JP2010284595A - スリットノズルの洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】僅かの隙間を空けて対向配置されたリップ(1a,1b)間に形成されるスリットから、供給配管(2)から供給される塗布液を吐出するスリットノズル1を洗浄する方法であって、上記塗布液の吐出完了後に、上記供給配管(2)に液化炭酸ガスを導入し、この液化炭酸ガスを上記スリットから吐出させることにより、上記スリットノズル1の内部に残る塗布液を効率的に排出・除去することができる。
【選択図】図1
Description
このスリットノズル1は、LCD用大型ガラス基板のレジスト液の塗布に用いられるものであり、ヘッドの走行方向に対して前方側のリップ部1aと後方側のリップ部1bと、塗布液供給配管(図示せず)を通じてこのスリットノズル1に供給される塗布液をノズル長手(幅)方向に振り分けるマニホールド部1cと、このマニホールド部1cから上記リップ部1a,1bの先端に均等に塗布液を押し出すランド部1dとから構成されている。なお、この「スリットノズル」は、単に「ヘッド」,「ダイ」,「口金」、あるいは、「コーターノズル」,「コーターヘッド」,「スリットダイ」等と呼ばれることもある。また、吐出液の流れる内部流路(マニホールド部1c)の形式としては、T型やコートハンガー型等がある。
1セットあたりの液化炭酸ガス流量
160g/10秒 1セット50秒で約0.9kg(6MPa時)
5セット実施した場合は、約4.5kg(6MPa時)
評価ランク ◎:残渣なく綺麗に除去できている
○:ほとんど除去できているが若干残渣あり
△:洗浄前比較すると僅かに除去できている
×:洗浄前と変化なく、除去できていない
使用したレジスト液は、上記実施例1における塗布液S(ポジ型レジスト液)のほか、塗布液B(ブラックマトリクス形成用のブラックレジスト液:顔料分散型レジスト液),塗布液A(アルミチタネート系レジスト液),塗布液H(チタニア系レジスト液),塗布液P(シリケート系レジスト液)を使用した。
1サイクルあたりの溶剤消費量
1.12g/10分(100℃,窒素ガスの流量2L/minの場合)
5サイクル実施した場合約5.6g(窒素ガス0.2MPa,2L/minの場合)
1サイクルあたりの液化炭酸ガス流量
160g/10秒 5サイクル実施した場合は、約0.9kg(6MPa時)
1a,1b リップ部
2 塗布液供給配管
Claims (9)
- 僅かの隙間を空けて対向配置されたリップ間に形成されるスリットから、供給配管から供給される塗布液を吐出するスリットノズルを洗浄する方法であって、上記塗布液の吐出完了後に、上記供給配管に液化炭酸ガスを導入し、この液化炭酸ガスを上記スリットから吐出させることにより、上記スリットノズルの内部に残る塗布液を除去することを特徴とするスリットノズルの洗浄方法。
- 上記液化炭酸ガスを、上記供給配管に所定の時間間隔で断続的に導入する請求項1記載のスリットノズルの洗浄方法。
- 上記供給配管に導入される液化炭酸ガスが、2MPa以上の液化炭酸ガスである請求項1または2記載のスリットノズルの洗浄方法。
- 僅かの隙間を空けて対向配置されたリップ間に形成されるスリットから、供給配管から供給される塗布液を吐出するスリットノズルを洗浄する方法であって、上記塗布液の吐出完了後に、上記供給配管に上記塗布液を溶解させる溶剤を所定時間導入し、その後、この供給配管に液化炭酸ガスを所定時間導入して、これら溶剤と液化炭酸ガスとを上記スリットから順次吐出させ、上記スリットノズルの内部に残る塗布液を除去することを特徴とするスリットノズルの洗浄方法。
- 上記溶剤の導入と上記液化炭酸ガスの導入の組み合わせを、複数回繰り返す請求項4記載のスリットノズルの洗浄方法。
- 上記供給配管に溶剤を直接導入することに代えて、この溶剤中に不活性ガスを吹き込んだバブリングにより発生する溶剤ミストを、上記供給配管に導入する請求項4または5記載のスリットノズルの洗浄方法。
- 上記溶剤の導入中に、上記スリットノズルを加温する請求項4〜6のいずれか一項に記載のスリットノズルの洗浄方法。
- 上記溶剤の導入中に、上記スリットノズルに超音波を照射する請求項4〜7のいずれか一項に記載のスリットノズルの洗浄方法。
- 上記溶剤が、グリコールエーテル系の有機溶剤である請求項4〜8のいずれか一項に記載のスリットノズルの洗浄方法。
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KR101264507B1 (ko) | 2011-02-21 | 2013-05-14 | 삼성에스디아이 주식회사 | 슬롯 노즐 시스템 |
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