KR20070081572A - 슬릿 코터 세정제, 표시장치 제조용 슬릿 코터 및표시장치의 제조방법 - Google Patents

슬릿 코터 세정제, 표시장치 제조용 슬릿 코터 및표시장치의 제조방법 Download PDF

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KR20070081572A
KR20070081572A KR1020060013590A KR20060013590A KR20070081572A KR 20070081572 A KR20070081572 A KR 20070081572A KR 1020060013590 A KR1020060013590 A KR 1020060013590A KR 20060013590 A KR20060013590 A KR 20060013590A KR 20070081572 A KR20070081572 A KR 20070081572A
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Abstract

본 발명은 슬릿 코터 세정제, 표시장치 제조용 슬릿 코터 및 표시장치의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 슬릿 코터 세정제는 70 내지 90 중량%의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르(propylene glycol mono-methyl ether), 5 내지 20 중량%의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol mono-methyl ether acetate) 및 5 내지 20중량%의 에틸 3-에톡시 프로피오네이트(ethyl(3-ethoxy)propyonate)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해 슬릿 코터를 효과적으로 세정할 수 있는 슬릿 코터 세정제가 제공된다.

Description

슬릿 코터 세정제, 표시장치 제조용 슬릿 코터 및 표시장치의 제조방법{CLEANSER FOR SLIT COATER, SLIT COATER FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD FOR DISPLAY DEVICE}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코터의 블록도이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코터에서 슬릿 노즐의 사시도이고,
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ을 따른 단면도이고,
도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ을 따른 단면도이고,
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 실험결과를 나타낸 그림이고,
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 슬릿 코터를 이용하여 제조된 표시장치를 나타낸 도면이고,
도 8은 본 발명에 따른 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 순서도이고,
도 9a 내지 도 9g는 본 발명에 따른 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 그림이다.
* 도면의 주요부분의 부호에 대한 설명 *
10 : 슬릿 노즐 11, 12 : 서브 본체
13 : 주입부 14 : 캐비티
15 : 노즐부 20 : 컬러 감광액 공급부
30 : 세정제 공급부
본 발명은 슬릿 코터 세정제, 표시장치 제조용 슬릿 코터 및 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
최근 종래의 CRT를 대신하여 액정표시장치(LCD), PDP(plasma display panel), OLED(organic light emitting diode) 등의 평판표시장치가 많이 사용되고 있다.
이들 평판표시장치의 제조에는 기판 상에 코팅층을 형성하는 공정이 많이 사용된다. 코팅층은 필요에 따라 노광, 현상 등을 통해 패터닝된다.
코팅층을 형성하는 방법으로는 스핀 코팅(spin coating) 및 슬릿 코팅(slit coating) 등이 있다. 슬릿 코팅은 세장형의 노즐을 가진 슬릿 코터를 기판상에서 이동하면서 노즐을 통해 코팅액을 토출하는 방법이다.
슬릿 코터의 사용에 있어, 필요에 따라 세정제를 사용하여 슬릿 코터를 세정하게 된다. 예를 들어, 서로 다른 색상의 컬러 감광액을 사용하여 액정표시장치의 컬러필터를 형성할 경우에 컬러 감광액의 교체에 앞서 슬릿 코터를 세정해야 한다.
그런데 슬릿 코터의 노즐부는 좁게 형성되어 있어 세정이 용이하지 않은 문제가 있다.
따라서 본 발명의 목적은 슬릿 코터를 효과적으로 세정할 수 있는 슬릿 코터 세정제를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 세정이 효과적으로 이루어지는 표시장치 제조용 슬릿 코터를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 슬릿 코터의 세정이 효과적으로 이루어지는 표시장치의 제조방법을 제공하는 것이다.
상기의 목적은 70 내지 90 중량 %의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 (propylene glycol mono-methyl ether), 5 내지 20 중량%의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol mono-methyl ether acetate) 및 5 내지 20중량%의 에틸 3-에톡시 프로피오네이트(ethyl(3-ethoxy)propyonate)를 포함하는 슬릿 코터 세정제에 의해 달성된다.
상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르의 함량은 75 내지 85중량%, 상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트의 함량은 및 7 내지 13중량%, 상기 에틸 3-에톡시 프로피오네이트의 함량은 7 내지 13중량%인 것이 바람직하다.
5 내지 10중량%의 아세톤을 더 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 목적은80 내지 97 중량 %의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol mono-methyl ether acetate) 및 3 내지 20중량%의 아세톤을 포함하는 슬릿 코터 세정제에 의해서도 달성된다.
상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트의 함량은 90 내지 95중량 %이며, 상기 아세톤의 함량은 5 내지 10중량%인 것이 바람직하다.
5 내지 15 중량%의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르(propylene glycol mono-methyl ether)를 더 포함하는 것이 바람직하다.
5 내지 15 중량%의 에틸 3-에톡시 프로피오네이트(ethyl(3-ethoxy)propyonate)를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 본 발명의 다른 목적은 슬릿 노즐과; 상기 슬릿 노즐에 서로 다른 색상을 가진 적어도 2개 이상의 컬러 감광액을 공급하는 컬러 감광액 공급부와; 상기 슬릿 노즐에70 내지 90 중량 %의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르(propylene glycol mono-methyl ether), 5 내지 20 중량%의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol mono-methyl ether acetate) 및 5 내지 20중량%의 에틸 3-에톡시 프로피오네이트(ethyl(3-ethoxy)propyonate)를 포함하는 슬릿 코터 세정제를 공급하는 세정제 공급부를 포함하는 표시장치 제조용 슬릿코터에 의하여 달성된다.
상기 슬릿 코터 세정제에서, 상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르의 함량은 75 내지 85중량%, 상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트의 함량은 및 7 내지 13중량%, 상기 에틸 3-에톡시 프로피오네이트의 함량은 7 내지 13중량%인 것이 바람직하다.
상기 슬릿 코터 세정제는 5 내지 10중량%의 아세톤을 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 본 발명의 다른 목적은 슬릿 노즐과; 상기 슬릿 노즐에 서로 다른 색상 을 가진 적어도 2개 이상의 컬러 감광액을 공급하는 칼라감광액 공급부와; 상기 슬릿 노즐에80 내지 97 중량 %의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol mono-methyl ether acetate) 및 3 내지 20중량%의 아세톤을 포함하는 슬릿 코터 세정제를 공급하는 세정제 공급부를 포함하는 표시장치 제조용 슬릿 코터에 의해서도 달성된다.
상기 슬릿 코터 세정제에 있어서, 상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트의 함량은 90 내지 95중량%이며, 상기 아세톤의 함량은 5 내지 10중량%인 것이 바람직하다.
상기 슬릿 코터 세정제는5 내지 15 중량%의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르(propylene glycol mono-methyl ether)를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 슬릿 코터 세정제는5 내지 15 중량%의 에틸 3-에톡시 프로피오네이트(ethyl(3-ethoxy)propyonate)를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 본 발명의 또 다른 목적은 슬릿 노즐을 통해 기판 상에 제1컬러 감광액을 코팅하여 제1컬러 감광층을 형성하는 단계와; 상기 제1컬러 감광액을 패터닝하여 제1서브 컬러 필터를 형성하며, 상기 슬릿 노즐에 70 내지 90 중량 %의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르(propylene glycol mono-methyl ether), 5 내지 20 중량%의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol mono-methyl ether acetate) 및 5 내지 20중량%의 에틸 3-에톡시 프로피오네이트(ethyl(3-ethoxy)propyonate)를 포함하는 슬릿 코터 세정제를 공급하여 상기 슬릿 노즐을 세정하는 단계와; 상기 제1서브 컬러 필터 상에 상기 슬릿 노즐을 통해 제2컬러 감광 액을 코팅하여 제2컬러 감광층을 형성하는 단계를 포함하는 표시장치의 제조방법에 의하여 달성된다.
상기 슬릿 코터 세정제에서, 상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르의 함량은 75 내지 85중량%, 상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트의 함량은 및 7 내지 13중량%, 상기 에틸 3-에톡시 프로피오네이트의 함량은 7 내지 13중량%인 것이 바람직하다.
상기 슬릿 코터 세정제는 5 내지 10중량%의 아세톤을 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 본 발명의 또 다른 목적은 슬릿 노즐을 통해 기판 상에 제1컬러 감광액을 코팅하여 제1컬러 감광층을 형성하는 단계와; 상기 제1컬러 감광액을 패터닝하여 제1서브 컬러 필터를 형성하며, 상기 슬릿 노즐에 80 내지 97 중량 %의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol mono-methyl ether acetate) 및 3 내지 20중량%의 아세톤을 포함하는 슬릿 코터 세정제를 공급하여 상기 슬릿 노즐을 세정하는 단계와; 상기 제1서브 컬러 필터 상에 상기 슬릿 노즐을 통해 제2컬러 감광액을 코팅하여 제2컬러 감광층을 형성하는 단계를 포함하는 표시장치의 제조방법에 의하여도 달성된다.
상기 슬릿 코터 세정제에 있어서, 상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트의 함량은 90 내지 95중량%이며, 상기 아세톤의 함량은 5 내지 10중량%인 것이 바람직하다.
상기 슬릿 코터 세정제는5 내지 15 중량%의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테 르(propylene glycol mono-methyl ether)를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 슬릿 코터 세정제는5 내지 15 중량%의 에틸 3-에톡시 프로피오네이트(ethyl(3-ethoxy)propyonate)를 더 포함하는 것이 바람직하다.
이하 첨부된 도면을 참조로 하여 본발명을 더욱 상세히 설명하겠다.
도 1 을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코터를 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코터의 블록도이다.
슬릿 코터(1)는 슬릿 노즐(10), 컬러 감광액 공급부(20) 및 세정제 공급부(30)를 포함한다. 도시하지는 않았지만 슬릿 코터(1)는 슬릿 노즐(10)을 평면운동 시킬 수 있는 구동부를 더 포함할 수 있다.
슬릿 노즐(10)은 컬러 감광액 공급부(20)로부터 컬러 감광액을 공급받아 이를 기판 상에 토출한다. 슬릿 노즐(10)의 자세한 구성은 후술한다.
컬러 감광액 공급부(20)는 3개의 컬러 감광액 탱크(21a, 22a, 23a)와 각 탱크(21a, 21b, 21c)에 연결되어 있는 질량유량 조절기(mass flow controller, 21b, 22b, 22c)를 포함한다. 컬러 감광액 탱크(21a, 22a, 23a)는 서로 다른 색상의 컬러 감광액을 저장하고 있는데, 예를 들어, 각각 청색 감광액, 녹색 감광액 및 적색 감광액을 저장하고 있을 수 있다.
세정제 공급부(30)는 세정제 탱크(30a)와 이에 연결되어 있는 질량유량 조절기(30b)를 포함한다.
컬러 감광액 공급부(20)와 세정제 공급부(30)는 컬러 감광액과 세정제를 슬릿 노즐(10)에 공급하게 되며, 이에 따라 슬릿 노즐(10)은 컬러 감광액을 토출하거 나 내부가 세척된다.
본 발명에서 세정제 공급부(30)는 제1세정제 또는 제2세정제를 공급한다.
제1세정제는 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol mono-methyl ether acetate, 이하‘PGMEA’), 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르(propylene glycol mono-methyl ether, 이하‘PGME’) 및 에틸 3-에톡시 프로피오네이트(ethyl(3-ethoxy)propyonate, 이하‘EEP’)를 포함한다.
제1세정제에 있어서, PGME는 70 내지 90 중량 %, PGMEA는 5 내지 20 중량%, EEP는 5 내지 20중량%일 수 있으며 더 바람직하게는, PGME는 75 내지 85 중량 %, PGMEA 7 내지 13 중량%, EEP는 7 내지 13중량%가 좋다.
PGMEA는 25℃에서 비중이 0.968이고, 25℃에서 점도가 1.3cps이고, 대기압에서 끊는 점이 145 내지 146℃이고, 인화점(flash point)은 42℃인 물리적 특성을 가진다. PGMEA가 5중량%보다 작거나 20중량%보다 크면 제1세정제의 용해도가 문제된다. EEP 역시 5중량%보다 작거나 20중량%보다 크면 제1세정제의 용해도가 문제된다. 한편 EEP는 PGMEA나 PGME에 비하여 고가이기 때문에, 함량이 증가하면 제1세정제의 제조비용이 증가한다.
제1세정제는 5 내지 10중량%의 아세톤을 더 포함할 수 있다.
제2세정제는 PGMEA와 아세톤(acetone)을 포함한다.
제2세정제에 있어, PGMEA의 함량은 80 내지 97중량%, 아세톤은 3 내지 20중량%일 수 있으며, 바람직하게는 PGMEA의 함량은 90 내지 95중량%이며, 아세톤의 함량은 5 내지 10중량%인 것이 좋다.
아세톤의 함량이 3중량%보다 작으면 세정효과 개선이 미미하다. 아세톤의 함량이 증가함에 따라 제2세정제의 세정력은 증가한다. 하지만 아세톤의 함량이 20중량%이상일 경우, 인화점이 -1℃정도로 매우 낮아져 공정이 위험해질 수 있다.
다음 표 1은 제2세정제에서 아세톤 함량에 따른 제2세정제의 인화점을 나타낸 것이다. 표 1에서 아세톤 함량을 제외한 나머지는 PGMEA이다.
표 1.
Figure 112006010357578-PAT00001
제2세정제는 5 내지 15 중량%의 PGME를 더 포함하고/포함하거나 5 내지 15 중량%의 EEP를 더 포함할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코터에서 슬릿 노즐의 사시도이다.
슬릿 노즐(10)은 길게 연장되어 있으며 컬러 감광액 공급부(20)와 세정제 공급부(30)로부터 컬러 감광액과 세정제를 공급받는다. 슬릿 노즐(10)의 길이(W)는 코팅 대상 기판의 크기에 따라 달라질 수 있으며, 약 800mm 내지 2000mm일 수 있다.
슬릿 노즐(10)은 서로 결합되어 있는 제1 서브 본체(11) 및 제2서브본체(12)를 포함한다. 제1서브 본체(11)는 제2서브 본체(12)에 비해 복잡한 형상을 가지면 서 주입부(13), 캐비티(14) 및 노즐부(15)를 형성한다.
주입부(13)는 컬러 감광액 공급부(20) 및 세정제 공급부(30)에 연결되어 있으며 컬러 감광액 또는 세정제를 공급받는다. 주입부(13)는 슬릿 노즐(10)의 길이방향에서 대략 중심 부분에 위치하고 있다.
캐비티(14)는 주입부(13)에 연결되어 있으며 주입부(13)를 중심으로 양 쪽으로 연장되어 있다. 캐비티(14)는 주입부(13)를 중심으로 양 편이 대칭으로 형성되어 있다.
주입부(13)를 통해 공급된 컬러 감광액 또는 세정제는 캐비티(14)를 거친 후 노즐부(15)로 진행한다. 캐비티(14)는 주입부(13)를 중심으로 주입부(13)에서 멀어질수록 하향되어 있다. 기울어진 경사각, 즉 행거 앵글(hanger angle, θ)은 1도 내외일 수 있다.
제1서브 본체(11)와 제2서브 본체(12)는 작은 갭(g)을 사이에 두고 마주보며 노즐부(15)를 형성한다. 노즐부(15)는 캐비티(14)와 연결되어 있으며, 노즐부(15)의 갭(g)은 60㎛ 내지 140㎛일 수 있다.
노즐부(15)의 오리피스 길이(orifice length, L)는 캐비티(14)의 위치에 따라 달라진다. 즉, 노즐부(15)의 오리피스 길이 (L)는 캐비티(14)가 가장 상부에 위치하는 슬릿 노즐(10)의 중심부에서 가장 길고, 캐비티(14)가 가장 하부에 위치하는 슬릿 노즐(10)의 양 말단에서 가장 짧게 된다..
이하에서는 본 발명의 제1세정제와 제2세정제를 실험결과를 참조하여 설명한다.
실험에서는 기판 상에 형성된 청색 컬러필터에 세정제를 가하면서 시간에 따른 청색 컬러필터의 제거정도를 관찰하였다.
청색 컬러필터는 청색 감광액(대한민국 동우화인켐의 상표명 YB-755)을 주사기를 이용하여 기판 상에 드로핑한 후 건조시켜 마련하였다. 청색 감광액의 고형분 함량은 약 12중량%이며 용매는 PGMEA와 EEP의 6:4혼합물이다.
세정제는 정량펌프를 이용하여 분당 1.3ml의 유량으로 청색 컬러필터에 공급되었다. 청색 컬러필터의 건조상태에 따른 오차를 줄이기 위하여 실험은 같은 기판에 동시에 드로핑된 청색 컬러필터에 대하여 수행되었다.
도 5는 비교예 1 내지 4에 대한 결과를 나타낸 것이고, 도 6은 실시예 1 내지 3에 대한 결과를 나타낸 것이다.
도 5에서 보면 각각 PGMEA, PGME, EEP를 단독으로 사용한 비교예 1 내지 3은 50초가 경과 후에도 청색 컬러필터가 다소 남아 있음을 알 수 있다. 반면 PGMEA 70중량%와 아세톤 30중량%로 이루어진 비교예 4를 보면 30초 경과 후에 청색 컬러필터가 대부분 제거되었음을 알 수 있다. 비교예 4는 세정력은 우수하나 인화점이 -7℃정도로서 사용하기에 부적합하다.
도 6에서 보면 PGME 80중량% + EEP 10중량% + PGMEA 10중량%를 사용한 실시예 1의 경우 약 50초 경과 후 청색 컬러필터가 대부분 제거되었음을 알 수 있다. PGMEA 90중량% + 아세톤 10중량%을 사용한 실시예 2의 경우 40초 경과 후 청색 컬러필터가 대부분 제거되었으며, PGMEA 90중량% + 아세톤 5중량%을 사용한 실시예 3의 경우 50초 경과 후 청색 컬러필터가 대부분 제거되었음을 확인 할 수 있다.
실험결과를 종합하면 실시예 1 내지 3은 모두 비교예 1 내지 3에 비해 청색 컬러필터의 세정력이 우수함을 알 수 있다.
이러한 결과는 청색 컬러필터 뿐 아니라 적색 컬러필터 및 녹색 컬러필터의 경우도 마찬가지다.
이하 본 발명의 일실시예에 따른 슬릿 코터를 이용하여 제조된 표시장치를 도 7을 참조하여 설명한다.
본 발명에 따라 제조된 액정표시장치(100)는 박막트랜지스터 기판(110), 컬러필터 기판(120) 그리고 양 기판(110, 120)에 위치한 액정층(130)을 포함한다.
박막트랜지스터 기판(110)을 보면, 절연기판(111) 상에 복수의 박막트랜지스터(112)가 형성되어 있다. 박막트랜지스터(112)는 보호층(113)이 덮고 있으며, 보호층(113)의 일부는 제거되어 박막트랜지스터(112)를 노출시키는 접촉구(114)를 형성한다. 투명한 도전물질로 이루어진 화소전극(115)은 접촉구(114)를 통해 박막트랜지스터(112)와 연결되어 있다.
컬러필터 기판(120)을 보면, 절연기판(121) 상에 격자 형상의 블랙매트릭스(122)가 형성되어 있다. 블랙매트릭스(122)는 블랙안료를 포함한 유기물로 만들어 질 수 있으며, 박막트랜지스터 기판(122)의 박막트랜지스터(112)와 배선(도시하지 않음)과 대응하도록 형성되어 있다.
블랙매트릭스(122) 사이에는 컬러필터(123)가 형성되어 있다. 컬러필터(123)는 유기물로 이루어져 있으며 서로 다른 색상을 가진 3개의 서브층(123a, 123b, 123c)을 포함한다. 블랙매트릭스(122)와 컬러필터층(123) 상부에는 오버코트층 (124)과 투명한 도전물질로 이루어진 공통전극(125)이 형성되어 있다.
양 기판(110, 120) 사이에 위치한 액정층(130)은 화소전극(115)과 공통전극(125)이 형성하는 전계에 의해 그 배열상태가 결정된다. 박막트랜지스터 기판(110)의 하부에서 공급된 빛은 액정층(130)에서 투과율이 조정된 후 컬러필터층(123) 및 컬러필터 기판(120) 외부에 부착된 편광판(미도시)을 지나면서 색상이 부여된다.
이하 도 8 및 도 9a 내지 도 9g를 참조하여 본 발명에 따른 표시장치의 제조방법을 설명한다. 도 8은 본 발명에 따른 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 9a 내지 도 9g는 본 발명에 따른 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 그림이다.
먼저 도 9a및 도 9b와 같이 절연기판(121) 상에 격자상의 블랙매트릭스(122)를 형성한다(S100).
다음 도 9c 및 도 9d와 같이 블랙매트릭스(122)가 형성된 절연기판(121) 상에 본 발명에 따른 슬릿 코터(1)를 이용하여 청색 감광액을 코팅하여 청색 감광층(126a)을 형성한다(S200). 슬릿 노즐(10)은 컬러 감광액 탱크(21a)로부터 청색 감광액을 공급받으며, 절연기판(121) 상을 지나가면서 청색 감광층(126a)을 코팅한다.
다음 도 9e와 같이 청색 감광층(126a)을 패터닝하여 청색 컬러필터(123a)를 형성하면서. 슬릿 노즐(10)에 세정제를 공급한다(S300).
청색 컬러필터(123a)는 청색 감광층(126a)을 예비-베이킹(pre-baking)한 후 노광, 현상, 세정 및 후-베이킹(post-baking)하여 형성한다. 예비-베이킹은 핫 플 레이트에서 약 2 내지 4분 동안 이루어질 수 있으며, 후-베이킹은 200 내지 230℃에서 약 20분 내지 60분간 이루어질 수 있다.
청색 감광층(126a)의 패터닝과 함께 슬릿 노즐(10)은 세정제 공급부(30)로부터 세정제를 공급받아 캐비티(14) 및 노즐부(15)를 세정한다. 세정제는 본 발명에 따른 제1세정제 또는 제2세정제이다.
청색 감광액이 슬릿 노즐(10) 내에 정체되어 있으며, 슬릿 노즐(10) 내에서 청색 감광액의 용제가 증발되면서 노즐부(15)를 막거나, 파티클을 형성하는 문제가 있다. 세정제는 슬릿 노즐(10) 내의 청색 감광액을 밀어내고 슬릿 노즐(10)을 세정하여 노즐 막힘과 파티클 형성을 방지한다. 또한 청색 감광액을 효과적으로 제거하여 이후 공급되는 녹색 감광액과 청색 감광액의 혼합을 방지한다.
다음 도 9f와 같이 청색 컬러필터(123a) 상에 녹색 감광층(126b)을 형성한다(S400). 이 과정에서 슬릿 노즐(10)은 컬러 감광액 탱크(21b)로부터 녹색 감광액을 공급받으며, 절연기판(121) 상을 지나가면서 녹색 감광층(126b)을 코팅한다.
한편 본 발명에 따른 세정제는 감광액 제거력이 우수하기 때문에, 감광액 교체시간이 짧아도 서로 다른 색상의 감광액이 섞이는 문제가 감소된다.
이후 녹색 감광층(126b)을 패터닝하여 녹색 컬러필터(123b)를 형성하고, 같은 방법으로 적색 컬러필터(123c)를 형성한다. 이로서 도 9g와 같이 컬러필터(123) 형성이 완료된다.
다음으로 컬러필터(123) 상에 오버코트막(124)과 투명전극층(125)을 형성하면 컬러필터 기판(120)이 완성된다.
이후 공지의 방법으로 제조되는 박막트랜지스터 기판(110)과 컬러필터 기판120)을 합착하고, 양 기판(110, 120) 사이에 액정층(130)을 주입하면 도 7에 나타낸 표시장치(100)가 완성된다.
본 발명에 따른 세정제의 사용은 컬러필터의 제조에 한정되지 않는다. 본 발명의 세정제는 2가지 이상의 감광액을 사용하는 슬릿 코터에서 감광액 교체 중간에 적용될 수 있다. 또한 단일의 감광액을 사용하는 슬릿 코터에서도 세정과 유지를 위하여 사용될 수 있다.
비록 본발명의 실시예가 도시되고 설명되었지만, 본발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 본 실시예를 변형할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 본발명의 범위는 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 슬릿 코터를 효과적으로 세정할 수 있는 슬릿 코터 세정제가 제공된다.
또한 세정이 효과적으로 이루어지는 표시장치 제조용 슬릿 코터와 이를 이용한 표시장치의 제조방법이 제공된다.

Claims (21)

  1. 70 내지 90 중량 %의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르(propylene glycol mono-methyl ether), 5 내지 20 중량%의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol mono-methyl ether acetate) 및 5 내지 20중량%의 에틸 3-에톡시 프로피오네이트(ethyl(3-ethoxy)propyonate)를 포함하는 슬릿 코터 세정제.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르의 함량은 75 내지 85중량%, 상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트의 함량은 및 7 내지 13중량%, 상기 에틸 3-에톡시 프로피오네이트의 함량은 7 내지 13중량%인 것을 특징으로 하는 슬릿 코터 세정제.
  3. 제2항에 있어서,
    5 내지 10중량%의 아세톤을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터 세정제.
  4. 80 내지 97 중량 %의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol mono-methyl ether acetate) 및 3 내지 20중량%의 아세톤을 포함하는 슬릿 코터 세정제.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트의 함량은 90 내지 95중량%이며, 상기 아세톤의 함량은 5 내지 10중량%인 것을 특징으로 하는 슬릿 코터 세정제.
  6. 제4항에 있어서,
    5 내지 15 중량%의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르(propylene glycol mono-methyl ether)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터 세정제.
  7. 제4항에 있어서,
    5 내지 15 중량%의 에틸 3-에톡시 프로피오네이트(ethyl(3-ethoxy)propyonate)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터 세정제.
  8. 슬릿 노즐과;
    상기 슬릿 노즐에 서로 다른 색상을 가진 적어도 2개 이상의 컬러 감광액을 공급하는 컬러 감광액 공급부와;
    상기 슬릿 노즐에70 내지 90 중량 %의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르(propylene glycol mono-methyl ether), 5 내지 20 중량%의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol mono-methyl ether acetate) 및 5 내지 20중량%의 에틸 3-에톡시 프로피오네이트(ethyl(3-ethoxy)propyonate)를 포함하는 슬릿 코터 세정제를 공급하는 세정제 공급부를 포함하는 표시장치 제조용 슬릿 코터.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 슬릿 코터 세정제에서,
    상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르의 함량은 75 내지 85중량%, 상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트의 함량은 및 7 내지 13중량%, 상기 에틸 3-에톡시 프로피오네이트의 함량은 7 내지 13중량%인 것을 특징으로 하는 표시장치 제조용 슬릿 코터.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 슬릿 코터 세정제는 5 내지 10중량%의 아세톤을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치 제조용 슬릿 코터.
  11. 슬릿 노즐과;
    상기 슬릿 노즐에 서로 다른 색상을 가진 적어도 2개 이상의 컬러 감광액을 공급하는 칼라감광액 공급부와;
    상기 슬릿 노즐에80 내지 97 중량 %의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol mono-methyl ether acetate) 및 3 내지 20중량%의 아세 톤을 포함하는 슬릿 코터 세정제를 공급하는 세정제 공급부를 포함하는 표시장치 제조용 슬릿 코터.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 슬릿 코터 세정제에 있어서,
    상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트의 함량은 90 내지 95중량%이며, 상기 아세톤의 함량은 5 내지 10중량%인 것을 특징으로 하는 표시장치 제조용 슬릿 코터.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 슬릿 코터 세정제는5 내지 15 중량%의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르(propylene glycol mono-methyl ether)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치 제조용 슬릿 코터.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 슬릿 코터 세정제는5 내지 15 중량%의 에틸 3-에톡시 프로피오네이트(ethyl(3-ethoxy)propyonate)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치 제조용 슬릿 코터.
  15. 슬릿 노즐을 통해 기판 상에 제1컬러 감광액을 코팅하여 제1컬러 감광층을 형성하는 단계와;
    상기 제1컬러 감광층을 패터닝하여 제1서브 컬러 필터를 형성하며, 상기 슬릿 노즐에 70 내지 90 중량%의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르(propylene glycol mono-methyl ether), 5 내지 20 중량%의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol mono-methyl ether acetate) 및 5 내지 20중량%의 에틸 3-에톡시 프로피오네이트(ethyl(3-ethoxy)propyonate)를 포함하는 슬릿 코터 세정제를 공급하여 상기 슬릿 노즐을 세정하는 단계와;
    상기 제1서브 컬러 필터 상에 상기 슬릿 노즐을 통해 제2컬러 감광액을 코팅하여 제2컬러 감광층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 슬릿 코터 세정제에서,
    상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르의 함량은 75 내지 85중량%, 상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트의 함량은 및 7 내지 13중량%, 상기 에틸 3-에톡시 프로피오네이트의 함량은 7 내지 13중량%인 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 슬릿 코터 세정제는 5 내지 10중량%의 아세톤을 더 포함하는 것을 특징 으로 하는 표시장치의 제조방법.
  18. 슬릿 노즐을 통해 기판 상에 제1컬러 감광액을 코팅하여 제1컬러 감광층을 형성하는 단계와;
    상기 제1컬러 감광액을 패터닝하여 제1서브 컬러 필터를 형성하며, 상기 슬릿 노즐에 80 내지 97 중량 %의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol mono-methyl ether acetate) 및 3 내지 20중량%의 아세톤을 포함하는 슬릿 코터 세정제를 공급하여 상기 슬릿 노즐을 세정하는 단계와;
    상기 제1서브 컬러 필터 상에 상기 슬릿 노즐을 통해 제2컬러 감광액을 코팅하여 제2컬러 감광층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 슬릿 코터 세정제에 있어서,
    상기 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트의 함량은 90 내지 95중량%이며, 상기 아세톤의 함량은 5 내지 10중량%인 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  20. 제18항에 있어서,
    상기 슬릿 코터 세정제는5 내지 15 중량%의 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테 르(propylene glycol mono-methyl ether)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
  21. 제18항에 있어서,
    상기 슬릿 코터 세정제는5 내지 15 중량%의 에틸 3-에톡시 프로피오네이트(ethyl(3-ethoxy)propyonate)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
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