CN104801523A - 一种清洗玻璃基板的方法 - Google Patents

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张梦莹
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    • B08B11/00—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
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Abstract

本发明涉及一种清洗方法，特别是一种清洗玻璃基板的方法，包括玻璃入料、等离子清洗、有机溶剂清洗、高压喷淋、UV清洗、红外烘干、风冷及出料。本发明通过使用多种清洗方面，确保了ITO玻璃的清洗效果，保证了产品质量。

Description

一种清洗玻璃基板的方法
技术领域
本发明涉及一种清洗方法，特别是一种清洗玻璃基板的方法。
背景技术
在液晶显示器制造过程中，液晶分子之所以能够在屏内有规则并按一定的方向进行排列取决于液晶显示器制造工艺中取向技术的应用，为实现这一点，必须在基片的表面上设置有特定的取向涂覆膜或者摩擦出沟槽，以作为约束液晶分子取向排列的手段。这一工艺称为取向排列，一般的工艺流程为清洗—涂膜—预烘—固化—摩擦。其中清洗是在PI涂布之前对ITO玻璃进行清洗，利用物理的、化学的方法将吸附在玻璃表面的污渍、杂质、灰尘等脏东西溶解脱离，然后干燥、活化，提高ITO玻璃的涂覆性，为涂布出良好的取向膜做好准备。如果涂布之前清洗效果不好或者残留有杂质的话，在PI印刷处就会有不良品出现。
目前表面清洗的方法有很多，在去除油脂方面，可以采用有机清洗、UV清洗等；在去除其他有机物方面有弱碱清洗、氟清洗、等离子体清洗等；在去除无机物方面有弱酸清洗、气流冲洗、喷淋等；在去除尘埃颗粒方面有超声清洗、喷淋清洗、气流冲洗等。现如今，如何综合生产规模、产品要求、环保、节约等各方面因素使清洗达到满意的效果成为了生产工艺中重要的一环。
发明内容
本发明的目的是提出一种清洗玻璃基板的方法，在注重环保、节约成本的前提下，保证满足生产要求的一种清洗方法，有效的提高了生产效率，保证了产品质量。
根据本发明提出的一种清洗玻璃基板的方法，主要包括以下几道工序：
1、玻璃入料：将经过处理后的ITO玻璃通过专用轨道输送到大气压等离子清洗设备中。
2、等离子清洗：开启大气压等离子清洗设备，通过把空气电离后产生的带有氧化能力的气体将ITO玻璃上的有机物转化成碳氢化合物。
3、有机溶剂清洗：将经过等离子清洗的ITO玻璃进行有机溶剂清洗，以去除表面附着的油脂等。
4、高压喷淋：将纯水和高压空气混合喷射在ITO玻璃上，利用高压水的冲刷力和流体内气泡破裂时产生的剥离力除去ITO玻璃上的异物粒子。
5、红外烘干：利用红外高温加热的方式将残留在ITO玻璃表面的水分彻底除去。
6、UV清洗：利用UV强大的氧化能力以去除ITO玻璃上的有机物将其转化成碳氢化物和水，以达到去除油脂，除去有机物的作用。
7、风冷：将UV清洗后的ITO玻璃进行常温冷却，以除去静电。
8、出料：将风冷后的ITO玻璃妥善放置，以防再污染，以备PI印刷。
本发明通过使用一种清洗玻璃基板的方法，综合了等离子、有机溶剂、高压喷淋、红外、UV等清洗方法，确保了ITO玻璃的清洗效果。
1、本发明融合了多种清洗方法，保证了玻璃的清洗的效果。
2、本发明采用的有机溶剂为无氟溶剂，对环境污染小，环保。
3、本发明采用的高压喷淋中，水与空气的混合均匀，产生的气泡更多也更小因此洗净效果也更好，对于小粒径的异物粒子也有很好的去除作用。
4、本发明采用的红外干燥能提高PI印刷的适印性，它的加热温度和时间可调，可根据产品实际情况选用。
5、本发明采用的UV清洗除了可以去除油脂、有机物，同时还可以达到杀菌的目的。
具体实施方式
本发明的具体实施方式如下：
清洗玻璃基板的方法主要包括以下几个部分：
1、玻璃入料：将经过处理后的ITO玻璃通过专用轨道输送到大气压等离子清洗设备中。
2、等离子清洗：开启大气压等离子清洗设备，通过把空气电离后产生的带有氧化能力的气体将ITO玻璃上的有机物转化成碳氢化合物。
3、有机溶剂清洗：将经过等离子清洗的ITO玻璃进行有机溶剂清洗，以去除表面附着的油脂等。
4、高压喷淋：将纯水和高压空气混合喷射在ITO玻璃上，利用高压水的冲刷力和流体内气泡破裂时产生的剥离力除去ITO玻璃上的异物粒子。
5、UV清洗：利用UV强大的氧化能力以去除ITO玻璃上的有机物将其转化成碳氢化物和水，以达到去除油脂，除去有机物的作用。
6、红外烘干：利用红外高温加热的方式将残留在ITO玻璃表面的水分彻底除去。
7、风冷：将UV清洗后的ITO玻璃进行常温冷却，以除去静电。
8、出料：将风冷后的ITO玻璃妥善放置，以防再污染，以备PI印刷。

Claims (6)

1.一种清洗玻璃基板的方法，包括玻璃入料、等离子清洗、有机溶剂清洗、高压喷淋、UV清洗、红外烘干、风冷及出料。
2.根据权利要求1所述的清洗玻璃基板的方法，其特征在于融合了多种清洗方法，保证了玻璃的清洗的效果。
3.根据权利要求1所述的清洗玻璃基板的方法，其特征在于采用的有机溶剂为无氟溶剂，对环境污染小，环保。
4.根据权利要求1所述的清洗玻璃基板的方法，其特征在于采用的高压喷淋中，水与空气的混合均匀，产生的气泡更多也更小因此洗净效果也更好，对于小粒径的异物粒子也有很好的去除作用。
5.根据权利要求1所述的清洗玻璃基板的方法，其特征在于采用的UV清洗除了可以去除油脂、有机物，同时还可以达到杀菌的目的。
6.根据权利要求1所述的清洗玻璃基板的方法，其特征在于采用的红外干燥能提高PI印刷的适印性，它的加热温度和时间可调，可根据产品实际情况选用。
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Cited By (5)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Cited By (7)

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