CN104148348B - 一种薄膜太阳能电池生产中对tco基板玻璃的预清洗工艺 - Google Patents

一种薄膜太阳能电池生产中对tco基板玻璃的预清洗工艺 Download PDF

Info

Publication number
CN104148348B
CN104148348B CN201310345794.0A CN201310345794A CN104148348B CN 104148348 B CN104148348 B CN 104148348B CN 201310345794 A CN201310345794 A CN 201310345794A CN 104148348 B CN104148348 B CN 104148348B
Authority
CN
China
Prior art keywords
cleaning
chamber
base plate
plate glass
solar cells
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201310345794.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104148348A (zh
Inventor
李岩
李兆廷
朱华
郭婷婷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CHENGDU XUSHUANG SOLAR TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
CHENGDU XUSHUANG SOLAR TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CHENGDU XUSHUANG SOLAR TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical CHENGDU XUSHUANG SOLAR TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN201310345794.0A priority Critical patent/CN104148348B/zh
Publication of CN104148348A publication Critical patent/CN104148348A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104148348B publication Critical patent/CN104148348B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B11/00Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
    • B08B11/04Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto specially adapted for plate glass, e.g. prior to manufacture of windshields
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02Cleaning by the force of jets or sprays
    • B08B3/022Cleaning travelling work
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/041Cleaning travelling work
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B21/00Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects

Abstract

一种薄膜太阳能电池生产中对TCO基板玻璃的预清洗工艺,是对经过磨边倒角后的TCO基板玻璃进行预清洗的清洗工艺,属于太阳能电池生产线第一道清洗工艺,主要通过清洗剂喷淋配合滚刷刷洗,漂洗,风刀烘干等工艺方法,去除磨边倒角后的TCO玻璃表面残留的微粒、有机物、油脂、碎屑等杂质,能够有效提高生产线后续工艺的镀膜质量,对提高电池的效率起到至关重要的作用。

Description

一种薄膜太阳能电池生产中对TCO基板玻璃的预清洗工艺
技术领域
[0001]本发明属于薄膜太阳能电池制造技术领域,涉及薄膜太阳能电池生产过程中的清洗工艺,具体地说是对进行磨边倒角之后而未进行刻蚀前的透明TCO基板玻璃的清洗工艺。
背景技术
[0002]现有的非晶硅薄膜太阳能电池生产线上磨边倒角后TCO基板玻璃清洗机都是沿用TFT生产线的清洗机,清洗工艺也是沿用TFT生产线的清洗工艺。薄膜太阳能电池在生产过程中,至少需要进行四次清洗,分别为:对磨边倒角后的透明TCO基板玻璃的清洗、透明TCO基板玻璃经过第一次激光刻蚀后的清洗、叠片前即进行第四次P4激光刻蚀清边之后的透明TCO基板玻璃的清洗、及叠片前对磨边倒角后的背板玻璃的清洗,传统做法是利用TFT生产线上的清洗工艺使用一台清洗机完成四次清洗。而在薄膜太阳能电池生产过程中不同的工序后玻璃表面会残留不同的杂质及残留物,其清洗的工艺及方法必然各不相同。显然这样根本不能满足清洁度的需求,不能根据杂质及残留物的不同而有的放矢。利用TFT生产线上的清洗机对进行磨边倒角之后而未进行刻蚀前的透明TCO基板玻璃清洗不仅清洁度达不到要求,而且容易损坏TCO膜层,也会影响后续的镀膜工艺,影响整个电池的发电效率。加之,TFT生产线上的清洗机工艺比较复杂,流程长,成本高,投资大,也使得非晶硅薄膜太阳能电池的制造成本大大增加。
发明内容
[0003]本发明为了解决传统的清洗工艺不能满足对进行磨边倒角之后而未进行刻蚀前的透明TCO基板玻璃的清洗需求的技术问题,设计了一种薄膜太阳能电池生产中对TCO基板玻璃的预清洗工艺,利用该清洗工艺能够去除磨边倒角后的TCO基板玻璃表面残留的微粒、有机物、油脂、碎肩等杂质,能够有效提高生产线后续工艺的镀膜质量,对提高电池发电效率起到至关重要的作用。
[0004]本发明采用的技术方案是:一种薄膜太阳能电池生产中对TCO基板玻璃的预清洗工艺,关键在于:本工艺是借助在TCO基板玻璃传送辊上依次设置的预喷淋清洗腔室、喷淋清洗剂与滚刷刷洗配合清洗腔室、再次喷淋清洗腔室、漂洗腔室及烘干腔室实现的,所述的工艺步骤中包括:
[0005] A、预喷淋清洗:将预喷淋清洗腔室控制在常温状态下,将去离子水作为清洗液,将在TCO基板玻璃传送辊上、下方90-1 1mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行预喷淋,其中,每组喷嘴组件中包括18-25个扇形喷嘴,每个喷嘴在0.12-0.16Mpa压力下的流量为1-1.1 L/min;
[0006] B、喷淋清洗剂与滚刷刷洗配合清洗:将喷淋清洗剂与滚刷刷洗配合清洗腔室控制在45°C±2°C温度下,将弱碱性清洗剂作为喷淋液,将在传送辊上、下方90-110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行喷淋,与此同时,在距传送辊上、下方O-Smm处分别设置的转速为300〜600rpm的滚刷进行刷洗,其中,每组喷嘴组件中包括30-35个扇形喷嘴,每个喷嘴在0.12-0.16Mpa压力下的流量为1-1.1 L/min;
[0007] C、再次喷淋清洗:将再次喷淋清洗腔室控制在常温状态下,以去离子水作为清洗剂,将在传送辊上、下方90-110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行再次喷淋清洗,其中,每组喷嘴组件中包括18-25个扇形喷嘴,每个喷嘴在0.3-0.4Mpa压力下的流量为1-1.15 L/min;
[0008] D、漂洗:在漂洗腔室中,将TCO基板玻璃上、下表面漂净;
[0009] E、烘干:在烘干腔室中,将TCO基板玻璃上、下表面烘干,完成整个清洗工艺过程。
[0010]所述的再次喷淋清洗腔室的数量为2个,依次设置于喷淋清洗剂与滚刷刷洗配合清洗腔室之后、漂洗腔室之前。
[0011]所述的漂洗腔室的数量为2个,依次设置于再次喷淋清洗腔室之后、烘干腔室之前,将漂洗腔室控制在常温下,以去离子水作为漂洗剂,将经过再次喷淋工序后的TCO基板玻璃,使用传送辊上、下方90-110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行漂洗,其中,每组喷嘴组件中包括15-20个扇形喷嘴,每个喷嘴在0.12-0.16Mpa压力下的流量为1-
1.15 L/min。
[0012]所述的烘干腔室的数量为2个,依次设置于漂洗腔室之后,在此基础上,所述的烘干工序步骤中包括:
[0013] EU 一级风刀吹扫烘干:在第一烘干腔室中进行,利用传送辊上、下方O-Smm处分别设置的一级风刀进行烘干,其中,一级风刀与TCO基板玻璃行进方向的夹角为60°-80°,吹出的风温度为25〜50°C,风量为200〜700m3 /h;
[0014] E2、二级风刀吹扫烘干:在第二烘干腔室中进行,利用传送辊上、下方O-Smm处分别设置的二级风刀进行烘干,其中,二级风刀与TCO基板玻璃行进方向的夹角为60°-80°,吹出的风温度为25〜80°C,风量为200〜700m3 /h。
[0015]本发明的有益效果是:1、清除了磨边倒角后的TCO基板玻璃表面的微粒、指纹、切削油、塑料、橡胶、和玻璃分离材料(透明合成树脂,少量残余的碎肩)等杂质;2、清洗前每平方米颗粒数大于2000的玻璃基板清除率之95%;清洗前颗粒数小于2000的,清洗后每平方米颗粒数〈100,微粒尺寸>25微米,等同于10000等级洁净间的要求;3、在聚光灯下用肉眼观察,玻璃表面无颗粒和划痕;4、有机物:保证玻璃在清洗后的接触角S 15度;4、原清洗工艺设备总长16000mm,采用新的清洗工艺设备总长4260mm,降低了投资成本。
附图说明
[0016]本发明中各个腔室的结构示意图。
[0017]附图中,I是预喷淋清洗腔室,2是喷淋清洗剂与滚刷刷洗配合清洗腔室,3是再次喷淋清洗腔室,4是漂洗腔室,5是烘干腔室,4-1是第一漂洗腔室,4-2是第二漂洗腔室,5-1是第一烘干腔室,5-2是第二烘干腔室,6是二级风刀,6-1是二级鼓风机,6-2是加热器,6-3是二级空气过滤器,7是一级风刀,6_1是一级鼓风机,6_2是一级空气过滤器,8是滚刷,9是传送棍,箭头表示玻璃传送方向。
具体实施方式
[0018] 一种薄膜太阳能电池生产中对TCO基板玻璃的预清洗工艺,本工艺是借助在TCO基板玻璃传送辊9上依次设置的预喷淋清洗腔室1、喷淋清洗剂与滚刷刷洗配合清洗腔室2、再次喷淋清洗腔室3、漂洗腔室4及烘干腔室5实现的,所述的工艺步骤中包括:
[0019] A、预喷淋清洗:将预喷淋清洗腔室I控制在常温状态下,将去离子水作为清洗液,将在TCO基板玻璃传送辊上、下方90-1 1mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行预喷淋,其中,每组喷嘴组件中包括18-25个扇形喷嘴,每个喷嘴在0.12-0.16Mpa压力下的流量为 1-1.1 L/min;
[0020] B、喷淋清洗剂与滚刷刷洗配合清洗:将喷淋清洗剂与滚刷刷洗配合清洗腔室2控制在45°C±2°C温度下,将弱碱性清洗剂作为喷淋液,将在传送辊上、下方90-110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行喷淋,与此同时,在距传送辊上、下方O-Smm处分别设置的转速为300〜600rpm的滚刷8进行刷洗,其中,每组喷嘴组件中包括30-35个扇形喷嘴,每个喷嘴在0.12-0.16Mpa压力下的流量为1-1.1 L/min;
[0021 ] C、再次喷淋清洗:将再次喷淋清洗腔室3控制在常温状态下,以去离子水作为清洗剂,将在传送辊上、下方90-110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行再次喷淋清洗,其中,每组喷嘴组件中包括18-25个扇形喷嘴,每个喷嘴在0.3-0.4Mpa压力下的流量为1-1.15 L/min;
[0022] D、漂洗:在漂洗腔室4中,将TCO基板玻璃上、下表面漂净;
[0023] E、烘干:在烘干腔室5中,将TCO基板玻璃上、下表面烘干,完成整个清洗工艺过程。
[0024]为了彻底对滚刷与清洗剂配合清洗后的基板玻璃表面残留的杂质清除,所述的再次喷淋清洗腔室3的数量为2个,依次设置于喷淋清洗剂与滚刷刷洗配合清洗腔室2之后、漂洗腔室4之前。
[0025]为了增强漂洗效果以使得基板玻璃的清洗满足清洁度需求,所述的漂洗腔室4的数量为2个,依次设置于再次喷淋清洗腔室3之后、烘干腔室5之前,将漂洗腔室4控制在常温下,以去离子水作为漂洗剂,将经过再次喷淋工序后的TCO基板玻璃,使用传送辊上、下方90-110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行漂洗,其中,每组喷嘴组件中包括15-20个扇形喷嘴,每个喷嘴在0.12-0.16Mpa压力下的流量为1-1.15 L/min。
[0026]为了增强烘干效果,所述的烘干腔室5的数量为2个,依次设置于漂洗腔室4之后,在此基础上,所述的烘干工序步骤中包括:
[0027] El、一级风刀吹扫烘干:在第一烘干腔室5-1中进行,利用传送辊上、下方0_8mm处分别设置的一级风刀7进行烘干,其中,一级风刀7与TCO基板玻璃行进方向的夹角为60°-80°,吹出的风温度为25〜50°C,风量为200〜700m3 /h;
[0028] E2、二级风刀吹扫烘干:在第二烘干腔室5-2中进行,利用传送辊上、下方0-8mm处分别设置的二级风刀6进行烘干,其中,二级风刀6与TCO基板玻璃行进方向的夹角为60°-80°,吹出的风温度为25〜80°C,风量为200〜700m3 /h。
[0029]为了将TCO基板玻璃表面的指纹、切削油等残留物清除,所述的弱碱性清洗剂是浓度为2%〜5%的NaOH、或KOH或TMAH清洗剂。
[0030]为了满足本工艺过程中的清洗压力需求,所述的喷嘴是材质为SUS303、口径为1/8寸、喷射角度为90°的扇形喷嘴。
[0031] 所述的滚刷8的材质为尼龙612、直径为<20.1〜<2 0.063。使用这种材质及直径大小的滚刷,可以在保护基板玻璃表面不被划擦的同时,达到很好的清洁效果。
[0032]所述的一级风刀7的供风系统结构中包括一级鼓风机7-1、及与一级鼓风机风力输出端连接的一级空气过滤器7-2,一级空气过滤器7-2的输出端与一级风刀7的风力输入端连接。
[0033]所述的二级风刀6的供风系统结构中包括二级鼓风机6-1、与二级鼓风机风力输出端连接的加热器6-2、及与加热器输出端连接的二级空气过滤器6-3,二级空气过滤器6-3的输出端与二级风刀6的风力输入端连接。
[0034]所述的一级风刀7是材质为SUS304的管型结构。
[0035]在具体实施时,参见附图1所示的基于该清洗工艺的清洗系统的结构示意图。在传送TCO基板玻璃传送辊9上,按照生产流水线顺序依次设置预喷淋清洗腔室1、喷淋清洗剂与滚刷刷洗配合清洗腔室2、2个再次喷淋清洗腔室、2个漂洗腔室及2个烘干腔室,将TCO基板玻璃依次通过上述各个腔室,利用该套清洗工艺能够去除磨边倒角后的TCO基板玻璃表面残留的微粒、有机物、油脂、碎肩等杂质,能够有效提高生产线后续工艺的镀膜质量。
[0036] 在预喷淋清洗腔室I中,在TCO基板玻璃传送辊9上、下方90-1 1mm处分别设置的一组喷嘴组件。清洗过程中将该腔室温度控制在常温,用去离子水进行预喷淋,其中,喷嘴是材质为SUS303、口径为1/8寸、喷射角度为90°的扇形喷嘴,每组喷嘴组件中包括21个扇形喷嘴,每个喷嘴在0.15Mpa压力下的流量为1.06 L/min。
[0037]在喷淋清洗剂与滚刷刷洗配合清洗腔室2中,在传送辊9上、下方90-110mm处分别设置的一组喷嘴组件,将该腔室中的温度控制在45°C±2°C下,用弱碱性清洗剂喷淋,并在距传送辊上、下方O-Smm处分别设置的转速为300〜600rpm的滚刷进行刷洗,其中,每组喷嘴组件中包括32个扇形喷嘴,每个喷嘴在0.15Mpa压力下的流量为1.06L/min;
[0038]在每个再次喷淋清洗腔室3中,在传送辊上、下方90-110mm处分别设置的一组喷嘴组件,将再次喷淋清洗腔室控制在常温状态下,以去离子水进行喷淋,其中,每组喷嘴组件中包括21个扇形喷嘴,喷嘴使用在0.3 Mpa压力下的流量为I L/min或采用在0.4Mpa压力下的流量为1.15 L/min的喷嘴;
[0039]所述的漂洗腔室4的数量为2个,依次设置于再次喷淋清洗腔室3之后、烘干腔室5之前,将漂洗腔室4控制在常温下,以去离子水作为漂洗剂,将经过再次喷淋工序后的TCO基板玻璃,使用传送辊上、下方90-1 1mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行漂洗,其中,每组喷嘴组件中包括15-20个扇形喷嘴,每个喷嘴在0.12-0.16Mpa压力下的流量为1-
1.15 L/min,具体使用时,可以将第一漂洗腔室4-1中的传送辊上、下方的喷嘴数量设置为21个,0.3 1^»压力下的流量为1171^11或0.4 Mpa压力下的流量为I.15L/min,将在第二漂洗腔室4-2中的传送辊上、下方的喷嘴数量设置为17个,0.15 Mpa压力下的流量为1.06L/min。
[0040]为了增强烘干效果,所述的烘干腔室5的数量为2个,即第一烘干腔室5-1与第二烘干腔室5-2,两个腔室依次设置于漂洗腔室4之后,在第一烘干腔室5-1中进行,利用传送辊上、下方O-Smm处分别设置的一级风刀7进行烘干,其中,一级风刀7与TCO基板玻璃行进方向的夹角为60°-80°,与与玻璃行进方向相垂直方向的角度:15°〜20°,吹出的风温度为25〜50°C,风量为200〜700m3 /h,一级风刀的供风动力源为一级鼓风机7_1,一级鼓风机7_1吹出的空气经过一级空气过滤器7-2输送给一级风刀7;在第二烘干腔室5-2中,利用传送辊上、下方O-Smm处分别设置的二级风刀6进行烘干,其中,二级风刀6与TCO基板玻璃行进方向的夹角为60°-80°,与玻璃行进方向相垂直方向的角度:15°〜20°,吹出的风温度为25〜80°C,风量O TT / ΤΤΤΓ\Γ\ I r\Γ\rT Ci /

Claims (9)

1.一种薄膜太阳能电池生产中对TCO基板玻璃的预清洗工艺,其特征在于:本工艺是借助在TCO基板玻璃传送辊(9)上依次设置的预喷淋清洗腔室(1)、喷淋清洗剂与滚刷刷洗配合清洗腔室(2)、再次喷淋清洗腔室(3)、漂洗腔室(4)及烘干腔室(5)实现的,所述的工艺步骤中包括: A、预喷淋清洗:将预喷淋清洗腔室(I)控制在常温状态下,将去离子水作为清洗液,将在传送辊上、下方90-110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行预喷淋,其中,每组喷嘴组件中包括18-25个扇形喷嘴,每个喷嘴在0.12-0.16Mpa压力下的流量为1-1.1 L/min; B、喷淋清洗剂与滚刷刷洗配合清洗:将喷淋清洗剂与滚刷刷洗配合清洗腔室(2)控制在45°C±2°C温度下,将弱碱性清洗剂作为喷淋液,将在传送辊上、下方90-110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行喷淋,与此同时,在距传送辊上、下方O-Smm处分别设置的转速为300〜600rpm的滚刷(8)进行刷洗,其中,每组喷嘴组件中包括30-35个扇形喷嘴,每个喷嘴在0.12-0.16Mpa压力下的流量为1-1.1 L/min; C、再次喷淋清洗:将再次喷淋清洗腔室(3)控制在常温状态下,以去离子水作为清洗剂,将在传送辊上、下方90-110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行再次喷淋清洗,其中,每组喷嘴组件中包括18-25个扇形喷嘴,每个喷嘴在0.3-0.4Mpa压力下的流量为1-1.15 L/min; D、漂洗:在漂洗腔室(4)中,将玻璃上、下表面漂净; E、烘干:在烘干腔室(5 )中,将玻璃上、下表面烘干,完成整个清洗工艺过程。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池生产中对TCO基板玻璃的预清洗工艺,其特征在于:所述的再次喷淋清洗腔室(3)的数量为2个,依次设置于喷淋清洗剂与滚刷刷洗配合清洗腔室(2)之后、漂洗腔室(4)之前。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池生产中对TCO基板玻璃的预清洗工艺,其特征在于:所述的漂洗腔室(4)的数量为2个,依次设置于再次喷淋清洗腔室(3)之后、烘干腔室(5)之前,将漂洗腔室(4)控制在常温下,以去离子水作为漂洗剂,将经过再次喷淋工序后的TCO基板玻璃,使用传送辊上、下方90-110mm处分别设置的一组喷嘴组件作为清洗工具进行漂洗,其中,每组喷嘴组件中包括15-20个扇形喷嘴,每个喷嘴在0.12-0.16Mpa压力下的流量为1-1.15 L/min。
4.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池生产中对TCO基板玻璃的预清洗工艺,其特征在于:所述的烘干腔室(5)的数量为2个,依次设置于漂洗腔室(4)之后,在此基础上,所述的烘干工序步骤中包括: El、一级风刀吹扫烘干:在第一烘干腔室(5-1)中进行,利用传送辊上、下方O-Smm处分别设置的一级风刀(7)进行烘干,其中,一级风刀(7)与玻璃行进方向的夹角为60°-80°,吹出的风温度为25〜50°C,风量为200〜700m3 /h; E2、二级风刀吹扫烘干:在第二烘干腔室(5-2)中进行,利用传送辊上、下方O-Smm处分别设置的二级风刀(6)进行烘干,其中,二级风刀(6)与玻璃行进方向的夹角为60°-80°,吹出的风温度为25〜80°C,风量为200〜700m3 /h。
5.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池生产中对TCO基板玻璃的预清洗工艺,其特征在于:所述的弱碱性清洗剂是浓度为2%〜5%的NaOH、或KOH或TMAH清洗剂。
6.根据权利要求1或3所述的一种薄膜太阳能电池生产中对TCO基板玻璃的预清洗工艺,其特征在于:所述的扇形喷嘴是材质为SUS303、口径为1/8寸、喷射角度为90°的扇形喷嘴。
7.根据权利要求4所述的一种薄膜太阳能电池生产中对TCO基板玻璃的预清洗工艺,其特征在于:所述的一级风刀(7)的供风系统结构中包括一级鼓风机(7-1)、及与一级鼓风机风力输出端连接的一级空气过滤器(7-2),一级空气过滤器(7-2)的输出端与一级风刀(7)的风力输入端连接。
8.根据权利要求4所述的一种薄膜太阳能电池生产中对TCO基板玻璃的预清洗工艺,其特征在于:所述的二级风刀(6)的供风系统结构中包括二级鼓风机(6-1)、与二级鼓风机风力输出端连接的加热器(6-2)、及与加热器输出端连接的二级空气过滤器(6-3),二级空气过滤器(6-3)的输出端与二级风刀(6)的风力输入端连接。
9.根据权利要求4所述的一种薄膜太阳能电池生产中对TCO基板玻璃的预清洗工艺,其特征在于:所述的一级风刀(7)是材质为SUS304的管型结构。
CN201310345794.0A 2013-08-09 2013-08-09 一种薄膜太阳能电池生产中对tco基板玻璃的预清洗工艺 Active CN104148348B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310345794.0A CN104148348B (zh) 2013-08-09 2013-08-09 一种薄膜太阳能电池生产中对tco基板玻璃的预清洗工艺

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310345794.0A CN104148348B (zh) 2013-08-09 2013-08-09 一种薄膜太阳能电池生产中对tco基板玻璃的预清洗工艺

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104148348A CN104148348A (zh) 2014-11-19
CN104148348B true CN104148348B (zh) 2016-08-10

Family

ID=51874085

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310345794.0A Active CN104148348B (zh) 2013-08-09 2013-08-09 一种薄膜太阳能电池生产中对tco基板玻璃的预清洗工艺

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104148348B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108723046A (zh) * 2018-07-18 2018-11-02 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 清洗设备

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104772313B (zh) * 2015-04-22 2017-08-04 蓝思科技股份有限公司 一种镀膜后的蓝宝石晶片的清洗方法
CN105013739A (zh) * 2015-06-24 2015-11-04 江苏华尚汽车玻璃工业有限公司 一种汽车玻璃原片的清洗工艺
CN105268672A (zh) * 2015-11-11 2016-01-27 江苏银佳企业集团有限公司 一种用于清洗太阳能光伏玻璃基板的水循环装置
CN107583888B (zh) * 2016-03-16 2020-04-17 温州职业技术学院 工业自动化清洗生产线
CN106695489A (zh) * 2016-12-12 2017-05-24 重庆兆冠玻璃有限公司 新型带风洗和水洗功能的玻璃双边磨边机
CN107866429A (zh) * 2017-11-23 2018-04-03 重庆市合川区金星玻璃制品有限公司 可预热的玻璃清洗机
CN108856051A (zh) * 2018-06-29 2018-11-23 张维秀 一种冲床清洗装置及其使用方法
WO2020097773A1 (zh) * 2018-11-12 2020-05-22 葛慰慈 一种塑料薄膜清洗装置
CN109731877B (zh) * 2019-03-20 2021-02-26 东旭(营口)光电显示有限公司 玻璃基板清洗的方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201579228U (zh) * 2009-12-24 2010-09-15 无锡尚德太阳能电力有限公司 硅片喷淋清洗系统
CN101977699A (zh) * 2008-03-19 2011-02-16 浦瑞玛柯Feg有限责任公司 传送式器皿清洗机及其使用方法
CN102716876A (zh) * 2012-05-03 2012-10-10 深圳市正东玻璃机械设备有限公司 一种玻璃清洗机及其清洗方法
CN203044457U (zh) * 2012-12-10 2013-07-10 中山东菱威力电器有限公司 一种玻璃清洗机

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012114409A (ja) * 2010-11-04 2012-06-14 Tokyo Electron Ltd 基板洗浄方法、基板洗浄装置及び基板洗浄用記憶媒体
KR20120124514A (ko) * 2011-05-03 2012-11-14 (주)유니티엔씨 판유리 처리장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101977699A (zh) * 2008-03-19 2011-02-16 浦瑞玛柯Feg有限责任公司 传送式器皿清洗机及其使用方法
CN201579228U (zh) * 2009-12-24 2010-09-15 无锡尚德太阳能电力有限公司 硅片喷淋清洗系统
CN102716876A (zh) * 2012-05-03 2012-10-10 深圳市正东玻璃机械设备有限公司 一种玻璃清洗机及其清洗方法
CN203044457U (zh) * 2012-12-10 2013-07-10 中山东菱威力电器有限公司 一种玻璃清洗机

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108723046A (zh) * 2018-07-18 2018-11-02 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 清洗设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN104148348A (zh) 2014-11-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105499092B (zh) 一种透明超双疏表面层及层层原位喷涂反应制备法
ES2366894T3 (es) Procedimiento y dispositivo de tratamiento de obleas de silicio.
CN101541544B (zh) 在流体喷射器上的非润湿涂层
CN106423801B (zh) 一种木门的喷漆工艺
CN102357541B (zh) 热水循环清洗带钢表面的系统
US9623430B2 (en) Slit nozzle cleaning device for coaters
KR20110124343A (ko) 박막 태양전지 패널의 고압액 분사 세정장치 및 방법
CN204747003U (zh) 一种适应复杂形状pvc管的清洗机
CN207351258U (zh) 双重清垢阻垢装置及列管式换热器
CN102709157B (zh) 一种二极管清洗工艺及其清洗设备
CN105212242A (zh) 一种油桃加工用高效清洗机
CN101845242A (zh) 超疏水纳米复合涂料及其制备方法
CN206604818U (zh) 铝带清洗装置
CN104762622B (zh) 一种铜镍合金管材表面光亮化的处理方法
CN102294332A (zh) 金刚石线切割硅晶片的清洗方法
CN205797834U (zh) 一种新型茯苓用清洗装置
CN103721959B (zh) 一种定日镜清洗装置
CN103506339A (zh) 晶圆背面清洗装置及清洗方法
CN201519688U (zh) 超白玻璃清洗机
CN102441843B (zh) 一种cmp机台内置清洗结构及方法
CN101409224B (zh) 刷组件以及具有该刷组件的基片清洗装置
CN201579228U (zh) 硅片喷淋清洗系统
CN104617018A (zh) 一种基板处理装置及基板处理方法
TWI492793B (zh) 無機元件的清洗裝置及其清洗方法
CN106436281A (zh) 一种兼具抗紫外效应的自清洁织物的制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant