KR102322672B1

KR102322672B1 - 잉크젯 헤드 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치

Info

Publication number: KR102322672B1
Application number: KR1020180131986A
Authority: KR
Inventors: 성보람찬; 김명진
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2018-10-31
Filing date: 2018-10-31
Publication date: 2021-11-05
Also published as: CN111114132A; US11192372B2; KR20200049111A; CN111114132B; US20200130354A1

Abstract

예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리는 지지부, 고정부, 돌출부, 삽입부를 포함할 수 있다. 상기 지지부는 기판 상에 약액을 토출하는 잉크젯 헤드가 배치되도록 구비될 수 있다. 상기 고정부는 상기 지지부와의 결합을 통하여 상기 지지부를 고정시키도록 구비될 수 있다. 상기 돌출부는 상기 지지부와 상기 고정부의 결합시 상기 지지부와 면접하는 부분에서의 상기 고정부로부터 돌출되는 핀 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 삽입부는 상기 지지부와 상기 고정부의 결합시 상기 돌출부가 삽입될 수 있게 상기 지지부에 홀 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

Description

잉크젯 헤드 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{Inkjet Head Assembly and Apparatus for Processing Substrate having the same}

본 발명은 잉크젯 헤드 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 기판 상에 약액을 토출하기 위한 잉크젯 헤드 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.

액정 표시 소자, 유기 EL 소자 등과 같은 평판 디스플레이 소자의 제조에서는 배향막, 컬러 필터 등을 형성하기 위한 약액을 도포하는 공정을 수행할 수 있다. 약액의 도포는 주로 기판 상에 약액을 토출할 수 있는 잉크젯 헤드를 사용함에 의해 달성할 수 있다.

잉크젯 헤드는 헤드팩(head pack)이라는 지지부에 배치되도록 구비될 수 있다. 잉크젯 헤드가 배치되는 지지부는 팩홀더(pack holder)라는 고정부에 결합되어 고정되도록 구비될 수 있다.

그리고 소모성 부품인 잉크젯 헤드를 교체해야 할 경우에는 고정부로부터 지지부를 분리시킨 후 다시 지지부를 고정부에 결합시켜야 한다.

그런데 지지부와 고정부의 결합은 나사 체결로 이루어지기 때문에 잉크젯 헤드를 교체해야 할 때마다 지지부에 배치되는 잉크젯 헤드의 위치가 틀어지는 상황이 빈번하게 발생할 수 있다.

따라서 종래에는 잉크젯 헤드의 위치를 조정하기 위한 시간이 길어질 수 있고, 별도 지그를 사용하여 결합해야 하는 문제점이 있다.

본 발명의 일 과제는 잉크젯 헤드의 교체시 지지부에 배치되는 잉크젯 헤드의 위치가 틀어지는 상황을 사전에 방지할 수 있는 잉크젯 헤드 어셈블리를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 과제는 잉크젯 헤드의 교체시 지지부에 배치되는 잉크젯 헤드의 위치가 틀어지는 상황을 사전에 방지할 수 있는 잉크젯 헤드 어셈블리가 구비되는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리는 지지부, 고정부, 돌출부, 삽입부를 포함할 수 있다. 상기 지지부는 기판 상에 약액을 토출하는 잉크젯 헤드가 배치되도록 구비될 수 있다. 상기 고정부는 상기 지지부와의 결합을 통하여 상기 지지부를 고정시키도록 구비될 수 있다. 상기 돌출부는 상기 지지부와 상기 고정부의 결합시 상기 지지부와 면접하는 부분에서의 상기 고정부로부터 돌출되는 핀 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 삽입부는 상기 지지부와 상기 고정부의 결합시 상기 돌출부가 삽입될 수 있게 상기 지지부에 홀 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치는 스테이지, 잉크젯 헤드 어셈블리, 갠트리를 포함할 수 있다. 상기 스테이지는 기판이 안착되도록 구비될 수 있다. 상기 잉크젯 헤드 어셈블리는 상기 기판 상에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 상기 갠트리는 상기 잉크젯 헤드 어셈블리가 상기 스테이지 상부에 배치되게 상기 잉크젯 헤드 어셈블리를 지지하도록 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 핀 구조는 돌출 방향을 따라 좁아지는 테이퍼 구조를 갖도록 구비되고, 상기 홀 구조는 상기 핀 구조의 삽입시 상기 테이퍼 구조가 면접되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 테이퍼 구조에 일부분이 돌출되는 돌출면이 형성되거나 또는 일부분이 오목한 오목면이 형성될 때, 상기 홀 구조는 상기 핀 구조의 삽입시 상기 테이퍼 구조가 면접됨과 함께 상기 돌출면이 면접되거나 또는 상기 오목면이 면접되도록 형성될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 돌출부의 중심 부분에는 제1 관통홀이 형성되고, 상기 삽입부의 중심 부분에는 상기 제1 관통홀과 연통하는 제2 관통홀이 형성되고, 상기 돌출부가 형성되는 상기 고정부에는 상기 제1 관통홀과 연통하는 제1 연통홀이 형성되고, 상기 삽입부가 형성되는 상기 지지부에는 상기 제2 관통홀과 연통하는 제2 연통홀이 형성될 때, 상기 지지부와 상기 고정부의 결합시 상기 제2 연통홀, 상기 제2 관통홀, 상기 제1 관통홀 및 상기 제1 연통홀을 따라 삽입되도록 구비되는 결합핀을 더 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 삽입부에 삽입되도록 구비되는 부시를 더 포함할 때, 상기 돌출부는 상기 부시의 내측면에 면접되는 구조를 갖도록 형성될 수 있다.

예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리 및 기판 처리 장치는 잉크젯 헤드의 교체시 지지부에 배치되는 잉크젯 헤드의 위치가 틀어지는 상황을 사전에 방지할 수 있다.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리 및 기판 처리 장치는 잉크젯 헤드의 교체시 잉크젯 헤드의 위치를 조정하기 위한 시간을 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라 별도 지그를 사용하지 않아도 될 것이다.

따라서 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리 및 기판 처리 장치는 잉크젯 헤드의 교체에 따른 유지 보수를 보다 용이하게 수행할 수 있을 뿐만 아니라 잉크젯 헤드의 교체를 보다 간단하게 수행할 수 있을 것이다.

다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3은 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리에 구비되는 지지부 및 고정부의 결합 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 4 및 도 5는 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리에 구비되는 돌출부를 설명하기 위한 도면들이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.

도 1을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 평판 디스플레이 소자로 제조하기 위한 기판(11) 상에 약액을 토출하는 인쇄 공정에 적용하기 위한 것으로써, 예를 들면 액정 디스플레이 소자로 제조하기 위한 기판(11) 상에 배향막을 형성하는 인쇄 공정에 적용할 수 있거나, 유기 EL 소자로 제조하기 위한 기판(11) 상에 컬러 필터를 형성하는 인쇄 공정에 적용할 수 있다.

예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 스테이지(13), 잉크젯 헤드 어셈블리(50), 갠트리(gantry)(15) 등을 포함할 수 있다.

스테이지(13)는 기판(11)이 안착되는 부재로써, 기판(11)보다 큰 면적으로 이루어지는 직사각형의 플레이트 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 스테이지(13)는 기판(11)이 안착되는 상태에서 회전할 수 있도록 구비될 수 있다. 이에, 스테이지(13)는 스테이지(13)를 회전시킬 수 있는 회전 구동 부재가 연결되도록 구비될 수 있다.

갠트리(15)는 잉크젯 헤드 어셈블리(50)를 지지하도록 구비될 수 있다. 갠트리(15)는 잉크젯 헤드 어셈블리(50)가 스테이지(13) 상부에 배치되도록 구비될 수 있다.

이에, 잉크젯 헤드 어셈블리(50)는 갠트리(15)에 의해 스테이지(13) 상부에 배치되어 기판(11) 상에 약액을 토출할 수 있다.

이하, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치에 구비되는 잉크젯 헤드 어셈블리에 대하여 설명하기로 한다.

도 2는 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.

도 2를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리(50)는 잉크젯 헤드(51), 지지부(53), 고정부(55) 등을 포함할 수 있다.

잉크젯 헤드(51)에는 약액을 토출하기 위한 복수개의 노즐이 구비될 수 있다. 예를 들면, 하나의 잉크젯 헤드(51)에는 128개 또는 256개의 노즐이 구비될 수 있다. 잉크젯 헤드(51)에 구비되는 노즐은 일정 간격으로 일렬로 배치될 수 있다.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)를 사용하는 인쇄 공정의 수행시 잉크젯 헤드(51)의 복수개의 노즐을 통하여 기판 상에 약액을 토출할 수 있는 것이다.

지지부(53)는 헤드팩이라 불리는 것으로써, 잉크젯 헤드(51)가 배치되도록 구비될 수 있다. 지지부(53)에는 복수개의 잉크젯 헤드(51)가 배치될 수 있다. 예를 들면. 하나의 지지부(53)에는 세 개의 잉크젯 헤드(51)가 팩 단위로 배치될 수 있다.

고정부(55)는 팩홀더라 불리는 것으로써, 지지부(53)와의 결합을 통하여 지지부(53)를 고정시키도록 구비될 수 있다. 고정부(55)는 프레임 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 이에 지지부(53)는 프레임 구조를 갖는 고정부(55)에 끼워지는 형태로 고정될 수 있다. 지지부(53)와 고정부(55)의 결합은 프레임 구조를 갖는 고정부(55)의 상부면과 지지부(53)의 하부면이 서로 면접하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.

그리고 잉크젯 헤드(51)는 소모성 부품이기 때문에 그 사용시 교체해야하는 상황이 빈번하게 발생할 수 있다. 이에, 잉크젯 헤드(51)가 배치되는 지지부(53) 자체를 교체하기도 한다.

따라서 잉크젯 헤드(51)의 교체는 고정부(55)로부터 교체가 필요한 잉크젯 헤드(51)가 배치되어 있는 지지부(53)를 분리시킨 후 새로운 잉크젯 헤드(51)가 배치되어 있는 지지부(53)를 고정부(55)에 결합시킴에 의해 달성될 수 있다.

특히, 잉크젯 헤드(51)의 교체시 고정부(55)의 일정한 위치에 지지부(53)가 고정되지 않을 경우 잉크젯 헤드(51)의 위치가 원래의 위치로부터 틀어지는 상황이 발생하여 기판 상의 정확한 위치에 약액을 토출하지 못하기 때문에 고정부(55)의 일정한 위치에 지지부(53)가 고정되도록 해야 한다.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)에 구비되는 잉크젯 헤드 어셈블리(50)는 고정부(55)의 일정한 위치에 지지부(53)를 고정시키기 위한 부재들을 갖추고 있다.

이하, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)에 구비되는 잉크젯 헤드 어셈블리에서의 고정부의 일정한 위치에 지지부를 고정시키기 위한 부재들에 대하여 설명하기로 한다.

도 3은 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리에 구비되는 지지부 및 고정부의 결합 구조를 설명하기 위한 도면이다.

도 3을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리(50)는 고정부(55)의 일정한 위치에 지지부(53)를 고정시키도록 하는 부재들로써 돌출부(57) 및 삽입부(61)를 구비할 수 있다.

언급한 바와 같이, 지지부(53)와 고정부(55)의 결합이 프레임 구조를 갖는 고정부(55)의 상부면과 지지부(53)의 하부면이 서로 면접하는 구조를 갖기 때문에 돌출부(57)는 고정부(55) 쪽에 구비될 수 있고, 이에 대응하는 삽입부(61)는 지지부(53) 쪽에 구비될 수 있다.

돌출부(57)는 고정부(55)의 상부면으로부터 돌출되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 돌출부(57)는 지지부(53)와 고정부(55)의 결합시 지지부(53)와 면접하는 부분에서의 고정부(55)로부터 돌출되는 핀 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

이하, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치에 구비되는 잉크젯 헤드 어셈블리에서의 돌출부에 대하여 설명하기로 한다.

도 4 및 도 5는 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리에 구비되는 돌출부를 설명하기 위한 도면들이다.

도 4를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리(50)에 구비되는 돌출부(57)는 돌출 방향을 따라 좁아지는 테이퍼 구조(63)를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 돌출부(57)의 핀 구조는 돌출 방향을 따라 직경이 좁아지는 테이퍼 구조(63)를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.

도 5를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리(50)에 구비되는 돌출부(57)의 핀 구조가 테이퍼 구조(63)를 갖도록 구비될 때 테이퍼 구조(63)에 일부분이 돌출되는 돌출면(65)이 형성될 수도 있다. 돌출면(65)은 다수개가 형성될 수도 있다.

그리고 도시하지는 않았지만, 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리(50)에 구비되는 돌출부(57)의 핀 구조가 테이퍼 구조(63)를 갖도록 구비될 때 테이퍼 구조(63)에 일부분이 오목한 오목면이 형성될 수도 있다. 오목면은 다수개가 형성될 수도 있다.

또한, 돌출부(57)에는 언급한 돌출면(65)과 오목면이 함께 형성될 수도 있다. 이 경우에도 돌출면(65)과 오목면이 다수개가 형성될 수도 있다.

다시 도 3을 참조하면, 삽입부(61)는 지지부(53)의 하부면에 홀 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 삽입부(61)는 지지부(53)와 고정부(55)의 결합시 고정부(55)와 면접하는 부분에서의 지지부(53)에 핀 홀 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 삽입부(61)는 돌출부(57)의 핀 구조가 삽입되는 핀 홀 구조를 갖도록 지지부(53)의 하부면에 구비될 수 있는 것이다.

그리고 돌출부(57)의 핀 구조가 돌출 방향을 따라 좁아지는 테이퍼 구조(63)를 갖도록 구비되기 때문에 삽입부(61)의 홀 구조는 핀 구조의 삽입시 테이퍼 구조(63)가 면접되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.

도 4에와 같이 돌출부(57)의 테이퍼 구조(63)의 일부분에 돌출면(65)이 형성될 경우 삽입부(61)의 홀 구조는 테이퍼 구조(63)가 면접됨과 함께 돌출면(65)이 면접되도록 형성될 수 있을 것이다.

도 5에서와 같이 돌출부(57)의 테이퍼 구조(63)의 일부분에 오목면이 형성될 경우 삽입부(61)의 홀 구조는 테이퍼 구조(63)가 면접됨과 함께 오목면이 면접되도록 형성될 수 있을 것이다.

그리고 돌출부(57)의 테이퍼 구조(63)에 돌출면(65)과 오목면이 함께 형성될 경우 삽입부(61)의 홀 구조는 테이퍼 구조(63)가 면접됨과 아울러 돌출면(65)과 오목면도 함께 면접되도록 형성될 수 있을 것이다.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리(50) 및 기판 처리 장치(100)는 고정부(55)에 구비되는 돌출부(57)를 지지부(53)에 구비되는 삽입부(61)에 삽입시킴으로써 지지부(53)와 고정부(55)의 결합을 달성할 수 있다.

이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리(50) 및 기판 처리 장치(100)는 고정부(55)의 일정한 위치에 구비되는 돌출부(57)를 이에 대응하도록 구비되는 삽입부(61)에 삽입시킴에 의해 지지부(53)와 고정부(55)의 결합을 달성할 수 있기 때문에 잉크젯 헤드(51)의 교체시 지지부(53)에 배치되는 잉크젯 헤드(51)의 위치가 틀어지는 상황을 사전에 방지할 수 있다.

따라서 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리(50) 및 기판 처리 장치(100)는 잉크젯 헤드(51)의 교체시 잉크젯 헤드(51)의 위치를 조정하기 위한 시간을 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라 별도 지그를 사용하지 않아도 될 것이다.

예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리(50)에 구비되는 돌출부(57)의 중심 부분에는 제1 관통홀이 형성될 수 있고, 삽입부(61)의 중심 부분에는 제2 관통홀이 형성될 수 있고, 고정부(55)에는 제1 연통홀이 형성될 수 있고, 지지부(53)에는 제2 연통홀이 형성될 수 있다. 지지부(53)로부터 고정부(55)에 이르는 경로를 기준으로 형성되는 제2 연통홀, 제2 관통홀, 제1 관통홀 및 제1 연통홀은 서로 연통할 수 있도록 구비될 수 있다.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리(50) 및 기판 처리 장치(100)는 고정부(55)와 지지부(53)의 결합시 제2 연통홀, 제2 관통홀, 제1 관통홀 및 제1 연통홀을 따라 삽입되도록 구비되는 결합핀(62)을 더 포함할 수 있다.

이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리(50) 및 기판 처리 장치(100)는 결합핀(62)을 구비하여 제2 연통홀, 제2 관통홀, 제1 관통홀 및 제1 연통홀을 따라 삽입시킬 수 있는 결합핀(62)을 구비하기 때문에 고정부(55)와 지지부(53)를 보다 안정적으로 고정시킬 수 있을 것이고, 그 결과 인쇄 공정의 수행시 지지부(53)에 배치되는 잉크젯 헤드(51)가 틀어지는 상황을 최소화할 수 있을 것이다.

또한, 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리(50) 및 기판 처리 장치(100)는 삽입부(61)에 삽입되도록 구비되는 부시(bush)(59)를 더 포함할 수 있을 것이다. 이에, 돌출부(57)는 삽입부(61)에 구비되는 부시(59)의 내측면에 면접되는 구조를 갖도록 형성될 수 있을 것이다.

이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리(50) 및 기판 처리 장치(100)는 돌출부(57)의 삽입시 내측면에 면접되는 부시(59)를 구비함으로써 돌출부(57)를 삽입부(61)에 보다 긴밀하게 삽입시킬 수 있을 것이다. 이에, 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리(50) 및 기판 처리 장치(100)는 부시(59)를 구비하여 고정부(55)와 지지부(53)를 보다 안정적으로 고정시킬 수 있기 때문에 인쇄 공정의 수행시 지지부(53)에 배치되는 잉크젯 헤드(51)가 틀어지는 상황을 최소화할 수 있을 것이다.

예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드 어셈블리 및 기판 처리 장치는 배향막, 컬러 필터 등을 형성하기 위한 약액을 도포하는 공정을 수행하는 것이기 때문에 액정 표시 소자, 유기 EL 소자 등과 같은 평판 디스플레이 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

11 : 기판 13 : 스테이지
15 : 갠트리 50 : 잉크젯 헤드 어셈블리
51 : 잉크젯 헤드 53 : 지지부
55 : 고정부 57 : 돌출부
59 : 부시 61 : 삽입부
62 : 결합핀 63 : 테이퍼 구조
65 : 돌출면 100 : 기판 처리 장치

Claims

기판 상에 약액을 토출하는 잉크젯 헤드가 배치되도록 구비되는 지지부;
상기 지지부와의 결합을 통하여 상기 지지부를 고정시키도록 구비되는 고정부;
상기 지지부와 상기 고정부의 결합시 상기 지지부와 면접하는 부분에서의 상기 고정부로부터 돌출되는 핀 구조를 갖도록 구비되는 돌출부; 및
상기 지지부와 상기 고정부의 결합시 상기 돌출부가 삽입됨과 아울러 서로 면접될 수 있게 상기 지지부에 홀 구조를 갖도록 구비되는 삽입부를 포함하고,
상기 돌출부의 중심 부분에는 제1 관통홀이 형성되고, 상기 삽입부의 중심 부분에는 상기 제1 관통홀과 연통하는 제2 관통홀이 형성되고, 상기 돌출부가 형성되는 상기 고정부에는 상기 제1 관통홀과 연통하는 제1 연통홀이 형성되고, 상기 삽입부가 형성되는 상기 지지부에는 상기 제2 관통홀과 연통하는 제2 연통홀이 형성될 때, 상기 지지부와 상기 고정부의 결합시 상기 제2 연통홀, 상기 제2 관통홀, 상기 제1 관통홀 및 상기 제1 연통홀을 따라 삽입되도록 구비되는 결합핀을 더 포함하고,
상기 핀 구조는 돌출 방향을 따라 좁아지는 테이퍼 구조를 갖도록 구비되고, 상기 홀 구조는 상기 핀 구조의 삽입시 상기 테이퍼 구조가 면접되는 구조를 갖도록 구비되되,
상기 테이퍼 구조에 일부분이 돌출되는 돌출면이 형성되거나 또는 일부분이 오목한 오목면이 형성될 때, 상기 홀 구조는 상기 핀 구조의 삽입시 상기 테이퍼 구조가 면접됨과 함께 상기 돌출면이 면접되거나 또는 상기 오목면이 면접되도록 형성될 수 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 어셈블리.
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제1 항에 있어서,
상기 삽입부에 삽입되도록 구비되는 부시를 더 포함할 때, 상기 돌출부는 상기 부시의 내측면에 면접되는 구조를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 어셈블리.
기판이 안착되는 스테이지;
상기 기판 상에 약액을 토출하도록 구비되는 잉크젯 헤드 어셈블리;
상기 잉크젯 헤드 어셈블리가 상기 스테이지 상부에 배치되게 상기 잉크젯 헤드 어셈블리를 지지하도록 구비되는 갠트리를 포함하고,
상기 잉크젯 헤드 어셈블리는 기판 상에 약액을 토출하는 잉크젯 헤드가 배치되도록 구비되는 지지부와, 상기 지지부와의 결합을 통하여 상기 지지부를 고정시키도록 구비되는 고정부와, 상기 지지부와 상기 고정부의 결합시 상기 지지부와 면접하는 부분에서의 상기 고정부로부터 돌출되는 핀 구조를 갖도록 구비되는 돌출부, 및 상기 지지부와 상기 고정부의 결합시 상기 돌출부가 삽입됨과 아울러 서로 면접될 수 있게 상기 지지부에 홀 구조를 갖도록 구비되는 삽입부를 포함함과 아울러 상기 돌출부의 중심 부분에는 제1 관통홀이 형성되고, 상기 삽입부의 중심 부분에는 상기 제1 관통홀과 연통하는 제2 관통홀이 형성되고, 상기 돌출부가 형성되는 상기 고정부에는 상기 제1 관통홀과 연통하는 제1 연통홀이 형성되고, 상기 삽입부가 형성되는 상기 지지부에는 상기 제2 관통홀과 연통하는 제2 연통홀이 형성될 때, 상기 지지부와 상기 고정부의 결합시 상기 제2 연통홀, 상기 제2 관통홀, 상기 제1 관통홀 및 상기 제1 연통홀을 따라 삽입되도록 구비되는 결합핀을 더 포함하고,
상기 핀 구조는 돌출 방향을 따라 좁아지는 테이퍼 구조를 갖도록 구비되고, 상기 홀 구조는 상기 핀 구조의 삽입시 상기 테이퍼 구조가 면접되는 구조를 갖도록 구비되되, 상기 테이퍼 구조에 일부분이 돌출되는 돌출면이 형성되거나 또는 일부분이 오목한 오목면이 형성될 때, 상기 홀 구조는 상기 핀 구조의 삽입시 상기 테이퍼 구조가 면접됨과 함께 상기 돌출면이 면접되거나 또는 상기 오목면이 면접되도록 형성될 수 있는 것을 특징으로 기판 처리 장치.
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제6 항에 있어서,
상기 삽입부에 삽입되도록 구비되는 부시를 더 포함할 때, 상기 돌출부는 상기 부시의 내측면에 면접되는 구조를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.