２】具体例としては、前記塗布ヘッドへの塗布
液の供給を停止する手段として前記第１の液回路を開閉
する弁を設け、この弁より塗布ヘッド側に前記第２の液
回路を接続する。
液の供給を停止する手段として前記第１の液回路を開閉
する弁を設け、この弁より塗布ヘッド側に前記第２の液
回路を接続する。
【００１３】本発明においては、前記塗布ヘッドへの塗
布液供給を所定時間以上停止するときは、前記洗浄液を
微量ずつまたは間欠的に該塗布ヘッドへ供給して該塗布
ヘッドの乾燥を防止することが好ましい。
布液供給を所定時間以上停止するときは、前記洗浄液を
微量ずつまたは間欠的に該塗布ヘッドへ供給して該塗布
ヘッドの乾燥を防止することが好ましい。
【００１４】
【作用】本発明によれば、洗浄液の供給経路を塗布液の
供給経路とは一部または全部を別経路としている。その
ため、塗布液と共通の供給経路および塗布ヘッド内につ
いてのみ、塗布時とそれ以外とで塗布液と洗浄液との置
換を行なえば足り、塗布のため置換し廃棄される洗浄液
および洗浄のため置換し廃棄される塗布液の量を減らす
ことができる。
供給経路とは一部または全部を別経路としている。その
ため、塗布液と共通の供給経路および塗布ヘッド内につ
いてのみ、塗布時とそれ以外とで塗布液と洗浄液との置
換を行なえば足り、塗布のため置換し廃棄される洗浄液
および洗浄のため置換し廃棄される塗布液の量を減らす
ことができる。
【００１５】また、塗布と洗浄または放置とを弁の切り
換えにより自動的に行なうようにすれば、洗浄およびメ
ンテナンスを行なう際の作業性を向上しその作業時間を
短縮することができる。
換えにより自動的に行なうようにすれば、洗浄およびメ
ンテナンスを行なう際の作業性を向上しその作業時間を
短縮することができる。
【００１６】さらに、放置時は塗布液に代えて洗浄液
（塗布液の溶媒）を微量ずつまたは間欠的に流して塗布
ヘッドの乾燥を防止することにより、ヘッド先端での塗
布液の固化による塗布欠陥を低減し、安価に優れた品質
の塗膜を形成することができる。
（塗布液の溶媒）を微量ずつまたは間欠的に流して塗布
ヘッドの乾燥を防止することにより、ヘッド先端での塗
布液の固化による塗布欠陥を低減し、安価に優れた品質
の塗膜を形成することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、添付図面によって本発明の
好ましい実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の
枚葉塗工方法が実施される塗工装置の一例を示す概略図
である。 塗布液は塗布液タンク１１から定量ポンプ１
５によって塗布ヘッド５に供給される。この定量ポンプ
とはギヤポンプ、ダイヤフラムポンプ、シリンジポンプ
などの容積式ポンプを示している。またポンプのほかの
塗布液供給機構として塗布液タンクを加圧容器に入れ、
この加圧容器に対して加圧ポンプにより加圧された気体
（空気あるいは窒素など）を供給することによって塗布
液を押し出す形式も可能である。
好ましい実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の
枚葉塗工方法が実施される塗工装置の一例を示す概略図
である。 塗布液は塗布液タンク１１から定量ポンプ１
５によって塗布ヘッド５に供給される。この定量ポンプ
とはギヤポンプ、ダイヤフラムポンプ、シリンジポンプ
などの容積式ポンプを示している。またポンプのほかの
塗布液供給機構として塗布液タンクを加圧容器に入れ、
この加圧容器に対して加圧ポンプにより加圧された気体
（空気あるいは窒素など）を供給することによって塗布
液を押し出す形式も可能である。
【００１８】また塗布液タンク１１から定量ポンプ１５
までの配管１２の経路には必要に応じて開閉弁１３、フ
ィルタ１４を設けても良い。
までの配管１２の経路には必要に応じて開閉弁１３、フ
ィルタ１４を設けても良い。
【００１９】洗浄液は加圧容器２５に納められた洗浄液
タンク２１から開閉弁２３を経て塗布ヘッド５に供給さ
れる。この加圧容器２５には加圧ポンプ（図示せず）に
より加圧された気体（空気あるいは窒素など）を供給す
ることによって洗浄液が押し出される。
タンク２１から開閉弁２３を経て塗布ヘッド５に供給さ
れる。この加圧容器２５には加圧ポンプ（図示せず）に
より加圧された気体（空気あるいは窒素など）を供給す
ることによって洗浄液が押し出される。
【００２０】洗浄液の送液にはこのような気体加圧の方
式の他に一般的に液体の圧送に用いられるあらゆるタイ
プのポンプが使用可能である。
式の他に一般的に液体の圧送に用いられるあらゆるタイ
プのポンプが使用可能である。
【００２１】また洗浄液タンク２１から開閉弁２３まで
の配管２２の経路には必要に応じてフィルタ２４を設け
ても良い。
の配管２２の経路には必要に応じてフィルタ２４を設け
ても良い。
【００２２】フロントリップ５１およびリアリップ５２
からなる塗布ヘッド５には塗布液供給口および塗布液が
塗布液供給口から塗布液スリット５４へと流れる間に塗
布液の圧力分布を均一とさせるためのマニホールド５３
を備えている。
からなる塗布ヘッド５には塗布液供給口および塗布液が
塗布液供給口から塗布液スリット５４へと流れる間に塗
布液の圧力分布を均一とさせるためのマニホールド５３
を備えている。
【００２３】塗布ヘッド５に一定の開隙（クリアラン
ス）を介して被塗工材７を相対して設置する。このクリ
アランスは５００μｍから２０μｍの範囲が好ましい。
ス）を介して被塗工材７を相対して設置する。このクリ
アランスは５００μｍから２０μｍの範囲が好ましい。
【００２４】被塗工材７は平坦な搬送ステージ８上に設
置されており、塗工中にずれることのないよう真空吸着
されている。
置されており、塗工中にずれることのないよう真空吸着
されている。
【００２５】塗布ヘッド５に塗布液を定量ポンプ１５か
ら供給を開始し、直ちにまたは一定時間経過後塗布ヘッ
ド５または搬送ステージ８を平行移動する。被塗工材端
部に達しようとするときに定量ポンプ１５からの塗布液
の供給を停止し、塗布ヘッド５または搬送ステージ８の
移動も停止する。こうして均一な膜厚分布の薄膜（塗膜
６）が塗工される。
ら供給を開始し、直ちにまたは一定時間経過後塗布ヘッ
ド５または搬送ステージ８を平行移動する。被塗工材端
部に達しようとするときに定量ポンプ１５からの塗布液
の供給を停止し、塗布ヘッド５または搬送ステージ８の
移動も停止する。こうして均一な膜厚分布の薄膜（塗膜
６）が塗工される。
【００２６】塗工が一定の時間停止する場合、塗布ヘッ
ド５先端での塗布液の固化を防止するため、開閉弁１３
を閉じ定量ポンプ１５の動作を停止して塗布液の供給を
停止し、さらに、開閉弁２３を開いて塗布ヘッド５に対
して洗浄液の供給を開始する。塗布ヘッド５内部に納め
られた塗布液は次第に洗浄液に押し出され、塗布ヘッド
５内部のマニホールド５３およびスリット５４が洗浄液
で満たされる。塗布ヘッド５内部の塗布液が洗浄液に十
分に置換されたところで開閉弁２３を閉じる。この洗浄
動作により塗布ヘッド先端に外気に曝されていた塗布液
や、スリット内部でゲル化していた塗布液が洗い流され
る。
ド５先端での塗布液の固化を防止するため、開閉弁１３
を閉じ定量ポンプ１５の動作を停止して塗布液の供給を
停止し、さらに、開閉弁２３を開いて塗布ヘッド５に対
して洗浄液の供給を開始する。塗布ヘッド５内部に納め
られた塗布液は次第に洗浄液に押し出され、塗布ヘッド
５内部のマニホールド５３およびスリット５４が洗浄液
で満たされる。塗布ヘッド５内部の塗布液が洗浄液に十
分に置換されたところで開閉弁２３を閉じる。この洗浄
動作により塗布ヘッド先端に外気に曝されていた塗布液
や、スリット内部でゲル化していた塗布液が洗い流され
る。
【００２７】塗工が停止されている間、必要に応じて定
期的に、開閉弁２３を開き洗浄液を少量塗布ヘッド５に
供給し、塗布ヘッド５先端部の乾燥防止を行なうとなお
良い。
期的に、開閉弁２３を開き洗浄液を少量塗布ヘッド５に
供給し、塗布ヘッド５先端部の乾燥防止を行なうとなお
良い。
【００２８】塗工を再開する場合は、開閉弁２３を閉じ
ておき、塗布液供給回路の開閉弁１３を開き定量ポンプ
１５の動作を開始する。定量ポンプ１５を連続的に動作
させ、塗布ヘッド５内部の洗浄液が十分に塗布液に置換
されるまで塗布液を供給し、開閉弁１３を閉じ定量ポン
プ１５の動作を停止する。
ておき、塗布液供給回路の開閉弁１３を開き定量ポンプ
１５の動作を開始する。定量ポンプ１５を連続的に動作
させ、塗布ヘッド５内部の洗浄液が十分に塗布液に置換
されるまで塗布液を供給し、開閉弁１３を閉じ定量ポン
プ１５の動作を停止する。
【００２９】このようにして、塗布ヘッド５先端および
スリット５４内部での塗布液の固化やゲル化を防止し、
塗布品質の低下を招くことなく、スムーズに塗工動作を
再開することが可能となる。
スリット５４内部での塗布液の固化やゲル化を防止し、
塗布品質の低下を招くことなく、スムーズに塗工動作を
再開することが可能となる。
【００３０】
【実施例】以下、本発明の実施例および比較例を説明す
る。 （実施例１）２液型で熱硬化性樹脂であるＳＳ−６６９
９Ｇ（ＪＳＲ製）を塗布液として採用し、３６０ｍｍ×
４６５ｍｍ×０．７ｍｍの無アルカリガラス基板１７３
７（コ−ニング製）を被塗工材として使用し、図１に示
すような構成の塗工装置によって塗工を行なった。定量
ポンプ１６は高精度ダイヤフラムポンプを使用した。基
板搬送ステージ８の駆動には高精度サーボモータを採用
した。
る。 （実施例１）２液型で熱硬化性樹脂であるＳＳ−６６９
９Ｇ（ＪＳＲ製）を塗布液として採用し、３６０ｍｍ×
４６５ｍｍ×０．７ｍｍの無アルカリガラス基板１７３
７（コ−ニング製）を被塗工材として使用し、図１に示
すような構成の塗工装置によって塗工を行なった。定量
ポンプ１６は高精度ダイヤフラムポンプを使用した。基
板搬送ステージ８の駆動には高精度サーボモータを採用
した。
【００３１】前述のＳＳ−６６９９Ｇを塗布液タンク１
１に仕込み、予め塗布ヘッド５に至るまでの送液回路内
を塗布液で満たした。ここで、洗浄液タンク２１にプロ
ピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（以下
洗浄液）で満たし、加圧容器２５に加圧ポンプ（図示せ
ず）で０．４ｋｇｆ／ｃｍ2 に加圧した空気を供給し、
開閉弁２３を２分間開いた。これにより塗布ヘッド５は
洗浄液に置換された。この状態で２４時間放置した。こ
の間、２０分おきに開閉弁２３を５秒間開き、定期的に
洗浄液を塗布ヘッド５に供給し、塗布ヘッド５先端の乾
燥を防止した。
１に仕込み、予め塗布ヘッド５に至るまでの送液回路内
を塗布液で満たした。ここで、洗浄液タンク２１にプロ
ピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（以下
洗浄液）で満たし、加圧容器２５に加圧ポンプ（図示せ
ず）で０．４ｋｇｆ／ｃｍ2 に加圧した空気を供給し、
開閉弁２３を２分間開いた。これにより塗布ヘッド５は
洗浄液に置換された。この状態で２４時間放置した。こ
の間、２０分おきに開閉弁２３を５秒間開き、定期的に
洗浄液を塗布ヘッド５に供給し、塗布ヘッド５先端の乾
燥を防止した。
【００３２】２４時間の経過後開閉弁１３を開き定量ポ
ンプ１４を連続的に３分間動作させ、塗布ヘッド５内の
洗浄液を塗布液に置換した。この後以下に示すような塗
工を行なった。
ンプ１４を連続的に３分間動作させ、塗布ヘッド５内の
洗浄液を塗布液に置換した。この後以下に示すような塗
工を行なった。
【００３３】スリットギャップを３０μｍ、塗布ヘッド
先端から被塗工材表面の距離（クリアランス）を５０μ
ｍに設定した。また塗布液が被塗工材側面および裏面へ
回り込まないよう、スリット先端の吐出口の渡り方向の
幅を３５６ｍｍとした。基板搬送速度５２ｍｍ／ｓｅ
ｃ、定量ポンプ１５の流量を７４．１μｌ／ｓｅｃの吐
出レートとし、塗工開始点、終了点が基板端部より１．
０ｍｍ内側となるように塗工した。
先端から被塗工材表面の距離（クリアランス）を５０μ
ｍに設定した。また塗布液が被塗工材側面および裏面へ
回り込まないよう、スリット先端の吐出口の渡り方向の
幅を３５６ｍｍとした。基板搬送速度５２ｍｍ／ｓｅ
ｃ、定量ポンプ１５の流量を７４．１μｌ／ｓｅｃの吐
出レートとし、塗工開始点、終了点が基板端部より１．
０ｍｍ内側となるように塗工した。
【００３４】得られた塗工基板を９０℃のオーブンにて
２０分乾燥を行なった後、さらに２３０℃のオーブンで
６０分焼成を行ない塗膜を得た。得られた塗膜を目視に
て確認したところ、ムラなく均一な塗膜が得られた。
２０分乾燥を行なった後、さらに２３０℃のオーブンで
６０分焼成を行ない塗膜を得た。得られた塗膜を目視に
て確認したところ、ムラなく均一な塗膜が得られた。
【００３５】（実施例２）下記に示すアクリル系重合体
からなる感光性樹脂組成物を塗布液として、エチルセロ
ソルブを洗浄液として採用し、実施例１の塗工装置にお
いて塗布液を塗布液タンク１１に仕込み、予め塗布ヘッ
ド５に至るまでの送液回路内を塗布液で満たした。
からなる感光性樹脂組成物を塗布液として、エチルセロ
ソルブを洗浄液として採用し、実施例１の塗工装置にお
いて塗布液を塗布液タンク１１に仕込み、予め塗布ヘッ
ド５に至るまでの送液回路内を塗布液で満たした。
【００３６】
【化１】
【００３７】ここで、洗浄液タンク２１を洗浄液で満た
し、加圧容器２５に加圧ポンプ（図示せず）で０．４ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 に加圧した空気を供給し、開閉弁２３を２
分間開いた。これにより塗布ヘッド５は洗浄液に置換さ
れた。この状態で１時間放置した。この間、１５分おき
に開閉弁２３を５秒間開き、定期的に洗浄液を塗布ヘッ
ド５に供給し、塗布ヘッド５先端の乾燥を防止した。１
時間の経過後開閉弁１３を開き定量ポンプ１４を連続的
に３分間動作させ、塗布ヘッド５内の洗浄液を塗布液に
置換した。
し、加圧容器２５に加圧ポンプ（図示せず）で０．４ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 に加圧した空気を供給し、開閉弁２３を２
分間開いた。これにより塗布ヘッド５は洗浄液に置換さ
れた。この状態で１時間放置した。この間、１５分おき
に開閉弁２３を５秒間開き、定期的に洗浄液を塗布ヘッ
ド５に供給し、塗布ヘッド５先端の乾燥を防止した。１
時間の経過後開閉弁１３を開き定量ポンプ１４を連続的
に３分間動作させ、塗布ヘッド５内の洗浄液を塗布液に
置換した。
【００３８】この後以下に示すような塗工を行なった。
３６０ｍｍ×４６５ｍｍ×０．７ｍｍの無アルカリガラ
ス基板１７３７（コーニング製）全面に３層低反射クロ
ム膜を成膜した基板を被塗工材として使用した。スリッ
トギャップは３０μｍ、塗布ヘッド先端から被塗工材表
面の距離（クリアランス）を５０μｍに設定した。また
塗布液が被塗工材側面および裏面へ回り込まないよう、
スリット先端の吐出口の渡り方向の幅を３５６ｍｍとし
た。基板搬送速度４０ｍｍ／ｓｅｃ、定量ポンプ１５の
流量を１１０μｌ／ｓｅｃの吐出レートとし、塗工開始
点、終了点が基板端部より１．０ｍｍ内側となるように
塗工した。
３６０ｍｍ×４６５ｍｍ×０．７ｍｍの無アルカリガラ
ス基板１７３７（コーニング製）全面に３層低反射クロ
ム膜を成膜した基板を被塗工材として使用した。スリッ
トギャップは３０μｍ、塗布ヘッド先端から被塗工材表
面の距離（クリアランス）を５０μｍに設定した。また
塗布液が被塗工材側面および裏面へ回り込まないよう、
スリット先端の吐出口の渡り方向の幅を３５６ｍｍとし
た。基板搬送速度４０ｍｍ／ｓｅｃ、定量ポンプ１５の
流量を１１０μｌ／ｓｅｃの吐出レートとし、塗工開始
点、終了点が基板端部より１．０ｍｍ内側となるように
塗工した。
【００３９】次いで、９０℃のオーブンで２０分プリベ
ークを行ない、さらに２３０℃のオーブンにて硬化処理
を行なった。得られた塗膜をナトリウムランプ下で観察
したところムラのない均一な塗膜であった。
ークを行ない、さらに２３０℃のオーブンにて硬化処理
を行なった。得られた塗膜をナトリウムランプ下で観察
したところムラのない均一な塗膜であった。
【００４０】（実施例３）実施例２に記載の手順で塗布
液から洗浄液に置換する動作を行なったところ、洗浄動
作に要した洗浄液の量は１８０ｃｃであった。
液から洗浄液に置換する動作を行なったところ、洗浄動
作に要した洗浄液の量は１８０ｃｃであった。
【００４１】（実施例４）実施例２に記載の手順で洗浄
液から塗布液に置換する動作を行なったところ、この復
帰動作に要した塗布液の量は１４０ｃｃであった。
液から塗布液に置換する動作を行なったところ、この復
帰動作に要した塗布液の量は１４０ｃｃであった。
【００４２】（実施例５）ブラックマトリックスの形成
されたガラス基板上に、実施例２に示した材料および手
順で洗浄動作、放置、塗布液置換動作、および塗工を行
ない感光性樹脂層を形成した。
されたガラス基板上に、実施例２に示した材料および手
順で洗浄動作、放置、塗布液置換動作、および塗工を行
ない感光性樹脂層を形成した。
【００４３】次いで９０℃で２０分間プリベーク処理を
行ない、ブラックマトリックスの幅よりも狭い開口部を
有するフォトマスクを介して１Ｊ／ｃｍ2 の露光量でブ
ラックマトリックス上の樹脂層の一部をパターン露光し
た。さらにインクジェット記録装置を用いて未露光部を
下記組成の染料インクによりＲ，Ｇ，Ｂのマトリックス
パターンを着色した。
行ない、ブラックマトリックスの幅よりも狭い開口部を
有するフォトマスクを介して１Ｊ／ｃｍ2 の露光量でブ
ラックマトリックス上の樹脂層の一部をパターン露光し
た。さらにインクジェット記録装置を用いて未露光部を
下記組成の染料インクによりＲ，Ｇ，Ｂのマトリックス
パターンを着色した。
【００４４】
【化２】
【００４５】さらに、９０℃のホットプレートで５分イ
ンク乾燥を行ない、さらに２３０℃のオーブンにて樹脂
層の硬化処理を行なった。次いで、二液型の熱硬化性樹
脂ＳＳ−６６９９Ｇ（ＪＳＲ製）をスピナーにて塗布
し、さらに９０℃のオーブンにて２０分間プリベークを
行ない、さらに２３０℃のオーブンで６０分間硬化処理
を行ない膜厚１μｍのオーバーコート層を形成した。
ンク乾燥を行ない、さらに２３０℃のオーブンにて樹脂
層の硬化処理を行なった。次いで、二液型の熱硬化性樹
脂ＳＳ−６６９９Ｇ（ＪＳＲ製）をスピナーにて塗布
し、さらに９０℃のオーブンにて２０分間プリベークを
行ない、さらに２３０℃のオーブンで６０分間硬化処理
を行ない膜厚１μｍのオーバーコート層を形成した。
【００４６】このようにして作成された液晶用カラーフ
ィルタを光学顕微鏡により観察したところ、混色、色ム
ラ、色抜け等の障害は観察されなかった。また、このカ
ラーフィルタを用いて液晶パネルを作成し、駆動したと
ころ高精細なカラー表示が可能であった。
ィルタを光学顕微鏡により観察したところ、混色、色ム
ラ、色抜け等の障害は観察されなかった。また、このカ
ラーフィルタを用いて液晶パネルを作成し、駆動したと
ころ高精細なカラー表示が可能であった。
【００４７】（比較例１）２液型で熱硬化性樹脂である
ＳＳ−６６９９Ｇ（ＪＳＲ製）を塗布液として採用し、
３６０ｍｍ×４６５ｍｍ×０．７ｍｍの無アルカリガラ
ス基板１７３７（コーニング製）を被塗工材として使用
し、図２に示すような構成の塗工装置によって塗工を行
なった。定量ポンプ１５は高精度ダイヤフラムポンプを
使用した。基板搬送ステージ８の駆動には高精度サーボ
モータを採用した。
ＳＳ−６６９９Ｇ（ＪＳＲ製）を塗布液として採用し、
３６０ｍｍ×４６５ｍｍ×０．７ｍｍの無アルカリガラ
ス基板１７３７（コーニング製）を被塗工材として使用
し、図２に示すような構成の塗工装置によって塗工を行
なった。定量ポンプ１５は高精度ダイヤフラムポンプを
使用した。基板搬送ステージ８の駆動には高精度サーボ
モータを採用した。
【００４８】前述のＳＳ−６６９９Ｇを塗布液タンク１
１に仕込み、予め塗布ヘッド５に至るまでの送液回路内
を塗布液で満たした。ここで、この状態で２４時間放置
した。
１に仕込み、予め塗布ヘッド５に至るまでの送液回路内
を塗布液で満たした。ここで、この状態で２４時間放置
した。
【００４９】２４時間の経過後、以下に示すような塗工
を行なった。スリットギャップを３０μｍ、塗布ヘッド
先端から被塗工材表面の距離（クリアランス）を５０μ
ｍに設定した。また塗布液が被塗工材側面および裏面へ
回り込まないよう、スリット先端の吐出口の渡り方向の
幅を３５６ｍｍとした。
を行なった。スリットギャップを３０μｍ、塗布ヘッド
先端から被塗工材表面の距離（クリアランス）を５０μ
ｍに設定した。また塗布液が被塗工材側面および裏面へ
回り込まないよう、スリット先端の吐出口の渡り方向の
幅を３５６ｍｍとした。
【００５０】基板搬送速度５２ｍｍ／ｓｅｃ、定量ポン
プ１５の流量を７４．１μｌ／ｓｅｃの吐出レートと
し、塗工開始点、終了点が基板端部より１．０ｍｍ内側
となるように塗工した。
プ１５の流量を７４．１μｌ／ｓｅｃの吐出レートと
し、塗工開始点、終了点が基板端部より１．０ｍｍ内側
となるように塗工した。
【００５１】得られた塗工基板を９０℃のオーブンにて
２０分乾燥を行なった後、さらに２３０℃のオーブンで
６０分焼成を行ない塗膜を得た。得られた塗膜を目視に
て確認したところ、図３に示すような部分的に塗膜のな
いスジ状の欠陥のある塗膜であった。
２０分乾燥を行なった後、さらに２３０℃のオーブンで
６０分焼成を行ない塗膜を得た。得られた塗膜を目視に
て確認したところ、図３に示すような部分的に塗膜のな
いスジ状の欠陥のある塗膜であった。
【００５２】（比較例２）実施例２で用いた感光性樹脂
組成物を塗布液として、エチルセロソルブを洗浄液とし
て採用し、比較例１の塗工装置において塗布液を塗布液
タンク１１に仕込み、予め塗布ヘッド５に至るまでの送
液回路内を塗布液で満たした。ここで、この状態で１時
間放置した。
組成物を塗布液として、エチルセロソルブを洗浄液とし
て採用し、比較例１の塗工装置において塗布液を塗布液
タンク１１に仕込み、予め塗布ヘッド５に至るまでの送
液回路内を塗布液で満たした。ここで、この状態で１時
間放置した。
【００５３】この後実施例２と同様の被塗工材、塗布条
件にて、上記塗工装置にて塗工を行なった。得られた塗
膜をナトリウムランプ下で観察したところ塗工方向にス
ジ状のムラが観察された。
件にて、上記塗工装置にて塗工を行なった。得られた塗
膜をナトリウムランプ下で観察したところ塗工方向にス
ジ状のムラが観察された。
【００５４】（比較例３）比較例１で用いた塗工装置に
おいて、実施例２の塗布液を塗料タンク１１から塗布ヘ
ッド５に至るまで満たした。ここで、塗料タンク１１の
液を実施例２で用いた洗浄液に交換し、開閉弁１３を開
き、塗布へッド内の塗布液が十分に洗浄液に置換される
まで、定量ポンプ１５を８分間、３０００μｌ／ｓｅｃ
の吐出レートで連続的に動作させたところ、この洗浄動
作に要した洗浄液の量は９７０ｃｃであった。
おいて、実施例２の塗布液を塗料タンク１１から塗布ヘ
ッド５に至るまで満たした。ここで、塗料タンク１１の
液を実施例２で用いた洗浄液に交換し、開閉弁１３を開
き、塗布へッド内の塗布液が十分に洗浄液に置換される
まで、定量ポンプ１５を８分間、３０００μｌ／ｓｅｃ
の吐出レートで連続的に動作させたところ、この洗浄動
作に要した洗浄液の量は９７０ｃｃであった。
【００５５】（比較例４）比較例１で用いた塗工装置に
おいて、実施例２で用いた洗浄液を塗料タンク１１から
塗布へッド５に至るまで満たした。ここで、塗料タンク
１１の液を実施例２で用いた塗布液に交換し、開閉弁１
３を開き、塗布へッド内の洗浄液が十分に塗布液に置換
されるまで、定量ポンプ１５を６分間、３０００μｌ／
ｓｅｃの吐出レートで連続的に動作させたところ、この
洗浄動作に要した洗浄液の量は７３０ｃｃであった。
おいて、実施例２で用いた洗浄液を塗料タンク１１から
塗布へッド５に至るまで満たした。ここで、塗料タンク
１１の液を実施例２で用いた塗布液に交換し、開閉弁１
３を開き、塗布へッド内の洗浄液が十分に塗布液に置換
されるまで、定量ポンプ１５を６分間、３０００μｌ／
ｓｅｃの吐出レートで連続的に動作させたところ、この
洗浄動作に要した洗浄液の量は７３０ｃｃであった。
【００５６】（比較例５）ブラックマトリックスの形成
されたガラス基板上に、比較例２に示した材料および手
順で洗浄動作、放置、塗布液置換動作、および塗工を行
ない感光性樹脂層を形成した。
されたガラス基板上に、比較例２に示した材料および手
順で洗浄動作、放置、塗布液置換動作、および塗工を行
ない感光性樹脂層を形成した。
【００５７】以下実施例２記載の方法によりプリベー
ク、パターン露光、パターン着色、樹脂層硬化処理、オ
ーバーコート層形成を行ない、カラーフィルタを得た。
このようにして作成された液晶用カラーフィルタを光学
顕微鏡により観察したところ、基板長手方向に色ムラの
障害が観察された。
ク、パターン露光、パターン着色、樹脂層硬化処理、オ
ーバーコート層形成を行ない、カラーフィルタを得た。
このようにして作成された液晶用カラーフィルタを光学
顕微鏡により観察したところ、基板長手方向に色ムラの
障害が観察された。
【００５８】
【発明の効果】本発明の塗布方法または装置を用いるこ
とにより、塗布ヘッドの洗浄およびメンテナンスを行な
う際にその作業時間を短縮することが可能であり、また
洗浄液の使用量を削減することができる。
とにより、塗布ヘッドの洗浄およびメンテナンスを行な
う際にその作業時間を短縮することが可能であり、また
洗浄液の使用量を削減することができる。
【００５９】さらに本発明のカラーフィルタの製造方法
によれば、設備稼働率が向上するとともに高品質なカラ
ーフィルタを歩留まりよく製造することが可能となる。
によれば、設備稼働率が向上するとともに高品質なカラ
ーフィルタを歩留まりよく製造することが可能となる。
【図１】 本発明の一実施例に係る枚葉塗工装置の構成
を示す図である。
を示す図である。
【図２】 従来の枚葉塗工装置の一例を示す図である。
【図３】 従来の枚葉塗工装置によるスジ引き欠陥の様
子を示す図である。
子を示す図である。
５：塗布ヘッド、６：塗膜、７：被塗工材、８：搬送ス
テージ、１１：塗布液タンク、１２，２２：配管、１
３，２３：開閉弁、１４，２４：フィルタ、１５：定量
ポンプ、５１：フロントリップ、５２：リアリップ、５
３：マニホールド、５４：スリット。
テージ、１１：塗布液タンク、１２，２２：配管、１
３，２３：開閉弁、１４，２４：フィルタ、１５：定量
ポンプ、５１：フロントリップ、５２：リアリップ、５
３：マニホールド、５４：スリット。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H048 BA00 BA64 BB02 BB14 BB23 BB41 4D075 AC02 AC84 AC92 BB20Z BB65Z BB69Z CA48 DA06 DB13 DB14 DC19 DC22 EA05 4F041 AA12 AB01 BA34 BA60 CA02 CA23 4F042 AA22 BA12 CC04 CC08 DA01
Claims (8)
- 【請求項１】 塗布液供給装置により塗布液吐出用のス
リットを有する塗布ヘッドに塗布液を供給しつつ、該塗
布ヘッドと被塗布材を保持するステージとを相対的に移
動させることにより、該被塗布材表面に塗膜を形成する
塗布方法において、 前記塗布ヘッドへの塗布液の供給を停止し該塗布ヘッド
へ直接または該塗布ヘッドへの塗布液供給路の途中から
洗浄液を該塗布ヘッドヘ向けて流入させて、該塗布ヘッ
ドの洗浄を行なうことを特徴とする塗布方法。 - 【請求項２】 前記塗布ヘッドへの塗布液供給路に弁を
設け、この弁より洗浄液を該塗布ヘッドヘ向けて流入さ
せて、該塗布ヘッドの洗浄を行なうことを特徴とする請
求項１記載の塗布方法。 - 【請求項３】 前記塗布ヘッドへの塗布液供給を所定時
間以上停止するときは、前記洗浄液を微量ずつまたは間
欠的に該塗布ヘッドへ供給して該塗布ヘッドの乾燥を防
止することを特徴とする請求項１または２記載の塗布方
法。 - 【請求項４】 塗布液供給装置により塗布液吐出用のス
リットを有する塗布ヘッドに塗布液を供給しつつ、該塗
布ヘッドと被塗布材を保持するステージとを相対的に移
動させることにより、被塗布材表面に塗膜を形成する塗
布装置において、 前記塗布ヘッドに洗浄液を供給する第２の液回路を、前
記塗布液の供給を行なう第１の液回路とは独立して設け
ていることを特徴とする塗布装置。 - 【請求項５】 塗布液供給装置により塗布液吐出用のス
リットを有する塗布ヘッドに塗布液を供給しつつ、該塗
布ヘッドと被塗布材を保持するステージとを相対的に移
動させることにより、被塗布材表面に塗膜を形成する塗
布装置において、 前記塗布ヘッドへの塗布液の供給を停止する手段と、該
塗布ヘッドの洗浄を行なうため該塗布ヘッドへ塗布液の
供給を行なう第１の液回路の途中から該塗布ヘッドヘ向
けて洗浄液を流入させる第２の液回路とを具備すること
を特徴とする塗布装置。 - 【請求項６】 前記塗布ヘッドへの塗布液の供給を停止
する手段が前記第１の液回路を開閉する弁であり、前記
第２の液回路が少なくともこの弁より該塗布ヘッド側に
接続されていることを特徴とする請求項５記載の塗布装
置。 - 【請求項７】 前記塗布ヘッドへの塗布液の供給が停止
しているとき、前記第２の液回路を介して該洗浄液を微
量ずつまたは間欠的に該塗布ヘッドヘ向けて流入させる
乾燥防止手段をさらに備えることを特徴とする請求項４
〜６のいずれかに記載の塗布装置。 - 【請求項８】 請求項１〜３のいずれかに記載の塗布方
法または請求項４〜７のいずれかに記載の塗布装置を用
いてカラーフィルタを製造することを特徴とするカラー
フィルタの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10373803A JP2000193818A (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 塗布方法および装置 |
| US09/471,160 US20030104123A1 (en) | 1998-12-28 | 1999-12-23 | Slit coating method and method of manufacturing color filter substrate using same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10373803A JP2000193818A (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 塗布方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000193818A true JP2000193818A (ja) | 2000-07-14 |
Family
ID=18502788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10373803A Pending JP2000193818A (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | 塗布方法および装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20030104123A1 (ja) |
| JP (1) | JP2000193818A (ja) |
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| JP2002337170A (ja) * | 2001-05-21 | 2002-11-27 | Honda Motor Co Ltd | ２液混合吐出方法 |
| JP2005131637A (ja) * | 2003-10-09 | 2005-05-26 | Toppan Printing Co Ltd | 洗浄機構を有する塗工装置 |
| JP2006075691A (ja) * | 2004-09-08 | 2006-03-23 | Toppan Printing Co Ltd | 洗浄機構を有する塗工装置及び洗浄方法 |
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| JP2015132494A (ja) * | 2014-01-10 | 2015-07-23 | 冷化工業株式会社 | 流体供給ポンプシステム及び流体供給ポンプの運転方法 |
| CN107112206A (zh) * | 2014-10-30 | 2017-08-29 | 佳能株式会社 | 液体喷出装置、纳米压印设备、纳米压印用液体容纳罐、固化物图案的制造方法、光学组件的制造方法、电路板的制造方法、和压印用模具的制造方法 |
| CN110339971A (zh) * | 2019-06-27 | 2019-10-18 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 涂胶装置 |
| WO2021246181A1 (ja) * | 2020-06-03 | 2021-12-09 | Dic株式会社 | 光変換層形成用インク組成物の印刷方法、光変換層の形成方法及び洗浄液 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20070081572A (ko) * | 2006-02-13 | 2007-08-17 | 삼성전자주식회사 | 슬릿 코터 세정제, 표시장치 제조용 슬릿 코터 및표시장치의 제조방법 |
| US20080079880A1 (en) * | 2006-10-02 | 2008-04-03 | Nano Loa, Inc. | Method of manufacturing liquid crystal display device |
| CN107442336A (zh) * | 2017-09-12 | 2017-12-08 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种涂布机喷头的清洗装置及清洗方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100272064B1 (ko) * | 1992-10-27 | 2000-12-01 | 미우라 아끼라 | 다이 도장기 |
| JPH07100411A (ja) * | 1993-10-05 | 1995-04-18 | Ykk Kk | 多種少量製品の全自動塗装システム |
-
1998
- 1998-12-28 JP JP10373803A patent/JP2000193818A/ja active Pending
-
1999
- 1999-12-23 US US09/471,160 patent/US20030104123A1/en not_active Abandoned
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