KR102404574B1 - 스크린 마스크 어셈블리 - Google Patents

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KR102404574B1
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    • H01L2227/32—

Abstract

스크린 마스크 어셈블리을 개시한다. 본 발명은 마스크 프레임;과, 마스크 프레임에 설치되며, 복수의 페이스트 통과공이 배치된 스크린 마스크;와, 스크린 마스크에 배치된 복수의 페이스트 차단부;를 포함한다.

Description

스크린 마스크 어셈블리{screen mask assembly}
본 발명은 스크린 마스크 어셈블리에 관한 것이다.
통상적으로, 디스플레이 장치는 스마트 폰, 랩 탑 컴퓨터, 디지털 카메라, 캠코더, 휴대 정보 단말기, 노트북, 태블릿 퍼스널 컴퓨터와 같은 모바일 장치나, 데스크 탑 컴퓨터, 텔레비전, 옥외 광고판, 전시용 디스플레이 장치와 같은 전자 장치에 이용할 수 있다.
디스플레이 장치는 복수의 기판 간의 충돌을 방지하기 위하여 충전층(filling layer)을 구비할 수 있다. 디스플레이 장치는 광시야각을 확보하기 위하여 충전층의 두께를 줄일 필요가 있다.
본 발명의 실시예들은 충전층의 두께를 줄인 스크린 마스크 어셈블리를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따른 스크린 마스크 어셈블리는,
마스크 프레임;
상기 마스크 프레임에 설치되며, 복수의 페이스트 통과공이 배치된 스크린 마스크; 및
상기 스크린 마스크에 배치된 복수의 페이스트 차단부;를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 스크린 마스크는, 제 1 방향으로 이격되게 배치된 복수의 제 1 와이어;와, 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 이격되게 배치된 복수의 제 2 와이어;를 포함하되, 상기 페이스트 통과공은 상기 제 1 와이어와 제 2 와이어가 서로 교차하여 배치되며, 상기 제 1 와이어와 제 2 와이어에 둘러싸이며, 상기 페이스트 차단부는 복수의 페이스트 통과공중 적어도 일부의 페이스트 통과공을 차단하여 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 복수의 페이스트 차단부는 복수의 페이스트 통과공의 95％까지 차단할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 하나의 페이스트 통과공은 하나의 페이스트 차단부와 동일한 크기이며, 하나의 페이스트 통과공은 복수의 단위 통과공으로 분할될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 하나의 페이스트 통과공에는 제 1 방향으로 적어도 하나의 제 1 라인과, 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 적어도 하나의 제 2 라인이 배치되며, 복수의 단위 통과공은 상기 제 1 라인과 제 2 라인이 교차하여 상기 페이스트 통과공을 분할할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 복수의 페이스트 통과공과, 복수의 페이스트 차단부는 교대로 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 복수의 페이스트 통과공과, 복수의 페이스트 차단부는 50％:50％ 비율로 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 하나의 페이스트 통과공에는 제 1 방향으로 제 1 라인과, 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 제 2 라인이 배치되고, 제 1 라인과 제 2 라인이 교차하여 복수의 단위 통과공으로 분할될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 복수의 페이스트 차단부의 면적은 복수의 페이스트 통과공의 면적보다 넓을 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 페이스트 차단부는, 제 1 방향으로 이격되게 배치된 제 1 페이스트 차단부;와, 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 이격되게 배치된 제 2 페이스트 차단부를 포함하되, 상기 제 1 페이스트 차단부와 제 2 페이스트 차단부는 서로 연결될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 페이스트 통과공은 이웃하는 페이스트 차단부를 사이에 두고 이격되게 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 하나의 페이스트 통과공에는 제 1 방향으로 제 1 라인과, 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 제 2 라인이 배치되고, 제 1 라인과 제 2 라인이 교차하여 복수의 단위 통과공으로 분할될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 페이스트 차단부는 십자형일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 페이스트 차단부는 상기 제1 와이어 및 제 2 와이어의 외면에 코팅될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 스크린 마스크는 금속재일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 페이스트 차단부는 폴리머일 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 스크린 마스크 어셈블리는 기판 상에 코팅되는 페이스트의 양을 조절할 수 있다. 본 발명의 효과는 상술한 내용 이외에도, 도면을 참조하여 이하에서 설명할 내용으로부터도 도출될 수 있음은 물론이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치의 일부를 확대 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 마스크 어셈블리를 이용하여 기판 상에 충전층을 형성하는 것을 도시한 구성도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 마스크를 도시한 평면도이다.
도 5는 도 4의 A 부분을 확대 도시한 사시도이다.
도 6은 도 4의 스크린 마스크를 이용하여 기판 상에 충전층을 형성하는 것을 도시한 구성도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 스크린 마스크를 도시한 평면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스크린 마스크를 도시한 평면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고, 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성 요소들은 용어들에 의하여 한정되어서는 안된다. 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, “포함한다” 또는 “가지다” 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 본 발명에 따른 스크린 마스크 어셈블리의 실시예를 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면 번호를 부여하고, 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치(100)를 도시한 구성도이다.
본 실시예에 있어서, 상기 디스플레이 장치(100)는 유기 발광 디스플레이 장치(organic light emitting display device, OLED)를 예를 들어 설명하나, 액정 디스플레이(liquid crystal display, LCD)나, 전계 방출 디스플레이(field emission display device, FED)나, 전자 종이 디스플레(electronic paper display, EPD) 등의 디스플레이 장치일 수 있다.
도면을 참조하면, 상기 디스플레이 장치(100)는 디스플레이 기판(110)과, 상기 디스플레이 기판(110) 상에 설치된 밀봉 기판(120)을 포함한다.
상기 디스플레이 기판(110)은 강성(rigidity)을 가지는 글래스 기판이나, 폴리머 기판일 수 있다. 상기 밀봉 기판(120)은 글래스 기판이나, 수지 기판일 수 있다. 상기 디스플레이 기판(110) 상에는 화상을 표시하는 디스플레이부(130)가 형성될 수 있다.
상기 디스플레이 기판(110)과, 밀봉 기판(120)이 서로 마주보는 면에는 씰링부(sealing portion, 140)가 설치될 수 있다. 상기 씰링부(140)는 상기 디스플레이부(130)를 둘러싸고 있다.
상기 디스플레이 기판(110)과 밀봉 기판(120) 사이에는 내부 충전층(inner filling layer, 150)이 설치될 수 있다. 상기 내부 충전층(180)은 상기 밀봉 기판(120)과 디스플레이부(130) 사이의 공간을 채울 수 있다. 상기 내부 충전층(150)은 상기 디스플레이 기판(110)과 밀봉 기판(120)의 충돌을 방지할 수 있다. 상기 내부 충전층(150)은 스크린 인쇄에 의하여 형성될 수 있다 .
상기 씰링부(140)와 내부 충전층(150) 사이에는 충전 댐(170)이 설치될 수 있다.
상기 밀봉 기판(120) 상에는 다양한 기능을 하는 기능판(170)을 설치될 수 있다. 상기 기능판(170)은 편광판이나, 터치 스크린(touch screen)이나, 커버 윈도우(cover window)중 어느 하나 일 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 장치(200)의 일부를 확대 도시한 단면도이다.
도면을 참조하면, 디스플레이 장치(200)는 디스플레이 기판(201)과, 상기 디스플레이 기판(201) 상에 설치되는 밀봉 기판(202)을 포함한다.
상기 디스플레이 기판(201)은 액티브 영역(active area, AA), 상기 액티브 영역(AA)의 바깥쪽으로 연장된 회로 영역(circuit area, CA), 상기 회로 영역(CA)의 바깥으로 연장된 씰링 영역(cell seal area, CSA)을 포함한다. 상기 씰링 영역의 바깥에는 컷팅 영역을 포함하는 가장자리 영역(edge area, EA)이 배치될 수 있다.
상기 디스플레이 기판(201)은 글래스 기판이나, 폴리머 기판일 수 있다.
상기 디스플레이 기판(201) 상에는 배리어층(203)이 형성될 수 있다. 상기 배리어층(203)은 무기물, 또는, 유기물로 형성될 수 있다. 상기 배리어층(203)은 단일막, 또는, 다층막으로 형성될 수 있다.
상기 액티브 영역(AA) 및 회로 영역(CA)에는 적어도 하나의 박막 트랜지스터(TFT)가 각각 형성될 수 있다. 상기 각 영역에는 박막 트랜지스터(TFT)는 복수로 구성될 수 있다.
액티브 영역(AA)에 배치된 제 1 박막 트랜지스터(TFT1)는 제 1 반도체 활성층(204), 제 1 게이트 전극(205), 제 1 소스 전극(206), 및 제 1 드레인 전극(207)을 포함한다. 상기 반도체 활성층(204)은 N형 불순물 이온, 또는, P형 불순물 이온을 도핑하는 것에 의하여 형성되는 소스 영역(204a)과, 드레인 영역(204b)을 포함한다. 상기 소스 영역(204a)과, 드레인 영역(204b) 사이는 불순물이 도핑되지 않는 채널 영역(204c)일 수 있다. 상기 제 1 게이트 전극(205)과, 제 1 반도체 활성층(204) 사이에는 이들 간의 절연을 위한 제 1 게이트 절연막(208) 및 제 2 게이트 절연막(209)이 설치될 수 있다.
회로 영역(CA)에 배치된 제 2 박막 트랜지스터(TFT2)는 제 2 반도체 활성층(210), 제 2 게이트 전극(211), 제 2 소스 전극(212), 및 제 2 드레인 전극(213)을 포함한다. 상기 제 2 반도체 활성층(210)과 제 2 게이트 전극(211) 사이에는 이들 간의 절연을 위한 제 1 게이트 절연막(208)이 설치될 수 있다.
상기 제 1 게이트 절연막(208) 및 제 2 게이트 절연막(209)은 동일한 물질일 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 제 1 게이트 절연막(208) 및 제 2 게이트 절연막(209)은 무기막일 수 있다.
상기 제 1 게이트 전극(205)과, 제 2 게이트 전극(211)은 다른 층에 배치될 수 있다. 상기 제 1 게이트 전극(205)과, 제 2 게이트 전극(211)은 동일한 물질일 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 제 1 게이트 전극(208)과, 제 2 게이트 전극(211)은 도전성이 우수한 금속재일 수 있다.
상기 제 1 게이트 전극(205) 상에는 층간 절연막(214)이 형성될 수 있다. 상기 층간 절연막(214)은 무기막, 또는, 유기막으로 형성될 수 있다.
상기 층간 절연막(214) 상에는 제 1 소스 전극(206)과, 제 1 드레인 전극(207)이 형성될 수 있다. 상기 제 1 소스 전극(206)과, 제 1 드레인 전극(207)은 콘택 홀을 통하여 제 1 반도체 활성층(204)에 연결될 수 있다. 또한, 상기 층간 절연막(214) 상에는 제 2 소스 전극(212)과, 제 2 드레인 전극(213)이 형성될 수 있다. 상기 제 2 소스 전극(212)과, 제 2 드레인 전극(213)은 콘택 홀을 통하여 제 2 반도체 활성층(210)에 연결될 수 있다.
제 1 소스 전극(206), 제 1 드레인 전극(207), 제 2 소스 전극(212), 및 제 2 드레인 전극(213)은 동일한 물질, 예컨대, 금속, 합금, 금속 질화물, 도전성 금속 산화물, 투명 전도성 물질 등을 포함한다.
회로 영역(CA)에는 커패시터(215)가 형성될 수 있다. 상기 커패시터(215)는 제 1 커패시터 전극(216), 제 2 커패시터 전극(217), 및 이들 사이에 배치되는 제 2 게이트 절연막(209)을 포함한다.
평탄화막(218)은 상기 박막 트랜지스터(TFT1, TFT2), 및 커패시터(215)를 커버한다. 상기 평탄화막(218)은 상기 층간 절연막(214) 상에 형성될 수 있다. 상기 평탄화막(218)은 무기막, 또는, 유기막으로 형성될 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)는 상기 평탄화막(218) 상에 형성될 수 있다. 상기 유기 발광 소자(OLED)는 제 1 전극(219), 유기 발광층을 포함하는 중간층(220), 및 제 2 전극(221)을 포함한다.
상기 제 1 전극(219)은 애노우드로 기능하며, 다양한 도전성 소재로 형성할 수 있다. 상기 제 1 전극(219)은 투명 전극, 또는, 반사형 전극을 포함한다.
상기 평탄화막(218) 상에는 픽셀 정의막(222)이 형성될 수 있다. 상기 픽셀 정의막(222)은 제 1 전극(219)의 일부를 덮을 수 있다. 구체적으로, 상기 픽셀 정의막(222)은 상기 제 1 전극(219)의 가장자리를 둘러싸는 것에 의하여 각 서브 픽셀의 발광 영역을 한정한다. 상기 제 1 전극(219)은 서브 픽셀마다 패터닝될 수있다.
상기 픽셀 정의막(222)은 유기막, 또는, 무기막으로 형성될 수 있다. 상기 픽셀 정의막(222)은 단일막, 또는, 다중막일 수 있다.
상기 중간층(220)은 상기 픽셀 정의막(222)의 일부를 에칭하여 상기 제 1 전극(219)이 노출되는 영역에 형성될 수 있다.
상기 중간층(220)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 상기 중간층(220)은 유기 발광층(emissive layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(hole injection layer, HIL), 정공 수송층(hole transport layer, HTL), 전자 수송층(electron transport layer, ETL), 전자 주입층(electron injection layer, EIL)중 적어도 어느 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예에서는 이에 한정되지 않고, 상기 중간층(220)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층을 더 구비할 수 있다.
상기 제2 전극(221)은 캐소우드로 기능할 수 있다. 상기 제 2 전극(221)은 투명 전극, 또는, 반사형 전극을 포함한다.
스페이서(232)는 서브 픽셀의 둘레에 배치될 수 있다.
상기 회로 영역(CA)에는 회로 배선(223)이 형성될 수 있다. 상기 회로 배선(223)은 평탄화막(218) 상에 형성될 수 있다. 상기 회로 배선(223)은 전원 배선(224)과 연결될 수 있다. 상기 전원 배선(224)은 층간 절연막(214) 상에 형성될 수 있다. 상기 전원 배선(224)은 외부로부터 전원이 인가되는 배선일 수 있다.
상기 씰링 영역(CSA)에는 씰링부(225)가 설치될 수 있다. 상기 씰링부(225)는 상기 디스플레이 기판(201)과 밀봉 기판(202) 사이에 설치될 수 있다. 상기 씰링부(225)는 회로 영역(CA)의 둘레를 따라 배치될 수 있다.
상기 씰링부(225)의 하부에는 금속 패턴층(228)이 형성될 수 있다. 상기 금속 패턴층(228) 상에는 적어도 하나의 절연층, 예컨대, 제 1 절연층(230)과, 제 2 절연층(231)을 포함한다. 제 1 절연층(230) 및 제 2 절연층(231)은 복수의 개구(229)를 포함한다.
한편, 상기 밀봉 기판(202)은 강성을 가지는 글래스 기판이나, 폴리머 기판일 수 있다. 상기 디스플레이 기판(101), 밀봉 기판(102), 및 씰링부(125)에 의하여 밀폐된 내부 공간(S)에는 흡습제나 충진재 등이 더 설치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 액티브 영역(AA) 상에는 내부 충전층(227)이 형성될 수 있다.
구체적으로, 상기 내부 충전층(227)은 상기 밀봉 기판(202)과 제 2 전극(221) 사이의 공간을 채울 수 있다. 상기 내부 충전층(227)은 액상 충전재일 수 있다. 상기 내부 충전층(227)은 무기물 소재, 예컨대, 실리콘 계열의 소재를 포함한다. 상기 내부 충전층(227)은 상기 밀봉 기판(202)과 제 2 전극(221) 사이의 공간을 채우므로, 합착되는 디스플레이 기판(201)과 밀봉 기판(202)의 충격 강도를 향상시킬 수 있다.
상기 내부 충전층(227)은 액상 충전재를 이용하므로, 제조 과정에서 액상 충전재가 소망하지 않은 영역으로 퍼져나갈 수 있다. 이를 방지하기 위하여, 상기 씰링부(225)와 내부 충전층(227) 사이에는 충전 댐(226)이 설치될 수 있다. 상기 충전 댐(226)은 액상 충전재가 다른 영역으로 퍼져나가는 것을 차단시킬 수 있다.
상기 내부 충전층(227)은 스크린 인쇄법에 의하여 형성될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 내부 충전층(227)은 상기 밀봉 기판(202) 상에 형성될 수 있다. 상기 내부 충전층(602)은 밀봉 기판(202) 상에 전면(entire surface) 코팅일 수 있다.
상기 내부 충전층(227)은 무용제형(solventless type) 페이스트(paste)를 이용할 수 있다. 상기 내부 충전층(602)용 페이스트는 저점도, 예컨대, 5000 내지 10000 cps일 수 있다.
상기 내부 충전층(227)은 디스플레이 장치(200)의 광시야각을 확보하기 위하여 얇게 형성시킬 필요가 있다. 상기 내부 충전층(227)은 무용제형 페이스트이므로, 인쇄 및 건조 이후에 두께의 변화가 적다. 따라서, 페이스트의 코팅시, 형성시키고자 하는 내부 충전층(I27)의 두께만큼 밀봉 기판(202) 상에 페이스트를 코팅할 수 있다.
상기 내부 충전층(127)의 두께를 감소시키기 위해서는 스크린 마스크에 인가되는 압력을 높여서 상기 밀봉 기판(202) 상에 코팅되는 페이스트의 양을 줄일 수 있다. 그러나, 스크린 마스크에 인가되는 압력이 높게 되면, 스크린 마스크는 파손될 수 있다. 따라서, 스크린 마스크의 파손을 방지하고, 또한, 밀봉 기판(202) 상에 코팅되는 페이스트의 양을 줄일 필요가 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 마스크 어셈블리(303)를 이용하여 기판(302) 상에 충전층(308a)을 형성하는 것을 도시한 것이다.
도면을 참조하면, 기판 스테이지(301) 상에는 기판(302)이 장착될 수 있다. 상기 기판(302)은 강성을 가진 기판, 예컨대, 글래스 기판일 수 있다.
상기 기판(302) 상에는 스크린 마스크 어셈블리(303)가 위치할 수 있다.
상기 스크린 마스크 어셈블리(303)는 마스크 프레임(304)과, 상기 마스크 프레임(304)에 설치된 스크린 마스크(305)를 포함한다. 상기 스크린 마스크(305)는 금속재일 수 있다.
상기 스크린 마스크(305)에는 복수의 페이스트 통과공(306)이 형성될 수 있다. 상기 페이스트 통과공(306)은 스크린 인쇄동안 페이스트(308)의 이동 통로를 제공할 수 있다.
복수의 페이스트 통과공(306)중 적어도 일부의 페이스트 통과공(306)에는 페이스트 차단부(307)가 설치될 수 있다. 상기 페이스트 차단부(307)는 페이스트(308)의 이동을 차단할 수 있다. 상기 페이스트 차단부(307)는 폴리머일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 복수의 페이스트 차단부(307)는 복수의 페이스트 통과공(306)의 95％까지 차단할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 하나의 페이스트 통과공(306)과 하나의 페이스트 차단부(307)는 동일한 크기일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 하나의 페이스트 통과공(306)은 복수의 단위 통과공(306a)으로 분할될 수 있다.
상기 페이스트 통과공(306) 및 페이스트 차단부(307)를 가지는 스크린 마스크(303) 상에는 페이스트(308)를 적재할 수 있다.
상기 스크린 마스크(303) 상에는 스퀴지 블레이드(squeegee blade, 309)를 일 방향으로 진행시킬 수 있다. 상기 스퀴지 블레이드(309)가 일 방향으로 진행시, 상기 스퀴지 블레이드(309)에는 소정의 압력이 인가될 수 있다. 상기 페이스트(308)는 상기 스퀴지 블레이드(309)을 이용하여 상기 페이스트 통과공(306)을 통과하고, 상기 기판(302) 상에 코팅될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 마스크(400)를 도시한 평면도이고, 도 5는 도 4의 A 부분을 확대하여 도시한 사시도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 스크린 마스크(400)는 복수의 제 1 와이어(401) 및 복수의 제 2 와이어(402)를 포함한다.
복수의 제 1 와이어(401)는 X 방향으로 연장되며, Y 방향으로 이격되게 배치될 수 있다. 복수의 제 2 와이어(402)는 Y 방향으로 연장되며, X 방향으로 이격되게 배치될 수 있다. 상기 제 1 와이어(401)와 제 2 와이어(402)는 서로 교차할 수 있다.
상기 제 1 와이어(401)와, 제 2 와이어(402)는 서로 교차하여 페이스트 통과공(403)을 형성할 수 있다. 상기 제 1 와이어(401) 및 제 2 와이어(402)는 페이스트 통과공(403)를 둘러싸고 있다.
복수의 페이스트 통과공(403)중 적어도 일부의 페이스트 통과공(403)에는 페이스트 차단부(407)가 배치될 수 있다. 상기 페이스트 차단부(407)는 상기 페이스트 통과공(403)을 차단할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 페이스트 차단부(407)는 상기 제 1 와이어(401) 및 제 2 와이어(402)의 외면에도 코팅될 수 있다.
복수의 페이스트 통과공(403)과 복수의 페이스트 차단부(407)는 교대로 배치될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 페이스트 통과공(403)과 페이스트 차단부(407)는 메시형(mesh type)형일 수 있다. 복수의 페이스트 통과공(403)과 복수의 페이스트 차단부(407)는 50％: 50％ 비율로 배치될 수 있다.
하나의 페이스트 통과공(403)은 하나의 페이스트 차단부(407)와 동일한 크기일 수 있다. 하나의 페이스트 통과공(403)은 복수의 단위 통과공(406)으로 분할될 수 있다.
구체적으로, 하나의 페이스트 통과공(403)에는 X 방향으로 적어도 하나의 제 1 라인(404)이 배치되며, Y 방향으로 적어도 하나의 제 2 라인(405)이 배치될 수 있다. 상기 제 1 라인(404)과 제 2 라인(405)은 서로 교차하며, 하나의 페이스트 통과공(403)을 복수의 단위 통과공(406)으로 분할할 수 있다. 상기 제 1 라인(404) 및 제 2 라인(405)은 상기 단위 통과공(406)을 둘러싸고 있다.
예컨대, 하나의 페이스트 통과공(403) 및 하나의 페이스트 차단부(407)의 가로 길이 및 세로 길이는 각각 100 마이크로미터일 수 있다. 반면에, 하나의 단위 통과공(406)의 가로 길이 및 세로 길이는 각각 50 마이크로미터일 수 있다. 하나의 페이스트 차단부(404)는 4개의 단위 통과공(406)을 차단할 수 있는 크기이다.
도 6은 도 4의 스크린 마스크(400)를 이용하여 기판(601) 상에 충전층(602a)을 형성하는 것을 도시한 것이다.
도면을 참조하면, 기판(601) 상에는 소정 간격 이격되게 스크린 마스크(400)가 설치될 수 있다. 상기 스크린 마스크(400) 상에는 소정 양의 페이스트(602)가 적재될 수 있다. 상기 페이스트(602)는 무용제형(solventless type) 페이스트일 수 있다. 상기 페이스트(602)는 저점도, 예컨대, 5000 내지 10000 cps일 수 있다.
스퀴지 블레이드(603)를 화살표로 표시한 바와 같이 일 방향으로 진행시킨다. 상기 스퀴지 블레이드(603)에는 소정의 압력이 인가될 수 있다.
상기 스퀴지 블레이드(603)가 일 방향으로 진행되면, 상기 페이스트(602)는 상기 페이스트 통과공(403)를 통하여 상기 기판(601) 상에 코팅될 수 있다. 구체적으로, 상기 페이스트(602)는 제 1 라인(404) 및 제 2 라인(405)에 의하여 둘러싸인 복수의 단위 통과공(406)을 통과하여 상기 기판(601) 상에 적하될 수 있다.
반면에, 이웃하는 페이스트 통과공(403) 사이에는 페이스트 차단부(407)가 설치되므로, 상기 페이스트(602)는 상기 페이스트 차단부(407)가 설치된 곳에서는 상기 기판(601)으로 적하될 수 없다. 이에 따라, 상기 기판(601) 상에 적하되는 페이스트(602)의 양은 줄어들 수 있다.
표 1은 본 출원인의 실험에 따른 기판 상에 충전층을 형성시키는 것을 도시한 것이다.
스크린 마스크의 종류 와이어
직경		 통과공
길이		 비교예의
개구율		 실시예의
개구율		 비교예의
충전층두께		 실시예의
충전층두께
제 1 샘플 0.028 mm 50 ㎛ 41 ％ 20.5 ％ 17 ㎛ 8.5 ㎛
제 2 샘플 0.023 mm 41 ㎛ 41 ％ 20.5 ％ 17 ㎛ 8.5 ㎛
여기서, 비교예는 종래의 페이스트 차단부가 형성되지 않은 스크린 마스크이며, 실시예는 도 4의 페이스트 차단부(407)가 설치된 스크린 마스크(400)이다.
표 1을 참조하면, 제 1 샘플 및 제 2 샘플에 있어서, 비교예의 스크린 마스크의 개구율은 스크린 마스크의 전체 면적의 41％이며, 실시예의 스크린 마스크(403)의 개구율은 스크린 마스크(400)의 전체 면적의 20.5％이다.
실시예의 스크린 마스크(400)의 개구율은 20.5％이며, 비교예의 스크린 마스크의 개구율은 41％로서, 실시예의 스크린 마스크(400)의 개구율은 비교예의 스크린 마스크의 개구율보다 50％ 감소된다. 이에 따라, 기판 상에 코팅되는 페이스트의 두께는 17 ㎛에서 8.5 ㎛로 50％ 감소됨을 확인할 수 있다.
이와 같이, 충전층의 두께가 얇아지면, 디스플레이 장치의 광시야각은 넓어질 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 스크린 마스크(700)를 도시한 평면도이다.
앞서 도시된 도면에서와 동일한 부재 명칭은 동일한 기능을 하며, 이하, 각 실시예의 주요 특징부를 추출하여 주로 설명하기로 한다.
도면을 참조하면, 상기 스크린 마스크(700)는 복수의 제 1 와이어(701) 및 복수의 제 2 와이어(702)를 포함한다. 복수의 제 1 와이어(701)와 복수의 제 2 와이어(702)는 서로 교차할 수 있으며, 메쉬형일 수 있다.
상기 제 1 와이어(701)와 제 2 와이어(702)는 서로 교차하여 페이스트 통과공(703)을 형성할 수 있다. 복수의 페이스트 통과공(703)중 적어도 일부의 페이스트 통과공(703)에는 페이스트 차단부(707)가 배치될 수 있다.
복수의 페이스트 통과공(703)과 복수의 페이스트 차단부(707)는 교대로 배치될 수 있다. 복수의 페이스트 차단부(707)의 면적은 복수의 페이스트 통과공(703)의 면적보다 넓을 수 있다. 구체적으로, 상기 스크린 마스크(700)의 개구율은 도 4의 스크린 마스크(400)의 개구율보다 더욱 줄여서 코팅할 수 있다. 따라서, 충전층의 두께를 더욱 얇게 할 수 있다.
하나의 페이스트 통과공(703)에는 X 방향으로 적어도 하나의 제 1 라인(704)이 배치되며, Y 방향으로 적어도 하나의 제 2 라인(705)이 배치될 수 있다. 상기 제 1 라인(704)과 제 2 라인(705)은 서로 교차하며, 하나의 페이스트 통과공(703)을 복수의 단위 통과공(706)으로 분할할 수 있다.
상기 단위 통과공(706)의 개수는 도 4에 도시된 단위 통과공(406)의 개수보다 더 많다. 상기 단위 통과공(706)의 개구 크기를 조절하여 기판 상에 코팅되는 페이스트의 양을 보다 정확하게 제어하고, 충전층의 두께를 조절할 수 있다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스크린 마스크(800)를 도시한 평면도이다.
도면을 참조하면, 상기 스크린 마스크(800)는 복수의 제 1 와이어(801) 및 복수의 제 2 와이어(802)를 포함한다. 복수의 제 1 와이어(801)와 복수의 제 2 와이어(802)는 서로 교차할 수 있다. 상기 제 1 와이어(801)와 제 2 와이어(802)는 서로 교차하여 페이스트 통과공(803)을 형성할 수 있다. 복수의 페이스트 통과공(803)중 적어도 일부의 페이스트 통과공(803)에는 페이스트 차단부(807)가 배치될 수 있다.
상기 페이스트 차단부(807)는 복수의 제 1 페이스트 차단부(808)와, 복수의 제 2 페이스트 차단부(809)를 포함한다.
복수의 제 1 페이스트 차단부(808)는 X 방향으로 연장되며, Y 방향으로 이격되게 배치될 수 있다. 복수의 제 2 페이스트 차단부(809)는 Y 방향으로 연장되며, X 방향으로 이격되게 배치될 수 있다. 상기 제 1 페이스트 차단부(808)와, 제 2 페이스트 차단부(809)는 서로 연결될 수 있다. 상기 제 1 페이스트 차단부(808)와, 제 2 페이스트 차단부(809)는 십자형일 수 있다.
상기 페이스트 통과공(803)은 이웃하는 페이스트 차단부(807)를 사이에 두고 이격되게 배치될 수 있다. 하나의 페이스트 통과공(803)에는 X 방향으로 적어도 하나의 제 1 라인(804)이 배치되며, Y 방향으로 적어도 하나의 제 2 라인(805)이 배치될 수 있다. 상기 제 1 라인(804)과 제 2 라인(805)은 서로 교차하며, 하나의 페이스트 통과공(803)을 복수의 단위 통과공(806)으로 분할할 수 있다.
400..스크린 마스크 401...제 1 와이어
402...제 2 와이어 403...페이스트 통과공
404...제 1 라인 405...제 2 라인
406...단위 통과공 407...페이스트 차단부
601...기판 602...페이스트
603...스퀴지 블레이드

Claims (16)

  1. 마스크 프레임;
    상기 마스크 프레임에 설치되며, 복수의 페이스트 통과공이 배치된 스크린 마스크; 및
    상기 스크린 마스크에 배치된 복수의 페이스트 차단부;를 포함하되,
    상기 스크린 마스크는 제 1 방향으로 이격된 복수의 제 1 와이어와, 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 이격된 복수의 제 2 와이어를 포함하며,
    상기 페이스트 통과공은 상기 복수의 제 1 와이어와, 상기 복수의 제 2 와이어에 의하여 둘러싸이며,
    상기 복수의 페이스트 차단부는 적어도 일부의 페이스트 통과공을 차단하며,
    상기 복수의 페이스트 통과공중 하나의 페이스트 통과공에는 제 1 방향으로 연장된 적어도 하나의 제 1 라인과, 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 연장된 적어도 하나의 제 2 라인이 배치되며,
    상기 하나의 페이스트 통과공은 상기 제 1 라인과 상기 제 2 라인이 서로 교차하여 복수의 단위 통과공으로 분할된 스크린 마스크 어셈블리.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    복수의 페이스트 차단부는 복수의 페이스트 통과공의 95％까지 차단하는 스크린 마스크 어셈블리.
  4. 제 1 항에 있어서,
    하나의 페이스트 통과공은 하나의 페이스트 차단부와 동일한 크기인 스크린 마스크 어셈블리.
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    복수의 페이스트 통과공과, 복수의 페이스트 차단부는 교대로 배치된 스크린 마스크 어셈블리.
  7. 제 6 항에 있어서,
    복수의 페이스트 통과공과, 복수의 페이스트 차단부는 50％:50％ 비율로 배치된 스크린 마스크 어셈블리.
  8. 삭제
  9. 제 6 항에 있어서,
    복수의 페이스트 차단부의 면적은 복수의 페이스트 통과공의 면적보다 넓은 스크린 마스크 어셈블리.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 페이스트 차단부는,
    제 1 방향으로 이격되게 배치된 제 1 페이스트 차단부; 및
    제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 이격되게 배치된 제 2 페이스트 차단부를 포함하되,
    상기 제 1 페이스트 차단부와 제 2 페이스트 차단부는 서로 연결된 스크린 마스크 어셈블리.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 페이스트 통과공은 이웃하는 페이스트 차단부를 사이에 두고 이격되게 배치된 스크린 마스크 어셈블리.
  12. 삭제
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 페이스트 차단부는 십자형인 스크린 마스크 어셈블리.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 페이스트 차단부는 상기 제1 와이어 및 제 2 와이어의 외면에 코팅된 스크린 마스크 어셈블리.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 스크린 마스크는 금속재인 스크린 마스크 어셈블리.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 페이스트 차단부는 폴리머인 스크린 마스크 어셈블리.
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