JP5194040B2 - 表示装置、及び検査装置 - Google Patents
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Description
また、検出されたウェーハの変形状態に対するウェーハ形状の矯正については考慮がなされていないため、変形に対するオートフォーカス機構の追従性が低下し、ウェーハ表面に照射される垂直照射ビームスポット及び斜方照射ビームスポットの焦点ズレや照射位置ズレによって異物や欠陥の検出感度や位置座標精度が低下する。検査中のウェーハの変形が著しい場合には、微小な異物や欠陥は、検出できないという課題がある。
めに、仰角を略30度以上(ウェーハ面を基準)、望ましくは35度から65度の範囲に配置されている。
この光源により、特定波長で正反射光を得られなくとも、その他の波長から反射光を受光可能となり、上下動位置を安定して検出できるようになる。白色光源としては、例えば白色レーザ,白色発光ダイオード,キセノンランプ,水銀ランプ,メタルハイドランプ,ハロゲンランプなどを用いることができる。
Hは所定の検査面高さとの距離を表し、その符号は、所定の検査面高さに対して、高いか低いかの位置関係を示している。
表示の形態については、ここで特に限定されるものではないが、オペレータの好みに応じて、前述以外の表示方法も含め、表示選択機能1060により選択可能となっている。
100 ロードポート
110 ウェーハポッド
200 搬送部
210 搬送装置
220 ハンドリングアーム
230 固持側壁部
240 把持ブロック
250 Y軸搬送ユニット
300 プリアライメント部
310 載置台
320 センサー
400 検査部
410 被検査体移動ステージ
411 チャック
412 保持爪
413 リム
414 内部空間
415 ガス供給部
416 ガス供給経路
417 エアーギャップ形成部
418 排気口
420 回転駆動機構
430 昇降駆動機構
440 進退駆動機構
450 検査座標検出部
500 データ処理部
510 コントローラ
511 演算処理装置
512 記憶装置
513 制御装置
520 入力装置
530 表示装置
540 出力装置
550 外部記憶装置
600 第一光照射部
651 レーザ光源
652 シャッタ
653 アッテネータ
654 光軸補正機構
655 照射方向切換え機構
656a,656b ビーム成形機構
657a〜657g ミラー
658 光ビーム
660 出射部
710,910 第二検出器
720,920 第二光照射部
770 第一検出部
771〜780 PMT
800 ガス制御系
801 流量制御器
802 遮断弁
803 電磁弁
804 フィルター
805 配管
820 設定画面
821 流量設定表示部
822 種別選択表示部
823 流量補正表示部
824 スローアップ設定表示部
825 タイミング設定表示部
900 高さ位置制御部
930a,930b 増幅器
940 昇降駆動制御回路
950 A/D変換機
960 照射位置制御機構
1000 表示設定画面
1010 結果表示機能
1020,1120,1140 ポインター
1030 形状表示機能
1040 基点
1050 反り状態表示機能
1060 表示選択機能
1070 供給ガス量試算機能
1080 目標設定機能
1090 条件設定機能
1100 処理指示機能
1110 結果表示機能
1130 試算モード選択機能
Claims (14)
- 基板の欠陥を検出する検査装置に用いられる表示装置であって、
エッジグリップ機構によって把持された前記基板の反りを表示する表示部を有し、
前記表示部は、前記反りの程度に応じて表示方法を変更し、
さらに、前記基板の反りを変えるために、前記基板の裏面へ供給されるガスの種類を選択するための種類選択部と、
前記ガスの種類によって変化する流量を変更するための係数を設定するための係数設定部と、を有することを特徴とする表示装置。 - 請求項1に記載の表示装置において、
前記ガスの流量を設定するための設定部を有することを特徴とする表示装置。 - 請求項1に記載の表示装置であって、
前記表示装置は、
前記ガスが所定の流量に達するまでの時間を設定するための時間設定部を有することを特徴とする表示装置。 - 請求項1に記載の表示装置であって、
前記ガスの供給タイミング及び停止タイミングのうち少なくとも1つを設定するための設定部を有することを特徴とする表示装置。 - 請求項1に記載の表示装置であって、
前記ガスの流量を試算するための試算部を有することを特徴とする表示装置。 - 請求項5に記載の表示装置であって、
前記試算部は、
目標とする前記基板の反りを設定する目標反り量設定部を有し、
前記目標反り量設定部にて設定された目標反り量に応じて前記ガスの流量を変更して表示することを特徴とする表示装置。 - 請求項5に記載の表示装置であって、
前記試算部は、
前記基板全体の反りを所定の目標値へ変更するための前記ガスの流量を得るモード、及び前記基板の一部の反りを所定の目標値へ変更するための前記ガスの流量を得るモードを有することを特徴とする表示装置。 - 基板の欠陥を検出する検査装置であって、
前記基板の端部を把持することで前記基板を支持するエッジグリップ機構と、
前記基板に光を照明する照明光学系と、
前記基板からの光を検出する検出光学系と、
表示装置と、を有し、
前記表示装置は、前記エッジグリップ機構によって把持された前記基板の反りを表示する表示部を有し、
前記表示部は、前記反りの程度に応じて表示方法を変更し、
さらに、前記表示装置は、前記基板の反りを変えるために、前記基板の裏面へ供給されるガスの種類を選択するための種類選択部と、前記ガスの種類によって変化する流量を変更するための係数を設定するための係数設定部と、を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項8に記載の検査装置であって、
前記ガスの流量を設定するための設定部を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項8に記載の検査装置であって、
前記表示装置は、
前記ガスが所定の流量に達するまでの時間を設定するための時間設定部を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項8に記載の検査装置であって、
前記ガスの供給タイミング及び停止タイミングのうち少なくとも1つを設定するための設定部を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項8に記載の検査装置であって、
前記ガスの流量を試算するための試算部を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項12に記載の検査装置であって、
前記試算部は、
目標とする前記基板の反りを設定する目標反り量設定部を有し、
前記目標反り量設定部にて設定された目標反り量に応じて前記ガスの流量を変更して表示することを特徴とする検査装置。 - 請求項12に記載の検査装置であって、
前記試算部は、
前記基板全体の反りを所定の目標値へ変更するための前記ガスの流量を得るモード、及び前記基板の一部の反りを所定の目標値へ変更するための前記ガスの流量を得るモードを有することを特徴とする検査装置。
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