CN108139441A - 电子部件输送装置以及电子部件检查装置 - Google Patents

Abstract

提供在执行对装置的内部的作业时能够尽可能地抑制外部空气的流入的电子部件输送装置以及电子部件检查装置。电子部件输送装置具备能够开闭的第一开闭部(4)、将第一开闭部(4)支承为能够转动的第一转动支承部、能够开闭地设置于第一开闭部(4)的第二开闭部(5)和将第二开闭部(5)支承为能够转动的第二转动支承部(52)，并配置有能够感知第二开闭部(5)的开闭的检测部(77)。

Description

电子部件输送装置以及电子部件检查装置

技术领域

本发明涉及电子部件输送装置以及电子部件检查装置。

背景技术

以往，已知有例如检查IC器件等电子部件的电特性的电子部件检查装置，在该电子部件检查装置组装有用于将IC器件输送至检查部的保持部的电子部件输送装置。在IC器件的检查时，将IC器件配置于保持部，使设置于保持部的多个探针与IC器件的各端子接触。

这样的IC器件的检查有时是将IC器件冷却到规定温度进行的。在该情况下，需要由盖覆盖并密闭对IC器件进行检查的检查区域内。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利申请公开第2000-35458号公报。

发明内容

发明要解决的课题

然而，在专利文献1中，在对被密闭的检查区域内的IC器件例如进行阻塞(jam)解除时，存在如下问题：有时超过必要地使盖为打开状态，在IC器件等产生结露的可能性变大。

本发明的目的在于提供一种在执行对装置的内部的作业时能够尽可能地抑制外部空气向装置的内部的流入的电子部件输送装置以及电子部件检查装置。

解决课题的手段

这样的目的通过下述的本发明的应用例来实现。

[应用例1]本应用例的电子部件输送装置，其特征在于，具备：能够开闭的第一开闭部和能够开闭地设置于上述第一开闭部的第二开闭部，并配置有能够感知上述第二开闭部的开闭的传感器。

由此，在执行对装置的内部的作业时，其作业者能够获得由传感器感知到的信息(第二开闭部的开闭)。在该情况下，作业者能够争取尽可能地快地使处于打开状态的第二开闭部为关闭状态，因此，能够尽可能地抑制外部空气向装置的内部的流入。

[应用例2]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，具备将第二开闭部支承为能够开闭的支承部，上述支承部由铰链构成。

由此，能够进行第二开闭部的顺畅的开闭。

[应用例3]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，在上述第一开闭部设置有感知入侵的入侵感知传感器。

由此，在执行对装置的内部的作业的作业者使手等从处于打开状态的第二开闭部入侵的情况下，例如能够停止装置的可动。

[应用例4]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，在上述第一开闭部或上述第二开闭部设置有使上述第二开闭部相对于上述第一开闭部锁定的锁定机构。

由此，能够防止执行对装置的内部的作业的作业者错误地使第二开闭部为打开状态。

[应用例5]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第一开闭部具有在上述第二开闭部关闭时被覆盖的第一开口部，上述第二开闭部形成具有能够插入上述第一开口部的凸部的凸结构。

由此，能够很好地保持第一开闭部与关闭状态的第二开闭部之间的气密性。

[应用例6]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第二开闭部接合了大小不同的两个板构件而成，上述两个板构件之中小的一方的板构件构成上述凸部。

由此，能够很好地保持第一开闭部与关闭状态的第二开闭部之间的气密性。

[应用例7]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第一开闭部具有在上述第二开闭部关闭时被覆盖的第一开口部，上述第二开闭部在关闭时具有与上述第一开闭部重合的部分。

由此，能够很好地保持第一开闭部与关闭状态的第二开闭部之间的气密性。

[应用例8]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，在上述第二开闭部配置有弹性膜。

由此，即使在例如通过装置的工作使该装置振动，第一开闭部与关闭状态的第二开闭部稍微间隔开的情况下，也能够维持第一开闭部和第二开闭部之间的气密性，因此，能够抑制外部空气向装置内的流入。

[应用例9]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第二开闭部具有大小不同的多个，能够从该多个第二开闭部选择任一个。

由此，能够根据对装置的内部的作业内容来选择第二开闭部，因此，作业效率提升。

[应用例10]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，在上述第二开闭部的周围具有能够拆装的第二开闭部用框体。

由此，与不使用第二开闭部用框体的情况相比，能够使关闭状态的第二开闭部和第一开闭部之间的气密性的程度增加。

[应用例11]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第二开闭部用框体具有大小不同的多个，能够从该多个第二开闭部用框体选择任一个。

由此，能够调整关闭状态的第二开闭部和第一开闭部之间的气密性的程度。

[应用例12]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第一开闭部具有在上述第二开闭部关闭时被覆盖的第一开口部，在上述第一开口部具有能够拆装的第一开口部用框体。

由此，与不使用第一开口部用框体的情况相比，能够缩小第一开口部的实质性大小，因此，能够尽可能地进一步地抑制外部空气的流入。

[应用例13]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第一开口部用框体具有大小不同的多个，能够从该多个第一开口部用框体选择任一个。

由此，能够调整外部空气的流入的程度。

[应用例14]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第一开闭部具有在上述第二开闭部关闭时被覆盖的第一开口部，上述第一开口部是圆形。

由此，第一开口部例如为易于伸入操作人员的手臂的形状，因此，对装置的内部的作业时的作业性提高。

[应用例15]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，设置有多个上述第二开闭部，该多个第二开闭部沿水平方向配置。

由此，例如作业者使一个第二开闭部为打开状态插入左手，使另一个第二开闭部为打开状态插入右手，能够使用双手，因此，作业性提高。

[应用例16]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第二开闭部朝向该电子部件输送装置的内侧打开或朝向外侧打开。

由此，例如，能够在第二开闭部之上临时载置对装置的内部的作业所使用的工具。

[应用例17]本应用例的电子部件检查装置，其特征在于，具备：能够开闭的第一开闭部、能够开闭地设置于上述第一开闭部的第二开闭部和对电子部件进行检查的检查部，并配置有能够感知上述第二开闭部的开闭的传感器。

由此，在执行对装置的内部的作业时，其作业者能够获得由传感器感知到的信息(第二开闭部的开闭)。在该情况下，作业者能够争取尽可能地快地使处于打开状态的第二开闭部为关闭状态，因此，能够尽可能地抑制外部空气向装置的内部的流入。

[应用例18]本应用例的电子部件输送装置，其特征在于，具备：能够开闭的第一开闭部和能够开闭地设置于上述第一开闭部的第二开闭部，在上述第一开闭部以及上述第二开闭部之中的至少一方配置有在关闭的状态下维持气密性的密封部。

由此，通过密封部确保第一开闭部和第二开闭部之间的气密性，因此，能够尽可能地抑制外部空气向装置的内部的流入。

[应用例19]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，具备将第二开闭部支承为能够开闭的支承部，上述支承部由铰链构成。

由此，能够进行第二开闭部的顺畅的开闭。

[应用例20]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，在上述第一开闭部设置有感知入侵的入侵感知传感器。

由此，在执行对装置的内部的作业的作业者使手等从处于打开状态的第二开闭部入侵的情况下，例如能够停止装置的可动。

[应用例21]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，在上述第一开闭部或上述第二开闭部设置有使上述第二开闭部相对于上述第一开闭部锁定的锁定机构。

由此，能够防止执行对装置的内部的作业的作业者错误地使第二开闭部为打开状态。

[应用例22]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第一开闭部具有在上述第二开闭部关闭时被覆盖的第一开口部，上述第二开闭部形成具有能够插入上述第一开口部的凸部的凸结构。

由此，能够很好地保持第一开闭部与关闭状态的第二开闭部之间的气密性。

[应用例23]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第二开闭部接合了大小不同的两个板构件而成，上述两个板构件之中小的一方的板构件构成上述凸部。

由此，能够很好地保持第一开闭部和关闭状态的第二开闭部之间的气密性。

[应用例24]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第一开闭部具有在上述第二开闭部关闭时被覆盖的第一开口部，上述第二开闭部在关闭时具有与上述第一开闭部重合的部分。

由此，能够很好地保持第一开闭部和关闭状态的第二开闭部之间的气密性。

[应用例25]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，在上述第二开闭部配置有弹性膜。

由此，即使在例如通过装置的工作使该装置振动，第一开闭部和关闭状态的第二开闭部稍微间隔开的情况下，也能够维持第一开闭部和第二开闭部之间的气密性，因此，能够抑制外部空气向装置内的流入。

[应用例26]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第二开闭部具有大小不同的多个，能够从该多个第二开闭部选择任一个。

由此，能够根据对装置的内部的作业内容来选择第二开闭部，因此，作业效率提升。

[应用例27]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，在上述第二开闭部的周围具有能够拆装的第二开闭部用框体。

由此，与不使用第二开闭部用框体的情况相比，能够使关闭状态的第二开闭部和第一开闭部之间的气密性的程度增加。

[应用例28]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第二开闭部用框体具有大小不同的多个，能够从该多个第二开闭部用框体选择任一个。

由此，能够调整关闭状态的第二开闭部和第一开闭部之间的气密性的程度。

[应用例29]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第一开闭部具有在上述第二开闭部关闭时被覆盖的第一开口部，在上述第一开口部具有能够拆装的第一开口部用框体。

由此，与不使用第一开口部用框体的情况相比，能够缩小第一开口部的实质性大小，因此，能够尽可能地进一步地抑制外部空气的流入。

[应用例30]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第一开口部用框体具有大小不同的多个，能够从该多个第一开口部用框体选择任一个。

由此，能够调整外部空气的流入的程度。

[应用例31]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第一开闭部具有在上述第二开闭部关闭时被覆盖的第一开口部，上述第一开口部是圆形。

由此，第一开口部例如为易于伸入操作人员的手臂的形状，因此，对装置的内部的作业时的作业性提高。

[应用例32]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，设置有多个上述第二开闭部，使该多个第二开闭部沿水平方向配置。

由此，例如作业者使一个第二开闭部为打开状态插入左手，使另一个第二开闭部为打开状态插入右手，能够使用双手，因此，作业性提高。

[应用例33]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第二开闭部朝向该电子部件输送装置的内侧打开或朝向外侧打开。

由此，例如，能够在第二开闭部之上临时载置对装置的内部的作业所使用的工具。

[应用例34]本应用例的电子部件检查装置，其特征在于，具备：能够开闭的第一开闭部、能够开闭地设置于上述第一开闭部的第二开闭部和对电子部件进行检查的检查部，在上述第一开闭部以及上述第二开闭部之中的至少一方配置有在关闭的状态下维持气密性的密封部。

由此，通过密封部确保第一开闭部与第二开闭部之间的气密性，因此，能够尽可能地抑制外部空气向装置的内部的流入。

[应用例35]本应用例的电子部件输送装置，其特征在于，具备：能够开闭的第一开闭部和能够开闭地设置于上述第一开闭部的第二开闭部，能够使上述第二开闭部相对于上述第一开闭部维持在打开状态。

由此，在执行对装置的内部的作业时，能够将第二开闭部的打开状态维持在尽可能小的状态，并可设为能够作业的程度，因此，能够尽可能地抑制外部空气的流入。

[应用例36]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，能够维持上述第二开闭部在上述打开状态下相对于上述第一开闭部立起的立起状态。

由此，例如能够在立起状态的第二开闭部之上临时载置作业所使用的工具等。

[应用例37]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，具备将第二开闭部支承为能够开闭的支承部，上述支承部由铰链构成。

由此，能够进行第二开闭部的顺畅的开闭。

[应用例38]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，在上述第一开闭部设置有感知入侵的入侵感知传感器。

由此，在执行对装置的内部的作业的作业者使手等从处于打开状态的第二开闭部入侵的情况下，例如能够停止装置的可动。

[应用例39]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，在上述第一开闭部或上述第二开闭部设置有使上述第二开闭部相对于上述第一开闭部锁定的锁定机构。

由此，能够防止执行对装置的内部的作业的作业者错误地使第二开闭部为打开状态。

[应用例40]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第一开闭部具有在上述第二开闭部关闭时被覆盖的第一开口部，上述第二开闭部形成具有能够插入上述第一开口部的凸部的凸结构。

由此，能够很好地保持第一开闭部与关闭状态的第二开闭部之间的气密性。

[应用例41]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第二开闭部接合了大小不同的两个板构件而成，上述两个板构件之中小的一方的板构件构成上述凸部。

由此，能够很好地保持第一开闭部和关闭状态的第二开闭部之间的气密性。

[应用例42]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第一开闭部具有在上述第二开闭部关闭时被覆盖的第一开口部，上述第二开闭部在关闭时具有与上述第一开闭部重合的部分。

由此，能够很好地保持第一开闭部和关闭状态的第二开闭部之间的气密性。

[应用例43]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，在上述第二开闭部配置有弹性膜。

由此，即使在例如通过装置的工作使该装置振动，第一开闭部和关闭状态的第二开闭部稍微间隔开的情况下，也能够维持第一开闭部和第二开闭部之间的气密性，因此，能够抑制外部空气向装置内的流入。

[应用例44]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第二开闭部具有大小不同的多个，能够从该多个第二开闭部选择任一个。

由此，能够根据对装置的内部的作业内容来选择第二开闭部，因此，作业效率提升。

[应用例45]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，在上述第二开闭部的周围具有能够拆装的第二开闭部用框体。

由此，与不使用第二开闭部用框体的情况相比，能够使关闭状态的第二开闭部和第一开闭部之间的气密性的程度增加。

[应用例46]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第二开闭部用框体具有大小不同的多个，能够从该多个第二开闭部用框体选择任一个。

由此，能够调整关闭状态的第二开闭部和第一开闭部之间的气密性的程度。

[应用例47]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第一开闭部具有在上述第二开闭部关闭时被覆盖的第一开口部，在上述第一开口部具有能够拆装的第一开口部用框体。

由此，与不使用第一开口部用框体的情况相比，能够缩小第一开口部的实质性大小，因此，能够尽可能地进一步地抑制外部空气的流入。

[应用例48]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第一开口部用框体具有大小不同的多个，能够从该多个第一开口部用框体选择任一个。

由此，能够调整外部空气的流入的程度。

[应用例49]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第一开闭部具有在上述第二开闭部关闭时被覆盖的第一开口部，上述第一开口部是圆形。

由此，第一开口部例如为易于伸入操作人员的手臂的形状，因此，对装置的内部的作业时的作业性提高。

[应用例50]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，设置有多个上述第二开闭部，使该多个第二开闭部沿水平方向配置。

由此，例如作业者使一个第二开闭部为打开状态插入左手，使另一个第二开闭部为打开状态插入右手，能够使用双手，因此，作业性提高。

[应用例51]在本应用例的电子部件输送装置中，优选，上述第二开闭部朝向该电子部件输送装置的内侧打开或朝向外侧打开。

由此，例如，能够在第二开闭部之上临时载置对装置的内部的作业所使用的工具。

[应用例52]本应用例的电子部件检查装置，其特征在于，具备：能够开闭的第一开闭部、能够开闭地设置于上述第一开闭部的第二开闭部和对电子部件进行检查的检查部，能够使上述第二开闭部相对于上述第一开闭部维持在打开状态。

由此，在执行对装置的内部的作业时，能够尽可能地抑制外部空气的流入。

附图说明

图1是示出本发明的电子部件检查装置的第一实施方式的示意俯视图。

图2是示出图1所示的电子部件检查装置具备的关闭状态的第一开闭部和关闭状态的第二开闭部的图。

图3是示出图1所示的电子部件检查装置具备的关闭状态的第一开闭部和关闭状态的第二开闭部的纵剖视图(图2中的A-A线剖视图)。

图4是示出图1所示的电子部件检查装置具备的关闭状态的第一开闭部和打开状态的第二开闭部的纵剖视图。

图5是示出本发明的电子部件检查装置(第二实施方式)具备的第二开闭部和拆装自如地安装于第二开闭部的第二开闭部用框体的纵剖视图。

图6是示出图5所示的第二开闭部用框体的种类的纵剖视图。

图7是示出本发明的电子部件检查装置(第三实施方式)具备的第一开闭部和拆装自如地安装于第一开闭部的第一开口部的第一开口部用框体的纵剖视图。

图8是示出图7所示的第一开口部用框体的种类的纵剖视图。

图9是示出本发明的电子部件检查装置(第四实施方式)具备的关闭状态的第一开闭部和关闭状态的第二开闭部的图。

具体实施方式

以下，基于附图所示的优选的实施方式对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置进行详细说明。

〈第一实施方式〉

图1是示出本发明的电子部件检查装置的第一实施方式的示意俯视图。图2是示出图1所示的电子部件检查装置具备的关闭状态的第一开闭部和关闭状态的第二开闭部的图。图3是示出图1所示的电子部件检查装置具备的关闭状态的第一开闭部和关闭状态的第二开闭部的纵剖视图(图2中的A-A线剖视图)。图4是示出图1所示的电子部件检查装置具备的关闭状态的第一开闭部和打开状态的第二开闭部的纵剖视图。

在以下，为了便于说明，如图1所示，将相互正交的三轴作为X轴、Y轴以及Z轴。此外，包括X轴和Y轴的XY平面为水平，Z轴为铅垂。此外，将与X轴平行的方向也称为“X方向”，将与Y轴平行的方向也称为“Y方向”，将与Z轴平行的方向也称为“Z方向”。此外，将电子部件的输送方向的上游侧也简称为“上游侧”，将下游侧也简称为“下游侧”。此外，在本申请说明书中所说的“水平”并不限定于完全的水平，只要不妨碍电子部件的输送，也包括相对于水平稍微(例如小于5°左右)倾斜的状态。

图1所示的检查装置(电子部件检查装置)1例如是用于对BGA(Ball grid array：球栅阵列)封装、LGA(Land grid array：栅格阵列)封装等IC器件、LCD(Liquid CrystalDisplay：液晶显示)、CIS(CMOS Image Sensor：CMOS图像传感器)等电子部件的电特性进行检查/试验(以下简称为“检查”)的装置。在以下，为了便于说明，以使用IC器件作为进行检查的上述电子部件的情况为代表进行说明，并将其作为“IC器件90”。

如图1所示，检查装置1分为托盘供给区域A1、器件供给区域(以下简称为“供给区域”)A2、检查区域A3、器件回收区域(以下简称为“回收区域”)A4和托盘除去区域A5。而且，IC器件90从托盘供给区域A1至托盘除去区域A5依次经由上述各区域，在中途的检查区域A3中被进行检查。这样，检查装置1具备在各区域中输送IC器件90的电子部件输送装置、在检查区域A3内进行检查的检查部16和控制部80。在检查装置1中，也能够将从托盘供给区域A1至托盘除去区域A5之中从输送IC器件90的供给区域A2至回收区域A4称为“输送区域(输送区)”。

检查装置1使配设有托盘供给区域A1、托盘除去区域A5的一方(图1中的下侧)为正面侧，将其相反侧、即配设有检查区域A3的一方(图1中的上侧)作为背面侧来使用。

托盘供给区域A1是供给排列有未检查状态的多个IC器件90的托盘(配置构件)200的供料部。在托盘供给区域A1中，能够层叠多个托盘200。

供给区域A2是将来自托盘供给区域A1的托盘200上配置有的多个IC器件90分别供给至检查区域A3的区域。以横跨托盘供给区域A1和供给区域A2的方式，设置有一个一个地输送托盘200的托盘输送机构11A、11B。

在供给区域A2设置有温度调整部(均温板)12、器件输送头13和托盘输送机构(第一输送装置)15。

温度调整部12是载置多个IC器件90的载置部，能够对该多个IC器件90进行加热或冷却。由此，能够将IC器件90调整到适于检查的温度。在图1所示的构成中，在Y方向配置并固定有两个温度调整部12。而且，通过托盘输送机构11A从托盘供给区域A1搬入的(输送来的)托盘200上的IC器件90被输送并载置于任意一个温度调整部12。

器件输送头13被支承为在供给区域A2内能够移动。由此，器件输送头13能够承担从托盘供给区域A1搬入的托盘200和温度调整部12之间的IC器件90的输送、和温度调整部12和后述的器件供给部14之间的IC器件90的输送。

托盘输送机构15是使除去了全部IC器件90的状态的空的托盘200在供给区域A2内在X方向输送的机构。而且，在该输送后，空的托盘200通过托盘输送机构11B从供给区域A2被送回托盘供给区域A1。

检查区域A3是检查IC器件90的区域。在该检查区域A3设置有器件供给部(供给滑梭)14、检查部16、器件输送头17和器件回收部(回收滑梭)18。

器件供给部14是载置温度调整后的IC器件90的载置部，能够将该IC器件90输送至检查部16附近。该器件供给部14被支承为在供给区域A2与检查区域A3之间沿X方向能够移动。此外，在图1所示的构成中，在Y方向配置有两个器件供给部14，温度调整部12上的IC器件90被输送并载置于任意一个器件供给部14。

检查部16是对IC器件90的电特性进行检查/试验的单元。在检查部16设置有在保持有IC器件90的状态下与该IC器件90的端子电连接的多个探针。而且，使IC器件90的端子与探针电连接(接触)，经由探针进行IC器件90的检查。IC器件90的检查基于与检查部16连接的测试器具备的检查控制部所存储的程序来进行。在检查部16中，与温度调整部12同样地，能够对IC器件90进行加热或冷却，将该IC器件90调整到适于检查的温度。

器件输送头17被支承为在检查区域A3内能够移动。由此，器件输送头17能够将从供给区域A2搬入的器件供给部14上的IC器件90输送并载置在检查部16上。

器件回收部18是载置检查部16中的检查结束后的IC器件90的载置部，能够将该IC器件90输送至回收区域A4。该器件回收部18被支承为在检查区域A3和回收区域A4之间沿X方向能够移动。此外，在图1所示的构成中，器件回收部18与器件供给部14同样地，在Y方向配置两个，检查部16上的IC器件90被输送并载置于任意一个器件回收部18。该输送通过器件输送头17来进行。

回收区域A4是回收检查结束后的多个IC器件90的区域。在该回收区域A4设置有回收用托盘19、器件输送头20和托盘输送机构(第二输送装置)21。此外，在回收区域A4也准备有空的托盘200。

回收用托盘19是载置IC器件90的载置部，固定于回收区域A4内，在图1所示的构成中，沿X方向配置有三个。此外，空的托盘200也是载置IC器件90的载置部，沿X方向配置有三个。而且，移动来到回收区域A4的器件回收部18上的IC器件90被输送并载置于这些回收用托盘19以及空的托盘200之中的任意一个。由此，IC器件90按照每个检查结果进行回收并分类。

器件输送头20被支承为在回收区域A4内能够移动。由此，器件输送头20能够将IC器件90从器件回收部18输送到回收用托盘19、空的托盘200。

托盘输送机构21是使从托盘除去区域A5搬入的空的托盘200在回收区域A4内在X方向输送的机构。而且，在该输送后，空的托盘200被配设于回收IC器件90的位置、即可为上述三个空的托盘200之中的任意一个。这样，在检查装置1中，在回收区域A4设置有托盘输送机构21，除此之外，在供给区域A2设置有托盘输送机构15。由此，例如与通过一个输送机构进行空的托盘200的向X方向的输送相比，能够谋求处理能力(每单位时间的IC器件90的输送个数)的提高。

作为托盘输送机构15、21的构成，并不特别限定，例如，列举出具有吸附托盘200的吸附构件和将该吸附构件支承为在X方向能够移动的滚珠丝杠等支承机构的构成。

托盘除去区域A5是回收并除去排列有检查完毕状态的多个IC器件90的托盘200的除料部。在托盘除去区域A5中，能够层叠多个托盘200。

此外，以横跨回收区域A4和托盘除去区域A5的方式，设置有一个一个地输送托盘200的托盘输送机构22A、22B。托盘输送机构22A是将载置有检查完毕的IC器件90的托盘200从回收区域A4输送到托盘除去区域A5的机构。托盘输送机构22B是将用于回收IC器件90的空的托盘200从托盘除去区域A5输送到回收区域A4的机构。

控制部80例如具有驱动控制部。驱动控制部例如控制托盘输送机构11A、11B、温度调整部12、器件输送头13、器件供给部14、托盘输送机构15、检查部16、器件输送头17、器件回收部18、器件输送头20、托盘输送机构21和托盘输送机构22A、22B的各部分的驱动。

此外，上述测试器的检查控制部例如基于存储于未图示的存储器内的程序，进行配置于检查部16的IC器件90的电特性的检查等。

在以上那样的检查装置1中，除了温度调整部12、检查部16以外，器件输送头13、器件供给部14、器件输送头17也构成为能够对IC器件90加热或冷却。由此，IC器件90在被输送期间，温度被维持为恒定。而且，在以下，针对对IC器件90进行冷却，例如在-60℃～-40℃的范围内的低温环境下进行检查的情况进行说明。

如图1所示，检查装置1的托盘供给区域A1和供给区域A2之间被第一隔壁61划分(分隔)，供给区域A2和检查区域A3之间被第二隔壁62划分，检查区域A3和回收区域A4之间被第三隔壁63划分，回收区域A4和托盘除去区域A5之间被第四隔壁64划分。此外，供给区域A2和回收区域A4之间也被第五隔壁65划分。这些隔壁具有保持各区域的气密性的功能。进一步地，检查装置1的最外层被盖覆盖，该盖例如具有前盖70、侧盖71及72、后盖73。

而且，供给区域A2为被第一隔壁61、第二隔壁62、第五隔壁65、侧盖71和后盖73划分成的第一室R1。向第一室R1按照每个托盘200搬入未检查状态的多个IC器件90。

检查区域A3为被第二隔壁62、第三隔壁63和后盖73划分成的第二室R2。此外，在第二室R2，在比后盖73靠内侧配置有内侧隔壁66。

回收区域A4为被第三隔壁63、第四隔壁64、第五隔壁65、侧盖72和后盖73划分成的第三室R3。将检查结束后的多个IC器件90从第二室R2搬入第三室R3。

如图1所示，在侧盖71设置有第一门(左侧第一门)711和第二门(左侧第二门)712。通过打开第一门711、第二门712，例如能够进行第一室R1内的维护、IC器件90中的阻塞的解除等(以下，将这些统称为“作业”)。此外，第一门711和第二门712相互向相反方向开闭，为所谓的“左右对开”。此外，在进行第一室R1内的作业时，该第一室R1内的器件输送头13等可动部停止。

同样地，在侧盖72设置有第一门(右侧第一门)721和第二门(右侧第二门)722。通过打开第一门721、第二门722，例如能够进行第三室R3内的作业。此外，第一门721和第二门722也相互向相反方向开闭，为所谓的“左右对开”。此外，在进行第三室R3内的作业时，该第三室R3内的器件输送头20等可动部停止。

此外，在后盖73也设置有第一门(背面侧第一门)731、第二门(背面侧第二门)732和第三门(背面侧第三门)733。通过打开第一门731，例如能够进行第一室R1内的作业。通过打开第三门733，例如能够进行第三室R3内的作业。进一步地，在内侧隔壁66设置有第四门75。而且，通过打开第二门732以及第四门75，例如能够进行第二室R2内的作业。此外，第一门731、第二门732和第四门75向相同方向开闭，第三门733向与这些门相反方向开闭。此外，在进行第二室R2内的作业时，该第二室R2内的器件输送头17等可动部停止。

而且，通过关闭各门，能够确保对应的各室中的气密性、隔热性。

但是，在检查装置1中，这些门之中、侧盖71侧的第一门711以及第二门712、侧盖72侧的第一门721以及第二门722、和后盖73侧的第一门731以及第三门733分别由第一开闭部4和第二开闭部5构成(参照图2)，为将它们组装而成的组装件。以下，以位于侧盖71侧的第一门711为代表进行说明。

如图2所示，第一开闭部4是相对于形成在侧盖71的开口部713能够开闭的门。由此，第一开闭部4在关闭状态下能够覆盖开口部713的一半(图中的左侧的部分)，在打开状态下能够使开口部713开放。

该第一开闭部4由在俯视观察下呈大致四角形状的板构件构成。此外，作为第一开闭部4的大小，根据检测装置1的大小而定，例如，优选纵长(Z方向的长度)、横长(Y方向的长度)均在400mm以上、600mm以下，更优选在450mm以上、550mm以下。

而且，呈四角形状的第一开闭部4的四个边(缘部)41a、41b、41c、41d之中的在铅垂方向延伸的边41a通过两个第一转动支承部42而与侧盖71连结。这两个第一转动支承部42在Z方向间隔地配置。此外，各第一转动支承部42由将第一开闭部4支承为能够转动的铰链构成。由此，能够将第一开闭部4支承为以铅垂方向、即与Z方向平行的轴为转动轴而能够转动，能够顺畅地进行其开闭。

此外，作为维持第一开闭部4关闭的状态的锁止机构的汽缸740，被配置并固定在侧盖71的开口部713的上部附近。汽缸740的汽缸活塞杆740a进出自如。而且，在汽缸活塞杆740a朝向下方突出时，能够与设置于第一开闭部4的锁止构件43卡合。由此，能够维持第一开闭部4的关闭状态，例如防止在IC器件90的输送中操作人员(操作者)错误地打开第一开闭部4。

在本实施方式中，汽缸740不仅能够维持第一门711的第一开闭部4的关闭状态，还维持第二门712的第一开闭部4的关闭状态。即，汽缸740的汽缸活塞杆740a能够与第一门711的第一开闭部4的锁止构件43和第二门712的第一开闭部4的锁止构件43一并卡合，因此，能够一并维持这些第一开闭部4的关闭状态。

同样地，在侧盖72侧，汽缸745能够一并维持第一门721和第二门722的关闭状态。此外，在后盖73侧，气缸741能够维持第一门731的关闭状态，气缸742能够维持第二门732的关闭状态，气缸744能够维持第三门733的关闭状态，气缸743能够维持第四门75的关闭状态。而且，使用规定的开关独立地进行各气缸740～745的动作。

如上所述，由第一开闭部4和第二开闭部5构成的门具有侧盖71侧的第一门711以及第二门712、侧盖72侧的第一门721以及第二门722、和后盖73侧的第一门731以及第三门733。因此，第一开闭部4的设置数量与这些门为相同数量(多个)。由此，对希望进行上述输送区域内的作业的部分，只要打开尽可能近的第一开闭部4，则能够容易地进行该作业。

此外，如图2所示，设置有检测第一开闭部4的开闭的作为检测部76的磁力传感器761和磁铁762。磁力传感器761配置并固定于侧盖71的开口部713的上部附近，与控制部80电连接。磁铁762固定于第一开闭部4，配置于在该第一开闭部4处于关闭状态时与磁力传感器761接近的、即临近的位置。

如图2所示，在一个第一开闭部4，使两个第二开闭部5经由第二转动支承部52支承为能够转动。各第二开闭部5是相对于形成在第一开闭部4的开口部44能够开闭的门。由此，第二开闭部5在关闭状态下能够覆盖开口部(第一开口部)44(参照图2、图3)，在打开状态下能够使开口部44开放(参照图4)。而且，例如在执行对供给区域A2内的温度调整部12(检查装置1的内部)的作业时，不是使第一开闭部4为打开状态，而是使第二开闭部5为打开状态，从而能够进行该作业。由于第二开闭部5的打开状态比第一开闭部4的打开状态小，因此能够尽可能地抑制在对温度调整部12的作业中外部空气流入供给区域A2内。由此，保持供给区域A2内的低温环境，因此，能够防止在IC器件90等产生结露、霜，此外，能够迅速地进行使第二开闭部5再次为关闭状态之后的检查装置1的工作。

此外，两个第二开闭部5沿Y方向、即在水平方向排列配置。由此，例如，操作人员能够使图2中的左侧的第二开闭部5为打开状态并插入左手，使同图的右侧的第二开闭部5为打开状态并插入右手。在该情况下，能够使用双手，因此，作业性提高。

进一步地，作为各第二开闭部5的配置位置，优选配置于供给区域A2内的温度调整部12附近、比该温度调整部12靠铅垂上方。由此，只要使第二开闭部5为打开状态，则能够成为使该温度调整部12位于比进行作业的操作人员的视线低的位置的状态，因此，能够立刻进行对温度调整部12的作业。而且，通过该迅速的作业，能够尽可能地缩短第二开闭部5的成为打开状态的时间，因此，能够抑制外部空气流入供给区域A2内。

在本实施方式中，开口部44呈圆形。由此，开口部44例如为易于伸入操作人员的手臂的形状，因此，作业性提高。

而且，与该开口部44的形状对应地，第二开闭部5在俯视观察下整体上也呈大致圆形。此外，当然，第二开闭部5的在俯视观察下的面积比第一开闭部4的在俯视观察下的面积小。

如图3、图4所示，第二开闭部5接合了第一板构件53和第二板构件54而成。第一板构件53和第二板构件54是大小不同、即直径不同的圆形的板构件，第二板构件54比第一板构件53小。根据开口部44的大小而定，但作为第一板构件53的直径，并不特别限定，例如，优选在150mm以上、200mm以下，更优选在180mm以上、200mm以下，作为第二板构件54的直径，并不特别限定，例如，优选在130mm以上、180mm以下，更优选在160mm以上、180mm以下。根据这样的大小，经由打开状态的第二开闭部5，例如能够容易地进行一般的成人的手臂、一般的大小的托盘200的出入。此外，也能够防止作业者的头部经由打开状态的第二开闭部5而入侵。此外，第一板构件53和第二板构件54在本实施方式中为相同厚度，但并不限定于此，也可以不同。

如图3所示，第二开闭部5在关闭状态下第二板部件54被插入开口部44。因此，第二开闭部5形成能够使第二板构件54插入开口部44的成为凸部的“凸结构(迷宫结构)”。此外，第二开闭部5在关闭状态下第一板构件53的内侧缘部成为与第一开闭部4重合的重合部532。具有该重合部532和形成上述凸结构相结合，从而能够很好地保持关闭状态的第二开闭部5与第一开闭部4之间的气密性。由此，能够保持供给区域A2内的环境(温度、湿度)。

此外，使环状的密封构件(密封部)56例如通过嵌入固定于第一板构件53的外周部。密封构件56是能够在第二开闭部5的关闭状态下被第一开闭部4按压而稍微弹性变形并密合的弹性膜。由此，例如，即使在通过检查装置1的工作使该检查装置1振动而第一开闭部4与第二开闭部5的第一板构件53稍微间隔开的情况下，也能够维持第一开闭部4与第二开闭部5之间的气密性。由此，能够抑制外部空气的流入，有助于供给区域A2内的环境的维持。此外，作为密封构件56的构成材料，并不特别限定，例如，能够使用硅酮橡胶、氟橡胶那样的各种橡胶材料。

在本实施方式中，将多根螺栓(内六角螺栓)55使用于第一板构件53和第二板构件54的接合。在第一板构件53形成有沉孔531，在第二板构件54形成有螺纹孔(母螺纹)541。由此，能够从沉孔531侧插入螺栓55，并使该螺栓55与螺纹孔541螺合。通过该螺合使第一板构件53和第二板构件54接合。优选将接合所使用的多根螺栓55绕第一板构件53(第二板构件54)的中心等角度间隔地配置。

如图3所示，在第二开闭部5的第一板构件53的下部经由第二转动支承部52突出地设置有与第一开闭部4的表面侧连结的连结部59。连结部59与第一板构件53一体地形成，在与第二板构件54相反侧呈“L”字状弯曲。

第二转动支承部52由将第二开闭部5相对于第一开闭部4支承为能够转动的铰链构成。由此，能够将第二开闭部5支承为以水平方向、即与Y方向平行的轴为转动轴而能够转动，能够顺畅地进行其开闭。

如图3、图4所示，在本实施方式中，第二开闭部5朝向检查装置1的外侧打开、即所谓的“向外开”。而且，在图4所示的最打开的状态下，维持该最打开的状态，并且第二开闭部5相对于第一开闭部4为垂直的、即立起的立起状态。此时，第二转动支承部52即铰链为最关闭的状态。由此，维持第二开闭部5的立起状态。在该情况下，能够在处于立起状态的第二开闭部5上例如临时载置作业所使用的工具。此外，能够尽可能地抑制执行作业时的、外部空气的流入。除此之外，由于处于立起状态的第二开闭部5向与操作人员进入供给区域A2的方向相反方向突出，因此例如能够防止该操作人员欲伸入自己的头部的行为。在立起状态下，第二开闭部5的连结部59经由第二转动支承部52与第一开闭部4重合(参照图4)。

这样的第二开闭部5的可开闭角度、即第二开闭部5的以第二转动支承部52为中心的可转动角度为0度以上、90度以下。第二开闭部5在90度时为“立起状态”，在0度时为“倒伏状态(最关闭的状态)”。

作为维持第二开闭部5关闭的状态的锁止机构(锁定机构)的气缸746，被配置并固定于第一开闭部4的开口部44的上部附近。气缸746的汽缸活塞杆746a进出自如。而且，在汽缸活塞杆746a突出时，能够与设置于第二开闭部5的锁止构件57的卡合孔571卡合(参照图3)。由此，能够维持第二开闭部5的关闭状态，例如防止在IC器件90的输送中操作人员错误地打开第二开闭部5而将手等伸入。此外，使用规定的开关进行气缸746的动作。此外，气缸746配置于第一开闭部4，但并不限定于此，也可以配置于第二开闭部5。

此外，优选构成第二转动支承部52的铰链内置有扭力弹簧。扭力弹簧作为将第二开闭部5向成为打开状态的方向施力的施力部而发挥功能。由此，只要解除基于气缸746的锁止状态，则第二开闭部5通过扭力弹簧的施加力而自动成为打开状态。因此，与例如操作人员把持并打开第二开闭部5的情况相比，操作性提高。

如图3所示，设置有能够感知并检测第二开闭部5的开闭的作为检测部77的磁力传感器771和磁铁772。磁力传感器771配置并固定于第一开闭部4的开口部44的上部附近，与控制部80电连接。磁铁772固定于第二开闭部5，配置于在该第二开闭部5处于关闭状态时与磁力传感器771接近的、即临近的位置。而且，在检测出打开状态的情况下，能够将该情况显示在监视器(未图示)。

通过这样的检测部77，例如在除了作业时以外、即在第二开闭部5非必要地成为打开状态的情况下，操作人员也能够使第二开闭部5为关闭状态，因此，能够尽可能地抑制外部空气的流入。此外，能够防止第二开闭部5非必要地成为打开状态，防止例如操作人员错误地将手等伸入供给区域A2。这样，检测部77也作为安全传感器发挥功能。

此外，在第一开闭部4的开口部44设置有在第二开闭部5处于打开状态时对例如操作人员的手等入侵进行感知的入侵感知传感器78。入侵感知传感器78是具有发光部781和光接收部782的透射型的传感器。该入侵感知传感器78在来自发光部781的光被手等遮蔽而无法通过光接收部782进行光接收的情况下，能够感知手等的入侵。此时，优选检查装置1发出警告以防止手等的入侵或者停止上述可动部的动作。

除此之外，作为入侵感知传感器78的配置，例如，也可以在图2中的最左侧的开口部44的左邻处配置一个发光部781，在最右侧的开口部44的右邻处配置一个光接收部782。在该情况下，来自发光部781的光一并穿过四个开口部44而至光接收部782。由此，即使手等入侵到四个开口部44的任意一个，也能够通过一个入侵感知传感器78对其进行感知。

〈第二实施方式〉

图5是示出本发明的电子部件检查装置(第二实施方式)具备的第二开闭部和拆装自如地安装于第二开闭部的第二开闭部用框体的纵剖视图。图6是示出图5所示的第二开闭部用框体的种类的纵剖视图。

以下，参照这些图对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第二实施方式进行说明，以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对同样的事项省略其说明。

本实施方式除了具备第二开闭部用框体以外，与上述第一实施方式的同样的。

如图5所示，在本实施方式中，第二开闭部5在第一板构件53的外周部(周围)具有例如通过嵌入而能够拆装的环状的第二开闭部用框体58。此外，使环状的密封构件56例如通过嵌入固定于第二开闭部用框体58的外周部。而且，通过将该第二开闭部用框体58安装在第一板构件53，从而与不使用第二开闭部用框体58的情况相比，能够使关闭状态的第二开闭部5与第一开闭部4之间的气密性的程度增加。

此外，如图6所示，第二开闭部用框体58具有内径相同但外径(大小)不同的多种(在图中是第二开闭部用框体58A、第二开闭部用框体58B、第二开闭部用框体58C)。而且，能够从这些第二开闭部用框体58A～第二开闭部用框体58C之中选择任一个第二开闭部用框体58并安装在第一板构件53。通过这样的选择，从而能够调整与第一开闭部4之间的气密性的程度。

密封构件56适合于第二开闭部用框体58A～第二开闭部用框体58C的大小。

〈第三实施方式〉

图7是示出本发明的电子部件检查装置(第三实施方式)具备的第一开闭部和拆装自如地安装于第一开闭部的第一开口部的第一开口部用框体的纵剖视图。图8是示出图7所示的第一开口部用框体的种类的纵剖视图。

以下，参照这些图对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第三实施方式进行说明，以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对同样的事项省略其说明。

本实施方式除了具备第一开口部用框体以外，与上述第一实施方式的同样的。

如图7所示，在本实施方式中，第一开口部4在开口部44的内周部具有例如通过嵌入而能够拆装的环状的第一开口部用框体45。而且，通过安装第一开口部用框体45，从而与不使用第一开口部用框体45的情况相比，能够缩小开口部44的实质性大小。由此，能够尽可能地进一步地抑制外部空气的流入。

此外，如图8所示，第一开口部用框体45具有外径相同但内径(大小)不同的多种(在图中是第一开口部用框体45A、第一开口部用框体45B、第一开口部用框体45C)。而且，能够从这些第一开口部用框体45A～第一开口部用框体45C之中选择任一个第一开口部用框体45并安装在开口部44。通过这样的选择，从而能够调整外部空气的流入的程度。

此外，第二开闭部5适合于第一开口部用框体45A～第一开口部用框体45C的大小。

〈第四实施方式〉

图9是示出本发明的电子部件检查装置(第四实施方式)具备的关闭状态的第一开闭部和关闭状态的第二开闭部的图。

以下，参照该图对本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第四实施方式进行说明，以与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对同样的事项省略其说明。

本实施方式除了第二开闭部的大小不同以外，与上述第一实施方式的同样的。

如图9所示，在本实施方式中，在一个第一开闭部4配置有大小不同的两个第二开闭部5。这两个第二开闭部5之中小的一方的第二开闭部5配置于第一转动支承部42侧，大的一方的第二开闭部5配置于与第一转动支承部42相反侧。而且，能够从两个第二开闭部5选择任一个。由此，能够打开并使用对应于供给区域A2内的作业的种类的第二开闭部5，因此，能够尽可能地抑制外部空气的流入。

以上，针对图示的实施方式说明了本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置，但本发明并不限定于此，构成电子部件输送装置以及电子部件检查装置的各部分能够置换为可发挥同样的功能的任意的构成。此外，也可以附加任意的构成物。

此外，本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置也可以是组合了上述各实施方式之中的任意的两个以上的构成(特征)的装置。

此外，第一开闭部以及第二开闭部在上述各实施方式中分别是所谓的“向外开”，但并不限定于此，也可以是所谓的“向内开”。

此外，第一开闭部在上述各实施方式中被支承为能够转动，但并不限定于此，例如，也可以被支承为在水平方向能够滑动。

此外，设置于一个第一开闭部的第二开闭部的设置数量在上述各实施方式中是两个，但并不限定于此，例如，也可以是一个或三个以上。

此外，维持第一开闭部与第二开闭部之间的气密性的密封构件在上述各实施方式中配置于第二开闭部，但并不限定于此，例如，可以配置于第一开闭部，也可以配置于第一开闭部以及第二开闭部的双方。

附图标记说明：

1、检查装置(电子部件检查装置) 11A、11B、托盘输送机构

12、温度调整部(均温板) 13、器件输送头

14、器件供给部(供给滑梭) 15、托盘输送机构(第一输送装置)

16、检查部 17、器件输送头

18、器件回收部(回收滑梭) 19、回收用托盘

20、器件输送头 21、托盘输送机构(第二输送装置)

22A、22B、托盘输送机构 4、第一开闭部

41a、41b、41c、41d、边(缘部) 42、第一转动支承部

43、锁止构件 44、开口部(第一开口部)

45、45A、45B、45C、第一开口部用框体 5、第二开闭部

52、第二转动支承部 53、第一板构件

531、沉孔 532、重合部

54、第二板构件 541、螺纹孔(母螺纹)

55、螺栓(内六角螺栓) 56、密封构件(密封部)

57、锁止构件 571、卡合孔

58、58A、58B、58C、第二开闭部用框体 59、连结部

61、第一隔壁 62、第二隔壁

63、第三隔壁 64、第四隔壁

65、第五隔壁 66、内侧隔壁

70、前盖 71、侧盖

711、第一门 712、第二门

713、开口部 72、侧盖

721、第一门 722、第二门

73、后盖 731、第一门

732、第二门 733、第三门

740、741、742、743、744、745、746、气缸

740a、746a、汽缸活塞杆

75、第四门 76、检测部

761、磁力传感器 762、磁铁

77、检测部 771、磁力传感器

772、磁铁 78、入侵感知传感器

781、发光部 782、光接收部

80、控制部 90、IC器件

200、托盘(配置构件) A1、托盘供给区域

A2、器件供给区域(供给区域) A3、检查区域

A4、器件回收区域(回收区域) A5、托盘除去区域

R1、第一室 R2、第二室

R3、第三室。

Claims (17)

1.一种电子部件输送装置，其特征在于，具备：

第一开闭部，所述第一开闭部能够开闭；以及

第二开闭部，所述第二开闭部能够开闭地设置于所述第一开闭部，

所述电子部件输送装置配置有能够感知所述第二开闭部的开闭的传感器。

2.根据权利要求1所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述电子部件输送装置具备支承部，所述支承部以所述第二开闭部能够开闭的方式支承所述第二开闭部，

所述支承部由铰链构成。

3.根据权利要求1所述的电子部件输送装置，其特征在于，在所述第一开闭部设置有感知入侵的入侵感知传感器。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，在所述第一开闭部或者所述第二开闭部设置有使所述第二开闭部相对于所述第一开闭部锁定的锁定机构。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述第一开闭部具有在所述第二开闭部关闭时被覆盖的第一开口部，

所述第二开闭部形成具有能够插入所述第一开口部的凸部的凸结构。

6.根据权利要求5所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述第二开闭部接合了大小不同的两个板构件而成，

所述两个板构件之中小的一方的板构件构成所述凸部。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述第一开闭部具有在所述第二开闭部关闭时被覆盖的第一开口部，

所述第二开闭部在关闭时具有与所述第一开闭部重合的部分。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，在所述第二开闭部配置有弹性膜。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，所述第二开闭部具有大小不同的多个，能够从该多个第二开闭部选择任一个。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，在所述第二开闭部的周围具有能够拆装的第二开闭部用框体。

11.根据权利要求10所述的电子部件输送装置，其特征在于，所述第二开闭部用框体具有大小不同的多个，能够从该多个第二开闭部用框体选择任一个。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述第一开闭部具有在所述第二开闭部关闭时被覆盖的第一开口部，

在所述第一开口部具有能够拆装的第一开口部用框体。

13.根据权利要求12所述的电子部件输送装置，其特征在于，所述第一开口部用框体具有大小不同的多个，能够从该多个第一开口部用框体选择任一个。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述第一开闭部具有在所述第二开闭部关闭时被覆盖的第一开口部，

所述第一开口部是圆形。

15.根据权利要求1至14中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，设置有多个所述第二开闭部，该多个第二开闭部沿水平方向配置。

16.根据权利要求1至15中任一项所述的电子部件输送装置，其特征在于，所述第二开闭部朝向该电子部件输送装置的内侧打开或朝向外侧打开。

17.一种电子部件检查装置，其特征在于，具备：

第一开闭部，所述第一开闭部能够开闭；

第二开闭部，所述第二开闭部能够开闭地设置于所述第一开闭部；以及

检查部，所述检查部对电子部件进行检查，

所述电子部件检查装置配置有能够感知所述第二开闭部的开闭的传感器。