KR101224904B1 - 마스크 세정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 마스크 세정장치에 관한 것으로, 세정약액이 저장되는 세정조와, 상기 세정조의 세정약액에 침지된 마스크와, 상기 세정조의 내측 하부측에서 상기 마스크의 양면으로 버블을 분사하는 버블노즐부를 포함한다. 본 발명은 세정조의 내측 하부에 외부에서 공기를 주입할 수 있는 한 쌍의 파이프를 삽입하고, 그 파이프에 상기 세정조 내에 침지된 마스크를 향하여 버블을 분사하는 분사구를 다수로 마련하여, 세정약액의 반응에 의한 세정과 함께 버블의 타력을 이용하여 마스크를 세정함으로써, 마스크의 세정효율을 높이며, 세정공정 소요시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

Description

마스크 세정장치{Cleaner for mask}

본 발명은 마스크의 세정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 버블의 타력을 이용하여 마스크의 세정효율을 높일 수 있는 마스크 세정기의 버블 발생장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판디스플레이 장치의 제조에 사용되는 대면적의 유리기판에 소자 패턴을 형성하기 위하여 마스크가 사용된다. 상기 마스크의 종류는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), VFD(Vacuum Fluorescent Display)에 적용되는 광학 마스크와 OLED(Organic Luminescent Emission Diode, 이하 유기발광 표시소자)의 제조에 사용되는 스크린 마스크가 있다.

이와 같은 마스크는 통상 세정약액에 침지되어 세정 후 재사용을 하게 되며, 침지 세정 중에 마스크를 진동시켜 표면의 이물 제거하는 방식 등 다양한 기구적인 구성을 가지고 있다.

이처럼 마스크를 진동시키기 위한 구조로서, 침지조의 하부에 울트라 소닉을 설치하며, 이에 관하여 구체적인 구성이 기재된 선행기술은 없으나, 공개특허 10-2000-0077032호에는 오버플로우조의 하부에 초음파 발진기가 부가된 구성이 기재되어 있다.

또한 종래 마스크 세정장치에서 에어를 사용하는 분야는 마스크를 건조시키기 위한 분야로서, 에어를 사용하여 마스크를 건조시키는 기술은 등록실용신안공보 20-0287977호와 등록특허 10-0953538호에 기재되어 있다.

위에서 살펴본 바와 같이 종래 평판 디스플레이의 제조에 사용되는 마스크를 세정하는 장치들은, 세정약액에 마스크를 침지시켜 세정하고, 그 세정력을 향상시키기 위한 수단으로 초음파 발생장치를 사용하는 것이 있으며, 그 세정 후 건조를 위해 고압공기를 마스크에 분사하여 세정액을 일측으로 밀어 건조시키는 장치에 대한 것이 알려져 있다.

그러나 세정약액과 초음파를 사용한 종래 마스크 세정장치들도 마스크의 세정에 상당한 공정시간이 요구되며, 이 공정시간을 단축할 수 있는 새로운 세정장치의 개발이 요구되고 있는 실정이다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 초음파 진동 이외에 세정력을 높일 수 있는 기구적인 수단을 더 포함하는 마스크 세정장치를 제공함에 있다.

보다 구체적으로 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 외부에서 공기를 주입하여 세정약액 내에서 버블을 발생시키고, 그 버블의 타력을 이용하여 마스크의 세정효율을 높일 수 있는 마스크 세정장치를 제공함에 있다.

아울러 본 발명은 버블의 타력을 이용하여 마스크를 세정하되, 버블 노즐에서 분사되는 버블의 분사각도를 다양화하여 마스크의 전체를 균일하게 세정할 수 있는 마스크 세정장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 마스크 세정장치는, 세정약액이 저장되는 세정조와, 상기 세정조의 세정약액에 침지된 마스크와, 상기 세정조의 내측 하부측에서 상기 마스크의 양면으로 버블을 분사하는 버블노즐부를 포함한다.

또한 본 발명 마스크 세정장치는 상기 버블노즐부를 파이프와 그 파이프에 형성된 노즐로 구성할 수 있으며, 그 파이프 내측에 와류형성부를 더 포함할 수 있다.

본 발명 마스크 세정장치는, 세정조의 내측 하부에 외부에서 공기를 주입할 수 있는 한 쌍의 파이프를 삽입하고, 그 파이프에 상기 세정조 내에 침지된 마스크를 향하여 버블을 분사하는 분사구를 다수로 마련하여, 세정약액의 반응에 의한 세정과 함께 버블의 타력을 이용하여 마스크를 세정함으로써, 마스크의 세정효율을 높이며, 세정공정 소요시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명 마스크 세정장치는 상기 파이프 내에 와류 형성수단을 삽입하여, 주입되는 공기를 와류시켜 버블의 분사방향을 다양화하여 버블이 마스크의 전체에 고르게 분사되도록 함으로써, 마스크 전체가 균일하게 세정될 수 있도록 하는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마스크 세정장치의 구성도이다.
도 2는 도 1의 버블노즐부의 구성도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 세정장치의 구성도이다.
도 4는 도 3의 버블노즐부의 일부 분해 사시도이다.

이하, 본 발명 마스크 세정장치의 바람직한 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마스크 세정장치의 구성도이다.

도 1을 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마스크 세정장치는, 세정약액(11)이 수용되는 세정조(10)와, 상기 세정조(10)의 세정약액(11)에 침지되는 마스크(1)와, 상기 세정조(10)의 내측 하부에 마련되어 외부에서 공급되는 공기를 상기 마스크(1)에 분사하는 버블노즐부(20)와, 상기 세정조(10)에 초음파 진동을 제공하는 울트라소닉(30)을 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마스크 세정장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 세정조(10)는 상면이 개방되며, 마스크(1)의 형상에 따른 육면체의 구조이다. 상기 세정조(10)에는 세정약액(11)이 공급되어 저장된다. 이러한 세정약액(11)을 공급하기 위한 공급관(12)이 세정조(10)의 측면측에 누수가 방지된 상태로 결합되어 있다.

상기 세정조(10)에는 상부로 오버플로우되는 세정약액을 회수하기 위한 구조, 세정약액(11)을 순환시키면서 정화처리할 수 있는 구조, 세정약액을 소정의 온도로 가열하는 구조 등 보다 복잡한 구성을 가질 수 있으나, 이는 본 발명의 요지와는 무관한 것이므로 그 설명을 생략하기로 한다.

상기 세정조(10)의 하부에는 울트라소닉(30)이 결합되며, 그 세정조(10)의 세정약액(11)을 초음파 진동시켜 마스크(1)에 부착된 이물을 보다 용이하게 제거할 수 있도록 한다.

상기 세정조(10)의 하부 저면부에는 외부의 공기를 공급받아 상기 마스크(1)의 양면에 버블의 형태로 분사하기 위한 버블노즐부(20)가 마련되어 있다.

도 2는 상기 버블노즐부(20)의 구성도이다.

도 2를 참조하면 상기 버블노즐부(20)는 마스크(1)보다 아래쪽의 상기 세정조(10) 내에 위치하는 한 쌍의 파이프(21)가 그 마스크(1)와 평행한 방향으로 설치되어 있으며, 그 파이프(21)에는 다수의 노즐(22)이 마스크(1)를 향하여 경사진 방향으로 마련되어 있다.

이와 같은 상태에서 외부에서 상기 한 쌍의 파이프(21) 각각에 공기를 공급하면, 그 파이프(21) 내에 주입된 공기는 상기 노즐(22)을 통해 각각 마스크(1)의 전면과 배면으로 각각 분사된다.

상기 분사된 버블은 마스크(1)와 충돌하고, 이때 발생하는 타력에 의하여 마스크(1) 표면의 이물이 보다 용이하게 제거될 수 있게 된다.

즉, 세정약액(11)의 화학적인 작용과 함께 상기 울트라소닉(30)의 초음파 및 버블노즐부(20)의 버블의 물리적인 작용에 의하여 마스크(1)의 세정효율을 높일 수 있게 된다.

따라서 세정공정에 소요되는 시간을 보다 단축할 수 있으며, 이는 마스크를 이용하는 평판 디스플레이 제조공정의 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.

상기 노즐(22)은 상호 소정간격 이격되어 다수로 마련되는 것이며, 그 노즐(22)에서 발생되는 버블을 보다 균일하고 마스크(1)에 대하여 고르게 분사하기 위해서는 그 노즐(22)의 간격을 줄일 필요가 있으나, 그 노즐(22) 간의 간격이 너무 좁은 경우에는 상기 파이프(21)의 일측에서 공기를 공급하는 경우 타측에 위치하는 노즐(22)은 버블을 분사하지 못하는 경우가 발생할 수 있어, 적당한 간격이 유지될 필요가 있다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 세정장치의 구성도이다.

도 3을 참조하면 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 세정장치는, 도 1에 도시한 본 발명의 바람직한 실시예의 구성과 유사하나, 상기 버블노즐부(20)의 구성을 변경하여, 하나의 노즐(22)에서 분사되는 버블의 분사방향이 특정할 수 없는 방향이 되도록 하여, 마스크(1)에 전체적으로 고르게 버블을 분사할 수 있는 구조이다.

도 4는 상기 도 3의 버블노즐부(20)의 일부 분리 사시도이다.

도 4를 참조하면 상기 버블노즐부(21)는 외부에서 공기가 주입되며, 상기 마스크(1)의 하부에서 그 마스크(1)를 사이에 두고 평행하기 위치하는 한 쌍의 파이프(21)와, 상기 한 쌍의 파이프(21) 각각에 다수로 마련되어 버블을 상기 마스크(1)의 정면과 배면에 각각 분사하는 노즐(22)과, 상기 한 쌍의 파이프(21) 각각에 삽입되어 그 파이프(21) 내로 공급되는 공기를 와류시켜, 상기 노즐(22)을 통해 분사되는 버블이 다양한 각도로 분사될 수 있도록 하는 와류형성부(23)를 포함하여 구성된다.

상기 와류형성부(23)는 스크류 형태이며, 일측에서 공급되는 공기가 그 스크류의 홈을 따라 회전하면서 와류가 형성된다. 상기 도 4에서는 와류형성부(23)가 스크류인 것을 도시하였으나, 와류형성부(23)의 형상은 스크류 형태가 아니면서 공급되는 공기를 와류시킬 수 있는 구조이면 그 구조에 무관하게 본 발명에 적용할 수 있다.

예를 상기 파이프(21)의 내경면적을 일부 막는 격벽이 소정간격으로 마련된 것일 수 있으며, 특히 다수의 격벽이 인접한 격벽과는 면적에 차등을 두고 설치된 것일 수 있다.

이처럼 와류형성부(23)에 의해 외부에서 공급된 공기는 와류가 형성되어, 그 와류에 의해 파이프(21)에 마련된 노즐(22)에서 분사되는 버블은 분사 방향에 대한 자유도가 증가하게 되며, 따라서 도 2에 도시한 버블노즐부(20)에 비하여 보다 다양한 각도로 버블을 분사할 수 있게 된다.

이와 같은 버블의 분사각도의 다양화는 결국 마스크(1)의 표면에 불특정하게 버블이 충돌하게 됨으로써, 마스크(1)의 전체 면적을 보다 균일하게 버블의 타력으로 세정할 수 있게 된다.

상기한 바와 같이 본 발명은 세정약액(11)의 화학적 세정과 함께 초음파진동과 버블의 타력에 의한 물리적인 세정이 함께 일어나게 되어, 마스크(1)의 세정효율을 높일 수 있게 된다.

따라서 본 발명은 세정공정에 소요되는 시간을 단축할 수 있으며, 마스크(1)를 보다 고르게 세정할 수 있게 된다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정, 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.

10:세정조 11:세정약액
12:공급관 20:버블노즐부
21:파이프 22:노즐
23:와류형성부 30:울트라소닉

Claims (5)

1. 세정약액이 저장되는 세정조;
   상기 세정조의 세정약액에 침지된 마스크; 및
   상기 마스크보다 아래쪽에 설치되며, 상기 마스크를 사이에 두고 평행하게 위치하는 한 쌍의 파이프와, 상기 한 쌍의 파이프 각각에 다수로 마련되어 버블을 상기 마스크의 전면과 배면에 분사하는 노즐과, 상기 한 쌍의 파이프 각각에 삽입 설치되어 공급되는 공기를 와류시켜 상기 노즐을 통해 분사하여 버블의 자유도를 증가시키는 와류형성부를 구비하는 한 쌍의 버블노즐부를 포함하는 마스크 세정장치.
   
2. 삭제
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,
   상기 와류형성부는,
   상기 파이프 내부로 공급된 상기 공기가 외면의 홈을 따라 회전하도록 하는 스크류인 것을 특징으로 하는 마스크 세정장치.
   
5. 제1항에 있어서,
   상기 와류형성부는,
   상기 파이프의 내경면적을 일부 막는 다수의 격벽이 소정의 간격으로 마련되며,
   상기 다수의 격벽은 인접한 격벽과는 면적이 다르도록 구성하여 된 것을 특징으로 하는 마스크 세정장치.
   

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