KR101264795B1

KR101264795B1 - 마스크 세정장치

Info

Publication number: KR101264795B1
Application number: KR1020110128400A
Authority: KR
Inventors: 정동진; 조문기
Original assignee: 주식회사 케이씨텍
Priority date: 2011-12-02
Filing date: 2011-12-02
Publication date: 2013-05-15
Anticipated expiration: 2031-12-02

Abstract

본 발명은 마스크 세정장치에 관한 것으로, 세정약액이 저장되는 세정조와, 상기 세정조의 세정약액에 침지된 마스크와, 상기 마스크를 고정하는 지그; 및 상기 세정조의 내측 하부측에서 상기 마스크의 양면으로 버블을 분사하는 한 쌍의 버블노즐부를 포함한다. 본 발명은 세정조의 내측 하부에 외부에서 공기를 주입할 수 있는 한 쌍의 파이프를 삽입하고, 그 파이프에 상기 세정조 내에 침지된 마스크를 향하여 버블을 분사하는 분사구를 다수로 마련하여, 세정약액의 반응에 의한 세정과 함께 버블의 타력을 이용하여 마스크를 세정함으로써, 마스크의 세정효율을 높이며, 세정공정 소요시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

Description

마스크 세정장치{Cleaner for mask}

본 발명은 마스크의 세정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 버블의 타력을 이용하여 마스크의 세정효율을 높일 수 있는 마스크 세정기의 버블 발생장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판디스플레이 장치의 제조에 사용되는 대면적의 유리기판에 소자 패턴을 형성하기 위하여 마스크가 사용된다. 상기 마스크의 종류는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), VFD(Vacuum Fluorescent Display)에 적용되는 광학 마스크와 OLED(Organic Luminescent Emission Diode, 이하 유기발광 표시소자)의 제조에 사용되는 스크린 마스크가 있다.

이와 같은 마스크는 통상 세정약액에 침지되어 세정 후 재사용을 하게 되며, 침지 세정 중에 마스크를 진동시켜 표면의 이물 제거하는 방식 등 다양한 기구적인 구성을 가지고 있다.

이처럼 마스크를 진동시키기 위한 구조로서, 침지조의 하부에 울트라 소닉을 설치하며, 이에 관하여 구체적인 구성이 기재된 선행기술은 없으나, 공개특허 10-2000-0077032호에는 오버플로우조의 하부에 초음파 발진기가 부가된 구성이 기재되어 있다.

또한 종래 마스크 세정장치에서 에어를 사용하는 분야는 마스크를 건조시키기 위한 분야로서, 에어를 사용하여 마스크를 건조시키는 기술은 등록실용신안공보 20-0287977호와 등록특허 10-0953538호에 기재되어 있다.

위에서 살펴본 바와 같이 종래 평판 디스플레이의 제조에 사용되는 마스크를 세정하는 장치들은, 세정약액에 마스크를 침지시켜 세정하고, 그 세정력을 향상시키기 위한 수단으로 초음파 발생장치를 사용하는 것이 있으며, 그 세정 후 건조를 위해 고압공기를 마스크에 분사하여 세정액을 일측으로 밀어 건조시키는 장치에 대한 것이 알려져 있다.

그러나 세정약액과 초음파를 사용한 종래 마스크 세정장치들도 마스크의 세정에 상당한 공정시간이 요구되며, 이 공정시간을 단축할 수 있는 새로운 세정장치의 개발이 요구되고 있는 실정이다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 초음파 진동 이외에 세정력을 높일 수 있는 기구적인 수단을 더 포함하는 마스크 세정장치를 제공함에 있다.

보다 구체적으로 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 외부에서 공기를 주입하여 세정약액 내에서 버블을 발생시키고, 그 버블의 타력을 이용하여 마스크의 세정효율을 높일 수 있는 마스크 세정장치를 제공함에 있다.

아울러 본 발명은 버블의 타력을 이용하여 마스크를 세정하되, 세정조 내에서 마스크의 각도를 조정하여 상기 버블이 마스크의 하부로부터 상부까지 접촉되어 이동되도록 함으로써 마스크의 전체를 균일하게 세정할 수 있는 마스크 세정장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 마스크 세정장치는, 세정약액이 저장되는 세정조와, 상기 세정조의 세정약액에 침지된 마스크와, 상기 마스크를 고정하는 지그; 및 상기 세정조의 내측 하부측에서 상기 마스크의 양면으로 버블을 분사하는 한 쌍의 버블노즐부를 포함한다.

본 발명 마스크 세정장치는, 세정조의 내측 하부에 외부에서 공기를 주입할 수 있는 한 쌍의 파이프를 삽입하고, 그 파이프에 상기 세정조 내에 침지된 마스크를 향하여 버블을 분사하는 분사구를 다수로 마련하여, 세정약액의 반응에 의한 세정과 함께 버블의 타력을 이용하여 마스크를 세정함으로써, 마스크의 세정효율을 높이며, 세정공정 소요시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명 마스크 세정장치는 마스크를 고정하는 지그를 소정의 각도 범위로 경사지게 하되 그 경사방향을 주기적으로 변경하여 상기 버블이 경사진 마스크를 따라 하부에서 상부측으로 접촉 이동되도록 함으로써, 마스크 전체가 균일하게 세정될 수 있도록 하는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마스크 세정장치의 구성도이다.
도 2는 버블노즐부의 구성도이다.
도 3은 도 1에서 지그의 구성도이다.
도 4와 도 5는 본 발명의 사용상태 단면 구성도이다.

이하, 본 발명 마스크 세정장치의 바람직한 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마스크 세정장치의 구성도이다.

도 1을 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마스크 세정장치는, 세정약액(11)이 수용되는 세정조(10)와, 상기 세정조(10)의 세정약액(11)에 침지되는 마스크(41)를 고정시키되, 그 마스크(41)의 측면 중앙부에 회동축(42)이 결합되는 지그(40)와, 상기 세정조(10)의 내측 하부에 마련되어 외부에서 공급되는 공기를 상기 마스크(41)에 분사하는 버블노즐부(20)와, 상기 세정조(10)에 초음파 진동을 제공하는 울트라소닉(30)을 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마스크 세정장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 세정조(10)는 상면이 개방되며, 마스크(41)의 형상에 따른 육면체의 구조이다. 상기 세정조(10)에는 세정약액(11)이 공급되어 저장된다. 이러한 세정약액(11)을 공급하기 위한 공급관(12)이 세정조(10)의 측면측에 누수가 방지된 상태로 결합되어 있다.

상기 마스크(41)는 지그(40)에 고정된 상태로 상기 세정약액(11)에 침지되어 있는 것이며, 그 지그(40)는 상기 마스크(41)에 비하여 각 변의 길이가 더 긴 평판형의 구조이다.

상기 지그(40)의 양측면부에는 회동축(42)이 연결되어 있으며, 외부의 동력에 따라 회동축(42)이 회전하면서, 그 지그(40)를 수직상태에서 특정 방향으로의 경사상태로 전환할 수 있게 구성된다.

상기 회동축(42)은 세정조(10)를 일측에서 관통하도록 마련되며, 그 관통부는 기밀이 유지될 수 있도록 한다.

상기 세정조(10)에는 상부로 오버플로우되는 세정약액을 회수하기 위한 구조, 세정약액(11)을 순환시키면서 정화처리할 수 있는 구조, 세정약액을 소정의 온도로 가열하는 구조 등 보다 복잡한 구성을 가질 수 있으나, 이는 본 발명의 요지와는 무관한 것이므로 그 설명을 생략하기로 한다.

상기 세정조(10)의 하부에는 울트라소닉(30)이 결합되며, 그 세정조(10)의 세정약액(11)을 초음파 진동시켜 마스크(41)에 부착된 이물을 보다 용이하게 제거할 수 있도록 한다.

상기 세정조(10)의 하부 저면부에는 외부의 공기를 공급받아 상기 마스크(41)의 양면에 버블의 형태로 분사하기 위한 버블노즐부(20)가 마련되어 있다.

도 2는 상기 버블노즐부(20)의 구성도이다.

도 2를 참조하면 상기 버블노즐부(20)는 마스크(41)보다 아래쪽의 상기 세정조(10) 내에 위치하는 한 쌍의 파이프(21)가 그 마스크(41)와 평행한 방향으로 설치되어 있으며, 그 파이프(21)에는 다수의 노즐(22)이 마스크(41)를 향하여 경사진 방향으로 마련되어 있다.

이와 같은 상태에서 외부에서 상기 한 쌍의 파이프(21) 각각에 공기를 공급하면, 그 파이프(21) 내에 주입된 공기는 상기 노즐(22)을 통해 각각 마스크(41)의 전면과 배면으로 각각 분사된다.

상기 분사된 버블은 마스크(41)와 충돌하고, 이때 발생하는 타력에 의하여 마스크(41) 표면의 이물이 보다 용이하게 제거될 수 있게 된다.

즉, 세정약액(11)의 화학적인 작용과 함께 상기 울트라소닉(30)의 초음파 및 버블노즐부(20)의 버블의 물리적인 작용에 의하여 마스크(41)의 세정효율을 높일 수 있게 된다.

따라서 세정공정에 소요되는 시간을 보다 단축할 수 있으며, 이는 마스크를 이용하는 평판 디스플레이 제조공정의 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.

도 3은 본 발명에 적용되는 지그(40)의 상세 구성도이다.

도 3을 참조하면 본 발명 마스크 세정장치에 적용되는 지그(40)는, 일측에 상기 마스크(41)가 위치하는 윈도우 프레임(43)과, 마스크(41)가 경사상태에서 이탈되지 않도록 상기 윈도우 프레임의 저면과 측면측에서 돌출되어 상기 마스크(41)전면부로 절곡되어 마련되는 그리퍼(44)로 구성된다.

상기 윈도우 프레임(43)의 측면에는 상기 회동축(42)이 결합되어 있다.

이와 같은 구조의 지그(40)는 상기 회동축(42)의 회동에 따라, 그 회동축(42)을 중심으로 시계방향 또는 반시계방향으로 경사지게 되며, 이때 그 경사방향에 따라 마스크(41)의 전면 또는 배면이 버블의 타력에 의해 세정된다.

도 4와 도 5는 각각 상기 지그(40)가 시계방향과 반시계방향으로 소정 각도 회전한 상태에서 세정이 이루어지는 것을 설명하기 위한 단면 구성도이다.

먼저, 도 4에 도시한 바와 같이 상기 지그(40)가 회동축(42)을 중심으로 30도 회전한 상태이며, 이때 한 쌍의 상기 버블노즐부(21)에서 발생되는 버블은 마스크(41)의 전면으로 분사된다.

이때 분사되는 버블은 마스크(41)의 전면 하부로 분사되며, 그 마스크(41)의 전면이 하향으로 경사진 상태이기 때문에, 그 전면에 접촉된 상태가 유지되면서 상향으로 이동하게 된다.

따라서 버블은 마스크(41)의 전면 하부부터 전면 상부까지 타력을 주어 이물을 제거하여, 마스크(41)의 전면 전체를 고르게 세정할 수 있게 된다.

상기와 같이 마스크(41)가 전면부가 하향으로 경사지게 지그(40)를 회전시킨 경우에도 상기 그리퍼(44)의 작용에 의해 지그(40)로부터 이탈되지 않게 된다.

반대로 도 5는 상기 전면의 세정이 완료된 마스크(41)를 고정하는 지그(40)의 윈도우 프레임(43)을 상기 회동축(42)을 중심으로, 수직방향에서 30도 경사진 상태가 되도록 회전시킨다.

이때 상기 한 쌍의 버블노즐부(20)에서 발생된 버블은 상기 마스크(41)의 배면 하부측에 분사되며, 앞서 설명한 예와 같이 분사된 버블이 상기 마스크(41)의 배면을 따라 상향으로 이동하면서, 이물을 제거하게 된다.

필요에 따라 상기 지그(40)의 경사방향을 주기적으로 변경하여, 한 쌍의 버블 노즐부(20)에서 발생되는 버블을 마스크(41)의 전면 또는 배면에 반복적으로 분사하여 세정을 하게 된다.

이처럼 본 발명은 버블을 사용하여 마스크(41)에 타력을 주어 마스크(41)의 세정효율을 높일 수 있을 뿐만 아니라, 지그(40)를 회전시켜 마스크(41)의 전면 또는 배면 하부에 분사된 버블이 그 전면 또는 배면을 따라 상부로 이동하면서, 마스크(41)의 전면에 타력을 제공함으로써, 그 마스크(41)의 전면과 배면을 용이하게 세정할 수 있게 된다.

따라서 본 발명은 세정공정에 소요되는 시간을 단축할 수 있으며, 마스크(41)를 보다 고르게 세정할 수 있게 된다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정, 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.

10:세정조 11:세정약액
12:공급관 20:버블노즐부
21:파이프 22:노즐
23:와류형성부 30:울트라소닉
40:지그 41:마스크
42:회동축 43:윈도우 프레임
44:그리퍼

Claims

세정약액이 저장되는 세정조;
상기 세정조의 세정약액에 침지된 마스크;
상기 마스크를 고정하되, 일면측에 상기 마스크가 위치하는 윈도우 프레임과, 상기 윈도우 프레임의 하부측과 측면측에서 돌출 및 절곡되어, 상기 마스크의 전면부 일부를 걸어 상기 마스크의 이탈을 방지하는 그리퍼와, 상기 윈도우 프레임의 측면에 결합되어 외부의 동력에 의해 상기 윈도우 프레임을 시계방향 또는 반시계방향으로 경사지게 하는 회동축으로 구성되는 지그; 및
상기 세정조의 내측 하부측에서 상기 마스크의 양면으로 버블을 분사하는 한 쌍의 버블노즐부를 포함하는 마스크 세정장치.
삭제
삭제
제1항에 있어서,
상기 지그가 시계방향 또는 반시계방향으로 소정각도 경사진 상태에서,
상기 한 쌍의 버블노즐부에서 분사되는 버블이 상기 마스크의 전면 또는 배면의 하부에 분사된 후, 상기 전면 또는 배면을 따라 상승하면서 상기 마스크에 타력을 주는 것을 특징으로 하는 마스크 세정장치.