KR20210107217A - 표시 장치의 제조장치, 마스크 어셈블리의 제조방법, 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

표시 장치의 제조장치, 마스크 어셈블리의 제조방법, 및 표시 장치의 제조방법 Download PDF

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곽진오
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Abstract

본 발명의 일 실시예는, 마스크 어셈블리;를 포함하는 표시 장치의 제조장치에 있어서, 상기 마스크 어셈블리는, 개구영역을 포함하는 마스크 프레임; 상기 마스크 프레임에 배치되며, 개구부를 포함하는 제1마스크; 상기 제1마스크 상에 배치되며, 그물 형상의 메쉬부 및 상기 메쉬부의 일부를 차폐하는 차폐부를 포함하는 제2마스크; 및 상기 제2마스크 상에서 디스플레이 기판을 지지하며, 상기 디스플레이 기판과 상기 제2마스크를 이격시키는 기판지지부;를 포함하고, 상기 차폐부는 상기 개구부 내에 대응하도록 배치된, 표시 장치의 제조장치를 개시한다.

Description

표시 장치의 제조장치, 마스크 어셈블리의 제조방법, 및 표시 장치의 제조방법{Apparatus for manufacturing a display apparatus, method for manufacturing a mask assembly and method for manufacturing a display apparatus}
본 발명은 장치 및 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 표시 장치의 제조장치, 마스크 어셈블리의 제조방법, 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
근래에 표시 장치는 그 용도가 다양해지고 있다. 또한, 표시 장치의 두께가 얇아지고 무게가 가벼워 그 사용의 범위가 광범위해지고 있는 추세이다.
표시 장치 중 표시영역이 차지하는 면적을 확대하면서, 표시 장치에 접목 또는 연계하는 다양한 기능들이 추가되고 있다. 면적을 확대하면서 다양한 기능을 추가하기 위한 방안으로 표시영역 내측에 이미지 디스플레이뿐만 아니라, 다양한 기능을 부가하기 위한 영역을 갖는 표시 장치의 연구가 계속되고 있다.
한편, 표시 장치 중 유기 발광 표시 장치는 화소전극 및 대향전극을 포함할 수 있다. 이 때, 상기 대향전극은 여러 방법으로 형성될 수 있는데, 그 중 한 방법은 증착 물질을 이용해 피증착표면에 증착하는 것이다. 이러한 증착 방법으로, 상기 대향전극은 공통 마스크를 이용하여 기판 전면에 증착되어 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 표시영역 내측에 투과영역을 가지는 표시 장치에 있어서, 투과영역의 투과도를 높일 수 있게 하는 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 제공하고자 한다.
또한, 표시 장치의 제조장치에 포함되는 마스크 어셈블리의 제조방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예는, 마스크 어셈블리;를 포함하는 표시 장치의 제조장치에 있어서, 상기 마스크 어셈블리는, 개구영역을 포함하는 마스크 프레임; 상기 마스크 프레임에 배치되며, 개구부를 포함하는 제1마스크; 상기 제1마스크 상에 배치되며, 그물 형상의 메쉬부 및 상기 메쉬부의 일부를 차폐하는 차폐부를 포함하는 제2마스크; 및 상기 제2마스크 상에서 디스플레이 기판을 지지하며, 상기 디스플레이 기판과 상기 제2마스크를 이격시키는 기판지지부;를 포함하고, 상기 차폐부는 상기 개구부 내에 대응하도록 배치된, 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
일 실시예에 있어서, 상기 마스크 프레임의 두께는 상기 제1마스크의 두께 또는 상기 제2마스크의 두께보다 크고, 상기 기판지지부는 상기 제2마스크를 상기 마스크 프레임에 고정시킬 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 기판지지부, 상기 제2마스크, 및 상기 마스크 프레임은 서로 연결될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 기판지지부는 상기 마스크 프레임에 적어도 일부 직접 연결될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 기판지지부는 상기 마스크 프레임을 따라 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 기판지지부는 제1기판지지부 및 제2기판지지부를 포함하고, 상기 제1기판지지부는 상기 개구영역과 이격되어 상기 마스크 프레임을 따라 배치되며, 상기 제2기판지지부는 상기 개구영역을 가로지르며 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 메쉬부는 제1방향으로 연장된 복수개의 제1와이어들 및 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 연장된 복수개의 제2와이어들을 포함하고, 상기 복수개의 제1와이어들 및 상기 복수개의 제2와이어들은 복수의 메쉬홀을 정의하며, 상기 차폐부는 상기 복수의 메쉬홀 중 적어도 하나를 전체적으로 차폐할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 차폐부는 평면상 원형일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 마스크 어셈블리가 배치되는 챔버; 및 상기 챔버 내부에 배치되며, 증착 물질을 상기 챔버 내부로 공급하는 증착원;을 더 포함하고, 상기 마스크 어셈블리는 상기 증착원에 대향하도록 배치되어 상기 디스플레이 기판에 상기 증착 물질을 통과시킬 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 개구영역을 포함하는 마스크 프레임에 개구부를 포함하는 제1마스크를 고정하는 단계; 상기 제1마스크 상에 그물 형상의 메쉬부를 포함하는 제2마스크를 배치하는 단계; 상기 제2마스크 상에 기판지지부를 고정하는 단계; 및 상기 메쉬부의 일부를 차폐하는 차폐부를 형성하는 단계;를 포함하는, 마스크 어셈블리의 제조방법을 개시한다.
일 실시예에 있어서, 상기 마스크 프레임의 두께는 상기 제1마스크의 두께 또는 상기 제2마스크의 두께보다 크고, 상기 기판지지부를 고정하는 단계는, 상기 기판지지부, 상기 제2마스크, 및 상기 마스크 프레임을 서로 연결하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 기판지지부를 고정하는 단계는, 상기 기판지지부, 상기 제2마스크, 상기 마스크 프레임을 용접하여 고정할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 기판지지부는 복수개를 포함하며, 상기 복수개의 기판지지부 중 하나는 상기 개구영역을 가로지르며 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 차폐부는 전주도금법(electro-forming)으로 형성할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 차폐부를 형성하는 단계는, 상기 제2마스크에 포토레지스트를 형성하는 단계; 상기 제2마스크에 대응하도록 노광마스크를 배치하여 상기 포토레지스트의 적어도 일부를 노광하는 단계; 및 상기 포토레지스트를 현상하는 단계;를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 노광마스크는 노광개구부를 포함하고, 상기 노광마스크가 상기 제2마스크에 대응하도록 배치될 때, 상기 포토레지스트는 상기 노광개구부에 대응되는 부분이 노광될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 챔버 내에 디스플레이 기판이 배치되는 단계; 상기 챔버 내부에 배치되는 증착원에 의해 증착 물질이 상기 챔버 내부로 공급되는 단계; 및 상기 증착 물질이 상기 증착원에 대향하도록 배치된 마스크 어셈블리를 통과하여 상기 디스플레이 기판 상에 증착되는 단계;를 포함하고, 상기 마스크 어셈블리는, 그물 형상의 메쉬부 및 상기 메쉬부의 일부를 차폐하는 차폐부를 포함하는 마스크; 및 상기 마스크 상에 디스플레이 기판을 지지하며, 상기 디스플레이 기판과 상기 마스크를 이격시키는 기판지지부;를 포함하는, 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
일 실시예에 있어서, 상기 디스플레이 기판 상에 대향전극홀을 구비한 대향전극이 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 대향전극홀은 상기 디스플레이 기판 상에 서로 이격된 제1화소 및 제2화소 사이에 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 대향전극홀에 대응하여 컴포넌트가 배치되는 단계;를 더 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이, 본 발명의 표시 장치의 제조장치는 그물 형상의 메쉬부 및 상기 메쉬부의 일부를 차폐하는 차폐부를 포함하는 제2마스크 및 디스플레이 기판과 제2마스크를 이격시키는 기판지지부를 포함하여, 투과영역의 투과도를 높일 수 있는 표시 장치를 제조할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예들은 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법의 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리를 도시한 평면도이다.
도 4는 디스플레이 기판과 제2마스크 사이의 간격에 따른 대향전극 증착 패턴을 도시한 실험예이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 어셈블리를 도시한 평면도이다.
도 6, 도 7, 및 도 8a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 나타낸 평면도이다.
도 8b는 도 8a의 A-A'선에 따른 단면도이다.
도 9a 내지 도 9e는 마스크 어셈블리 중 일부를 도시한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 차폐부의 제조방법을 나타낸 평면도이다.
도 10는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리의 제조방법을 나타낸 평면도이다.
도 11은 표시 장치의 제조장치를 이용하여 제조된 표시 장치의 사시도이다.
도 12은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 간략하게 나타낸 단면도로, 도 11의 B-B'선에 대응할 수 있다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우도 포함한다.
도 1은 표시 장치의 제조장치(1000)를 보여주는 단면도이다. 도 2는 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(M)를 도시한 사시도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(M)를 도시한 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 표시 장치의 제조장치(1000)는 챔버(1100), 마스크지지부(1200), 증착원(1300), 압력조절부(1400), 자기력부(1500), 비젼부(1600), 및 마스크 어셈블리(M)를 포함할 수 있다.
챔버(1100)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 일측이 개구되도록 형성되어 디스플레이 기판(DS)이 인출되거나 수납될 수 있다. 이 때, 개구된 챔버(1100) 부분에는 게이트 밸브 등을 포함하는 개폐부(1110)가 배치되어 선택적으로 개폐할 수 있다.
여기서 디스플레이 기판(DS)은 제조 중인 표시 장치일 수 있다. 디스플레이 기판(S)은 글라스이거나 폴리에테르술폰(polyethersulfone), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리에테르 이미드(polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(TAC), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate) 등과 같은 고분자 수지를 포함할 수 있다.
마스크지지부(1200)는 마스크 어셈블리(M)가 안착될 수 있다. 이 때, 마스크지지부(1200)는 챔버(1100)의 내부에 배치될 수 있다. 마스크지지부(1200)는 마스크 어셈블리(M)의 위치를 미세 조정 가능할 수 있다. 이 경우, 마스크지지부(1200)는 마스크 어셈블리(M)를 이동시키도록 별도의 구동부 및 얼라인 유닛 등을 구비할 수 있다.
증착원(1300)은 마스크 어셈블리(M)와 대향하도록 배치될 수 있다. 이 때, 증착원(1300)은 증착 물질이 수납될 수 있으며, 증착 물질에 열을 가함으로써 증착 물질을 증발시키거나 승화시킬 수 있다. 따라서, 증착원(1300)은 증착 물질을 공급할 수 있다.
압력조절부(1400)는 챔버(1100)와 연결되는 연결배관(1410)과 연결배관(1410)에 설치되는 펌프(1420)를 포함할 수 있다. 이 때, 펌프(1420)의 작동에 따라서 연결배관(1410)을 통하여 외기가 유입되거나 챔버(1100) 내부의 기체를 연결배관(1410)을 통하여 외부로 안내할 수 있다.
자기력부(1500)는 마스크 어셈블리(M)를 기준으로 증착원(1300)과 반대편에 배치될 수 있다. 이 때, 자기력부(1500)는 마스크 어셈블리(M)에 자기력을 가하여 디스플레이 기판(DS) 측으로 마스크 어셈블리(M)를 가력할 수 있다. 자기력부(1500)는 마스크 어셈블리(M)의 쳐짐을 방지할 뿐만 아니라, 마스크 어셈블리(M)를 디스플레이 기판(DS)에 근접시킬 수 있다. 또한, 자기력부(1500)는 마스크 어셈블리(M)와 디스플레이 기판(DS) 사이의 간격을 마스크 어셈블리(M)의 길이 방향에 대해 균일하게 유지시킬 수 있다.
비젼부(1600)는 챔버(1100)에 배치되며, 디스플레이 기판(DS)과 마스크 어셈블리(M)의 위치를 촬영할 수 있다. 비젼부(1600)는 디스플레이 기판(DS) 및 마스크 어셈블리(M)를 촬영하는 카메라를 포함할 수 있다. 비젼부(1600)에서 촬영된 이미지를 근거로 디스플레이 기판(DS)과 마스크 어셈블리(M)의 위치를 파악할 수 있으며, 상기 이미지를 근거로 마스크지지부(1200)에서 마스크 어셈블리(M)의 위치를 미세 조정할 수 있다.
마스크 어셈블리(M)는 마스크지지부(1200)에 의해 지지될 수 있다. 마스크 어셈블리(M)는 마스크 프레임(MF), 제1마스크(M1), 제2마스크(M2), 및 기판지지부(DSS)를 포함할 수 있다.
마스크 프레임(MF)은 개구영역(OA)을 포함할 수 있다. 따라서, 증착 물질은 개구영역(OA)을 통과할 수 있다. 일 실시예에서, 마스크 프레임(MF)은 개구영역(OA)을 둘러싸는 복수의 프레임을 포함할 수 있다. 상기 복수의 프레임은 X 방향 또는 Y 방향으로 연장될 수 있다.
마스크 프레임(MF)은 변형이 작은 소재인 강성이 큰 금속으로 제조될 수 있다. 또한, 마스크 프레임(MF)의 두께(MFt)는 제1마스크(M1)의 두께(M1t) 또는 제2마스크(M2)의 두께(M2t) 보다 클 수 있다. 따라서, 마스크 프레임(MF)은 제1마스크(M1) 또는 제2마스크(M2)를 고정할 때 변형이 작을 수 있다.
제1마스크(M1)는 마스크 프레임(MF) 상에 배치될 수 있다. 이 때, 제1마스크(M1)는 마스크 프레임(MF)에 일체로 장착될 수 있다. 예를 들어, 제1마스크(M1)는 마스크 프레임(MF)에 인장된 상태로 고정될 수 있다.
제1마스크(M1)는 개구부(OP)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 제1마스크(M1)는 개구부(OP)를 적어도 하나 포함할 수 있다. 개구부(OP)는 마스크 프레임(MF)의 개구영역(OA)에 대응하여 배치될 수 있다. 다른 실시예에서, 제1마스크(M1)는 복수개의 개구부(OP)들을 포함할 수 있다. 이 때, 복수개의 개구부(OP)들은 서로 이격되어 배치될 수 있다. 복수개의 개구부(OP)들은 마스크 프레임(MF)의 개구영역(OA)에 대응하여 배치될 수 있다. 한편, 제1마스크(M1)는 스테인리스 스틸, 인바(invar), 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 등으로 제조될 수 있다.
제2마스크(M2)는 제1마스크(M1) 상에 배치될 수 있다. 이 때, 제2마스크(M2)는 마스크 프레임(MF)과 연결되도록 배치될 수 있다. 즉, 제2마스크(M2)의 평면상 크기는 제1마스크(M1)의 평면상 크기보다 클 수 있다. 따라서, 제2마스크(M2)의 중앙부는 제1마스크(M1)와 대응하도록 배치되며, 제2마스크(M2)의 단부는 마스크 프레임(MF) 상에 배치될 수 있다. 제2마스크(M2)는 메쉬부(MP) 및 차폐부(SP)를 포함할 수 있다.
메쉬부(MP)는 그물 형상 또는 격자 형상일 수 있다. 일 실시예에서, 메쉬부(MP)는 X 방향으로 연장된 복수개의 제1와이어(W1)들과 X 방향과 교차하는 Y 방향으로 연장된 복수개의 제2와이어(W2)들이 서로 교차하도록 배치될 수 있다. 따라서, 복수개의 제1와이어(W1)들과 복수개의 제2와이어(W2)들은 복수의 메쉬홀(MH)들을 정의할 수 있다. 복수개의 제1와이어(W1)들 및 복수개의 제2와이어(W2)들은 스테인리스 스틸, 인바(invar), 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 등으로 제조될 수 있다.
복수의 메쉬홀(MH)들의 형상은 다양할 수 있다. 예를 들어, 복수의 메쉬홀(MH)들은 사각형 형상일 수 있다. 다른 예로, 복수의 메쉬홀(MH)들은 평행사변형 또는 마름모 형상일 수 있다. 또 다른 예로, 복수의 메쉬홀(MH)들은 다각형 형상일 수 있다.
차폐부(SP)는 메쉬부(MP)의 일부를 차폐할 수 있다. 차폐부(SP)는 개구부(OP) 내에 대응하도록 배치될 수 있다. 이 때, 제1마스크(M1)가 복수개의 개구부(OP)들을 포함하는 경우, 차폐부(SP) 또한 복수개로 구비될 수 있다. 따라서, 복수개의 개구부(OP)들에 복수개의 차폐부(SP)들이 각각 대응하여 배치될 수 있다.
차폐부(SP)는 메쉬홀(MH)을 차폐할 수 있다. 일 실시예에서, 차폐부(SP)는 복수의 메쉬홀(MH) 중 적어도 하나를 전체적으로 차폐하고, 복수의 메쉬홀(MH) 중 다른 하나를 적어도 일부 차폐할 수 있다. 다른 실시예에서, 차폐부(SP)는 인접한 복수의 메쉬홀(MH)을 전체적으로 차폐할 수 있다. 또한, 차폐부(SP)는 복수개의 제1와이어(W1)들 및 복수개의 제2와이어(W2)와 연결될 수 있다. 따라서, 차폐부(SP)는 복수개의 제1와이어(W1)들 및 복수개의 제2와이어(W2)들에 의해 안정적으로 지지될 수 있다.
차폐부(SP)의 형상은 다양할 수 있다. 예를 들어, 차폐부(SP)는 평면상 원형 또는 타원형 형상일 수 있다. 다른 예로, 차폐부(SP)는 평면 상 다각형 형상일 수 있다. 그러나, 이하에서는 차폐부(SP)의 형상이 평면상 원형인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
차폐부(SP)는 스테인리스 스틸, 인바(invar), 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 등으로 형성될 수 있다. 이 때, 일 실시예에서, 차폐부(SP)는 메쉬부(MP)와 동일한 재질로 형성될 수 있다. 다른 실시예로, 차폐부(SP)는 메쉬부(MP)와 상이한 재질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 메쉬부(MP)는 스테인리스 스틸, 인바(invar), 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 중 하나로 형성되고, 차폐부(SP)는 스테인리스 스틸, 인바(invar), 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 중 다른 하나로 형성될 수 있다. 차폐부(SP)는 전주도금(electro-forming)법으로 형성될 수 있다. 이에 대해서는 후술하기로 한다.
기판지지부(DSS)는 제2마스크(M2) 상에서 디스플레이 기판(DS)을 지지할 수 있다. 기판지지부(DSS)는 복수개로 구비될 수 있다. 예를 들어, 복수개의 기판지지부(DSS)들은 마스크 프레임(MF) 상에 서로 이격되어 배치될 수 있다. 따라서, 복수개의 기판지지부(DSS)들은 디스플레이 기판(DS)을 안정적으로 지지할 수 있다.
본 실시예에서, 기판지지부(DSS)는 디스플레이 기판(DS)과 제2마스크(M2)를 이격시킬 수 있다. 이 때, 기판지지부(DSS)의 높이(d)는 적어도 600㎛ 이상일 수 있다. 따라서, 디스플레이 기판(DS)과 제2마스크(M2) 사이의 간격을 적어도 600㎛ 이상 이격시킬 수 있다. 기판지지부(DSS)의 최대 높이(d)는 차폐부(SP)의 크기에 따라 변경될 수 있다.
기판지지부(DSS)는 제2마스크(M2)를 마스크 프레임(MF)에 고정시킬 수 있다. 제2마스크(M2)는 메쉬부(MP)를 포함하고 있기 때문에, 제2마스크(M2)를 인장하여 마스크 프레임(MF)에 고정시켜도 그 접합 강도가 떨어질 수 있다. 본 실시예에서는, 기판지지부(DSS) 및 마스크 프레임(MF) 사이에 제2마스크(M2)가 고정되도록 배치되기 때문에 제2마스크(M2) 및 마스크 프레임(MF)의 접합 강도가 증가할 수 있다. 일 실시예에서, 기판지지부(DSS), 제2마스크(M2), 및 마스크 프레임(MF)은 용접하여 연결될 수 있다. 예를 들어, 기판지지부(DSS)를 제2마스크(M2) 상에 배치한 후, 기판지지부(DSS)의 일부를 녹일 수 있다. 이 때, 녹은 기판지지부(DSS)의 일부는 기판지지부(DSS), 제2마스크(M2), 및 마스크 프레임(MF)을 서로 이어붙일 수 있다.
일 실시예에서, 기판지지부(DSS)는 마스크 프레임(MF)을 따라 배치될 수 있다. 예를 들어, 기판지지부(DSS)는 개구영역(OA)과 이격되어 마스크 프레임(MF)을 따라 X 방향 및 Y 방향 중 적어도 한 방향으로 연장되어 배치될 수 있다. 이하에서는 기판지지부(DSS)가 마스크 프레임(MF)을 따라 Y 방향으로 연장된 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
일 실시예에서, 기판지지부(DSS)의 길이는 제2마스크(M2)의 폭 보다 클 수 있다. 예를 들어, 기판지지부(DSS)의 Y 방향으로의 연장된 길이는 제2마스크(M2)의 Y 방향으로의 폭 보다 클 수 있다. 따라서, 기판지지부(DSS) 중 적어도 일부는 마스크 프레임(MF)에 직접 연결될 수 있다.
기판지지부(DSS), 제2마스크(M2), 마스크 프레임(MF)은 서로 연결될 수 있다. 예를 들어, 기판지지부(DSS) 및 제2마스크(M2)가 연결되고, 제2마스크(M2) 및 마스크 프레임(MF)이 연결되며, 기판지지부(DSS) 및 마스크 프레임(MF) 또한 연결될 수 있다. 이러한 경우, 마스크 프레임(MF), 제2마스크(M2), 및 기판지지부(DSS) 중 하나는 마스크 프레임(MF), 제2마스크(M2), 및 기판지지부(DSS) 중 다른 하나를 고정하고 있기 때문에, 강한 접합 강도를 확보할 수 있다.
상기와 같이 본 발명의 마스크 어셈블리(M)는 메쉬부(MP) 및 차폐부(SP)를 포함하는 제2마스크(M2)를 포함할 수 있다. 따라서, 제2마스크(M2)의 차폐부(SP)는 메쉬부(MP)에 의해 안정적으로 지지될 수 있다. 또한, 차폐부(SP)는 증착 물질이 디스플레이 기판(DS)에 증착되지 않도록 할 수 있다. 예를 들어, 디스플레이 기판(DS)에 대향전극홀을 포함하는 대향전극을 형성하는 경우, 차폐부(SP)는 대향전극홀에 대응하여 대향전극을 형성하는 증착물질이 증착되지 않도록 할 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예로 제조된 표시 장치는 이미지를 표시하는 표시영역 내에 대향전극홀에 대응하는 투과영역을 포함할 수 있으며, 상기 투과영역에서 광투과도가 향상될 수 있다.
본 발명의 마스크 어셈블리(M)는 디스플레이 기판(DS)을 지지하며 디스플레이 기판(DS)을 제2마스크(M2)로부터 이격시키는 기판지지부(DSS)를 포함할 수 있다. 본 실시예와 다르게, 차폐부(SP)가 제2마스크(M2)의 개구부(OP) 내에서 연장된 리브 등으로 차폐부(SP)를 고정하는 경우, 상기 리브로 인해 증착물질이 디스플레이 기판(DS)에 균일하게 증착될 수 없다. 따라서, 리브를 포함하는 표시 장치의 제조장치로 제조된 표시 장치 중 이미지를 표시하는 표시영역에는 암선이 시인될 수 있다. 본 발명의 실시예는, 차폐부(SP)를 메쉬부(MP)로 고정할 수 있으며, 디스플레이 기판(DS)을 제2마스크(M2)로부터 이격시키는 기판지지부(DSS)를 포함할 수 있다. 이러한 경우, 증착 물질이 메쉬부(MP)의 제1와이어(W1) 및 제2와이어(W2)에 의해 일부 차폐되더라도 쉐도우(shadow) 현상으로 인해 디스플레이 기판(DS) 중 이미지를 표시하는 표시영역에 균일하게 증착될 수 있다.
도 4는 디스플레이 기판(DS)과 제2마스크(M2) 사이의 간격에 따른 대향전극 증착 패턴을 도시한 실험예이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 제1와이어(W1)의 두께 및/또는 제2와이어(W2)의 두께가 11.4㎛ 내지 29.1㎛ 이고, 메쉬홀(MH)의 최대폭이 56.8㎛ 인 경우에 디스플레이 기판(DS)과 제2마스크(M2) 사이의 간격에 따른 대향전극 증착 패턴을 도시한 것이다.
제2마스크(M2) 및 디스플레이 기판(DS) 사이의 간격이 600㎛ 이상인 경우, 메쉬부(MP)로 인한 메쉬 패턴이 시인되지 않고, 대향전극이 디스플레이 기판(DS) 전면에 균일하게 증착될 수 있음을 확인할 수 있다. 이 때, 대향전극이 투명층인 경우 또는 반투명층인 경우 모두 디스플레이 기판(DS) 전면에 균일하게 증착됨을 실험예로 확인할 수 있다.
한편, 차폐부(SP)의 크기(예를 들어, 직경)는 상기 쉐도우 현상을 고려하여 증착 물질이 증착되지 않는 상기 투과영역보다 더 크게 구비될 필요가 있으며, 제2마스크(M2) 및 디스플레이 기판(DS) 사이의 최대 간격 또한, 차폐부(SP)의 크기를 고려하여 설정할 필요가 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 어셈블리(M)를 도시한 평면도이다.
도 5를 참조하면, 마스크 어셈블리(M-1)는 개구영역(OA-1)을 포함하는 마스크 프레임(MF-1), 마스크 프레임(MF-1)에 배치되며, 개구부를 포함하는 제1마스크(M1-1), 제1마스크(M1-1) 상에 배치되며, 그물 형상의 메쉬부(MP-1) 및 메쉬부(MP-1)의 일부를 차폐하는 차폐부(SP-1)를 포함하는 제2마스크(M2-1), 및 제2마스크(M2-1) 상에서 디스플레이 기판을 지지하며, 디스플레이 기판과 제2마스크(M2-1)를 이격시키는 기판지지부(DSS-1)를 포함할 수 있다. 이 때, 마스크 프레임(MF-1), 제1마스크(M1-1), 제2마스크(M2-1), 메쉬부(MP-1), 및 차폐부(SP-1)는 도 3의 마스크 프레임(MF), 제1마스크(M1), 제2마스크(M2), 메쉬부(MP), 및 차폐부(SP)와 동일 유사한 바 상세한 설명은 생략하기로 한다.
기판지지부(DSS-1)는 제2마스크(M2-1)를 마스크 프레임(MF-1)에 고정시킬 수 있다. 기판지지부(DSS-1) 및 마스크 프레임(MF-1) 사이에 제2마스크(M2-1)가 고정되도록 배치되기 때문에 제2마스크(M2-1) 및 마스크 프레임(MF-1)의 접합 강도가 증가할 수 있다.
본 실시예에서, 기판지지부(DSS-1)는 제1기판지지부(DSSa) 및 제2기판지지부(DSSb)를 포함할 수 있다. 이 때, 제1기판지지부(DSSa)는 개구영역(OA-1)과 이격되어 마스크 프레임(MF-1)을 따라 배치되며, 제2기판지지부(DSSb)는 개구영역(OA-1)을 가로지르며 배치될 수 있다. 제2기판지지부(DSSb)는 개구영역(OA-1)을 가로지르도록 X 방향 및 Y 방향 중 적어도 한 방향으로 연장되어 배치될 수 있다. 이하에서는 제2기판지지부(DSSb)가 Y 방향을 따라 연장된 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
일 실시예에서, 제1기판지지부(DSSa)는 복수개로 구비될 수 있으며, 복수개의 제1기판지지부(DSSa)들은 서로 이격되어 마스크 프레임(MF-1)을 따라 배치될 수 있다. 이 때, 제2기판지지부(DSSb)는 복수개의 제1기판지지부(DSSa)들 사이에 배치될 수 있다. 따라서, 디스플레이 기판(DS)의 자중에 의한 휨을 방지할 수 있다.
이하 상기와 같은 마스크 어셈블리(M)의 제조방법에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 6, 도 7, 및 도 8a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(M)의 제조방법을 나타낸 평면도이다. 도 8b는 도 8a의 A-A'선에 따른 단면도이다. 도 9a 내지 도 9e는 마스크 어셈블리 중 일부를 도시한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 차폐부(SP)의 제조방법을 나타낸 평면도이다. 도 10는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(M)의 제조방법을 나타낸 평면도이다. 도 6 내지 도 10에 있어서, 도 1 내지 도 3과 동일한 참조부호는 동일부재를 의미하는 바 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 6를 참조하면, 개구영역을 포함하는 마스크 프레임(MF)에 개구부(OP)를 포함하는 제1마스크(M1)를 고정할 수 있다. 이 때, 제1마스크(M1)는 인장되어 마스크 프레임(MF)에 고정될 수 있다.
그 다음, 도 7을 참조하면, 제1마스크(M1) 상에 그물 형상의 메쉬부(MP)를 포함하는 제2마스크(M2)를 배치할 수 있다. 이 때, 일 실시예에서, 제2마스크(M2)는 마스크 프레임(MF)에 고정될 수 있다. 예를 들어, 제2마스크(M2)는 인장되어 마스크 프레임(MF)에 고정될 수 있다. 다른 실시예에서, 제2마스크(M2)는 기판지지부(DSS)와 함께 마스크 프레임(MF)에 고정될 수 있다.
그 다음, 도 8a 및 도 8b를 참조하면, 제2마스크(M2) 상에 기판지지부(DSS)를 고정할 수 있다. 이 때, 마스크 프레임(MF)의 두께(MFt)는 제1마스크(M1)의 두께(M1t) 또는 제2마스크(M2)의 두께(M2t) 보다 클 수 있다.
기판지지부(DSS)는 마스크 프레임(MF)에 대응하여 고정될 수 있다. 일 실시예에서, 기판지지부(DSS)는 마스크 프레임(MF)의 개구영역(OA)과 이격되어 마스크 프레임(MF) 상에 고정될 수 있다. 다른 실시예에서, 기판지지부(DSS)는 복수개로 구비되고, 복수개의 기판지지부(DSS)들 중 하나는 마스크 프레임(MF)의 개구영역(OA)을 가로지르며 고정될 수 있다.
일 실시예에서, 기판지지부(DSS)의 길이는 제2마스크(M2)의 폭 보다 클 수 있다. 예를 들어, 기판지지부(DSS)의 Y 방향으로의 연장된 길이는 제2마스크(M2)의 Y 방향으로의 폭 보다 클 수 있다. 따라서, 기판지지부(DSS) 중 적어도 일부는 마스크 프레임(MF)에 직접 연결될 수 있다.
일 실시예에서, 기판지지부(DSS), 제2마스크(M2), 및 마스크 프레임(MF)은 서로 연결될 수 있다. 예를 들어, 기판지지부(DSS) 및 제2마스크(M2)가 연결되고, 제2마스크(M2) 및 마스크 프레임(MF)이 연결되며, 기판지지부(DSS) 및 마스크 프레임(MF) 또한 연결될 수 있다. 이러한 경우, 마스크 프레임(MF), 제2마스크(M2), 및 기판지지부(DSS) 중 하나는 마스크 프레임(MF), 제2마스크(M2), 및 기판지지부(DSS) 중 다른 하나를 고정하고 있기 때문에, 강한 접합 강도를 확보할 수 있다.
일 실시예에서, 기판지지부(DSS), 제2마스크(M2), 마스크 프레임(MF)은 용접하여 고정될 수 있다. 예를 들어, 기판지지부(DSS)를 제2마스크(M2) 상에 배치한 후, 기판지지부(DSS)의 일부를 녹일 수 있다. 이 때, 녹은 기판지지부(DSS)의 일부는 기판지지부(DSS), 제2마스크(M2), 및 마스크 프레임(MF)을 서로 이어붙일 수 있다.
그 다음, 메쉬부(MP)의 일부를 차폐하는 차폐부(SP)를 형성할 수 있다. 일 실시예에서, 제조중인 마스크 어셈블리(M)를 반전시킬 수 있다. 예를 들어, 제2마스크(M2)의 상면(UM2)이 Z 방향에서 -Z 방향을 바라보게 변경되고, 제2마스크(M2)의 하면(DM2)이 -Z 방향에서 Z 방향을 바라보게 변경될 수 있다.
그 다음, 일 실시예에서, 차폐부(SP)는 전주도금(electro-forming)법으로 형성될 수 있다. 전주도금법은 전기 도금의 원리를 이용하여 금속의 형태를 만드는 기법이다.
도 9a를 참조하면, 먼저 제2마스크(M2)에 포토레지스트(PR)를 형성할 수 있다. 포토레지스트(PR)는 포지티브(Positive)형 또는 네거티브(Negative)형 중 어느 하나로 선택되어 제2마스크(M2)에 도포될 수 있다. 구체적으로, 포지티브형의 포토레지스트(PR)는 노광(Light exposure)된 영역이 이후 현상(Developing) 과정에서 식각되며, 반대로 네거티브형의 포토레지스트(PR)는 노광된 영역을 제외한 나머지 영역이 식각되는 특성이 있다. 이하에서는 포토레지스트(PR)가 포지티브형인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
포토레지스트(PR)는 포토레지스트액(미도시)을 제2마스크(M2)에 스핀 코팅(Spin-coating), 스프레이 또는 담금 등의 다양한 방법으로 도포함으로써 형성될 수 있다.
또한, 포토레지스트(PR)가 제2마스크(M2)에 도포하기 전에 포토레지스트(PR)가 도포된 제2마스크(M2)의 상면을 연마(Polishing)하는 공정이 추가적으로 실시될 수 있다.
그 다음, 도 9b를 참조하면, 제2마스크(M2)에 대응하도록 노광마스크(PM)를 배치하여 포토레지스트(PR)의 적어도 일부를 노광할 수 있다. 노광마스크(PM)는 노광개구부(PMOP)를 포함할 수 있으며, 포토레지스트(PR)는 노광개구부(PMOP)에 대응되는 부분이 노광될 수 있다. 이 때, 노광개구부(PMOP)에 대응되는 부분은 차폐부가 형성되는 부분일 수 있다.
그 다음, 도 9c를 참조하면, 포토레지스트(PR)를 현상할 수 있다. 따라서, 포토레지스트(PR)의 일부가 제거될 수 있다. 포토레지스트(PR)는 포지티브형의 포토레지스트액을 이용한 것으로, 현상 공정을 거치면, 포토레지스트(PR) 중 노광된 영역이 제거될 수 있다. 따라서, 포토레지스트개구(PROP)가 형성될 수 있다.
그 다음, 도 9d를 참조하면, 전주도금(electro-forming) 방식을 이용해 차폐부(SP)가 형성될 수 있다. 차폐부(SP)는 스테인리스 스틸, 인바(invar), 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 등으로 형성될 수 있다. 이 때, 일 실시예에서, 차폐부(SP)는 메쉬부(MP)와 동일한 재질로 형성될 수 있다. 다른 실시예로, 차폐부(SP)는 메쉬부(MP)와 상이한 재질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 메쉬부(MP)는 스테인리스 스틸, 인바(invar), 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 중 하나로 형성되고, 차폐부(SP)는 는 스테인리스 스틸, 인바(invar), 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 중 다른 하나로 형성될 수 있다.
그 다음, 도 9e를 참조하면, 남아있는 포토레지스트(PR)를 제거할 수 있다.
따라서, 도 10를 참조하면, 메쉬부(MP)의 일부를 차폐하는 차폐부(SP)를 포함하는 마스크 어셈블리(M)를 형성할 수 있다.
다른 실시예로, 제2마스크(M2)에 레이저를 조사하는 레이저 패터닝(laser patterning) 방법으로 메쉬부(MP) 및 차폐부(SP)를 형성할 수 있다. 구체적으로, 메쉬부(MP)에 대응하는 부분에 레이저를 조사하고, 차폐부(SP)에 대응하는 부분에 레이저를 조사하지 않도록 하여 마스크 어셈블리(M)를 형성할 수도 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(1000)로 표시 장치(1)를 제조할 수 있다. 먼저, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(1000)로 제조된 표시 장치(1)에 대해 상세히 설명한 후, 표시 장치(1)의 제조방법에 대해 설명하기로 한다.
표시 장치(1)는 화상을 표시하는 장치로서, 게임기, 멀티미디어기기, 초소형 PC와 같이 휴대가 가능한 모바일 기기일 수 있다. 후술할 표시 장치(1)는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전기영동 표시 장치(Electrophoretic Display), 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display), 무기 EL 표시 장치(Inorganic Light Emitting Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 표면 전도 전자 방출 표시 장치(Surface-conduction Electron-emitter Display), 양자점 표시 장치(Quantum dot display), 플라즈마 표시 장치(Plasma Display), 음극선관 표시 장치(Cathode Ray Display) 등을 포함할 수 있다. 이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치(1)로서, 유기 발광 표시 장치를 예로 하여 설명하지만, 본 발명의 실시예들은 전술한 바와 같은 다양한 방식의 표시 장치가 사용될 수 있다.
도 11은 표시 장치의 제조장치를 이용하여 제조된 표시 장치(1)의 사시도이다.
도 11을 참조하면, 표시 장치(1)는 제1영역(A1), 제2영역(A2), 및 제3영역(A3)을 포함할 수 있다.
제1영역(A1)은 표시 장치(1)에 다양한 기능을 부여할 수 있는 컴포넌트가 배치되는 영역일 수 있다. 예컨대, 컴포넌트가 빛을 이용하는 센서, 카메라 등을 포함하는 경우, 제1영역(A1)은 센서의 빛 또는 카메라로 진행하는 빛이 투과할 수 있는 투과영역에 해당한다.
제2영역(A2)은 제1영역(A1)을 전체적으로 둘러쌀 수 있다. 제2영역(A2)은 복수의 화소들, 예컨대 화소들의 어레이가 배치될 수 있으며, 제2영역(A2)은 화소들의 어레이를 통해 이미지를 표시할 수 있다. 제2영역(A2)은 이미지를 표시할 수 있는 표시영역에 해당한다.
제3영역(A3)은 제2영역(A2)을 둘러싸며 배치될 수 있다. 제3영역(A3)은 화소들이 배치되지 않는 비표시영역으로, 다양한 종류의 배선들 및 내장 회로 등이 배치될 수 있다.
도 11에서는 제1영역(A1)이 표시 장치(1)의 우 상측에 배치된 것을 도시하고 있으나, 다른 실시예에서, 표시 장치(1)의 폭 방향(예, ±X 방향)을 따라 제2영역(A2)의 중심 부분에 배치되거나, 좌 상측에 배치될 수 있다. 또한, 제1영역(A1)은 표시 장치(1)의 길이 방향(예, ±Y 방향)을 따라 상측에 배치되거나, 가운데 배치되거나, 하측에 배치되는 것과 같이 다양한 위치에 배치될 수 있다.
도 11은 표시 장치(1)가 하나의 제1영역(A1)을 포함하는 것을 도시하고 있으나, 다른 실시예에서 표시 장치(1)는 복수의 제1영역(A1)들을 포함할 수 있다.
도 12은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 간략하게 나타낸 단면도로, 도 11의 B-B'선에 대응할 수 있다.
도 12을 참조하면, 표시 장치는 컴포넌트(COMP), 기판(100), 버퍼층(111), 복수의 화소(P1, P2)들, 및 절연층(IL)을 포함할 수 있다. 절연층(IL)은 무기절연층(IIL) 및 평탄화층(117)을 포함할 수 있다.
컴포넌트(COMP)는 제1영역(A1)에 대응하여 배치될 수 있다. 컴포넌트(COMP)는 빛 또는 음향을 이용하는 전자요소일 수 있다. 예컨대, 전자요소는 근접센서와 같이 거리를 측정하는 센서, 사용자의 신체의 일부(예, 지문, 홍채, 얼굴 등)을 인식하는 센서, 빛을 출력하는 소형 램프이거나, 화상을 촬상하는 이미지 센서(예, 카메라) 등일 수 있다. 빛을 이용하는 전자요소는, 가시광, 적외선광, 자외선광 등 다양한 파장 대역의 빛을 이용할 수 있다. 음향을 이용하는 전자요소는, 초음파 또는 다른 주파수 대역의 음향을 이용할 수 있다.
일부 실시예에서 컴포넌트(COMP)는 발광부와 수광부와 같은 서브-컴포넌트들을 포함할 수 있다. 발광부와 수광부는 일체화된 구조이거나, 물리적으로 분리된 구조로 한 쌍의 발광부와 수광부가 하나의 컴포넌트(COMP)를 이룰 수 있다.
기판(100)은 고분자 수지를 포함하는 베이스층 및 무기절연물을 포함하는 배리어층을 포함할 수 있다. 예를 들어, 기판(100)은 순차적으로 적층된 제1베이스층(101), 제1배리어층(102), 제2베이스층(103), 및 제2배리어층(104)을 포함할 수 있다. 제1베이스층(101)과 제2베이스층(103)은 폴리에테르술폰(polyethersulfone), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리에테르 이미드(polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(TAC), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate) 등을 포함할 수 있다. 제1배리어층(102)과 제2배리어층(104)은 실리콘옥사이드, 실리콘옥시나이트라이드, 및/또는 실리콘나이트라이드와 같은 무기절연물을 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 기판(100)은 글라스를 포함할 수 있다.
버퍼층(111)은 기판(100) 상에 배치될 수 있다. 버퍼층(111)은 기판(100)의 하부로부터 이물, 습기 도는 외기의 침투를 감소 또는 차단할 수 있다. 버퍼층(111)은 산화물 또는 질화물과 같은 무기물, 또는 유기물, 또는 유무기복합물을 포함할 수 있으며, 무기물과 유기물의 단층 또는 다층 구조로 이루어질 수 있다.
복수의 화소(P1, P2)들은 제2영역(A2)에 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1화소(P1) 및 제2화소(P2)는 제1영역(A1)을 사이에 두고 제2영역(A2)에 배치될 수 있다. 제1화소(P1) 및 제2화소(P2)는 각각 화소회로(PC) 및 유기발광다이오드(OLED)를 포함할 수 있다. 이 때, 제1화소(P1) 및 제2화소(P2)는 동일 유사한 바, 제1화소(P1)를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
박막트랜지스터(TFT) 및 스토리지 커패시터(Cst)를 포함하는 화소회로(PC)는 버퍼층(111) 상에 배치될 수 있다. 박막트랜지스터(TFT)는 반도체층(Act1), 반도체층(Act1)의 채널영역과 중첩하는 게이트전극(G1), 및 반도체층(Act1)의 소스영역 및 드레인영역에 각각 연결된 소스전극(S1) 및 드레인전극(D1)을 포함할 수 있다. 반도체층(Act1)과 게이트전극(G1) 사이에는 게이트절연층(112)이 개재되고, 게이트전극(G1)과 소스전극(S1), 또는 게이트전극(G1)과 드레인전극(D1) 사이에는 제1층간절연층(113) 및 제2층간절연층(115)이 배치될 수 있다.
스토리지 커패시터(Cst)는 박막트랜지스터(TFT)와 중첩하여 배치될 수 있다. 스토리지 커패시터(Cst)는 서로 중첩하는 제1축전판(CE1)과 제2축전판(CE2)을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 박막트랜지스터(TFT)의 게이트전극(G1)이 스토리지 커패시터(Cst)의 제1축전판(CE1)을 포함할 수 있다. 제1축전판(CE1)과 제2축전판(CE2) 사이에 제1층간절연층(113)이 배치될 수 있다.
반도체층(Act1)은 폴리 실리콘을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 반도체층(Act1)은 비정질 실리콘(amorphous silicon)을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 반도체층(Act1)은 인듐(In), 갈륨(Ga), 스태늄(Sn), 지르코늄(Zr), 바나듐(V), 하프늄(Hf), 카드뮴(Cd), 게르마늄(Ge), 크롬(Cr), 티타늄(Ti) 및 아연(Zn)을 포함하는 군에서 선택된 적어도 하나 이상의 물질의 산화물을 포함할 수 있다. 반도체층(Act1)은 채널영역과 불순물이 도핑된 소스 영역 및 드레인 영역을 포함할 수 있다.
게이트절연층(112)은 실리콘옥사이드, 실리콘옥시나이트라이드, 실리콘나이트라이드와 같은 무기 절연물을 포함할 수 있으며, 전술한 물질을 포함하는 단일 층 또는 다층 구조일 수 있다.
게이트전극(G1) 또는 제1축전판(CE1)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및/또는 티타늄(Ti) 과 같은 저저항의 도전 물질을 포함할 수 있으며, 전술한 물질로 이루어진 단일 층 또는 다층 구조일 수 있다.
제1층간절연층(113)은 실리콘옥사이드, 실리콘옥시나이트라이드, 실리콘나이트라이드와 같은 무기 절연물을 포함할 수 있으며, 전술한 물질을 포함하는 단일 층 또는 다층 구조일 수 있다.
제2축전판(CE2)은 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 및/또는 구리(Cu)를 포함할 수 있으며, 전술한 물질을 포함하는 단일 층 또는 다층 구조일 수 있다.
제2층간절연층(115)은 실리콘옥사이드, 실리콘옥시나이트라이드, 실리콘나이트라이드와 같은 무기 절연물을 포함할 수 있으며, 전술한 물질을 포함하는 단일 층 또는 다층 구조일 수 있다.
소스전극(S1) 또는 드레인전극(D1)은 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 및/또는 구리(Cu)를 포함할 수 있으며, 전술한 물질을 포함하는 단일 층 또는 다층 구조일 수 있다. 예컨대, 소스전극(S1) 또는 드레인전극(D1)은 티타늄층/알루미늄층/티타늄층의 3층 구조일 수 있다.
평탄화층(117)은 그 아래에 배치된 적어도 하나의 무기절연층, 예컨대 게이트절연층(112), 제1층간절연층(113), 및 제2층간절연층(115)과 다른 물질을 포함할 수 있다. 평탄화층(117)은 유기절연물을 포함할 수 있다. 평탄화층(117)은 아크릴, BCB(Benzocyclobutene), 폴리이미드(polyimide) 또는 HMDSO(Hexamethyldisiloxane) 등의 유기 절연물을 포함할 수 있다. 평탄화층(117)의 유기절연물은 감광성 유기절연물일 수 있다.
화소전극(221)은 평탄화층(117) 상에 배치될 수 있다. 화소전극(221)은 평탄화층(117)에 형성된 컨택홀을 통해 박막트랜지스터(TFT)와 전기적으로 연결될 수 있다.
화소전극(221)은 은(Ag), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr) 또는 이들의 화합물을 포함하는 반사막을 포함할 수 있다. 화소전극(221)은 전술한 물질을 포함하는 반사막, 및 반사막의 위 또는/및 아래에 배치된 투명도전막을 포함할 수 있다. 투명도전막은 인듐틴옥사이드(ITO; indium tin oxide), 인듐징크옥사이드(IZO; indium zinc oxide), 징크옥사이드(ZnO; zinc oxide), 인듐옥사이드(In2O3 indium oxide), 인듐갈륨옥사이드(IGO; indium gallium oxide) 또는 알루미늄징크옥사이드(AZO; aluminum zinc oxide) 등을 포함할 수 있다. 일 실시예로, 화소전극(221)은 순차적으로 적층된, ITO층/Ag층/ITO층의 3층 구조를 가질 수 있다.
화소전극(221) 상에는 화소정의막(119)이 배치될 수 있다. 화소정의막(119)은 화소전극(221)의 에지를 커버하며 화소전극(221)의 중심 부분에 중첩하는 개구(119OP)를 포함할 수 있다. 화소정의막(119)은 유기절연물 및/또는 무기절연물을 포함할 수 있다. 개구(119OP)는 유기발광다이오드(OLED)에서 방출되는 빛의 발광영역을 정의할 수 있다.
중간층(222)은 화소전극(221)과 중첩하는 발광층(222b)을 포함한다. 발광층(222b)은 유기물을 포함할 수 있다. 발광층(222b)은 소정의 색상의 빛을 방출하는 고분자 유기물 또는 저분자 유기물을 포함할 수 있다. 발광층(222b)은 전술한 바와 같이 마스크를 이용한 증착 공정을 통해 형성될 수 있다.
발광층(222b)의 아래 및/또는 위에는 각각 제1기능층(222a) 및 제2기능층(222c)이 배치될 수 있다.
제1기능층(222a)은 단층 또는 다층일 수 있다. 예컨대 제1기능층(222a)이 고분자 물질로 형성되는 경우, 제1기능층(222a)은 단층구조인 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer)으로서, 폴리에틸렌 디히드록시티오펜(PEDOT: poly-(3,4)-ethylene-dihydroxy thiophene)이나 폴리아닐린(polyaniline)으로 형성할 수 있다. 제1기능층(222a)이 저분자 물질로 형성되는 경우, 제1기능층(222a)은 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer)과 홀 수송층(HTL)을 포함할 수 있다.
제2기능층(222c)은 선택적일 수 있다. 예컨대, 제1기능층(222a)과 발광층(222b)을 고분자 물질로 형성하는 경우, 제2기능층(222c)을 형성하는 것이 바람직할 수 있다. 제2기능층(222c)은 단층 또는 다층일 수 있다. 제2기능층(222c)은 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer) 및/또는 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer)을 포함할 수 있다.
대향전극(223)은 비교적 일함수가 낮은 도전성 물질로 이루어질 수 있다. 예컨대, 대향전극(223)은 은(Ag), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 리튬(Li), 칼슘(Ca) 또는 이들의 합금 등을 포함하는 (반)투명층을 포함할 수 있다. 또는, 대향전극(223)은 전술한 물질을 포함하는 (반)투명층 상에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3과 같은 층을 더 포함할 수 있다. 일 실시예로, 대향전극(223)은 은(Ag) 및 마그네슘(Mg)을 포함할 수 있다.
순차적으로 적층된 화소전극(221), 중간층(222), 및 대향전극(223)의 적층 구조는 발광 다이오드, 예컨대 유기발광다이오드(OLED)를 형성할 수 있다.
캡핑층(224)은 대향전극(223) 상에 배치될 수 있다. 또한 캡핑층(224) 상에는 광추출층(225)이 배치될 수 있다. 캡핑층(224) 및 광추출층(225)은 유기발광다이오드(OLED)에서 발광하는 빛의 추출을 향상시키기 위한 층들일 수 있다. 캡핑층(224)은 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(Alq3), ZnSe, 2, 5-bis(6'-(2',2''-bipyidyl))-1, 1-dimethyl-3,4-diphenylsilole, 4'-bis[N-(1-napthyl)-N-phenyl-amion] biphenyl (a-NPD), N,N'-diphenyl-N,N'-bis(3-methylphenyl)-1,1'biphenyl-4,4'-diamine (TPD), 1,1'-bis(di-4-tolylaminophenyl) cyclohexane (TAPC) 로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다. 광추출층(225)은 CaF2, NaF, Na3AlF6, SiOX, AlF3, LiF, MgF2, 및 IF3로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다.
봉지층은 대향전극(223) 상에 배치될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 봉지층은 적어도 하나의 무기봉지층 및 적어도 하나의 유기봉지층을 포함할 수 있다.
적어도 하나의 무기봉지층은 알루미늄산화물, 티타늄산화물, 탄탈륨산화물, 하프늄산화물, 징크산화물, 실리콘산화물, 실리콘질화물, 실리콘산질화물 중 하나 이상의 무기물을 포함할 수 있다. 적어도 하나의 유기봉지층은 폴리머(polymer)계열의 물질을 포함할 수 있다. 폴리머 계열의 소재로는 아크릴계 수지, 에폭시계 수지, 폴리이미드 및 폴리에틸렌 등을 포함할 수 있다. 일 실시예로, 유기봉지층(32)은 아크릴레이트(acrylate)를 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 봉지층은 기판(100) 및 투명한 부재인 상부기판이 밀봉부재로 결합되어 기판(100)과 상부기판 사이의 내부공간이 밀봉되는 구조일 수 있다. 이 때 내부공간에는 흡습제나 충진재 등이 위치할 수 있다. 밀봉부재는 실런트 일 수 있으며, 다른 실시예에서, 밀봉부재는 레이저에 의해서 경화되는 물질로 구성될 수 있다. 예를 들어, 밀봉부재는 프릿(frit)일 수 있다. 구체적으로 밀봉부재는 유기 실런트인 우레탄계 수지, 에폭시계 수지, 아크릴계 수지, 또는 무기 실런트인 실리콘 등으로 이루어질 수 있다. 우레탄계 수지로서는, 예를 들어, 우레탄 아크릴레이트 등을 사용할 수 있다. 아크릴계 수지로는, 예를 들어, 부틸아크릴레이트, 에틸헬실아크레이트 등을 사용할 수 있다. 한편, 밀봉부재는 열에 의해서 경화되는 물질로 구성될 수 있다.
봉지층 상에는 터치전극들을 포함하는 터치전극층(미도시)이 배치되고, 터치전극층 상에는 광학적 기능층(미도시)이 배치될 수 있다. 터치전극층은 외부의 입력, 예컨대 터치 이벤트에 따른 좌표정보를 획득할 수 있다. 광학적 기능층은 외부로부터 표시 장치(1)를 향해 입사하는 빛(외부광)의 반사율을 감소시킬 수 있고, 및/또는 표시 장치(1)에서 방출되는 빛의 색 순도를 향상시킬 수 있다. 일 실시예로, 광학적 기능층은 위상지연자(retarder) 및 편광자(polarizer)를 포함할 수 있다. 위상지연자는 필름타입 또는 액정 코팅타입일 수 있고, λ/2 위상지연자 및/또는 λ/4 위상지연자를 포함할 수 있다. 편광자 역시 필름타입 또는 액정 코팅타입일 수 있다. 필름타입은 연신형 합성수지 필름을 포함하고, 액정 코팅타입은 소정의 배열로 배열된 액정들을 포함할 수 있다. 위상지연자 및 편광자는 보호필름을 더 포함할 수 있다.
다른 실시예로, 광학적 기능층은 블랙매트릭스와 컬러필터들을 포함할 수 있다. 컬러필터들은 표시 장치(1)의 화소들 각각에서 방출되는 빛의 색상을 고려하여 배열될 수 있다. 컬러필터들 각각은 적색, 녹색, 또는 청색의 안료나 염료를 포함할 수 있다. 또는, 컬러필터들 각각은 전술한 안료나 염료 외에 양자점을 더 포함할 수 있다. 또는, 컬러필터들 중 일부는 전술한 안료나 염료를 포함하지 않을 수 있으며, 산화티타늄과 같은 산란입자들을 포함할 수 있다.
다른 실시예로, 광학적 기능층은 상쇄간섭 구조물을 포함할 수 있다. 상쇄간섭 구조물은 서로 다른 층 상에 배치된 제1 반사층과 제2 반사층을 포함할 있다. 제1 반사층 및 제2 반사층에서 각각 반사된 제1 반사광과 제2 반사광은 상쇄 간섭될 수 있고, 그에 따라 외부광 반사율이 감소될 수 있다.
상기 터치전극층 및 광학적 기능층 사이에는 접착 부재가 배치될 수 있다. 상기 접착 부재는 당 기술분야에 알려진 일반적인 것을 제한 없이 채용할 수 있다. 상기 접착 부재는 감압성 접착제(pressure sensitive adhesive, PSA)일 수 있다.
일 실시예에서, 버퍼층(111), 무기절연층(IIL), 평탄화층(117), 및 화소정의막(119) 중 적어도 하나는 제1영역(A1)에 대응하여 홀을 구비할 수 있다. 일 실시예에서, 버퍼층(111)의 제1홀(111H), 무기절연층(IIL)의 제2홀(IILH), 평탄화층(117)의 제3홀(117H), 및 화소정의막(119)의 제4홀(119H)은 각각 제1영역(A1)에 대응하여 배치될 수 있다. 또한, 제1홀(111H) 내지 제4홀(119H)은 서로 중첩하여 연결될 수 있다. 다른 실시예에서, 버퍼층(111)은 홀을 구비하지 않고 제1영역(A1)에서 연속적으로 배치되고, 제2홀(IILH), 제3홀(117H), 및 제4홀(119H)이 제1영역(A1)에 대응하여 배치될 수 있다. 또 다른 예로, 버퍼층(111), 무기절연층(IIL), 및 평탄화층(117)은 제1영역(A1)에서 연속적으로 배치되고, 제4홀(119H)이 제1영역(A1)에 배치되는 등 다양한 변형이 가능하다.
일부 실시예에서는, 버퍼층(111), 무기절연층(IIL), 평탄화층(117), 및 화소정의막(119)은 제1영역(A1)에서 홀을 구비하지 않고 연속적으로 배치될 수 있다.
본 실시예에서, 표시 장치의 제조장치를 이용해 제조된 표시 장치(1)는 제1기능층홀(222aH), 제2기능층홀(222cH), 대향전극홀(223H), 캡핑층홀(224H), 및 광추출층홀(225H) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 예를 들어, 표시 장치(1)는 제1기능층홀(222aH), 제2기능층홀(222cH), 대향전극홀(223H), 캡핑층홀(224H), 및 광추출층홀(225H)을 구비할 수 있다. 이 때, 제1기능층홀(222aH), 제2기능층홀(222cH), 대향전극홀(223H), 캡핑층홀(224H), 및 광추출층홀(225H)은 각각 제1영역(A1)에 대응하여 배치될 수 있다. 따라서, 컴포넌트(COMP)의 광투과도가 향상될 수 있다.
이하에서는, 제1기능층홀(222aH), 제2기능층홀(222cH), 대향전극홀(223H), 캡핑층홀(224H), 및 광추출층홀(225H)을 형성하는 표시 장치의 제조방법에 대해 상세히 설명하기로 한다. 특히, 대향전극홀(223H)을 형성하는 표시 장치의 제조방법에 대해 상세히 설명하기로 한다.
먼저 도 1의 챔버(1100) 내에 디스플레이 기판(DS)을 배치할 수 있다. 구체적으로, 기판지지부(DSS) 상에 디스플레이 기판(DS)을 안착시킬 수 있다. 이 때, 디스플레이 기판(DS)은 제조중인 표시 장치로 제2기능층(222c)까지 형성된 상태일 수 있다.
그 다음, 챔버(1100) 내부에 배치된 증착원(1300)에 의해 증착 물질(미도시)이 챔버(1100) 내부로 공급될 수 있다. 증착 물질은 대향전극(223)의 원료가 되는 성분을 포함하는 가스일 수 있다.
그 다음, 증착 물질이 증착원(1300)에 대향하도록 배치된 마스크 어셈블리(M)를 통과하여 디스플레이 기판(DS) 상에 증착될 수 있다. 따라서, 디스플레이 기판(DS) 중 차폐부(SH)에 대응하는 부분을 제외하고 증착 물질이 디스플레이 기판(DS)에 균일하게 증착될 수 있다.
따라서, 디스플레이 기판(DS) 상에는 대향전극홀(223H)을 구비한 대향전극(223)이 형성될 수 있다. 이 때, 대향전극홀(223H)은 제1화소(P1) 및 제2화소(P2) 사이에 형성될 수 있다.
그 다음, 컴포넌트(COMP)는 대향전극홀(223H)에 대응하여 배치될 수 있다. 컴포넌트(COMP)가 배치되는 제1영역(A1)에는 대향전극(223)이 연속적으로 배치되지 않기 때문에 컴포넌트(COMP)에 입사 또는 출사하는 광투과도가 향상될 수 있다.
또한, 상기와 동일 유사한 방법으로, 증착 물질을 변경하여 제1기능층홀(222aH), 제2기능층홀(222cH), 캡핑층홀(224H), 및 광추출층홀(225H)을 형성할 수 있다.
본 발명의 실시예와 다르게, 차폐부(SP)가 제2마스크(M2)의 개구부(OP) 내에서 연장된 리브 등으로 차폐부(SP)를 고정하는 경우, 상기 리브로 인해 증착 물질이 디스플레이 기판(DS)에 증착되지 않는 부분이 있을 수 있다. 이러한 경우, 리브로 인해 증착되지 않은 부분을 마스크 어셈블리(M)와 상이한 마스크 어셈블리를 이용해 디스플레이 기판(DS)에 다시 증착해야하므로, 증착 물질을 디스플레이 기판(DS)에 증착하는 공정 시간이 늘어날 수 있다. 본 발명의 실시예는, 메쉬부(MP)를 포함하고 있으며, 차폐부(SP)를 메쉬부(MP)로 고정할 수 있다. 따라서, 한번의 증착 공정을 통해 디스플레이 기판(DS)에 균일하게 대향전극(223) 등을 증착할 수 있으며, 표시 장치의 제조방법의 효율이 향상될 수 있다.
이와 같은 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
P1, P2: 제1화소, 제2화소
M1, M1-1: 제1마스크
M2, M2-1: 제2마스크
OA, OA-1: 개구영역
DSS, DSS-1: 기판지지부
MF, MF-1: 마스크 프레임
MP, MP-1: 메쉬부
SP, SP-1: 차폐부
223: 대향전극
223H: 대향전극홀
1000: 표시 장치의 제조장치
1100: 챔버
1300: 증착원

Claims (20)

  1. 마스크 어셈블리;를 포함하는 표시 장치의 제조장치에 있어서,
    상기 마스크 어셈블리는,
    개구영역을 포함하는 마스크 프레임;
    상기 마스크 프레임에 배치되며, 개구부를 포함하는 제1마스크;
    상기 제1마스크 상에 배치되며, 그물 형상의 메쉬부 및 상기 메쉬부의 일부를 차폐하는 차폐부를 포함하는 제2마스크; 및
    상기 제2마스크 상에서 디스플레이 기판을 지지하며, 상기 디스플레이 기판과 상기 제2마스크를 이격시키는 기판지지부;를 포함하고,
    상기 차폐부는 상기 개구부 내에 대응하도록 배치된, 표시 장치의 제조장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 마스크 프레임의 두께는 상기 제1마스크의 두께 또는 상기 제2마스크의 두께보다 크고,
    상기 기판지지부는 상기 제2마스크를 상기 마스크 프레임에 고정시키는, 표시 장치의 제조장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 기판지지부, 상기 제2마스크, 및 상기 마스크 프레임은 서로 연결된, 표시 장치의 제조장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 기판지지부는 상기 마스크 프레임에 적어도 일부 직접 연결되는, 표시 장치의 제조장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 기판지지부는 상기 마스크 프레임을 따라 배치된, 표시 장치의 제조장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기판지지부는 제1기판지지부 및 제2기판지지부를 포함하고,
    상기 제1기판지지부는 상기 개구영역과 이격되어 상기 마스크 프레임을 따라 배치되며,
    상기 제2기판지지부는 상기 개구영역을 가로지르며 배치된, 표시 장치의 제조장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 메쉬부는 제1방향으로 연장된 복수개의 제1와이어들 및 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 연장된 복수개의 제2와이어들을 포함하고,
    상기 복수개의 제1와이어들 및 상기 복수개의 제2와이어들은 복수의 메쉬홀을 정의하며,
    상기 차폐부는 상기 복수의 메쉬홀 중 적어도 하나를 전체적으로 차폐하는, 표시 장치의 제조장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 차폐부는 평면상 원형인, 표시 장치의 제조장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 마스크 어셈블리가 배치되는 챔버; 및
    상기 챔버 내부에 배치되며, 증착 물질을 상기 챔버 내부로 공급하는 증착원;을 더 포함하고,
    상기 마스크 어셈블리는 상기 증착원에 대향하도록 배치되어 상기 디스플레이 기판에 상기 증착 물질을 통과시키는, 표시 장치의 제조장치.
  10. 개구영역을 포함하는 마스크 프레임에 개구부를 포함하는 제1마스크를 고정하는 단계;
    상기 제1마스크 상에 그물 형상의 메쉬부를 포함하는 제2마스크를 배치하는 단계;
    상기 제2마스크 상에 기판지지부를 고정하는 단계; 및
    상기 메쉬부의 일부를 차폐하는 차폐부를 형성하는 단계;를 포함하는, 마스크 어셈블리의 제조방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 마스크 프레임의 두께는 상기 제1마스크의 두께 또는 상기 제2마스크의 두께보다 크고,
    상기 기판지지부를 고정하는 단계는,
    상기 기판지지부, 상기 제2마스크, 및 상기 마스크 프레임을 서로 연결하는 단계를 포함하는, 마스크 어셈블리의 제조방법.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 기판지지부를 고정하는 단계는,
    상기 기판지지부, 상기 제2마스크, 상기 마스크 프레임을 용접하여 고정하는, 마스크 어셈블리의 제조방법.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 기판지지부는 복수개를 포함하며,
    상기 복수개의 기판지지부 중 하나는 상기 개구영역을 가로지르며 배치되는, 마스크 어셈블리의 제조방법.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 차폐부는 전주도금법(electro-forming)으로 형성하는, 마스크 어셈블리의 제조방법.
  15. 제10항에 있어서,
    상기 차폐부를 형성하는 단계는,
    상기 제2마스크에 포토레지스트를 형성하는 단계;
    상기 제2마스크에 대응하도록 노광마스크를 배치하여 상기 포토레지스트의 적어도 일부를 노광하는 단계; 및
    상기 포토레지스트를 현상하는 단계;를 포함하는, 마스크 어셈블리의 제조방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 노광마스크는 노광개구부를 포함하고,
    상기 노광마스크가 상기 제2마스크에 대응하도록 배치될 때, 상기 포토레지스트는 상기 노광개구부에 대응되는 부분이 노광되는, 마스크 어셈블리의 제조방법.
  17. 챔버 내에 디스플레이 기판이 배치되는 단계;
    상기 챔버 내부에 배치되는 증착원에 의해 증착 물질이 상기 챔버 내부로 공급되는 단계; 및
    상기 증착 물질이 상기 증착원에 대향하도록 배치된 마스크 어셈블리를 통과하여 상기 디스플레이 기판 상에 증착되는 단계;를 포함하고,
    상기 마스크 어셈블리는,
    그물 형상의 메쉬부 및 상기 메쉬부의 일부를 차폐하는 차폐부를 포함하는 마스크; 및
    상기 마스크 상에 디스플레이 기판을 지지하며, 상기 디스플레이 기판과 상기 마스크를 이격시키는 기판지지부;를 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 디스플레이 기판 상에 대향전극홀을 구비한 대향전극이 형성되는, 표시 장치의 제조방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 대향전극홀은 상기 디스플레이 기판 상에 서로 이격된 제1화소 및 제2화소 사이에 형성되는, 표시 장치의 제조방법.
  20. 제18항에 있어서,
    상기 대향전극홀에 대응하여 컴포넌트가 배치되는 단계;를 더 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
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