CN109750257B - 掩膜板及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩膜板及其制造方法，属于显示面板制造技术领域。该掩膜板包括：主框架以及在该主框架上设置的多个子掩膜板。该主框架上具有多个开口区域，该多个开口区域与多个子掩膜板分别对应。每个子掩膜板具有像素开孔区域。每个子掩膜板中的像素开孔区域在主框架上的正投影，位于对应开口区域内。该子掩膜板的材料包括：硅基材料。由于每个子掩膜板内仅设置了一个像素开孔区域，在主框架上任意两个相邻的子掩膜板之间不再产生相互影响，有效的提高了该掩膜板中的像素孔的位置精度，进而提高了后续制造的OLED显示面板的良品率。

Description

掩膜板及其制造方法

技术领域

本发明涉及显示面板制造技术领域，特别涉及一种掩膜板及其制造方法。

背景技术

有机发光二极管(英文：Organic Light-Emitting Diode；简称：OLED)显示面板中的有机发光层通常是采用蒸镀工艺制造的。例如，可以利用具有镂空图案的掩膜板，通过真空蒸镀方式在待蒸镀基板上形成所需的图案。该掩膜板可以为高精度金属掩模板(英文：Fine Metal Mask，简称：FMM)。

该掩膜板包括：金属框架，以及固定在该金属框架上的多个平行排布的掩膜条。每个金属条上设置有多个数个像素开孔区域。通常情况下，在掩膜板的制造过程中，需要利用张网装置在掩膜条张紧后，固定在金属框架上。

但是，在掩膜条的张网过程中，该掩膜条中的每个像素开孔区域中的像素孔可能会发生不同程度的形变，很难保证在掩膜条固定在金属框架之后，每个像素开孔区域中的每个像素孔的位置与设计时的位置相同，导致掩膜板中的像素孔的位置精度降低，从而导致后续制造的OLED显示面板的良品率较低。

发明内容

本发明实施例提供了一种掩膜板及其制造方法。可以解决现有技术的掩膜板中的像素孔的位置精度降低，导致后续制造的OLED显示面板的良品率较低的问题，所述技术方案如下：

第一方面，提供了一种掩膜板，包括：

主框架，所述主框架具有多个开口区域；

分别与所述多个开口区域对应设置的多个子掩膜板，所述子掩膜板具有像素开孔区域；

所述像素开孔区域在所述主框架上的正投影，位于对应的开口区域内；

其中，所述子掩膜板的材料包括：硅基材料。

可选的，所述硅基材料包括：玻璃材料或石英材料。

可选的，所述掩膜板还包括：多个具有镂空区域的子框架，多个所述子框架与所述多个子掩膜板分别对应，所述子掩膜板与对应的子框架连接，所述子框架还与所述主框架连接；

其中，所述子掩膜板中的像素开孔区域在对应的子框架上的正投影，位于所述子框架中的镂空区域内。

可选的，所述主框架上还设置有设置在所述开口区域周围的围挡结构，所述子框架位于对应的开口区域周围的围挡结构内。

可选的，所述掩膜板还包括：多个位置调节组件，所述位置调节组件分别与所述子掩膜板和对应的围挡结构连接，所述位置调节组件被配置为调节所述子掩膜板与对应的开口区域之间的相对位置。

可选的，所述位置调节组件包括：调节针和套设于所述调节针上的调节旋钮；

所述围挡结构朝向所述子框架的的侧壁设置有调节孔，所述调节针的一端与所述调节孔活动连接，另一端与对应的子框架朝向所述围挡结构的侧壁连接，所述调节旋钮被配置为能够带动所述调节针在所述调节孔中移动以调节所述调节针的一端在所述调节孔内的位置。

可选的，所述围挡结构的高度，小于或等于对应的子框架和对应的子掩膜板的高度之和。

可选的，所述主框架具有用于支撑所述子框架的第一支撑面，所述第一支撑面与所述子框架朝向所述第一支撑面的一面之间设置有固化胶。

可选的，所述第一支撑面设置有围绕所述开口区域的第一环形凹槽；所述第一环形凹槽内设置有所述固化胶。

可选的，所述子掩膜板上还设置有多个第一对位图形；所述主框架上还设置有多个第二对位图形；

其中，所述第一对位图形用于：为所述子掩膜板提供基于设定的基准位置或者基于所述第二对位图形的对位信息。

可选的，所述子框架具有用于支撑对应的子掩膜板的第二支撑面，所述第二支撑面与所述子框架朝向所述第二支撑面的一面之间设置有固化胶。

可选的，所述子框架的第二支撑面和/或所述子掩膜板朝向所述第二支撑面的一面设置有第二环形凹槽，所述第二环形凹槽围绕所述像素开孔区域；

所述第二环形凹槽内设置有所述固化胶。

可选的，所述主框架中的开口区域的内壁，与所述主框架背离所述子掩膜板的一面之间的夹角为锐角或直角。

可选的，所述子框架中的镂空区域的内壁，与所述子框架背离所述子掩膜板的一面之间的夹角为锐角或直角。

第二方面，提供了一种掩膜板的制造方法，所述方法包括：

在基底上形成像素开孔区域，以形成子掩膜板；

提供具有多个开口区域的主框架；

将多个所述子掩膜板组装在主框架上，使得多个所述子掩膜板与所述多个开口区域分别对应，所述子掩膜板中的像素开孔区域在所述主框架上的正投影，位于对应的开口区域内；

其中，所述基底的材料包括：硅基材料。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：

由于每个子掩膜板内仅设置了一个像素开孔区域，在主框架上任意两个相邻的子掩膜板之间不再产生相互影响，因此可以分别对主框架上的每个子掩膜板的位置进行调节，保证每个子掩膜板的像素开孔区域中的每个像素孔的位置与设计时的位置相同，有效的提高了该掩膜板中的像素孔的位置精度，进而提高了后续制造的OLED显示面板的良品率。进一步的，由于主框架上任意两个相邻的子掩膜板之间不再产生相互影响，因此当主框架上任意一个子掩膜板损坏后，可以直接对损坏的子掩膜板进行更换，有效的降低了子掩膜板的维修成本。又由于该子掩膜板的材料包括硅基材料，其刚性较高，在重力的作用下，不易出现形变现象，并且采用硅基材料制成的子掩膜板不会出现褶皱的现象，因此该子掩膜板无需采用张网装置进行张网，便可以直接固定在主框架上，有效的提高了掩膜板的制造效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种掩膜板的结构示意图；

图2是图1示出的掩膜板的俯视图；

图3是本发明实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的一种子掩膜板的结构示意图；

图5是图4示出的子掩膜板与子框架连接时的效果图；

图6是本发明实施例提供的一种子框架的结构示意图；

图7是图6示出的子框架与子掩膜板连接时的效果图；

图8是本发明实施例提供的又一种子框架与子掩膜板连接时的效果图；

图9是本发明实施例提供的一种主框架的结构示意图；

图10是本发明实施提供的又一种掩膜板的结构示意图；

图11是本发明另一实施例提供的一种掩膜板的结构示意图；

图12是图11示出的掩膜板的俯视图；

图13是本发明另一实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图；

图14是图13示出的掩膜板的俯视图；

图15是图13示出的掩膜板中的主框架的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

在相关技术中，掩膜板通常可以包括：金属框架，以及固定在该金属框架上的多个平行排布的支撑条、多个平行排布的遮挡条和多个平行排布的掩膜条。其中，多个支撑条沿第一方向平行排布，多个遮挡条沿第二方向平行排布，多个掩膜条沿第一方向或第二方向平行排布。

该多个支撑条和多个遮挡条不仅可以对金属框架上固定的掩膜条起到支撑作用，还可以在金属框架中划分出多个开口区域，该开口区域用于对通过该掩膜板制造的大尺寸的OLED显示面板进行划分，以便后续对其进行切割得到多个小尺寸的OLED显示面板。每个掩膜条上均设置有数个像素开孔区域，每个像素开孔区域需要与金属框架中的一个开口区域重合，该像素开孔区域用于制造OLED显示面板中的有机发光层。

目前的掩膜条的材料通常为诸如因瓦合金的金属材料，为了避免在重力作用的影响下掩膜条出现形变的现象，需要利用张网装置在掩膜条张紧后，固定在金属框架上。但是，在掩膜条的张网过程中，该掩膜条中的每个像素开孔区域中的像素孔可能会发生不同程度的形变，很难保证在掩膜条固定在金属框架之后，每个像素开孔区域中的每个像素孔的位置与设计时的位置相同，导致掩膜板中的像素孔的位置精度降低，从而导致后续制造的OLED显示面板的良品率较低。

请参考图1和图2，图1是本发明实施例提供的一种掩膜板的结构示意图，图2是图1示出的掩膜板的俯视图。该掩膜板00可以包括：

主框架10，以及在该主框架10上设置的多个子掩膜板20。

该主框架10具有多个开口区域101，该多个开口区域101与多个子掩膜板20分别对应。每个子掩膜板20具有像素开孔区域201。每个子掩膜板20中的像素开孔区域201在主框架10上的正投影，位于对应开口区域101内。

该子掩膜板20的材料包括：硅基材料。例如，该子掩膜板20的材料包括：玻璃材料或石英材料。由于采用玻璃材料或石英材料制成的子掩膜板20的刚性较高，在重力的作用下，不易出现形变现象，并且采用玻璃材料或石英材料制成的子掩膜板20不会出现褶皱的现象，因此该子掩膜板20无需采用张网装置进行张网，便可以直接固定在主框架上，有效的提高了掩膜板00的制造效率。

在本发明实施例中，多个子掩膜板20均设置在主框架10上，且每个子掩膜板20内仅设置了一个像素开孔区域201，在该主框架10上任意两个相邻的子掩膜板20之间不再产生相互影响，可以分别对主框架10上的每个子掩膜板20的位置进行调节，保证每个子掩膜板20的像素开孔区域201中的每个像素孔的位置与设计时的位置相同，有效的提高了该掩膜板00中的像素孔的位置精度，进而提高了后续制造的OLED显示面板的良品率。

综上所述，本发明实施例提供的一种掩膜板，包括：主框架以及在该主框架上设置的多个子掩膜板。该主框架上具有多个开口区域，该多个开口区域与多个子掩膜板分别对应。每个子掩膜板具有像素开孔区域。每个子掩膜板中的像素开孔区域在主框架上的正投影，位于对应开口区域内。由于每个子掩膜板内仅设置了一个像素开孔区域，在主框架上任意两个相邻的子掩膜板之间不再产生相互影响，因此可以分别对主框架上的每个子掩膜板的位置进行调节，保证每个子掩膜板的像素开孔区域中的每个像素孔的位置与设计时的位置相同，有效的提高了该掩膜板中的像素孔的位置精度，进而提高了后续制造的OLED显示面板的良品率。又由于该子掩膜板的材料包括硅基材料，其刚性较高，在重力的作用下，不易出现形变现象，并且采用硅基材料制成的子掩膜板不会出现褶皱的现象，因此该子掩膜板无需采用张网装置进行张网，便可以直接固定在主框架上，有效的提高了掩膜板的制造效率。

进一步的，由于主框架上任意两个相邻的子掩膜板之间不再产生相互影响，因此当主框架上任意一个子掩膜板损坏后，可以直接对损坏的子掩膜板进行更换，有效的降低了子掩膜板的维修成本。

在本发明实施例中，主框架10可以为一体结构，该主框架10的材料包括：金属材料，避免了相关技术的掩膜板中的支撑条和遮挡条的中央出现严重的形变现象，提高了通过本发明实施例提供的掩膜板00制造得到的OLED显示面板的良品率。需要说明的是，该主框架10可以通过铸造工艺一次成型，也可以将金属板通过加工形成主框架10。

可选的，如图3所示，图3是本发明实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图，该掩膜板00还可以包括：多个具有镂空区域301的子框架30。多个子掩膜板20与多个子框架30分别对应。每个子框架30可以对应的子掩膜板20连接，每个子框架30还可以与主框架10连接。其中，每个子掩膜板20中的像素开孔区域201在子框架30上的正投影，位于该子框架30中的镂空区域301内。

在本发明实施例中，子掩膜板20的厚度通常较薄，当通过子框架30实现子掩膜板20与主框架10之间的连接时，可以降低子掩膜板20安装在主框架10上的安装难度。并且在主框架10上通过对子框架30的位置进行调节，还可以实现对子掩膜板20的位置进行调节，降低了主框架10上的子掩膜板20的位置调节的难度。

为了避免该掩膜板00在后续蒸镀的过程中，出现蒸镀材料无法全部通过子掩膜板20中的像素开孔区域201的现象，对于主框架10中的每个开口区域101，该开口区域101的内壁，与该主框架10背离子掩膜板20的一面之间的夹角α1为锐角或直角；对于每个子框架30中的镂空区域301，该镂空区域301的内壁，与该子框架30背离子掩膜板20的一面之间的夹角α2为锐角或直角。此时，在通过该掩膜板00进行蒸镀时，蒸镀材料可以全部通过子掩膜板20中的像素开孔区域201。示例的，该夹角α1与夹角α2的角度范围均可以为：[30°，90°]。

对于子框架30与子掩膜板20之间的连接，该子框架30具有用于支撑对应子掩膜板20的第二支撑面，该第二支撑面与子框架30朝向该第二支撑面的一面之间设置有固化胶。该子框架30与子掩膜板20之间通过该固化胶固定连接的方式有多种，本发明实施例以以下四种可选的实现方式为例进行示意性说明：

在第一种可选的实现方式中，如图4所示，图4是本发明实施例提供的一种子掩膜板的结构示意图，每个子掩膜板20朝向第二支撑面的一面可以设置有第二环形凹槽203，该第二环形凹槽203围绕像素开孔区域201。

请参考图5，图5是图4示出的子掩膜板与子框架连接时的效果图。子掩膜板20上的第二环形凹槽60内可以设置有固化胶50，每个子框架30可以通过该固化胶50与对应的子掩膜板20连接。

在第二种可选的实现方式中，如图6所示，图6是本发明实施例提供的一种子框架的结构示意图，每个子框架30的第二支撑面可以还设置有第二环形凹槽203，该第二环形凹槽203围绕像素开孔区域镂空区域301。

请参考图7，图7是图6示出的子框架与子掩膜板连接时的效果图。子框架30上的第二环形凹槽203内可以设置有固化胶50，每个子框架30可以通过该固化胶50与对应的子掩膜板20连接。

在第三种可选的实现方式中，每个子框架30的第二支撑面可以还设置有第二环形凹槽，以及每个子掩膜板20朝向第二支撑面的一面可以设置有第二环形凹槽。该第二环形凹槽围绕像素开孔区域201和镂空区域301，子框架30上的第二环形凹槽以及子掩膜板上的第二环形凹槽内均可以设置有固化胶，每个子框架30可以通过该固化胶与对应的子掩膜板20连接。

在第四种可选的实现方式中，如图8所示，图8是本发明实施例提供的又一种子框架与子掩膜板连接时的效果图，每个子掩膜板20与对应的子框架30之间可以直接通过固化胶50连接。

在本发明实施例中，当子掩膜板20与子框架30之间直接通过固化胶连接时，为了保证后续子掩膜板20在子框架30上的平坦度较高，在一种实现方式中，子掩膜板20与子框架30之间通过环状的固化胶50连接，此时，需要保证子掩膜板20与子框架30之间的固化胶50的厚度在25微米内；在另一种实现方式中，子掩膜板20与子框架30之间还可以通过点胶工艺连接。

需要说明的是，上述第一种可选的实现方式、第二种可选的实现方式和第三种可选的实现方式中的第二环形凹槽可以为方形凹槽，或者弓形凹槽等。该第二环状凹槽可以为闭环凹槽，也可以为开环凹槽。该第二环形凹槽的宽度范围为：5微米至2毫米；该第二环形凹槽的深度范围为：5微米至子掩膜板20的厚度的一半。

还需要说明的是，图5仅示意性的示出了子掩膜板20上设置了一个第二环状凹槽203，图6仅示意性的示出了子框架30上设置了一个第二环状凹槽203，在其他的可选的实现方式中，子掩膜板20上还可以设置多个嵌套设置的第二环状凹槽，或者，子框架30上设置多个嵌套设置的第二环状凹槽。

可选的，如图9和图10所示，图9是本发明实施例提供的一种主框架的结构示意图，图10是本发明实施提供的又一种掩膜板的结构示意图，主框架10上还可以设置有设置在每个开口区域101周围的围挡结构102，每个子框架30可以位于对应的开口区域101周围的围挡结构102内。在子框架30安装在主框架10上的过程中，可以将主框架10上的围挡结构102作为参考，来实现对子框架30的安装，缩短了子框架30安装在主框架10上的安装时间，从而提高了掩膜板00的制造效率。

需要说明的是，主框架10上设置的多个围挡结构102与多个子掩膜板20分别对应，该多个围挡结构102还与多个子框架30分别对应。每个围挡结构102的高度，小于或等于对应的子框架30和对应的子掩膜板20的高度之和。该围挡结构102的高度方向、子框架30的高度方向和子掩膜板20的高度方向均平行，且均垂直于主框架10中用于支撑子框架30的第一支撑面。

对于子框架30与主框架10之间的连接，本发明实施例以以下两种示意性的实现方式为例进行说明：

在第一种示意性的实现方式中，如图11和图12所示，图11是本发明另一实施例提供的一种掩膜板的结构示意图，图12是图11示出的掩膜板的俯视图，该掩膜板还可以包括：多个位置调节组件40。对于每个子框架30，该子框架30可以通过位置调节组件40与主框架10连接。该位置调节组件40被配置为调节子掩膜板20与对应的开口区域101之间的相对位置。

示例的，每个位置调节组件40包括：调节针401以及和套设于该调节针401上的调节旋钮402。每个位置调节组件40还包括：在围挡结构102朝向子框架30的侧壁上设置的调节孔403。在每个围挡结构102中，调节针401的一端可以与调节孔403活动连接，另一端与对应的子框架30的靠近围挡结构102的侧壁连接。该调节旋钮402被配置为：能够带动调节针402在调节孔403内移动以调节调节针401的一端在调节孔403内的位置，从而带动子框架30在对应的围挡结构102内移动，进而实现了对子掩膜板20的位置进行调节。

例如，该调节孔403为与调节针401形状匹配的光孔，该调节针401与调节旋钮402之间可以通过螺纹连接，可以控制调节旋钮402转动，以带动调节针401在调节孔403中移动。

可选的，每个子框架30中的每个靠近围挡结构102的侧壁可以连接有至少两个位置调节组件40。至少两个位置调节组件40可以均匀的排布在子框架30的一个靠近围挡结构102的侧壁上。通常情况下，通过位置调节组件40控制子框架30沿其长度方向和宽度方向移动，从而可以对子掩膜板20的位置进行调节。当子框架30中的每个靠近围挡结构102的侧壁上连接的至少两个位置调节组件40均匀排布时，若位置调节组件40控制子框架30移动，该子框架30的侧面受力均匀，有效的避免了子框架30在移动过程中出现偏转的现象，提高了对子掩膜板20进行位置调节时的效率。需要说明的是，子框架30中的每个靠近围挡结构102的侧壁连接的位置调节组件40的个数可以不同。

在第二种示意性的实现方式中，如图13和图14所示，图13是本发明另一实施例提供的另一种掩膜板的结构示意图，图14是图13示出的掩膜板的俯视图。主框架10具有用于支撑子框架30的第一支撑面，该第一支撑面与子框架30朝向第一支撑面的一面之间设置有固化胶50。

示例的，主框架50的第一支撑面设置有围绕每个开口区域101的第一环形凹槽103。该第一环形凹槽103内可以设置有该固化胶50，每个子框架30可以通过该固化胶50与主框架10连接。为了更清楚的看出第一环形凹槽103的结构，请参考图15，图15是图13示出的掩膜板中的主框架的结构示意图，该第一环形凹槽103围绕主框架10中的开口区域101，且位于的围挡结构102内。

可选的，本发明实施例中的固化胶50可以为紫外线固化胶或热固化胶。对于紫外线固化胶，其在紫外线的照射后才具有贴合能力；对于热固化胶，其在加热后才具有贴合能力。因此，在子框架30放置在主框架10上后，可以先对子框架30的位置进行调节，以对子掩膜板20的位置进行调节，在位置调节完成后，再对固化胶50进而固化处理的，使得其具有贴合能力，以实现主框架10与子框架30之间的连接。

需要说明的是，上述第二种示意性的实现方式中还可以不设置第一环状凹槽，直接通过固化胶50实现子框架30与主框架10之间的连接，此时，为了保证子掩膜板20的平坦度较高，对子框架30与主框架10之间的固化胶50的限制条件可以参考前述实施例中的对应部分，在此不再赘述。上述第二种示意性的实现方式中的第一环形凹槽103的形状和尺寸，可以与前述实施例中的第二环状凹槽203的形状和尺寸相同。

还需要说明的是，如图11所示，对于上述第一种可实现方式中的掩膜板00，由于其内部设置了位置调节组件40，因此可以通过该位置调节组件40完成对子掩膜板20的位置的调节；如图13所示，对于上述第二种可实现方式中的掩膜板00，由于其内部未设置位置调节组件，因此子掩膜板20可以通过掩膜板00外的位置调节设备000进行位置调节。

在本发明实施例中，如图12和图14所示，每个子掩膜板20上还可以设置有多个第一对位图形202，该多个第一对位图形202位于像素开孔区域201外；主框架10上还可以设置有多个第二对位图形104。该第一对位图形202用于：为子掩膜板20提供基于设定的基准位置或者基于第二对位图形104的对位信息。例如，该第一对位图形202与第二对位图形104在同一个坐标系均对应有坐标信息，因此可以基于第一对位图形202的坐标信息对子掩膜板20的位置进行调整，使得该子掩膜板20的位置与设计时的位置相同。

示例的，可以先将主框架10放置在位置调节平台上，该位置调节平台具有坐标系；之后，基于主框架10上的多个第二对位图形104对应的坐标信息调节该主框架10的位置，使得第二对位图形104对应的坐标信息与坐标系中的相应的坐标重合；最后，基于每个子掩膜板20上的多个第一对位图形202对应的坐标信息调节该子掩膜板20的位置，使得第一对位图形104对应的坐标信息与坐标系中的相应的坐标重合。

在本发明实施例中，每个子掩膜板20上的像素开孔区域201中的像素孔以及多个第一对位图形202是同时制造出来的，当每个第一对位图形202在主框架10上的位置与设计时的位置相同时，该像素开孔区域201中的每个像素孔在主框架10上的位置也与设计时的位置相同。通过该第一对位图形202能够提高对主框架10上的子掩膜板20的位置进行调节效率，进一步的提高了该掩膜板的制造效率。

可选的，该多个第一对位图形202可以均匀的分布在子掩膜板20上，多个第二对位图形104均匀的分布在主框架10上。

需要说明的是，图12和图14均是以每个子掩膜板20上设置有4个第一对位图形202，主框架10上设置有4个第二对位图形104为例进行示意性说明的。在另一种可选的实现方式中，每个子掩膜板20上还可以仅设置两个第一对位图形202，该两个第一对位图形202可以对角设置，相应的，主框架10上也可以设置仅设置两个第二对位图形104，该两个第二对位图形104也可以对角设置。

还需说明的是，图12和图14均是以掩膜板00中的对位图形(例如，第一对位图形202或第二对位图形104)的形状为圆形进行示意性说明的。在另一种可选的实现方式中，该对位孔的形状为十字形状、方形或三角形等。本发明实施例对此不做限定。

综上所述，本发明实施例提供的一种掩膜板，包括：主框架以及在该主框架上设置的多个子掩膜板。该主框架上具有多个开口区域，该多个开口区域与多个子掩膜板分别对应。每个子掩膜板具有像素开孔区域。每个子掩膜板中的像素开孔区域在主框架上的正投影，位于对应开口区域内。由于每个子掩膜板内仅设置了一个像素开孔区域，在主框架上任意两个相邻的子掩膜板之间不再产生相互影响，因此可以分别对主框架上的每个子掩膜板的位置进行调节，保证每个子掩膜板的像素开孔区域中的每个像素孔的位置与设计时的位置相同，有效的提高了该掩膜板中的像素孔的位置精度，进而提高了后续制造的OLED显示面板的良品率。又由于该子掩膜板的材料包括硅基材料，其刚性较高，在重力的作用下，不易出现形变现象，并且采用硅基材料制成的子掩膜板不会出现褶皱的现象，因此该子掩膜板无需采用张网装置进行张网，便可以直接固定在主框架上，有效的提高了掩膜板的制造效率。

本发明实施例还提供了一种掩膜板的制造方法，该掩膜板的制造方法用于制造图1示出的掩膜板。该掩膜板的制造方法可以包括以下几个步骤：

步骤A、在基底上形成像素开孔区域，以形成子掩膜板。

步骤B、提供具有多个开口区域的主框架。

步骤B、将多个子掩膜板组装在主框架上，使得多个子掩膜板与多个开口区域分别对应。

其中，每个子掩膜板中的像素开孔区域在主框架上的正投影，位于对应的开口区域内。该基底的材料包括：硅基材料。

可选的，述步骤A可以包括：在玻璃基底上通过构图工艺形成像素开孔区域，该构图工艺可以包括：光刻胶涂覆、曝光、显影、刻蚀和光刻胶剥离。

可选的，上述步骤C可以包括：将每个子掩膜板组装在子框架上后，再将组装在子框架上的子掩膜板组装在主框架上。

在本发明实施例中，子掩膜板与子框架之间的组装方式，子框架与子掩膜板之间的组装方式，以及对组装后的子掩膜板进行位置调节的方式，均可以参考上述对掩膜板的结构描述的实施例，本发明实施例在此不再赘述。

综上所述，本发明实施例提供的一种掩膜板的制造方法，在基底上形成像素开孔区域，以形成子掩膜板；将多个子掩膜板组装在主框架上。该主框架上具有多个开口区域，该多个开口区域与多个子掩膜板分别对应。每个子掩膜板具有像素开孔区域。每个子掩膜板中的像素开孔区域在主框架上的正投影，位于对应开口区域内。由于每个子掩膜板内仅设置了一个像素开孔区域，在主框架上任意两个相邻的子掩膜板之间不再产生相互影响，因此可以分别对主框架上的每个子掩膜板的位置进行调节，保证每个子掩膜板的像素开孔区域中的每个像素孔的位置与设计时的位置相同，有效的提高了该掩膜板中的像素孔的位置精度，进而提高了后续制造的OLED显示面板的良品率。又由于该子掩膜板的材料包括硅基材料，其刚性较高，在重力的作用下，不易出现形变现象，并且采用硅基材料制成的子掩膜板不会出现褶皱的现象，因此该子掩膜板无需采用张网装置进行张网，便可以直接固定在主框架上，有效的提高了掩膜板的制造效率。

需要说明的是，在本发明实施例中的术语“第一”和“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“多个”指两个或两个以上，除非另有明确的限定。

以上所述仅为本发明的可选的实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种掩膜板，其特征在于，包括：

主框架，所述主框架具有多个开口区域；

分别与所述多个开口区域对应设置的多个子掩膜板，所述子掩膜板具有像素开孔区域；

所述像素开孔区域在所述主框架上的正投影，位于对应的开口区域内；

其中，所述子掩膜板的材料包括：硅基材料；

所述掩膜板还包括：多个具有镂空区域的子框架，多个所述子框架与所述多个子掩膜板分别对应，所述子掩膜板与对应的子框架连接，所述子框架还与所述主框架连接，所述主框架上还设置有设置在所述开口区域周围的围挡结构，所述子框架位于对应的开口区域周围的围挡结构内；

其中，所述子掩膜板中的像素开孔区域在对应的子框架上的正投影，位于所述子框架中的镂空区域内；

所述掩膜板还包括：多个位置调节组件，所述位置调节组件分别与所述子掩膜板和对应的围挡结构连接，所述位置调节组件被配置为调节所述子掩膜板与对应的开口区域之间的相对位置；

所述位置调节组件包括：调节针和套设于所述调节针上的调节旋钮，所述围挡结构朝向所述子框架的侧壁设置有调节孔，所述调节针的一端与所述调节孔活动连接，另一端与对应的子框架朝向所述围挡结构的侧壁连接，所述调节旋钮被配置为能够带动所述调节针在所述调节孔中移动以调节所述调节针的一端在所述调节孔内的位置。

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，

所述硅基材料包括：玻璃材料或石英材料。

3.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，

所述围挡结构的高度，小于或等于对应的子框架和对应的子掩膜板的高度之和。

4.根据权利要求1或2所述的掩膜板，其特征在于，

所述子掩膜板上还设置有多个第一对位图形；

所述主框架上还设置有多个第二对位图形；

其中，所述第一对位图形用于：为所述子掩膜板提供基于设定的基准位置或者基于所述第二对位图形的对位信息。

5.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，

所述子框架具有用于支撑对应的子掩膜板的第二支撑面，所述第二支撑面与所述子框架朝向所述第二支撑面的一面之间设置有固化胶。

6.根据权利要求5所述的掩膜板，其特征在于，

所述子框架的第二支撑面和/或所述子掩膜板朝向所述第二支撑面的一面设置有第二环形凹槽，所述第二环形凹槽围绕所述像素开孔区域；

所述第二环形凹槽内设置有所述固化胶。

7.根据权利要求1或3所述的掩膜板，其特征在于，

所述主框架中的开口区域的内壁，与所述主框架背离所述子掩膜板的一面之间的夹角为锐角或直角。

8.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，

所述子框架中的镂空区域的内壁，与所述子框架背离所述子掩膜板的一面之间的夹角为锐角或直角。

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